CN102714901A - 有机el显示面板、有机el显示装置及其制造方法 - Google Patents

有机el显示面板、有机el显示装置及其制造方法 Download PDF

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Abstract

本发明提供一种不必提高在有机发光层中流动的电流密度而能够实现高辉度化的有机EL显示面板。该有机EL显示面板具备：基板；TFT层，其形成于基板上；平坦化膜，其形成于TFT层的上方，并设置有接触孔5；多个下部电极，其在平坦化膜的上方以像素为单位形成为行列状，并经由接触孔与TFT层导通；堤，其形成于平坦化膜的上方，并具有与多个下部电极对应的多个开口部17；有机发光层，其形成于多个开口部17；和上部电极，其形成于有机发光层的上方，接触孔5存在于在列方向上排列的各开口部17之间，在列方向上相对的开口部17的端部17a、17b的至少一方，具有在行方向上宽度变窄并且在列方向上向着与接触孔在行方向相邻的区域延长的形状。

Description

有机EL显示面板、有机EL显示装置及其制造方法
技术领域
本发明涉及具备有机EL元件的有机EL显示面板、有机EL显示装置及其制造方法，尤其涉及使发光辉度提高的技术。
背景技术
近年来，作为显示装置正在研究开发在基板上配设有有机EL元件的有机EL显示面板。有机EL显示面板具有如下特征：由于利用进行自发光的有机EL元件，因而视觉识别性高，而且由于是完全固体元件，因而耐冲击性优异。由于这些特征，最近，作为便携电话等小型电子设备、电视的显示器，有机EL显示面板正在普及。
有机EL元件是电流驱动型的发光元件，通常构成为：在阳极和阴极的电极对之间，除了进行由载流子的再结合(复合)实现的场致发光现象的有机发光层，还层叠空穴注入层、空穴输送层、电子输送层、电子注入层等。
图12是表示以往的有机EL显示面板500的结构的局部剖视图。有机EL显示面板500为以该图上侧为显示面的所谓的顶部发射型。图13为示意性表示从显示面侧观察有机EL显示面板500所见的堤57的形状的图，为了便于说明，示出了除去有机发光层58、上部电极59的状态。另外，图12的局部剖视图相当于图13中的C-C’剖视图。
如图12所示，在基板51上依次层叠有TFT层52、供电电极53、平坦化膜54、下部电极(阳极)56。在平坦化膜54设置有用于使TFT层52与下部电极56导通的接触孔55。在下部电极56上形成有具有成为有机发光层形成区域的开口部60的堤57。在开口部60形成有有机发光层58，以覆盖有机发光层58的方式层叠有上部电极(阴极)59。
如图13所示，开口部60为使列(Y)方向为长边的略长方形状，呈行列状配置有多个开口部。接触孔55位于在列方向上排列的开口部60之间，成为由堤57覆盖的结构。在接触孔55没有由堤57覆盖的情况下，由于接触孔55的存在，有机发光层58没有成为平坦的层，成为发光不均等的原因。于是，如图12、13所示，以覆盖接触孔55的方式形成堤57。
现有技术文献
专利文献1：日本特开2007-207962号公报
专利文献2：日本特开2005-322656号公报
发明内容
发明要解决的问题
近年来，正在要求有机EL显示面板的进一步的高辉度化。有机EL元件的辉度根据在有机发光层中流动的电流密度而变高，因此能够通过提高电流密度来实现高辉度化。但是，由于引起以有机发光层为首的各层的劣化等的问题，因此通过提高在有机发光层中流动的电流密度而实现的高辉度化是有限度的。
本发明是鉴于上述的问题而完成的发明，目的在于提供一种不必提高在有机发光层中流动的电流密度而能够实现高辉度化的有机EL显示面板。
用于解决问题的手段
本发明的一个方式的有机EL显示面板为如下结构，具备：基板；TFT层，其形成于所述基板上；平坦化膜，其形成于所述TFT层的上方，并设置有接触孔；多个下部电极，其在所述平坦化膜的上方以像素为单位形成为行列状，并经由所述接触孔与所述TFT层导通；堤，其形成于所述平坦化膜的上方，并具有与所述多个下部电极对应的多个开口部；有机发光层，其形成于所述多个开口部；和上部电极，其形成于所述有机发光层的上方，所述接触孔存在于在列方向上排列的各开口部之间，在所述列方向上相对的开口部的端部的至少一方，具有在行方向上宽度变窄并且在列方向上向着与所述接触孔在行方向相邻的区域延长的形状。
发明的效果
在本发明的一个方式的有机EL显示面板中，将在列方向上相对的开口部的端部的至少一方设为在行方向上宽度变窄并且在列方向上向着与接触孔在行方向相邻的区域延长的形状。另一方面，在以往的结构中，开口部的端部不是在列方向上延长的形状。根据本方式，通过设为延长开口部的端部的形状，从而能够扩展开口部的面积(开口面积)、即发光面积。由于发光面积得以扩展，因此能够使在有机发光层中流动的电流密度不变而实现发光辉度的提高。因此，不必提高在有机发光层中流动的电流密度，能够提供一种高辉度的有机EL显示面板。
附图说明
图1是表示实施方式1的有机EL显示面板的结构的局部剖视图。
图2是表示实施方式1的有机EL显示面板的堤的形状的示意图。
图3是表示实施方式1的有机EL显示面板的制造工序例的图。
图4是表示实施方式1的有机EL显示面板的制造工序例的图。
图5是表示喷墨装置系统的主要结构的图。
图6是表示实施方式1的涂敷对象基板和头部的位置关系(横向涂敷时)的图。
图7是表示实施方式1的涂敷对象基板和头部的位置关系(纵向涂敷时)的图。
图8是表示实施方式2的有机EL显示面板的堤的形状的示意图。
图9是表示实施方式2的涂敷对象基板和头部的位置关系(横向涂敷时)的图。
图10是表示本发明的变形例的有机EL显示面板的堤的形状的示意图。
图11是表示显示装置的外观的外观立体图。
图12是表示以往的有机EL显示面板的结构的局部剖视图。
图13是表示以往的有机EL显示面板的堤的形状的示意图。
图14是表示以往的有机EL显示面板的制造工序中的、涂敷对象基板与头部的位置关系的图。
符号的说明
1  基板
2  TFT层
3  供电电极
4  平坦化膜
5  接触孔
6  下部电极
7  堤
8  凹部
9  空穴注入层
10  空穴输送层
11  有机发光层
12  电子输送层
13  电子注入层
14  上部电极
16  由有机发光材料形成的有机层
17  开口部
17a 第一端部
17b 第二端部
18  由有机发光层用墨形成的液滴
19  由空穴输送层用墨形成的液滴
20  喷墨台
21a 宽度变窄的部分
21b 宽度变窄的部分
22a  宽度变窄的部分
22b  宽度变窄的部分
22c  宽度变窄的部分
