CN102859624A

CN102859624A - 固体电解电容器及其制造方法

Info

Publication number: CN102859624A
Application number: CN2011800195466A
Authority: CN
Inventors: 黑见仁; 越户义弘; 松下惠美
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2010-04-21
Filing date: 2011-03-07
Publication date: 2013-01-02
Anticipated expiration: 2031-03-07
Also published as: JPWO2011132467A1; JP5445673B2; CN102859624B; WO2011132467A1

Abstract

本发明提供一种体积电容比大于现有技术的体积电容比且实现进一步的小型大电容化的固体电解电容器。所述固体电解电容器具备：在表面上具有电介质氧化被膜的多个阀作用金属箔带有间隙地层叠、在厚度方向上相邻的所述阀作用金属箔之间通过局部导通部电连接的层叠电容部；具有阳极引线部和接合区域的阳极金属板，所述层叠电容部带有间隙地通过局部导通部与所述阳极金属板的接合区域的至少单面电连接，在所述阀作用金属箔之间的间隙、所述阳极金属板与层叠电容部的间隙、及层叠电容部的外表面上连续地形成有固体电解质层，导电层以覆盖所述固体电解质层的外表面且与所述阳极金属板的阳极引线部电绝缘的方式形成。

Description

固体电解电容器及其制造方法

技术领域

本发明涉及小型大电容的固体电解电容器及其制造方法。

背景技术

在专利文献1中公开了层叠有多个阀作用金属箔的现有的固体电解电容器。专利文献1的固体电解电容器的制造方法如下所述。准备在表面上具有电介质氧化被膜的阀作用金属箔。接着，将作为阳极电极片而发挥功能的阀作用金属箔划分为引线部和阴极部(阳极电极片的阴极侧的部分)，并在阴极部表面上形成电介质氧化被膜、固体电解质层和导电体层。并且，将该阀作用金属箔层叠多张后，将层叠的引线部通过焊接捆束，另一方面，层叠的阴极部经由导电体层彼此电连接。之后，在引线部和阴极部连接外部端子，并对层叠的阀作用金属箔进行密封。在这样得到的固体电解电容器中，阀作用金属箔中的形成有阴极部、电介质氧化被膜、固体电解质层的区域有助于电容形成。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2000-68158号公报

发明内容

发明所要解决的问题

然而，在专利文献1所示的现有的固体电解电容器中，将阳极电极片的一部分作为不贡献于电容形成的引线部来使用，因此存在用于形成电容的面积受限这样的问题。

另外，存在由于将多个引线部层叠并捆束而导致不贡献于电容形成的区域的占有率变高，且由于在多个阳极电极片间形成的导电体层而使得固体电解电容器的厚度增大这样的问题。

因此，就专利文献1所记载的现有的固体电解电容器而言，无法满足与近年来的电子设备的小型薄型化相伴的进一步小型大电容化的要求。

进而，在现有的固体电解电容器的制造方法中，由于在各阳极电极片上分别形成固体电解质，因此制造工序复杂。

因此，本发明的目的在于提供一种容易地实现小型大电容化的固体电解电容器及其制造方法。

解决问题的手段

为了达成以上的目的，本发明涉及的固体电解电容器具备：将在表面上具有电介质氧化被膜的多个阀作用金属箔带有间隙地层叠且在厚度方向上相邻的所述阀作用金属箔之间通过局部导通部而电连接的层叠电容部、以及具有阳极引线部和接合区域的阳极金属板，所述层叠电容部带有间隙地通过局部导通部与所述阳极金属板的接合区域的至少单面电连接，在所述阀作用金属箔之间的间隙、所述阳极金属板与层叠电容部的间隙及层叠电容部的外表面上连续地形成有固体电解质层，导电层以覆盖所述固体电解质层的外表面且与所述阳极金属板的阳极引线部电绝缘的方式形成。

如上那样构成的本发明的固体电解电容器由于能够不利用所述阀作用金属箔的一部分而通过阳极金属板的阳极引线部来形成引线部，因此能够将阀作用金属箔的表面有效地用于电容形成。

另外，在本发明涉及的固体电解电容器中，能够通过比阀作用金属箔的数目少的例如一个引线部来构成阳极侧的端子，因此能够减小引线部体积相对于固体电解电容器的全部体积所占的比例，实现小型化。

进而，没有将所述导电层形成在相邻的阀作用金属箔之间，而在所述层叠电容部的外表面上隔着所述固体电解质层设置所述导电层，因此能够减薄层叠电容部的厚度。

在本发明涉及的固体电解电容器中，优选相邻的阀作用金属箔之间在层叠电容部的侧面电连接(导通)，这样，能够通过导通来减少不贡献于电容形成的部分，能够将阀作用金属箔的表面更有效地用于电容形成。

在本发明涉及的固体电解电容器中，优选所述层叠电容部具有第一层叠电容部和第二层叠电容部，在所述阳极金属板的一个面上连接所述第一层叠电容部，在所述阳极金属板的另一个面上连接所述第二层叠电容部，这样，实现进一步的大电容化。

本发明涉及的固体电解电容器的第一制造方法包括：层叠电容部制作工序，其中经由阀作用金属箔准备工序、阀作用金属箔层叠工序和导通部形成工序来制作层叠电容部，所述阀作用金属箔准备工序是指准备在表面上具有电介质氧化被膜的多个阀作用金属箔的工序，所述阀作用金属箔层叠工序是指将所述多个阀作用金属箔以带有能够供聚合液浸入的间隙的状态层叠的工序，所述导通部形成工序是指将在厚度方向上相邻的所述阀作用金属箔之间通过部分导通部电连接的工序；阳极金属板准备工序，准备具有阳极引线部和接合区域的阳极金属板；阳极金属板与层叠电容部连接工序，将所述层叠电容部以带有能够供聚合液浸入的间隙的状态与所述阳极金属板的接合区域的至少单面接合，且将所述阳极金属板的接合区域与所述层叠电容部的阀作用金属箔通过局部导通部电连接；固体电解质层形成工序，通过将所述阳极金属板和所述层叠电容部一起浸渗在聚合液中，由此在所述各阀作用金属箔之间的间隙、所述阳极金属板与层叠电容部的间隙及层叠电容部的外表面上连续地形成固体电解质层；以及导电层形成工序，将导电层以与所述阳极金属板的引线部电绝缘的状态形成在形成有所述固体电解质层的所述层叠电容部的外表面上。

如上那样构成的本发明的固体电解电容器的第一制造方法通过准备所述阳极金属板并在该阳极金属板的接合区域中接合层叠电容部，将所述层叠电容部浸渗在聚合液中，由此能够一并在多个阀作用金属箔各自的表面整体上形成固体电解质层。

另外，在本发明涉及的固体电解电容器的第一制造方法中，能够不利用所述阀作用金属箔的一部分而通过阳极金属板的阳极引线部来形成引线部。

另外，没有将所述导电层形成在相邻的阀作用金属箔之间，而能够在所述层叠电容部的外表面上隔着所述固体电解质层形成所述导电层，能够减薄层叠电容部的厚度。

本发明涉及的固体电解电容器的第一制造方法中，所述阀作用金属箔准备工序及所述阀作用金属箔层叠工序是以大张阀作用金属箔的状态实施的，从而供给多个用于形成固体电解电容器的所述阀作用金属箔，所述导通部形成工序包括将所述导通部以分布在所述大张阀作用金属箔的多个部位的方式形成的工序，所述层叠电容部制作工序还包括以各所述层叠电容部含有至少一个所述导通部的方式对大张阀作用金属箔进行分割，由此取出多个所述层叠电容部的工序。

这样，能够高效且大量地制作所述层叠电容部。

本发明涉及的固体电解电容器的第二制造方法包括：阳极金属板准备工序，准备具有阳极引线部和接合区域的阳极金属板；阀作用金属箔准备工序，准备在表面上具有电介质被膜的多个阀作用金属箔；层叠电容部制作工序，经由阀作用金属箔层叠工序和导通部形成工序来制作层叠电容部，其中所述阀作用金属箔层叠工序是指在所述阳极金属板的接合区域上将所述多个阀作用金属箔以带有能够供聚合液浸入的间隙的状态层叠的工序，所述导通部形成工序是指将在厚度方向上相邻的所述阀作用金属箔之间通过部分导通部电连接的工序；阳极金属板与层叠电容部连接工序，将所述阳极金属板的接合区域与所述层叠电容部的阀作用金属箔通过局部导通部电连接；固体电解质层形成工序，通过将所述阳极金属板和所述层叠电容部一起浸渗在聚合液中，由此在所述各阀作用金属箔之间的间隙、所述阳极金属板与层叠电容部的间隙及层叠电容部的外表面上连续地形成固体电解质层；导电层形成工序，将导电层以与所述阳极金属板的引线部电绝缘的状态形成在形成有所述固体电解质层的所述层叠电容部的外表面上。

