CN102844703A - 切割引导槽形成方法、液晶母板、及切割方法 - Google Patents

Abstract

本发明的目的在于，在液晶母板表面上、对在划分液晶面板片的切割预定线上形成不均匀的切割引导槽的情况进行抑制。在本发明的切割引导槽形成方法中，为了将具有由切割预定线(3)(4)划分的多个液晶面板片(2)的液晶母板(1)切割成各液晶面板片(2)，一边用划线器(11)进行描画，一边沿切割预定线(3)(4)形成槽。液晶母板(1)包括一对母基板(7)(13)、以及多个框状密封部(9)。框状密封部(9)包括沿着包围线(30)而与其重叠的三边的重叠部分(911)(912)(913)、以及非重叠部分(914)。液晶母板(1)还包括夹在母基板(7)(13)间的支撑部(15)，使得该支撑部(15)沿着未通过框状密封部(9)上方的区间的包围线(30)而与其重叠。

Description

切割引导槽形成方法、液晶母板、及切割方法

技术领域

本发明涉及一种表面上具有被虚拟划出的栅格状切割预定线所划分的多个液晶面板片的液晶母板、在所述液晶母板的表面上沿所述切割预定线形成切割引导槽的切割引导槽形成方法、以及所述液晶母板的切割方法。

背景技术

近年来，作为计算机、电视机、以及移动电话等的显示部，液晶面板得到广泛运用。液晶面板一般包括：相互隔开间隔而相对的一对透明基板、夹在该基板间的液晶层、以及夹在所述一对透明基板间且包围所述液晶层的框状的密封部。

在所述一对透明基板之中，一块透明基板由薄膜晶体管(TFT)基板所构成，另一块透明基板由滤色片(CF)基板所构成。通常，在TFT基板上，呈矩阵状地形成有作为开关元件的多个TFT、以及与各TFT相连接的多个像素电极。与此不同的是，在CF基板上，呈矩阵状地形成有滤色片，且遍及整个面地形成有公共电极。在液晶面板中，在所述电极间，使所施加的电压发生变化，以对液晶层中的液晶分子的取向进行控制。

例如，如专利文献1所示那样，将这种液晶面板进行集中制造，使得在一块大母板(液晶母板)中分配多个液晶面板(液晶面板片)。在作为所述母板来进行集中制造后，将液晶面板一个个地进行分割。如专利文献1所示，在分割所述母板时，首先，用刀具(玻璃刀)在其表面上形成槽(切口)。接着，沿槽对所述母板进行加压分割，以获得各个液晶面板。

此外，如专利文献1所示，设置所述槽，使其沿着各液晶面板中的框状的密封部而与其重叠(使其通过密封部上方)。然后，在对所述母板进行加压分割时，构成液晶面板，使所述密封部沿所述槽断开。即，沿液晶面板的外缘(轮廓)配置框状的密封部。在想要增大显示区域、并使包围该显示区域的边框区域变窄的情况(所谓的边框狭窄化)下，使用具有这样的结构的液晶面板。例如将这样的窄边框的液晶面板应用于移动电话、数码相机等。

图16是现有的液晶母板1P的俯视图。如图16所示，在一块液晶母板1P中，分配有四个液晶面板(液晶面板片)2P(21P、22P、23P、24P)。在液晶母板1P的表面上，利用虚拟划出的切割预定线3P(31P、32P、33P、34P)和4P(41P、42P、43P、44P)来划分并包围各液晶面板2P。例如，利用切割预定线31P、32P、41P、42P来划分并包围液晶面板21P。此外，所述切割预定线3P、4P虚拟地设置在由各液晶面板2P的CF基板5P(51P、52P、53P、54P)经由空白区域6P相连接而形成的母基板7P的表面上。

在各液晶面板2P上，设置有框状的密封部9P(91P、92P、93P、94P)，使它们分别包围各液晶面板2P的显示区域8P(81P、82P、83P、84P)。各密封部9P夹在所述母基板7P与未图示的另一母基板之间。例如，将液晶面板21P中的密封部91P配置成沿着切割预定线31P、32P及41P而与其重叠。此外，将密封部91P的一部分设置成通过切割预定线42P的内侧(显示区域81P一侧)。然后，在该部分的密封部91P的外缘侧设置有端子(外部连接端子)10P(101P)。

在将图16所示的液晶母板1P分割成各个液晶面板2P时，用刀具(例如划线器)来描画各切割预定线3P、4P，从而在所述液晶母板1P的表面上形成槽(划线槽)。然后，利用该槽来分割液晶母板1P，从而将其分成各液晶面板2P。由于该槽在分割(切割)液晶母板1P时被利用，因此，有时将其称为切割引导槽。此外，在液晶母板1P的背面侧也划出与所述切割预定线3P、4P相同的虚拟的切割预定线，从而沿该切割预定线形成槽(划线槽)。

专利文献1：日本专利特开2003－255362号公报

发明内容

如图16所示，包围各液晶面板2P的切割预定线3P、4P的一部分不通过密封部9P上方。因此，若一边按压划线器，一边接在通过密封部9P上方的切割预定线之后沿未通过密封部9P上方的切割预定线形成槽，则形成于液晶母板1P表面的槽的深度(浸透量)有时会变得不均匀。

图17是示意性地表示用划线器11P在液晶母板1P表面形成槽(划线槽)12P的工序的说明图。在图17中，示意性地示出了液晶母板1P的截面结构。在液晶母板1P的表面上，划出有切割预定线3P(32P)。该切割预定线32P通过液晶面板21P中的密封部91P的上方、以及液晶面板23P中的密封部93P的上方。密封部9P(91P、93P)被夹在母基板7P与另一母基板13P之间，使母基板7P与另一母基板13P之间的间隔保持一定。然而，切割预定线32P也通过未夹有密封部9P(91P、93P)的部位。在该部位的基板7P与该部位的另一基板13P之间，未夹有能使间隔保持一定的构件。因而，若沿这样的切割预定线3P(32P)一边以一定的力来按压划线器(刀轮)11P一边使其移动，则在未夹有密封部9P(91P、93P)的部位上，会形成深度比夹有密封部9P的部位要深的深槽121P、122P。由于用力推压划线器11P，母基板7P会向下方弯曲，因此，会形成这样的深槽121P、122P。