30   喷墨头
100、100A  有机EL显示面板
200  基座
210  台架部
220  移动体
301  头部
302  本体部
400  显示装置
500  有机EL显示面板
500A 涂敷对象基板
1000 喷墨装置系统
51  基板
52  TFT层
53  供电电极
54  平坦化膜
55  接触孔
56  下部电极
57  堤
58  有机发光层
59  上部电极
60  开口部
62  头部
620 喷嘴
具体实施方式
[发明的方式]
本发明的一个方式的有机EL显示面板为如下结构，具备：基板；TFT层，其形成于所述基板上；平坦化膜，其形成于所述TFT层的上方，并设置有接触孔；多个下部电极，其在所述平坦化膜的上方以像素为单位形成为行列状，并经由所述接触孔与所述TFT层导通；堤，其形成于所述平坦化膜的上方，并具有与所述多个下部电极对应的多个开口部；有机发光层，其形成于所述多个开口部；和上部电极，其形成于所述有机发光层的上方，所述接触孔存在于在列方向上排列的各开口部之间，在所述列方向上相对的开口部的端部的至少一方，具有在行方向上宽度变窄并且在列方向上向着与所述接触孔在行方向相邻的区域延长的形状。
根据本方式，将在列方向上相对的开口部的端部的至少一方设为在行方向上宽度变窄并且在列方向上向着与接触孔在行方向相邻的区域延长的形状。另一方面，在以往的结构中，开口部的端部不是在列方向上延长的形状。根据本方式，通过设为延长开口部的端部的形状，从而可以扩展开口部的面积(开口面积)、即发光面积。由于发光面积得以扩展，因此可以使在有机发光层中流动的电流密度不变而实现发光辉度的提高。
另外，作为本发明的另一方式，可以为，在所述列方向上相对的开口部的端部的双方具有在行方向上宽度变窄的形状，在所述列方向上相对的开口部的端部的一方的宽度变窄的部分，越过与所述接触孔在行方向相邻的区域而在列方向上延长，在所述列方向上相对的开口部的端部的另一方的宽度变窄的部分，形成为与在所述列方向上相对的开口部的端部的一方的宽度变窄的部分交错，在所述列方向上相对的开口部的端部的双方的宽度变窄的部分具有在行方向上重叠的区域。
通过这种结构，与以往相比，也能够扩大开口面积。
进而，作为本发明的另一方式，可以为，在所述列方向上相对的开口部的端部的至少一方的宽度变窄的部分，在列方向上至少延长至与所述接触孔在行方向相邻的区域。
通过使开口部的端部的至少一方的宽度变窄的部分延长至与接触孔在行方向相邻的区域，可以进一步扩大开口面积。
在此，作为本发明的另一方式，可以为，所述接触孔与连接在列方向上排列的开口部的中心的假想线在行方向上偏离而配置，在所述列方向上相对的开口部的端部的至少一方的宽度变窄的部分，向着与所述接触孔的行方向偏离的方向相反的方向相邻的区域在列方向上延长。
通过将接触孔的位置在行方向上从连接在列方向上排列的开口部的中心的假想线偏离，使宽度变窄的部分在列方向上向着与接触孔在与偏离方向相反的方向相邻的区域延长，从而也可以实现开口面积的扩展。
另外，作为本发明的另一方式，可以为，所述接触孔配置在连接在列方向上排列的开口部的中心的假想线上，在所述列方向上相对的开口部的端部的至少一方的宽度变窄的部分，在列方向上向着与所述接触孔相邻的至少一方的区域延长。
通过将接触孔的位置配置于连接在列方向上排列的开口部的中心的假想线上，使宽度变窄的部分在列方向上向着与接触孔相邻的至少一方的区域延长，从而也可以实现开口面积的扩展。
进而，作为本发明的另一方式，还可以具备介于所述下部电极与所述有机发光层之间的空穴注入层。
通过设置空穴注入层，可以促进从下部电极向有机发光层注入空穴，实现进一步的辉度提高。
在此，作为本发明的另一方式，还可以具备介于所述有机发光层与所述上部电极之间的电子注入层。
通过设置电子注入层，可以促进从上部电极向有机发光层注入电子，实现进一步的辉度提高。
另外，作为本发明的另一方式，所述堤还可以具备在所述接触孔的上方跟随所述接触孔的凹部。
在形成堤的工序中，通常，跟随设置于平坦化膜的接触孔而在堤同时形成凹部。根据本方式，即使存在这样的凹部，也可以不受其影响地扩大开口面积，因此不需要另行堵塞凹部的工序。
进而，本发明的有机EL显示装置具备上述结构的有机EL显示面板。由此，可以构成得到与上述同样效果的有机EL显示装置。
在此，作为本发明的另一方式，可以是有机EL显示面板的制造方法，包括以下工序：准备基板；在所述基板上形成TFT层；在所述TFT层的上方形成平坦化膜；在所述平坦化膜形成接触孔；在所述平坦化膜的上方以像素为单位呈行列状形成多个下部电极，经由所述接触孔使所述TFT层与所述多个下部电极导通；在所述平坦化膜的上方形成堤，所述堤具有与所述多个下部电极对应地设置的多个开口部；在所述多个开口部形成有机发光层；和在所述有机发光层的上方形成上部电极，在所述形成堤的工序中，所述接触孔位于在列方向上排列的各开口部之间，在所述列方向上相对的开口部的端部的至少一方，形成为具有在行方向上宽度变窄并且在列方向上向着与所述接触孔在行方向相邻的区域延长的形状。
根据本方式，将在列方向上相对的开口部的端部的至少一方设为在行方向上宽度变窄并且在列方向上向着与接触孔在行方向相邻的区域延长的形状。另一方面，在以往的结构中，开口部的端部不是在列方向上延长的形状。根据本方式，通过设为延长开口部的端部的形状，从而可以扩展开口部的面积(开口面积)、即发光面积。由于发光面积得以扩展，因此可以使在有机发光层中流动的电流密度不变而实现发光辉度的提高。
在此，作为本发明的另一方式，可以为，在所述形成堤的工序中，在所述多个开口部中，在所述列方向上相对的开口部的端部的双方在行方向上宽度变窄，在所述列方向上相对的开口部的端部的一方的宽度变窄的部分，越过与所述接触孔在行方向相邻的区域而在列方向上延长，在所述列方向上相对的开口部的端部的另一方的宽度变窄的部分，与在所述列方向上相对的开口部的端部的一方的宽度变窄的部分交错，在所述列方向上相对的开口部的端部的双方的宽度变窄的部分形成为具有在行方向上重叠的区域。
通过这种结构，与以往相比，也能够扩展开口面积。
进而，作为本发明的另一方式，可以为，在所述形成有机发光层的工序中，从配置有多个喷嘴的喷墨头，对所述多个开口部排出由含有构成所述有机发光层的有机材料以及溶剂的有机发光层用墨形成的液滴，使溶剂蒸发干燥，从而形成所述有机发光层。
通过喷墨方式的涂敷工序来形成有机发光层，从而可以有效利用有机发光层材料，可以削减制造成本。另外，根据喷墨方式，也具有可应对宽度大的尺寸的有机EL显示面板、可实现高精度的图案形成等优点。