如上那样构成的本发明的固体电解电容器的第二制造方法除了具有与所述第一制造方法同样的作用效果外，还能够同时进行制作层叠电容部的操作和将层叠电容部接合到阳极金属板的接合区域中的操作，并且，例如能够采用利用侧面来使相邻的阀作用金属箔之间导通的方法等，选择导通方法时的自由度变大。

另外，在本发明涉及的固体电解电容器的第二制造方法中，优选在所述层叠电容部制作工序中，将所述层叠电容部的侧面的一部分接合而使相邻的阀作用金属箔之间电接合。

这样，能够通过导通部来减少不贡献于电容形成的部分的面积，能够将阀作用金属箔的表面更有效地用于电容形成。

这种情况下，为了获得阀作用金属箔之间的稳定的导通，更优选在所述层叠电容部的对置的侧面上分别接合而使相邻的阀作用金属箔之间导通。

在本发明涉及的固体电解电容器的第一和第二制造方法中，也可以在所述阳极金属板准备工序中，包括将多个所述阳极金属板并置接合到引导板上的操作，在所述固体电解质层形成工序中，将分别与所述阳极金属板接合的多个层叠电容部一并浸渗在所述聚合液中。

这样，能够在大量的层叠电容部一并形成固体电解质层。

在本发明涉及的固体电解电容器的第一和第二制造方法中，也可以在所述阳极金属板准备工序中，包括通过对矩形的大张阳极金属板的冲裁加工而形成沿着所述大张阳极金属板的一边的引导件部和与所述引导件部一体化的所述多个阳极金属板的操作，在所述固体电解质层形成工序中，将分别与所述阳极金属板接合的多个层叠电容部一并浸渗在所述聚合液中。

这样，能够在大量的层叠电容部一并形成固体电解质层，且能够省略将多个阳极金属板并置接合到引导板上的工序而减少工序数。

本发明涉及的固体电解电容器的第三制造方法包括：未化成阀作用金属箔准备工序，准备多个未化成阀作用金属箔；未化成阀作用金属箔层叠工序，将所述多个未化成阀作用金属箔以带有能够供化成液和聚合液浸入的间隙的状态层叠；未化成层叠电容部制作工序，经由导通部形成工序来制作未化成层叠电容部，所述导通部形成工序是指将在厚度方向上相邻的所述未化成阀作用金属箔彼此通过局部导通部电连接的工序；阳极金属板准备工序，准备具有阳极引线部和接合区域的阳极金属板；阳极金属板与未化成层叠电容部连接工序，将所述未化成层叠电容部以带有能够供化成液和聚合液浸入的间隙的状态与所述阳极金属板的接合区域的至少单面接合，并且将所述阳极金属板的接合区域与所述未化成层叠电容部的阀作用金属箔通过局部导通部电连接；层叠电容部制作工序，通过将所述未化成层叠电容部和阳极金属板浸渗在化成液中并进行阳极氧化，由此在所述各阀作用金属箔之间的间隙、所述阳极金属板与层叠电容部的间隙及层叠电容部的外表面上形成电介质氧化被膜；固体电解质层形成工序，通过将所述层叠电容部浸渗在聚合液中，由此在所述各阀作用金属箔之间的间隙、所述阳极金属板与层叠电容部的间隙、及层叠电容部的外表面上隔着所述电介质氧化被膜形成固体电解质层；导电层形成工序，在形成有所述固体电解质层的所述层叠电容部的外表面上隔着固体电解质层形成导电层。

如上那样构成的本发明的固体电解电容器的第三制造方法除了具有与所述第一制造方法同样的作用效果以外，由于在未化成层叠电容部制作工序中，将多个未化成阀作用金属箔层叠并将相邻的未化成阀作用金属箔之间通过导通部连接，因此与将形成有电介质氧化被膜的阀作用金属箔层叠并将相邻的未化成阀作用金属箔之间通过导通部连接的情况相比，能够提高接合性。

在本发明涉及的固体电解电容器的第三制造方法中，可以是所述未化成阀作用金属箔准备工序及所述未化成阀作用金属箔层叠工序是以大张阀作用金属箔的状态实施的，从而供给多个用于形成固体电解电容器的所述未化成阀作用金属箔，所述导通部形成工序包括将所述导通部以分布在所述大张阀作用金属箔的多个部位的方式形成的工序，所述未化成层叠电容部制作工序还包括通过以各所述未化成层叠电容部含有至少一个所述导通部的方式对大张阀作用金属箔进行分割，由此取出多个所述层叠电容部的工序。

这样，能够高效且大量地制作所述未化成层叠电容部。

本发明涉及的固体电解电容器的第四制造方法包括：阳极金属板准备工序，准备具有阳极引线部和接合区域的阳极金属板；未化成阀作用金属箔准备工序，准备多个未化成阀作用金属箔；阀作用金属箔层叠工序，将所述多个未化成阀作用金属箔以在所述多个未化成阀作用金属箔之间及所述未化成阀作用金属箔与所述阳极金属板之间分别具有能够供化成液和聚合液浸入的间隙的方式层叠在所述阳极金属板的接合区域上；未化成层叠电容部制作工序，将在厚度方向上相邻的未化成阀作用金属箔彼此通过局部导通部电连接；未化成层叠电容部与阳极金属箔连接工序，将所述未化成层叠电容部与阳极金属板通过局部导通部电连接；层叠电容部制作工序，通过将所述未化成层叠电容部和阳极金属板浸渗在化成液中并进行阳极氧化，由此在所述各阀作用金属箔之间的间隙、所述阳极金属板与层叠电容部的间隙、及层叠电容部的外表面上形成电介质氧化被膜；固体电解质层形成工序，通过将所述层叠电容部和阳极金属板浸渗在聚合液中，由此在所述各阀作用金属箔之间的间隙、所述阳极金属板与层叠电容部的间隙、及层叠电容部的外表面上隔着所述电介质被膜形成固体电解质层；导电层形成工序，在形成有所述固体电解质层的所述层叠电容部的外表面上隔着固体电解质层形成导电层。

如上那样构成的本发明的固体电解电容器的第四制造方法除了具有与所述第二制造方法同样的作用效果以外，由于在未化成层叠电容部制作工序中将多个未化成阀作用金属箔层叠并将相邻的未化成阀作用金属箔之间通过导通部连接，因此与将形成有电介质氧化被膜的阀作用金属箔层叠并将相邻的未化成阀作用金属箔之间通过导通部连接的情况相比，能够提高接合性。

另外，在本发明涉及的固体电解电容器的第四制造方法中，优选在所述未化成层叠电容部制作工序中，将所述未化成层叠电容部的侧面的一部分接合而使相邻的未化成阀作用金属箔之间导通。

这样，能够通过导通部来减少不贡献于电容形成的部分的面积，能够将未化成阀作用金属箔的表面更有效地用于电容形成。

这种情况下，为了获得未化成阀作用金属箔之间的稳定的导通，更优选在所述未化成层叠电容部的对置的侧面上分别接合而使相邻的未化成阀作用金属箔之间导通。

另外，在本发明涉及的固体电解电容器第三和第四制造方法中，优选所述阳极金属板准备工序包括将多个所述阳极金属板并置接合到引导件板上的操作，在所述层叠电容部制作工序中，将分别与所述阳极金属板接合的多个未化成层叠电容部一并浸渗在所述化成液中，在所述固体电解质层形成工序中，将分别与所述阳极金属板接合的多个层叠电容部一并浸渗在所述聚合液中。

这样，能够对大量的未化成层叠电容部一并进行化成处理，并且能够在层叠电容部一并形成固体电解质层。

另外，在本发明涉及的固体电解电容器的第三和第四制造方法中，优选所述阳极金属板准备工序包括通过对矩形的大张阳极金属板的冲裁加工而形成沿着所述大张阳极金属板的一边的引导件部和与所述引导件部一体化的所述多个阳极金属板的操作，在所述层叠电容部制作工序中，将分别与所述阳极金属板接合的多个未化成层叠电容部一并浸渗在所述化成液中，将分别与所述阳极金属板接合的多个层叠电容部一并在所述固体电解质层形成工序中浸渗在所述聚合液中。

这样，能够对大量的未化成层叠电容部一并进行化成处理，并且能够在层叠电容部一并形成固体电解质层，此外能够省略将多个阳极金属板并置接合到引导板上的工序，从而减少工序数。

在本发明涉及的固体电解电容器的第一～第四制造方法中，进而优选包括在所述导电层形成工序后将所述阳极引线部沿着所述层叠电容部折弯的折弯工序，在所述折弯工序与所述导电层形成工序之间，在所述层叠电容部中的与折弯的所述阳极引线部对置的部分形成绝缘膜。

