JP2006088003A - 塗布装置および塗布方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 塗布ムラを可能な限り抑制することが可能な塗布装置および塗布方法を提供する。
【解決手段】 赤色発光層用塗布ヘッド２２に設けられた複数のノズル２２２から赤色発光材料Ｐ５６２２Ｒを吐出させることにより、その複数のノズル２２２から吐出された赤色発光材料Ｐ５６２２Ｒを１つの赤色用塗布領域１Ｒに塗布する。赤色用塗布領域１Ｒに赤色発光材料Ｐ５６２２Ｒが塗布される過程において、複数のノズル２２２が１つの赤色用塗布領域１Ｒに対応する塗布原理、すなわち複数のノズル２２２から１つの赤色用塗布領域１Ｒに対して赤色発光材料Ｐ５６２２Ｒが供給される塗布原理に基づき、複数の赤色用塗布領域１Ｒに塗布処理を施した場合に、各赤色用塗布領域１Ｒ間において塗布ムラが生じにくくなる。
【選択図】 図９

Description

本発明は、例えば有機エレクトロルミネセンス（ＥＬ；Electro Luminescence）ディスプレイのうちの一部を構成する有機層などの各種機能膜を形成するために使用される塗布装置および塗布方法に関する。

近年、フラットパネルディスプレイの１つとして、有機ＥＬ現象を利用して画像を表示可能な有機ＥＬディスプレイが注目されている。この有機ＥＬディスプレイは、有機ＥＬ素子の発光現象を利用する自発光型のディスプレイであるため、視野角が広く、かつ消費電力が低い点において優れている。

有機ＥＬディスプレイは、主に、駆動パネルと封止パネルとが対向配置され、これらの駆動パネルと封止パネルとが接着層を介して互いに貼り合わされた構成を有している。駆動パネルは、基板の一面に、駆動用の複数の薄膜トランジスタ（ＴＦＴ；Thin Film Transistor）および画像表示用の複数の有機ＥＬ素子などが設けられたものである。この有機ＥＬ素子は、例えば、基板に近い側から順に、下部電極層と、有機層と、上部電極層とが積層された積層構造を有している。この有機層は、例えば、画像表示用の光を発生させる発光層と共に、その発光層を発光させるための正孔輸送層などを含んで構成されている。

この有機ＥＬディスプレイの製造工程では、例えば、上記したように有機ＥＬ素子が有機層を含んでいる構成に伴い、有機ＥＬディスプレイの量産性を考慮して、インクジェット法などのウェットプロセスを使用して流動性の塗布材料（有機材料）を塗布することにより有機層を形成する試みが検討されている（例えば、特許文献１参照。）。
特許第３３２８２９７号明細書

ところが、ウェットプロセスを使用して有機層を塗布形成する場合には、塗布プロセス上の塗布ムラが問題となる。具体的には、例えば、インクジェット法を使用して複数の有機層を塗布形成する場合には、有機材料を吐出させるための複数のノズルが設けられた塗布ヘッドを備えた塗布装置を使用して、その塗布ヘッドを基板に対して走査させながら、各ノズルから有機材料を吐出させることにより各有機層を塗布形成しているため、例えばノズルの形成精度や目詰まりなどの影響を受けて、各ノズル間の吐出量に差異が生じると、その吐出量の差異に起因して各有機層間に塗布ムラが生じる結果、各有機層の膜厚がばらついてしまう。

この塗布ムラを改善する手法に関しては、既にいくつかの技術が提案されている。具体的には、例えば、１つの基板に対して塗布ヘッドを複数回に渡って走査させることにより複数の有機層を塗布形成する技術（例えば、特許文献２参照。）や、１つの基板に複数の有機層を塗布形成するために複数の塗布ヘッドを使用する技術（例えば、特許文献３参照。）などが知られている。
特開２００３−３０７６１３号公報 特開２００３−１５９７８６号公報

ところで、有機ＥＬディスプレイの表示特性を確保するためには、例えば、その表示特性として輝度分布や色度分布を確保するために、各有機層間に塗布ムラが生じることを可能な限り抑制することにより、各有機層間において膜厚を均一化させる必要がある。なぜなら、各有機層間に塗布ムラに起因した膜厚ムラが生じていると、有機ＥＬディスプレイにより表示される画像中において塗布ムラが筋状の色ムラ（輝度ムラ，色度ムラ）として視認されるため、その有機ＥＬディスプレイの表示特性が低下してしまうからである。しかしながら、従来の塗布装置では、各有機層間に塗布ムラが生じることを十分に抑制することが困難であるため、各有機層間において膜厚を均一化させる観点において未だ改善の余地がある。特に、上記した既知の塗布ムラの改善手法では、塗布ムラを抑制する観点において未だ改善の余地がある上、塗布ヘッドを複数回に渡って走査させる場合には塗布工程に長時間を要すると共に、複数の塗布ヘッドを使用する場合には装置コストが高コスト化してしまうため、工程時間やコストの観点においても改善の余地がある。

本発明はかかる問題点に鑑みてなされたもので、その目的は、塗布ムラを可能な限り抑制することが可能な塗布装置および塗布方法を提供することにある。

本発明に係る塗布装置は、基体に設けられた塗布領域に塗布材料を塗布するものであり、塗布材料を吐出させるための複数のノズルが設けられ、その複数のノズルから塗布材料を吐出させることにより１つの塗布領域に塗布する塗布手段を備えたものである。

本発明に係る塗布方法は、基体に設けられた塗布領域に塗布材料を塗布する方法であり、塗布材料を吐出させるための複数のノズルが設けられた塗布手段を使用して、複数のノズルから塗布材料を吐出させることにより１つの塗布領域に塗布するようにしたものである。

本発明に係る塗布装置または塗布方法では、塗布手段に設けられた複数のノズルから塗布材料が吐出されることにより、その複数のノズルから吐出された塗布材料が１つの塗布領域に塗布される。この場合には、塗布領域に塗布材料が塗布される過程において、複数のノズルが１つの塗布領域に対応する塗布原理、すなわち複数のノズルから１つの塗布領域に対して塗布材料が供給される塗布原理に基づき、複数の塗布領域に塗布処理が施された場合に、各塗布領域間において塗布ムラが生じにくくなる。具体的には、例えばノズルの形成精度や目詰まりなどの影響を受けて、複数のノズルのノズル径間に差異が生じたとしても、その複数のノズルから吐出される塗布材料の総吐出量に基づいて１つの塗布領域に供給される塗布材料の塗布量が決定され、すなわち各ノズルから吐出される塗布材料の吐出量の平均値に基づいて各塗布領域の塗布膜厚が決定される結果、複数の塗布領域に塗布処理を施した場合に、各塗布領域間において塗布材料の塗布膜厚に差異が生じにくくなるため、各塗布領域間において塗布ムラが生じにくくなる。

本発明に係る塗布装置または塗布方法によれば、塗布手段に設けられた複数のノズルから塗布材料を吐出させることにより、その複数のノズルから吐出された塗布材料を１つの塗布領域に塗布する構成的特徴または方法的特徴に基づき、例えばノズルの形成精度や目詰まりなどの影響を受けて、複数のノズルのノズル径間に差異が生じたとしても、複数の塗布領域に塗布処理を施した場合に、各塗布領域間において塗布材料の塗布膜厚に差異が生じにくくなるため、各塗布領域間において塗布ムラが生じにくくなる。したがって、塗布ムラを可能な限り抑制することができる。これにより、例えば、有機ＥＬ現象を利用して画像を表示可能な表示装置のうちの一部を構成する有機層を形成するために、本発明に係る塗布装置または塗布方法を使用すれば、各有機層間において膜厚が均一化されることに基づき、輝度分布や色度分布が確保されるため、その表示装置の表示特性を確保することができる。

以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。

まず、図１を参照して、本発明の一実施の形態に係る塗布装置について説明する。図１は、塗布装置のブロック構成を表している。

本実施の形態に係る塗布装置は、基体に設けられた塗布領域に塗布材料を塗布することにより各種機能膜を形成するために使用されるものであり、ここでは例えば有機ＥＬ現象を利用して画像を表示可能な有機ＥＬディスプレイのうちの一部を構成する有機層を形成するために使用されるものである。

この塗布装置は、例えば、図１に示したように、基板１に塗布処理を施すものであり、装置全体を制御するコントローラ１０と、塗布処理を実行する塗布ヘッド２０と、この塗布ヘッド２０を走査させる走査機構３０と、基板１を載置させるための載置台４０とを備えている。

コントローラ１０は、塗布ヘッド２０および走査機構３０のそれぞれの動作を制御するものであり、具体的には走査機構３０を駆動させることにより塗布ヘッド２０を基板１に対して走査させながら、その塗布ヘッド２０に塗布処理を実行させるものである。このコントローラ１０は、例えば、中央演算処理装置（ＣＰＵ；Central Processing Unit ）などの制御デバイスを含んで構成されている。

塗布ヘッド２０は、基板１に塗布処理を施す塗布手段であり、具体的には走査機構３０により基板１に対して走査させられながら、その基板１にインクジェット法を利用して塗布処理を施すものである。この塗布ヘッド２０は、例えば、上記した有機ＥＬディスプレイのうちの一部を構成する有機層を形成するために、流動性の塗布材料として有機材料を塗布するようになっている。

特に、塗布ヘッド２０は、例えば、上記した有機層を塗布形成するために、その有機層のうちの互いに異なる材料により構成された４種類の層をそれぞれ塗布形成する４種類の塗布ヘッド、すなわち正孔輸送層用塗布ヘッド２１、赤色発光層用塗布ヘッド２２、緑色発光層用塗布ヘッド２３および青色発光層用塗布ヘッド２４を含んでいる。なお、正孔輸送層用塗布ヘッド２１、赤色発光層用塗布ヘッド２２、緑色発光層用塗布ヘッド２３および青色発光層用塗布ヘッド２４の詳細な構成に関しては、後述する（図２参照）。

走査機構３０は、塗布ヘッド２０を走査させるものであり、具体的には基板１に対して塗布ヘッド２０を対向させながら走査させるものである。この走査機構３０は、例えば、塗布ヘッド２０を保持した状態において、基板１に対して対向しながらスライド可能なスライド機構（図示せず）を含んで構成されており、そのスライド機構を利用して塗布ヘッド２０をスライドさせることにより走査させるようになっている。