在此，作为本发明的另一方式，可以为，在所述列方向上相对的开口部的端部的至少一方的宽度变窄的部分，形成为在列方向上至少延长至与所述接触孔在行方向相邻的区域。
通过使开口部的端部的至少一方的宽度变窄的部分延长至到达与接触孔在行方向相邻的区域，可以进一步扩大开口面积。
另外，作为本发明的另一方式，可以为，在所述形成有机发光层的工序中，将所述喷墨头配置成所述多个喷嘴在列方向上并排，使所述喷墨头在行方向上移动，并且从所述多个喷嘴中的通过所述接触孔上的喷嘴，对所述端部的宽度变窄的部分排出由所述有机发光层用墨形成的液滴。
在涂敷工序中使喷墨头在行方向上扫描来涂敷墨的情况下，在以往的开口部的布局下，通过接触孔上的喷嘴被设定成不排出墨。由有机发光层用墨形成的液滴的粘度高，被设定成不排出墨的喷嘴有可能发生堵塞。另一方面，根据本方式，从通过接触孔上的喷嘴对宽度变窄的部分排出由有机发光层用墨形成的液滴，因此没有被设定成不排出墨的喷嘴，可以防止堵塞。
在如果发生了堵塞而喷嘴不能使用的情况下，采取如下方法：通过增加从与对开口部排出液滴相关的喷嘴中的、除不能使用的喷嘴以外的喷嘴排出墨的排出量，从而维持对开口部排出的全部液滴的总和。在此，在列方向上相对的开口部的端部的一方形成有宽度变窄的部分的情况下，从通过接触孔上的喷嘴对宽度变窄的部分排出液滴，因此与以往的结构相比，可以增加每一个开口部的喷嘴的数量。另外，在列方向上相对的双方的宽度变窄的部分形成为具有在行方向上重叠的区域的情况下，通过在行方向上重叠的区域上的喷嘴，可以对在列方向上相对的双方的开口部进行液滴的排出。因此，与没有在行方向上重叠的区域的情况相比，可以进一步增加每一个开口部的喷嘴的数量。当每一个开口部的喷嘴的数量增加时，在存在不能使用的喷嘴的情况下，可以减小除不能使用的喷嘴以外的每一个喷嘴的排出量增大幅，因此可以容易地维持排出量的总和。
而且，作为本发明的另一方式，可以为，在所述形成堤的工序中，在所述堤进一步跟随所述接触孔而形成有凹部，在所述形成有机发光层的工序中，从所述多个喷嘴中的通过所述接触孔上的喷嘴，进一步对所述凹部排出由所述有机发光层用墨形成的液滴。
在形成堤的工序中，通常，跟随设置于平坦化膜的接触孔而在堤同时形成凹部。如此，如果活用已有的接触孔来形成凹部，可以不必另行追加设置凹部的工序，因此制造效率高。
此时，至少一方的宽度变窄的部分形成为在列方向上至少延长至与接触孔在行方向相邻的区域。因此，在从通过接触孔上的喷嘴对宽度变窄的部分排出由有机发光层用墨形成的液滴之后，若直接使喷墨头沿行方向扫描，则能够对没有形成有机发光层的凹部假定排出液滴。如此，可以使通过接触孔上的喷嘴的排出频率增加，能够更有效地防止堵塞。
在对宽度变窄的部分以及凹部排出由有机发光层用墨形成的液滴之后，使溶剂从所述液滴蒸发干燥，从而形成有机发光层(在凹部中不作为有机发光层发挥功能)。通过对宽度变窄的部分以及凹部排出由有机发光层用墨形成的液滴，与以往相比，能降低有机EL显示面板、尤其是宽度变窄的部分中的溶剂的扩散自由度，能实现溶剂的蒸气浓度的均匀化。根据该效果，以均匀的膜厚形成有机发光层，因此能抑制条不均、面不均等各种发光不均的产生，与以往相比能够发挥良好的图像显示性能。
在此，作为本发明的另一方式，可以为，在所述形成堤的工序与所述形成有机发光层的工序之间，还具备在所述多个开口部形成电荷输送层的工序，在所述形成电荷输送层的工序中，从所述喷墨头，对所述多个开口部排出由含有构成电荷输送层的有机材料以及溶剂的电荷输送层用墨形成的液滴，使溶剂蒸发干燥，从而形成电荷输送层。
通过设置电荷输送层，可以高效地向有机发光层输送从电极接受的载流子(电子、空穴)，可以实现进一步的辉度提高。另外，电荷输送层能够通过喷墨方式的涂敷工序来形成，因此可以抑制制造成本，同时提供高辉度的有机EL显示面板。
进而，作为本发明的另一方式，可以为，在所述形成电荷输送层的工序中，将所述喷墨头配置成所述多个喷嘴在列方向上并排，使所述喷墨头在行方向上移动，并且从所述多个喷嘴中的通过所述接触孔上的喷嘴，对所述端部的宽度变窄的部分排出由所述电荷输送层用墨形成的液滴。
在涂敷工序中使喷墨头在行方向上扫描来涂敷墨的情况下，在以往的开口部的布局下，通过接触孔上的喷嘴被设定成不排出墨。由电荷输送层用墨形成的液滴的粘度高，被设定成不排出墨的喷嘴有可能发生堵塞。另一方面，根据本方式，从通过接触孔上的喷嘴对宽度变窄的部分排出由电荷输送层用墨构成液滴，因此没有被设定成不排出墨的喷嘴，可以防止堵塞。
另外，在列方向上相对的开口部的端部的一方形成有宽度变窄的部分的情况下，与以往的结构相比，可以增加每一个开口部的喷嘴的数量。另外，在列方向上相对的双方的宽度变窄的部分形成为具有在行方向上重叠的区域的情况下，与不具有在行方向上重叠的区域的情况相比，可以进一步增加每一个开口部的喷嘴的数量。因此，在存在不能使用的喷嘴的情况下，也能够容易地维持排出量的总和。
在此，作为本发明的另一方式，可以为，在所述形成堤的工序中，在所述堤进一步跟随所述接触孔而形成有凹部，在所述形成电荷输送层的工序中，从所述多个喷嘴中的通过所述接触孔上的喷嘴，进一步对所述凹部排出由所述电荷输送层用墨形成的液滴。
至少一方的宽度变窄的部分形成为在列方向上至少延长至与接触孔在行方向相邻的区域。因此，在从通过接触孔上的喷嘴对宽度变窄的部分排出由电荷输送层用墨形成的液滴之后，若直接使喷墨头沿行方向扫描，则可以对没有形成电荷输送层的凹部也假定排出液滴。如此，可以使通过接触孔上的喷嘴的排出频率增加，能够更有效地防止堵塞。
在对宽度变窄的部分以及凹部排出由电荷输送层用墨形成的液滴之后，使溶剂从所述液滴蒸发干燥，从而形成电荷输送层(在凹部中不作为电荷输送层发挥功能)。通过对宽度变窄的部分以及凹部排出由电荷输送层用墨形成的液滴，与以往相比，能降低有机EL显示面板整体、尤其是宽度变窄的部分中的溶剂的扩散自由度，能实现溶剂的蒸气浓度的均匀化。根据该效果，以均匀的膜厚形成电荷输送层，因此能抑制条不均、面不均等各种发光不均的产生，与以往相比能够发挥良好的图像显示性能。
[实施方式1]
(整体概略结构)
图1是表示实施方式1的有机EL显示面板100的结构的局部剖视图。有机EL显示面板100为以该图上侧为显示面的所谓的顶部发射型。图2是示意表示从显示面侧观察有机EL显示面板100所见的堤7的形状的图，为了便于说明，示出了除去空穴输送层10、有机发光层11、电子输送层12、电子注入层13、上部电极14的状态。另外，图1的局部剖视图相当于图2中的A-A’剖视图。
如图1所示，在基板1上依次层叠有TFT层2、供电电极3、平坦化膜4、下部电极6、空穴注入层9。在空穴注入层9上设置有具有成为有机发光层11的形成区域的开口部17的堤7。在开口部17的内部依次层叠有空穴输送层10、有机发光层11、电子输送层12、电子注入层13、上部电极14。
