CN102904542B - 压电振动片以及压电元件 - Google Patents

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Abstract

本发明提供压电振动片以及压电元件，压电振动片包括激振部、框部以及连结部。激振部包含沿着第一方向延伸的第一边及沿着第二方向延伸的第二边，第二方向与第一方向正交。连结部在第三方向上的厚度为第一厚度，所述第三方向与第一方向及第二方向正交。激振部包含第一区域、第二区域以及第三区域。激振电极形成在第一区域。第二区域以第一厚度而直接连结于连结部。第三区域配置在第一区域与第二区域之间。而且在第三方向上的厚度为第二厚度，第二区域在第三方向上的厚度形成得比第二厚度更厚。

Description

压电振动片以及压电元件
技术领域
本发明涉及压电振动片以及压电元件，可抑制压电振动片的朝向激振部的弯曲应力的影响。
背景技术
已为人所知的压电振动片包括：激振部，以预定的振动频率发生振动；框部，将激振部予以包围；以及连结部，将激振部与框部予以连结。另外，盖板以及基底板接合于压电振动片中的框部的表背面，从而形成压电元件，该压电元件是安装于印刷基板等而被使用。对于此种压电元件而言，存在如下的问题，即，当因下落等而承受冲击时，应力会施加至连结部，导致连结部破损。
针对如上所述的问题，例如在日本专利公开号2006-238263中已揭示了如下的压电振动片，该压电振动片的连结部由槽部与平坦部形成，所述槽部相对于激振部的表背面形成为凹状，所述平坦部处于与激振部的表背面相同的面。在日本专利公开号2006-238263的压电振动片中，利用槽部与平坦部来形成两根连结部，借此，利用两根连结部来防止施加至连结部的应力集中。借此，日本专利公开号2006-238263的压电振动片的耐冲击性提高。
另一方面，存在如下的情况，即，如上所述的压电元件从印刷基板承受弯曲应力。施加至压电元件的弯曲应力会对压电振动片产生影响，使激振部的振动频率的特性发生变化。因此，压电振动片需要具有耐冲击性，并且必须使施加至激振部的弯曲应力减少。若应力施加至激振部，则激振部的振动频率的特性会发生变化。在日本专利公开号2006-238263中，由于利用两根连结部来支撑着激振部，因此，会导致激振部受到弯曲应力的影响。
因此，需要提供具有耐冲击性、并且朝向激振部的弯曲应力的影响已受到抑制的压电振动片以及压电元件。
发明内容
第一观点的压电振动片包括：为矩形形状的激振部，包含第一边以及第二边，第一边沿着第一方向延伸，第二边沿着第二方向延伸，所述第二方向与第一方向正交；框部，将激振部予以包围；以及连结部，将激振部的第一边与框部予以连结，且在第三方向上具有第一厚度，所述第三方向与第一方向及第二方向正交。激振部包含：第一区域、第二区域以及第三区域，第一区域在两个主面上形成有一对激振电极；第二区域包含第一边的至少一部分且第二区域以第一厚度而直接连结于连结部；第三区域配置在第一区域与第二区域之间，且第三区域是第一区域及第二区域以外的区域，而且第三区域在第三方向上的厚度为第二厚度，第二区域在第三方向上的厚度形成得比第二厚度更厚。
根据第一观点，对于第二观点的压电振动片而言，第一边的长度比第二边的长度更短。
根据第一观点或第二观点，对于第三观点的压电振动片而言，连结部连结于第一边的中央。
根据第一观点至第三观点，对于第四观点的压电振动片而言，第一区域在第三方向上的厚度形成得比第二厚度更厚。
根据第四观点，对于第五观点的压电振动片而言，第一区域借由第一斜面而连接于第三区域，所述第一斜面相对于第三方向具有预定的角度。
根据第一观点至第五观点，对于第六观点的压电振动片而言，第二区域借由第二斜面而连接于第三区域，所述第二斜面相对于第三方向具有预定的角度。
根据第一观点至第五观点，对于第七观点的压电振动片而言，压电振动片还包括第一辅助连结部，第一辅助连结部设置于连结部的第一方向的侧面，该第一辅助连结部具有第三厚度，其中第三厚度比第一厚度更薄且比第二厚度更厚，激振部的第二区域包含：具有所述第一厚度的第一连结区域，直接连结于连结部；以及具有所述第三厚度第二连结区域，连结于第一辅助连结部。
根据第七观点，对于第八观点的压电振动片而言，第二连结区域形成在整个第一连结区域与第三区域之间。
根据第四观点至第六观点，对于第九观点的压电振动片而言，第一区域在第三方向上的厚度为第一厚度。
根据第七观点以及第八观点，对于第十观点的压电振动片而言，第一区域在第三方向上的厚度为第三厚度。
根据第一观点至第六观点，对于第十一观点的压电振动片而言，压电振动片还包括第二辅助连结部，第二辅助连结部设置于连结部的第一方向的侧面，该第二辅助连结部具有所述第二厚度。
根据第十一观点，对于第十二观点的压电振动片而言，第二辅助连结部利用曲面或平面来将连结部的第一方向的侧面与第一边及框部予以连结，所述平面具有从第一方向朝第二方向倾斜了预定角度的法线。
根据第一观点至第十二观点，对于第十三观点的压电振动片而言，对第二区域的激振电极侧的侧面的角部进行倒角以具有曲面或平面。
根据第一观点至第十三观点，对于第十四观点的压电振动片而言，连结部在第一方向上具有第一宽度，第二区域在第一方向上具有第二宽度，第二区域包含第一边的第二宽度，第一宽度小于第二宽度。
根据第一观点至第十四观点，对于第十五观点的压电振动片而言，压电振动片还包括多个辅助框部，辅助框部分别设置于框部的激振部侧的侧面的四个角落，辅助框部包含与激振部相向的侧面，所述与激振部相向的侧面具有曲面或平面，该平面具有从第一方向朝第二方向倾斜了预定角度的法线。
根据第十五观点，对于第十六观点的压电振动片而言，辅助框部在第三方向上的厚度是形成为框部在第三方向上的厚度、第一厚度、或第二厚度中的任一个厚度。
第十七观点的压电元件包括：第一观点至第十六观点所述的压电振动片；盖板，接合于压电振动片的框部的一个主面；以及基底板，接合于压电振动片的框部的另一个主面。
附图说明
图1是压电元件100的分解立体图。
图2(a)是压电元件100的截面图。图2(b)是压电振动片130的平面图。
图3(a)是未形成有电极的压电振动片130的平面图。图3(b)是压电振动片130的截面图。
图4(a)是压电振动片230的平面图。图4(b)是压电振动片230的截面图。图4(c)是压电振动片230的放大部分截面图。
图5(a)是印刷基板200及安装于印刷基板200的压电元件100的概略截面图。图5(b)是压电振动片230a的概略平面图。图5(c)是压电振动片230b的概略截面图。
图6是表示施加至第一区域131a的中央的应力的图解。
图7(a)是表示应力施加至压电振动片时的施加至连结部的最大应力的图解。图7(b)是表示施加至激振部的第一区域131a的中央的应力的图解。