如上所述，若在液晶母板1P上形成不均匀的深槽(划线槽)，则难以沿该槽12P切割液晶母板1P。例如，由于对该切割预定线3P(32P)施加不均匀的力等原因，会大幅脱离该切割预定线3P(32P)而将液晶母板1P切割得导致液晶面板2P发生缺损。

另外，在液晶母板1P表面形成槽12P后，有时会将液晶母板1P浸在蚀刻液中，一边使液晶母板1P变薄，一边使槽12P扩展。若在液晶母板1P的表面上形成有均匀的深槽(划线槽)，则通过将其浸在蚀刻液中，能均匀地扩大所述槽的宽度(槽宽)和深度(槽深)。这样，在一边使液晶母板1P变薄、一边使槽扩展的情况下，容易沿切割预定线分割液晶母板1P。

然而，如上所述，若在液晶母板1P上形成比预定(目标值)要深的深槽121P、122P，则会在液晶母板1P(母基板7P)上开孔，使得该槽121P、122P的底部消失，蚀刻液会从该孔进入液晶母板1P中。例如，如图17所示，若在槽121P的部位开孔，则蚀刻液会从该孔进入，导致蚀刻液与液晶面板21P的端子101P相接触，端子101P有可能会发生腐蚀。

本发明要解决的问题在于，提供一种在由液晶母板分割制造多个液晶面板时、在该液晶母板表面上至少对在划分液晶面板片的切割预定线上形成不均匀的切割引导槽的情况进行抑制的切割引导槽形成方法以及形成有这样的切割引导槽的液晶母板，进而提供一种用于由该液晶母板分割制造液晶面板的切割方法。

本发明所涉及的切割引导槽形成方法的要点在于，在彼此相对配置的一对母基板之间具有液晶层及包围该液晶层的框状密封部的液晶母板中，在至少一块母基板的表面上，利用虚拟划出的栅格状的切割预定线来划分形成多个液晶面板片，所述框状密封部包括重叠部分和非重叠部分，该重叠部分沿着由划分各液晶面板片的所述切割预定线所形成的包围线而与其重叠，该非重叠部分通过所述包围线内侧而不与所述包围线重叠，在所述母基板间夹有支撑部，使得该支撑部沿着未通过所述框状密封部上方的区间的所述包围线而与其重叠，一边用刀具来描画所述切割预定线，一边在所述液晶母板表面形成沿所述切割预定线的切割引导槽，使得能通过该支撑部上方而沿所述切割预定线进行切割。

在这种情况下，在所述母基板间也可以还夹有支撑部，使得该支撑部沿着所述包围线以外的切割预定线而与其重叠。

另外，也可以在所述框状密封部的所述非重叠部分的外缘侧配置所述液晶面板片的端子。

此外，也可以将所述液晶母板浸入蚀刻液中，使所述母基板变薄，并扩大所述切割引导槽的宽度和深度。

另外，本发明所涉及的液晶母板的要点在于，所述液晶母板在彼此相对配置的一对母基板之间具有液晶层及包围该液晶层的框状密封部，所述液晶母板的表面上具有由虚拟划出的栅格状的切割预定线所划分的多个液晶面板片，所述液晶母板在至少一块母基板的表面上划出有所述切割预定线，所述框状密封部包括重叠部分和非重叠部分，该重叠部分沿着由划分各液晶面板片的所述切割预定线所形成的包围线而与其重叠，该非重叠部分通过所述包围线内侧而不与所述包围线重叠，而且，所述液晶母板包括夹在所述母基板间的支撑部，使得该支撑部沿着未通过所述框状密封部上方的区间的所述包围线而与其重叠。

在这种情况下，在所述母基板间也可以还包括夹在所述母基板间的支撑部，使得该支撑部沿着所述包围线以外的切割预定线而与其重叠。

另外，也可以在所述框状密封部的所述非重叠部分的外缘侧配置所述液晶面板片的端子。

此外，本发明所涉及的液晶母板的切割方法的要点在于，在彼此相对配置的一对母基板之间具有液晶层及包围该液晶层的框状密封部的液晶母板中，在至少一块母基板的表面上，利用虚拟划出的栅格状的切割预定线来划分形成多个液晶面板片，所述框状密封部包括重叠部分和非重叠部分，该重叠部分沿着由划分各液晶面板片的所述切割预定线所形成的包围线而与其重叠，该非重叠部分通过所述包围线内侧而不与所述包围线重叠，所述液晶母板包括夹在所述母基板间的支撑部，使得该支撑部沿着未通过所述框状密封部上方的区间的所述包围线而与其重叠，所述切割方法沿所述切割预定线切割该液晶母板，所述液晶母板的切割方法包括：在所述液晶母板中的一块母基板的表面上沿所述切割预定线按压刀具而形成第一划线槽的工序；将形成有所述第一划线槽的所述液晶母板浸入蚀刻液而使所述液晶母板变薄、并使所述第一划线槽扩展的工序；在所述液晶母板中的另一块母基板的表面上沿所述切割预定线按压刀具而形成第二划线槽的工序；以及利用所述第一划线槽和所述第二划线槽来切割所述液晶母板的工序。

根据本发明的切割引导槽形成方法，在彼此相对配置的一对母基板之间具有液晶层及包围该液晶层的框状密封部的液晶母板的表面上，在划分多个液晶面板片的所述框状密封部之中不与切割预定线所形成的包围线重叠的部分，使切割预定线通过夹在一对母基板间的支撑部上方，从而至少能避免在划分液晶面板片的切割预定线上形成不均匀的切割引导槽。因此，在沿该切割预定线来切割液晶母板而分割制造各个液晶面板时，能顺畅并良好地进行生产而避免液晶面板发生缺损等问题。

