CN102683144B - 狭缝电极和具有该狭缝电极的带电粒子束发生装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供狭缝电极和具有该狭缝电极的带电粒子束发生装置，当带电粒子束发生装置运转时，使狭缝状开口部的形状难以产生热变形。狭缝电极(1)包括：电极框体(2)，具有开口部(3)；以及多个电极单元(U)，能装拆地安装在电极框体(2)上。各电极单元(U)包括：多根电极棒(5)，并列设置在开口部(3)内；以及一组电极棒支承构件(6)，隔着开口部(3)支承各电极棒(5)的长度方向的端部。

Description

狭缝电极和具有该狭缝电极的带电粒子束发生装置
技术领域
本发明涉及狭缝电极和具有该狭缝电极的带电粒子束发生装置，所述狭缝电极应用于离子束照射装置的离子源和电子束照射装置的电子源之类的带电粒子束发生装置。
背景技术
以往，利用具有多个狭缝状开口部的狭缝电极作为引出电极系统，所述引出电极系统从离子束照射装置的离子源引出离子束。这种狭缝电极能够防止开口部形状因离子源运转时的热量而产生变形。专利文献1(日本专利公开公报特公平7-34358号(图2、图3))公开了这种狭缝电极的具体例子。
专利文献1公开的电极包括：电极框体，具有开口部；以及多根电极棒，大致等间隔地并列设置于该电极框体的开口部内。在各电极棒之间形成有狭缝状开口部。另外，各电极棒的端部不固定，并且各电极棒以能沿其长度方向移动的状态支承在电极框体上，以允许各电极棒的长度方向的热伸缩。
此外，专利文献2(日本专利公开公报特开平8-148106号(图2、图4～图6)也公开了与专利文献1相同的电极结构。其公开的狭缝电极中，矩形的电极支承框上设有多个穿杆孔，当这些孔中插入多根杆时，穿杆孔的终端部和杆长度方向的端部之间形成余量部(间隙)。所述狭缝电极的各杆之间形成有狭缝状开口部。
在离子源或电子源的引出电极系统采用专利文献1或专利文献2所述的狭缝电极时，离子束或电子束会冲击形成狭缝状开口部的电极棒或杆，使电极棒或杆被加热到高温。另一方面，尽管支承电极棒的构件没有被加热到电极棒那样的高温，但也在离子源或电子源运转时被加热到一定高的温度。
因此，电极棒的支承构件也因热量而产生伸缩。尽管专利文献1和专利文献2中公开了允许电极棒或杆热伸缩的结构，却没有公开如何处理电极框体或电极支承框的热伸缩，所述电极框体和电极支承框是支承电极棒或杆的支承构件。
如果电极棒的支承构件发生热变形，则狭缝状开口部的形状也会相应发生变形。伴随这种形状变化，狭缝状开口部的位置产生偏移。而且，这种狭缝状开口部的变形和位置偏移，随着狭缝电极的尺寸加大而逐渐增大。因此，专利文献1和专利文献2所公开的狭缝电极结构不能充分抑制电极的热应变，当电极棒的支承构件产生热变形时，不能引出需要的离子束或电子束。
发明内容
本发明的目的在于提供狭缝电极和具有该狭缝电极的带电粒子束发生装置，当带电粒子束发生装置运转时，使狭缝状开口部的形状难以产生热变形。
本发明的狭缝电极包括：电极框体，具有开口部；以及多个电极单元，能装拆地安装在所述电极框体上，所述狭缝电极的特征在于，各电极单元包括：多根电极棒，并列设置在所述开口部内；以及一组电极棒支承构件，隔着所述开口部支承各电极棒的长度方向的端部，所述电极单元配置成在各电极单元之间以及各电极单元和所述电极框体之间具有间隙。
如上所述，由于设置多组用于支承电极棒的电极棒支承构件，并将所述电极棒和所述电极棒支承构件作为电极单元安装在电极框体上，所以与现有的结构相比，可以减小狭缝状开口部的热变形量。
按照上述配置，能够在一定程度上允许电极单元的热伸缩。
而且，优选的是，所述电极单元还包括盖体，所述盖体能装拆地安装在所述电极棒支承构件上，并且所述盖体覆盖所述电极棒长度方向的端部的上表面。
按照上述结构，仅取下盖体即可以更换电极棒。因此，当仅需更换电极棒时，由于不需要将电极单元一起更换，所以能够节约更换构件时的构件费用。
此外，本发明的带电粒子束发生装置的特征在于，带电粒子束引出用的电极包括上述的狭缝电极。
按照本发明，由于设置多组用于支承电极棒的电极棒支承构件，并将所述电极棒和所述电极棒支承构件作为电极单元安装在电极框体上，所以与现有的结构相比，能够减小狭缝状开口部的热变形量。
附图说明
图1表示本发明狭缝电极的一例，(A)为平面图，(B)为沿(A)记载的A-A线的断面图。
图2是表示在电极框体上安装构成图1所示狭缝电极的多个电极单元的状态的立体图。
图3表示本发明狭缝电极的另一例，(A)为平面图，(B)为沿(A)记载的B-B线的断面图。
图4表示从图3的狭缝电极上拆除了盖体时的状态，(A)为平面图，(B)为沿(A)记载的C-C线的断面图。