图8(a)是压电振动片430a的截面图。图8(b)是压电振动片430b的截面图。
图9(a)是压电振动片530a的平面图。图9(b)是压电振动片530a的截面图。图9(c)是压电振动片530a的截面图。
图10(a)是压电振动片530b的平面图。图10(b)是压电振动片530b的截面图。
图11是表示压电振动片530b的制作方法的流程图。
图12是表示压电振动片530b的制作方法的流程图。
图13(a)是压电振动片630a的平面图。图13(b)是压电振动片630b的部分平面图。图13(c)是压电振动片630c的部分平面图。
图14(a)是压电振动片730a的平面图。图14(b)是压电振动片730b的部分平面图。图14(c)是压电振动片730c的部分平面图。
图15(a)是压电振动片830a的部分平面图。图15(b)是压电振动片830b的部分平面图。图15(c)是压电振动片830c的部分平面图。
图15(d)是压电振动片830d的部分平面图。
图16(a)是压电振动片930a的平面图。图16(b)是压电振动片930b的平面图。
附图标记：
100：压电元件
110：盖板
111、121：凹部
112、122：接合面
120：基底板
123：连接电极
124：安装端子
125：侧面电极
126：城堡形部分
130、230、230a、230b、330a、330b、430a、430b、530a、530b、630a、630b、630c、730a、730b、730c、830a、830b、830c、930a、930b：压电振动片
131、431a、431b、531a、531b、631a、631b、631c、731a、831：激振部
131a：第一区域
131b：第二区域
131c：第三区域
132：框部
133、333a、333b、433：连结部
134：激振电极
135：引出电极
135a：侧面
136：贯通孔
138a：第一边
138b：第二边
141：密封材料 
161：框
170：力
171：斜面
181：金属膜
182：光阻剂
191、192、193、194、195、196：角部
197：空心箭头
200：印刷基板
331b：周边区域
533：第一辅助连结部
539a：第一连结区域
539b：第二连结区域
539c、639c：第三连结区域
739a：平面
739b、739c：曲面
833a、833b、833c、833d：第二辅助连结部
932a、932b：辅助框部
A-A、B-B、C-C、E-E、F-F、G-G：截面
L1a、L1b、LZ2、LZ3、LZ4、RZ2、WX2、WZ2：宽度
LX2、LZ1、RX1、RZ1、WX1、WZ1：长度
S101～S108：步骤
T1：第一厚度
T2：第二厚度
T4：第四厚度
T5：厚度
W530：压电晶圆
X、Y′、Z′：轴
具体实施方式
以下，基于附图来详细地对本发明的较佳实施方式进行说明。再者， 在以下的说明中，只要无旨在特别地对本发明进行限定的记载，则本发明的范围不限于这些方式。
第一实施方式
压电元件100的构成
图1是压电元件100的分解立体图。压电元件100包含：盖板110、基底板120、以及压电振动片130。例如使用AT切割石英晶体振动片(AT-cut quartz-crystal vibrating piece)作为压电振动片130。AT切割石英晶体振动片具有一主面(YZ面)，而该主面(YZ面)相对于晶体坐标系统(XYZ)的Y轴，以X轴为中心，从Z轴向Y轴方向倾斜35度15分。在以下的说明中，以AT切割石英晶体振动片的轴方向为基准，使用倾斜的新的轴作为Y′轴以及Z′轴。即，将压电元件100的长边方向作为X轴方向，将压电元件100的高度方向作为Y′轴方向，将与X轴方向及Y′轴方向垂直的方向作为Z′轴方向，对压电元件100进行说明。
压电振动片130包含：激振部131，以预定的振动频率发生振动；框部132，将激振部131予以包围；以及连结部133，将激振部131与框部132予以连结。激振部131与框部132之间的连结部133以外的区域成为贯通孔136，该贯通孔136沿着Y′轴方向，将压电振动片130予以贯通。在激振部131的+Y′轴侧的面与-Y′轴侧的面上形成有激振电极134，引出电极135从各激振电极134通过连结部133而引出至框部132为止。
基底板120配置在压电振动片130的-Y′轴侧。基底板120形成为矩形形状，该矩形形状在X轴方向上具有长边，在Z′轴方向上具有短边。在基底板120的-Y′轴侧的面上形成有一对安装端子124。该安装端子124经由焊锡(solder)而固定于印刷基板等，且与该印刷基板等形成电性连接，借此，压电元件100安装于印刷基板等。另外，在基底板120的四个角落的侧面形成有城堡形部分(castellation)126，在城堡形部分126中形成有侧面电极125。在基底板120的+Y′轴侧的面上形成有凹部121，在凹部121的周围形成有接合面122。另外，在接合面122的四个角落且在城堡形部分126的周围形成有连接电极123。该连接电极123经由形成于城堡形部分126的侧面电极125而电性连接于安装端子124。基 底板120在接合面122上，经由密封材料141(参照图2(a)、图2(b))而接合于压电振动片130的框部132的-Y′轴侧的面。另外，此时，连接电极123与压电振动片130的引出电极135形成电性连接。
盖板110配置在压电振动片130的+Y′轴侧。在盖板110的-Y′轴侧的面上形成有凹部111，在凹部111的周围形成有接合面112。盖板110在接合面112上，经由密封材料141(参照图2(a)、图2(b))而接合于压电振动片130的框部132的+Y′轴侧的面。
图2(a)是压电元件100的截面图。图2(a)是图1的A-A截面的截面图。对于压电元件100而言，盖板110的接合面112经由密封材料141而接合于压电振动片130的框部132的+Y′轴侧的面，基底板120的接合面122经由密封材料141而接合于框部132的-Y′轴侧的面。当压电振动片130的框部132与基底板120的接合面122接合时，框部132的-Y′轴侧的面上所形成的引出电极135与基底板120的接合面122所形成的连接电极123会形成电性连接。借此，激振电极134经由引出电极135、连接电极123、以及侧面电极125而电性连接于安装端子124。