附图说明

图1是本发明的一个实施方式所涉及的液晶母板的俯视图。

图2是图1所示的A－A’线处的液晶母板的剖视图。

图3是图1所示的B－B’线处的液晶面板的剖视图。

图4是表示通过切割液晶母板来获得液晶面板的液晶母板的切割方法的步骤的流程图。

图5是示意性地表示利用蚀刻处理来使液晶母板变薄的工序的说明图。

图6是示意性地表示经蚀刻处理后的液晶母板的结构的说明图。

图7是示意性地表示用划线器在液晶面板的母基板表面形成槽(第一划线槽)的工序的说明图。

图8是示意性地表示在母基板表面上形成有划线槽的液晶母板的说明图。

图9是示意性地表示经第二次蚀刻处理后的液晶母板的结构的说明图。

图10是示意性地表示在母基板表面上形成有第二划线槽的液晶母板的结构的说明图。

图11是示意性地表示沿第一划线槽和第二划线槽分割液晶母板而获得液晶面板的工序的说明图。

图12是本发明的另一个实施方式所涉及的液晶母板的俯视图。

图13是另一个实施方式所涉及的液晶母板的俯视图。

图14是另一个实施方式所涉及的液晶母板的一部分的俯视图。

图15是另一个实施方式所涉及的液晶母板的一部分的俯视图。

图16是现有的液晶母板的俯视图。

图17是示意性地表示用划线器在现有的液晶母板表面形成槽(划线槽)的工序的说明图。

具体实施方式

下面，参照附图，对本发明所涉及的液晶母板的实施方式、在所述液晶母板的表面上形成切割引导槽的切割引导槽形成方法的实施方式、以及所述液晶母板的切割方法的实施方式进行说明。其中，本发明并不局限于本说明书所例示出的实施方式。

图1是一个实施方式所涉及的液晶母板1的俯视图。图2是图1所示的A－A’线处的液晶母板1的剖视图。在图1中，示意性地示出了液晶母板1的俯视图。液晶母板1用于将多个液晶面板(液晶面板片)2进行集中制造，如图1所示，在一块液晶母板1中，分配有四个液晶面板(液晶面板片)2(21、22、23、24)。如图2所示，液晶母板1包括隔开间隔而相互相对的一对母基板7、13、以及夹在这些母基板7、13之间的框状密封部9。

图3是图1所示的B－B’线处的液晶面板2的剖视图。这里，参照图3，对液晶面板2(23)进行说明。如图3所示，液晶面板2包括TFT基板130、与该TFT基板130相对的CF基板70、夹在这些基板130、70之间的液晶层14、以及包围该液晶层14的框状密封部9(93)。框状密封部9夹在所述基板130、70之间，且包围并密封液晶层14。所述框状密封部9由热固化性树脂、光固化性树脂等公知的材料形成。

TFT基板130是在透明的玻璃板130a上呈矩阵状地形成有多个像素电极131的基板。各像素电极131具有接触孔部131a，而且，在各像素电极131的周围，形成有作为扫描电极线的栅极电极线132、以及作为图像信号电极线的源极电极线133，使它们互相正交(交叉)。

在栅极电极线132和源极电极线133的交叉部上，源极电极线133配置于上侧，栅极电极线132配置于下侧。在该交叉部上，栅极电极线132和源极电极线133经由栅极绝缘膜134进行电绝缘。另外，在栅极电极线132与源极电极线133之间的交叉部上，形成有与作为栅极电极线132的一部分的栅极电极132a相连接的作为开关元件的薄膜晶体管(TFT)135。

在形成有TFT135的区域的栅极绝缘膜134的上侧，形成有半导体膜136，使其与栅极电极132a重叠。另外，在该半导体膜136的上侧，形成有作为源极电极线133的一部分的源极电极133a、以及漏极电极133b。

在这种情况下，源极电极133a和漏极电极133b在栅极电极132a上的半导体膜136的两侧相互隔离地形成。而且，漏极电极133b经由接触孔部131a与像素电极131相连接。

利用由栅极电极线132的栅极电极132a所提供的扫描信号电压，来使TFT135导通/截止。另外，在TFT135导通的状态下，将由源极电极线133的源极电极133a所提供的图像信号电压经由漏极电极133b和接触孔部131a提供给像素电极131。

这样的TFT135被形成于栅极绝缘膜134上侧的层间绝缘膜137所覆盖。在该层间绝缘膜137上形成有像素电极131。像素电极131例如由ITO(indium-tin oxide：氧化铟锡)等透明导电膜所形成。在该像素电极131的上侧，形成有对表面施加研磨处理后的取向膜138。

在与这样的TFT基板130相对配置的CF基板70中，在透明的玻璃板70a上，形成有栅格状的黑矩阵(BM)71，使得对形成有上述栅极电极线132和源极电极线133的区域进行遮光。另外，在相邻的被BM71所包围的玻璃板70a上的区域内，形成有红、蓝、绿等着色层72。

另外，在着色层72的下侧(在图3中为下侧)，形成有与TFT基板130的各像素电极131相对的公共电极73，使其覆盖着色层72。该公共电极73也由ITO等透明导电膜所形成。另外，在公共电极73的下侧(在图3中为下侧)，形成有表面经研磨处理的取向膜74，使其覆盖公共电极73。

集中多个这样的液晶面板2，来制成图1和图2所示的一块液晶母板1。将各液晶面板2的CF基板(CF基板片)5(51、52、53、54)集中成一块板状，以制成母基板7，将各液晶面板2的TFT基板(TFT基板片)集中成一块板状，以制成另一块母基板13。此外，如图1所示，在各液晶面板2的周围，存在空白区域6，各液晶面板2经由该空白区域6在液晶母板1中相互连接。该空白区域6是未包含液晶面板2的部分，是最终要丢弃等的部分。