<各层的结构(基板～堤)>
接着，对基板1、TFT层2、供电电极3、平坦化膜4、下部电极6、空穴注入层9、堤7的各层进行说明。
基板1为有机EL显示面板100的背面基板，在其表面形成有包括用于以有源矩阵方式驱动有机EL显示面板100的TFT(薄膜晶体管)的TFT层2。在TFT层2的上面形成有用于从外部对各TFT供给电力的供电电极3。
平坦化膜4为了将由于配设有TFT层2以及供电电极3而产生的表面高低差调整得平坦而设置，平坦化膜4由绝缘性优异的有机材料构成。
接触孔5为了电连接供电电极3和下部电极6而设置，遍及从平坦化膜4的表面到背面而形成。接触孔5形成为位于在列方向上排列的开口部17之间，并成为由堤7覆盖的结构。通过采用了这样的结构，能够避免由于存在接触孔5而导致的、例如无法使在堤之后层叠的层形成为平坦的层等的不合适的情况。
下部电极6为阳极，按在开口部17形成的每一个有机发光层11而形成。因为有机EL显示面板100是顶部发射型，所以作为下部电极6的材料选择光反射性材料。
空穴注入层9以促进从下部电极6向有机发光层11注入空穴的目的而设置。
(堤7的结构)
堤7起到在形成有机发光层11时、防止含有与红色(R)、绿色(G)、蓝色(B)的各色对应的有机发光层材料和溶剂的墨相互混入的功能。
以覆盖接触孔5的上方而设置的堤7，整体上具有沿XY平面或YZ平面的剖面为梯形的剖面形状，但是在与接触孔5对应的位置成为堤材料收缩而塌陷的形状。下面，将该塌陷部分称为凹部8。
在此，使用图2，对从显示面侧观察有机EL显示面板100所见的堤7的形状进行说明。
如图2所示，由堤7规定的开口部17以行列状排列有多个。开口部17为形成有机发光层11的区域，有机发光层11的配置以及形状由开口部17的配置以及形状来规定。开口部17为使列(Y)方向为长边的略长方形状，例如以沿行(X)方向的边为约100μm、沿列(Y)方向的边为约100μm的尺寸来形成。在开口部17形成有与R、G、B的任一色对应的有机发光层11。形成于各开口部17的有机发光层11相当于子像素，R、G、B这三个子像素的组合相当于1个像素。接触孔5位于在列方向上排列的开口部17之间、即堤7的下部。此外，上述中描述了下部电极6按形成于开口部17的每一个有机发光层11而形成的情况，但这也即意味着下部电极6按每一子像素而设置。
着眼于一个开口部17，如前所述，开口部17为略长方形状，第一端部17a和第二端部17b的形状不同。将具有这样的第一端部17a和第二端部17b的开口部17按相同方向配置为行列状，则如图2所示，在列方向相邻的开口部17彼此成为形状不同的第一端部17a和第二端部17b在列方向上相对。
接着，着眼于第一端部17a的形状，第一端部17a包括具有在行方向上宽度变窄、并且在列方向上向着与接触孔5在行方向相邻的区域延长的形状的部分21a。即，开口部17在第一端部17a有一部分扩展以避开接触孔5。如此，第一端部17a包括具有开口部17的本来的宽度的区域、和比开口部17的本来宽度窄的区域21a(下面，将比开口部17的本来宽度窄的区域21a简称为宽度变窄的部分21a)。与此相对，第二端部17b仅包括具有开口部17的本来宽度的区域。
在设置宽度变窄的部分21a时，从提高发光辉度的观点考虑，以将宽度变窄的部分21a设置得面积较大为佳。然而，若将宽度变窄的部分21a设置得面积过大，则存在如下所述的问题。
首先，在将宽度变窄的部分21a向第二端部17b侧过于扩展的情况下，在形成有机发光层11的工序中，恐会发生排出到列方向相邻的开口部17的墨彼此混杂。另外，若将宽度变窄的部分21a向第二端部17b侧过于扩展，则无法由堤7覆盖按每个子像素形成的下部电极6之间的凹部、即没有形成有下部电极6的部分。于是，在堤7之后层叠的层由于形成为进入该凹部而没有成为平坦的层，成为发光不均等的原因。由此，在使宽度变窄的部分21a向第二端部17b侧扩展时，以排出到开口部17的墨彼此不会混杂的程度，使宽度变窄的部分21a和第二端部17b分离，并且在设置有下部电极6的区域内形成宽度变窄的部分21a为佳。
另外，在将宽度变窄的部分21a向接触孔5侧过于扩展的情况下，无法由堤7覆盖由于下部电极6进入接触孔5而形成的凹部。于是，在该情况下，也同样产生在堤7之后层叠的层不会成为平坦的层的不合适的情况。由此，在将宽度变窄的部分21a向接触孔5侧扩展时，希望在下部电极6上没有形成有由接触孔5引起的凹部的区域内，形成宽度变窄的部分21a。
进而，若将宽度变窄的部分21a设为有角的形状，则由于在喷墨方式的涂敷工序中使用的墨的粘度高，因此墨不能均匀地到达至该角落的部分，存在有机发光层11会成为不均匀的膜的问题。因此，希望宽度变窄的部分21a的形状为图2所示那样的去掉角的形状。
子像素的辉度随有机发光层11的面积、即开口部17的面积(开口面积)的大小而提高。根据本实施方式，通过在第一端部17a设置宽度变窄的部分21a，从而与第一端部17a仅包括具有开口部17的本来宽度的区域的情况相比，可以扩展开口面积。其结果，不提高在有机发光层中流动的电流密度而却能够实现发光辉度的提高。进而，在本实施方式中，采用如下形状：接触孔5与连接在列方向上排列的开口部17的中心的假想线在行方向偏离而配置，相应地使宽度变窄的部分21a延长至与接触孔5在行方向相邻的区域。如此，与将接触孔5配置在连接在列方向上排列的开口部17的中心的假想线上的情况相比，可以进一步扩大开口面积，能够进一步提高发光辉度。
<各层的结构(空穴输送层～上部电极)>
再次返回到图1的局部剖视图，对空穴输送层10、有机发光层11、电子输送层12、电子注入层13、上部电极14进行说明。
空穴输送层10具有将从下部电极6注入的空穴向有机发光层11输送的功能。
有机发光层11是进行由载流子(空穴与电子)的再结合(复合)实现的发光的部位，其构成为包含与R、G、B的任一色对应的有机材料。
在凹部8形成有由构成有机发光层11的材料形成的有机层16。通过在涂敷工序中对开口部17和凹部8一并涂敷墨，从而与有机发光层11同时形成该有机层16。
电子输送层12具有将从上部电极14注入的电子向有机发光层11输送的功能。
电子注入层13具有促进从上部电极14向有机发光层11注入电子的功能。
上部电极14为阴极。因为有机EL显示面板100为顶部发射型，所以作为上部电极14的材料选择光透射性材料。
此外，虽然图1中没有图示，但是在上部电极14上以抑制有机发光层11与水分和/或空气等接触而劣化为目的而设置有封止层。因为有机EL显示面板100为顶部发射型，所以作为封止层的材料选择例如SiN(氮化硅)、SiON(氮氧化硅)等光透射性材料。