这样，能够将阳极引线部沿着所述层叠电容部向内侧折弯，形成得更为小型。

发明效果

如以上所说明的那样，根据本发明，能够提供体积电容比(体积/电容)大且实现进一步的小型大电容化的固体电解电容器及其制造方法。

附图说明

图1是本发明涉及的实施方式1的固体电解电容器的制造方法的工序流程图。

图2表示本发明涉及的实施方式1的固体电解电容器的制造方法中的制作层叠电容部1的工序，(a1)是表示大张阀作用金属层叠板100的结构的俯视图，(a2)是(a1)中的A-A’线处的剖视图，(b1)是从大张阀作用金属层叠板100裁断而得到的层叠电容部1的俯视图，(b2)是(b1)的B-B’线处的剖视图，(b3)是将(b2)的剖面中的阀作用金属箔1a间放大而示出的剖视图。

图3表示在实施方式1的制造方法中，将层叠电容部1阳极氧化的工序，(a)是将多个阳极金属板2分别固定到金属制引导件50上时的俯视图，(b)是在固定于金属制引导件50的多个阳极金属板2上分别形成有第一掩膜2a时的俯视图，(c1)是将层叠电容部1安装到阳极金属板2上时的俯视图，(c2)是(c1)的C-C’线处的剖视图，(d)是阳极氧化工序时的图。

图4表示在实施方式1的制造方法中，在阳极氧化了的层叠电容部1上形成固体电解质层3及导电层4的工序，(a)是第二抗蚀剂层2c形成时的俯视图，(b1)是形成固体电解质层3时的图，(b2)是形成有固体电解质层3的层叠电容部1的剖视图，(c1)是形成导电层4时的图，(c2)是形成有导电层4的层叠电容部1的剖视图。

图5表示在实施方式1的制造方法中，利用由形成有导电层4的层叠电容部1和阳极金属板2构成的电容器元件10来制作固体电解电容器的工序，(a1)是表示制作出的电容器元件10的结构的俯视图，(a2)是电容器元件10的侧视图，(b)是将电容器元件10的阳极引线部2t折弯时的侧视图，(c)是将电容器元件10安装到基板9上时的侧视图，(d)是在安装于基板9的电容器元件10上形成有密封部6的剖视图。

图6是通过本发明涉及的实施方式1的制造方法制作出的固体电解电容器的剖视图。

图7是在本发明涉及的实施方式2的固体电解电容器的制造方法中，在形成导电层4后在导电层4上分别形成有绝缘膜22的俯视图。

图8表示在实施方式2的制造方法中，利用电容器元件20来制作固体电解电容器的工序，(a1)是电容器元件20的俯视图，(a2)是电容器元件20的侧视图，(b)是将电容器元件20的阳极引线部2t沿着层叠电容部1折弯时的侧视图，(c)是在设有阴极端子7及阳极端子8的基板9上安装电容器元件20并在电容器元件20整体上通过环氧树脂等形成密封部6的剖视图。

图9是本发明涉及的实施方式2的固体电解电容器的剖视图。

图10是本发明涉及的实施方式3的固体电解电容器的制造方法的工序流程图。

图11表示在本发明涉及的实施方式3的固体电解电容器的制造方法中，制作电容器元件的工序，(a)是在金属制引导件50上将阳极金属板2以规定的间隔安装的俯视图，(b1)是在阳极金属板2的接合区域2s中构成层叠电容部31的俯视图，(b2)是(b1)的D-D’线处的剖视图。

图12是本发明涉及的实施方式4的固体电解电容器的制造方法的工序流程图。

图13表示在本发明涉及的实施方式4的固体电解电容器的制造方法中，制作层叠电容部1的工序，(a1)是表示大张阀作用金属层叠板100的结构的俯视图，(a2)是(a1)的E-E’线处的剖视图，(b)是表示大张阳极金属板40的结构的俯视图，(c)是从大张阀作用金属层叠板100裁断而得到的层叠电容部1的俯视图，(d1)是将层叠电容部1安装到各阳极金属板42的接合区域42s中的俯视图，(d2)是(d1)的F-F’线处的剖视图，(e)是从大张阳极金属板40分离而得到的金属制引导部50a的俯视图。

图14是表示通过本发明涉及的实施方式1的制造方法制作出的固体电解电容器的变形例的剖视图。

图15表示在制作比较例涉及的固体电解电容器的电容器元件的工序中，将铝箔片202阳极氧化的工序，(a)是将多个阳极金属板2分别固定到金属制引导件50上时的俯视图，(b)是在固定于金属制引导件50的多个阳极金属板2上分别形成有第一掩膜202a时的俯视图，(c)是阳极氧化工序时的图。

图16表示在制作比较例涉及的固体电解电容器的电容器元件的工序中，在阳极氧化了的铝箔片202上形成固体电解质层203、碳被膜层204a及银被膜层204b的工序，(d)是第二抗蚀剂层202c形成时的俯视图，(e)是形成固体电解质层203时的图，(f)是形成碳被膜层204a及银被膜层204b时的图。

图17表示在制作比较例涉及的固体电解电容器的电容器元件的工序中，利用形成有固体电解质层203、碳被膜层204a及银被膜层204b的铝箔片202来制作电容器元件的工序，(f1)是形成有固体电解质层203、碳被膜层204a及银被膜层204b的铝箔片202的俯视图，(f2)是形成有固体电解质层203、碳被膜层204a及银被膜层204b的铝箔片202的俯视图，(g1)是表示通过将(f1)及(f2)所示的铝箔片202各重叠三片，并利用各重叠三片而成的层叠部将阴极引线框及阳极引线框夹入而形成的层叠体的俯视图。(g2)是表示通过将(f1)及(f2)所示的铝箔片202各重叠三片，并利用各重叠三片而成的层叠部将阴极引线框207a及阳极引线框202t夹入而形成的层叠体的剖视图。(h1)是将(g1)及(g2)所示的层叠体用密封树脂206密封而得到的比较例的电容器元件的俯视图。(h1)是将(g1)及(g2)所示的层叠体用密封树脂206密封而得到的比较例的电容器元件的剖视图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明涉及的实施方式的固体电解电容器详细地进行说明。需要说明的是，在以下的说明中，根据需要而使用了表示特定的方向或位置的用语(例如，“上”、“下”、“右”、“左”及包括这些用语在内的其它用语)，但这些用语的使用是为了参照着附图而易于发明的理解，本发明的技术范围并不受这些用语的意思的限制。另外，多个图中示出的同一符号的部分表示同一部分或相当的部分。

如图6所示，本发明涉及的实施方式的固体电解电容器具备层叠部5，该层叠部5具有：通过将分别在表面具有电介质氧化被膜d1的多个阀作用金属箔1a经由固体电解质层3层叠而成的两个层叠电容部1；设置在两个层叠电容部1之间的阳极金属板2。

在层叠部5中，相邻的阀作用金属箔1a之间及阀作用金属箔1a与阳极金属板2之间通过贯通电介质氧化被膜d1及固体电解质层3的局部导通部100b而连接。需要说明的是，局部导通部100b是指设置在阀作用金属箔1a的一部分上的、相邻的阀作用金属箔1a彼此的连接点。

另外，在阀作用金属箔1a之间的间隙、阀作用金属箔1a与阳极金属板2之间的间隙、两个层叠电容部1的外表面上连续地设有固体电解质层3。并且，在两个层叠电容部1的外表面形成的固体电解质层3的表面上形成有由碳被膜层4a及银被膜层4b构成的导电层4，银被膜层4b与基板9的阴极端子7连接。

另外，就阳极侧来说，作为阳极金属板2的一端部的阳极引线部2t以与碳被膜层4a及银被膜层4b不导通的方式被绝缘而从层叠部5引出，与基板9的阳极端子8连接。需要说明的是，由碳被膜层4a及银被膜层4b所构成的导体层4覆盖的层叠部5及阳极引线部2t被密封树脂6密封。

另外，实施方式的固体电解电容器具有第二抗蚀剂层2c(第二掩膜2c)，该第二抗蚀剂层2c用于防止在后述的形成固体电解质层3的工序中聚合液向阳极引线2t侧渗出(浸出)的情况。

这样构成的实施方式的固体电解电容器与现有的固体电解电容器的不同之处在于：阳极侧的阳极引线部2t通过与阀作用金属箔1a不同体设置的共通的阳极金属板2的一部分而构成这一点；经由固体电解质层3设置在层叠部5的外表面上的导电层4没有形成在相邻的阀作用金属箔1a之间这一点。

基于上述不同点，本实施方式的固体电解电容器能够将阀作用金属箔1a的表面整体有效地利用于电容形成。

另外，在本实施方式的固体电解电容器中，由于能够通过一个阳极引线部来构成阳极侧的端子，因此与将多个阀作用金属箔的一端部捆束来构成阳极侧的端子的现有结构相比，能够减小阳极引线部的体积相对于固体电解电容器的全部体积所占的比例，能够实现小型化。

进而，由于导电层4没有形成在阀作用金属箔1a之间的间隙中，因此能够减薄层叠部5的厚度。

具有这样的结构的固体电解电容器例如通过以下所说明的制造方法来制造。以下，对本发明涉及的固体电解电容器的制造方法进行说明，同时对本发明涉及的实施方式的固体电解电容器的结构详细地进行说明。

实施方式1.