如图1所示，各液晶面板2在液晶母板1的表面上，被虚拟划出的切割预定线3(31、32、33)和4(41、42、43、44)所划分。切割预定线3(31、32、33)与切割预定线4(41、42、43、44)互相正交而成为栅格状。各液晶面板2被这些切割预定线3、4所包围。此外，这些切割预定线3、4在液晶母板1的表面上不是实际划出的可视的线，而是用于从液晶母板1切割出各液晶面板2的虚拟的线。此外，在母基板7的表面上，形成有图1所示的切割预定线3、4。

例如，液晶面板2 1被切割预定线31、32、以及与它们交叉的切割预定线41、42所包围。在本说明书中，特别将像这样沿液晶面板2(21)的外缘包围液晶面板2(21)的切割预定线3、4的部分称为包围线30。此外，为了便于说明，在图1中，只在液晶面板21上图示出了包围线30。在其他液晶面板22、23、24中，也与液晶面板21相同，由切割预定线3、4形成有沿各液晶面板2的外缘的包围线。

在本实施方式中，包围液晶面板21周围的包围线30的一部分与包围相邻液晶面板22周围的另一包围线的一部分是共用的。即，包围线30中由切割预定线32所形成的部分也成为相邻液晶面板22的包围线的部分。

如图1所示，在所述包围线30的下侧配置有框状密封部9(91)。将框状密封部9分别分配成与各液晶面板2相对应。将各框状密封部9配置成包围各液晶面板2上的各个显示区域8(81、82、83、84)。在本实施方式中，相邻的液晶面板2的框状密封部9彼此部分相连。如图1所示，液晶面板21的框状密封部91与液晶面板22的框状密封部92互相无间隙地进行配置而连成一体。另外，液晶面板23的框状密封部93与液晶面板24的框状密封部94互相无间隙地进行配置而连成一体。

这里，以液晶面板21的框状密封部91为例，进一步对框状密封部9进行说明。框状密封部91具有由包围矩形形状的显示区域81的四边所形成的矩形形状。框状密封部91包括由沿着包围线30而与其重叠的三边所形成的部分重叠部分)911、912、913、以及不与包围线30重叠而通过所述包围线30内侧显示区域8一侧)的非重叠部分914。

将所述重叠部分911、912的线宽设定成使包围线30从大致中央通过。即，所述重叠部分911、912露出至包围线30的外侧。此外，框状密封部91的重叠部分913与相邻的另一框状密封部92的一部分相连接。即，包围线30相当于切割预定线32的部分)通过由框状密封部91(913)与框状密封部92连成一体而形成的部分的大致中央。

框状密封部91的非重叠部分914的外缘侧配置有端子外部连接端子)10(101)。该端子10(101)形成于液晶面板2(21)的TFT基板上，与栅极电极线等相连接。

如以上以框状密封部91为例所进行的说明那样，各框状密封部9部分配置于各包围线30的内侧。即，在各包围线30中，存在未通过框状密封部9上方的区间。

如上所述，在各包围线30中的未通过各框状密封部9上方的区间内，分别配置有支撑部15(151、152、153、154)。该支撑部15例如由热固化性树脂、光固化性树脂等树脂材料所形成。

这里，以设置于液晶面板21的支撑部151为例，进一步对支撑部15进行说明。该支撑部151被夹在母基板7、13之间，配置成沿着包围线30而与其重叠。将该支撑部151配置于非重叠部914的外缘侧，使得包围端子101。将包围线30设定成通过支撑部151的大致中央。像这样沿不与框状密封部91重叠的区间的包围线30配置支撑部151，从而包围线30的所有部分都能受到来自母基板7下侧的支撑。

此外，液晶面板21中的支撑部151的一部分与相邻的液晶面板22的支撑部152部分相连。在包围线30的一部分上，设定有支撑部151、152，使得通过该连接部分的大致中央。

如以上以支撑部151为例所进行的说明那样，将各支撑部15配置成沿着不与框状密封部9重叠的区间的各包围线30而与其重叠。而且，与各液晶面板2相对应的各包围线30分别由框状密封部9和支撑部15自母基板7下侧进行支撑。

此外，可以采用将支撑部15预先设置于母基板7一侧、然后将其夹在所述母基板7与另一母基板13之间的结构，相反地，也可以采用将支撑部15预先设置于母基板13一侧、然后将其夹在所述母基板13与另一母基板7之间的结构。但是，如后所述，在液晶母板中的一块母基板上形成第一划线槽(切割引导槽)之后，用蚀刻液对该第一划线槽进行处理(蚀刻处理)而使其扩展，在这种情况下，优选为在形成第一划线槽的一侧的母基板上预先设置支撑部。支撑部15相对于预先设置一侧的母基板的紧密接合度(密闭度)有时会比相对于另一母基板的紧密接合度(密闭度)要高。在这种情况下，即使对第一划线槽进行蚀刻处理而在第一划线槽的底部形成孔，该孔也会因支撑部15而被高效密闭(塞住)。

图4是表示通过切割液晶母板来获得液晶面板的液晶母板的切割方法的步骤的流程图。下面，参照图4等，对液晶母板的切割方法进行说明。

首先，对图4的工序S1进行说明。该工序是制造母基板13(参照图3等)的工序。即，是将多块TFT基板集中于一块母基板13来进行制造的工序。在该工序中，在玻璃基板(母玻璃基板)130a的表面上，形成由钨、钛、铝、铬等所形成的单层或多层的导电膜。作为该导电膜的形成方法，可以使用溅射法等公知的方法。然后，利用光刻法等，将所形成的导电膜形成为规定的图案。由此，获得规定图案的栅极电极线132和栅极电极132a(参照图3)。

接着，在所述玻璃基板130a上形成栅极绝缘膜134。该栅极绝缘膜134例如由氮化硅等所形成，利用等离子CVD法等来形成该栅极绝缘膜134。然后，形成半导体膜136、源极电极线133、源极电极133a、以及漏极电极133b。半导体膜136例如由n^＋型非晶硅薄膜等所形成，利用等离子CVD法等来形成所述半导体膜136。然后，用与所述栅极电极线132相同的方法来形成源极电极线133、源极电极133a、以及漏极电极133b。