此外，当然也可以将形成于各开口部17的有机发光层11全部设为同色的有机发光层。进而，也可以按每种颜色而改变宽度变窄的部分21a的大小。如此，能够使按每种颜色不同的发光特性均匀化。
<各层的材料>
接着，例示上述说明的各层的材料。当然，也可以使用下面记载的材料以外的材料来形成各层。
基板1：无碱玻璃、钠钙玻璃、无荧光玻璃、磷酸类玻璃、硼酸类玻璃、石英、丙烯酸类树脂、苯乙烯类树脂、聚碳酸酯类树脂、环氧类树脂、聚乙烯、聚酯、硅类树脂或氧化铝等绝缘性材料
平坦化膜4：聚酰亚胺类树脂、丙烯酸类树脂
下部电极6：Ag(银)、Al(铝)、银与钯与铜的合金、银与铷与金的合金、MoCr(钼与铬的合金)、NiCr(镍与铬的合金)
堤7：丙烯酸类树脂、聚酰亚胺类树脂、酚醛清漆型酚醛树脂
有机发光层11：类喔星(oxinoid)化合物、苝化合物、香豆素化合物、氮杂香豆素化合物、噁唑化合物、噁二唑化合物、紫环酮(perinone)化合物、吡咯并吡咯化合物、萘化合物、蒽化合物(アントラセン化合物)、芴化合物、荧蒽化合物、并四苯化合物、芘化合物、晕苯化合物、喹诺酮化合物及氮杂喹诺酮化合物、吡唑啉衍生物及吡唑啉酮衍生物、若丹明化合物、
Figure BDA0000140240940000171
(chrysene)化合物、菲化合物、环戊二烯化合物、茋化合物、二苯基苯醌化合物、苯乙烯基化合物、丁二烯化合物、双氰亚甲基吡喃化合物、双氰亚甲基噻喃化合物、荧光素化合物、吡喃鎓化合物、噻喃鎓化合物、硒吡喃鎓化合物、碲吡喃鎓化合物、芳香族坎利酮化合物、低聚亚苯基化合物、噻吨化合物、花青苷化合物、吖啶化合物、8-羟基喹啉化合物的金属配合物、2，2’-联吡啶化合物的金属配合物、席夫碱与III族金属的配合物、8-羟基喹啉(喔星)金属配合物、稀土类配合物等荧光物质(都记载于日本特开平5-163488号公报)
空穴注入层9：MoOx(氧化钼)、WOx(氧化钨)或MoxWyOz(钼-钨氧化物)等金属氧化物、金属氮化物或金属氮氧化物
空穴输送层10：三唑衍生物、二唑衍生物、咪唑衍生物、多芳基链烷衍生物、吡唑啉衍生物及吡唑啉酮衍生物、苯二胺衍生物、芳香胺衍生物、氨基取代查耳酮衍生物、唑衍生物、苯乙烯基蒽衍生物、芴酮衍生物、腙衍生物、茋衍生物、卟啉化合物、芳香族叔胺化合物、苯乙烯基胺化合物、丁二烯化合物、聚苯乙烯衍生物、腙衍生物、三苯甲烷衍生物、四苯基联苯胺衍生物(都记载于日本特开平5-163488号公报)
电子输送层12：钡、酞菁、氟化锂
电子注入层13：硝基取代芴酮、二氧化噻喃衍生物、联苯醌衍生物、四羧基苝衍生物、二亚甲基蒽醌衍生物、亚甲基芴衍生物、蒽酮衍生物、二唑衍生物、紫环酮衍生物、喹啉络合衍生物(都记载于日本特开平5-163488号公报)
上部电极14：ITO(氧化铟锡)、IZO(氧化铟锌)
以上，对有机EL显示面板100的结构等进行了说明，但通过使第一端部17a形成为具有宽度变窄的部分21a的形状，也能起到防止在制造工序中使用的喷墨头的喷嘴堵塞的效果。接下来，也包括该效果地例示有机EL显示面板100的制造方法。
<制造方法>
在此，先例示有机EL显示面板100的整体的制造方法。然后，对制造方法中的涂敷工序进行详细说明。
(概略)
首先，准备形成有TFT层2以及供电电极3的基板1(图3(a))。
然后，基于光致抗蚀剂法，在TFT层2以及供电电极3上使用绝缘性优异的有机材料形成厚度约4μm的平坦化膜4。此时，与在列方向相邻的各开口部17之间的位置相应地形成接触孔5(图3(b))。通过进行使用所期望的图形掩模的光致抗蚀剂法，能够同时形成平坦化膜4和接触孔5。此外，当然接触孔5的形成方法并不限定于此。例如，也可以在一概形成平坦化膜4之后，除去预定位置的平坦化膜4而形成接触孔5。
接着，基于真空蒸镀法或溅射法，将由厚度150nm左右的金属材料形成的下部电极6边与供电电极3电连接边按每一子像素形成。接着，基于反应性溅射法形成空穴注入层9(图3(c))。
接着，基于光刻法形成堤7。首先作为堤材料，准备含有感光性抗蚀剂的膏状的堤材料。在空穴注入层9上一概涂敷该堤材料。在其上，重叠形成为图2所示的开口部17的图形的掩模。接着从掩模的上方使其感光，形成堤图形。其后，用水类或者非水类蚀刻液(显影液)洗掉多余的堤材料。由此，完成堤材料的图形形成。以上完成了如下的堤7，该堤7规定成为有机发光层形成区域的开口部17，并且在列方向相邻的开口部17之间的上面形成有凹部8，且该堤7表面至少具有拨水性(图3(d))。在如本实施方式这样形成有接触孔5的情况下，通常因为堤材料进入接触孔5的内部，所以自然形成凹部8。因此，不需要用于另行形成凹部8的工序，在生产成本以及制造效率方面有利。
此外，在堤7的形成工序中，进而也可以调节堤7相对于涂敷于开口部17的墨的接触角，或者为了对表面赋予拨水性而通过预定的碱性溶液、水和/或有机溶剂等对堤7的表面进行表面处理，或者实施等离子处理。
接着，将构成空穴输送层10的有机材料与溶剂以预定比例混合，调制空穴输送层用墨。对头部301供给该墨，基于涂敷工序，对开口部17排出由空穴输送层用墨形成的液滴19(图3(e))。其后，使墨所含的溶剂蒸发干燥，并根据需要进行加热烧制，形成空穴输送层10(图4(a))。
接着，将构成有机发光层11的有机材料与溶剂以预定比例混合，调制有机发光层用墨。对头部301供给该墨，基于涂敷工序，对开口部17以及凹部8排出由有机发光层用墨形成的液滴18(图4(b))。其后，使墨所含的溶剂蒸发干燥，并根据需要进行加热烧制，形成有机发光层11以及由与有机发光层11相同的材料构成的有机层16(图4(c))。如图4(b)所示，通过对开口部17以及凹部8这两方涂敷墨，如涂敷工序一项说明的那样，能够实现溶剂的蒸气浓度的均匀化，遍及开口部17的全部区域以均匀的膜厚形成有机发光层11。
接着，在有机发光层11的表面基于真空蒸镀法对构成电子输送层12的材料进行成膜。由此，形成电子输送层12。接着，通过蒸镀法、旋涂法、浇铸法等方法对构成电子注入层13的材料进行成膜，形成电子注入层13。然后，使用ITO、IZO等材料用真空蒸镀法、溅射法等进行成膜。由此，形成上部电极14(图4(d))。
此外，虽然没有图示，但是在上部电极14的表面通过用溅射法、CVD法等对SiN、SiON等光透射性材料进行成膜，从而形成封止层。
通过经历以上的工序，完成有机EL显示面板100。
<涂敷工序>
下面，特别对形成空穴输送层10以及有机发光层11时的涂敷工序进行详细说明。首先，对涂敷工序所使用的喷墨装置系统进行说明。其后，对排出墨的喷嘴与成为涂敷对象的基板的位置关系进行说明。