載置台４０は、塗布ヘッド２０により塗布処理が施される基板１を支持するためのものである。

この塗布装置は、例えば、上記した一連の構成要素（コントローラ１０，塗布ヘッド２０，走査機構３０，載置台４０）の他にも、図示しない他の構成要素も併せて備えている。この「他の構成要素」としては、例えば、塗布装置の使用者がその塗布装置を操作するために使用する操作パネルや、塗布装置の稼働状況などの情報を表示するモニタなどが挙げられる。

次に、図２〜図５を参照して、正孔輸送層用塗布ヘッド２１、赤色発光層用塗布ヘッド２２、緑色発光層用塗布ヘッド２３および青色発光層用塗布ヘッド２４の詳細な構成について説明する。図２〜図５は、それぞれ正孔輸送層用塗布ヘッド２１、赤色発光層用塗布ヘッド２２、緑色発光層用塗布ヘッド２３および青色発光層用塗布ヘッド２４の平面構成を表している。

正孔輸送層用塗布ヘッド２１は、有機層のうちの正孔輸送層を塗布形成するものであり、例えば、図２に示したように、一方向に延在する長手構造を有するヘッド２１１に、その延在方向に沿って有機材料（正孔輸送材料）を吐出させるための複数のノズル２１２が設けられた構成を有している。この複数のノズル２１２は、例えば、各ノズル２１２間の間隔（ノズルピッチ）Ｓ２１（互いに隣り合う２つのノズル２１２の中心間の距離）が互いに等しくなるようにヘッド２１１に設けられている。図２では、例えば、ヘッド２１１に８つのノズル２１２（ノズル２１２１〜２１２８）が設けられている場合を示している。

赤色発光層用塗布ヘッド２２、緑色発光層用塗布ヘッド２３および青色発光層用塗布ヘッド２４は、例えば、いずれも正孔輸送層用塗布ヘッド２１と同様の構成を有している。すなわち、例えば、図３〜図５に示したように、赤色発光層用塗布ヘッド２２（図３参照）は、ヘッド２２１に有機材料（赤色発光材料）を吐出させるための複数のノズル２２２（例えば８つのノズル２２２１〜２２２８）が設けられた構成を有しており（ノズルピッチＳ２２＝ノズルピッチＳ２１）、緑色発光層用塗布ヘッド２３（図４参照）は、ヘッド２３１に有機材料（緑色発光材料）を吐出させるための複数のノズル２３２（例えば８つのノズル２３２１〜２３２８）が設けられた構成を有しており（ノズルピッチＳ２３＝ノズルピッチＳ２１）、青色発光層用塗布ヘッド２４（図５参照）は、ヘッド２４１に有機材料（青色発光材料）を吐出させるための複数のノズル２４２（例えば８つのノズル２４２１〜２４２８）が設けられた構成を有している（ノズルピッチＳ２４＝ノズルピッチＳ２１）。

なお、図１に示した走査機構３０は、例えば、塗布ヘッド２０が４種類の塗布ヘッド（正孔輸送層用塗布ヘッド２１，赤色発光層用塗布ヘッド２２，緑色発光層用塗布ヘッド２３，青色発光層用塗布ヘッド２４）を含んでいる構成に対応して、それらの４種類の塗布ヘッドを走査させる４つの走査機構（図１では図示せず）を含んでいる。

次に、図６を参照して、塗布装置により塗布処理が施される基板１の構成について簡単に説明する。図６は、基板１の平面構成を表している。

基板１は、塗布装置により塗布処理が施される基体であり、ここでは例えば有機ＥＬディスプレイの途中製造物、すなわち有機層が形成される前段階の有機ＥＬディスプレイである。この基板１の一面には、例えば、図６に示したように、塗布装置により塗布処理が施される領域（塗布領域）として、有機ＥＬディスプレイの発光色に対応した３色（Ｒ（Red ），Ｇ（Green ），Ｂ（Blue））の画素を構成するための３種類の領域が設けられており、具体的には赤色の画素を構成するために塗布処理が施される赤色用塗布領域１Ｒと、緑色の画素を構成するために塗布処理が施される緑色用塗布領域１Ｇと、青色の画素を構成するために塗布処理が施される青色用塗布領域１Ｂとが設けられている。

これらの赤色用塗布領域１Ｒ、緑色用塗布領域１Ｇおよび青色用塗布領域１Ｂは、例えば、いずれもＹ軸方向（第１の方向）に延在する長手パターン形状を有している。ここでは、例えば、赤色用塗布領域１Ｒ、緑色用塗布領域１Ｇおよび青色用塗布領域１Ｂは、いずれも角部が丸みを帯びた略長方形状を有している。特に、赤色用塗布領域１Ｒ、緑色用塗布領域１Ｇおよび青色用塗布領域１Ｂは、３つ一組で任意の色を表示可能となるように順に配列されながら、基板１の一面においてマトリクス状に配列されており、すなわち基板１の一面には、Ｙ軸方向に配列されるように赤色用塗布領域１Ｒ、緑色用塗布領域１Ｇおよび青色用塗布領域１Ｂが複数設けられていると共に、そのＹ軸方向に交差するＸ軸方向（第２の方向）に配列されるように赤色用塗布領域１Ｒ、緑色用塗布領域１Ｇおよび青色用塗布領域１Ｂが複数設けられている。これらの赤色用塗布領域１Ｒ、緑色用塗布領域１Ｇおよび青色用塗布領域１Ｂは、例えば、互いに同様のパターン寸法を有すると共に、互いに同様の間隔を隔てるように基板１の一面に位置している。図６では、例えば、赤色用塗布領域１Ｒ、緑色用塗布領域１Ｇおよび青色用塗布領域１Ｂとして、１Ｒ，１Ｇ，１Ｂ，１Ｒ，１Ｇ，１Ｂの組み合わせが２列に渡って配列された合計１２領域分の配列パターンのみを抜粋して示している。なお、赤色用塗布領域１Ｒ、緑色用塗布領域１Ｇおよび青色用塗布領域１Ｂのそれぞれの長辺長さ（Ｙ軸方向の寸法）Ｌ１および短辺長さ（Ｘ軸方向の寸法）Ｌ２、ならびに赤色用塗布領域１Ｒ、緑色用塗布領域１Ｇおよび青色用塗布領域１Ｂのそれぞれの間の間隔（Ｙ軸方向の間隔）Ｖ１および間隔（Ｘ軸方向の間隔）Ｖ２は、それぞれ適宜設定可能である。

ここで、図２〜図５および図６を参照して、正孔輸送層用塗布ヘッド２１、赤色発光層用塗布ヘッド２２、緑色発光層用塗布ヘッド２３および青色発光層用塗布ヘッド２４のそれぞれの機能および構成に関してあらためて説明する。

正孔輸送層用塗布ヘッド２１は、基板１に対して塗布処理を施す過程において、複数のノズル２１２から正孔輸送材料を吐出させることにより１つの赤色用塗布領域１Ｒ、緑色用塗布領域１Ｇおよび青色用塗布領域１Ｂに塗布するものである。すなわち、正孔輸送層用塗布ヘッド２１は、各赤色用塗布領域１Ｒ、各緑色用塗布領域１Ｇおよび各青色用塗布領域１Ｂに塗布する場合に、複数のノズル２１２から正孔輸送材料を吐出させることにより各赤色用塗布領域１Ｒ、各緑色用塗布領域１Ｇおよび各青色用塗布領域１Ｂに塗布するようになっている。なお、正孔輸送層用塗布ヘッド２１に設けられた複数のノズル２１２（２１２１〜２１２８）は、例えば、Ｙ軸方向に配列された各赤色用塗布領域１Ｒ、各緑色用塗布領域１Ｇおよび各青色用塗布領域１Ｂに対応するように、複数で１組のノズル２１２（ここでは例えば４つで１組のノズル２１２１〜２１２４，２１２５〜２１２８）が複数組（ここでは例えば２組）集合したものである。

赤色発光層用塗布ヘッド２２は、基板１に対して塗布処理を施す過程において、複数のノズル２２２から赤色発光材料を吐出させることにより１つの赤色用塗布領域１Ｒに塗布するものである。すなわち、赤色発光層用塗布ヘッド２２は、各赤色用塗布領域１Ｒに塗布する場合に、複数のノズル２２２から赤色発光材料を吐出させることにより各赤色用塗布領域１Ｒに塗布するようになっている。なお、赤色発光層用塗布ヘッド２２に設けられた複数のノズル２２２（２２２１〜２２２８）は、例えば、Ｙ軸方向に配列された各赤色用塗布領域１Ｒに対応するように、複数で１組のノズル２２２（ここでは例えば４つで１組のノズル２２２１〜２２２４，２２２５〜２２２８）が複数組（ここでは例えば２組）集合したものである。

緑色発光層用塗布ヘッド２３は、基板１に対して塗布処理を施す過程において、複数のノズル２３２から緑色発光材料を吐出させることにより１つの緑色用塗布領域１Ｇに塗布するものである。すなわち、緑色発光層用塗布ヘッド２３は、各緑色用塗布領域１Ｇに塗布する場合に、複数のノズル２３２から緑色発光材料を吐出させることにより各緑色用塗布領域１Ｇに塗布するようになっている。なお、緑色発光層用塗布ヘッド２３に設けられた複数のノズル２３２（２３２１〜２３２８）は、例えば、Ｙ軸方向に配列された各緑色用塗布領域１Ｇに対応するように、複数で１組のノズル２３２（ここでは例えば４つで１組のノズル２３２１〜２３２４，２３２５〜２３２８）が複数組（ここでは例えば２組）集合したものである。

青色発光層用塗布ヘッド２４は、基板１に対して塗布処理を施す過程において、複数のノズル２４２から青色発光材料を吐出させることにより１つの塗布領域１Ｂに塗布するものである。すなわち、青色発光層用塗布ヘッド２４は、各青色用塗布領域１Ｂに塗布する場合に、複数のノズル２４２から青色発光材料を吐出させることにより各青色用塗布領域１Ｂに塗布するようになっている。なお、青色発光層用塗布ヘッド２４に設けられた複数のノズル２４２（２４２１〜２４２８）は、例えば、Ｙ軸方向に配列された各青色用塗布領域１Ｂに対応するように、複数で１組のノズル２４２（ここでは例えば４つで１組のノズル２４２１〜２４２４，２４２５〜２４２８）が複数組（ここでは例えば２組）集合したものである。

