CN102881652B - 用于amoled面板制造的分割掩模框架组件制造装置 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种分割掩模框架组件的制造装置，其目的在于提供一种高精细的掩模框架组件制造装置，该制造装置包括夹持器装置及背射照明装置，所述制造装置用于在AMOLED面板制造工序中的蒸镀用掩模框架组件工序中，为制造大屏幕TV或移动用AMOLED面板而制造水平型掩模框架组件，其特征在于，准备形成Y方向裙摆的分割掩模后，夹持器直接对其把持并按顺序移动到焊接位置，水平移动型夹持器具备为了防止焊接时出现褶皱而拉伸Y方向裙摆的Y方向夹持器，背射照明装置用于提高分割掩模的格子上形成的带与基体玻璃格局间的定位度。
Description
技术领域
本发明涉及一种分割掩模框架组件(Mask Frame Assembly)的制造装置，该制造装置包括夹持器装置及背射照明装置，所述制造装置用于在AMOLED面板制造工序中的蒸镀用掩模框架组件工序中，为制造大屏幕TV或移动用AMOLED面板而制造水平型掩模框架组件，更详细说是涉及一种为了制造大屏幕的多面取掩模框架组件的高精细的掩模框架组件制造装置，其特征在于，包括：水平移动型夹持器，依次把持并供给两侧面仅有X裙摆或形成Y方向裙摆多数的分割掩模；Y方向夹持器，设置于所述水平移动型夹持器上，为了防止宽度大的分割掩模沿宽方向生成褶皱，将Y方向裙摆以上部方向把持后拉伸；背射照明装置，精密测量分割掩模的格子中形成的带与基体玻璃格局间的定位程度来提高定位程度。
背景技术
OLED(有机发光二极管)的反应速度相比于薄膜晶体管液晶显示器(TFT LCD)要快得多。此外，因为自身可以发光，无需背光灯，因此厚度与重量可以减少三分之一，是具有宽视角与低电耗构造的次世代显示器。
这样的OLED分为AM方式(自动)与PM方式(手动)。PMOLED相比于AMOLED，生产成本低廉，但在耗电、寿命、分辨率上受到限制。AMOLED在每个像素里都用TFT与电容，在耗电、寿命、分辨率侧面上都很优秀，因此忽略了因为TFT制造而导致的生产成本高的缺点，现在在各个领域中受到广泛的开发与接连不断地量产尝试。
AMOLED的最大优点在于其在画质上的竞争力。相比于最大竞争对手的LCD，其对色的再现率高出了30％，对比度甚至优秀20倍之多。LCD最大缺点的影像残像现象在AMOLED中也无从找寻。这是因为，相反于LCD，背光源是将间接光源通过液晶、彩色滤光器等，有点复杂的画面显示，AMOLED是通过有机物质自身发光直接在线自然色的画面。
此外，OLED相比于LCD，其构造非常简单，因此在部件侧面也非常有利。
但是，查看OLED材料原价、驱动电路、驱动IC价格时，OLED的贬值比率居然大到，占了整体原价的一半。这是因为OLED尚未在消费者之间大众化，导致很难起到通过大规模生产降低生产成本的效果。但是可以期待随着时间的推移，其物量增加后，贬值比率得到下跌使其价格层面上可以与LCD进行竞争。其理由是因为通过自身发光的方式，不需要BLU与彩色滤光片等，因此部件少且简单，所以可以充分降低成本。
因此，为了使其获得价格竞争力，在减少贬值比率方面需要各界的努力。
但是为了实现大量生产，还有需要逾越的技术性问题。即，需要克服，发光的有机物质的制造环境非常敏感，使制造品质高的良好的显示装置变得困难，因此导致数率低下的问题；此后，越大型化越难以确保数率的系统性问题。