本发明涉及的实施方式1的固体电解电容器的制造方法包括图1所示的如下工序。

<步骤S1(准备大张阀作用金属箔)>

准备在表面上形成有电介质氧化被膜的大张阀作用金属箔。

需要说明的是，该步骤1的具体工序为通常的工序，因此未图示出。

具体而言，在大张阀作用金属箔的表面上通过蚀刻形成凹凸，从而扩大表面积。在该蚀刻中，例如通过在蚀刻液中施加交流或直流电压来电化学地形成凹凸。

需要说明的是，在本说明书中，大张阀作用金属箔的大张是指能够以集合状态制作多个层叠部的大小。

接着，在蚀刻后的大张阀作用金属箔的表面上分别通过阳极氧化来形成构成电介质的电介质氧化被膜。该阳极氧化例如通过在化成液中施加直流电压来进行。

<步骤S2(层叠导通)>

接着，如图2(a1)、(a2)所示，将阳极氧化后的大张阀作用金属箔100a层叠规定张数并使大张阀作用金属箔100a之间导通，来制作大张阀作用金属层叠板100。该层叠导通处理例如通过将层叠后的大张阀作用金属箔100a夹在两个电极之间并利用电阻焊使这些大张阀作用金属箔100a一并导通来进行。作为导通方法，优选像点焊那样通过狭小面积来导通的方法，可以取代电阻焊而使用利用了激光的点焊等公知的方法。图2(a2)示出了图2(a1)的A-A’线处的剖面。另外，在该层叠导通处理中，在多个部位局部地形成导通部100b，该局部导通部100b的位置以在以下的工序中沿着裁断线100c裁断而分离出各层叠电容部1时，在分离后的层叠电容部1中分别含有至少一处局部导通部100b这种方式配置，例如配置成矩阵状。

<步骤S3(裁断)>

如图2(b1)所示，将大张阀作用金属层叠板100裁断成多个层叠电容部1。图2(b2)图示出图2(b1)的B-B’线处的剖面。如图2(b2)所示，层叠电容部1构成为阀作用金属箔1a与电介质氧化被膜d1交替地层叠的结构。就相邻的两个阀作用金属箔1a的层叠部分来说更详细而言，如图2(b3)所示，构成为一方的阀作用金属箔1a、在该一方的阀作用金属箔1a的表面上形成的电介质氧化被膜d1、在另一方的阀作用金属箔1a的表面上形成的电介质氧化被膜d1、另一方的阀作用金属箔1a层叠的层叠结构，在形成于一方的阀作用金属箔1a的表面上的电介质氧化被膜d1与形成于另一方的阀作用金属箔1a的表面上的电介质氧化被膜d1之间具有能够供用于形成固体电解质层3的聚合液浸入的间隙3a。

该间隙3a虽然是因将表面上形成有蚀刻所致的凹凸的阀作用金属箔1a重合而自然形成的，但与焊接时的应力也有关系，因此可以在步骤S2中调整形成局部导通部100b时夹在电极间的按压力来调整间隙3a的大小。

<步骤PS1(准备阳极金属板)>

如图3(a)所示，准备构成固体电解电容器的阳极的多个阳极金属板2，将其一端部分别通过焊接等固定到金属制引导件50上。该阳极金属板2例如由阀作用金属箔构成，在另一端侧接合层叠电容部1，作为层叠电容部1的安装区域的接合区域2s以与金属制引导件50隔开规定的间隔的方式固定在金属制引导件50上。作为该阳极金属板2，可以使用各种金属板，但优选使用金属箔，更优选使用阀作用金属箔。另外，阳极金属板2的表面状态并没有特别限定，但在平滑的状态的情况下，后述的层叠电容部粘贴及阳极端子接合时的接合性良好。在以下的说明中，将固定在金属制引导件50上的一端部与接合区域之间的区域称作分离区域2d。

<步骤PS2(形成第一抗蚀剂层)>

如图3(b)所示，在阳极金属板2的分离区域2d中以包围(围住)阳极金属板2的周围的方式形成将阳极侧与阴极侧分离的第一抗蚀剂层2a(第一掩膜2a)。该第一抗蚀剂层2a例如由聚酰亚胺树脂构成，与接合区域2s及一端部分别隔开规定的间隔而形成。需要说明的是，可以在将第一抗蚀剂层2a预先形成在阳极金属板2上后，将阳极金属板2固定到金属制引导件50上。

<步骤S4(接合层叠电容部)>

如图3(c1)、(c2)所示，将层叠电容部1以从第一抗蚀剂层2a离开的方式安装到阳极金属板2的接合区域2s中。图3(c2)是图3(c1)的C-C’处的剖视图。

层叠电容部1至少与阳极金属板2的表面或背面中的任一方接合即可，但优选如图3(c2)所示，安装在阳极金属板2的表面和背面这两面上。

在安装时，层叠电容部1以阀作用金属箔1a与阳极金属板2导通的方式例如通过焊接与阳极金属板2接合。

这里，在层叠电容部1与阳极金属板2之间具有能够供用于形成固体电解质层3的聚合液浸入的间隙。

<步骤S5(阳极氧化)>

如图3(d)所示，通过直至第一抗蚀剂层2a为止地浸渗于化成液L1中来对安装在接合区域中的层叠电容部1进行浸渗，从而将层叠电容部1的侧面(阀作用金属箔1a的切断面)、阳极金属板2的侧面及位于接合区域2s与第一抗蚀剂层2a之间的构成分离区域2d中的阳极氧化分离部2b的部分阳极氧化。需要说明的是，在将没有被阳极氧化的阀作用金属箔作为阳极金属板2来使用的情况下，除了阳极金属板2的侧面以外，阳极金属板2的接合区域2s的表面也被阳极氧化，接合区域2s的表面也有助于电容形成。

另外，在进行该阳极氧化时，在接合区域2s与第一抗蚀剂层2a之间形成阳极氧化分离部2b。

<步骤S6(形成第二抗蚀剂层)>

如图4(a)所示，在阳极氧化分离部2b中，沿着接合有层叠电容部1的阳极金属板2的接合区域2s且从第一抗蚀剂层2a离开而将第二抗蚀剂层2c(第二掩膜2c)以包围阳极金属板2的周围的方式形成。该第二抗蚀剂层2c起到如下作用：防止在后述的形成固体电解质层3的工序中聚合液L2向金属制引导件50侧渗出的情况，且避免在产品完成后固体电解质层3从层叠部5漏出的情况。第二抗蚀剂层2c与第一抗蚀剂层2a同样例如由聚酰亚胺树脂构成。

<步骤S7(形成固体电解质层)>

如图4(b1)所示，浸渗于聚合液L2中而形成构成阴极层的固体电解质层3。

作为固体电解质层3的形成方法，例举有化学氧化聚合。在化学氧化聚合中，聚合液L2由单体溶液和氧化剂及掺杂剂的混合溶液这两种溶液构成，通过反复进行向单体溶液浸渗后浸渗于氧化剂及掺杂剂的混合溶液中的操作，由此使单体聚合而形成固体电解质层3。

这里，将第二抗蚀剂层2c作为聚合液L2的阻隔层，将层叠电容部1浸渗于聚合液L2中，如图4(b2)所示那样在层叠电容部1的相邻的阀作用金属箔1a之间的间隙3a、层叠电容部1与阳极金属板之间的间隙、层叠电容部1的外表面上连续地形成固体电解质层3。

需要说明的是，在图4(b2)中，为了避免图的复杂，而仅示出形成在层叠电容部1的外表面上的固体电解质层3，省略了形成在间隙3a及层叠电容部1与阳极金属板2之间的间隙中的固体电解质层3的记载。这些省略了的部分的形态例如参照图6。

<步骤S8(形成导电层)>

如图4(c1)所示，在比第二抗蚀剂层2c靠下的层叠电容部1的外表面(固体电解质层3的表面)上，首先使用碳膏剂P1来形成碳被膜层4a，然后在碳被膜层4a上使用银膏剂P2来形成银被膜层4b。