これらの正孔輸送層用塗布ヘッド２１、赤色発光層用塗布ヘッド２２、緑色発光層用塗布ヘッド２３および青色発光層用塗布ヘッド２４は、赤色用塗布領域１Ｒ、緑色用塗布領域１Ｇおよび青色用塗布領域１ＢがいずれもＹ軸方向に延在する長手パターン形状を有しているのに対して、いずれもＹ軸方向に交差するＸ軸方向に走査しながら赤色用塗布領域１Ｒ、緑色用塗布領域１Ｇおよび青色用塗布領域１Ｂに塗布処理を施し、すなわちＸ軸方向に走査しながら、そのＸ軸方向に配列された各赤色用塗布領域１Ｒ、各緑色用塗布領域１Ｇおよび各青色用塗布領域１Ｂに順次塗布すると共に、Ｙ軸方向に配列された各赤色用塗布領域１Ｒ、各緑色用塗布領域１Ｇおよび各青色用塗布領域１Ｂに順次塗布するようになっている。特に、正孔輸送層用塗布ヘッド２１、赤色発光層用塗布ヘッド２２、緑色発光層用塗布ヘッド２３および青色発光層用塗布ヘッド２４は、例えば、いずれもＸ軸方向に一度だけ走査しながら、各赤色用塗布領域１Ｒ、各緑色用塗布領域１Ｇおよび各青色用塗布領域１Ｂに塗布処理を施すようになっている。

次に、図７を参照して、塗布装置によって塗布処理が施されることにより製造される有機ＥＬディスプレイの構成について簡単に説明する。図７は、有機ＥＬディスプレイの断面構成を表している。

有機ＥＬディスプレイは、例えば、図７に示したように、主に、駆動パネル５０と封止パネル６０とが対向配置され、それらの駆動パネル５０と封止パネル６０とが例えば熱硬化樹脂などの接着層７０を介して互いに貼り合わされた構成を有している。この有機ＥＬディスプレイは、例えば、画像表示用の光Ｈ、すなわち赤色の光ＨＲ、緑色の光ＨＧおよび青色の光ＨＢを上方、具体的には封止パネル６０を経由して外部へ放出することにより画像を表示するトップエミッション型構造を有している。

駆動パネル５０は、例えばガラス製の駆動用基板５１の一面に、複数の薄膜トランジスタ（ＴＦＴ；Thin Film Transistor）５２と、例えば酸化ケイ素（ＳｉＯ₂ ）により構成された層間絶縁層５３と、例えばアルミニウム（Ａｌ）により構成された駆動配線５４と、例えばポリイミドや酸化ケイ素により構成された平坦化絶縁層５５と、複数の有機ＥＬ素子５６および例えばポリイミドにより構成された層内絶縁層（バンク）５７と、例えば窒化ケイ素により構成された保護層５８とがこの順に積層された積層構造を有している。駆動配線５４は、図示しない接続孔を通じてＴＦＴ５２および有機ＥＬ素子５６の双方と電気的に接続されている。駆動用基板１１の一面において、複数のＴＦＴ５２はマトリクス状に配列されており、複数の有機ＥＬ素子５６はＴＦＴ５２の配列パターンに対応してマトリクス状に配列されている。この有機ＥＬ素子５６は、有機ＥＬ現象を利用して発光するものであり、平坦化絶縁層５５に近い側から順に、例えばクロム（Ｃｒ）および酸化インジウムスズ（ＩＴＯ；Indium Tin Oxide）の積層構造を有する下部電極層５６１と、有機層５６２と、例えばカルシウム（Ｃａ）およびマグネシウム銀合金（ＭｇＡｇ）の積層構造を有する上部電極層５６３とが積層された積層構造を有している。特に、有機ＥＬ素子５６は、例えば、光の３原色に対応する３色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）の光ＨＲ，ＨＧ，ＨＢをそれぞれ発生させる３種類の有機ＥＬ素子、すなわち赤色有機ＥＬ素子５６Ｒ、緑色有機ＥＬ素子５６Ｇおよび青色有機ＥＬ素子５６Ｂを含んでいる。赤色有機ＥＬ素子５６Ｒのうちの有機層５６２は、例えば、正孔輸送層５６２１と、赤色の光ＨＲを発生させる赤色発光層５６２２Ｒとがこの順に積層された２層構造を有しており、緑色有機ＥＬ素子５６Ｇのうちの有機層５６２は、例えば、正孔輸送層５６２１と、緑色の光ＨＧを発生させる緑色発光層５６２２Ｇとがこの順に積層された２層構造を有しており、青色有機ＥＬ素子５６Ｂのうちの有機層５６２は、例えば、正孔輸送層５６２１と、青色の光ＨＢを発生させる青色発光層５６２２Ｂとがこの順に積層された２層構造を有している。赤色有機ＥＬ素子５６Ｒ、緑色有機ＥＬ素子５６Ｇおよび青色有機ＥＬ素子５６Ｂ間では、例えば、下部電極層５６１が分離されており、一方、上部電極層５６３が分離されておらずに共有されている。

一方、封止パネル６０は、例えばガラス製の封止用基板６１の一面に、カラーフィルタ６２が設けられた構造を有している。このカラーフィルタ６２は、赤色有機ＥＬ素子５６Ｒ、緑色有機ＥＬ素子５６Ｇおよび青色有機ＥＬ素子５６Ｂにそれぞれ対応して配置された３色の領域、すなわち赤色領域６２Ｒ、緑色領域６２Ｇおよび青色領域６２Ｂを含んでいる。

図７に示した有機ＥＬディスプレイと図６に示した基板１との間の対応関係として、赤色有機ＥＬ素子５６Ｒ、緑色有機ＥＬ素子５６Ｇおよび青色有機ＥＬ素子５６Ｂのそれぞれの配設位置は、基板１に設けられた赤色用塗布領域１Ｒ、緑色用塗布領域１Ｇおよび青色用塗布領域１Ｂにそれぞれ対応している。すなわち、赤色用塗布領域１Ｒに赤色有機ＥＬ素子５６Ｒが配設され、緑色用塗布領域１Ｇに緑色有機ＥＬ素子５６Ｇが配設され、青色用塗布領域１Ｂに青色有機ＥＬ素子５７Ｂが配設されている。特に、上記した「有機ＥＬディスプレイの途中製造物」としての基板１は、例えば、駆動用基板５１の一面に、ＴＦＴ５２、層間絶縁層５３、駆動配線５４、平坦化絶縁層５５、下部電極層５６１および層内絶縁層５７が形成されたものである。なお、基板１の一面のうち、赤色用塗布領域１Ｒ、緑色用塗布領域１Ｇおよび青色用塗布領域１Ｂのそれぞれの周囲には層内絶縁層５７が設けられており、すなわち層内絶縁層５７により囲まれた領域として、赤色用塗布領域１Ｒ、緑色用塗布領域１Ｇおよび青色用塗布領域１Ｂのそれぞれが構成されている。

次に、図１〜図１１を参照して、図１〜図５に示した塗布装置の動作について説明する。図８〜図１１は、塗布装置の一連の動作を説明するためのものである。なお、本発明の「塗布方法」は以下で説明する塗布装置の動作に基づいて実現されるため、その塗布方法に関しては以下で併せて説明する。

この塗布装置では、図１に示したように、載置台４０上に基板１が載置されると、コントローラ１０が塗布ヘッド２０を使用して基板１に塗布処理を施し、すなわちコントローラ１０が走査機構３０を駆動させることにより塗布ヘッド２０を走査させながら基板１に塗布処理を施す。

すなわち、まず、基板１に対して、図２に示した正孔輸送層用塗布ヘッド２１が塗布処理を施す。具体的には、例えば、図８に示したように、正孔輸送層用塗布ヘッド２１の延在方向Ｄ１が基準方向Ｄ２、すなわち赤色用塗布領域１Ｒ、緑色用塗布領域１Ｇおよび青色用塗布領域１Ｂのそれぞれの延在方向（Ｙ軸方向）に対して角度（傾き角度）θだけ傾いた状態において、その正孔輸送層用塗布ヘッド２１がＸ軸方向に走査しながら、複数のノズル２１２（２１２１〜２１２８）から正孔輸送材料Ｐ５６２１を吐出させることにより各赤色用塗布領域１Ｒ、各緑色用塗布領域１Ｇおよび各青色用塗布領域１Ｂに塗布する。この「正孔輸送材料Ｐ５６２１」としては、例えば、ポリチオフェン誘導体（例えばポリエチレンジオキシチオフェン（ＰＥＤＯＴ；Poly(3,4-ethylenedioxy thiophene））とポリスチレンスルホン酸（ＰＳＳ；Polystyrene sulfonic acid ）との混合物などの正孔輸送化合物と、純粋や有機溶媒などの溶媒とを含むインクが挙げられる。この際、正孔輸送層用塗布ヘッド２１は、例えば、基板１の一面に、赤色用塗布領域１Ｒ、緑色用塗布領域１Ｇおよび青色用塗布領域１Ｂとして１Ｒ，１Ｇ，１Ｂ，１Ｒ，１Ｇ，１Ｂの組み合わせが２列に渡って配列されている場合に、Ｘ軸方向に一度だけ走査しながら、８つのノズル２１２１〜２１２８のうちの４つのノズル２１２１〜２１２４から正孔輸送材料Ｐ５６２１を吐出させることにより一方の列（図８中、上側の列）の各赤色用塗布領域１Ｒ、各緑色用塗布領域１Ｇおよび各青色用塗布領域１Ｂに塗布すると共に、他の４つのノズル２１２５〜２１２８から正孔輸送材料Ｐ５６２１を吐出させることにより他方の列（図８中、下側の列）の各赤色用塗布領域１Ｒ、各緑色用塗布領域１Ｇおよび各青色用塗布領域１Ｂに塗布する。これにより、基板１の一面に設けられた各赤色用塗布領域１Ｒ、各緑色用塗布領域１Ｇおよび各青色用塗布領域１Ｂに、図７に示したように、正孔輸送層５６２１が形成される。なお、図８に示した「Ｋ２１」は一連のノズル２１２１〜２１２８の進行方向を示しており、「Ｐ２１」は各ノズル２１２１〜２１２８から正孔輸送材料Ｐ５６２１が滴下される滴下箇所を示している。

