JP2012252983A - 有機ｅｌ表示パネルの製造方法、カラーフィルターの製造方法、有機ｅｌ表示パネルの製造装置および有機ｅｌ表示パネル - Google Patents

Abstract

【課題】隣接する開口部に吐出される液滴の体積の総量を、簡易な制御で均一化することが可能な有機ＥＬ表示パネルの製造方法等を提供する。
【解決手段】開口部１７を形成したＥＬ基板と、ノズル３０３０を所定のノズルピッチＬ１で複数配置したヘッド部３０１とを準備する第１工程と、ＥＬ基板に対しヘッド部３０１をＸ方向に走査させながら、各開口部１７に対し、それらに対応するノズル３０３０からそれぞれ液滴を吐出させる第２工程を含み、第２工程において、各開口部１７に対しヘッド部３０１を複数回にわたって走査させるとともに、１走査毎に、ノズルピッチＬ１の整数倍に相当する距離であって、Ｙ方向に隣接する二の開口部における向かい合う開口部の端部同士の距離以上、二の開口部の一端から他端までの距離以下だけ、ヘッド部３０１をＹ方向に移動させる。
【選択図】図８

Description

本発明は、有機ＥＬ表示パネルの製造方法、カラーフィルターの製造方法、有機ＥＬ表示パネルの製造装置および有機ＥＬ表示パネルに関する。

近年、表示装置として基板上に有機ＥＬ素子を配設した有機ＥＬ表示パネルが普及しつつある。有機ＥＬ表示パネルは、自己発光を行う有機ＥＬ素子を利用するため視認性が高く、さらに完全固体素子であるため耐衝撃性に優れるなどの特徴を有する。
有機ＥＬ素子は電流駆動型の発光素子であり、陽極及び陰極の電極対の間に、キャリアの再結合による電界発光現象を行う有機発光層等を積層して構成される。また、有機ＥＬ表示パネルでは、赤色（Ｒ），緑色（Ｇ），青色（Ｂ）の各色に対応する有機ＥＬ素子をそれぞれサブピクセルとし、Ｒ，Ｇ，Ｂの３つのサブピクセルの組み合わせが１ピクセル（１画素）に相当する。

このような有機ＥＬ表示パネルとして、有機ＥＬ素子の有機発光層をインクジェット方式等のウエットプロセス（塗布工程）で形成したものが知られている（例えば、特許文献１）。インクジェット方式では、基板上の隔壁層に行列状に設けられた開口部（有機発光層形成領域に対応する。）に対してインクジェットヘッドを走査させる。そして、インクジェットヘッドが備える複数のノズルから、各開口部に対し有機発光層を構成する有機材料および溶媒を含有したインクの液滴を吐出させる。このとき、通常、一の開口部に対しては、液滴が複数回にわたって吐出される。また、ピエゾ方式のインクジェット装置にあっては、各ノズルが備えるピエゾ素子に与える駆動電圧の波形を変化させることにより、各ノズルから吐出される液滴の体積が調整される。

有機ＥＬ表示パネルにおいては、各画素間の発光輝度が均一である必要があるが、特に、隣接する画素間ではより精度の高い均一性が要求される。これは、隣接しない画素間で発光輝度が異なっていても人間の視覚上視認し難いのに対し、近接する画素間では発光輝度が僅かに異なるだけでも視認し易いからである。発光輝度は有機ＥＬ素子の有機発光層の膜厚に依存するため、上記方法により有機発光層を形成する場合には、隣接する開口部に吐出される液滴の体積の総量を均一にする必要がある。しかしながら、各ピエゾ素子に同一波形の駆動信号を与えた場合であっても、ノズル毎に吐出特性が異なるために、各ノズルから吐出される液滴の体積にバラツキが生じることがある。その結果、吐出される液滴の体積の総量が隣接する開口部間で異なってしまい、隣接する画素間で発光輝度にバラツキが生じる。

これに対し、特許文献１では、予めノズル毎に吐出される液滴の体積を検出しておき、このノズル毎の検出結果に基づき、各ノズルのピエゾ素子毎に与える駆動電圧の波形を変化させる技術が開示されている。これにより、各ノズルから吐出される液滴の体積を均一化することが可能となり、その結果、吐出される液滴の体積の総量が隣接する開口部間で均一化される。

特開２００９−１１７１４０号公報 特開２００１−２１９５５８号公報

特許文献１に開示されている技術においては、ノズル毎に所望の波形の駆動電圧を生成する必要がある。しかしながら、インクジェットヘッドが備えるノズル全てについてこれを行おうとすると、インクジェット装置は非常に複雑な制御を強いられるという問題がある。さらに、有機ＥＬ表示パネルの大判化に伴って、インクジェットヘッドが備えるノズルの数も増大することが予想されるため、特許文献１に記載の技術を適用することは現実的には難しい。

本発明は上記の問題点に鑑みてなされたもので、隣接する開口部に吐出される液滴の体積の総量を、簡易な制御で均一化することが可能な有機ＥＬ表示パネルの製造方法等を提供することを目的とする。

本発明の一態様である有機ＥＬ表示パネルは、複数の開口部をピクセル単位に行列状に形成した隔壁層を設けたＥＬ基板と、有機材料および溶媒を含有したインクの液滴を吐出するノズルを列方向に所定のノズルピッチで複数配置したインクジェットヘッドとを準備する第１工程と、前記ＥＬ基板に対し前記インクジェットヘッドを行方向に走査させながら、前記各開口部に対し、当該各開口部に対応するノズルからそれぞれ液滴を吐出させる第２工程を含み、前記第２工程において、前記各開口部に対し前記インクジェットヘッドを複数回にわたって走査させるとともに、１走査毎に、前記ノズルピッチの整数倍に相当する距離であって、前記インクジェットヘッドを列方向に移動させる構成とした。

本発明の一態様に係る有機ＥＬ表示パネルの製造方法では、第２工程において、各開口部に対し、インクジェットヘッドの複数回走査により液滴吐出を行う。そして、１走査毎に、ノズルピッチの整数倍に相当する距離であって、列方向に隣接する二の開口部における向かい合う開口部の端部同士の距離以上、二の開口部の一端から他端までの距離以下だけインクジェットヘッドを列方向に移動させる。ここで、「向かい合う開口部の端部同士の距離」とは、二の開口部における近接する開口部の端部同士の距離を指す。また、「二の開口部の一端から他端までの距離」とは、二の開口部における遠隔する開口部の端部同士の距離を指す。

この方法によれば、隣接する開口部間で液滴吐出に関与するノズルを重複させることができる。その結果、１走査毎にインクジェットヘッドを移動させない場合と比較して、液滴体積の総量を隣接する開口部間で均一にすることができる。このように、本発明の一態様においては、１走査毎にインクジェットヘッドを移動させるのみであるため、特許文献１のように、ノズル毎に異なる波形の駆動電圧を生成するといった複雑な制御を行う必要がない。

したがって、本発明の一態様に係る有機ＥＬ表示パネルの製造方法によれば、隣接する開口部に吐出される液滴の体積の総量を、簡易な制御で均一化することが可能である。

実施の形態１に係る有機ＥＬ表示パネルの構成を示す部分断面図である。 実施の形態１に係る有機ＥＬ表示パネルの隔壁層の形状を示す模式図である。 実施の形態１に係る有機ＥＬ表示パネルの製造工程例を示す図である。 実施の形態１に係る有機ＥＬ表示パネルの製造工程例を示す図である。 インクジェット装置の主要構成を示す図である。 インクジェット装置の機能ブロック図である。 実施の形態１に係る塗布対象基板とヘッド部の位置関係（横打ち時）を示す図である。 実施の形態１に係る開口部とヘッド部の位置関係（横打ち時）を模式的に示す図である。 実施の形態１の変形例に係る開口部とヘッド部の位置関係（横打ち時）を模式的に示す図である。 実施の形態２の変形例に係る開口部とヘッド部の位置関係（横打ち時）を模式的に示す図である。 実施の形態３に係る開口部とヘッド部の位置関係（横打ち時）を模式的に示す図である。 変形例（１）に係る開口部とヘッド部の位置関係（縦打ち時）を模式的に示す図である。 変形例（３）（実施の形態２の変形例）に係る開口部とヘッド部の位置関係（縦打ち時）を模式的に示す図である。 変形例（４）に係る開口部とヘッド部の位置関係（縦打ち時）を模式的に示す図である。 変形例（５）に係る開口部とヘッド部の位置関係（縦打ち時）を模式的に示す図である。 変形例（６）に係る開口部とヘッド部の位置関係（横打ち時）を模式的に示す図である。 比較例に係る開口部とヘッド部の位置関係（横打ち時）を示す図である。

≪本発明の一態様の概要≫
本発明の一態様に係る有機ＥＬ表示パネルの製造方法は、複数の開口部をピクセル単位に行列状に形成した隔壁層を設けたＥＬ基板と、有機材料および溶媒を含有したインクの液滴を吐出するノズルを列方向に所定のノズルピッチで複数配置したインクジェットヘッドとを準備する第１工程と、前記ＥＬ基板に対し前記インクジェットヘッドを行方向に走査させながら、前記各開口部に対し、当該各開口部に対応するノズルからそれぞれ液滴を吐出させる第２工程を含み、前記第２工程において、前記各開口部に対し前記インクジェットヘッドを複数回にわたって走査させるとともに、１走査毎に、前記ノズルピッチの整数倍に相当する距離であって、列方向に隣接する二の開口部における向かい合う開口部の端部同士の距離以上、前記二の開口部の一端から他端までの距離以下だけ前記インクジェットヘッドを列方向に移動させる。

また、本発明の一態様に係る有機ＥＬ表示パネルの製造方法の特定の局面では、前記第２工程において、前記インクジェットヘッドを、１走査毎に前記開口部のピッチに相当する距離だけ列方向に移動させる。
また、本発明の一態様に係る有機ＥＬ表示パネルの製造方法の特定の局面では、前記第２工程において、所定回数目の走査時に一の開口部に用いられていた各ノズルが、前記所定回数目の走査からさらにｎ回目の走査時に、前記一の開口部から列方向にｎ個目に隣接する開口部に用いられるように、前記インクジェットヘッドを移動させる。