接着，在玻璃基板130a上形成由感光性树脂所形成的层间绝缘膜137。然后，在所形成的层间绝缘膜137上，形成用于形成接触孔部131a的开口部。用光刻法等来形成该开口部。然后，用溅射法等在该层间绝缘膜137的表面形成由ITO所形成的透明导电膜。然后，利用光刻法等，将所形成的透明导电膜形成为规定的图案。由此，获得规定图案的像素电极131及其接触孔131a。

在形成像素电极131之后，形成取向膜138。利用圆压式印刷装置、喷墨式印刷装置等，来涂布由聚酰亚胺等所形成的、成为取向膜138原料的液态的取向材料。然后，利用取向膜烧成装置等来对玻璃基板130a上的由所述取向材料所形成的涂膜进行烧成，接着，对该涂膜表面进行研磨处理。这样，在像素电极131上形成取向膜138。如上所述，制成分配排列有多块TFT基板130的母基板13。

接着，对图4所示的工序S2进行说明。该工序是在由工序S1所制成的母基板13中的各TFT基板130中分别形成支撑部15的工序。该支撑部15例如由感光性树脂所形成，利用光刻法等，在各TFT基板130中分别形成规定图案的支撑部15。该支撑部15以沿着切割预定线而与其重叠的方式形成。将该支撑部15的高度设定成与液晶面板2的单元间隙(TFT基板与CF基板之间的间隔)相等。例如，将支撑部15的高度设定为3.0μm～5.0μm左右。另外，例如将支撑部15的线宽设定为400μm～2000μm左右。此外，由于在切割液晶母板1时将支撑部15分割为一半，因此，残留于液晶面板2的支撑部15的实际线宽成为上述线宽的一半左右(200μm～1000μm)。

此外，在本实施方式中，在TFT基板侧的母基板13中形成有支撑部15，但在另一实施方式中，也可以形成在CF基板一侧的母基板7中。

接着，对图4所示的工序S3进行说明。该工序是制造母基板7(参照图3等)的工序。即，是将多块CF基板70集中于一块母基板7来进行制造的工序。在该工序中，首先，将BM抗蚀剂(含有黑色着色剂的感光性树脂组合物)等涂布于玻璃基板(母玻璃基板)70a表面。接着，利用光刻法等，将所涂布的BM抗蚀剂形成为规定的图案。由此，获得规定图案的黑矩阵(BM)71。

接着，涂布由红色、绿色、蓝色等各色的着色感光材料(使规定颜料分散于感光性树脂而形成的溶液)所形成的着色墨水，利用光刻法等，将该涂布物形成为规定图案的着色层72。然后，利用溅射法等在着色层72表面形成由ITO所形成的透明导电膜，以获得公共电极73。

接着，利用圆压式印刷装置、喷墨式印刷装置等，将由聚酰亚胺所形成的、成为取向膜74原料的液态的取向材料涂布于公共电极73的表面。然后，利用取向膜烧成装置等来对玻璃基板70a上的由所述取向材料所形成的涂膜进行烧成，接着，对该涂膜表面进行研磨处理。这样，在公共电极73上形成取向膜74。如上所述，制成分配排列有多块CF基板70的母基板7。

接着，对图4所示的工序S4进行说明。该工序是在由工序S3所制成的母基板7中的各CF基板70上分别形成框状密封部9的工序。各框状密封部9由热固化性树脂或光固化性树脂(感光性树脂)所形成，利用丝网印刷方式等，在母基板7中的各CF基板70上形成各框状密封部9，使得包围取向膜74。然后，利用喷墨方式等使液晶材料滴下并填充至被各框状密封部9所包围的区域。

在图4所示的工序S5中，将形成有支撑部15的母基板13与形成有框状密封部9并滴下有液晶材料的母基板7进行贴合。在该工序中，将所述母基板13和所述母基板7配置成在未图示的真空腔室内互相相对。然后，使真空腔室内处于大气压以下的减压状态。之后，若使真空腔室内返回大气压状态，则所述母基板13、7成为始终受到来自外侧的加压的状态。

之后，使框状密封部9固化，从而完成所述母基板13与所述母基板7的贴合。此外，在该框状密封部9固化时，也可以对所述支撑部15进行固化。

如上所述，若经过工序S1～S5，则能获得如图1等所示的液晶母板1。此外，在其他实施方式中，也可以在母基板7一侧预先设置支撑部15。

接着，对图4所示的工序S6进行说明。该工序是对液晶母板1进行蚀刻处理、以使其厚度变薄的工序。具体而言，进行蚀刻处理，直至液晶母板1的母基板7(玻璃基板70a)的厚度(板厚)和母基板13(玻璃基板130a)的厚度(板厚)分别成为作为目标的板厚T(例如0.05mm～0.5mm，优选为0.1mm～0.3mm)＋α(例如50μm～100μm)，以分别使它们变薄。

图5是示意性地表示利用蚀刻处理来使液晶母板变薄的工序的说明图。如图5所示，将液晶母板1浸入蚀刻槽200内的蚀刻液201，从而进行蚀刻处理。在这种情况下，利用以包住的方式收纳液晶母板1的托盘202，将液晶母板1浸入蚀刻液201中。在收纳液晶母板1的托盘202的上表面部和下表面部上，设置有多个孔202a。蚀刻液201经由该孔202a进入托盘202内部，通过接触该进入的蚀刻液201，来使液晶母板1的各母基板7、13变薄。

此外，在蚀刻槽200的下方配设有与未图示的供给泵相连接的供气管203。在该供气管203上开口形成有多个小孔203a，使由供气泵所提供的氮气等气体从该小孔203a喷出，以产生气泡204。利用该气泡204来对蚀刻槽200内的蚀刻液201进行搅拌。例如可利用包含氢氟酸、氟化钠、氟化钾、氟化氢铵等氟化合物或它们与盐酸等其他氧化合物的混合物等的溶液、以及包含氢氧化钾、羟化四甲铵等的溶液等，来作为蚀刻液201。