以下，参照表示利用原状方式的掩模框架组件的有机物蒸镀机中制造AMOLED的原理示意图的图11，来查看利用AMOLED(Active Matrix/Organic Light Emitting Diode，主动矩阵有机发光二极管)的以往显示面板的制造方法。
原状()方式AMOLED显示面板的基本构造是玻璃基板上形成正电极的ITO(Indium-Tin-Oxide)，在其上面蒸镀R、G、B有机物，之后在其上面形成负电极，使正电极与负电极进行通电并发光的简单构造。
为了制造具有这样的基本构成的AMOLED显示器的以往的掩模拉伸(Mask Stretching)方式是将掩模对照所定的目标(Target)位置的方式，需要反复执行测量掩模框架组件的带(Stripe)位置并补偿的流程(Flow)，来进行对其配对(Matching)的方式。
因此，可以正确地诱导对其配对有机沉降器内玻璃基板元件的R、G、B位置与Mask的Open部位，蒸镀源(Source)中进行蒸发(Evaporating)并使有机物在玻璃基板元件内隔膜间进行沉降的掩模框架组件的精密度非常重要。
这种掩模框架组件中应用原状掩模(Mask)的拉伸(Stretching)方式，因为原状掩模(Mask)自身的制造误差、掩模缺点导致的数率低下及材料生产商所供给的掩模线圈大小(Mask Coil Size)等的限定，现在可以的是四世代半级的30"原状TV水准，最大化大小(Size)为42"单面取水准为最高水准的技术。但因为高价的蒸镀消耗品构成，其经济性上具有限制性。
因为这种原因，以往量产的AMOLED大部分为小型面板大小。即，使用由一个原状构成的掩模制造掩模框架组件，因此生产大屏幕的AMOLED时其大小受到限制。利用由一个原状构成的掩模很难实现大型化的理由是，作为掩模原材料的线圈的供给大小没有生产为大型化所需大小。即，因为盈利性问题，线圈生产商不会去生产AMOLED显示厂商所需大小的线圈。
另一方面，图12表示以往利用落斜照明测量位置对其程度的示意图。如图所示，为了落斜照明的构成是在下部，掩模框架组上部定位设置换装闪光灯(省略图示)的摄像机后，向下部方向照射。如上所述，进行落斜照明时，摄像机会通过分割掩模上形成的带加工的间隙空间，拍摄设置于A1材质的基体玻璃固定夹具上部的基体玻璃上的格局，通过分割掩模的格子中形成的带间隙来确认格局的位置是否定位为均匀的间隔。如果通过带间隙无法精密测量格局位置是否处于正位置，于对其有误的分割掩模有可能会焊接与框架上，这种情况下沉降有机源制造AMOLED面板是，只会量产出不良品。
因为这种理由，虽然精密的测量很重要，但以往使用落斜照明时存在因为分割掩模的表面粗糙度及不均匀的腐蚀状态导致的散射等引起的杂讯导致照明的亮度均匀性低下的问题。
此外，存在分辨率增大使带宽度减小而引起上部落斜照明的影子导致无法确认界限部分等等的问题，仅依靠落斜照明方式遇到了确认位置对其上的限界。
因此，即使基体玻璃格局的位置对其于带的间隙空间部，也有可能出现无法测量的问题。
发明内容
(要解决的技术问题)
为了解决如上所述的问题，本发明的目的在于提供一种高精细的分割掩模框架组件的制造装置，其构成包括：利用分割掩模制造大屏幕的TV或移动用AMOLED面板时，准备两侧面上形成Y方向裙摆的分割掩模后，夹持器直接对其把持并按顺序移动到焊接位置；水平移动型夹持器具备将Y方向裙摆向上部方向把持后进行拉伸的Y方向夹持器，为了焊接时防止宽方向长度变大的分割掩模发生的褶皱；背射照明装置，移动到的分割掩模在进行焊接前，为了提高分割掩模的格子上形成的带与基体玻璃格局间的定位度。
此外，本发明的另一目的在于提供一种分割掩模框架组件的制造装置，使通过基体玻璃的背射照明变得可能，并为了防止因照明引起的热化，将石英材质作为基体玻璃的夹具。