正孔輸送層用塗布ヘッド２１の傾き角度θは、例えば、上記したように、４つのノズル２１２１〜２１２４を利用して一方の列の各赤色用塗布領域１Ｒ、各緑色用塗布領域１Ｇおよび各青色用塗布領域１Ｂに塗布可能であると共に、他の４つのノズル２１２５〜２１２８を利用して他方の列の各赤色用塗布領域１Ｒ、各緑色用塗布領域１Ｇおよび各青色用塗布領域１Ｂに塗布可能である限りにおいて、一方の列の各赤色用塗布領域１Ｒ、各緑色用塗布領域１Ｇおよび各青色用塗布領域１Ｂと４つのノズル２１２１〜２１２４との間の位置関係、ならびに他方の列の各赤色用塗布領域１Ｒ、各緑色用塗布領域１Ｇおよび各青色用塗布領域１Ｂと他の４つのノズル２１２５〜２１２８との間の位置関係に応じて、適宜設定可能である。具体的には、正孔輸送層用塗布ヘッド２１に設けられた複数のノズル２１２１〜２１２８のノズルピッチＳ２１に基づいて、各ノズル２１２１〜２１２８から各赤色用塗布領域１Ｒ、各緑色用塗布領域１Ｇおよび各青色用塗布領域１Ｂに吐出される正孔輸送材料Ｐ５６２１の滴下間隔ＳＤ２１が決定されることを考慮して、傾き角度θを決定するのが好ましい。この場合には、例えば、複数のノズル２１２１〜２１２８から各赤色用塗布領域１Ｒ、各緑色用塗布領域１Ｇおよび各青色用塗布領域１Ｂに高精度に正孔輸送材料Ｐ５６２１を吐出させるために、上記した滴下間隔ＳＤ２１が赤色用塗布領域１Ｒ、緑色用塗布領域１Ｇおよび青色用塗布領域１Ｂのそれぞれの長辺長さＬ１よりも小さく（ＳＤ２１＜Ｌ１）、かつ各赤色用塗布領域１Ｒ、各緑色用塗布領域１Ｇおよび各青色用塗布領域１Ｂ間の間隔Ｖ１が滴下間隔ＳＤ２１よりも小さいことが好ましい（Ｖ１＜ＳＤ２１）。なお、図８では、一連の赤色用塗布領域１Ｒ、緑色用塗布領域１Ｇおよび青色用塗布領域１Ｂのうち、正孔輸送層用塗布ヘッド２１により塗布処理が施された箇所に淡い網掛を施している。

続いて、正孔輸送層用塗布ヘッド２１が塗布処理済みの基板１に対して、図３に示した赤色発光層用塗布ヘッド２２が塗布処理を施す。具体的には、例えば、図９に示したように、図８に示した正孔輸送層用塗布ヘッド２１の傾き角度θと同様の傾き角度θとなるように基板１に対して配置された状態において、赤色発光層用塗布ヘッド２２がＸ軸方向に走査しながら、複数のノズル２２２（２２２１〜２２２８）から赤色発光材料Ｐ５６２２Ｒを吐出させることにより各赤色用塗布領域１Ｒに塗布する。この場合、各ノズル２２２１〜２２２８から各赤色用塗布領域１Ｒに塗布される赤色発光材料Ｐ５６２２Ｒの滴下間隔ＳＤ２２と長辺長さＬ１との間の関係、ならびに滴下間隔ＳＤ２２と間隔Ｖ１との間の関係は、例えば、上記した滴下間隔ＳＤ２１と長辺長さＬ１との間の関係、ならびに滴下間隔ＳＤ２１と間隔Ｖ１との間の関係とそれぞれ同様である（ＳＤ２２＜Ｌ１，Ｖ１＜ＳＤ２２）。この「赤色発光材料Ｐ５６２２Ｒ」としては、例えば、下記の化１に示した化学式で表されるPoly［｛9,9-dihexyl-2,7-bis（1-cyanovinylene）fluorenylen｝-alt-co-｛2,5-bis（N,N'-diphenylamino）1,4-phenylene ｝］などの赤色発光化合物と、テトラリンおよびアニソールなどの溶媒とを含むインクが挙げられる。このテトラリンは沸点＝２０７．５℃，表面張力＝３５．５×１０^-5Ｎ／ｃｍ（＝３５．５ｄｙｎ／ｃｍ）であり、アニソールは沸点＝１５３．８℃，表面張力＝３４．２×１０^-5Ｎ／ｃｍ（＝３４．２ｄｙｎ／ｃｍ）である。なお、溶媒としては、例えば、上記したテトラリンやアニソールの他に、シクロヘキシルベンゼン、１，２，３，４−テトラメチルベンゼンおよびメシチレンなどのベンゼン誘導体が挙げられる。この際、赤色発光層用塗布ヘッド２２は、例えば、Ｘ軸方向に一度だけ走査しながら、８つのノズル２２２１〜２２２８のうちの４つのノズル２２２１〜２２２４から赤色発光材料Ｐ５６２２Ｒを吐出させることにより一方の列（図９中、上側の列）の各赤色用塗布領域１Ｒに塗布すると共に、他の４つのノズル２２２５〜２２２８から赤色発光材料Ｐ５６２２Ｒを吐出させることにより他方の列（図９中、下側の列）の各赤色用塗布領域１Ｒに塗布する。これにより、基板１の一面に設けられた各赤色用塗布領域１Ｒに、図７に示したように、赤色有機ＥＬ素子５６Ｒのうちの有機層５６２の一部を構成する赤色発光層５６２２Ｒが形成される。なお、図９では、一連の赤色用塗布領域１Ｒ、緑色用塗布領域１Ｇおよび青色用塗布領域１Ｂのうち、赤色発光層用塗布ヘッド２２により塗布処理が施された箇所に濃い網掛を施している。また、図９に示した「Ｋ２２」は一連のノズル２２２１〜２２２８の進行方向を示しており、「Ｐ２２」は各ノズル２２２１〜２２２８から赤色発光材料Ｐ５６２２Ｒが滴下される滴下箇所を示している。

続いて、正孔輸送層用塗布ヘッド２１および赤色発光層用塗布ヘッド２２が塗布処理済みの基板１に対して、図４に示した緑色発光層用塗布ヘッド２３が塗布処理を施す。具体的には、例えば、図１０に示したように、図８に示した正孔輸送層用塗布ヘッド２１の傾き角度θと同様の傾き角度θとなるように基板１に対して配置された状態において、緑色発光層用塗布ヘッド２３がＸ軸方向に走査しながら、複数のノズル２３２（２３２１〜２３２８）から緑色発光材料Ｐ５６２２Ｇを吐出させることにより各緑色用塗布領域１Ｇに塗布する。この場合、各ノズル２３２１〜２３２８から各緑色用塗布領域１Ｇに塗布される緑色発光材料Ｐ５６２２Ｇの滴下間隔ＳＤ２３と長辺長さＬ１との間の関係、ならびに滴下間隔ＳＤ２３と間隔Ｖ１との間の関係は、例えば、上記した滴下間隔ＳＤ２１と長辺長さＬ１との間の関係、ならびに滴下間隔ＳＤ２１と間隔Ｖ１との間の関係とそれぞれ同様である（ＳＤ２３＜Ｌ１，Ｖ１＜ＳＤ２３）。この「緑色発光材料Ｐ５６２２Ｇ」としては、例えば、下記の化２に示した化学式で表されるPoly［｛9,9-dioctylfluorenyl-2,7-diyl｝-co-（1,4-diphenylene-vinylene-2-methoxy-5-｛2-ethylhexyloxy｝-benzene ）］などの緑色発光化合物と、テトラリンやアニソールなどの溶媒とを含むインクが挙げられる。この際、緑色発光層用塗布ヘッド２３は、例えば、Ｘ軸方向に一度だけ走査しながら、８つのノズル２３２１〜２３２８のうちの４つのノズル２３２１〜２３２４から緑色発光材料Ｐ５６２２Ｇを吐出させることにより一方の列（図１０中、上側の列）の各緑色用塗布領域１Ｇに塗布すると共に、他の４つのノズル２３２５〜２３２８から緑色発光材料Ｐ５６２２Ｇを吐出させることにより他方の列（図１０中、下側の列）の各緑色用塗布領域１Ｇに塗布する。これにより、基板１の一面に設けられた各緑色用塗布領域１Ｇに、図７に示したように、緑色有機ＥＬ素子５６Ｇのうちの有機層５６２の一部を構成する緑色発光層５６２２Ｇが形成される。なお、図１０では、一連の赤色用塗布領域１Ｒ、各緑色用塗布領域１Ｇおよび青色用塗布領域１Ｂのうち、赤色発光層用塗布ヘッド２２および緑色発光層用塗布ヘッド２３により塗布処理が施された箇所に併せて濃い網掛を施している。また、図１０に示した「Ｋ２３」は一連のノズル２３２１〜２３２８の進行方向を示しており、「Ｐ２３」は各ノズル２３２１〜２３２８から緑色発光材料Ｐ５６２２Ｇが滴下される滴下箇所を示している。