如上所述，如图4(c2)所示，在由阳极金属板2和在其两侧设置的两个层叠电容部1构成的层叠部的外侧形成由固体电解质层3、碳被膜层4a和银被膜层4b构成的导电层4。之后，通过从金属制引导件分离成单片，由此能够制作出图5(a1)、(a2)所示的电容器元件。

需要说明的是，图5(a1)表示电容器元件10的俯视图，图5(a2)表示电容器元件10的侧视图。

<步骤S9(折弯阳极引线部)>

如图5(b)所示，将由阳极金属板2的一端部(根据需要以规定的长度切断)、形成有第一抗蚀剂层2a的部分、阳极氧化分离部2b、形成有第二抗蚀剂层2c的部分构成的阳极引线部2t沿着层叠电容部1折弯，进而将其前端部以与层叠电容部1的下表面位于大致同一平面上的方式折弯。

<步骤S10(基板安装·密封)>

如图5(c)所示，在设有阴极端子7及阳极端子8的基板9上安装电容器元件10，如图5(d)所示，将电容器元件10整体用环氧树脂等覆盖而形成密封部6。

需要说明的是，在图5(d)中，未图示出导电层4和阳极引线部2t，导电层4与阳极引线部2t例如通过氧化被膜等而电分离。

另外，安装例如通过利用导电性粘接剂将电容器元件10的导电层4和阳极引线部2t分别与阴极端子7及阳极端子8接合来进行。

如上述那样而能够制造出实施方式1的固体电解电容器。

需要说明的是，在以上的说明中，限定于具体的方式来进行了说明，但当然可以在不脱离本发明的范围的情况下进行各种变更。

图14表示实施方式1涉及的固体电容器的变形例。图6所示的电容器元件在图的左右方向的中央部具有一处局部导通部100b，相对于此，图14所示的电容器元件在图的左右方向上的各端部附近具有共计两处局部导通部100b。为了形成为这样的结构，在步骤S2的层叠导通处理工序中，将局部导通部100b的位置以在裁断后的层叠电容部1中分别含有两处导通部的方式配置为好。

进而，在图6的固体电解电容器中，阳极端子8和阴极端子7以通过基板9的侧面的方式具有弯曲部地(呈コ状地)配置，而在图14的固体电解电容器中，阳极端子8和阴极端子7以贯通基板9的方式配置。

例如可以通过如下方式来制作图14所示的端子结构：在步骤S10的工序中，准备能够供多个电容器元件10安装的大张的基板，将多个电容器元件10安装在大张基板上并一起进行树脂密封，之后分割成各个固体电解电容器。

实施方式2.

以下，对本发明涉及的实施方式2的固体电解电容器的制造方法进行说明。

该实施方式2的固体电解电容器的制造方法直至在阴极部形成碳被膜层4a、银被膜层4b的步骤S7为止均与实施方式1同样，这之后的工序与实施方式1不同。

以下，对与实施方式1不同的工序进行说明。

<步骤2S8(形成导电层及绝缘膜)>

在实施方式2的步骤2S8中，在层叠电容部1的外表面上形成由碳被膜层4a、银被膜层4b构成的导电层4后，如图7所示，在层叠电容部1的单面的导电层4上例如通过辊涂敷等分别形成例如由聚酰亚胺树脂构成的绝缘膜22，并从金属制引导件50分离成单片。

如上述那样而能够制作出图8(a1)、(a2)所示的实施方式2的电容器元件20。

<步骤2S9(折弯阳极引线部)>

如图8(b)所示，将阳极金属板2的阳极引线部2t沿着层叠电容部1折弯，进而将其前端部沿着绝缘膜22向内侧折弯。

步骤2S10(基板安装·密封)

如图8(c)所示，在设有阴极端子7及阳极端子8的基板9上安装电容器元件20，并将电容器元件20整体用环氧树脂等覆盖而形成密封部6。

如上那样制造出的实施方式2的固体电解电容器中，将阳极引线部2t的前端部沿着绝缘膜22向内侧折弯，因此与向外侧折弯的实施方式1的固体电解电容器相比，能够进一步减少不利于电容形成的区域，增大体积电容比。

在实施方式2中，例如也可以如下进行：在步骤2S10的工序中，准备能够供多个电容器元件20安装的大张的基板，将多个电容器元件20安装在大张基板上并一起进行树脂密封，之后分割成各个固体电解电容器。

这种情况下，例如图9所示那样，电容器元件的导电层4通过与形成在基板9的表面上的阴极电极7a连接而与阴极端子7导通，阳极引线部2t通过与形成在基板9的表面上的阳极电极8a连接而与阳极端子8导通。

需要说明的是，在图9的实施方式中，局部导通部100b在左右方向上的端部附近设置共计两处。

实施方式3.

以下，对本发明涉及的实施方式3的固体电解电容器的制造方法进行说明。

该实施方式3的固体电解电容器的制造方法如图10所示那样，制作层叠电容部的工序使用了步骤3S1～3S3来代替实施方式1的制作层叠电容部1的步骤S1～S4，除此以外与实施方式1同样。

以下，对与实施方式1不同的工序进行说明。

与实施方式1的步骤PS1同样，如图11(a)所示那样在金属制引导件50上将阳极金属板2以规定的间隔安装，且与实施方式1的步骤PS2同样地形成第一抗蚀剂层2a。

<步骤3S1(准备阀作用金属箔单片)>

准备分别在表面上形成有电介质氧化被膜且切割成层叠电容部的大小的多个层叠的阀作用金属箔。

<步骤3S2(粘贴阀作用金属箔单片)>

然后，如图11(b1)、(b2)所示，在阳极金属板2的接合区域2s的至少一个面上、优选在两个面上分别重叠粘贴切割成层叠电容部的大小的多个阀作用金属箔31a，来制作层叠电容部31。

<步骤3S3(层叠导通)>

利用在层叠部的侧面上设置的例如由阀作用金属构成的コ型(具有角的U形状)的金属固定件32将层叠部沿厚度方向夹入并对该部分进行例如超声波接合，其中所述层叠部由阳极金属板2和在其两面上形成的层叠电容部31构成。

这样，制作出阀作用金属箔31a之间通过金属固定件32来导通的层叠电容部31。之后，层叠电容部31与阳极金属板2的接合区域2s接合，阳极金属板2与阀作用金属箔31a之间也通过金属固定件32导通。

以下，通过与实施方式1的步骤S5之后同样的顺序来制造固体电解电容器。

本实施方式3的固体电解电容器在制作层叠电容部31的导通工序中使用超声波接合来在侧面部进行接合，因此能够将阀作用金属箔31a的主表面整体用于电容形成。因此，根据实施方式3的制造方法，能够比实施方式1及2进一步提高单位体积的电容。

实施方式4.

以下，对本发明涉及的实施方式4的固体电解电容器的制造方法进行说明。

该实施方式4的固体电解电容器的制造方法中，金属制引导件及阳极金属板的准备以及层叠电容部向阳极金属板的安装工序如图12所示那样使用了步骤4PS1、4PS2来代替实施方式1的步骤PS1、PS2，并使用了步骤4S4a、4S4b来代替步骤S4，除此以外与实施方式1同样。

以下，对与实施方式1不同的工序进行说明。

需要说明的是，图13(a1)、(b)图示出层叠电容部1的制作工序，除了相对于一个层叠电容部1形成有两个局部导通部100b这一点之外，均与实施方式1同样，因此省略说明。

<步骤4PS1(准备大张阳极金属板)>

这里，如图13(b)所示，准备例如由大张的阀作用金属箔构成的阳极金属板，通过冲裁(冲压)加工来制作一体化有作为金属制引导部50a来使用的部分和多个阳极金属板42的大张阳极金属板40。具体而言，以多个阳极金属板42仅在金属制引导部50a侧相连而在其它部分分离的方式形成冲裁部H1。

<步骤4PS2(形成抗蚀剂层)>

在大张阳极金属板40中，如图13(b)所示，在阳极金属板42的金属制引导部50a侧形成与实施方式1等中的第二抗蚀剂层2c相当的抗蚀剂层42c。需要说明的是，在比抗蚀剂层42c靠前端的部分确保有与实施方式1等同样的接合区域42s。

<步骤4S4a(粘贴层叠电容部)>

如图13(d1)、(d2)所示，将层叠电容部1以从金属制引导部50a离开的方式分别安装到各阳极金属板42的接合区域中。图13(d2)是图13(d1)的F-F’线处的剖视图。

<步骤4S4b(分离金属制引导部)>

通过将大张阳极金属板40沿着图13(d1)所示的分割线51切断，从而如图13(e)所示那样分离出各金属制引导部50a。

以下，如图13(e)所示，使用在金属制引导部50a安装有多个层叠电容部1的状态的构件来制造实施方式4的固体电解电容器。步骤5以后的工序除了取代实施方式1中的步骤6的形成第二抗蚀剂层而形成第一抗蚀剂层以外，与实施方式1同样。