此外，本发明的另一目的在于提供一种分割掩模框架组件的制造装置，为了减少设置的背射照明测量分割掩模的格子上形成的带与基体玻璃格局间的定位度时，照明热化引起的定位度的误差，照明由边型LED白光灯构成。
(解决问题的手段)
为了达成如上所述目的并去除以往的缺点，本发明的目的在于提供一种分割掩模框架组件的制造装置，该制造装置包括夹持器装置及背射照明装置，所述制造装置用于在AMOLED面板制造工序中的蒸镀用掩模框架组件工序中，为制造大屏幕TV或移动用AMOLED面板而制造水平型掩模框架组件，其特征在于，包括：一对分割掩模移送用直线伺服电机；水平移动型夹持器，包括：多个分割掩模夹持器，分别搭载于所述直线伺服电机上，对分割掩模进行把持后施加张力；Y方向夹持器，把持并拉伸形成于所述分割掩模两侧端的Y方向裙摆，从而水平移动型夹持器将分割掩模水平移动到设定的框架位置；基体玻璃及背射照明上下拉动装置，向固定设置的框架下部方向依次装载基体玻璃与向基体玻璃方向照射照明的背射照明装置；移送装置，设置于所述掩模移送用直线伺服电机上部侧，向X、Y、Z方向移送搭载于下部的影像及激光焊接装置；影像及激光焊接装置，包括搭载于所述移送装置并具备设置落斜照明装置的摄像机、激光位移传感器及激光焊接装置。
本发明作为优选方式，所述水平移动型夹持器的结构如下，即，在构成直线伺服电机的导轨以及设置于导轨上部的导块上部，按照联动并移动的方式设置多个分割掩模夹持器及多个设置于分割掩模夹持器两侧端的Y方向夹持器。
本发明作为优选方式，所述Y方向夹持器包括：掩模导辊，支持分割掩模中形成的Y方向裙摆；升下降滚轴单元，上下拉动所述掩模导辊；掩模夹具，把持所述Y方向裙摆；掩模夹具气缸，使所述掩模夹具运作；夹紧块，搭载所述掩模夹具与所述掩模夹具气缸；拉伸气缸，使所述夹紧块进行前后进来施加拉伸力。
本发明作为优选方式，所述夹紧块上设置有：倾斜块，对其下部倾斜方向前后进进行导航；导轨，使结合于所述倾斜块下部的导块沿着分割掩模夹持器的前后进方向进行滑动。
本发明作为优选方式，所述基体玻璃具有石英材质的透明基体玻璃夹具位于其下部并进行支持的结构。
本发明作为优选方式，所述背射照明装置为LED作为光源的LED照明装置。
本发明作为优选方式，所述LED照明装置为光源由侧方向提供的边缘型LED照明装置。
(发明的效果)
如上所述的本发明具有，利用分割掩模制造大屏幕的TV或移动用AMOLED面板时，准备两侧面上形成Y方向裙摆的分割掩模后，夹持器直接对其把持并按顺序移动到焊接位置，由此可以减少夹持器数量，还可以随时应对分割掩模大小的变更，将分割掩模供给到正确的框架位置上进行定位的优点；
此外，水平移动型夹持器上具备的Y方向夹持器，为了防止宽方向长度变大的分割掩模发生的褶皱，将分割掩模上形成的Y方向裙摆以任意角度向上部方向进行把持拉伸来放置褶皱的优点；
此外，包括了提高分割掩模的格子上形成的带与基体玻璃格局间的定位度的背射照明装置构成，从而使制造高精细的分割掩模框架组件变为可能的优点；
此外，设置背射照明测量分割掩模的格子上形成的带与基体玻璃格局间的定位度时，使用石英材质的透明基体玻璃家具及边型LED白光灯来减少照明热化引起的定位度误差，从而从而使制造高精细的分割掩模框架组件变为可能的优点的有用发明，其在产业上的利用备受期待。
附图说明
图1是表示根据本发明的一实施例的分割掩模框架组件装置的概略性的平面结构图。
图2是表示根据本发明的一实施例的分割掩模框架组件装置的概略性的正面结构图。