最後に、正孔輸送層用塗布ヘッド２１、赤色発光層用塗布ヘッド２２および緑色発光層用塗布ヘッド２３が塗布処理済みの基板１に対して、図５に示した青色発光層用塗布ヘッド２４が塗布処理を施す。具体的には、例えば、図１１に示したように、図８に示した正孔輸送層用塗布ヘッド２１の傾き角度θと同様の傾き角度θとなるように基板１に対して配置された状態において、青色発光層用塗布ヘッド２４がＸ軸方向に走査しながら、複数のノズル２４２（２４２１〜２４２８）から青色発光材料Ｐ５６２２Ｂを吐出させることにより各青色用塗布領域１Ｂに塗布する。この場合、各ノズル２４２１〜２４２８から各青色用塗布領域１Ｂに塗布される青色発光材料Ｐ５６２２Ｂの滴下間隔ＳＤ２４と長辺長さＬ１との間の関係、ならびに滴下間隔ＳＤ２４と間隔Ｖ１との間の関係は、例えば、上記した滴下間隔ＳＤ２１と長辺長さＬ１との間の関係、ならびに滴下間隔ＳＤ２１と間隔Ｖ１との間の関係とそれぞれ同様である（ＳＤ２４＜Ｌ１，Ｖ１＜ＳＤ２４）。この「青色発光材料Ｐ５６２２Ｂ」としては、例えば、下記の化３に示した化学式で表されるPoly［｛9,9-dioctylfluorenyl-2,7-dityl｝-co-｛1,4-（2,5-dimethoxy）-benzene ｝］などの青色発光化合物と、テトラリンやアニソールなどの溶媒とを含むインクが挙げられる。この際、青色発光層用塗布ヘッド２４は、例えば、Ｘ軸方向に一度だけ走査しながら、８つのノズル２４２１〜２４２８のうちの４つのノズル２４２１〜２４２４から青色発光材料Ｐ５６２２Ｂを吐出させることにより一方の列（図１１中、上側の列）の各青色用塗布領域１Ｂに塗布すると共に、他の４つのノズル２４２５〜２４２８から青色発光材料Ｐ５６２２Ｂを吐出させることにより他方の列（図１１中、下側の列）の各青色用塗布領域１Ｂに塗布する。これにより、基板１の一面に設けられた各青色用塗布領域１Ｂに、図７に示したように、青色有機ＥＬ素子５６Ｂのうちの有機層５６２の一部を構成する青色発光層５６２２Ｂが形成される。なお、図１１では、一連の赤色用塗布領域１Ｒ、緑色用塗布領域１Ｇおよび青色用塗布領域１Ｂのうち、赤色発光層塗布ヘッド２２、緑色発光層用塗布ヘッド２３および青色発光層用塗布ヘッド２４により塗布処理が施された箇所に併せて濃い網掛を施している。また、図１１に示した「Ｋ２４」は一連のノズル２４２１〜２４２８の進行方向を示しており、「Ｐ２４」は各ノズル２４２１〜２４２８から青色発光材料Ｐ５６２２Ｂが滴下される滴下箇所を示している。

上記した一連の塗布処理により、図１および図７に示したように、基板１の一面に設けられた各赤色用塗布領域１Ｒに正孔輸送層５６２１および赤色発光層５６２２Ｒがこの順に形成されるため、赤色有機ＥＬ素子５６Ｒのうちの一部を構成する有機層５６２が形成され、各緑色用塗布領域１Ｇに正孔輸送層５６２１および緑色発光層５６２２Ｇがこの順に形成されるため、緑色有機ＥＬ素子５６Ｇのうちの一部を構成する有機層５６２が形成され、各青色用塗布領域１Ｂに正孔輸送層５６２１および青色発光層５６２２Ｂがこの順に形成されるため、青色有機ＥＬ素子５６Ｂのうちの一部を構成する有機層５６２が形成される。

本実施の形態に係る塗布装置または塗布方法では、赤色発光層用塗布ヘッド２２に設けられた複数のノズル２２２（２２２１〜２２２８）から赤色発光材料Ｐ５６２２Ｒを吐出させることにより、その複数のノズル２２２（２２２１〜２２２８）から吐出された赤色発光材料Ｐ５６２２Ｒを１つの赤色用塗布領域１Ｒに塗布するようにしたので、以下の理由により、塗布ムラを可能な限り抑制することができる。

図１２は、本実施の形態に係る塗布装置および塗布方法に対する比較例としての塗布装置の構成および塗布方法の手順を説明するためのものであり、図９に対応する平面構成を示している。この比較例の塗布装置は、例えば、赤色発光層用塗布ヘッド２２が基板１に対してＸ軸方向、すなわち基板１に設けられた赤色用塗布領域１Ｒの延在方向（Ｙ軸方向）に対して交差する方向に走査しながら、複数のノズル２２２（２２２１〜２２２８）から赤色発光材料Ｐ５６２２Ｒを吐出させることにより１つの赤色用塗布領域１Ｒに塗布する本実施の形態に係る塗布装置とは異なり、赤色発光層用塗布ヘッド２２に対応する赤色発光層用塗布ヘッド９２（ヘッド９２１，ノズル９２２（９２２１〜９２２３））を備え、その赤色発光層用塗布ヘッド９２が基板１に対してＹ軸方向、すなわち赤色用塗布領域１Ｒの延在方向（Ｙ軸方向）に対して平行な方向に走査しながら、複数のノズル９２２（９２２１〜９２２３）から赤色発光材料Ｐ５６２２Ｒを吐出させることにより複数の赤色用塗布領域１Ｒに塗布する点を除き、本実施の形態に係る塗布装置と同様の構成を有している。図１２に示した「Ｋ９２」は一連のノズル９２２１〜９２２３の進行方向を示しており、「Ｐ９２」は各ノズル９２２１〜９２２３から赤色発光材料Ｐ５６２２Ｒが滴下される滴下箇所を示している。なお、比較例の塗布装置は、赤色発光層用塗布ヘッド２２に対応する赤色発光層用塗布ヘッド９２と共に、他の正孔輸送用塗布ヘッド２１、緑色発光層用塗布ヘッド２３および青色発光層用塗布ヘッド２４に代えて、赤色発光層用塗布ヘッド９２と同様の走査原理および塗布原理を有する他の正孔輸送層用塗布ヘッド、緑色発光層用塗布ヘッドおよび青色発光層用塗布ヘッド（いずれも図示しない）も併せて備えているが、ここでは代表的に赤色発光層用塗布ヘッド９２のみを図１２に示している。

比較例の塗布装置または塗布方法では、図１２に示したように、赤色発光層用塗布ヘッド９２がＹ軸方向に走査しながら基板１に塗布処理を施すことにより、赤色発光層塗布ヘッド２２がＸ軸方向に走査しながら基板１に塗布処理を施す本実施の形態の場合と同様に、一連の赤色用塗布領域１Ｒに赤色発光材料Ｐ５６２２Ｒを塗布することが可能である。

しかしながら、この場合には、赤色発光層用塗布ヘッド９２に設けられた複数のノズル９２２（ここでは例えばノズル９２２１，９２２２）のうちの一方のノズル９２２１から赤色発光材料Ｐ５６２２Ｒが吐出されることにより一方の行（図１２中、左側の行）の各赤色用塗布領域１Ｒに塗布されると共に、他方のノズル９２２２から赤色発光材料Ｐ５６２２Ｒが吐出されることにより他方の行（図１２中、右側の行）の各赤色用塗布領域１Ｒに塗布されるため、赤色用塗布領域１Ｒに赤色発光材料Ｐ５６２２Ｒが塗布される過程において、１つのノズル９２２１，９２２２が１つの赤色用塗布領域１Ｒに対応する塗布原理、すなわち１つのノズル９２２１，９２２２から１つの赤色用塗布領域１Ｒに対して赤色発光材料Ｐ５６２２Ｒが供給される塗布原理に起因して、複数の赤色用塗布領域１Ｒに塗布処理を施した場合に、各赤色用塗布領域１Ｒ間において塗布ムラが生じやすくなる。

具体的には、例えばノズル９２２１，９２２２の形成精度や目詰まりなどの影響を受けて、複数のノズル９２２１，９２２２のノズル径間に差異が生じると、各ノズル９２２１，９２２２から吐出される赤色発光材料Ｐ５６２２Ｒの吐出量に基づいて１つの赤色用塗布領域１Ｒに供給される赤色発光材料Ｐ５６２２Ｒの塗布量が決定され、すなわち各ノズル９２２１，９２２２間の吐出量の差異を反映して各赤色用塗布領域１Ｒの塗布膜厚が決定される結果、複数の赤色用塗布領域１Ｒに塗布処理を施した場合に、各赤色用塗布領域１Ｒ間において赤色発光材料Ｐ５６２２Ｒの塗布膜厚に差異が生じやすくなるため、各赤色用塗布領域１Ｒ間において塗布ムラが生じやすくなる。この場合には、各ノズル９２２１，９２２２から吐出される赤色発光材料Ｐ５６２２Ｒの吐出量間に差異が生じる結果、一方の行の各赤色用塗布領域１Ｒと他方の行の赤色用塗布領域１Ｒとの間で赤色発光層５７２２Ｒの膜厚に差異が生じるため、各赤色用塗布領域１Ｒ間において各赤色発光層５６２２Ｒの膜厚がばらついてしまう。したがって、比較例の塗布装置または塗布方法では、赤色発光層用塗布ヘッド９２を使用して赤色発光材料Ｐ５６２２Ｒを塗布することにより赤色発光層５６２２Ｒを形成する際に、塗布ムラを可能な限り抑制することが困難となる。

もちろん、上記した塗布ムラの生じやすさは、赤色発光層用塗布ヘッド９２を使用して赤色発光材料Ｐ５６２２Ｒを塗布することにより赤色発光層５６２２Ｒを形成する場合に限らず、その赤色発光層用塗布ヘッド９２と同様の走査機構および塗布機構を有する他の正孔輸送層用塗布ヘッドを使用して正孔輸送材料Ｐ５６２１を塗布することにより正孔輸送層５６２１を形成し、緑色発光層用塗布ヘッドを使用して緑色発光材料Ｐ５６２２Ｇを塗布することにより緑色発光層５６２２Ｇを形成し、青色発光層用塗布ヘッドを使用して青色発光材料Ｐ５６２２Ｂを塗布することにより青色発光層５６２２Ｂを形成する場合においても同様に生じ得る。したがって、比較例の塗布装置または塗布方法では、有機層５６２を形成する際に、やはり塗布ムラを可能な限り抑制することが困難となる。

これにより、比較例の塗布装置または塗布方法では、塗布ムラを可能な限り抑制することが困難な結果、各有機層５６２２Ｒ，５６２２Ｇ，５６２２Ｂ間において膜厚が不均一化することに起因して、輝度分布や色度分布を確保することが困難なため、有機ＥＬディスプレイの表示特性を確保することが困難になる。