需要说明的是，在实施方式4中，可以将图12所示的步骤S5的基于化成处理的阳极氧化在分离出各金属制引导部50a前进行，并在分离出各金属制引导部50a后进行步骤S7的固体电解质的形成。

如以上详细说明的那样，本发明涉及的实施方式1～4的固体电解电容器的制造方法均以在阀作用金属箔1a之间形成供聚合液L2进入的间隙3a的方式制作层叠电容部1，并将该层叠电容部1与阳极金属板2的接合区域接合。然后，通过将该层叠电容部1及阳极金属板2的接合区域浸渗在聚合液L2中，由此在相邻的阀作用金属箔1a之间的间隙3a、层叠电容部1与阳极金属板2之间的间隙及层叠部5的外表面上形成固体电解质层3。

由此，能够相对于构成层叠部5的多个阀作用金属箔1a一并利用一次聚合工序来形成固体电解质层3，与在各阀作用金属箔1a上分别形成固体电解质层的现有的制造方法相比，能够简化聚合工序。

另外，能够在相邻的阀作用金属箔1a之间的间隙3a中不形成导电层4的情况下制作出层叠部5。

另外，目前由于将阀作用金属箔的一部分作为阳极引线来使用，因此无法将阀作用金属箔的表面整体利用于电容形成，但在本发明涉及的实施方式1～4的固体电解电容器的制造方法中，通过在具备阳极引线部2t的阳极金属板2的接合区域2s中接合层叠电容部1并将它们浸渗于聚合液L2中，由此能够将层叠电容部1整体浸渗在聚合液L2中，能够将多个阀作用金属箔1a的表面整体利用于电容形成。

进而，不通过将多个阀作用金属箔1a的一端部捆束来构成阳极引线，而能够通过阳极金属板的阳极引线部2t来形成阳极部，因此能够减小阳极引线部2t所占有的体积。

基于上述，根据本发明涉及的实施方式1～4的固体电解电容器的制造方法，能够制作出体积电容比高且实现小型大电容化的固体电解电容器。

在以上的本发明涉及的实施方式1～4的固体电解电容器的制造方法中，准备形成有电介质氧化被膜的大张阀作用金属箔100a或形成有电介质氧化被膜且切割成层叠电容部的大小的多个阀作用金属箔，之后进行层叠导通工序，来制作固体电解电容器。

然而，本发明并不局限于此，可以在准备未形成有电介质氧化被膜的未化成大张阀作用金属箔或未形成有电介质氧化被膜的层叠电容部这样大小的多个未化成阀作用金属箔后，进行层叠导通工序，之后通过阳极氧化工序进行化成处理，来制作固体电解电容器。

以下，对本发明涉及的变形例的固体电解电容器的制造方法进行说明。

变形例1.

在本发明涉及的变形例1的固体电解电容器的制造方法中，对本发明涉及的实施方式1的制造方法进行了如下变更。

在以下的说明中，对从实施方式1的制造工序变更的部分进行了记载，未记载的部分与实施方式1的制造工序同样。

首先，在步骤S1中，取代形成有电介质氧化被膜的大张阀作用金属箔100a，而准备实际上未形成有电介质氧化被膜的大张未化成阀作用金属箔。

具体而言，在大张未化成阀作用金属箔的表面通过蚀刻形成凹凸来扩大表面积后，不进行阳极氧化，而进行接下来的步骤S2。

在步骤S2中，将大张未化成阀作用金属箔层叠规定张数并使大张未化成阀作用金属箔之间导通，来制作大张未化成阀作用金属层叠板。该层叠导通处理例如通过将层叠的大张未化成阀作用金属箔夹在两个电极之间并通过电阻焊使这些大张未化成阀作用金属箔一并导通来进行，在该变形例1中，由于在大张未化成阀作用金属箔的表面没有形成电介质氧化被膜，因此接合性良好，能够容易地获得可靠的导通。

在步骤S3中，将大张未化成阀作用金属层叠板裁断成多个未化成层叠电容部。

此时，在未化成层叠电容部中，在未化成阀作用金属箔之间形成能够供化成液及聚合液进入的间隙。

以下，经由与实施方式1同样的步骤PS1及步骤PS2，在步骤S4中取代层叠电容部1而将未化成层叠电容部安装到阳极金属板2的接合区域中。

然后，在步骤S5中，将未化成层叠电容部浸渗在化成液L1中，而将未化成层叠电容部的未化成阀作用金属箔的表面整体、阳极金属板2的侧面及位于接合区域2s与第一抗蚀剂层2a之间的构成分离区域2d中的阳极氧化分离部2b的部分阳极氧化。

以下，与实施方式1同样地制作固体电解电容器。

以上的变形例1的固体电解电容器的制造方法具有与实施方式1的制造方法同样的作用效果，并且能够使层叠的大张未化成阀作用金属箔导通时的接合性良好。

变形例2.

在本发明涉及的变形例2的固体电解电容器的制造方法中，对本发明涉及的实施方式3的制造方法进行如下变更。

在以下的说明中，对从实施方式3的制造工序变更的部分进行了记载，未记载的部分与实施方式3的制造工序同样。

首先，在步骤3S1中，取代在表面形成有电介质氧化被膜的多个阀作用金属箔，而准备切割成层叠电容部的大小的多个未化成阀作用金属箔。

在步骤3S2中，分别将切割成层叠电容部的大小的多个未化成阀作用金属箔重叠粘贴，来制作未化成层叠电容部。

在步骤3S3中，利用在层叠部的侧面上设置的例如由阀作用金属构成的コ型(具有角的U形状)的金属固定件32将层叠部沿厚度方向夹入并对该部分进行例如超声波接合，其中所述层叠部由阳极金属板2和形成在其两侧的未化成层叠电容部构成。

这样，制作出未化成阀作用金属箔间通过金属固定件而导通的未化成层叠电容部。

以下，通过与变形例1同样的顺序来制造固体电解电容器。

以上的变形例2的固体电解电容器的制造方法具有与实施方式3的制造方法同样的作用效果，并且能够使层叠的未化成阀作用金属箔导通时的接合性良好。

变形例3.

在本发明涉及的变形例3的固体电解电容器的制造方法中，与变形例1同样地制作未化成层叠电容部，并将该未化成层叠电容部与实施方式4同样地分别安装到准备好的大张阳极金属板的阳极金属板42上，以下与变形例1同样地制造固体电解电容器。

以上的变形例3的固体电解电容器的制造方法具有与实施方式4的制造方法同样的作用效果，并且能够使层叠的未化成阀作用金属箔导通时的接合性良好。

实施例

以下，对本发明涉及的实施例进行说明。

需要说明的是，在以下的实施例中，实施例1～4分别基于实施方式1～4的制造方法。

实施例1.

在本实施例1中，在实施方式1的步骤S1中，使用预先被阳极氧化了的大张的化成铝箔(3V化成品)作为大张阀作用金属箔100a。以下，对实施例1的固体电解电容器的制作顺序进行说明。

在本实施例中，首先，将厚度110μm的大张的化成铝箔重叠三张，并利用电阻焊进行焊接(图2(a)、(b))。

电阻焊的电极使用直径为1.6mm的圆径的电极来实施。因焊接而消失的区域为10％。

需要说明的是，电阻焊以在切断后的层叠电容部1中形成有一处连接部的方式进行。

将焊接后的大张阀作用金属层叠板100裁断成宽度3.5mm、长度5.5mm的层叠电容部1。

另外，如图3(b)所示，使用焊接在金属制引导件50上的阳极铝箔作为阳极金属板2，相对于阳极铝箔而将分离阳极部与阴极部的掩膜材料(聚酰亚胺树脂)在与未固定于引导件上的铝箔的前端相距6.5mm的位置处以0.8mm的宽度呈线状涂敷，并在180℃下干燥一小时，从而形成第一抗蚀剂层2a。

然后，如图3(c)所示，在由焊接于金属制引导件50上的阳极铝箔构成的阳极金属板2的表背面上分别焊接层叠化成铝箔而成的层叠电容部1。

接着，如图3(d)所示，对从层叠电容部1的前端至第一抗蚀剂层2a为止的部分实施阳极氧化(在9质量％己二酸铵水溶液中，在电流密度为5mA/cm²、化成电压为3.5V、温度为65℃的条件下进行10分钟)，进行水洗、干燥。

进而，如图4(a)所示，将掩膜材料(聚酰亚胺树脂)以0.8mm的宽度呈线状涂敷，并在180℃下干燥一小时，从而形成第二抗蚀剂层2c。

在形成第二抗蚀剂层2c后，反复进行二十次氧化聚合操作，所述氧化聚合操作是指：在(i)浸渗于含有3，4-亚乙基二氧基噻吩的异丙醇溶液(溶液1)、取出并放置后，(ii)浸渗于含有过硫酸铵的水溶液(溶液2)，接着，在50℃的温水中清洗后，在100℃下干燥，由此形成固体电解质层3。

最后，在构成阴极部的固体电解质层3上通过碳膏剂、银膏剂形成导电层4，之后将该电容器元件安装在基板9上，利用树脂6进行密封，由此制作出图6所示的结构的固体电解电容器。

具体而言，将与固体电解质层无关的阳极引线部2t折弯，并利用导电性粘接剂与印制基板上的阳极端子部分、阴极端子部分接合，将整体用环氧树脂进行密封后，切割成各个元件。然后，对该元件在135℃下施加2V的电压来进行熟化，从而制作出共计十个芯片型的固体电解电容器。

对制作出的十个固体电解电容器元件的平均体积、初始特性、固体电解电容器元件的体积电容比进行评价。

其结果如表1所示。

实施例2.