また、本発明の一態様に係る有機ＥＬ表示パネルの製造方法の特定の局面では、前記隔壁層に形成された前記各開口部は、前記有機ＥＬ表示パネルの表示部に相当する表示領域と、当該表示領域の少なくとも列方向に存在し前記表示部に相当しないダミー領域を含み、前記第２工程において、前記ダミー領域の各開口部に対応するノズルからは、当該ダミー領域の各開口部に対して液滴を吐出させる。

また、本発明の一態様に係る有機ＥＬ表示パネルの製造方法の特定の局面では、前記第２工程において、前記各開口部における、列方向に配列された開口部の中心を結ぶ仮想線上に液滴が吐出される。
また、本発明の一態様に係る有機ＥＬ表示パネルの製造方法の特定の局面では、前記有機材料は、有機発光層を形成するために用いられる材料である。

また、本発明の一態様に係る有機ＥＬ表示パネルの製造方法の特定の局面では、前記有機材料は、正孔輸送層を形成するために用いられる材料である。
また、本発明の一態様に係る有機ＥＬ表示パネルの製造方法の特定の局面では、前記第２工程において、列方向に配列された各開口部の間に対応するノズルからは液滴を吐出させない。

また、本発明の一態様に係る有機ＥＬ表示パネルの製造方法の特定の局面では、前記各開口部の形状は、列方向に長辺を有する長尺状である。
また、本発明の一態様に係る有機ＥＬ表示パネルの製造方法の特定の局面では、前記各開口部の形状は、行方向に長辺を有する長尺状である。
また、本発明の一態様に係る有機ＥＬ表示パネルの製造方法の特定の局面では、前記各開口部は１サブピクセルとして１の発光色が定められており、同一列に属する開口部には、同一発光色の前記有機材料を含有したインクの液滴が吐出される。

本発明の一態様に係る有機ＥＬ表示パネルの製造方法は、複数の開口部をピクセル単位に行列状に形成した隔壁層を設けたＥＬ基板と、有機材料および溶媒を含有したインクの液滴を吐出するノズルを列方向に所定のノズルピッチで複数配置したインクジェットヘッドとを準備する第１工程と、前記ＥＬ基板に対し前記インクジェットヘッドを行方向に走査させながら、前記各開口部に対し、当該各開口部に対応するノズルからそれぞれ液滴を吐出させる第２工程を含み、前記第２工程において、前記各開口部に対し前記インクジェットヘッドを複数回にわたって走査させるとともに、１走査毎に、前記ノズルピッチの整数倍に相当する距離であって、列方向に隣接する二の開口部の一端から他端までの距離以下だけ、前記インクジェットヘッドを列方向に移動させる。

本発明の一態様に係るカラーフィルターの製造方法は、複数の開口部をピクセル単位に行列状に形成した隔壁層を設けたＥＬ基板と、カラーフィルター材料および溶媒を含有したインクの液滴を吐出するノズルを列方向に所定のノズルピッチで複数配置したインクジェットヘッドとを準備する第１工程と、前記ＥＬ基板に対し前記インクジェットヘッドを行方向に走査させながら、前記各開口部に対し、当該各開口部に対応するノズルからそれぞれ液滴を吐出させる第２工程を含み、前記第２工程において、前記各開口部に対し前記インクジェットヘッドを複数回にわたって走査させるとともに、１走査毎に、前記ノズルピッチの整数倍に相当する距離であって、列方向に隣接する二の開口部における向かい合う開口部の端部同士の距離以上、前記二の開口部の一端から他端までの距離以下だけ前記インクジェットヘッドを列方向に移動させる。

本発明の一態様に係る有機ＥＬ表示パネルの製造装置は、有機材料および溶媒を含有したインクの液滴を吐出するノズルを列方向に所定のノズルピッチで複数配置したインクジェットヘッドと、複数の開口部をピクセル単位に行列状に形成した隔壁層が設けられたＥＬ基板に対し、前記インクジェットヘッドを行方向に走査させるヘッド走査部と、前記各開口部に対し、当該各開口部に対応するノズルからそれぞれ液滴吐出を行わせる吐出制御部と、を備え、前記ヘッド走査部は、前記各開口部に対し前記インクジェットヘッドを複数回にわたって走査させるとともに、１走査毎に、前記ノズルピッチの整数倍に相当する距離であって、列方向に隣接する二の開口部における向かい合う開口部の端部同士の距離以上、前記二の開口部の一端から他端までの距離以下だけ前記インクジェットヘッドを列方向に移動させる。

本発明の一態様に係る有機ＥＬ表示パネルは、表示部が形成される表示領域と表示部が形成されないダミー領域とを有するＥＬ基板と、前記ＥＬ基板の上方においてピクセル単位に行列状に設けられた画素電極と、前記ＥＬ基板の上方に設けられ、前記複数の画素電極に対応する複数の開口部が形成された隔壁層と、前記表示領域の上方に存在する前記各開口部に形成された有機発光層と、前記ダミー領域の上方に存在する前記各開口部に形成され、前記有機発光層を構成する材料を含む有機層と、前記有機発光層を挟んで前記画素電極と対向して設けられた対向電極と、を備え、前記有機層は、行方向または列方向に膜厚が異なる。

本発明の一態様に係る有機ＥＬ表示パネルは、表示部が形成される表示領域と表示部が形成されないダミー領域とを有するＥＬ基板と、前記ＥＬ基板の上方においてピクセル単位に行列状に設けられた画素電極と、前記ＥＬ基板の上方に設けられ、前記複数の画素電極に対応する複数の開口部が形成された隔壁層と、前記表示領域の上方に存在する前記各開口部に形成された有機発光層と、前記ダミー領域の上方に存在する前記各開口部に形成され、前記有機発光層を構成する材料を含む有機層と、前記有機発光層を挟んで前記画素電極と対向して設けられた対向電極と、を備え、前記有機発光層は、有機発光層を構成する有機材料および溶媒を含有したインクの液滴を吐出するノズルを列方向に所定のノズルピッチで複数配置したインクジェットヘッドを、前記ＥＬ基板に対して行方向に走査させながら、前記各開口部に対し、当該各開口部に対応するノズルからそれぞれ液滴を吐出させ、かつ、前記各開口部に対し前記インクジェットヘッドを複数回にわたって走査させるとともに、１走査毎に、前記ノズルピッチの整数倍に相当する距離であって、列方向に隣接する二の開口部における向かい合う開口部の端部同士の距離以上、前記二の開口部の一端から他端までの距離以下だけ前記インクジェットヘッドを列方向に移動させることにより形成され、前記有機層は、前記ダミー領域に移動したノズルから、前記ダミー領域に存在する各開口部に対して液滴を吐出させて形成されることにより、列方向に膜厚が異なる。

≪実施の形態１≫
［全体構成］
図１は実施の形態１に係る有機ＥＬ表示パネル１００の構成を示す部分断面図である。有機ＥＬ表示パネル１００は、同図上側を表示面とする、いわゆるトップエミッション型である。

図１に示すように、基板（ＥＬ基板）１上には、ＴＦＴ層２、給電電極３、平坦化膜４、画素電極６、正孔注入層９が順次積層されている。正孔注入層９の上には、有機発光層１１の形成領域となる複数の開口部１７が形成された隔壁層７が設けられている。開口部１７の内部には、正孔輸送層１０、有機発光層１１、電子輸送層１２、電子注入層１３、対向電極１４が順次積層されている。

＜基板、ＴＦＴ層、給電電極＞
基板１は有機ＥＬ表示パネル１００における背面基板であり、その表面には、有機ＥＬ表示パネル１００をアクティブマトリクス方式で駆動するためのＴＦＴ（薄膜トランジスタ）を含むＴＦＴ層２が形成されている。ＴＦＴ層２の上面には、各ＴＦＴに対して外部から電力を供給するための給電電極３が形成されている。

＜平坦化膜＞
平坦化膜４は、ＴＦＴ層２および給電電極３が配設されていることにより生じる表面段差を平坦に調整するために設けられており、絶縁性に優れる有機材料で構成されている。
＜コンタクトホール＞
コンタクトホール５は、給電電極３と画素電極６とを電気的に接続するために設けられ、平坦化膜４の表面から裏面にわたって形成されている。コンタクトホール５は、列方向に配列されている開口部１７の間に位置するように形成されており、隔壁層７により覆われた構成となっている。コンタクトホール５が隔壁層７により覆われていない場合には、コンタクトホール５の存在により、有機発光層１１が平坦な層とはならず、発光ムラ等の原因となる。これを避けるため、上記のような構成としている。

＜画素電極＞
画素電極６は陽極であり、開口部１７に形成される一の有機発光層１１毎に形成されている。有機ＥＬ表示パネル１００はトップエミッション型であるため、画素電極６の材料としては光反射性材料が選択されている。
＜正孔注入層＞
正孔注入層９は、画素電極６から有機発光層１１への正孔の注入を促進させる目的で設けられている。

＜隔壁層＞
隔壁層７は、有機発光層１１を形成する際、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）の各色に対応する有機発光層材料と溶媒を含むインクが互いに混入することを防止する機能を果たす。
コンタクトホール５の上方を覆うように設けられている隔壁層７は、全体的にはＸＹ平面またはＹＺ平面に沿った断面が台形の断面形状を有しているが、コンタクトホール５に対応する位置では、隔壁層材料が収縮して落ち込んだ形状となっている。以下、この落ち込んだ部分を窪み部８と称する。

図２は有機ＥＬ表示パネル１００を表示面側から見た隔壁層７の形状を模式的に示す図であり、説明の都合上、正孔輸送層１０、有機発光層１１、電子輸送層１２、電子注入層１３、対向電極１４を取り除いた状態を示している。また、図１の部分断面図は、図２におけるＡ−Ａ’断面図に相当し、以下、Ｘ方向を行方向、Ｙ方向を列方向とする。
図２に示すように、隔壁層７に設けられた開口部１７は、ピクセル単位に行列状に（ＸＹ方向に）配列されている。開口部１７は有機発光層１１が形成される領域であり、有機発光層１１の配置および形状は、開口部１７の配置および形状により規定される。開口部１７は列（Ｙ）方向に長辺を有する長尺状であり、例えば、行（Ｘ）方向に沿った辺が約５０〜１００［μｍ］、列（Ｙ）方向に沿った辺が約１５０〜３００［μｍ］の寸法で形成されている。