图2(b)是压电振动片130的平面图。压电振动片130包含：激振部131；框部132，将激振部131予以包围；以及一根连结部133，将激振部131与框部132予以连结。连结部133连结于激振部131的-X轴侧的边即第一边138a的中央，且从该中央向-X轴方向延伸，从而连结于框部132。另外，激振部131与框部132之间的连结部133以外的区域成为贯通孔136，该贯通孔136沿着Y′轴方向，将压电振动片130予以贯通。激振部131形成为矩形形状，该矩形形状包含第一边138a、与激振部131的+Z′轴侧及-Z′轴侧的边即第二边138b。另外，可将激振部131分成第一区域131a、第二区域131b、以及第三区域131c地进行考虑，所述第一区域131a形成有激振电极134，所述第二区域131b直接连结于连结部133，所述第三区域131c为第一区域131a及第二区域131b以外的区域。第三区域131c形成在第一区域131a与第二区域131b之间。
在压电振动片130中，从+Y′轴侧的面上所形成的激振电极134引出的引出电极135，是通过第三区域131c、第二区域131b、以及连结部133而引出至-X轴侧的框部132，接着通过框部132的+Z′轴侧而向+X轴方 向延伸，经由侧面135a(参照图1及图2(a)、图2(b))，从+Y′轴侧引出至-Y′轴侧的面，然后形成至框部132的-Y′轴侧的面的+X轴侧的+Z′轴侧的角部为止，所述侧面135a包含与贯通孔136相向的框部132的+X轴侧的+Z′轴侧的角部。另外，从-Y′轴侧的面上所形成的激振电极134引出的引出电极135，是通过第二区域131b以及连结部133而引出至-X轴侧的框部132为止，接着向-Z′轴方向延伸，形成至框部132的-Y′轴侧的面的-X轴侧的-Z′轴侧的角部为止。
图3(a)是未形成有电极的压电振动片130的平面图。激振部131的第一边138a的长度为长度LZ1，第二边138b形成为长度LX2。在压电振动片130中，第一边138a为激振部131的短边，第二边138b为激振部131的长边，因此，长度LZ1比长度LX2更短。另外，将压电振动片130的框部132的X轴方向的整个长度设为长度WX1，将Z′轴方向的整个长度设为长度WZ1，将沿着Z′轴方向延伸的框部132的X轴方向的宽度设为宽度WX2，将沿着X轴方向延伸的框部132的Z′轴方向的宽度设为宽度WZ2。在压电振动片130中，例如关于所述各长度，长度LZ1形成为1.0mm，长度LX2形成为1.4mm，长度WX1形成为2.0mm，宽度WX2形成为0.2mm，长度WZ1形成为1.6mm，宽度WZ2形成为0.2mm。另外，若将压电振动片130的连结部133的Z′轴方向的长度设为长度RZ1，将第二区域131b的X轴方向的长度设为长度RX1，则在压电振动片130中，例如长度RZ1形成为0.2mm，长度RX1形成为0.1mm。
图3(b)是压电振动片130的截面图。图3(b)表示图2(b)的B-B截面图。对于压电振动片130而言，框部132在Y′轴方向上的厚度形成为第四厚度T4，连结部133及激振部131的第二区域131b的Y′轴方向的厚度形成为第一厚度T1，激振部131的第一区域131a及第三区域131c的Y′轴方向的厚度形成为第二厚度T2。在压电振动片130中，例如，第四厚度T4形成为80μm，第一厚度T1形成为70μm，第二厚度T2形成为40μm。
压电振动片230的构成
也可在压电振动片的第一区域131a中形成台面部，该台面部的Y′ 轴方向的厚度比第三区域131c更厚。以下，作为压电振动片130的变形例，对形成有台面部的压电振动片230进行说明。另外，在以下的说明中，对与压电振动片130相同的构成部分使用相同的记号，且将该构成部分的说明予以省略。
图4(a)是压电振动片230的平面图。压电振动片230是台面型的压电振动片(mesa-type piezoelectric vibrating piece)，该台面型的压电振动片的激振部131的第一区域131a在Y′轴方向上，形成得比第三区域131c更厚。台面型的压电振动片可抑制弯曲振动，该弯曲振动相对于激振部所产生的厚度剪力振动而言是多余的振动，从而可抑制晶体阻抗(Crystal Impedance，CI)值等的特性的劣化，因此优选。压电振动片230的其他构成与压电振动片130相同。
图4(b)是压电振动片230的截面图。图4(b)是图4(a)的C-C截面图。在压电振动片230中，第一区域131a的Y′轴方向的厚度、连结部133的Y′轴方向的厚度、以及第二区域131b的厚度形成为厚度T1，且形成得比第三区域131c的Y′轴方向的厚度即厚度T2更厚。
图4(c)是压电振动片230的放大部分截面图。图4(c)是图4(b)的虚线所包围的框161的放大图。在压电振动片230中，第二区域131b及第一区域131a是向+Y′轴方向，从第三区域131c仅多出厚度T5而形成，且是向-Y′轴方向，从第三区域131c仅多出厚度T5而形成。即，在压电振动片230中，第二区域131b及第一区域131a的厚度相等，且是从第三区域131c向+Y′轴方向及-Y′轴方向，以相等的厚度而形成。因此，在压电振动片230的制造步骤中，可借由一次性的蚀刻(etching)来同时形成连结部133、第二区域131b、以及第一区域131a的外形。因此，压电振动片230与压电振动片130相比较，步骤不会增加，可制作台面型的压电振动片，该台面型的压电振动片的第一区域131a在Y′轴方向上，形成得比第三区域131c更厚。
模拟(simulation)
当弯曲应力施加至安装有压电元件的印刷基板时，弯曲应力也会施加至压电元件以及压电振动片。可借由模拟来对此种施加有弯曲应力的压电振动片的部分及该部分的大小进行计算，且已确认所述模拟的值接 近于实际测定的弯曲应力的值。以下，对如下的弯曲应力的模拟结果进行说明，所述弯曲应力是在弯曲应力施加至安装有压电元件的印刷基板时，施加至压电振动片的弯曲应力。另外，在以下的说明中，对与压电振动片130相同的部分使用与压电振动片130相同的记号，且将该部分的说明予以省略。
图5(a)是印刷基板200及安装于印刷基板200的压电元件100的概略截面图。在印刷基板200的+Y′轴侧的面上安装有压电元件100。在模拟中，设想如下的状态，即，+Y′轴方向的力170施加至印刷基板200的-Y′轴侧的面，在印刷基板200中产生弯曲应力。另外，在模拟中，设想弯曲应力使印刷基板200向X轴方向弯曲的情况(当图5(a)中的右方向为+X轴方向时：X轴弯曲)、与弯曲应力使印刷基板200向Z′轴方向弯曲的情况(当图5(a)中的右方向为+Z′轴方向时：Z′轴弯曲)。