在实施例2中，除以下点以外，与实施例1同样地制作出固体电解电容器。

(与实施例1的不同点)

(i)涂敷银膏剂后，如图7所示，在涂敷有银被膜层4b的面的单面上辊涂敷聚酰亚胺树脂，并在180℃、一小时的条件下进行干燥，从而形成绝缘膜22。

(ii)如图8所示，在从金属制引导件50取下后，向涂敷有绝缘膜22(聚酰亚胺树脂)这一侧将阳极引线部2t沿着层叠电容部1折弯，并利用导电性粘接剂与印制基板上的阳极端子8、阴极端子7接合。

(iii)之后，将整体用环氧树脂进行密封，切割成各个固体电解电容器。

在实施例2中，直至涂敷银膏剂为止的工序、及切割成各个固体电解电容器后在135℃下施加2V的电压来进行熟化而制成共计十个芯片型的固体电解电容器这些方面与实施例1同样地进行。

其结果如表1所示。

实施例3.

在实施例3中，按照实施方式3的制造方法制作出十个固体电解电容器。

具体而言，如图11(a)所示，将未化成铝箔作为阳极金属板2固定在金属制引导件50上。

相对于焊接于金属制引导件50上的阳极铝箔而将分离阳极部与阴极部的掩膜材料(聚酰亚胺树脂)在与层叠部的前端相距6.5mm的位置处以0.8mm的宽度呈线状涂敷，并在180℃下干燥一小时，从而形成第一抗蚀剂层2a。

然后，如图11(b)所示，将切割成宽度3.5mm、长度5.5mm的化成铝箔(阀作用金属箔31a)分别在由未化成铝箔构成的阳极金属2的接合区域的两面上各重叠三张，从而形成层叠电容部31。

并且，利用コ状的铝板将层叠部的侧面夹入并利用超声波焊接进行接合，其中所述层叠部由未化成铝箔所构成的阳极金属板2和形成在其两面上的层叠电容部31构成。

以下，与实施例1同样地制作出十个实施例3的固体电解电容器。

然后，与实施例1同样地进行熟化后，对制作出的十个固体电解电容器元件的平均体积、初始特性、固体电解电容器元件的体积电容比进行评价。

其结果如表1所示。

实施例4.

在实施例4中，按照实施方式4的制造方法制作出十个固体电解电容器。

具体而言，与实施例1同样，如图13(a1)、(a2)所示，将大张的化成铝箔重叠三张并利用电阻焊进行焊接，制作出大张阀作用金属层叠板100。然后，将大张阀作用金属层叠板100裁断而制作出层叠电容部1(宽度3.5mm×长度5.5mm)。

另一方面，如图13(b)所示，准备大张的铝箔作为大张阳极金属板40，通过冲裁(冲压)加工制作出一体化有作为金属制引导部50a来使用的部分和多个阳极金属板42的大张阳极金属板40。

在大张阳极金属板40中，如图13(b)所示，在阳极金属板42的金属制引导部50a侧与实施例1等同样地形成第二抗蚀剂层42c。

然后，如图13(d1)、(d2)所示，将层叠电容部1以从金属制引导部50a离开的方式分别安装到阳极金属板42的接合区域中。

然后，如图13(e)所示，通过将大张阳极金属板40沿着分割线51切断，由此分离出各金属制引导部50a。

以下，与实施例1等同样地制作出十个实施例4的固体电解电容器，且与实施例1同样地在进行熟化后，对制作出的十个固体电解电容器元件的平均体积、初始特性、固体电解电容器元件的体积电容比进行评价。

比较例

如下这样制作出比较例的固体电解电容器。

首先，如图15(a)所示，将厚度110μm的化成铝箔以3.5mm的宽度切断而得到的化成铝箔片进而每取13mm的长度进行切断，将该化成铝箔片202的一方的短边部焊接固定在金属制引导件50上。

接着，如图15(b)所示，在对切断后的化成铝箔片202的切口进行化成处理之前，在与未固定于引导件50上的前端相距7mm的部位处将聚酰亚胺树脂溶液(宇部兴产制)以0.8mm的宽度呈线状地涂敷，并在大约180℃下干燥30分钟，由此形成聚酰亚胺树脂抗蚀剂层202a。

接着，如图15(c)所示，通过将从未固定于金属制引导件50上的铝箔片202的前端至涂敷有聚酰亚胺树脂抗蚀剂层202a为止的部分浸渗于化成液L1中，由此形成阳极氧化部202b。

进而，如图16(d)所示，以与阳极氧化后的铝箔片202的前端相距5mm的部分为中心而将聚酰亚胺树脂以0.8mm的宽度呈线状地涂敷，并在180℃下干燥一小时，由此形成第二聚酰亚胺树脂抗蚀剂层202c。

接着，如图16(e)所示，对铝箔片202的直至第二聚酰亚胺树脂抗蚀剂层202c为止的部分(3.5mm×4.6mm)的阴极部使用与实施例1同样的聚合液L2，在同样的条件下形成固体电解质层203。

进而，如图16(e)所示，在阴极部的固体电解质层203上使用碳膏剂P201和银膏剂P202在与实施例1同样的条件下形成碳被膜层204a及银被膜层204b。之后，通过从金属制引导件50取下，由此制作出图17(f1)、(f2)所示的电容器元件。

接着，制作将电容器元件层叠三张而成的层叠体，如图17(g1)、(g2)所示，利用层叠体将阴极引线框207a、阳极引线框202t的两面夹入。然后，如图17(h1)、(h2)所示，利用密封树脂206进行密封。

这里，阴极引线框207a与阴极部204b通过银膏剂接合，铝箔片202之间及铝箔片202与阳极引线框202t之间在未形成有固体电解质层203的部分通过焊接而接合。

与实施例同样地对完成后的固体电解电容器进行熟化后，对制作出的十个固体电解电容器元件的平均体积、初始特性、固体电解电容器元件的体积电容比进行评价。其结果与实施例1～4一起在表1中示出。

表1

如表1所示，可以确认本发明涉及的实施例1～4的固体电解电容器均能够减小元件的体积且增大体积电容比。

符号说明

1、31 层叠电容部

1a、31a 阀作用金属箔

2、42 阳极金属板

2a 第一抗蚀剂层

2c 第二抗蚀剂层

2s 接合区域

2d 分离区域

2b 阳极氧化分离部

2t 阳极引线部

3 固体电解质层

3a 间隙

4 导电层

4a 碳被膜层

4b 银被膜层

5 层叠部

6 密封部

7 阴极端子

7a 阴极电极

8 阳极端子

8a 阳极电极

9 基板

10 电容器元件

22 绝缘膜

32 金属固定件

50 金属制引导件

50a 金属制引导部

100 大张阀作用金属层叠板

100a 大张阀作用金属箔

100b 局部导通部

100c 裁断线

202 铝箔片

202a 聚酰亚胺树脂抗蚀剂层

202b 阳极氧化部

202c 第二聚酰亚胺树脂抗蚀剂层

202t 阳极引线框

203 固体电解质层

204a 碳被膜层

204b 银被膜层

206 密封树脂

207a 阴极引线框

d1 电介质氧化被膜

L1 化成液

L2 聚合液

P1 碳膏剂

P2 银膏剂

P201 碳膏剂

P202 银膏剂

Claims

1.一种固体电解电容器，其特征在于，

具备：在表面上具有电介质氧化被膜的多个阀作用金属箔带有间隙地层叠且在厚度方向上相邻的所述阀作用金属箔之间通过局部导通部电连接的层叠电容部、以及具有阳极引线部和接合区域的阳极金属板，