图6是示意性地表示经蚀刻处理后的液晶母板1的结构的说明图。在图6中，用虚线来表示经蚀刻处理前的液晶母板1的各母基板7、13的厚度(板厚)。如图6所示，在使经蚀刻处理后的各母基板7、13的厚度(板厚)薄板化(变薄)后，转移至下一工序S7。

<切割引导槽形成方法>

图4所示的工序S7是在液晶母板1的表面形成作为切割引导槽的划线槽(第一划线槽)的工序。在该工序中，在CF基板侧的母基板7的表面上，沿切割预定线形成划线槽。

如图1所示，在母基板7表面划出虚拟的切割预定线3、4，将它们配置成栅格状，以划分各液晶面板(液晶面板片)。将划线槽沿各切割预定线3、4设置成直线状。

图7是示意性地表示用划线器11在液晶面板1的母基板7表面形成槽(第一划线槽)12的工序的说明图。在图7中，示意性地示出了液晶母板1的截面结构。利用如图7所示的、包括旋转刀11a的划线器(刀轮)11来形成该划线槽12。所述划线器11的旋转刀11a包括人造金刚石的单晶体，该旋转刀11a的外周附近呈尖头形状。该旋转刀11a的外周部的截面呈V字形。

一边将该划线器(刀具)11按压于母基板7的表面，一边使其移动以描画切割预定线3等，从而在母基板7的表面上形成划线槽12。该划线槽12的截面(宽度方向的截面)呈V字形(未图示)。在形成划线槽12时，通常以一定的力将划线器11对母基板7进行按压。此外，在图7中，示出了沿切割预定线31形成划线槽12的工序。

例如将划线槽12的深度(浸透量)设定为母基板7的厚度(经蚀刻处理后的母基板7的厚度)的一半左右。如图7所示，在液晶母板1的母基板7与母基板13之间，除了框状密封部9(91、93)以外，还夹有支撑部15(151、153)。即，在相邻的液晶面板21与液晶面板23之间，不存在由划线器11将母基板7向下方按压的程度的较大间隙。因此，能利用划线器11，在母基板7表面形成具有一定深度的划线槽12。

此外，如图7所示，在液晶面板21与液晶面板22之间的空白区域6部分上，存在因所述母基板7、13间未夹有支撑部15等而产生的些许间隙。如图1等所示，在该空白区域6部分上，也存在切割预定线3(31)。在本实施方式中，未设置沿着该空白区域6部分的切割预定线3(31)而与其重叠的支撑部，但在其他实施方式中，也可以在该部分上设置支撑部。

利用划线器11，沿各切割预定线3、4分别在母基板7的表面上形成划线槽12。图8是示意性地表示在母基板7表面上形成有划线槽12的液晶母板1的说明图。如图8所示，在形成划线槽(第一划线槽)12后，转移至下一工序S8。

图4所示的工序S8是再次对液晶母板1进行蚀刻处理的工序。在该工序中，进一步使液晶母板1的各母基板7、13变薄，并对第一划线槽12进行扩大。

在该工序中，进行蚀刻处理，使各母基板7、13的厚度(板厚)分别成为上述目标厚度T。利用与所述工序S6相同的装置(参照图5)，来进行该工序S8的蚀刻处理。

此外，在该工序S8中，如上所述，进一步使各母基板7、13变薄，并对第一划线槽12进行扩大。若将液晶母板1浸入蚀刻液中，则也对划线槽12进行蚀刻处理，从而使宽度(槽宽)和深度(槽深)变大。若划线槽12经蚀刻处理而发生扩展，则在有的部位，其底部可能会到达框状密封部9或支撑部15而使框状密封部9等部分露出。此外，通常，在存在框状密封部9和支撑部15的部位，即使划线槽12的底部脱落，但由于紧密接合有框状密封部9和支撑部15而塞住划线槽12底部的孔，因此，能抑制蚀刻液从该孔进入液晶面板2内。此外，在不存在框状密封部9等的部位，即使因划线槽12的底部脱落而导致形成孔，从而蚀刻液从该孔进入，但该部位通常是液晶面板2周围的空白区域6部分，从而蚀刻液也不会例如与端子10相接触而腐蚀端子10。框状密封部9和支撑部15对蚀刻液具有耐久性，即使与蚀刻液相接触也不会被腐蚀。

图9是示意性地表示经第二次蚀刻处理后的液晶母板1的结构的说明图。配置液晶母板1，使得母基板7位于下侧，而母基板13位于上侧。如图9所示，在母基板7的表面上，利用蚀刻处理而形成有扩大槽宽和槽深后的第一划线槽12a。另外，利用该蚀刻处理，使各母基板7、13的厚度(板厚)成为目标厚度T。此外，在图9中，用虚线来表示进行该蚀刻处理前的厚度。

<切割引导槽形成方法>

接着，对图4所示的工序S9进行说明。该工序是在液晶母板1的表面形成作为切割引导槽的划线槽(第二划线槽)的工序。在该工序中，在TFT基板侧的母基板13的表面上，沿切割预定线形成划线槽。

在液晶母板1上，在母基板13的表面上，也设定有虚拟的切割预定线(未图示)。与图1所示的母基板7一侧的切割预定线3、4相同，将该母基板13表面上的切割预定线也配置成栅格状，以划分各液晶面板(液晶面板片)2。另外，将母基板13一侧的切割预定线设定成与母基板7一侧的切割预定线3、4相对。将划线槽(第二划线槽)沿在母基板13表面上虚拟划出的切割预定线设置成直线状。