图5(b)是压电振动片330a的概略平面图。在图5(b)中，未表示形成于压电振动片330a的电极，仅表示了外形。压电振动片330a包含：激振部331、框部132、以及连结部333a，该连结部333a将激振部331与框部132予以连结。激振部331包含：第一区域131a，形成有激振电极；以及周边区域331b，将第一区域131a予以包围而形成。第一区域131a在Y′轴方向上的厚度形成为第一厚度T1，周边区域331b在Y′轴方向上的厚度形成为第二厚度T2，该第二厚度T2比第一厚度T1更薄。另外，连结部333a的Y′轴方向的厚度形成为第二厚度T2，且Z′轴方向的宽度形成为宽度L1a，所述连结部333a将激振部331的-X轴侧的边的中央与框部132予以连结。
图5(c)是压电振动片330b的概略截面图。在图5(c)中，未表示形成于压电振动片330b的电极，且仅表示了外形。压电振动片330b包含：激振部331、框部132、以及一对连结部333b，该一对连结部333b将激振部331与框部132予以连结。在压电振动片330b中，一对连结部333b分别连结于激振部331的-X轴侧的边的+Z′轴侧及-Z′轴侧的端部。另外，各连结部333b的Z′轴方向的宽度形成为宽度L1b。
图6是表示施加至第一区域131a的中央的应力的图解。纵轴表示施加至激振部331的第一区域131a的中央的应力，正值表示施加拉伸应力， 负值表示施加压缩应力。横轴表示压电振动片330a的连结部333a的宽度L1a为0.32mm、0.52mm、0.72mm时、以及压电振动片330b的连结部333b的宽度L1b为0.34mm时的Z′轴弯曲、及X轴弯曲的各个情况。
当压电振动片330a的宽度L1a为0.32mm时，在Z′轴弯曲中，施加-0.55MPa的应力，在X轴弯曲中，施加0.06MPa的应力。当压电振动片330a的宽度L1a为0.52mm时，在Z′轴弯曲中，施加-2.05MPa的应力，在X轴弯曲中，施加0.38MPa的应力。当压电振动片330a的宽度L1a为0.72mm时，在Z′轴弯曲中，施加-3.66MPa的应力，在X轴弯曲中，施加0.90MPa的应力。当压电振动片330b的宽度L1b为0.34mm时，在Z′轴弯曲中，施加-4.30MPa的应力，在X轴弯曲中，施加0.84MPa的应力。
根据图6的图解，已知：与连结部的根数为两根时相比较，当连结部的根数为一根时，施加至连结部的应力更高。另外，已知：当连结部为一根时，连结部的宽度L1a越细，则施加至激振部的第一区域131a的中央的应力越小。因此，根据图6的图解，已知：与连结部的根数为两根时相比较，当连结部的根数为一根时，以及当连结部的Z′轴方向的宽度细时，应力更不易施加至激振部的第一区域131a的中央。
图7(a)是表示应力施加至压电振动片时的施加至连结部的最大应力的图解。图7(a)是设想将3000G的应力施加至压电元件的+Y′轴侧的面的情况，进行模拟所得的结果。在图7(a)中，纵轴表示施加至连结部的最大应力，横轴表示压电振动片330a、压电振动片230a、压电振动片230b、以及压电振动片330b。对于压电振动片230a以及压电振动片230b而言，在图4(b)所示的压电振动片230中，连结部133的宽度RZ1分别为0.32mm、0.23mm，连结部133及第二区域131b的Y′轴方向的厚度分别为50μm、70μm。在压电振动片330a中，74.3MPa的最大应力施加至连结部，在压电振动片230a中，施加34.6MPa的最大应力，在压电振动片230b中，施加24.4MPa的最大应力，在压电振动片330b中，施加36.2MPa的最大应力。
对压电振动片330a与压电振动片230a进行比较之后，已知：若使 连结部的厚度变厚，则施加至连结部的应力会变小。以使连结部的Y′-Z′平面的截面积大致相等的方式，形成压电振动片230a与压电振动片230b，但在压电振动片230b中，施加至连结部的应力更小。一般认为原因在于：压电振动片230b的连结部的厚度比压电振动片230a的连结部的厚度更厚。压电振动片330b的连结部形成有两根连结部，施加至连结部的应力大于压电振动片230a及压电振动片230b。
图7(b)是表示施加至激振部的第一区域131a的中央的应力的图解。在图7(b)中，表示了压电振动片330a、压电振动片230a、以及压电振动片230b的应力。压电振动片230a与图6所示的结果相同，且是为了进行比较而再次被表示。对于压电振动片230a以及压电振动片230b，计算出了接近于压电振动片330a的值的应力，压电振动片230a以及压电振动片230b与压电振动片330a同样地，施加至第一区域131a的应力小。
根据所述结果，已知：对于压电振动片而言，当连结部的宽度形成得狭窄时，施加至激振部的应力变小(参照图6)。另外，预计若使连结部的厚度变厚，则施加至连结部的应力会变小，耐冲击性优异(参照图7(a))。此外，已确认：即便使连结部的厚度增大而使连结部的截面积增加，施加至激振部的应力也不会发生大变化(参照图7(b))。例如，对于压电振动片330a而言，已知：虽然施加至激振部的应力小(参照图6)，但施加至连结部的应力高(参照图7(a))，因此，耐冲击性弱。然而，在压电振动片230a以及压电振动片230b中，可将施加至连结部的应力抑制为低应力(参照图7(a))，并且也可将施加至激振部的第一区域131a的应力抑制为小应力，因此优选(参照图7(b))。即，已知：优选使压电振动片的连结部形成狭窄的宽度，且形成大厚度。而且，在激振部中，应力会集中于连结部133与第一边138a所形成的角部(例如图4(a)的角部196)，从而容易因以该角部为起点的裂缝而引起破损。所述裂缝是从形成角部的连结部133的侧面与第一边138a起，向彼此相等的角度的方向(图4(a)的空心箭头197的方向)产生。在压电振动片230a以及压电振动片230b中，将角部的裂缝的产生方向的Y′轴方向的厚度形成为大厚度，借此，角部的强度增加，因此，不易产生以连结 部133与第一边138a所形成的角部为起点的裂缝，可防止激振部的破损。
第二实施方式
压电振动片的激振部及连结部的阶差也可形成为斜面。以下，对形成有斜面的压电振动片430a及压电振动片430b进行说明。
压电振动片430a的构成
图8(a)是压电振动片430a的截面图。压电振动片430a包含：激振部431a、框部132、以及连结部433。压电振动片430a具有如下的形状，该形状是在压电振动片130(参照图3(b))中的第二区域131b与第三区域131c的边界、及连结部433与框部132的边界形成斜面171而成。以使+Y′轴方向与斜面171的法线方向所成的角度为小于90度的角度的方式，形成斜面171。形成于压电振动片430a的引出电极135是通过所述斜面171，从激振电极134引出至框部132为止。
压电振动片430b的构成