《喷墨装置系统1000》
图5是表示喷墨装置系统1000(下面记为系统1000)的主要结构的图。
如图5所示，系统1000由喷墨台20、喷墨头30等构成。
喷墨台20为所谓台架(gantry)式的作业台，台架部(移动台架)设置为能够在基座的台上沿一对引导轴移动。
作为具体的结构，在板状的基座200上，在其上面的四角配设有柱状的支架201A、201B、202A、202B。在这些支架201A、201B、202A、202B所包围的内侧区域，分别配设有用于载置成为涂敷对象的基板的固定台ST和用于通过在即将涂敷前排出墨而使排出特性稳定的墨盘(盘状容器)IP。
另外，在支架201A、201B、202A、202B，沿着基座200的长度(Y)方向，平行轴支有引导轴203A、203B。在引导轴203A、203B上插通有线性马达204、205，搭载有台架部210，以使得对线性马达204、205架设引导轴203A、203B。根据该结构，在系统1000驱动时，通过驱动一对线性马达204、205，台架部210沿着引导轴203A、203B的长度方向滑动自由地往复运动。
在台架部210配设有包括L形基座的移动体(carriage)220。在移动体220配设有伺服马达(移动体马达)221，在各马达的轴的前端配设有未图示的齿轮。齿轮与沿着台架部210的长度方向(X方向)形成的引导槽211嵌合。在引导槽211的内部分别沿着长度方向形成有细微的齿条。因为齿轮与齿条啮合，所以当伺服马达221驱动时，移动体220通过所谓的齿轮齿条机构沿着X方向往复自由地精密移动。在移动体220装备有喷墨头30。
此外，线性马达204、205、伺服马达221分别仅为台架部210、移动体220的移动手段的例示，利用这些并不是必须的。例如也可以是利用正时带(timing belt)机构和/或滚珠丝杆(ball screw)机构使台架部和移动体的至少任一方移动。
喷墨头30采用公知的压电方式，由头部301以及本体部302构成。头部301经由本体部302固定于移动体220。本体部302内置有伺服马达，通过使伺服马达旋转来调节头部301的长度方向与固定台ST的X轴所成的角度。
头部301在与固定台ST对向的面具有多个喷嘴，这些喷嘴沿头部301的长度方向配置成列状。从各喷嘴对涂敷对象基板排出被供给到头部301的墨。
使用具有以上结构的系统1000，进行由喷墨方式实现的涂敷工序。首先，操作员选择是否对涂敷对象基板在行方向或列方向的任一方向上扫描喷墨头30来进行涂敷。接着，进行头部301相对于固定台ST的角度调节。由此，进行设定以使头部301所具备的喷嘴能够通过涂敷对象基板的预定的场所。该角度调节是与基板的规格和/或尺寸相应地适当进行的，接着对其详细内容进行说明。
《头部与涂敷对象基板的位置关系》
首先，说明在行方向上扫描头部来进行涂敷(进行所谓的横向涂敷)的情况。
图14是表示以往的有机EL显示面板的制造工序中的、涂敷对象基板与头部62(与图5的头部301相当)的位置关系的图。图14所示的500A为涂敷对象基板，示出了图13中的有机EL显示面板500的、经历涂敷工序之前的阶段的状态。由形成于涂敷对象基板500A的堤57，呈行列状规定多个开口部60。头部62具备排出墨的多个喷嘴620。在头部62配置成喷嘴620在列方向上并排，在使头部62在行方向上移动的同时，对开口部60排出墨。此时，通过使头部62的长度方向相对于列方向而多少倾斜，从而调节喷嘴620的涂敷间距(pitch)。在图14的例子中，喷嘴组a11、a12、a13、a14被调节成与开口部60对应，喷嘴b11、b12、b13被调节成与在列方向上排列的开口部60之间对应。
在如此设定下，在形成有机发光层以及空穴输送层的阶段，从喷嘴组a11、a12、a13、a14排出墨，但从喷嘴b11、b12、b13不排出墨。通常而言，为了形成有机发光层以及空穴输送层而使用的墨，与喷墨印刷法中使用的印刷用墨相比，其粘度高。因此，有时在设定成不排出墨的喷嘴b11、b12、b13的内部墨会凝固，发生堵塞。在设定时间内无法从一旦发生了堵塞的喷嘴排出设定量的墨，或者由于在全部开口部60无法排出墨而发生基板的损耗，需要更换头部301。在这样的情况下，需要进行头部301的取下、洗净、再次高精度地对准的作业，成为使生产效率降低的原因。
另一方面，图6是表示实施方式1的涂敷对象基板和头部301的位置关系(横向涂敷时)的图。与图14同样，头部301具备排出墨的多个喷嘴3030，在头部301配置成喷嘴3030在列方向上并排。此时，在图6中，喷嘴组a1、a2、a3、a4被调节成与除去宽度变窄的部分21a的开口部17对应，喷嘴b1、b2、b3被调节成与通过宽度变窄的部分21a以及凹部8(接触孔5)的线I1、I2、I3上对应。因此，全部的喷嘴3030被调整为通过包括宽度变窄的部分21a的开口部17、凹部8的任一方的上方、即不设定不排出喷嘴。如此，通过将头部301中的全部喷嘴3030用于向包括宽度变窄的部分21a的开口部17、凹部8的涂敷，没有设定为不排出的喷嘴，从而能够有效地防止喷嘴的堵塞。
另外，如图14所示，根据以往的结构，与对开口部60排出液滴相关的喷嘴的数量为5个。另一方面，根据本实施方式的结构，与对开口部17(包括宽度变窄的部分21a)排出液滴相关的喷嘴的数量为6个，与以往相比，能够增加每一个开口部的喷嘴数。接着对相伴于此的效果进行说明。
在涂敷工序中，在如果因为发生了堵塞而喷嘴变得不能使用的情况下，可采用如下方法：通过增加从与对开口部17排出液滴相关的喷嘴中的、不能使用的喷嘴以外的喷嘴排出液滴的排出量，从而维持对开口部17排出的全部液滴的总和。通过增加与对开口部17排出液滴相关的喷嘴的数量，能够减小不能使用的喷嘴以外的每一个喷嘴的排出量增大幅度。由此，能够容易地维持排出量的总和，另外也能够减轻不能使用的喷嘴以外的喷嘴的负担。
接着，说明在列方向上扫描头部301来进行涂敷(进行所谓的纵向涂敷)的情况。
图7是表示实施方式1的涂敷对象基板和头部301的位置关系(纵向涂敷时)的图。在纵向涂敷的情况下，通过调整头部301的角度，各喷嘴3030被配置在通过除去宽度变窄的部分21a的开口部17和凹部8(接触孔5)的线L1、L3、L5、L7、L9和通过宽度变窄的部分21a的线L2、L4、L6、L8的任一条线上。
在该情况下，虽然从各喷嘴3030排出墨是间歇的，但与以往相比，能够缩短使各喷嘴3030排出墨停止的时间。因此，根据本实施方式，在纵向涂敷的情况下也具有防止各喷嘴的墨堵塞的效果。