所述层叠电容部带有间隙地通过局部导通部与所述阳极金属板的接合区域的至少单面电连接，

在所述阀作用金属箔之间的间隙、所述阳极金属板与层叠电容部之间的间隙及层叠电容部的外表面上连续地形成有固体电解质层，

所述固体电解电容器形成有导电层，该导电层覆盖所述固体电解质层的外表面且与所述阳极金属板的阳极引线部电绝缘。

2.根据权利要求1所述的固体电解电容器，其中，

相邻的所述阀作用金属箔之间在所述层叠电容部的侧面电连接。

3.根据权利要求1或2所述的固体电解电容器，其中，

所述层叠电容部具有第一层叠电容部和第二层叠电容部，在所述阳极金属板的一个面上连接所述第一层叠电容部，在所述阳极金属板的另一个面上连接所述第二层叠电容部。

4.一种固体电解电容器的制造方法，其特征在于，包括：

层叠电容部制作工序，其中经由阀作用金属箔准备工序、阀作用金属箔层叠工序和导通部形成工序来制作层叠电容部，所述阀作用金属箔准备工序是指准备在表面上具有电介质氧化被膜的多个阀作用金属箔的工序，所述阀作用金属箔层叠工序是指将所述多个阀作用金属箔以带有能够供聚合液浸入的间隙的状态层叠的工序，所述导通部形成工序是指将在厚度方向上相邻的所述阀作用金属箔之间通过部分导通部电连接的工序；

阳极金属板准备工序，准备具有阳极引线部和接合区域的阳极金属板；

阳极金属板与层叠电容部连接工序，将所述层叠电容部以带有能够供聚合液浸入的间隙的状态与所述阳极金属板的接合区域的至少单面接合，且将所述阳极金属板的接合区域与所述层叠电容部的阀作用金属箔通过局部导通部电连接；

固体电解质层形成工序，通过将所述阳极金属板和所述层叠电容部一起浸渗在聚合液中，由此在所述各阀作用金属箔之间的间隙、所述阳极金属板与层叠电容部的间隙及层叠电容部的外表面上连续地形成固体电解质层；以及

导电层形成工序，将导电层以与所述阳极金属板的引线部电绝缘的状态形成在形成有所述固体电解质层的所述层叠电容部的外表面上。

5.根据权利要求4所述的固体电解电容器的制造方法，其中，

所述阀作用金属箔准备工序及所述阀作用金属箔层叠工序是以大张阀作用金属箔的状态实施，从而供给多个用于形成固体电解电容器的所述阀作用金属箔，

所述导通部形成工序包括将所述导通部以分布在所述大张阀作用金属箔的多个部位的方式形成的工序，

所述层叠电容部制作工序还包括以各所述层叠电容部含有至少一个所述导通部的方式对大张阀作用金属箔进行分割，由此取出多个所述层叠电容部的工序。

6.一种固体电解电容器的制造方法，其特征在于，包括：

阀作用金属箔准备工序，准备在表面上具有电介质被膜的多个阀作用金属箔；

层叠电容部制作工序，其中经由阀作用金属箔层叠工序和导通部形成工序来制作层叠电容部，其中所述阀作用金属箔层叠工序是指在所述阳极金属板的接合区域上将所述多个阀作用金属箔以带有能够供聚合液浸入的间隙的状态层叠的工序，所述导通部形成工序是指将在厚度方向上相邻的所述阀作用金属箔之间通过部分导通部电连接的工序；

阳极金属板与层叠电容部连接工序，将所述阳极金属板的接合区域与所述层叠电容部的阀作用金属箔通过局部导通部电连接；

7.根据权利要求6所述的固体电解电容器的制造方法，其中，

在所述层叠电容部制作工序中，将所述层叠电容部的侧面的一部分接合而使相邻的所述阀作用金属箔之间电连接。

8.根据权利要求7所述的固体电解电容器的制造方法，其中，

在所述层叠电容部制作工序中，在所述层叠电容部的对置的侧面上分别接合而使相邻的阀作用金属箔之间电连接。

9.根据权利要求4～8中任一项所述的固体电解电容器的制造方法，其中，

所述阳极金属板准备工序包括将多个所述阳极金属板并置接合到引导板上的操作，

在所述固体电解质层形成工序中，将分别与所述阳极金属板接合的多个层叠电容部一并浸渗在所述聚合液中。

10.根据权利要求4～8中任一项所述的固体电解电容器的制造方法，其中，

所述阳极金属板准备工序包括通过对矩形的大张阳极金属板的冲裁加工而形成沿着所述大张阳极金属板的一边的引导件部和与所述引导件部一体化的所述多个阳极金属板的操作，

将分别与所述阳极金属板接合的多个层叠电容部一起在所述固体电解质层形成工序中浸渗于所述聚合液中。

11.一种固体电解电容器的制造方法，其特征在于，包括：

未化成阀作用金属箔准备工序，准备多个未化成阀作用金属箔；

未化成阀作用金属箔层叠工序，将所述多个未化成阀作用金属箔以带有能够供化成液和聚合液浸入的间隙的状态层叠；

未化成层叠电容部制作工序，经由导通部形成工序来制作未化成层叠电容部，所述导通部形成工序是指将在厚度方向上相邻的所述未化成阀作用金属箔彼此通过局部导通部电连接的工序；

阳极金属板与未化成层叠电容部连接工序，将所述未化成层叠电容部以带有能够供化成液和聚合液浸入的间隙的状态与所述阳极金属板的接合区域的至少单面接合，并且将所述阳极金属板的接合区域与所述未化成层叠电容部的阀作用金属箔通过局部导通部电连接；

层叠电容部制作工序，通过将所述未化成层叠电容部和阳极金属板浸渗在化成液中并进行阳极氧化，由此在所述各阀作用金属箔之间的间隙、所述阳极金属板与层叠电容部的间隙及层叠电容部的外表面上形成电介质氧化被膜；

固体电解质层形成工序，通过将所述层叠电容部浸渗在聚合液中，由此在所述各阀作用金属箔之间的间隙、所述阳极金属板与层叠电容部的间隙及层叠电容部的外表面上隔着所述电介质氧化被膜形成固体电解质层；以及

导电层形成工序，在形成有所述固体电解质层的所述层叠电容部的外表面上隔着固体电解质层形成导电层。

12.根据权利要求11所述的固体电解电容器的制造方法，其中，

所述未化成阀作用金属箔准备工序及所述未化成阀作用金属箔层叠工序是以大张阀作用金属箔的状态实施的，从而供给多个用于形成固体电解电容器的所述未化成阀作用金属箔，

所述未化成层叠电容部制作工序还包括通过以各所述未化成层叠电容部含有至少一个所述导通部的方式对大张阀作用金属箔进行分割，由此取出多个所述层叠电容部的工序。

13.一种固体电解电容器的制造方法，其特征在于，包括：

阀作用金属箔层叠工序，将所述多个未化成阀作用金属箔以在所述多个未化成阀作用金属箔之间及所述未化成阀作用金属箔与所述阳极金属板之间分别具有能够供化成液和聚合液浸入的间隙的方式层叠在所述阳极金属板的接合区域上；

未化成层叠电容部制作工序，将在厚度方向上相邻的未化成阀作用金属箔彼此通过局部导通部电连接；

未化成层叠电容部与阳极金属箔连接工序，将所述未化成层叠电容部与阳极金属板通过局部导通部电连接；

固体电解质层形成工序，通过将所述层叠电容部和阳极金属板浸渗在聚合液中，由此在所述各阀作用金属箔之间的间隙、所述阳极金属板与层叠电容部的间隙及层叠电容部的外表面上隔着所述电介质被膜形成固体电解质层；以及

14.根据权利要求13所述的固体电解电容器的制造方法，其中，

在所述未化成层叠电容部制作工序中，将所述未化成层叠电容部的侧面的一部分接合而使相邻的未化成阀作用金属箔之间导通。

15.根据权利要求14所述的固体电解电容器的制造方法，其中，

在所述未化成层叠电容部制作工序中，在所述未化成层叠电容部的对置的侧面上分别接合而使相邻的未化成阀作用金属箔之间导通。

16.根据权利要求11～15中任一项所述的固体电解电容器的制造方法，其中，

在所述层叠电容部制作工序中，将分别与所述阳极金属板接合的多个未化成层叠电容部一并浸渗在所述化成液中，

17.根据权利要求11～15中任一项所述的固体电解电容器的制造方法，其中，

将分别与所述阳极金属板接合的多个层叠电容部一并在所述固体电解质层形成工序中浸渗在所述聚合液中。

18.根据权利要求4～17中任一项所述的固体电解电容器的制造方法，其中，

包括在所述导电层形成工序后将所述阳极引线部沿着所述层叠电容部折弯的折弯工序，在所述折弯工序与所述导电层形成工序之间，在所述层叠电容部中的与折弯的所述阳极引线部对置的部分形成绝缘膜。