開口部１７には、Ｒ，Ｇ，Ｂの各色に対応する開口部１７Ｒ，１７Ｇ，１７Ｂがある。開口部１７ＲにはＲ、開口部１７ＧにはＧ、開口部１７ＢにはＢにそれぞれ対応する有機発光層１１が形成される。開口部１７Ｒ，１７Ｇ，１７Ｂがそれぞれサブピクセルであり、当該開口部１７Ｒ，１７Ｇ，１７Ｂの３つのサブピクセルの組み合わせが１ピクセル（１画素）に相当する。また、開口部１７はＲ，Ｇ，Ｂの色単位に列毎に配列されており、同一列に属する開口部１７は同色に対応する開口部である。

コンタクトホール５は、列方向に配列された開口部１７の間、すなわち隔壁層７の下部に位置している。なお、上記で画素電極６は開口部１７に形成される一の有機発光層１１毎に形成されていることを述べたが、これはすなわち、画素電極６がサブピクセル毎に設けられていることを意味する。
＜正孔輸送層＞
図１の部分断面図に戻り、正孔輸送層１０は、画素電極６から注入された正孔を有機発光層１１へ輸送する機能を有する。

＜有機発光層＞
有機発光層１１は、キャリア（ホールと電子）の再結合による発光を行う部位であり、Ｒ，Ｇ，Ｂのいずれかの色に対応する有機材料を含むように構成されている。開口部１７ＲにはＲに対応する有機材料、開口部１７ＧにはＧに対応する有機材料、開口部１７ＢにはＢに対応する有機材料をそれぞれ含む有機発光層１１が形成される。

窪み部８には有機発光層１１を構成する材料を含む有機層１６が形成されている。この有機層１６は、塗布工程において、開口部１７とともに窪み部８にもインクを塗布することで、有機発光層１１と同時に形成されたものである。
＜電子輸送層＞
電子輸送層１２は、対向電極１４から注入された電子を有機発光層１１へ輸送する機能を有する。

＜電子注入層＞
電子注入層１３は、対向電極１４から有機発光層１１への電子の注入を促進させる機能を有する。
＜対向電極＞
対向電極１４は陰極である。有機ＥＬ表示パネル１００はトップエミッション型であるため、対向電極１４の材料としては光透過性材料が選択されている。

＜その他＞
なお、図１には図示しないが、対向電極１４の上には、有機発光層１１が水分や空気等に触れて劣化することを抑制する目的で封止層が設けられる。有機ＥＬ表示パネル１００はトップエミッション型であるため、封止層の材料としては、例えばＳｉＮ（窒化シリコン）、ＳｉＯＮ（酸窒化シリコン）等の光透過性材料を選択する。

なお、各開口部１７に形成される有機発光層１１を、すべて同色の有機発光層とすることもできる。
＜各層の材料＞
次に、上記で説明した各層の材料を例示する。言うまでもなく、以下に記載した材料以外の材料を用いて各層を形成することも可能である。

基板１：無アルカリガラス、ソーダガラス、無蛍光ガラス、燐酸系ガラス、硼酸系ガラス、石英、アクリル系樹脂、スチレン系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、エポキシ系樹脂、ポリエチレン、ポリエステル、シリコーン系樹脂、アルミナ等の絶縁性材料
平坦化膜４：ポリイミド系樹脂、アクリル系樹脂
画素電極６：Ａｇ（銀）、Ａｌ（アルミニウム）、銀とパラジウムと銅との合金、銀とルビジウムと金との合金、ＭｏＣｒ（モリブデンとクロムの合金）、ＮｉＣｒ（ニッケルとクロムの合金）
隔壁層７：アクリル系樹脂、ポリイミド系樹脂、ノボラック型フェノール樹脂
有機発光層１１：オキシノイド化合物、ペリレン化合物、クマリン化合物、アザクマリン化合物、オキサゾール化合物、オキサジアゾール化合物、ペリノン化合物、ピロロピロール化合物、ナフタレン化合物、アントラセン化合物、フルオレン化合物、フルオランテン化合物、テトラセン化合物、ピレン化合物、コロネン化合物、キノロン化合物及びアザキノロン化合物、ピラゾリン誘導体及びピラゾロン誘導体、ローダミン化合物、クリセン化合物、フェナントレン化合物、シクロペンタジエン化合物、スチルベン化合物、ジフェニルキノン化合物、スチリル化合物、ブタジエン化合物、ジシアノメチレンピラン化合物、ジシアノメチレンチオピラン化合物、フルオレセイン化合物、ピリリウム化合物、チアピリリウム化合物、セレナピリリウム化合物、テルロピリリウム化合物、芳香族アルダジエン化合物、オリゴフェニレン化合物、チオキサンテン化合物、シアニン化合物、アクリジン化合物、８−ヒドロキシキノリン化合物の金属錯体、２−ビピリジン化合物の金属錯体、シッフ塩とＩＩＩ族金属との錯体、オキシン金属錯体、希土類錯体等の蛍光物質（いずれも特開平５−１６３４８８号公報に記載）
正孔注入層９：ＭｏＯｘ（酸化モリブデン）、ＷＯｘ（酸化タングステン）又はＭｏｘＷｙＯｚ（モリブデン−タングステン酸化物）等の金属酸化物、金属窒化物又は金属酸窒化物
正孔輸送層１０：トリアゾール誘導体、オキサジアゾール誘導体、イミダゾール誘導体、ポリアリールアルカン誘導体、ピラゾリン誘導体及びピラゾロン誘導体、フェニレンジアミン誘導体、アリールアミン誘導体、アミノ置換カルコン誘導体、オキサゾール誘導体、スチリルアントラセン誘導体、フルオレノン誘導体、ヒドラゾン誘導体、スチルベン誘導体、ポリフィリン化合物、芳香族第三級アミン化合物、スチリルアミン化合物、ブタジエン化合物、ポリスチレン誘導体、ヒドラゾン誘導体、トリフェニルメタン誘導体、テトラフェニルベンジン誘導体（いずれも特開平５−１６３４８８号公報に記載）
電子輸送層１２：バリウム、フタロシアニン、フッ化リチウム
電子注入層１３：ニトロ置換フルオレノン誘導体、チオピランジオキサイド誘導体、ジフェキノン誘導体、ペリレンテトラカルボキシル誘導体、アントラキノジメタン誘導体、フレオレニリデンメタン誘導体、アントロン誘導体、オキサジアゾール誘導体、ペリノン誘導体、キノリン錯体誘導体（いずれも特開平５−１６３４８８号公報に記載）
対向電極１４：ＩＴＯ（酸化インジウムスズ）、ＩＺＯ（酸化インジウム亜鉛）
以上、有機ＥＬ表示パネル１００の構成等について説明した。次に、有機ＥＬ表示パネル１００の製造方法を例示する。

［製造方法］
ここでは、先に有機ＥＬ表示パネル１００の全体的な製造方法を例示する。その後、製造方法中の塗布工程について詳細を説明する。
＜概略＞
まず、ＴＦＴ層２及び給電電極３が形成された基板１を準備する（図３（ａ））。

その後、フォトレジスト法に基づき、ＴＦＴ層２及び給電電極３の上に絶縁性に優れる有機材料を用いて、厚み約４［μｍ］の平坦化膜４を形成する。このとき、コンタクトホール５を列方向に隣接する各開口部１７の間の位置に合わせて形成する（図３（ｂ））。所望のパターンマスクを用いたフォトレジスト法を行うことで、平坦化膜４とコンタクトホール５を同時に形成することができる。なお、当然ながらコンタクトホール５の形成方法はこれに限定されない。例えば、一様に平坦化膜４を形成した後、所定の位置の平坦化膜４を除去して、コンタクトホール５を形成することもできる。

続いて、真空蒸着法またはスパッタ法に基づき、厚み１５０［ｎｍ］程度の金属材料からなる画素電極６を、給電電極３と電気接続させながら、サブピクセル毎に形成する。つづいて、反応性スパッタ法に基づき、正孔注入層９を形成する（図３（ｃ））。
次に、隔壁層７をフォトリソグラフィー法に基づいて形成する。まず隔壁層材料として、感光性レジストを含むペースト状の隔壁層材料を用意する。この隔壁層材料を正孔注入層９上に一様に塗布する。この上に、図２に示した開口部１７のパターンに形成されたマスクを重ねる。続いてマスクの上から感光させ、隔壁層パターンを形成する。その後は、余分な隔壁層材料を水系もしくは非水系エッチング液（現像液）で洗い出す。これにより、隔壁層材料のパターニングが完了する。以上で有機発光層形成領域となる開口部１７が規定されるとともに、列方向で隣接する開口部１７の間の上面に窪み部８が形成された、表面が少なくとも撥水性の隔壁層７が完成する（図３（ｄ））。本実施の形態のようにコンタクトホール５が形成されている場合、通常は隔壁層材料がコンタクトホール５の内部に入り込むため、窪み部８が自然に形成される。このため、別途窪み部８を形成するための工程が不要であり、生産コスト及び製造効率上において有利である。

なお、隔壁層７の形成工程においては、さらに、開口部１７に塗布するインクに対する隔壁層７の接触角を調節する、もしくは、表面に撥水性を付与するために隔壁層７の表面を所定のアルカリ性溶液や水、有機溶媒等によって表面処理するか、プラズマ処理を施すこととしてもよい。
次に、正孔輸送層１０を構成する有機材料と溶媒を所定比率で混合し、正孔輸送層用インクを調製する。このインクをヘッド部３０１に供給し、塗布工程に基づき、各開口部１７に対応するノズル３０３０から、正孔輸送層用インクよりなる液滴１９を吐出する（図３（ｅ））。その後、インクに含まれる溶媒を蒸発乾燥させ、必要に応じて加熱焼成すると正孔輸送層１０が形成される（図４（ａ））。