图8(b)是压电振动片430b的截面图。压电振动片430a包含：激振部431b、框部132、以及连结部433。压电振动片430b在压电振动片230(参照图4(b))中的第一区域131a与第三区域131c的边界、第二区域131b与第三区域131c的边界、以及连结部433与框部132的边界上形成有斜面171。形成于压电振动片430b的引出电极135是通过所述斜面171，从激振电极134引出至框部132为止。
借由如下的方法来形成压电振动片上所形成的电极，所述方法例如是从压电振动片的+Y′轴方向或-Y′轴方向，对电极进行溅镀。此时，当在具有阶差的压电振动片上形成电极时，存在如下的情况，即，在阶差的角部，电极的厚度变薄，导致电极的电阻上升。在压电振动片430a以及压电振动片430b中，经由斜面171而形成引出电极135，借此，可将形成于角部的电极的厚度形成为大厚度，从而抑制电极的电阻的上升。
第三实施方式
在压电振动片的连结部中，也可在连结部的侧面形成辅助连结部。以下，对形成有辅助连结部的压电振动片进行说明。
压电振动片530a的构成
图9(a)是压电振动片530a的平面图。压电振动片530a包含：激振部531a、框部132、连结部133、以及第一辅助连结部533。第一辅助连结部533形成在连结部133的+Z′轴侧及-Z′轴侧的侧面。另外，激振部531a的第二区域131b包括第一连结区域539a与第二连结区域539b。第一连结区域539a在Y′轴方向上形成为与连结部133相同的厚度，且直接连结于连结部133，第二连结区域539b形成在第一连结区域539a的+Z′轴侧及-Z′轴侧，在Y′轴方向上形成为与第一辅助连结部533相同的厚度，且直接连结于第一辅助连结部533。其他构成与压电振动片230(参照图4(a))相同。
图9(b)是压电振动片530a的截面图。图9(b)是图9(a)的E-E截面图。在压电振动片430中，第一连结区域539a的Y′轴方向的厚度形成为第一厚度T1，第二连结区域539b的Y′轴方向的厚度形成为第三厚度T3。第三厚度T3比激振部131的第三区域131c的第二厚度T2更厚，且比第一连结区域539a的第一厚度T1更薄。
图9(c)是压电振动片530a的截面图。图9(c)是图9(a)的F-F截面图。连结部133在Y′轴方向上形成为第一厚度T1，第一辅助连结部533在Y′轴方向上形成为第三厚度T3。另外，连结部133是以第一厚度T1而直接连结于第一连结区域539a，第一辅助连结部533是以第三厚度T3而直接连结于第二连结区域539b。
当在Y′轴方向上，较深地对压电振动片进行蚀刻时，存在如下的情况，即，不与蚀刻方向呈平行地对压电振动片的蚀刻区域进行蚀刻。例如，当在压电振动片530a中未形成有第一辅助连结部533时，存在如下的情况，即，连结部133的+Z′轴侧及-Z′轴侧的侧面的Y′轴方向的中央附近部分会向连结部133侧被挖掘。此时，连结部133的经挖掘的部分变细，因此，连结部133的强度降低，压电振动片的耐冲击性下降。在压电振动片530a中，在连结部133的+Z′轴侧及-Z′轴侧的侧面形成有第一辅助连结部533，因此，连结部133的+Z′轴侧及-Z′轴侧的侧面不会向连结部133侧大幅度地被挖掘，连结部133的强度不会降低，压电振动片的耐冲击性不会下降，因此优选。
压电振动片530b的构成
图10(a)是压电振动片530b的平面图。压电振动片530b包含：激振部531b、框部132、连结部133、以及第一辅助连结部533。在压电振动片530b中，在第二区域131b中形成有第一连结区域539a与第三连结区域539c，在连结部133的+Z′轴侧及-Z′轴侧的侧面形成有第一辅助连结部533。第一连结区域539a连结于连结部133，第三连结区域539c连结于第一辅助连结部533。另外，第三连结区域539c是以将第一连结区域539a与第三区域131c之间予以分开的方式，形成在第一连结区域539a的周围。其他构成与压电振动片230(参照图4(a))相同。
图10(b)是压电振动片530b的截面图。图10(b)是图10(a)的G-G截面图。在压电振动片530b中，连结部133的Y′轴方向的厚度及第一连结区域539a的厚度形成为第四厚度T4，第一辅助连结部533的Y′轴方向的厚度、第三连结区域539c的Y′轴方向的厚度、以及第一区域131a的Y′轴方向的厚度形成为第一厚度T1。
与压电振动片530a同样地，在压电振动片530b中形成有第一辅助连结部533，借此，连结部133的+Z′轴侧以及-Z′轴侧的侧面不会因蚀刻而大幅度地被挖掘。另外，第一辅助连结部533、第三连结区域539c、以及第一区域131a的厚度形成为相等的厚度，借此，可利用一次性的蚀刻来形成第一辅助连结部533、第三连结区域539c、以及第一区域131a，从而可使蚀刻步骤的次数减少，因此优选。
压电振动片530b的制作方法
参照图11(a)～图11(d)及图12(a)～图12(d)所示的流程图，对压电振动片530b的制作方法进行说明。另外，在图11(a)～图11(d)及图12(a)～图12(d)的流程图的右侧，表示了用以对图11(a)～图11(d)及图12(a)～图12(d)所示的各步骤进行说明的图。这些图是形成有多个压电振动片530b的压电晶圆W530的相当于图10(a)所示的压电振动片530的G-G截面的部分截面图。
图11(a)～图11(d)是表示压电振动片530b的制作方法的流程图。另外，在流程图的各步骤的右侧，表示了用以对各步骤进行说明的图即图11(a)～图11(d)。
在步骤S101中，准备压电晶圆W530。图11(a)是压电晶圆W530 的部分截面图。压电材料所形成的压电晶圆W530的+Y′轴侧及-Y′轴侧的面形成为平面，在压电晶圆W530上形成有多个压电振动片530b。另外，压电晶圆W530的Y′轴方向的厚度形成为第四厚度T4。
在步骤S102中，在压电晶圆W530上形成金属膜181及光阻剂(photoresist)182。图11(b)是形成有金属膜181及光阻剂182的压电晶圆W530的部分截面图。在步骤S102中，首先，在压电晶圆W530的+Y′轴侧及-Y′轴侧的面上形成金属膜181。例如，在压电晶圆W530上形成铬(Cr)层，将金(Au)层蒸镀于铬层的表面，借此来形成金属膜181。接着，在金属膜181的表面上形成光阻剂182。
在步骤S103中，对光阻剂182进行曝光、显影以及将金属膜181予以除去。图11(c)是光阻剂182已曝光、显影以及金属膜181已被除去的压电晶圆W530的部分截面图。在步骤S103中，首先，对压电晶圆W530的激振部531b的第一区域131a、第三区域131c、第二区域131b的第三连结区域539c、以及相当于贯通孔136的区域的+Y′轴侧及-Y′轴侧的区域中所形成的光阻剂182进行曝光及显影。接着，将光阻剂182已显影的区域中所形成的金属膜181予以除去。