これに対して、本実施の形態に係る塗布装置または塗布方法では、図９に示したように、赤色発光層用塗布ヘッド２２がＸ軸方向に走査しながら基板１に塗布処理を施すため、その赤色発光層用塗布ヘッド２２に設けられた複数のノズル２２２（２２２１〜２２２８）のうちの４つのノズル２２２１〜２２２４から赤色発光材料Ｐ５６２２Ｒが吐出されることにより一方の列（図９中、上側の列）の各赤色用塗布領域１Ｒに塗布されると共に、他の４つのノズル２２２５〜２２２８から赤色発光材料Ｐ５６２２Ｒが吐出されることにより他方の列（図９中、下側の列）の各赤色用塗布領域１Ｒに塗布されるため、赤色用塗布領域１Ｒに赤色発光材料Ｐ５６２２Ｒが塗布される過程において、複数のノズル２２２１〜２２２４，２２２５〜２２２８が１つの赤色用塗布領域１Ｒに対応する塗布原理、すなわち複数のノズル２２２１〜２２２４，２２２５〜２２２８から１つの赤色用塗布領域１Ｒに対して赤色発光材料Ｐ５６２２Ｒが供給される塗布原理に基づき、複数の赤色用塗布領域１に塗布処理を施した場合に、各赤色用塗布領域１Ｒ間において塗布ムラが生じにくくなる。

具体的には、例えばノズル２２２１〜２２２４間またはノズル２２２５〜２２２８間の形成精度や目詰まりなどの影響を受けて、ノズル２２２１〜２２２４またはノズル２２２５〜２２２８のノズル径間に差異が生じたとしても、それらの複数のノズル２２２１〜２２２４，２２２５〜２２２８から吐出される赤色発光材料Ｐ５６２２Ｒの総吐出量に基づいて１つの赤色用塗布領域１Ｒに供給される赤色発光材料Ｐ５６２２Ｒの塗布量が決定され、すなわち各ノズル２２２１〜２２２４，２２２５〜２２２８から吐出される赤色発光材料Ｐ５６２２Ｒの吐出量の平均値に基づいて塗布膜厚が決定される結果、複数の赤色用塗布領域１Ｒに塗布処理を施した場合に、各赤色用塗布領域１Ｒ間において赤色発光材料Ｐ５６２２Ｒの塗布膜厚に差異が生じにくくなるため、各赤色用塗布領域１Ｒ間において塗布ムラが生じにくくなる。したがって、本実施の形態に係る塗布装置または塗布方法では、赤色発光層用塗布ヘッド２２を使用して赤色発光材料Ｐ５６２２Ｒを塗布することにより赤色発光層５６２２Ｒを形成する際に、塗布ムラを可能な限り抑制することができるのである。

もちろん、上記した塗布ムラの生じにくさは、赤色発光層用塗布ヘッド２２を使用して赤色発光材料Ｐ５６２２Ｒを塗布することにより赤色発光層５７２２Ｒを形成する場合に限らず、その赤色発光層用塗布ヘッド２２と同様の走査機構および塗布機構を有する他の正孔輸送層用塗布ヘッド２１を使用して正孔輸送材料Ｐ５６２１を塗布することにより正孔輸送層５６２１を形成し、緑色発光層用塗布ヘッド２３を使用して緑色発光材料Ｐ５６２２Ｇを塗布することにより緑色発光層５６２２Ｇを形成し、青色発光層用塗布ヘッド２４を使用して青色発光材料Ｐ５６２２Ｂを塗布することにより青色発光層５６２２Ｂを形成する場合においても同様に得られる。したがって、本実施の形態に係る塗布装置または塗布方法では、有機層５６２を形成する際に、やはり塗布ムラを可能な限り抑制することができるのである。

これにより、本実施の形態に係る比較例の塗布装置または塗布方法では、塗布ムラを可能な限り抑制することが可能な結果、各有機層５６２２Ｒ，５６２２Ｇ，５６２２Ｂ間において膜厚が均一化することに基づいて、輝度分布や色度分布を確保することが可能なため、有機ＥＬディスプレイの表示特性を確保することができる。

特に、本実施の形態では、赤色発光層用塗布ヘッド２２に設けられた複数のノズル２２１〜２２２４，２２２５〜２２２８から吐出された赤色発光材料Ｐ５６２２Ｒが１つの赤色用塗布領域１Ｒに塗布される塗布原理に基づき、上記したように、各ノズル２２２１〜２２２４，２２２５〜２２２８から吐出された赤色発光材料Ｐ５６２２Ｒの吐出量が１つの赤色用塗布領域１Ｒにおいて平均化される結果、赤色発光層５６２２Ｒの膜厚に差異が生じにくくなるため、赤色発光層用塗布ヘッド２２を基板１に対して一度だけ走査させることにより、各赤色用塗布領域１Ｒに赤色発光層５６２２Ｒを目標膜厚となるように形成することが可能となる。具体的には、比較例の塗布装置または塗布方法（図１２参照）では、各ノズル９２２１，９２２２から吐出された赤色発光材料Ｐ５６２２Ｒが各赤色用塗布領域１Ｒに塗布されることにより、例えばノズル９２２１，９２２２の形成精度や目詰まりなどの影響を受けて赤色発光材料Ｐ５６２２Ｒの吐出量に差異が生じる結果、赤色発光層５６２２Ｒの膜厚に差異が生じやすいため、各赤色用塗布領域１Ｒに赤色発光層５６２２Ｒを目標膜厚となるように形成するために、赤色発光層用塗布ヘッド９２を基板１に対して複数回に渡って走査させる必要があるのに対して、本実施の形態に係る塗布装置または塗布方法（図９参照）では、複数のノズル２２２１〜２２２４，２２２５〜２２２８から吐出された赤色発光材料Ｐ５６２２Ｒが１つの赤色用塗布領域１Ｒに塗布されることにより、上記したように赤色発光材料Ｐ５６２２Ｒの吐出量が平均化される結果、赤色発光層５６２２Ｒの膜厚に差異が生じにくいため、各赤色用塗布領域１Ｒに赤色発光層５６２２Ｒを目標膜厚となるように形成するために、赤色発光層用塗布ヘッド２２を基板１に対して一度だけ走査させれば済む。もちろん、上記した赤色発光層用塗布ヘッド２２を基板１に対して一度だけ走査させれば済む点は、赤色発光層用塗布ヘッド２２を使用して赤色発光層５６２２Ｒを塗布形成する場合に限らず、その赤色発光層用塗布ヘッド２２と同様の走査機構および塗布機構を有する他の正孔輸送層用塗布ヘッド２１、緑色発光層用塗布ヘッド２３および青色発光層用塗布ヘッド２４を使用してそれぞれ正孔輸送層５６２１、緑色発光層５６２２Ｇおよび青色発光層５６２２Ｂを塗布形成する場合においても同様である。したがって、本実施の形態では、赤色発光層用塗布ヘッド２２を基板１に対して一度走査させるだけで、各赤色用塗布領域１Ｒに赤色発光層５６２２Ｒを目標膜厚となるように形成することが可能であるため、塗布処理を短時間で実施することができる。

この場合には、さらに、１つの赤色発光層用塗布ヘッド２２が各赤色用塗布領域１Ｒに赤色発光層５６２２Ｒを目標厚さとなるように塗布形成することが可能な塗布原理に基づき、各赤色用塗布領域１Ｒに赤色発光層５６２２Ｒを目標膜厚となるように形成するために複数の赤色発光層用塗布ヘッド２２を必要としない。もちろん、上記した複数の赤色発光層用塗布ヘッド２２を必要としない点は、赤色発光層用塗布ヘッド２２を使用して赤色発光層５６２２Ｒを塗布形成する場合に限らず、その赤色発光層用塗布ヘッド２２と同様の走査機構および塗布機構を有する他の正孔輸送層用塗布ヘッド２１、緑色発光層用塗布ヘッド２３および青色発光層用塗布ヘッド２４を使用してそれぞれ正孔輸送層５６２１、緑色発光層５６２２Ｇおよび青色発光層５６２２Ｂを塗布形成する場合においても同様である。したがって、本実施の形態では、１つの赤色発光層用塗布ヘッド２２を基板１に対して走査させるだけで、各赤色用塗布領域１Ｒに赤色発光層５６２２Ｒを目標膜厚となるように形成することが可能であるため、装置コストの高コスト化を防止することができる。

なお、本実施の形態では、図１に示したように、塗布ヘッド２０として４種類の塗布ヘッド（正孔輸送層用塗布ヘッド２１，赤色発光層用塗布ヘッド２２，緑色発光層用塗布ヘッド２３，青色発光層用塗布ヘッド２４）を含むように塗布装置を構成したが、必ずしもこれに限られるものではなく、塗布ヘッド２０に含まれる塗布ヘッドの種類数は有機ＥＬディスプレイの構成（有機層５６２の構成）に応じて自由に変更可能である。

また、本実施の形態では、図２および図９に示したように、赤色発光層用塗布ヘッド２２にノズル２２２として８つのノズル（ノズル２２２１〜２２２８）が設けられていると共に、１つの赤色用塗布領域１Ｒに対して４つのノズル（ノズル２２２１〜２２２４，２２２５〜２２２８）から赤色発光材料Ｐ５６２２Ｒを吐出するようにしたが、必ずしもこれに限られるものではなく、赤色発光層用塗布ヘッド２２に設けられるノズル２２２の設置個数、ならびに１つの赤色用塗布領域１Ｒに対して赤色発光材料Ｐ５６２２Ｒを吐出するノズルの個数は自由に変更可能である。もちろん、上記したノズルの設置個数および１つの塗布領域に塗布材料を吐出するノズルの個数に関する変更は、他の正孔輸送層用塗布ヘッド２１、緑色発光層用塗布ヘッド２３および青色発光層用塗布ヘッド２４に関しても適用可能である。

また、図９に示した赤色発光層用塗布ヘッド２２の傾き角度θは、例えば、間隔Ｖ１および滴下間隔ＳＤ２２などのパラメータに応じて適宜設定可能である。この場合には、赤色発光層用塗布ヘッド２２の傾き角度θを調整することにより、間隔Ｖ１および滴下間隔ＳＤ２２が異なる多数の塗布仕様に赤色発光層塗布ヘッド２２を対応させることが可能であるため、赤色発光層用塗布ヘッド２２の汎用性を向上させることができる。もちろん、上記した赤色発光層用塗布ヘッド２２の傾き角度θの設定に基づく利点は、他の正孔輸送層用塗布ヘッド２１、緑色発光層用塗布ヘッド２３および青色発光層用塗布ヘッド２４に関しても同様に得られる。