根据本实施方式，无论是横向涂敷还是纵向涂敷，都对宽度变窄的部分21a和凹部8这两方排出有机发光层用墨，但也可以设为对凹部8不排出有机发光层用墨的结构。但是，在该情况下，溶剂没有从凹部8蒸发，在宽度变窄的部分21a的行方向上与凹部8接近的部分，由于溶剂的蒸气浓度低，因此与其他部分相比，促进了溶剂的蒸发。若在不均匀的蒸气浓度下进行干燥，则特别在宽度变窄的部分21a的行方向上与凹部8接近的部分的膜厚变厚，作为整体恐怕不能得到膜厚均匀的层。
另一方面，如本实施方式，对宽度变窄的部分21a和凹部8这两方排出墨，则能实现从墨蒸发的溶剂的蒸汽浓度的均匀化。由此，能够使形成于包括宽度变窄的部分21a的开口部17的层的膜厚均匀。由此，能够抑制条不均和/或面不均等各种发光不均的产生，与以往相比能够发挥良好的图像显示性能。
[实施方式2]
在实施方式1中，仅将在列方向上相对的开口部17的端部的一方设为行方向上宽度变窄的形状，但在本实施方式中，说明将在列方向上相对的开口部17的端部的双方设为行方向上宽度变窄的形状的结构。下面以与实施方式1不同的点为中心进行说明。
<结构>
图8是表示本实施方式的有机EL显示面板100A的堤的形状的示意图。图8的B-B’剖面的局部剖视图与图1同样。
与图1同样，在第一端部17a形成有宽度变窄的部分21a，该宽度变窄的部分21a具有在行方向上宽度变窄、并且在列方向上向着与接触孔5在行方向相邻的区域延长的形状。在本实施方式中，宽度变窄的部分21a越过与接触孔5在行方向相邻的区域而在列方向上延长。伴随该延长的部分，另一方的第二端部17b成为一部分欠缺的形状，形成宽度变窄的部分21b。如此，形成为宽度变窄的部分21a、21b彼此交错。进而，宽度变窄的部分21a延长至到达第二端部17b欠缺的区域。即，宽度变窄的部分21a、21b形成为具有在行方向上重叠的区域。因此，在本实施方式中，不仅在第一端部17a，在第二端部17b也形成有具有开口部17的本来宽度的区域、和比开口部17的本来宽度窄的区域、即宽度变窄的部分21b。此外，虽然没有特别图示，但本实施方式中的下部电极与包括宽度变窄的部分21a、21b的开口部17的形状相应地，按每个子像素而形成。
根据本实施方式，虽然第二端部17b的开口面积缩小，但相应地第一端部17a的开口面积扩大，因此作为整体能够确保与实施方式1相同程度的开口面积。由此，根据这样的结构，也能够扩展发光面积，作为结果，不必提高在有机发光层中流动的电流密度而能够实现发光辉度的提高。
以上，对有机EL显示面板100A的结构进行了说明，但通过使宽度变窄的部分21a、21b形成为具有在行方向上重叠的区域，也能够在涂敷工序中存在不能使用的喷嘴的情况下，起到进一步减轻其他喷嘴的负担的效果。下面也包含该效果地例示本发明的有机EL显示面板的制造方法。
(制造方法)
概略与图3以及图4同样，因此省略说明。但是，在图3(d)中，与抗蚀剂重叠的掩模图案与实施方式1不同。
图9是表示实施方式2的涂敷对象基板和头部301的位置关系(横向涂敷时)的图。与图6同样，头部301具备排出墨的多个喷嘴3030，在头部301喷职成喷嘴3030在列方向上并排。在图9中，喷嘴组a5、a6、a7、a8被调节成与除去宽度变窄的部分21a的开口部17对应，喷嘴b4、b5、b6被调节成与通过宽度变窄的部分21a以及凹部8的线I4、I5、I6上对应，喷嘴c4、c5、c6被调节成与通过宽度变窄的部分21a、21b的线I4’、I5’、I6’上对应。因此，全部的喷嘴3030被调整为通过包括宽度变窄的部分21a、21b的开口部17、凹部8的任一方的上方、即不设定不排出喷嘴。由此，与实施方式1同样，能够有效地防止喷嘴的堵塞。
另外，如图6所示，根据实施方式1的结构，与对开口部17(包括宽度变窄的部分21a)排出液滴相关的喷嘴的数量为6个。另一方面，如图9所示，根据本实施方式的结构，与对开口部17(包括宽度变窄的部分21a、21b)排出液滴相关的喷嘴的数量为7个，能够进一步增加每一个开口部的喷嘴数。通过增加与对开口部17排出液滴相关的喷嘴的数量，能够减小不能使用的喷嘴以外的每一个喷嘴的排出量增大幅。由此，能够容易地维持排出量的总和，另外能够进一步减轻不能使用的喷嘴以外的喷嘴的负担。
虽然没有特别图示，但在纵向涂敷的情况下，通过调整头部的角度，也能够取得与实施方式1同样的防止堵塞的效果。
进而，根据本实施方式，无论是横向涂敷还是纵向涂敷，都能实现从面板整体蒸发的溶剂的蒸汽浓度的均匀化，因此，能够抑制通过涂敷工序形成的层的条不均和/或面不均等的发生，与以往相比能够发挥良好的图像显示性能。
[变形例]
(1)在上述的实施方式中，接触孔形成于在行方向上从连接在列方向上排列的开口部的中心的假想线偏离的位置，形成有向着在与偏离的方向相反的方向相邻的区域宽度变窄的部分。本发明并不限于该方式，例如如图10(a)、(b)、(c)所示，接触孔5也可以位于连接在列方向上排列的开口部17的中心的假想线上，在其相邻的区域设置宽度变窄的部分22a、22b、22c。
(2)在上述的实施方式中，宽度变窄的部分21a在列方向上延长至与接触孔在行方向相邻的区域。但是，在本发明中，如图10(a)所例示，宽度变窄的部分22a只要至少向着与接触孔在行方向相邻的区域延长，就能够相应地扩大发光面积。
(3)在实施方式2中，示出了对一方的开口部形成一处宽度变窄的部分的结构，但如图10(b)所示，也可以在一方的开口部以避开接触孔的方式形成两处宽度变窄的部分。另外，如图10(c)所示，也可以在一方和另一方的开口部以避开接触孔的方式分别形成一处宽度变窄的部分。图10(b)、(c)的任一形状，与以往相比，都能够实现发光面积的扩大。
(4)作为开口部的形状考虑各种形状，图10所示形状仅为一例，当然也可以是其他形状。
(5)在图1中，示出了在基板1上层叠形成有TFT层2～上部电极14的各层而成的结构。在本发明中，也可以设为缺少各层中的某一层、或者进一步包括例如透明导电层等其他层的结构。
(6)在图3(e)中，示出了对凹部8不排出由空穴输送层用墨形成的液滴19的结构。在本发明中，也可以设为进一步也对凹部8排出由空穴输送层用墨形成的液滴19，形成由与空穴输送层相同的材料构成的有机层。如此，可以实现从空穴输送层用墨蒸发的溶剂的蒸气浓度的均匀化，以均匀的膜厚来形成空穴输送层10。另一方面，在图4(b)中，也可以设为对凹部8不排出由有机发光层用墨形成的液滴18。
(7)在本发明中，跟随接触孔而形成的凹部不是必需的构成要件，例如也可以是用与构成堤的材料相同的材料填埋堤上与凹部相当的部分的结构，对开口面积的扩大并不产生影响。
[显示装置]