在步骤S104中，对压电晶圆W530进行蚀刻。图11(d)是在步骤S104中经蚀刻之后的压电晶圆W530的部分截面图。对压电晶圆W530进行蚀刻的区域是已利用步骤S103将光阻剂182及金属膜181予以除去的区域。压电晶圆W530是以如下的方式形成，即，对+Y′轴侧及-Y′轴侧的面进行蚀刻，借此，使经蚀刻的区域的压电晶圆W530的厚度达到第一厚度T1。在压电晶圆W530的未经蚀刻的区域中，包含：框部132、连结部133、以及第二区域的第一连结区域539a，形成有所述部分的区域的Y′轴方向的厚度保持第四厚度T4。
图12(a)～图12(d)是表示压电振动片530b的制作方法的流程图。在图12(a)～图12(d)所示的流程图中，表示了图11(a)～图11(d)的流程图的后续流程。另外，在流程图的各步骤的右侧，表示了用以对各步骤进行说明的图即图12(a)～图12(d)。
在步骤S105中，在压电晶圆W530上形成光阻剂182及金属膜181。步骤S105是紧接着图11(a)～图11(d)的步骤S104来进行的步骤。 另外，图12(a)是形成有光阻剂182及金属膜181的压电晶圆W530的部分截面图。在步骤S105中，形成于压电晶圆W530的光阻剂182及金属膜181全部被除去，然后，重新在压电晶圆W530的+Y′轴侧及-Y′轴侧的面上形成金属膜181及光阻剂182。
在步骤S106中，对光阻剂182进行曝光、显影以及将金属膜181予以除去，对压电晶圆W530进行蚀刻。图12(b)是经蚀刻的压电晶圆W530的部分截面图。在步骤S106中，首先，对压电晶圆W530的激振部531b的第三区域131c、以及相当于贯通孔136的区域的+Y′轴侧及-Y′轴侧的区域中所形成的光阻剂182进行曝光及显影。接着，将光阻剂182已被除去的区域中所形成的金属膜181予以除去。然后，对压电晶圆W530进行蚀刻，经蚀刻的区域的压电晶圆W530的厚度形成为第二厚度T2。
在步骤S107中，对压电晶圆W530进行蚀刻，形成贯通孔136。图12(c)是形成有贯通孔136的压电晶圆W530的部分截面图。在步骤S106之后，在步骤S107中，形成于压电晶圆W530的光阻剂182及金属膜181全部被除去。然后，重新在压电晶圆W530的+Y′轴侧及-Y′轴侧的面上形成金属膜181及光阻剂182。接着，对压电晶圆W530的相当于贯通孔136的区域的+Y′轴侧及-Y′轴侧的区域中所形成的光阻剂182进行曝光及显影，将光阻剂182已显影的区域中所形成的金属膜181予以除去。接着，对压电晶圆W530进行蚀刻，经蚀刻的区域的压电晶圆W530在Y′轴方向上贯通。该压电晶圆W530在Y′轴方向上贯通而成的区域成为贯通孔136。
在步骤S108中，在压电晶圆W530上形成电极。图12(d)是形成有电极的压电晶圆W530的部分截面图。在步骤S107之后，在步骤S108中，形成于压电晶圆W530的光阻剂182及金属膜181全部被除去，然后，在压电晶圆W530上形成激振电极134以及引出电极135。
根据以上内容，在压电晶圆W530上形成多个压电振动片530b。另外，在步骤S108之后，将压电晶圆W530经由密封材料141(参照图2(a))，接合于形成有多个盖板110的盖晶圆(未图示)及形成有多个基底板120的基底晶圆(未图示)。然后，将已接合的晶圆予以切断且分 割成单个的晶圆，借此来形成压电元件。
在图11(a)～图11(d)及图12(a)～图12(d)所示的压电振动片530b的制作过程中，分别在步骤S104、步骤S106、以及步骤S107中，对压电晶圆W530进行蚀刻。在压电振动片530b中，第三连结区域539c、第一区域131a、以及第一辅助连结部533形成为相同的厚度，借此，如步骤S106所示，可利用一次性的蚀刻来形成第三连结区域539c、第一区域131a、以及第一辅助连结部533，从而可使蚀刻步骤减少，因此优选。
第四实施方式
对于压电振动片而言，应力会集中于形成有角部的部位，容易引起以角部为起点的破损。以下，对所述破损已被防止的压电振动片进行说明。
压电振动片630a以及压电振动片630b的构成
形成于压电振动片的第二区域的Z′轴方向的宽度，也可形成得大于连结部的Z′轴方向的宽度。以下，对压电振动片630a进行说明，该压电振动片630a的第二区域的Z′轴方向的宽度，形成得大于连结部的Z′轴方向的宽度。
图13(a)是压电振动片630a的平面图。压电振动片630a是由激振部631a、框部132、以及连结部133形成。激振部631a的第二区域131b的Z′轴方向的宽度形成为宽度LZ2，第二区域131b中所含的第一边138a的宽度也形成为宽度LZ2。另外，宽度LZ2形成得大于连结部133的Z′轴方向的宽度RZ1。借此，连结部133与激振部631a所形成的角部191，是形成为被连结部133与第二区域131b包围，所述连结部133与第二区域131b形成为第一厚度T1。其他构成与图2(b)所示的压电振动片130相同。
图13(b)是压电振动片630b的部分平面图。在图13(b)中，表示了压电振动片630b的-X轴侧的一半的平面图。压电振动片630b是由激振部631b、框部132、以及连结部133形成。激振部631b的第二区域131b的Z′轴方向的宽度形成为宽度LZ1，该宽度LZ1是与激振部631b的Z′轴方向的宽度相同的宽度。因此，连结部133与激振部631b所形 成的角部192，是形成为被连结部133与第二区域131b包围，所述连结部133与第二区域131b形成为第一厚度T1。其他构成与图2(b)所示的压电振动片130相同。
图13(c)是压电振动片630c的部分平面图。在图13(c)中，表示了压电振动片630c的-X轴侧的一半的平面图。压电振动片630c是由激振部631c、框部132、连结部133、以及第一辅助连结部533形成。在压电振动片630c中，在激振部631c的第二区域131b中形成有第一连结区域539a与第三连结区域639c，在连结部133的+Z′轴侧及-Z′轴侧的侧面形成有第一辅助连结部533。第一连结区域539a连结于连结部133，第三连结区域639c连结于第一辅助连结部533。另外，第三连结区域639c是以将第一连结区域539a与第三区域131c之间予以分开的方式，形成在第一连结区域539a的周围。激振部631c的第二区域131b的Z′轴方向的宽度形成为宽度LZ3，第二区域131b中所含的第一边138a的宽度也形成为宽度LZ3。另外，宽度LZ3形成得比Z′轴方向的宽度RZ2更大，该Z′轴方向的宽度RZ2是将连结部133及第一辅助连结部533合并而成的宽度。借此，第一辅助连结部533与激振部631c所形成的角部193，是形成为被第一辅助连结部533与第三连结区域639c包围，所述第一辅助连结部533与第三连结区域639c形成为第一厚度T1。其他构成与压电振动片530b(参照图10(a))相同。