与第一划线槽12相同，利用划线器11在母基板13的表面上形成第二划线槽。一边沿母基板13表面上的切割预定线按压划线器11，一边使其移动，从而形成第二划线槽。图10是示意性地表示在母基板13表面上形成有第二划线槽121的液晶母板1的结构的说明图。如图10所示，第二划线槽121沿框状密封部9的线宽方向通过其大致中央。此外，将本实施方式的第二划线槽121的槽宽和槽深设定成与第一划线槽12的槽宽和槽深相同。此外，也可以将第二划线槽的槽深(浸透量)设定成到达框状密封部9。另外，如图10所示，母基板13上的第二划线槽121与母基板7上的第一划线槽12a隔着框状密封部9等互相相对。

母基板13的切割预定线也通过框状密封部9和支撑部15的上方。因此，能利用划线器11，在母基板13表面形成具有一定深度的第二划线槽121。

接着，对图4所示的工序S10进行说明。该工序是沿第一划线槽12a和第二划线槽121对液晶母板1进行加压分割而获得液晶面板2的工序。图11是示意性地表示沿第一划线槽12a和第二划线槽121对液晶母板1进行分割而获得液晶面板2的工序的说明图。以第一划线槽12a和第二划线槽121来引导并切割液晶母板1。如图11所示，若利用形成于液晶母板1两面的第一划线槽12a和第二划线槽121，则能容易且高精度地切割液晶母板1。而且，能获得具有规定外形尺寸的液晶面板2。

此外，在分割液晶母板1时，将框状密封部9也分割成大致一半的线宽。例如，若对液晶母板1进行分割，则如图11所示，能将图10所示的液晶面板24的框状密封部94分成作为框状密封部9a(94a)而残留于液晶面板24一侧的部分、以及残留于空白区域6一侧的部分9b(94b)。另外，若对液晶母板1进行分割，则如图11所示，能将位于图10所示的液晶面板24与液晶面板23之间的边界部分的框状密封部9(94、93)分成作为液晶面板24一侧的框状密封部9a(94a)而残留的部分、以及作为液晶面板23的框状密封部9a(93a)而残留的部分。而且，若对液晶母板1进行分割，则如图11所示，能将图10所示的液晶面板23的框状密封部93分成残留于液晶面板23一侧的作为框状密封部9a(93a)而残留的部分、以及残留于空白区域6一侧的部分9b(93b)。

若将液晶母板1分割成各液晶面板2，则也会沿第一划线槽12a和第二划线槽121分割支撑部15。支撑部15也被切割成在其线宽的大致中央分开。可以将残留于液晶面板2的支撑部15就这样保留，也可以根据需要进行去除。

此外，对分割后的液晶面板2的端面适当进行研磨等，以准备好所述端面。

如上所述，经过工序S6～工序S10，由液晶母板1获得多个(本实施方式中为4个)液晶面板2。此外，在这些工序的工序S7和工序S9中，利用了本发明的切割引导槽形成方法。

本实施方式的液晶母板1如图1所示，将支撑部15配置成沿着各包围线30而与其重叠。像这样配置支撑部15，从而至少将支撑部15或框状密封部9配置于包围各液晶面板2的切割预定线3、4的下侧，以利用它们来支撑母基板7。因此，对于本实施方式的液晶母板1，能至少沿包围各液晶面板2的各包围线30形成槽宽和槽深一定的划线槽(切割引导槽)。因而，能获得具有规定外形尺寸而不发生部分缺损的液晶面板2。

图12是另一个实施方式所涉及的液晶母板1A的俯视图。该液晶母板1A的基本结构与图1等所示的液晶母板1的基本结构相同。但是，在该液晶母板1A中，各个液晶面板2中的框状密封部9和支撑部15互相分离而独立。因此，虚拟形成于液晶母板1A表面上的切割预定线3、4与液晶母板1的切割预定线不同。在液晶母板1A上，切割预定线3(31、32、33、34)和切割预定线4(41、42、43、44)互相正交地配置成栅格状。而且，在液晶面板21和液晶面板22之间、以及液晶面板23和液晶面板24之间，存在被切割预定线32和33夹住的空白区域6。此外，在图12中未示出的其他母基板上，也设定有与所述切割预定线3、4相对的切割预定线。

这样，在液晶母板1A中，也可以将各液晶面板2分配成互相分开。对于这样的液晶母板1A，也与液晶母板1的切割相同，沿各切割预定线3、4在液晶母板1A的表面和背面形成切割引导槽，然后利用该切割引导槽来将所述液晶母板1A切割成各液晶面板2。

图13是另一个实施方式所涉及的液晶母板1B的俯视图。该液晶母板1B的基本结构与上述液晶母板1(1A)的基本结构相同。但是，在该液晶母板1B中，以沿着包围线30以外的切割预定线4(41、42、43、44)而与其重叠的方式设置有支撑部15a。该支撑部15a由种类与液晶母板1的支撑部15相同的材料所形成。与支撑部15相同，该支撑部15a也设定成使切割预定线通过其大致中央。这样，将支撑部15a设置于包围线30以外的切割预定线3，从而无论有无空白区域6，都能将槽宽和槽深一定的切割引导槽(划线槽)形成于该切割预定线3。而且，利用该切割引导槽，将空白区域6的部分也包含在内，能高精度地对液晶母板1B进行切割。

此外，在其他实施方式中，也可以将支撑部设置成沿着图13中的包围线30以外的切割预定线4(41、42、43、44)而与其重叠。

这里，参照图1，对支撑部15的其他功能进行说明。如图1所示，将各液晶面板2的各支撑部15配置成包围各个端子10。支撑部15无间隙地与框状密封部9相连。这样，若以支撑部15来包围液晶面板2的端子10，则端子10不会因上述工序S6和工序S8中的蚀刻处理而发生腐蚀。其原因在于，即使蚀刻处理导致沿包围线30而形成的划线槽发生扩展，从而在划线槽的底部形成孔，但由于该孔被支撑部15所堵住，因此，蚀刻液无法从该孔进入。即，支撑部15还具有堵住形成于划线槽的孔以防止蚀刻液进入的功能。