图3是表示根据本发明的一实施例的分割掩模框架组件装置的概略性的侧面结构图。
图4是表示根据本发明的一实施例的安装有Y方向夹持器的水平移动型夹持器一部分的扩大示意图。
图5是表示根据本发明的一实施例的利用背射照明测量对其程度的示意图。
图6是表示根据本发明的一实施例的构成背射照明装置的框架长边方向的基体玻璃及背射照明上下拉动装置的示意图。
图7是表示根据本发明的一实施例的构成背射照明装置的框架短边方向的基体玻璃及背射照明上下拉动装置的示意图。
图8是表示根据本发明的一实施例的Y方向夹持器对分割型掩模的Y裙摆拉伸作用的示意图。
图9是表示根据本发明的Y方向夹持器对分割型掩模的Y裙摆进行拉伸从而大大改善褶皱的图形。
图10是表示本发明的背射照明下拍摄的PPA(Pixel Position Accuracy)测量结果与以往方式测量结果的示意图。
图11是表示以往原状方式掩模框架组件由有机物蒸镀机中制造AMOLED的原理示意图。
图12是表示以往利用落斜照明测量位置对其程度的示意图。
(附图标记说明)
1：直线伺服电机 2：水平移动型夹持器
3：基体玻璃及背射照明上下拉动装置
4：移送装置 5：影像及激光焊接装置
6：分割掩模装载装置 11：导轨
12：导块 21：分割掩模夹持器
22：Y方向夹持器 31：基体玻璃
32：背射照明装置 33：基体玻璃夹具
41：X方向移送装置 42：Y方向移送装置
43：Z方向移送装置 51：设置了落斜照明装置的摄像机
52：激光位移传感器及激光焊接装置
71：分割掩模 72：框架
711：Y方向裙摆 2201：掩模导辊
2202：滚轴支持球 2203：滚轴升下降单元
2204：滑块 2205：支持体
2206：掩模夹具 2207：掩模夹具气缸
2208：夹紧块 2209：拉伸气缸
2210：倾斜块 2211：导轨
具体实施方式
下面参照附图，对本发明的实施例的构成与其作用进行具体说明。此外，在说明本发明的过程中，当判断认为对相关众所周知的功能或构成的具体说明可能会混淆本发明要旨时，省略其具体说明。
图1是表示根据本发明的一实施例的分割掩模框架组件装置的概略性的平面结构图，图2是表示根据本发明的一实施例的分割掩模框架组件装置的概略性的正面结构图，图3是表示根据本发明的一实施例的分割掩模框架组件装置的概略性的侧面结构图，图4是表示根据本发明的一实施例的安装有Y方向夹持器的水平移动型夹持器一部分的扩大示意图，图5是表示根据本发明的一实施例的利用背射照明测量对其程度的示意图，图6是表示根据本发明的一实施例的构成背射照明装置的框架长边方向的基体玻璃及背射照明上下拉动装置的示意图，图7是表示根据本发明的一实施例的构成背射照明装置的框架短边方向的基体玻璃及背射照明上下拉动装置的示意图。图面中所省略的部分，会通过扩大图面进行说明。
如图所示，本发明的分割掩模框架组件装置，其构成包括：
一对分割掩模移送用直线伺服电机1，移送搭载于上部的水平移动型夹持器；
水平移动型夹持器2，包括：多个分割掩模夹持器21，搭载于相望设置的所述分割掩模移送用直线伺服电机上部，将从分割掩模装载装置6接收的分割掩模71进行把持后，水平移动到所设定的框架位置后，施加拉伸力使位置对齐；Y方向夹持器22，设置在所述多个分割掩膜的两端，把持并拉伸形成于所述分割掩模两侧端的Y方向裙摆，从而水平移动型夹持器2将分割掩模水平移动到设定的框架位置；
基体玻璃及背射照明上下拉动装置3，将通过框架供给装置(未图示)移送过来的框架72固定于上部，向固定的框架下部方向装载基体玻璃31，将位于基体玻璃下部照射照明的背射照明装置32进行依次装载；