次に、有機発光層１１を構成する有機材料と溶媒を所定比率で混合し、有機発光層用インクを調製する。このインクをヘッド部３０１に供給し、塗布工程に基づき、開口部１７及び窪み部８に対応するノズル３０３０から、有機発光層用インクよりなる液滴１８を吐出する（図４（ｂ））。その後、インクに含まれる溶媒を蒸発乾燥させ、必要に応じて加熱焼成すると有機発光層１１及び有機発光層１１と同一材料から成る有機層１６が形成される（図４（ｃ））。

また、図４（ｂ）において、開口部１７だけでなく窪み部８に対しても有機発光層用インクの液滴を吐出させているのは、ノズルの目詰まりを防止するためである。一般的に、有機発光層および正孔輸送層形成のために使用されるインクは、インクジェットプリンタで用いられる印字用インクに比べて高粘度である。このため、仮にインクを吐出しないように設定したとすると、当該ノズルの内部でインクが凝固してしまい目詰まりの原因となる。いったん目詰まりが生じたノズルからは設定時間内に設定量のインクを吐出できなくなり、開口部１７に所定量のインクを吐出できないために基板のロスが生じたり、ヘッド部３０１の交換が必要となることがある。このような場合には、ヘッド部３０１の取り外し、洗浄、再度高精度にアライメントして装着する作業が必要であり、生産効率を低下させる原因となる。しかしながら、上記の構成によれば、このような問題を防止することができる。

さらに、開口部１７におけるコンタクトホール５に近接する領域においては、溶媒の蒸気濃度が低いために他の部分よりも溶媒の蒸発が促進される。不均一な蒸気濃度下で乾燥が進むと、溶媒の蒸気濃度が低い領域における膜厚が厚くなり、全体として膜厚が均一な層を得ることができない恐れがある。しかしながら、図４（ｂ）に示すように、開口部１７及び窪み部８の両方に対しインクを塗布することで、開口部１７におけるコンタクトホール５に近接する領域における蒸気濃度が高められる。その結果、開口部１７における溶媒の蒸気濃度の均一化が図られ、開口部１７全域にわたって均一な膜厚で有機発光層１１を形成することができる。よって、筋ムラや面ムラ等、各種発光ムラの発生が抑制され、従来に比べて良好な画像表示性能を発揮させることが可能である。

ここで、図３（ｅ），図４（ｂ）に示す塗布工程においては、各開口部１７に対して、ヘッド部３０１（インクジェットヘッド）を複数回にわたって走査させるとともに、１走査毎にヘッド部３０１を所定の距離だけ移動させる。この方法によれば、隣接する開口部１７間で液滴吐出に関与するノズルを重複させることができる。その結果、１走査毎にヘッド部３０１を移動させない場合と比較して、液滴体積の総量を隣接する開口部１７間で均一にすることが可能である。この詳細については、後の＜塗布工程＞の項で説明する。

次に、有機発光層１１の表面に、電子輸送層１２を構成する材料を真空蒸着法に基づいて成膜する。これにより、電子輸送層１２が形成される。つづいて、電子注入層１３を構成する材料を蒸着法、スピンコート法、キャスト法などの方法により成膜し、電子注入層１３が形成される。そして、ＩＴＯ、ＩＺＯ等の材料を用い、真空蒸着法、スパッタ法等で成膜する。これにより対向電極１４が形成される（図４（ｄ））。

なお、図示しないが、対向電極１４の表面には、ＳｉＮ、ＳｉＯＮ等の光透過性材料をスパッタ法、ＣＶＤ法等で成膜することで、封止層を形成する。
以上の工程を経ることにより有機ＥＬ表示パネル１００が完成する。
＜塗布工程＞
以下、特に、正孔輸送層１０および有機発光層１１を形成する際の塗布工程について詳細に説明する。まず、塗布工程に使用されるインクジェット装置（製造装置）について説明する。

（インクジェット装置）
図５は、本実施の形態で使用するインクジェット装置１０００の主要構成を示す図である。図６は、インクジェット装置１０００の機能ブロック図である。
図５，６に示すように、インクジェット装置１０００は、インクジェットテーブル２０、インクジェットヘッド３０、制御装置（ＰＣ）１５で構成される。

図６に示すように、制御装置１５は、ＣＰＵ１５０、記憶手段１５１（ＨＤＤ等の大容量記憶手段を含む）、表示手段（ディスプレイ）１５３、入力手段１５２で構成される。当該制御装置１５は具体的にはパーソナルコンピューター（ＰＣ）を用いることができる。記憶手段１５１には、制御装置１５に接続されたインクジェットテーブル２０、インクジェットヘッド３０を駆動するための制御プログラム等が格納されている。インクジェット装置１０００の駆動時には、ＣＰＵ１５０が入力手段１５２を通じてオペレータにより入力された指示と、前記記憶手段１５１に格納された各制御プログラムに基づいて所定の制御を行う。

（インクジェットテーブル）
図５に示すように、インクジェットテーブル２０はいわゆるガントリー式の作業テーブルであり、基台のテーブルの上をガントリー部（移動架台）が一対のガイドシャフトに沿って移動可能に配されている。
具体的構成として、板状の基台２００には、その上面の四隅に柱状のスタンド２０１Ａ、２０１Ｂ、２０２Ａ、２０２Ｂが配設されている。これらのスタンド２０１Ａ、２０１Ｂ、２０２Ａ、２０２Ｂに囲まれた内側領域には、塗布対象となる基板を載置するための固定ステージＳＴと、塗布直前にインクを吐出させることにより吐出特性を安定化させるために用いるインクパン（皿状容器）ＩＰがそれぞれ配設されている。

また、スタンド２０１Ａ、２０１Ｂ、２０２Ａ、２０２Ｂには、基台２００の長手（Ｙ）方向に沿って、ガイドシャフト２０３Ａ、２０３Ｂが平行軸支されている。ガイドシャフト２０３Ａ、２０３Ｂにはリニアモーター部２０４、２０５が挿通されており、リニアモーター部２０４、２０５に対してガイドシャフト２０３Ａ、２０３Ｂを架け渡すように、ガントリー部２１０が搭載されている。この構成により、インクジェット装置１０００の駆動時において、一対のリニアモーター部２０４、２０５が駆動されることで、ガントリー部２１０がガイドシャフト２０３Ａ、２０３Ｂの長手方向に沿ってスライド自在に往復運動する。

ガントリー部２１０には、Ｌ字型の台座からなる移動体（キャリッジ）２２０が配設される。移動体２２０にはサーボモーター部（移動体モーター）２２１が配設され、各モーターの軸の先端に不図示のギヤが配されている。ギヤはガントリー部２１０の長手方向（Ｘ方向）に沿って形成されたガイド溝２１１に嵌合される。ガイド溝２１１の内部にはそれぞれ長手方向に沿って微細なラックが形成されている。ギヤはラックと噛合しているので、サーボモーター部２２１が駆動すると、移動体２２０はいわゆるピニオンラック機構によって、Ｘ方向に沿って往復自在に精密に移動する。

ここで、上記の制御部２１３、ガントリー部２１０とでヘッド走査部を構成している。移動体２２０にはインクジェットヘッド３０が装備されるので、ヘッド走査部により、塗布対象基板に対してインクジェットヘッド３０を走査させることができる。また、上述したように、移動体２２０ＡはＸ方向に沿って移動するので、インクジェットヘッド３０の走査方向は行（Ｘ）方向である。

なお、リニアモーター部２０４，２０５、サーボモーター部２２１はそれぞれ直接駆動を制御するための制御部２１３に接続され、当該制御部２１３は制御装置１５内のＣＰＵ１５０に接続されている。インクジェット装置１０００の駆動時には、制御プログラムを読み込んだＣＰＵ１５０により、制御部２１３を介してリニアモーター部２０４，２０５、サーボモーター部２２１の各駆動が制御される（図６）。

（インクジェットヘッド）
インクジェットヘッド３０は公知のピエゾ方式を採用し、ヘッド部３０１及び本体部３０２で構成されている。ヘッド部３０１は本体部３０２を介して移動体２２０に固定されている。本体部３０２はサーボモーター部３０４（図６）を内蔵しており、サーボモーター部３０４を回転させることにより、ヘッド部３０１の長手方向と固定ステージＳＴのＸ軸とのなす角度が調節される。なお、本実施の形態においては、ヘッド部３０１の長手方向とＹ軸とが一致するように調整している。

ヘッド部３０１は固定ステージＳＴに対抗する面に複数のノズルを備えており、これらのノズルはヘッド部３０１の長手方向に沿って列状に配置されている。ヘッド部３０１に供給されたインクは、各ノズルから液滴として塗布対象基板に対して吐出される。
各ノズルにおける液滴の吐出動作は、各ノズルが備えるピエゾ素子（圧電素子）３０１０（図６）に与えられる駆動電圧によって制御される。吐出制御部３００は、各ピエゾ素子３０１０に与える駆動信号を制御することにより、各ノズルからそれぞれ液滴吐出を行わせる。具体的には、図６に示すように、ＣＰＵ１５０が所定の制御プログラムを記憶手段１５１から読み出し、吐出制御部３００に対して、所定の電圧を対象のピエゾ素子３０１０に印加するように指示する。

以上の構成を有するインクジェット装置１０００を用い、インクジェット方式による塗布工程を行う。ここでは、長尺状の各開口部１７の長辺が、インクジェットヘッド３０（ヘッド部３０１）の走査方向（行（Ｘ）方向）に対して直交している場合（いわゆる横打ちを行う場合）について説明する。
（ヘッド部と塗布対象基板の開口部との位置関係〈横打ち〉）
図７は有機ＥＬ表示パネルに係る製造工程における、塗布対象基板とヘッド部の位置関係（横打ち時）を示す図である。