また、本実施の形態では、図６に示したように、角部が丸みを帯びた略長方形状のパターン形状を有するように赤色用塗布領域１Ｒ、緑色用塗布領域１Ｇおよび青色用塗布領域１Ｂをそれぞれ構成したが、必ずしもこれに限られるものではなく、Ｙ軸方向に延在する長手パターン形状を有する限り、赤色用塗布領域１Ｒ、緑色用塗布領域１Ｇおよび青色用塗布領域１Ｂのそれぞれのパターン形状は自由に変更可能である。具体的には、例えば、略長方形状に代えて、楕円形状のパターン形状を有するように赤色用塗布領域１Ｒ、緑色用塗布領域１Ｇおよび青色用塗布領域１Ｂのそれぞれを構成してもよい。

次に、本発明の具体的な実施例について説明する。

上記実施の形態において説明した塗布装置（以下、単に「本発明の塗布装置」という。）を使用して、以下の手順で有機ＥＬディスプレイのうちの赤色有機ＥＬ素子、緑色有機ＥＬ素子および青色有機ＥＬ素子を形成した。すなわち、基板として、駆動用基板の一面にＴＦＴ、層内絶縁層、駆動配線および平坦化絶縁層が設けられた有機ＥＬディスプレイの途中製造物を準備したのち、まず、スパッタリング法を使用してクロムおよびＩＴＯをこの順に成膜することにより、平坦化絶縁層上に下部電極層を形成した。続いて、スピンコート法を使用してポリイミドを塗布したのち、そのポリイミドを焼成することにより、下部電極層上に層内絶縁層を形成した。これにより層内絶縁層により囲まれた領域として、基板の一面に３種類の塗布領域（赤色用塗布領域，緑色用塗布領域，青色用塗布領域）が構成された。この場合には、赤色用塗布領域、緑色用塗布領域および青色用塗布領域のそれぞれの長辺長さＬ１＝２７０μｍおよび短辺長さＬ２＝７０μｍ，間隔Ｖ１，Ｖ２（層内絶縁層の幅）＝３０μｍ，層内絶縁層の高さ＝２μｍとした。

続いて、下部電極層を陽極として、その下部電極層および層内絶縁層に表面処理を施すことにより、下部電極層の表面を親インク性にすると共に、層内絶縁層の表面を撥インク性にした。具体的には、出力＝１００Ｗ，電極−基板間距離＝３０ｃｍ，圧力＝８Ｐａ，酸素（Ｏ₂ ）ガス流量＝６×１０^-3ｍ³ ／ｈ（＝１００ｓｃｃｍ），処理時間＝１２０秒間において下部電極層の表面に酸素プラズマ処理を施すと共に、出力＝１００Ｗ，電極−基板間距離＝３０ｃｍ，圧力＝８Ｐａ，四フッ化炭素（ＣＦ₄ ）ガス流量＝６×１０^-3ｍ³ ／ｈ（＝１００ｓｃｃｍ），処理時間＝３００秒間において層内絶縁層の表面に四フッ化炭素プラズマ処理を施すことにより、後工程において赤色用塗布領域、緑色用塗布領域および青色用塗布領域に塗布処理を施した場合に、下部電極層の表面に対する接触角＝１８°，層内絶縁層の表面に対する接触角＝１１９°となるようにした。

続いて、塗布装置を使用して、基板の一面に設けられた赤色用塗布領域、緑色用塗布領域および青色用塗布領域のそれぞれに正孔輸送層を形成した。具体的には、塗布装置のうちの正孔輸送層用塗布ヘッドを使用して、その正孔輸送層用塗布ヘッドを基板に対して赤色用塗布領域、緑色用塗布領域および青色用塗布領域の長手方向と交差する方向に一度だけ走査させながら、複数のノズルから正孔輸送材料を吐出させることにより赤色用塗布領域、緑色用塗布領域および青色用塗布領域に塗布したのち、その正孔輸送材料を焼成することにより、下部電極層上に正孔輸送層を形成した。この場合には、正孔輸送層用塗布ヘッドのノズルピッチＳ２１＝５００μｍ，傾き角度θ＝８１．３７°，吐出量＝１２ｐＬとすることにより、滴下間隔ＳＤ２１＝７５μｍとした。また、正孔輸送材料としてＰＥＤＯＴとＰＳＳとの混合物を含むインクを使用し、具体的にはＰＥＤＯＴ／ＰＳＳ混合物（ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳ＝１／２０）＝０．５重量％，純粋＝３０．０重量％，Ｎ−メチルピロリドン＝５０．０重量％，プロピレングルコールモノメチルアセテート＝１５．０重量％，イソプロピルアルコール＝４．５重量％の組成を有するインクを使用した。さらに、焼成時のレベリング時間＝１０分間，圧力＝１３３．３２２Ｐａ（＝１Ｔｏｒｒ），温度＝１８０℃，処理時間＝３０分間とすることにより、インク中の溶媒を揮発させた。

続いて、引き続き塗布装置を使用して、基板の一面に設けられた赤色用塗布領域に赤色発光層を形成した。具体的には、塗布装置のうちの赤色発光層用塗布ヘッドを使用し、その赤色発光層用塗布ヘッドを基板に対して赤色用塗布領域の長手方向と交差する方向に一度だけ走査させながら、複数のノズルから赤色発光材料を吐出させることにより赤色用塗布領域に塗布したのち、その赤色用発光材料を焼成することにより、正孔輸送層上に赤色発光層を形成した。この場合には、赤色発光材料として上記した化１に示した化学式で表される赤色発光化合物を含むインクを使用し、具体的には赤色発光化合物＝０．７重量％，テトラリン＝９０．０重量％，アニソール＝９．３重量％の組成を有するインクを使用した。なお、赤色発光層用塗布ヘッドの仕様（ノズルピッチＳ２２，傾き角度θ，吐出量，滴下間隔ＳＤ２２）および赤色発光材料の焼成条件（レベリング時間，圧力，温度，処理時間）に関しては、それぞれ正孔輸送層塗布ヘッドの仕様および正孔輸送材料の焼成条件と同様にした。

続いて、引き続き塗布装置を使用して、基板の一面に設けられた緑色用塗布領域に緑色発光層を形成した。具体的には、塗布装置のうちの緑色発光層用塗布ヘッドを使用し、その緑色発光層用塗布ヘッドを基板に対して緑色用塗布領域の長手方向と交差する方向に一度だけ走査させながら、複数のノズルから緑色発光材料を吐出させることにより緑色用塗布領域に塗布したのち、その緑色用発光材料を焼成することにより、正孔輸送層上に緑色発光層を形成した。この場合には、緑色発光材料として上記した化２に示した化学式で表される緑色発光化合物を含むインクを使用し、具体的には緑色発光化合物＝０．７重量％，テトラリン＝９０．０重量％，アニソール＝９．３重量％の組成を有するインクを使用した。なお、緑色発光層用塗布ヘッドの仕様（ノズルピッチＳ２３，傾き角度θ，吐出量，滴下間隔ＳＤ２３）および緑色発光材料の焼成条件（レベリング時間，圧力，温度，処理時間）に関しては、それぞれ正孔輸送層塗布ヘッドの仕様および正孔輸送材料の焼成条件と同様にした。

続いて、引き続き塗布装置を使用して、基板の一面に設けられた青色用塗布領域に青色発光層を形成した。具体的には、塗布装置のうちの青色発光層用塗布ヘッドを使用し、その青色発光層用塗布ヘッドを基板に対して青色用塗布領域の長手方向と交差する方向に一度だけ走査させながら、複数のノズルから青色発光材料を吐出させることにより青色用塗布領域に塗布したのち、その青色用発光材料を焼成することにより、正孔輸送層上に青色発光層を形成した。この場合には、青色発光材料として上記した化３に示した化学式で表される青色発光化合物を含むインクを使用し、具体的には青色発光化合物＝０．７重量％，テトラリン＝９０．０重量％，アニソール＝９．３重量％の組成を有するインクを使用した。なお、青色発光層用塗布ヘッドの仕様（ノズルピッチＳ２４，傾き角度θ，吐出量，滴下間隔ＳＤ２４）および青色発光材料の焼成条件（レベリング時間，圧力，温度，処理時間）に関しては、それぞれ正孔輸送層塗布ヘッドの仕様および正孔輸送材料の焼成条件と同様にした。

最後に、真空蒸着法を使用してカルシウム（３０ｎｍ厚）およびアルミニウム（２００ｎｍ厚）をこの順に成膜することにより、赤色発光層、緑色発光層、青色発光層およびそれらの周辺の層内絶縁層上に上部電極層を形成した。これにより、下部電極層、有機層（正孔輸送層，赤色発光層）および上部電極層がこの順に積層された赤色有機ＥＬ素子が完成し、下部電極層、有機層（正孔輸送層，緑色発光層）および上部電極層がこの順に積層された緑色有機ＥＬ素子が完成し、下部電極層、有機層（正孔輸送層，青色発光層）および上部電極層がこの順に積層された青色有機ＥＬ素子が完成した。

この本発明の塗布装置を使用して形成された赤色有機ＥＬ素子、緑色有機ＥＬ素子および青色有機ＥＬ素子を代表して、緑色有機ＥＬ素子のうちの有機層の膜厚分布を調べたところ、図１３に示した結果が得られた。図１３は、緑色有機ＥＬ素子のうちの有機層の膜厚分布を表しており、「横軸」は画素番号Ｎ、すなわち図６に示した複数の緑色用塗布領域を緑色発光層用塗布ヘッドの走査方向（Ｘ軸方向）に沿って順に数えた番号（ここでは画素番号Ｎ＝１〜２５）を示し、「縦軸」は有機層の膜厚Ｔ、ここでは有機層を代表して正孔輸送層の膜厚を示している。この膜厚Ｔの目標値は、２２ｎｍである。なお、緑色有機ＥＬ素子のうちの有機層の膜厚分布を調べる際には、その膜厚分布を評価するために、上記実施の形態において説明した比較例の塗布装置を使用して形成された緑色有機ＥＬ素子に関しても同様に有機層（正孔輸送層）の膜厚分布を調べた。図１３に示した「○」は本発明に関する膜厚分布を示し、「■」は比較例に関する膜厚分布を示している。