图11是表示显示装置400的外观的外观立体图。显示装置400搭载有本发明的一个方式的有机EL显示面板100、100A以及变形例的有机EL显示面板的任一显示面板。由此，能够构成取得与上述同样效果的有机EL显示装置。
产业上的可利用性
本发明的有机EL显示面板可以适当利用于例如家庭用或者公共设施、或者业务用的各种显示装置、电视机装置、便携式电子设备用显示器等。

Claims (19)

1.一种有机EL显示面板，具备：
基板；
TFT层，其形成于所述基板上；
平坦化膜，其形成于所述TFT层的上方，并设置有接触孔；
多个下部电极，其在所述平坦化膜的上方以像素为单位形成为行列状，并经由所述接触孔与所述TFT层导通；
堤，其形成于所述平坦化膜的上方，并具有与所述多个下部电极对应的多个开口部；
有机发光层，其形成于所述多个开口部；和
上部电极，其形成于所述有机发光层的上方，
所述接触孔存在于在列方向上排列的各开口部之间，
在所述列方向上相对的开口部的端部的至少一方，具有在行方向上宽度变窄并且在列方向上向着与所述接触孔在行方向相邻的区域延长的形状。
2.根据权利要求1所述的有机EL显示面板，
在所述列方向上相对的开口部的端部的双方具有在行方向上宽度变窄的形状，
在所述列方向上相对的开口部的端部的一方的宽度变窄的部分，越过与所述接触孔在行方向相邻的区域而在列方向上延长，
在所述列方向上相对的开口部的端部的另一方的宽度变窄的部分，形成为与在所述列方向上相对的开口部的端部的一方的宽度变窄的部分交错，
在所述列方向上相对的开口部的端部的双方的宽度变窄的部分具有在行方向上重叠的区域。
3.根据权利要求1所述的有机EL显示面板，
在所述列方向上相对的开口部的端部的至少一方的宽度变窄的部分，在列方向上至少延长至与所述接触孔在行方向相邻的区域。
4.根据权利要求1或2所述的有机EL显示面板，
所述接触孔与连接在列方向上排列的开口部的中心的假想线在行方向上偏离而配置，
在所述列方向上相对的开口部的端部的至少一方的宽度变窄的部分，向着与所述接触孔的行方向偏离的方向相反的方向相邻的区域在列方向上延长。
5.根据权利要求1或2所述的有机EL显示面板，
所述接触孔配置在连接在列方向上排列的开口部的中心的假想线上，
在所述列方向上相对的开口部的端部的至少一方的宽度变窄的部分，在列方向上向着与所述接触孔相邻的至少一方的区域延长。
6.根据权利要求1～5中的任一项所述的有机EL显示面板，
还具备介于所述下部电极与所述有机发光层之间的空穴注入层。
7.根据权利要求1～5中的任一项所述的有机EL显示面板，
还具备介于所述有机发光层与所述上部电极之间的电子注入层。
8.根据权利要求1～7中的任一项所述的有机EL显示面板，
所述堤还具备在所述接触孔的上方跟随所述接触孔的凹部。
9.一种有机EL显示装置，其具备权利要求1～8中的任一项所述的有机EL显示面板。
10.一种有机EL显示面板的制造方法，包括以下工序：
准备基板；
在所述基板上形成TFT层；
在所述TFT层的上方形成平坦化膜；
在所述平坦化膜形成接触孔；
在所述平坦化膜的上方以像素为单位呈行列状形成多个下部电极，经由所述接触孔使所述TFT层与所述多个下部电极导通；
在所述平坦化膜的上方形成堤，所述堤具有与所述多个下部电极对应地设置的多个开口部；
在所述多个开口部形成有机发光层；和
在所述有机发光层的上方形成上部电极，
在所述形成堤的工序中，
所述接触孔位于在列方向上排列的各开口部之间，
在所述列方向上相对的开口部的端部的至少一方，形成为具有在行方向上宽度变窄并且在列方向上向着与所述接触孔在行方向相邻的区域延长的形状。
11.根据权利要求10所述的有机EL显示面板的制造方法，
在所述形成堤的工序中，
在所述多个开口部中，在所述列方向上相对的开口部的端部的双方在行方向上宽度变窄，
在所述列方向上相对的开口部的端部的一方的宽度变窄的部分，越过与所述接触孔在行方向相邻的区域而在列方向上延长，
在所述列方向上相对的开口部的端部的另一方的宽度变窄的部分，与在所述列方向上相对的开口部的端部的一方的宽度变窄的部分交错，
在所述列方向上相对的开口部的端部的双方的宽度变窄的部分形成为具有在行方向上重叠的区域。
12.根据权利要求10或11所述的有机EL显示面板的制造方法，
在所述形成有机发光层的工序中，
从配置有多个喷嘴的喷墨头，对所述多个开口部排出由含有构成所述有机发光层的有机材料以及溶剂的有机发光层用墨形成的液滴，使溶剂蒸发干燥，从而形成所述有机发光层。
13.根据权利要求12所述的有机EL显示面板的制造方法，
在所述列方向上相对的开口部的端部的至少一方的宽度变窄的部分，形成为在列方向上至少延长至与所述接触孔在行方向相邻的区域。
14.根据权利要求13所述的有机EL显示面板的制造方法，
在所述形成有机发光层的工序中，
将所述喷墨头配置成使所述多个喷嘴在列方向上并排，
使所述喷墨头在行方向上移动，并且从所述多个喷嘴中的通过所述接触孔上的喷嘴，对所述端部的宽度变窄的部分排出由所述有机发光层用墨形成的液滴。
15.根据权利要求14所述的有机EL显示面板的制造方法，
在所述形成堤的工序中，
在所述堤进一步跟随所述接触孔而形成凹部，
在所述形成有机发光层的工序中，
从所述多个喷嘴中的通过所述接触孔上的喷嘴，进一步对所述凹部排出由所述有机发光层用墨形成的液滴。
16.根据权利要求12所述的有机EL显示面板的制造方法，
在所述形成堤的工序与所述形成有机发光层的工序之间，还包括在所述多个开口部形成电荷输送层的工序，
在所述形成电荷输送层的工序中，
从所述喷墨头，对所述多个开口部排出由含有构成电荷输送层的有机材料以及溶剂的电荷输送层用墨形成的液滴，使溶剂蒸发干燥，从而形成电荷输送层。
17.根据权利要求16所述的有机EL显示面板的制造方法，
在所述列方向上相对的开口部的端部的至少一方的宽度变窄的部分，形成为在列方向上至少延长至与所述接触孔在行方向相邻的区域。
18.根据权利要求17所述的有机EL显示面板的制造方法，
在所述形成电荷输送层的工序中，
将所述喷墨头配置成所述多个喷嘴在列方向上并排，
使所述喷墨头在行方向上移动，并且从所述多个喷嘴中的通过所述接触孔上的喷嘴，对所述端部的宽度变窄的部分排出由所述电荷输送层用墨形成的液滴。
19.根据权利要求18所述的有机EL显示面板的制造方法，
在所述形成堤的工序中，
在所述堤进一步跟随所述接触孔而形成有凹部，
在所述形成电荷输送层的工序中，
从所述多个喷嘴中的通过所述接触孔上的喷嘴，进一步对所述凹部排出由所述电荷输送层用墨形成的液滴。
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