図７に示す６００は塗布対象基板であり、塗布工程を経る前段階の状態の基板、すなわち、複数の開口部１７がピクセル単位に行列状に形成された隔壁層７が設けられた状態の基板を示すものである。ヘッド部３０１には、インクを吐出するノズル３０３０が列（Ｙ）方向に所定のノズルピッチＬ１で複数配置されている。この際、ヘッド部３０１の長手方向を列方向に対して若干傾斜させることでノズル３０３０の塗布ピッチを調節することができる。図７の例では、ヘッド部３０１を傾斜させなくとも、ノズル群ａ_１，ａ_２，ａ_３，ａ_４が開口部１７に対応するように、ノズルｂ_１，ｂ_２，ｂ_３が列方向に配列された開口部１７間（コンタクトホール５上）に対応するようなヘッド部３０１を使用している。図７においては、各ノズル群ａ_１，ａ_２，ａ_３，ａ_４に属するノズル３０３０は３個である。

塗布工程においては、ヘッド部３０１を行（Ｘ）方向に走査させながら、各開口部１７に対し、当該各開口部１７に対応するノズルからそれぞれ所望のインクの液滴を吐出させる。そして、上記の工程を経ることにより、正孔輸送層１０および有機発光層１１が形成される。このとき、吐出される液滴の体積の総量は、隣接する開口部１７間で均一にされる必要がある。

そこで、本実施の形態においては、各開口部１７に対し、ヘッド部３０１を複数回にわたって走査させることとしている。このとき、１走査毎に開口部１７のピッチＬ２に相当する距離だけ、ヘッド部３０１を列方向に移動させる。このヘッド部３０１の移動動作は、上記のヘッド走査部によって行われる。
（ヘッド部３０１の移動動作）
図８は、実施の形態１に係る開口部１７とヘッド部３０１の位置関係（横打ち時）を模式的に示す図である。図８を参照しながらヘッド走査部によるヘッド部３０１の移動動作について説明する。

図８において、各開口部１７およびコンタクトホール５と、各走査毎のヘッド部３０１との位置関係を対応させて示している。図８の上方には、塗布対象基板６００の一部を示しており、塗布対象基板６００は、有機ＥＬ表示パネル１００の表示部に相当する表示領域と、表示領域の列方向に存在し表示部に相当しないダミー領域を含む。開口部１７ａは表示領域内の開口部であり、開口部１７ｂはダミー領域内の開口部である。以下、（１），（２），（３）の符号を付した開口部１７ａ、および（１），（２）の符号を付したコンタクトホール５を、ぞれぞれ、開口部（１），開口部（２），開口部（３）およびコンタクトホール（１），コンタクトホール（２）と称する。また、ヘッド部３０１のノズル３０３０の上方の数字は、各ノズル３０３０を区別するために付した番号であり、以下、例えば「１」を付したノズル３０３０は「１番ノズル」と称する。

ここでは、各開口部に所定のインクからなる液滴を、例えば、１２滴ずつ吐出させる場合を例に挙げて説明する。
先ず、１走査目では、表示領域内に位置するノズルを１〜３番ノズルのみとし、この１〜３番ノズルから開口部（１）に液滴を１回吐出させる。
２走査目では、列（Ｙ）方向に配列された開口部１７のピッチＬ２に相当する距離だけ、ヘッド部３０１を列（Ｙ）方向に移動させる。言い換えれば、１走査目に開口部１７ａに用いられていたノズル群（１〜３番ノズルからなる）が、２走査目に開口部１７ａから列方向に１個目に隣接する開口部１７ａに用いられるように、ヘッド部３０１を移動させる。すなわち、所定回数目の走査時に一の開口部に用いられていたノズル群が、前記所定回数目の走査からさらにｎ回目の走査時に、前記一の開口部から列方向にｎ個目に隣接する開口部に用いられるように、ヘッド部３０１を移動させる。そして、１〜６番ノズルから開口部（１），（２）およびコンタクトホール（１）に対し液滴を１回ずつ吐出させる。

ここで、２走査目においては、コンタクトホール（１）上を通過するノズルは、当該コンタクトホール（１）に対しても液滴吐出を行う。これにより、上述したように、ノズルの目詰まりを防止することができる。２走査目に限らず、各走査において、コンタクトホール５上を通過する各ノズルからは、対応するコンタクトホールに対して液滴吐出が行われる。

続いて、１〜２走査目の同様のヘッド部３０１の移動動作を６走査目まで行うことにより、開口部（１），（２），（３）それぞれに対して１２回ずつ液滴が吐出される。
なお、特に図示していないが、ダミー領域に移動したノズル３０３０からは、ダミー領域に存在する開口部１７ｂに対して液滴を吐出させることとしている。このように、ダミー領域内におけるノズルについても液滴を吐出させ、不吐出期間が存在しないすることにより、当該ノズルが表示領域内に移動した際に、目詰まりによって吐出できないといった問題を防止することが可能である。

開口部（１）に対して液滴を吐出したノズルを見てみると、図８に示すように、１〜１２番ノズルから１回ずつであることが分かる。一方、開口部（２），（３）についても、１〜１２番ノズルから１回ずつ液滴が吐出されたことがわかる。すなわち、隣接する開口部（１），（２），（３）において、液滴吐出に関与したノズルは完全に一致している。したがって、各ノズルで吐出される液滴体積にバラツキがある場合であっても、隣接する開口部間でそのバラツキを相殺することができる。その結果、隣接する開口部間で液滴体積の総量を均一にすることが可能である。

（比較例との対比）
図１７は、比較例に係る開口部とヘッド部の位置関係（横打ち時）を示す図である。比較例では、本実施の形態と同様にヘッド部３０１を複数回にわたって走査させる。しかし、本実施の形態と異なり、１走査毎にヘッド部３０１を列（Ｙ）方向に移動させない。
図１７に示す比較例では、開口部（１）に対して液滴を吐出したノズルは１０〜１２番ノズルから３回ずつである。これに対し、開口部（２）に対して液滴を吐出したノズルは７〜９番ノズルから３回ずつであり、隣接する開口部（１），（２）において液滴吐出に関与したノズルは一致していない。したがって、比較例の構成では、吐出される液滴体積が各ノズルでばらついている場合には、隣接する開口部間で液滴体積の総量を均一にすることはできない。

比較例に対し、本実施の形態においては、隣接する開口部間で液滴吐出に関与するノズルを一致するため、隣接する開口部間で液滴体積の総量を均一にすることが可能である。
［まとめ］
有機ＥＬ表示パネルの場合、有機発光層１１の膜厚は約２０［ｎｍ］程度と非常に薄いため、微小な液滴の体積バラツキが発光輝度差となって表れ、表示品質に与える影響は大きくなる。表示パネルの高精細化に伴ってより高い表示品質が求められるので、各開口部間の液滴の体積バラツキはより一層抑制される必要がある。

本実施の形態によれば、１走査毎にヘッド部３０１を所定の距離分移動させるのみで、簡易に隣接する開口部間で液滴体積の総量を精度良く均一にすることが可能である。したがって、特許文献１のようにノズル毎に予め液滴体積を検出したり、ノズル毎に異なる波形の駆動電圧を生成するといった複雑な制御を行う必要がなく、有機ＥＬ表示パネルの大判化に伴うインクジェットヘッドのノズル数増大にも対応し得る。また、本実施の形態によれば簡易な制御で済むので、特許文献１のような制御を行うための回路基板は小規模のもので足り、その分、製造装置の簡素化および低コスト化を図ることが可能である。

さらに、仮に、各開口部に対し、１回の走査で複数回液滴を吐出させる場合には、液滴の高精度な着弾精度が要求される。特に、有機ＥＬ表示パネルを高精細化する場合は、開口部の面積がさらに縮小される結果、より一層高精度な着弾精度が要求されるが、これを実現するには高価な製造装置を準備しなくてはならない。しかしながら、本実施の形態では、複数回にわたってヘッド部を走査させるので、１走査当たりの液滴吐出回数は１回で済む。この場合、列（Ｙ）方向に配列された開口部１７の中心を結ぶ仮想線Ｉ１（図８）上に、液滴を吐出させることができる。よって、多少液滴の着弾位置がずれたとしても、ヘッド部３０１の走査方向（Ｘ方向）に隣接する開口部１７に誤って液滴が着弾することはないので、それほど高い着弾精度は必要ではない。言うまでもなく、着弾させるべき開口部に液滴が吐出されていれば、開口部におけるどの位置に液滴を吐出させた場合であっても、隣接する開口部間で液滴体積を均一にする効果が減殺されることはない。

また、図８に示すヘッド部３０１はノズル３０３０を１２個備えているが、上記の効果を得るにあたっては、ヘッド部３０１が備えるノズル３０３０の個数、すなわちヘッド部３０１の長さは特に限定されない。ヘッド部３０１の長さが塗布対象基板における表示領域の列方向に沿った長さよりも長い場合、短い場合のどちらの場合であっても、上記のようにヘッド部３０１を１走査毎に移動させることにより、表示領域内における各開口部への液滴吐出回数を同一とし、かつ、液滴吐出に関与するノズルを一致させることが可能である。

≪実施の形態１の変形例≫
図８において、開口部（１）から１走査目を開始することとしたが、１走査目をどこから開始することとしても、比較例（図１７）に対して、隣接する開口部間で液滴体積の総量を均一にする効果を得ることができる。
図９は、実施の形態１の変形例に係る開口部とヘッド部の位置関係（横打ち時）を模式的に示す図である。図８と相違する点は、１走査目で開口部（１）〜（３）に液滴が吐出される点である。１走査毎にヘッド部３０１を移動させる距離は図８と変わりはない。

本変形例の場合、開口部（１）に対して液滴を吐出するノズルは７〜１８番ノズル、開口部（２）に対して液滴を吐出するノズルは４〜１５番ノズル、開口部（３）に対して液滴を吐出するノズルは１〜１２番ノズルである。このように、隣接する開口部１７間で液滴吐出に関与するノズルは完全には一致しないものの、吐出に関与するノズルのうち４分の３のノズルは隣接する開口部１７間で一致する。したがって、比較例（図１７）の場合と比較して、隣接する開口部１７間で液滴体積を均一にすることが可能である。