图1所示的液晶母板1中的支撑部15相对于与框状密封部9不重叠的区间的包围线30完全重叠，但在其他实施方式中，支撑部15在所述包围线30的区间内无需完全重叠。

图14是另一个实施方式所涉及的液晶母板1C的一部分的俯视图。在图14中，为了便于说明，只示出了分配在液晶母板1C中的多个液晶面板2之中的一个液晶面板2(21)。该液晶母板1C的基本结构与图1等所示的液晶母板1等的基本结构相同。但是，在该液晶母板1C的液晶面板2(21)中，与液晶母板1的支撑部15相比，部分地形成有其支撑部15b。只沿着包围线30之中的切割预定线3(31)和3(32)而与其重叠地设置有该支撑部15b。因此，在包围线30上存在既不存在框状密封部9(91)又不存在支撑部15b的间隙。若通过设置支撑部15b可充分抑制母基板7在对应于所述间隙的区间内发生弯曲，则也可以利用这样的液晶母板1C。

图15是另一个实施方式所涉及的液晶母板1D的一部分的俯视图。在图15中，为了便于说明，只示出了分配在液晶母板1D中的多个液晶面板2之中的一个液晶面板2(21)。该液晶母板1E的基本结构与图1等所示的液晶母板1等的基本结构相同。但是，在该液晶母板1D的液晶面板2(21)中，也与图14所示的液晶面板相同，与液晶母板1的支撑部15相比，部分地形成有其支撑部15c。只沿着包围线30之中的切割预定线4(42)而与其重叠地设置有该支撑部15c。因此，在框状密封部9(91)与支撑部15c之间，存在既不存在框状密封部9(91)又不存在支撑部15c的间隙。若通过设置支撑部15c可充分抑制母基板7在对应于所述间隙的区间内发生弯曲，则也可以利用这样的液晶母板1D。

不仅可在如上所述那样分割液晶母板时伴随蚀刻处理而利用本发明的切割引导槽形成方法。即，即使在切割液晶母板而未伴随有蚀刻处理的情况下，也能利用本发明的切割引导槽形成方法。

在各实施方式中，在液晶母板上分配有四个液晶面板，但在其他实施方式中，也可以将比这要多的液晶面板分配于一块液晶母板。

Claims (8)

1.一种液晶母板的切割引导槽形成方法，其特征在于，在彼此相对配置的一对母基板之间具有液晶层及包围该液晶层的框状密封部的液晶母板中，在至少一块母基板的表面上，利用虚拟划出的栅格状的切割预定线来划分形成多个液晶面板片，所述框状密封部包括重叠部分和非重叠部分，该重叠部分沿着由划分各液晶面板片的所述切割预定线所形成的包围线而与其重叠，该非重叠部分通过所述包围线内侧而不与所述包围线重叠，在所述母基板间夹有支撑部，使得该支撑部沿着未通过所述框状密封部上方的区间的所述包围线而与其重叠，一边用刀具来描画所述切割预定线，一边在所述液晶母板表面形成沿所述切割预定线的切割引导槽，使得能通过该支撑部上方而沿所述切割预定线进行切割。

2.如权利要求1所述的切割引导槽形成方法，其特征在于，

在所述母基板间还夹有支撑部，使得该支撑部沿着所述包围线以外的切割预定线而与其重叠。

3.如权利要求1或2所述的切割引导槽形成方法，其特征在于，

在所述框状密封部的所述非重叠部分的外缘侧配置所述液晶面板片的端子。

4.如权利要求1至3的任一项所述的切割引导槽形成方法，其特征在于，

将所述液晶母板浸入蚀刻液中，使所述母基板变薄，并扩大所述切割引导槽的宽度和深度。

5.一种液晶母板，所述液晶母板在彼此相对配置的一对母基板之间具有液晶层及包围该液晶层的框状密封部，所述液晶母板的表面上具有由虚拟划出的栅格状的切割预定线所划分的多个液晶面板片，其特征在于，

所述液晶母板在至少一块母基板的表面上划出有所述切割预定线，所述框状密封部包括重叠部分和非重叠部分，该重叠部分沿着由划分各液晶面板片的所述切割预定线所形成的包围线而与其重叠，该非重叠部分通过所述包围线内侧而不与所述包围线重叠，而且，所述液晶母板包括夹在所述母基板间的支撑部，使得该支撑部沿着未通过所述框状密封部上方的区间的所述包围线而与其重叠。

6.如权利要求5所述的液晶母板，其特征在于，

在所述母基板间还包括夹在所述母基板间的支撑部，使得该支撑部沿着所述包围线以外的切割预定线而与其重叠。

7.如权利要求5或6所述的液晶母板，其特征在于，

在所述框状密封部的所述非重叠部分的外缘侧配置所述液晶面板片的端子。

8.一种液晶母板的切割方法，在彼此相对配置的一对母基板之间具有液晶层及包围该液晶层的框状密封部的液晶母板中，在至少一块母基板的表面上，利用虚拟划出的栅格状的切割预定线来划分形成多个液晶面板片，所述框状密封部包括重叠部分和非重叠部分，该重叠部分沿着由划分各液晶面板片的所述切割预定线所形成的包围线而与其重叠，该非重叠部分通过所述包围线内侧而不与所述包围线重叠，所述液晶母板包括夹在所述母基板间的支撑部，使得该支撑部沿着未通过所述框状密封部上方的区间的所述包围线而与其重叠，所述切割方法沿所述切割预定线切割该液晶母板，其特征在于，所述液晶母板的切割方法包括：

在所述液晶母板中的一块母基板的表面上沿所述切割预定线按压刀具而形成第一划线槽的工序；

将形成有所述第一划线槽的所述液晶母板浸入蚀刻液而使所述液晶母板变薄、并使所述第一划线槽扩展的工序；

在所述液晶母板中的另一块母基板的表面上沿所述切割预定线按压刀具而形成第二划线槽的工序；以及

利用所述第一划线槽和所述第二划线槽来切割所述液晶母板的工序。

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