図１３に示した結果から判るように、画素番号Ｎの変化に伴う膜厚Ｔのばらつき具合は、比較例（■）よりも本発明（○）において小さくなった。具体的には、一連の膜厚Ｔに基づいて算出された平均膜厚ＴＶ，最大膜厚差（最大膜厚−最小膜厚）ＴＤ，標準偏差σは、比較例に関してＴＶ＝２２．６ｎｍ，ＴＤ＝３．５ｎｍ，σ＝１．１であったのに対して、本発明に関してＴＶ＝２２．２ｎｍ，ＴＤ＝１．８ｎｍ，σ＝０．４であった。このことから、本発明の塗布装置を使用して緑色有機ＥＬ素子のうちの有機層を塗布形成することにより、その有機層の塗布ムラを抑制することが可能であることが確認された。

なお、ここでは詳細にデータを示さないが、上記した緑色有機ＥＬ素子だけでなく、他の赤色有機ＥＬ素子および青色有機ＥＬ素子のそれぞれのうちの有機層の膜厚分布も同様に調べたところ、それらの赤色有機ＥＬ素子および青色有機ＥＬ素子に関しても緑色有機ＥＬ素子において得られた結果と同様の結果が得られ、すなわち有機層の塗布ムラを抑制することが可能であることが可能であることが確認された。もちろん、上記したように塗布ムラが抑制された有機層をそれぞれ含む赤色有機ＥＬ素子、緑色有機ＥＬ素子および青色有機ＥＬ素子を備えた有機ＥＬディスプレイでは、深刻な色むらが発生せず、ほぼ均一な発光状態に基づく良好な表示状態が確認された。したがって、本発明の塗布装置を使用して赤色有機ＥＬ素子、緑色有機ＥＬ素子および青色有機ＥＬ素子のそれぞれのうちの有機層を塗布形成することにより、その有機層に塗布ムラが生じにくくなることに基づいて輝度分布や色度分布が確保されるため、有機ＥＬディスプレイの表示特性を確保することが可能であることが確認された。

以上、実施の形態および実施例を挙げて本発明の塗布装置および塗布方法を説明したが、本発明は上記実施の形態および実施例に限定されず、本発明の塗布装置の構成および塗布方法の手順は、上記実施の形態および実施例と同様の効果を得ることが可能な限りにおいて、自由に変更可能である。

また、上記実施の形態または実施例では、本発明の塗布装置および塗布方法を有機ＥＬディスプレイに適用する場合について説明したが、必ずしもこれに限られるものではなく、本発明の塗布装置および塗布方法を有機ＥＬディスプレイ以外の他のディスプレイ、すなわち有機ＥＬディスプレイと同様に製造過程において塗布処理を要する他のディスプレイに適用することも可能である。この場合においても、上記実施の形態および実施例と同様の効果を得ることができる。

もちろん、本発明の塗布装置および塗布方法は必ずしも表示装置に適用されるものではなく、表示装置以外の他の製品に適用することも可能である。この「他の製品」としては、例えば、図７に示したカラーフィルタなどが挙げられる。この場合においても、上記実施の形態および実施例と同様の効果を得ることができる。

本発明に係る塗布装置および塗布方法は、例えば有機ＥＬディスプレイのうちの一部を構成する有機層などの各種機能膜を形成するために適用することが可能である。

本発明の一実施の形態に係る塗布装置のブロック構成を表すブロック図である。 図１に示した正孔輸送層用塗布ヘッドの平面構成を表す平面図である。 図１に示した赤色発光層用塗布ヘッドの平面構成を表す平面図である。 図１に示した緑色発光層用塗布ヘッドの平面構成を表す平面図である。 図１に示した青色発光層用塗布ヘッドの平面構成を表す平面図である。 本発明の一実施の形態に係る塗布装置により塗布処理が施される基板の平面構成を表す平面図である。 本発明の一実施の形態に係る塗布装置によって塗布処理が施されることにより製造される有機ＥＬディスプレイの断面構成を表す断面図である。 本発明の一実施の形態に係る塗布装置の一動作を説明するための平面図である。 図８に続く塗布装置の動作を説明するための平面図である。 図９に続く塗布装置の動作を説明するための平面図である。 図１０に続く塗布装置の動作を説明するための平面図である。 本発明の一実施の形態に係る塗布装置および塗布方法に対する比較例としての塗布装置の構成および塗布方法の手順を説明するための平面図である。 本発明の一実施の形態に係る塗布装置を使用して形成された緑色有機ＥＬ素子のうちの有機層の膜厚分布を表す図である。

符号の説明

１…基板、１Ｂ…青色用塗布領域、１Ｇ…緑色用塗布領域、１Ｒ…赤色用塗布領域、１０…コントローラ、２０…塗布ヘッド、２１…正孔輸送層用塗布ヘッド、２２…赤色発光層用塗布ヘッド、２３…緑色発光層用塗布ヘッド、２４…青色発光層用塗布ヘッド、３０…走査機構、４０…載置台、５０…駆動パネル、５１…駆動用基板、５２…ＴＦＴ、５３…層間絶縁層、５４…駆動配線、５５…平坦化絶縁層、５６…有機ＥＬ素子、５６Ｂ…青色有機ＥＬ素子、５６Ｇ…緑色有機ＥＬ素子、５６Ｒ…赤色有機ＥＬ素子、５７…層内絶縁層、５８…保護層、２１１，２２１，２３１，２４１…ヘッド、２１２（２１２１〜２１２８），２２２（２２２１〜２２２８），２３２（２３２１〜２３２８），２４２（２４２１〜２４２８）…ノズル、５６１…下部電極層、５６２…有機層、５６３…上部電極層、５６２１…正孔輸送層、５６２２Ｂ…青色発光層、５６２２Ｇ…緑色発光層、５６２２Ｒ…赤色発光層、６０…封止パネル、６１…封止用基板、６２…カラーフィルタ、６２Ｂ…青色領域、６２Ｇ…緑色領域、６２Ｒ…赤色領域、７０…接着層、Ｄ１…延在方向、Ｄ２…基準方向、Ｈ…画像表示用の光、ＨＢ…青色の光、ＨＧ…緑色の光、ＨＲ…赤色の光、Ｋ２１，Ｋ２２，Ｋ２３，Ｋ２４…進行方向、Ｌ１…長辺長さ、Ｌ２…短辺長さ、Ｐ２１，Ｐ２２，Ｐ２３，Ｐ２４…滴下箇所、Ｐ５６２１…正孔輸送材料、Ｐ５６２２Ｂ…青色発光材料、Ｐ５６２２Ｇ…緑色発光材料、Ｐ５６２２Ｒ…赤色発光材料、Ｓ２１，Ｓ２２，Ｓ２３，Ｓ２４…ノズルピッチ、ＳＤ２１，ＳＤ２２，ＳＤ２３，ＳＤ２４…滴下間隔、Ｖ１，Ｖ２…間隔、θ…傾き角度。

Claims (12)

1. 基体に設けられた塗布領域に塗布材料を塗布する塗布装置であって、
   前記塗布材料を吐出させるための複数のノズルが設けられ、その複数のノズルから前記塗布材料を吐出させることにより１つの前記塗布領域に塗布する塗布手段を備えた
   ことを特徴とする塗布装置。
2. 前記塗布領域が、第１の方向に延在する長手パターン形状を有しており、
   前記塗布手段が、前記第１の方向と交差する第２の方向に走査しながら、前記塗布領域に前記塗布材料を塗布するものである
   ことを特徴とする請求項１記載の塗布装置。
3. 前記基体に、前記第２の方向に配列されるように、前記塗布領域が複数設けられており、
   前記塗布手段が、前記第２の方向に走査しながら、その第２の方向に配列された各塗布領域に前記塗布材料を順次塗布する
   ことを特徴とする請求項２記載の塗布装置。
4. 前記基体に、前記第１の方向に配列されるように、前記塗布領域が複数設けられていると共に、前記塗布手段に、前記第１の方向に配列された各塗布領域に対応するように、前記複数のノズルが複数組設けられており、
   前記塗布手段が、前記第２の方向に走査しながら、前記第１の方向に配列された各塗布領域に前記塗布材料を順次塗布する
   ことを特徴とする請求項３記載の塗布装置。
5. 前記塗布手段が、前記第２の方向に一度だけ走査しながら、前記塗布領域に前記塗布材料を塗布する
   ことを特徴とする請求項４記載の塗布装置。
6. 前記塗布手段が、前記塗布材料として有機材料を塗布することにより、有機エレクトロルミネセンス（ＥＬ；Electro Luminescence）現象を利用して画像を表示可能な表示装置のうちの一部を構成する有機層を形成するものである
   ことを特徴とする請求項１記載の塗布装置。
7. 基体に設けられた塗布領域に塗布材料を塗布する塗布方法であって、
   前記塗布材料を吐出させるための複数のノズルが設けられた塗布手段を使用して、前記複数のノズルから前記塗布材料を吐出させることにより１つの前記塗布領域に塗布する ことを特徴とする塗布方法。
8. 第１の方向に延在する長手パターン形状を有するように、前記塗布領域を構成し、
   前記第１の方向と交差する第２の方向に前記塗布手段を走査させながら、前記塗布領域に前記塗布材料を塗布する
   ことを特徴とする請求項７記載の塗布方法。
9. 前記基体に、前記第２の方向に配列されるように、前記塗布領域を複数設け、
   前記第２の方向に前記塗布手段を走査させながら、その第２の方向に配列された各塗布領域に前記塗布材料を順次塗布する
   ことを特徴とする請求項８記載の塗布方法。
10. 前記基体に、前記第１の方向に配列されるように、前記塗布領域を複数設けると共に、
    前記塗布手段に、前記第１の方向に配列された各塗布領域に対応するように、前記複数のノズルを複数組設け、
    前記第２の方向に前記塗布手段を走査させながら、前記第１の方向に配列された各塗布領域に前記塗布材料を順次塗布する
    ことを特徴とする請求項９記載の塗布方法。
11. 前記第２の方向に一度だけ前記塗布手段を走査させながら、前記塗布領域に前記塗布材料を塗布する
    ことを特徴とする請求項１０記載の塗布方法。
12. 前記塗布手段を使用して、前記塗布材料として有機材料を塗布することにより、有機エレクトロルミネセンス（ＥＬ；Electro Luminescence）現象を利用して画像を表示可能な表示装置のうちの一部を構成する有機層を形成する
    ことを特徴とする請求項７記載の塗布方法。
    
    
    
    
    
    

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