在压电振动片中，应力容易施加至连结部与激振部所形成的角部，且容易以该角部为起点而在压电振动片中产生裂缝。在压电振动片630a、压电振动片630b、以及压电振动片630c中，将角部191、角部192、以及角部193的Y′轴方向的厚度形成为大厚度，借此，角部的强度增加，因此，不易产生以角部191、角部192、以及角部193为起点的裂缝。
压电振动片730a、压电振动片730b、以及压电振动片730c的构成
也可以曲面或平面来对形成于压电振动片的第二区域的角部进行斜切。以下，对第二区域的角部经斜切的压电振动片进行说明。
图14(a)是压电振动片730a的平面图。压电振动片730a是由激振部731a、框部132、以及连结部133形成。在压电振动片730a中，以 平面739a来对激振部731a的第二区域131b的激振电极134侧所形成的侧面的角部进行切割，借此来进行斜切。其他构成与图2(b)所示的压电振动片130相同。
图14(b)是压电振动片730b的部分平面图。图4(b)表示压电振动片730b的-X轴侧的一半的平面图。在压电振动片730b中，第二区域131b的激振电极134侧的侧面是以包括曲面739b的方式而形成，所述曲面739b的平面形状为圆形的一部分。因此，第二区域131b中不存在角部。压电振动片730b的其他构成与图2(b)所示的压电振动片130相同。
图14(c)是压电振动片730c的部分平面图。图4(c)表示压电振动片730c的-X轴侧的一半的平面图。在压电振动片730c中，第二区域131b的激振电极134侧的侧面是以包括曲面739c的方式而形成。所述曲面739c的平面形状为如下的形状，即，在+X轴方向上形成有两个山状部，在第二区域131b中不存在角部。压电振动片730c的其他构成与图2(b)所示的压电振动片130相同。
在压电振动片730a、压电振动片730b、以及压电振动片730c中，在激振部的第二区域中未形成有角度为90度以下的角部。因此，第二区域131b中无应力集中的部位，从而防止由第二区域131b的角部引起的压电振动片的破损。
压电振动片830a、压电振动片830b、压电振动片830c的构成
也可在连结部与激振部的第一边之间所形成的角部，形成第二辅助连结部。以下，对形成有第二辅助连结部的压电振动片进行说明。
图15(a)是压电振动片830a的部分平面图。在图15(a)中，表示了压电振动片830a的-X轴侧的一半的平面图。压电振动片830a是由激振部131、框部132、连结部133、以及第二辅助连结部833a形成。第二辅助连结部833a形成在连结部133的+Z′轴侧及-Z′轴侧，且Y′轴方向的厚度形成为与第三区域131相同的第二厚度T2(参照图3(b))。另外，包含角部194地形成第二辅助连结部833a，所述角部194形成在连结部133与激振部131及框部132之间。其他构成与图2(b)所示的压电振动片130相同。
图15(b)是压电振动片830b的部分平面图。在图15(b)中，表示了压电振动片830b的-X轴侧的一半的平面图。与压电振动片830a同样地，压电振动片830b也具有如下的形状，即，在压电振动片130上形成有第二辅助连结部。形成于压电振动片830b的第二辅助连结部833b形成为第二厚度T2，且该第二辅助连结部833b形成于角部194，该角部194形成在连结部133与激振部131及框部132之间。关于第二辅助连结部833b的平面形状，各第二辅助连结部833b的X-Z′平面的平面形状形成为三角形。该三角形的两条边形成于第一边138a及连结部133的侧面，另一条边是由不与X轴方向及Z′轴方向呈平行的直线形成。因此，如图15(b)所示，在连结部133与第一边138a及框部132之间，未形成有90度以下的角部。
图15(c)是压电振动片830c的部分平面图。在图15(c)中，表示了压电振动片830c的-X轴侧的一半的平面图。与压电振动片830a同样地，压电振动片830c也具有如下的形状，即，在压电振动片130上形成有第二辅助连结部。形成于压电振动片830c的第二辅助连结部833c形成为第二厚度T2，且该第二辅助连结部833c形成于连结部133的+Z′轴侧及-Z′轴侧的侧面。第二辅助连结部833c的处于连结部133相反侧的侧面是形成为向连结部133侧凹陷的曲面。因此，第二辅助连结部833c与第一边138a及框部132之间的角部194未形成为90度以下的角部。
图15(d)是压电振动片830d的部分平面图。在图15(d)中，表示了压电振动片830d的-X轴侧的一半的平面图。压电振动片830d是由激振部831、框部132、连结部133、以及第二辅助连结部833d形成。第二辅助连结部833d形成为与连结部133及第二区域131b的厚度相同的第一厚度T1，且该第二辅助连结部833d形成于角部194，该角部194形成在连结部133与激振部831及框部132之间。关于第二辅助连结部833d的平面形状，各第二辅助连结部833d的X-Z′平面的平面形状形成为三角形。该三角形的两条边形成于第一边138a及连结部133的侧面，另一条边是由不与X轴方向及Z′轴方向呈平行的直线形成。因此，如图15(d)所示，在连结部133与第一边138a及框部132之间，未形成有90度以下的角部。另外，激振部831的第二区域131b在Z′轴方向上的 宽度形成为宽度LZ4，该宽度LZ4形成得大于连结部133的Z′轴方向的宽度即宽度RZ2。另外，第二区域131b在第一边138a上形成为宽度LZ4，该第二区域131b是以第一厚度T1而直接连结于连结部133及+X轴侧的第二辅助连结部833d。另外，在图15(d)所示的压电振动片830d中，第二辅助连结部的平面形状也可以包括如下的曲面的方式而形成，所述曲面是如图15(c)所示的第二辅助连结部833c那样的向连结部133侧凹陷的曲面。
在压电振动片830a中，借由第二辅助连结部833a来将连结部133与第一边138a及框部132之间的角部194予以加强。另外，在压电振动片830b及压电振动片830c中，借由第二辅助连结部833b及第二辅助连结部833c来将连结部133与第一边138a及框部132之间的角部194予以加强，并且第一边138a与连结部133之间的角部不会变成90度以下，因此，不易产生以第一边138a与连结部133之间的角部139为起点的裂缝。
压电振动片930a、压电振动片930b的构成
在压电振动片中，在框部也形成有角部。如图15(b)及图15(c)所示，当以大于90度的角度来形成角部时，可防止角部成为裂缝等的起点。因此，也可在框部形成辅助框部，该辅助框部用以将框部的角部予以加强。以下，对在框部的角部形成有辅助框部的压电振动片进行说明。