移送装置4，设置于所述掩模移送用直线伺服电机上部，向X、Y、Z方向移送搭载于下部的影像及激光焊接装置；
影像及激光焊接装置5，具备设置落斜照明装置的摄像机51、激光位移传感器及激光焊接装置52，搭载于所述移送装置对分割掩模的槽与位于其下部的基体玻璃格局间的定位程度进行测量并焊接。
所述水平移动型夹持器2，其构成为，构成直线伺服电机1的导轨11、设置于导轨上部的导块12上部的多个分割掩模夹持器21及多个设置于分割掩模夹持器21两侧端Y方向夹持器22进行联动并移送。其外未说明的使分割掩模夹持器的运作的气缸及在导轨上进行前后进的电机等的构成属于常识，因此省略掉具体说明。除了这种众所周知的构成的水平移动型夹持器2外，仅本发明的特征为，其构成不同于以往在所述分割掩模夹持器固定的位置对分割掩模进行把持并拉伸的构成，本发明虽然也会进行这样的把持及拉伸作用，但在以下方面与以往不同：第一点，其设置位置为搭载于直线伺服电机上部，并且设置于框架基准长边或短边方向并进行移动，从而移动分割掩模；第二点，还具备Y方向夹持器该Y方向夹持器的作用是，为了预防宽度变大的分割掩模的褶皱，在准备形成Y方向裙摆的分割掩模后，将其向Y方向进行把持并拉伸。
以下对根据本发明的一实施例的Y方向夹持器的构成进行具体查看。
所述Y方向夹持器22，其构成可以包括：掩模导辊2201，支持分割掩模71的长度方向为基准，在两端的两侧方向形成的Y方向裙摆711；升下降滚轴单元2203，上下拉动安装所述导辊的滚轴支持球2202；支持体2205，设置于导块2204，支持所述滚轴升下降单元；掩模夹具2206，铰链结合与所述导辊2201的一侧，使其把持所述Y方向裙摆；掩模夹具气缸2207，其一侧铰链结合于所述掩模夹具上部，使掩模夹具运作，另一侧铰链结合于夹紧块；夹紧块2208，搭载所述掩模夹具与所述掩模夹具气缸；拉伸气缸2209，使所述夹紧块进行前后进来施加拉伸力。倾斜块2210，对所述夹紧块下部倾斜方向前后进进行导航；导轨2211，使结合于所述倾斜块下部的导块2211沿着分割掩模夹持器的前后进方向进行滑动。
所述升下降单元可以使用气缸方式或点击方式中的任一项。
所述背射照明装置32一直是安装在基体玻璃及背射照明上下拉动装置3上，是向上部方向照射光使基体玻璃31的格局周边变量，使落斜照明下的摄像机获得鲜明的影像。此时，支持基体玻璃31的基体玻璃夹具33是使用石英(Quarts)材质的透明夹具，使被摄照明装置32的光照射基体玻璃。这样的基体玻璃夹具33是为了防止背射照明装置32引起的分割掩模的照明热化。
实现如上所述的照射会使除了格局以外的基体玻璃发出亮光，使其与格局的明暗差异变大。如上所述，格局与其外的基体玻璃表面的敏感差异变大，为了测量通过基体玻璃的格局及分割掩模槽(或带)位置对其，在落斜照明下的摄像机拍摄时，拍摄出正确的轮廓。
此时，本发明的背射照明装置是由替代一般光源的LED作为官员的LED照明装置构成。尤其是本发明中使用的LED照明装置为看防止照明装置的热引起的分割掩模等的照明热化，光源使用了设置于侧面的边缘型LED照明装置。边缘型LED照明装置一般用于最近的LCDTV等的背光灯的众所周知的构成，可以使用商用的产品形式中的任一一种，因此省略具体的构造及构成。
作为参考，所述落斜照明装置是设置于摄像机镜片周围的环型闪光灯或向下部方向照射用的设置于与镜片独立的位置的闪光灯。
此外，所述基体玻璃及背射照明上下拉动装置，虽然未进行说明，但其是通过多个气缸进行升下降的构成、具备支持框架及基体玻璃的构造。此外，具备将这装置整体以水平方向移送的移送装置，如上所述属于一般的上下拉动装置的构成，即使图示或未图示，具有通常知识的技术人员都能通过图面简单地实施，因此省略掉仔细地说明。