さらに、本変形例においては、実施の形態１と比較して、１走査目において表示領域の開口部１７ａに対し液滴吐出を行うノズルの数が多い。したがって、実施の形態１よりも少ない走査回数で塗布対象基板に対してインクの塗布を行うことができ、塗布工程に要する時間を短縮することができる。
なお、図９においては、１走査目で開口部（１）〜（３）に液滴が吐出されることとしたが、これは単なる例示である。例えば、１走査目で開口部（１），（２）に液滴が吐出されることとしてもよい。

≪実施の形態２≫
実施の形態１では、１走査毎に開口部１７のピッチＬ２に相当する距離だけ、ヘッド部３０１を列方向に移動させることにより、隣接する開口部間で液滴吐出に関与するノズルを完全に一致させる実施例について説明した。
しかしながら、隣接する開口部間で液滴吐出に関与するノズルを完全に一致させなくとも、隣接する開口部間で液滴吐出に関与するノズルが一部でも重複していれば、比較例の場合よりも液滴体積の総量を均一にする効果を得ることができる。行列状に配列された複数の開口部１７を有する塗布対象基板（図７）に対し、行方向にヘッド部３０１を走査させる場合において、隣接する開口部１７間で液滴吐出に関与するノズルを重複させることが可能な、１走査毎のヘッド部３０１の移動量の範囲は、図７を用いて説明すると以下のように規定される。

すなわち、１走査毎のヘッド部３０１の移動量の最小距離は、ノズルピッチＬ１の整数倍に相当する距離であって、列方向に隣接する二の開口部１７Ａ，１７Ｂにおける向かい合う開口部の端部（近接する開口部の端部）１７ｃ，１７ｄ同士の距離Ｌ３以上である。また、１走査毎のヘッド部３０１の移動量の最大距離は、ノズルピッチＬ１の整数倍に相当する距離であって、二の開口部１７Ａ，１７Ｂの一端から他端までの距離Ｌ４（二の開口部１７Ａ，１７Ｂにおける遠隔する開口部の端部１７ｅ，１７ｆとの距離Ｌ４、または、二の開口部１７Ａ，１７Ｂを一まとめと見た場合の一端から他端までの距離Ｌ４）以下である。

本実施の形態では、１走査毎に上記の最小距離に相当する距離だけ、ヘッド部３０１を列方向に移動させる実施例について説明する。
図１０は、実施の形態２に係る開口部１７とヘッド部３０１の位置関係（横打ち時）を模式的に示す図である。なお、実施の形態１と同様に、各開口部には液滴を１２滴ずつ吐出させる場合を説明する。

先ず、１走査目では、９〜１１番ノズルから開口部（１）に対して、５〜７番ノズルから開口部（２）に対して、１〜３番ノズルから開口部（３）に対して液滴を１ずつ回吐出させる。
２走査目では、ノズルピッチＬ１（図７）の整数倍に相当する距離であって、列方向に隣接する二の開口部１７Ａ，１７Ｂにおける向かい合う開口部の端部１７ｃ，１７ｄ同士の距離Ｌ３（図７）以上、すなわちＬ５で示す距離（図１０）だけ、ヘッド部３０１を列（Ｙ）方向に移動させる。そして、１１〜１３番ノズルから開口部（１）に対して、７〜９番ノズルから開口部（２）に対して、３〜５番ノズルから開口部（３）に対して液滴を１ずつ回吐出させる。

同様の動作を４走査目まで行うことにより、開口部（１），（２），（３）それぞれに対して１２回ずつ液滴が吐出される。開口部（１），（２），（３）それぞれに対して液滴を吐出したノズルを見てみると、開口部（１），（２）間については、１１番ノズルが２回、９番ノズル，１０番ノズル，１２番ノズル，１３番ノズルがそれぞれ１回ずつ、開口部（２），（３）間については、７番ノズルが２回、５番ノズル，６番ノズル，８番ノズル，９番ノズルがそれぞれ１回ずつ、重複している。すなわち、隣接する開口部１７間で、半数のノズルが重複していることになる。よって、このような構成によっても、比較例（図１７）に比べて、隣接する開口部間で液滴体積の総量を均一にすることができる。

≪実施の形態３≫
本実施の形態では、１走査毎に上記の最大距離に相当する距離だけ、ヘッド部３０１を列方向に移動させる実施例について説明する。
図１１は、実施の形態３に係る開口部１７とヘッド部３０１の位置関係（横打ち時）を模式的に示す図である。なお、実施の形態１と同様に、各開口部には液滴を１２滴ずつ吐出させる場合を説明する。

先ず、１走査目では、９〜１１番ノズルから開口部（１）に対して、５〜７番ノズルから開口部（２）に対して、１〜３番ノズルから開口部（３）に対して液滴を１ずつ回吐出させる。
２走査目では、ノズルピッチＬ１（図７）の整数倍に相当する距離であって、二の開口部１７Ａ，１７Ｂの一端から他端までの距離Ｌ４（図７）以下、すなわちＬ６で示す距離（図１１）だけ、ヘッド部３０１を列（Ｙ）方向に移動させる。そして、１５〜１７番ノズルから開口部（１）に対して、１１〜１３番ノズルから開口部（２）に対して、７〜９番ノズルから開口部（３）に対して液滴を１ずつ回吐出させる。

同様の動作を４走査目まで行うことにより、開口部（１），（２），（３）それぞれに対して１２回ずつ液滴が吐出される。開口部（１），（２），（３）それぞれに対して液滴を吐出したノズルを見てみると、開口部（１），（２）間については、１１番ノズル，１７番ノズル，２３番ノズルが、開口部（２），（３）間については、７番ノズル，１３番ノズル，１９番ノズルがそれぞれ１回ずつ、重複している。すなわち、隣接する開口部１７間で、４分の１のノズルが重複していることになる。よって、このような構成によっても、比較例（図１７）に比べて、隣接する開口部間で液滴体積の総量を均一にすることができる。

以上、実施の形態１〜３について説明したが、本発明はこれらの実施の形態に限られない。例えば、以下のような変形例等が考えられる。
［変形例］
（１）上記の実施の形態では、コンタクトホール５が隔壁層７により覆われた構成となっていたが、本発明はこれに限られない。例えば、図１２に示す塗布対象基板６００Ａのように、コンタクトホール５が隔壁層７により覆われておらず、開口部１７の下部に存在するような構成であってもよい。図１２では、一例として、実施の形態１のようにヘッド部３０１の１走査毎の移動量が、列（Ｙ）方向に配列された開口部１７のピッチＬ２である例について示している。コンタクトホール５が隔壁層７で覆われていない構成であっても、隣接する開口部１７間で液滴吐出に関与するノズルを完全に一致させることが可能である。

なお、隣接する開口部１７間で液滴吐出を行うノズルを重複させるために必要な、１走査毎のヘッド部３０１の移動距離の範囲は、コンタクトホール５が隔壁層７で覆われているか否かに関わらず、実施の形態２で述べた定義と変わりはない。
（２）実施の形態２（図１０）において、１走査毎にヘッド部３０１を距離Ｌ５（最小の移動量）ずつ移動させる例について説明した。図７に示す塗布対象基板のように、列方向に配列された開口部１７の間にコンタクトホール５（窪み部）があり、かつ、そのコンタクトホール５がノズルピッチＬ１の整数倍に相当する距離の間隔で形成されている場合には、図１０における距離Ｌ５は、ノズルピッチＬ１（図７）の２倍に相当する距離と表現することもできる。

（３）上記の実施の形態２においては（図１０）、塗布対象基板の列方向の長さよりも長いヘッド部３０１を用いる例を示した。ここで、塗布対象基板の列方向の長さよりも短いヘッド部３０１を使用することにより、実施の形態１のように、隣接する開口部間で液滴吐出に関与するノズルを完全に一致させる構成を採ることも可能である。ここでは、実施の形態２の変形例について説明する。

図１３は、実施の形態２の変形例に係る開口部とヘッド部の位置関係（横打ち時）を模式的に示す図である。なお、各開口部には液滴を１２滴ずつ吐出させることとし、ヘッド部３０１の長さは、表示領域の列方向に沿った長さよりも短いこととする。また、各ノズル３０３０について、液滴を吐出させるノズルは実線で、液滴を吐出させないノズル（不吐出ノズル）を点線で示している。つまり、図１３においては、１〜８番ノズルのみから液滴が吐出され、それ以外のノズルからは液滴が吐出されないように設定されていることになる。

先ず、１走査目では、表示領域内に位置するノズルを１，２番ノズルの２個のみとし、この１，２番ノズルから開口部（１）に液滴を１ずつ回吐出させる。そして、２走査目では、列（Ｙ）方向に配列された開口部１７のピッチＬ２の２倍に相当する距離（Ｌ１×２）だけ、ヘッド部３０１を列（Ｙ）方向に移動させるとともに、１〜４番ノズルから開口部（１），（２）およびコンタクトホール（１）に対し液滴を１回ずつ吐出させる。

同様の動作を９走査目まで行うことにより、開口部（１），（２），（３）それぞれに対して１２回ずつ液滴が吐出される。図１３に示すように、液滴吐出に関与したノズルを見ると、開口部（１），（２），（３）において完全に一致していることが分かる。
なお、本変形例において、表示領域内における各開口部への液滴吐出回数を同一とし、かつ、上記のように隣接する開口部間で液滴吐出に関与するノズルを完全に一致させるためには、１走査目で表示領域内に位置するノズルを１番，２番ノズルの２個のみとしている必要がある。言い換えると、１走査目で表示領域内に配置するノズルの個数は、１走査毎にヘッド部３０１がノズルピッチの何個分移動させるかによって決まる。例えば、本変形例のように、ヘッド部３０１をノズルピッチの２個分移動させる場合は、１走査目で表示領域内に配置するノズルの個数は２個である。

（４）図７に示す塗布対象基板のように、列方向に配列された開口部１７の間にコンタクトホール５（窪み部）があり、かつ、そのコンタクトホール５がノズルピッチＬ１の整数倍に相当する距離の間隔で形成されている場合には、１走査毎にヘッド部３０１をノズルピッチＬ１に相当する距離だけ移動させることとしても、隣接する開口部間で液滴吐出に関与するノズルを一致させることができる。