图16(a)是压电振动片930a的平面图。压电振动片930a是由激振部131、框部132、连结部133、以及辅助框部932a形成。辅助框部932a分别形成在框部132的与激振部131相向的侧面的四个角落。各辅助框部932a的X-Z′平面的平面形状形成为三角形，三角形的两条边由框部132的侧面共用，另外一条边是由不与X轴方向及Z′轴方向呈平行的直线形成。因此，借由辅助框部932a来防止框部132的激振部131侧侧面的四个角落的角部195变为90度以下。
图16(b)是压电振动片930b的平面图。压电振动片930b是由激振部131、框部132、连结部133、以及辅助框部932b形成。辅助框部932b分别形成在框部132的与激振部131相向的侧面的四个角落。各辅 助框部932b的X-Z′平面的平面形状形成为如下的形状，该形状被由框部132的侧面共用的两条边、及向角部195侧凹陷的曲线包围。与压电振动片930a同样地，在压电振动片930b中，也防止框部132的激振部131侧侧面的四个角落的角部195变为90度以下。
在压电振动片930a及压电振动片930b中，在框部132的角部195形成有辅助框部，借此，不易产生以框部132的角部195为起点的裂缝，耐冲击性提高。另外，辅助框部形成为与框部132、连结部133、以及第三区域131c的厚度均相同的厚度，借此，可使压电振动片的制作步骤中的蚀刻次数减少，因此优选。
以上，已详细地对本发明的最佳实例进行了说明，但本领域技术人员显然了解：可在本发明的技术范围内，对实例添加各种变更、变形来实施。
例如，在所述实施方式中，第一边形成得比第二边更短，但第一边也可形成得比第二边更长。另外，在所述实施方式中所说明的基底板120的四个角落，形成有圆筒形的城堡形部分126，但也可在基底板上，形成从基底板的角部沿着短边方向延伸的形状的城堡形部分、或以不包含基底板的四个角落的方式而形成于基底板的短边的形状的城堡形部分等。
另外，在所述实施方式中，已表示了压电振动片为AT切割石英晶体振动片的情况，但同样地，即使所述压电振动片是以厚度切变振动模式(thickness-shear vibration mode)而发生振动的BT切割石英晶体振动片，也同样适用。而且，压电振动片基本上不仅可应用晶体材料，而且可应用包含钽酸锂或铌酸锂或者压电陶瓷的压电材料。

Claims (17)

1.一种压电振动片，其特征在于包括：
激振部，为矩形形状，包含第一边以及第二边，所述第一边沿着第一方向延伸，所述第二边沿着第二方向延伸，所述第二方向与所述第一方向正交；
框部，将所述激振部予以包围；以及
连结部，将所述激振部的所述第一边与所述框部予以连接，所述连结部在第三方向上具有第一厚度，所述第三方向与所述第一方向及所述第二方向正交，
所述激振部包含第一区域、第二区域以及第三区域；在所述第一区域的两个主面上形成有一对激振电极；所述第二区域包含所述第一边的至少一部分，且所述第二区域以所述第一厚度而直接连接于所述连结部；所述第三区域配置在所述第一区域与所述第二区域之间，且所述第三区域是所述第一区域及所述第二区域以外的区域，而且所述第三区域在所述第三方向上的厚度为第二厚度，所述第二区域在所述第三方向上的厚度形成得比所述第二厚度更厚，其中所述激振部与所述框部之间的所述连结部以外的区域成为贯通孔，所述贯通孔沿着所述第三方向，将所述压电振动片予以贯通。
2.根据权利要求1所述的压电振动片，其特征在于：
所述第一边的长度比所述第二边的长度更短。
3.根据权利要求1所述的压电振动片，其特征在于：
所述连结部连接于所述第一边的中央。
4.根据权利要求1所述的压电振动片，其特征在于：
所述第一区域在所述第三方向上的厚度形成比所述第二厚度更厚。
5.根据权利要求4所述的压电振动片，其特征在于：
所述第一区域借由第一斜面而连接于所述第三区域，所述第一斜面相对于所述第三方向具有预定的角度。
6.根据权利要求1所述的压电振动片，其特征在于：
所述第二区域借由第二斜面而连接于所述第三区域，所述第二斜面相对于所述第三方向具有预定的角度。
7.根据权利要求1所述的压电振动片，其特征在于还包括：
第一辅助连结部，设置于所述连结部的所述第一方向的侧面形成有第一辅助连结部，所述第一辅助连结部具有第三厚度，其中所述第三厚度比所述第一厚度更薄且比所述第二厚度更厚，
所述激振部的所述第二区域包含具有所述第一厚度的第一连结区域，所述第一连结区域直接连结于所述连结部；以及具有所述第三厚度的第二连结区域，所述第二连结区域连接于所述第一辅助连结部。
8.根据权利要求7所述的压电振动片，其特征在于：
所述第二连结区域形成在整个所述第一连结区域与所述第三区域之间。
9.根据权利要求4所述的压电振动片，其特征在于：
所述第一区域在所述第三方向上的厚度为所述第一厚度。
10.根据权利要求7所述的压电振动片，其特征在于：
所述第一区域在所述第三方向上的厚度为所述第三厚度。
11.根据权利要求1所述的压电振动片，其特征在于还包括：
第二辅助连结部，设置于所述连结部的所述第一方向的侧面，所述第二辅助连结部具有所述第二厚度。
12.根据权利要求11所述的压电振动片，其特征在于：
所述第二辅助连结部利用曲面或平面来将所述连结部的所述第一方向的侧面与所述第一边及所述框部予以连接，所述平面具有从所述第一方向朝所述第二方向倾斜了预定角度的法线。
13.根据权利要求1所述的压电振动片，其特征在于：
对所述第二区域的所述激振电极侧的侧面的角部进行倒角以具有曲面或平面。
14.根据权利要求1所述的压电振动片，其特征在于：
所述连结部在所述第一方向上具有第一宽度，所述第二区域在所述第一方向上具有第二宽度，
所述第一宽度小于所述第二宽度。
15.根据权利要求1所述的压电振动片，其特征在于还包括：
多个辅助框部，分别设置于所述框部的所述激振部侧的侧面的四个角落，
其中所述辅助框部包含与所述激振部相向的侧面，所述与所述激振部相向的侧面具有曲面或平面，所述平面具有从所述第一方向朝所述第二方向倾斜了预定角度的法线。
16.根据权利要求15所述的压电振动片，其特征在于：
所述辅助框部在所述第三方向上的厚度是所述框部在所述第三方向上的厚度、所述第一厚度、或所述第二厚度中的任一个厚度。
17.一种压电元件，其特征在于包括：
根据权利要求1至16中任一项所述的压电振动片；
盖板，接合于所述压电振动片的所述框部的一个主面；以及
基底板，接合于所述压电振动片的所述框部的另一个主面。
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