此外，图面中基体玻璃、基体玻璃夹具及背射照明装置所装载、定位并支持的手段看似会互相干涉，但实际上只是表示装载的运作，其主旨的事实为，所有的装载作业结束后会有每个照明装置与基体玻璃位于背射照明装置的上部，会有移送到紧贴于基体玻璃上部拉伸并对位的分割掩模位于基体玻璃上部。
所述向X、Y、Z方向移送的移送装置4由，一对X方向移送装置41，由以与水平移动型夹持器同一方向进行移动的导轨及导块构成；Y方向移送装置42，由横跨一对X方向移送装置的导块间形成的导轨及导块构成；Z方向移送装置43，设置于Y方向移送装置的导块上，形成上下升下降的构成。在所述Z方向移送装置上安装有激光位移传感器及激光焊接装置。
这种移送装置的驱动原理依然为一般的构成，具有通常知识的技术人员都能通过图面简单地实施，因此省略掉仔细地说明。
此外，虽然在图面中未图示，但本发明的装置的构成是设置于无尘室中的，这是因为要求高度清洁度的半导体、TV或掩模框架的制造工序中通常都会形成的环境，因此省略具体地说明。
图8是表示根据本发明的一实施例的Y方向夹持器对分割型掩模的Y裙摆拉伸作用的示意图。如图所示可以了解到，通过滚轴升下降单元2203的升下降，使掩模导辊2201上升或下降，在分割掩模71的长度方向基准两端的两侧方向形成的Y方向裙摆711施加或解除张力，来帮助掩模夹具2206的拉伸力。如果没有如上所述的掩模导辊2201，掩模夹具2206把持Y方向裙摆711并拉伸时，会出现Y方向裙摆711的角度过度弯曲的问题与分割掩模夹具21的把持力下降或破损的问题，但这种问题因为掩模导辊2201的存在，可以迎刃而解。
此外，掩模夹具2206会根据掩模夹具气缸2207的运作，夹具的上部抬起或下沉来进行把持。
此外，通过掩模夹具2206的拉伸力会根据拉伸气缸2209的前后进来调节把持Y方向裙摆的拉伸力。通过这种拉伸力调节可以防止宽度大的分割掩模的褶皱。如上所述，在防止褶皱的状态下进行焊接，会因为在焊接结束后拉伸的拉伸力得到维持，因此可以制造高精细的掩模框架组件。
焊接后需要去除Y方向裙摆，来消除对紧邻的分割掩模的干涉。去除方式是利用激光焊接装置进行剪裁。
如上所述去除掉Y方向裙摆后，重新开始将分割掩模拿过来测量位置程度后焊接即可。
图9是表示根据本发明的Y方向夹持器对分割型掩模的Y裙摆进行拉伸从而大大改善褶皱的图形。由此可以看出根据本发明的Y方向夹持器对Y方向裙摆施加拉伸力的情况下焊接的效果。左边分割掩模中的线1、线2、线3中的褶皱变化按照顺序对应为右下部图形的行1、2、3，这样的3个线上的图形值可以知道各个Line的Min(最小)-Max(最大)高度值为20μm。可以看出从以往Line的Min(最小)-Max(最大)高度值120μm得到了显著的改善。所述图形中，左侧Y轴值的单位为mm，作为右侧X轴值的1～34的值是表示左侧图示的分割掩模的各个线1、2、3中测量的点个个数。
图10是表示本发明的背射照明下拍摄的PPA测量结果与以往方式测量结果的示意图。
如图所示，使用落斜照明时存在因为分割掩模的表面粗糙度及不均匀的腐蚀状态导致的散射等引起的杂讯导致照明的亮度均匀性低下的问题。此外，存在分辨率增大使带宽度减小而引起上部落斜照明的影子导致无法确认界限部分等等的问题，仅依靠落斜照明方式遇到了确认位置对其上的限界。因此，即使基体玻璃格局的位置对其于带的间隙空间部，也有可能出现无法测量的问题。