図１４は、変形例（４）に係る開口部１７とヘッド部３０１の位置関係（横打ち時）を模式的に示す図である。なお、各開口部には液滴を１２滴ずつ吐出させることとし、ヘッド部３０１の長さは、表示領域の列方向に沿った長さよりも短いこととする。また、図１４においては、１〜４番ノズルのみから液滴が吐出され、それ以外のノズルからは液滴が吐出されないように設定されている。

先ず、１走査目では、表示領域内に位置するノズルを１番ノズルのみとし、この１番ノズルから開口部（１）に液滴を１回吐出させる。変形例（３）で説明したように、隣接する開口部１７間で液滴吐出に関与するノズルを一致させるため、１走査目で表示領域内に位置するノズルを１個としている。
そして、２走査目では、ノズルピッチＬ１に相当する距離だけ、ヘッド部３０１を列（Ｙ）方向に移動させるとともに、１，２番ノズルから開口部（１）に液滴を１回ずつ吐出させる。同様の動作を３走査目，４走査目でも行う。なお、４走査目において、コンタクトホール（１）上を通過する１番ノズルは、当該コンタクトホール（１）に対しても液滴吐出を行う。

続いて、１〜４走査目の同様のヘッド部３０１の移動動作を１０走査目まで行うことにより、開口部（１），（２）それぞれに対して１２回ずつ液滴が吐出される。このような走査の結果、図１４に示すように、各開口部に対して液滴を吐出したノズルを見てみると、開口部（１），（２）いずれについても１〜４番ノズルから３回ずつであることが分かる。したがって、液滴吐出に関与したノズルは完全に一致する。

（５）上記の実施の形態では、いわゆる横打ちを行う場合を例に挙げて説明したが、本発明はこれに限定されない。図１５に示すように、長尺状の各開口部１７の長辺が、ヘッド部３０１の走査方向（行（Ｘ）方向）と一致している場合、いわゆる縦打ちの場合であっても適用することが可能である。この場合、開口部１７は行（Ｘ）方向に長辺を有する長尺状である。

図１５では、各走査において１〜１２番ノズルから１回ずつ液滴を吐出させることにより、各開口部１７に対し１２回ずつ液滴が吐出される例を示している。これ以外でも、１〜６番ノズルから２回ずつ液滴を吐出させることとしてもよい。このようにすることで、塗布工程に要する時間を短縮することが可能である。
また、本変形例では、長尺状の長辺方向に沿ってヘッド部３０１を走査させる。したがって、１回の走査で複数回液滴を吐出させる場合であっても、液滴の着弾位置のずれによって、ヘッド部３０１の走査方向（開口部１７の長辺方向）に隣接する開口部１７に誤って液滴が着弾することはない。なお、図１５においては、一の開口部１７に対応するノズル数は１個であるが、個数は特に限定されない。

（６）上記の実施の形態では、主に、塗布対象基板の表示領域における、ヘッド部の走査方向に直交する方向に沿った長さよりも短いヘッド部を用いて塗布工程を行う場合について説明した。本発明はこれに限定されず、表示領域の長さよりも長いヘッド部を用いた場合であっても、上記と同様の効果を得ることが可能である。
図１６は、本変形例に係る開口部とヘッド部の位置関係（横打ち時）を模式的に示す図である。図１６では、ヘッド部３０１の長さが表示領域よりも長く、かつ、１走査毎のヘッド部３０１の移動距離が、列（Ｙ）方向に配列された開口部１７のピッチＬ２（図７）に相当する距離である例を示している。また、本変形例では、ヘッド部３０１を４回にわたって走査させ、各開口部１７には液滴を１２滴ずつ吐出させることとしている。

本変形例の場合、開口部（１）に対して液滴を吐出するノズルは７〜１８番ノズル、開口部（２）に対して液滴を吐出するノズルは４〜１５番ノズル、開口部（３）に対して液滴を吐出するノズルは１〜１２番ノズルである。ヘッド部３０１の長さが表示領域よりも長い場合、隣接する開口部１７間で液滴吐出に関与するノズルは完全には一致しないものの、吐出に関与するノズルのうち４分の３のノズルは隣接する開口部１７間で一致する。したがって、比較例（図１７）の場合と比較して、隣接する開口部１７間で液滴体積を均一にすることが可能である。

また、本変形例の場合に必要なダミー領域の列（Ｙ）方向に沿った長さは、少なくとも列（Ｙ）方向に配列された開口部１７のピッチＬ２の３個分に相当する距離以上である。すなわち、１走査毎のヘッド部の移動距離に対し、走査回数（本変形例では４回）から１を減じた数値（本変形例では３）を乗じたものに相当する距離以上である。
さらに、図１６において、右側のダミー領域に存在する開口部（Ａ），（Ｂ），（Ｃ）に吐出される液滴は、それぞれ、９滴，６滴，３滴である。すなわち、ダミー領域に存在する開口部に形成される有機層は、ヘッド部３０１の走査方向と直交する方向である列（Ｙ）方向に膜厚が異なることになる。これは、ヘッド部３０１の長さに関わらず、他の実施の形態においても同様である。

（７）隣接する開口部間で液滴体積を均一にするためであれば、１走査毎にヘッド部を移動させる距離は、ノズルピッチＬ１の整数倍に相当する距離であって、列方向に配列された開口部のピッチＬ２（図７）に相当する距離以下であればよく、上記の実施の形態におけるものに限定されない。仮に、１走査毎にヘッド部を移動させる距離を、列（Ｙ）方向に配列された開口部のピッチＬ２に相当する距離以上とした場合、隣接する開口部間で液滴体積を均一にすることはできない。しかしながら、この場合でも、塗布対象基板全体における各開口部間で液滴体積を均一にすることは可能である。

（８）図１には図示していないが、対向電極１４の上方には、各有機発光層１１の位置に合わせて、各々の色に対応するカラーフィルターが配設されている。カラーフィルターは、Ｒ，Ｇ，Ｂに対応する波長の可視光を透過させるために設けられる透明層である。
カラーフィルターは、具体的には、複数の開口部をピクセル単位に行列状に形成した隔壁層が設けられたカラーフィルター形成用の基板に対し、カラーフィルター材料および溶媒を含有したインクを塗布する工程により形成される。本発明は、このカラーフィルターを形成する際の塗布工程にも適用することが可能である。

より詳しくは、先ず、上記のカラーフィルター用インクの液滴を吐出するノズルを、列方向に所定のノズルピッチで複数配置したヘッド部を用意する。次に、カラーフィルター形成用の基板に対して、ヘッド部を行方向に走査させるとともに、各開口部に対し、当該各開口部に対応するノズルからそれぞれ液滴を吐出させる。このとき、各開口部に対しヘッド部を複数回にわたって走査させるとともに、１走査毎にノズルピッチの整数倍に相当する距離であって、列方向に配列された開口部のピッチに相当する距離以下だけ、ヘッド部を列方向に移動させる。このようにすることで、上記の実施の形態および変形例で述べた効果を、カラーフィルター形成工程においても得ることができる。

なお、カラーフィルター材料としては、例えば、ＪＳＲ株式会社製のカラーレジスト等を用いることができる。
（９）「開口部の形状が長尺状である」とは、開口部が長辺と短辺を有する形状であることを指し、必ずしも矩形状である必要はない。例えば、正方形、円形、楕円形等の形状とすることとしてもよい。

（１０）図１において、基板１上にＴＦＴ層２〜対向電極１４の各層が積層形成されてなる構成を示した。本発明においては、各層のうちの何れかの層を欠いている、もしくは、例えば透明導電層などの他の層をさらに含む構成とすることもできる。
（１１）図３（ｅ）において、正孔輸送層用インクからなる液滴１９を窪み部８に対しては吐出しない構成を示した。本発明では、正孔輸送層用インクからなる液滴１９をさらに窪み部８にも吐出し、正孔輸送層と同一材料から成る有機層を形成することとしてもよい。このようにすることで、正孔輸送層用インクから蒸発する溶媒の蒸気濃度の均一化が図られ、均一な膜厚で正孔輸送層１０形成することができる。一方、図４（ｂ）において、有機発光層用インクからなる液滴１８を窪み部８に吐出しないこととしてもよい。

（１２）本発明において、コンタクトホールに追従して形成される窪み部は必須の構成要件ではなく、例えば、隔壁層上の窪み部に相当する部分を、隔壁層を構成する材料と同一の材料で埋めた構成であってもよい。
また、上記の実施の形態においては、隔壁層を設ける際に自然形成される窪みを窪み部として利用したが、本発明はこれに限定されない。隔壁層の形状を調整することで窪み部を別途形成することとしてもよい。

（１３）上記実施の形態において、リニアモーター部２０４，２０５、サーボモーター部２２１はそれぞれガントリー部２１０、移動体２２０の移動手段の例示にすぎず、これらの利用は必須ではない。例えば、タイミングベルト機構やボールネジ機構を利用することにより、ガントリー部または移動体の少なくともいずれかを移動させることしてもよい。

（１４）上記の実施の形態においては、１走査当たりの各ノズルからの液滴の吐出回数を１回としていたが、この回数は特に限定されない。１走査当たりの液滴の吐出回数を増やす程、より高い着弾精度が要求されるものの、塗布工程に要する時間の短縮を図ることが可能である。
（１５）上記の実施の形態においては、塗布対象基板において表示領域およびダミー領域となる範囲を予め決めておき、それに合わせて１走査目におけるヘッド部の位置を決めることとしたが、本発明はこれに限定されない。ヘッド部を上記の実施の形態と同様の方法で移動動作させた結果、液滴吐出回数が同一であり、かつ、隣接する開口部間で液滴吐出に関与するノズルが少しでも重複している領域を表示領域とすることとしてもよい。

（１６）上記の実施形態においては、塗布対象基板に対してヘッド部側を走査させる方法を示したが、本発明はこれに限定されない。ノズルが複数配列されたヘッド部に対して塗布対象基板側を動かすこととしてもよい。
（１７）上記の有機ＥＬ表示パネルの製造方法において、塗布対象基板を１枚準備する毎に、インクジェットヘッドを１基準備する必要はない。例えば、１０枚毎のように、塗布対象基板を複数枚準備する毎に、インクジェットヘッドを１基準備することとしてもよい。

（１８）本発明において、ヘッド部の長さは特に限定されないが、可能な限り長いヘッド部を用いた方が、塗布工程に要する時間を短縮することが可能である。

本発明の有機ＥＬ表示パネルの製造方等は、例えば、家庭用もしくは公共施設、あるいは業務用の各種表示装置、テレビジョン装置、携帯型電子機器用ディスプレイ等として用いられる有機ＥＬ表示パネルの製造方等に好適に利用可能である。

１ 基板
２ ＴＦＴ層
３ 給電電極
４ 平坦化膜
５ コンタクトホール
６ 下部電極
７ バンク
８ 窪み部
９ 正孔注入層
１０ 正孔輸送層
１１ 有機発光層
１２ 電子輸送層
１３ 電子注入層
１４ 上部電極
１６ 有機発光層材料を含む有機層
１７ 開口部
１７ａ 表示領域の開口部
１７ｂ ダミー領域の開口部
１７ｃ、１７ｄ、１７ｅ、１７ｆ 開口部の端部
１８ 有機発光層用インクからなる液滴
１９ 正孔輸送層用インクからなる液滴
２０ インクジェットテーブル
３０ インクジェットヘッド
１００ 有機ＥＬ表示パネル
１５０ ＣＰＵ
１５１ 記憶手段
１５２ 入力手段
２００ 基台
２０１Ａ、２０１Ｂ、２０２Ａ、２０２Ｂ スタンド
２０３Ａ，２０３Ｂ ガイドシャフト
２０４、２０５ リニアモーター部
２１０ ガントリー部
２１１ ガイド溝
２１３ 制御部
２２０ 移動体
２２１ サーボモーター部
３００ 吐出制御部
３０１ ヘッド部
３０２ 本体部
３０４ サーボモーター部
６００、６００Ａ 塗布対象基板
１０００ インクジェット装置
３０１０ ピエゾ素子
３０３０ ノズル
ＩＰ インクパン
ＳＴ 固定ステージ

Claims (16)

1. 複数の開口部をピクセル単位に行列状に形成した隔壁層を設けたＥＬ基板と、有機材料および溶媒を含有したインクの液滴を吐出するノズルを列方向に所定のノズルピッチで複数配置したインクジェットヘッドとを準備する第１工程と、
   前記ＥＬ基板に対し前記インクジェットヘッドを行方向に走査させながら、前記各開口部に対し、当該各開口部に対応するノズルからそれぞれ液滴を吐出させる第２工程を含み、
   前記第２工程において、
   前記各開口部に対し前記インクジェットヘッドを複数回にわたって走査させるとともに、１走査毎に、前記ノズルピッチの整数倍に相当する距離であって、列方向に隣接する二の開口部における向かい合う開口部の端部同士の距離以上、前記二の開口部の一端から他端までの距離以下だけ前記インクジェットヘッドを列方向に移動させる、
   有機ＥＬ表示パネルの製造方法。
2. 前記第２工程において、
   前記インクジェットヘッドを、１走査毎に前記開口部のピッチに相当する距離だけ列方向に移動させる、
   請求項１に記載の有機ＥＬ表示パネルの製造方法。
3. 前記第２工程において、
   所定回数目の走査時に一の開口部に用いられていた各ノズルが、前記所定回数目の走査からさらにｎ回目の走査時に、前記一の開口部から列方向にｎ個目に隣接する開口部に用いられるように、前記インクジェットヘッドを移動させる、
   請求項１に記載の有機ＥＬ表示パネルの製造方法。
4. 前記隔壁層に形成された前記各開口部は、前記有機ＥＬ表示パネルの表示部に相当する表示領域と、当該表示領域の少なくとも列方向に存在し前記表示部に相当しないダミー領域を含み、
   前記第２工程において、
   前記ダミー領域の各開口部に対応するノズルからは、当該ダミー領域の各開口部に対して液滴を吐出させる、
   請求項１に記載の有機ＥＬ表示パネルの製造方法。
5. 前記第２工程において、
   前記各開口部における、列方向に配列された開口部の中心を結ぶ仮想線上に液滴が吐出される、
   請求項１に記載の有機ＥＬ表示パネルの製造方法。
6. 前記有機材料は、有機発光層を形成するために用いられる材料である、
   請求項１に記載の有機ＥＬ表示パネルの製造方法。
7. 前記有機材料は、正孔輸送層を形成するために用いられる材料である、
   請求項１に記載の有機ＥＬ表示パネルの製造方法。
8. 前記第２工程において、
   列方向に配列された各開口部の間に対応するノズルからは液滴を吐出させない、
   請求項１に記載の有機ＥＬ表示パネルの製造方法。
9. 前記各開口部の形状は、列方向に長辺を有する長尺状である、
   請求項１に記載の有機ＥＬ表示パネルの製造方法。
10. 前記各開口部の形状は、行方向に長辺を有する長尺状である、
    請求項１に記載の有機ＥＬ表示パネルの製造方法。
11. 前記各開口部は１サブピクセルとして１の発光色が定められており、
    同一列に属する開口部には、同一発光色の前記有機材料を含有したインクの液滴が吐出される、
    請求項９に記載の有機ＥＬ表示パネルの製造方法。
12. 複数の開口部をピクセル単位に行列状に形成した隔壁層を設けたＥＬ基板と、有機材料および溶媒を含有したインクの液滴を吐出するノズルを列方向に所定のノズルピッチで複数配置したインクジェットヘッドとを準備する第１工程と、
    前記ＥＬ基板に対し前記インクジェットヘッドを行方向に走査させながら、前記各開口部に対し、当該各開口部に対応するノズルからそれぞれ液滴を吐出させる第２工程を含み、
    前記第２工程において、
    前記各開口部に対し前記インクジェットヘッドを複数回にわたって走査させるとともに、１走査毎に、前記ノズルピッチの整数倍に相当する距離であって、列方向に隣接する二の開口部の一端から他端までの距離以下だけ、前記インクジェットヘッドを列方向に移動させる、
    有機ＥＬ表示パネルの製造方法。
13. 複数の開口部をピクセル単位に行列状に形成した隔壁層を設けたＥＬ基板と、カラーフィルター材料および溶媒を含有したインクの液滴を吐出するノズルを列方向に所定のノズルピッチで複数配置したインクジェットヘッドとを準備する第１工程と、
    前記ＥＬ基板に対し前記インクジェットヘッドを行方向に走査させながら、前記各開口部に対し、当該各開口部に対応するノズルからそれぞれ液滴を吐出させる第２工程を含み、
    前記第２工程において、
    前記各開口部に対し前記インクジェットヘッドを複数回にわたって走査させるとともに、１走査毎に、前記ノズルピッチの整数倍に相当する距離であって、列方向に隣接する二の開口部における向かい合う開口部の端部同士の距離以上、前記二の開口部の一端から他端までの距離以下だけ前記インクジェットヘッドを列方向に移動させる、
    カラーフィルターの製造方法。
14. 有機材料および溶媒を含有したインクの液滴を吐出するノズルを列方向に所定のノズルピッチで複数配置したインクジェットヘッドと、
    複数の開口部をピクセル単位に行列状に形成した隔壁層が設けられたＥＬ基板に対し、前記インクジェットヘッドを行方向に走査させるヘッド走査部と、
    前記各開口部に対し、当該各開口部に対応するノズルからそれぞれ液滴吐出を行わせる吐出制御部と、を備え、
    前記ヘッド走査部は、
    前記各開口部に対し前記インクジェットヘッドを複数回にわたって走査させるとともに、１走査毎に、前記ノズルピッチの整数倍に相当する距離であって、列方向に隣接する二の開口部における向かい合う開口部の端部同士の距離以上、前記二の開口部の一端から他端までの距離以下だけ前記インクジェットヘッドを列方向に移動させる、
    有機ＥＬ表示パネルの製造装置。
15. 表示部が形成される表示領域と表示部が形成されないダミー領域とを有するＥＬ基板と、
    前記ＥＬ基板の上方においてピクセル単位に行列状に設けられた画素電極と、
    前記ＥＬ基板の上方に設けられ、前記複数の画素電極に対応する複数の開口部が形成された隔壁層と、
    前記表示領域の上方に存在する前記各開口部に形成された有機発光層と、
    前記ダミー領域の上方に存在する前記各開口部に形成され、前記有機発光層を構成する材料を含む有機層と、
    前記有機発光層を挟んで前記画素電極と対向して設けられた対向電極と、を備え、
    前記有機層は、行方向または列方向に膜厚が異なる、
    有機ＥＬ表示パネル。
16. 表示部が形成される表示領域と表示部が形成されないダミー領域とを有するＥＬ基板と、
    前記ＥＬ基板の上方においてピクセル単位に行列状に設けられた画素電極と、
    前記ＥＬ基板の上方に設けられ、前記複数の画素電極に対応する複数の開口部が形成された隔壁層と、
    前記表示領域の上方に存在する前記各開口部に形成された有機発光層と、
    前記ダミー領域の上方に存在する前記各開口部に形成され、前記有機発光層を構成する材料を含む有機層と、
    前記有機発光層を挟んで前記画素電極と対向して設けられた対向電極と、を備え、
    前記有機発光層は、
    有機発光層を構成する有機材料および溶媒を含有したインクの液滴を吐出するノズルを列方向に所定のノズルピッチで複数配置したインクジェットヘッドを、前記ＥＬ基板に対して行方向に走査させながら、前記各開口部に対し、当該各開口部に対応するノズルからそれぞれ液滴を吐出させ、かつ、
    前記各開口部に対し前記インクジェットヘッドを複数回にわたって走査させるとともに、１走査毎に、前記ノズルピッチの整数倍に相当する距離であって、列方向に隣接する二の開口部における向かい合う開口部の端部同士の距離以上、前記二の開口部の一端から他端までの距離以下だけ前記インクジェットヘッドを列方向に移動させることにより形成され、
    前記有機層は、前記ダミー領域に移動したノズルから、前記ダミー領域に存在する各開口部に対して液滴を吐出させて形成されることにより、列方向に膜厚が異なる、
    有機ＥＬ表示パネル。

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