但因为根据本发明的背射照明的提供，可以知道以往仅使用落斜照明时因表面粗糙度等引发的问题得到了解决，摄像机拍摄的影像得到了具有鲜明的明暗的影像。如上所述，因为由可以确认基体玻璃的格局在分割掩模槽(或带)的开放空间中，具有均匀的间距的鲜明影像做铺垫，本发明的水平移动型夹持器的分割掩模夹持器可以将分割掩模在把持状态下定位于正确的框架位置并施加拉伸力，此处Y方向夹持器对Y方向裙摆施加拉伸力来制造高精细的掩模框架组件。即，PPA Accuracy得到了提升。
本发明不限定于上述特定的优选实施例，本发明所属技术领域的普通技术人员应当理解，在不脱离权利要求书范围内所要求的本发明的要旨情况下，可以从中实现多种变形实施，如上变更是在权利要求范围记载的范围内。
Claims (7)
1.一种分割掩模框架组件的制造装置，该制造装置包括夹持器装置及背射照明装置，所述制造装置用于在AMOLED面板制造工序中的蒸镀用掩模框架组件工序中，为制造大屏幕TV或移动用AMOLED面板而制造水平型掩模框架组件，其特征在于，包括：
一对分割掩模移送用直线伺服电机(1)；
水平移动型夹持器(2)，包括：多个分割掩模夹持器(21)，分别搭载于所述直线伺服电机上，对分割掩模(71)进行把持后施加张力；Y方向夹持器(22)，把持并拉伸形成于所述分割掩模两侧端的Y方向裙摆，从而水平移动型夹持器(2)将分割掩模水平移动到设定的框架位置；
基体玻璃及背射照明上下拉动装置(3)，向固定设置的框架下部方向依次装载基体玻璃(31)与向基体玻璃方向照射照明的背射照明装置(32)；
移送装置(4)，设置于所述掩模移送用直线伺服电机上部侧，向X、Y、Z方向移送搭载于下部的影像及激光焊接装置；
影像及激光焊接装置(5)，包括搭载于所述移送装置并具备设置落斜照明装置的摄像机(51)、激光位移传感器及激光焊接装置(52)。
2.根据权利要求1所述的分割掩模框架组件的制造装置，其特征在于，
所述水平移动型夹持器(2)的结构如下，即，在构成直线伺服电机(1)的导轨(11)以及设置于导轨上部的导块(12)上部，按照联动并移动的方式设置多个分割掩模夹持器(21)及多个设置于分割掩模夹持器(21)两侧端的Y方向夹持器。
3.根据权利要求1或2所述的分割掩模框架组件的制造装置，其特征在于，
所述Y方向夹持器(22)包括：
掩模导辊(2201)，支持分割掩模(71)中形成的Y方向裙摆(711)；
升下降滚轴单元(2203)，上下拉动所述掩模导辊；
掩模夹具(2206)，把持所述Y方向裙摆(711)；
掩模夹具气缸(2207)，使所述掩模夹具运作；
夹紧块(2208)，搭载所述掩模夹具与所述掩模夹具气缸；
拉伸气缸(2209)，使所述夹紧块进行前后进来施加拉伸力。
4.根据权利要求3所述的分割掩模框架组件的制造装置，其特征在于，所述夹紧块上设置有：
倾斜块(2210)，对其下部倾斜方向前后进进行导航；
导轨(2211)，使结合于所述倾斜块下部的导块(2204)沿着分割掩模夹持器的前后进方向进行滑动。
5.根据权利要求1所述的分割掩模框架组件的制造装置，其特征在于，
所述基体玻璃(31)具有石英(Quarts)材质的透明基体玻璃夹具(33)位于其下部并进行支持的结构。
6.根据权利要求1所述的分割掩模框架组件的制造装置，其特征在于，
所述背射照明装置为LED作为光源的LED照明装置。
7.根据权利要求1所述的分割掩模框架组件的制造装置，其特征在于，
所述LED照明装置为光源由侧方向提供的边缘型LED照明装置。
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