图5是表示在电极框体上安装构成图3所示狭缝电极的多个电极单元的状态的立体图。
图6是表示本发明狭缝电极所使用的电极框体的变形例的立体图。
附图标记说明
1···狭缝电极
2···电极框体
3···开口部
4···狭缝状开口部
5···电极棒
6···电极棒支承构件
7···支承部
8···螺钉
10···盖体
U···电极单元
具体实施方式
在以下的实施方式中，各图中表示的X、Y、Z各轴垂直相交。
图1中表示了本发明狭缝电极1的一例。如图1的(A)的平面图所示，所述狭缝电极1主要包括：电极框体2，具有开口部3；以及多根电极棒5(图1的(A)中绘有阴影线的构件)，配置在开口部3内。
各电极棒5以其长度方向沿X方向的方式被支承在电极棒支承构件6上，所述电极棒支承构件6安装在电极框体2上，并且各电极棒5沿Y方向以大致相等间隔并列设置在开口部3内。
在沿Y方向并列设置于开口部3内的各电极棒5之间，以及位于Y方向端部的各电极棒5和电极框体2之间，形成有狭缝状开口部4。
图1的(B)中表示了沿图1的(A)记载的A-A线的断面的状态。电极棒支承构件6以沿X方向隔着开口部3的方式，通过螺钉8被安装在电极框体2上，所述电极棒支承构件6具有支承部7，该支承部7用于支承电极棒5长度方向的端部。而且，电极棒5以在其长度方向上能移动的方式支承于支承部7内，按照这种结构，与以往相同，能够允许电极棒5的热伸缩。
沿Y方向设置多组电极棒支承构件6，每组电极棒支承构件6都在X方向隔着开口部3而配置。并且，隔着开口部3配置的一组电极棒支承构件6和支承在电极棒支承构件6的支承部7上的多根电极棒5组合在一起，作为电极单元U安装在电极框体2上。图2表示了上述状态。
如图2所示，各电极单元U(此处为三个单元)沿图示箭头的方向被搬送到电极框体2内，并安装在电极框体2上。如上所述，利用螺钉8进行所述安装。具体而言，在构成电极单元U的电极棒支承构件6的未图示的通孔中插入螺钉8，并使螺钉8与电极框体2上形成的螺钉孔9螺纹连接。而在更换构件时，可以通过拧松所述螺钉8，将电极单元U从电极框体2上取下。
如图1的(A)所示，优选在XY平面中，各电极单元U之间以及各电极单元U和电极框体2之间设置有一定间隙。利用所述间隙，可以防止由电极框体2和电极单元U的热伸缩而引起的构件相互间的干扰。另外，当构成电极单元U的电极棒支承构件6的形状为长方形时，在短边方向(图1中的X方向)上产生的热伸缩小于长度方向(图1中的Y方向)的热伸缩。如果所述短边方向上的热伸缩小到可以忽略，则也可以仅在各电极单元U的长度方向形成所述间隙。
采用将电极单元U安装在电极框体2上的结构，在构件的更换作业方面也存在优势。专利文献1和专利文献2的结构中，需要一根一根更换电极棒或杆。此外，专利文献1的另一结构中，需要分割电极框体以取下电极棒。而采用本发明的结构可以更换单个电极单元U。因此，可以在短时间内一次更换多根电极棒，并且更换作业更为简单。
图3表示了本发明狭缝电极1的另一例。图3的(A)为平面图，图3的(B)表示了沿图3的(A)记载的B-B线的断面的状态。所述例示中，盖体10安装在电极棒支承构件6上，并且所述盖体10配置成覆盖电极棒5长度方向的端部上表面。这一点与图1的例示不同。以下详细说明所述不同点，对与图1的例示相同的组成部分，省略了说明。
如图3的(B)所示，该例子中，在电极棒支承构件6的位于开口部3一侧的上表面端部上形成有凹部12，通过安装在电极棒支承构件6上的盖体10覆盖该凹部12的上方，从而形成支承部7。如图3的(A)和图3的(B)所示，与图1的例示相同，利用螺钉8把电极棒支承构件6安装在电极框体2上。另一方面，利用螺钉8把盖体10安装在电极棒支承构件6上，盖体10并不直接安装在电极框体2上。因此，可以在电极棒支承构件6安装于电极框体2的状态下，仅取下盖体10。
图4中表示了从图3所示的狭缝电极1取下盖体10时的状态。图4的(A)为平面图，图4的(B)为沿图4的(A)记载的C-C线的断面的状态。根据这些图可知，当取下盖体10时，用于支承电极棒5的支承部7的上方敞开，从此处可以单独安装或取出多根电极棒5。
在图3所示的狭缝电极1的情况下，按照图5所示将电极单元U安装到电极框体2上。此时，如图5所示，将盖体10安装到电极棒支承构件6上之后，将其作为电极单元U安装到电极框体2上。另一方面，也可以不使用这种安装方法，而是单独安装各构件。具体而言，先将电极棒支承构件6安装在电极框体2上，然后，把电极棒5安装到电极棒支承构件6上。最后，把盖体10安装到电极棒支承构件6上。本发明也可以使用上述安装方法。
这种具备盖体10的狭缝电极1可以节约构件更换时所需的构件费用。例如，当电极棒支承构件6自身的热变形还处于允许范围内、但需要更换电极棒5时，通过从电极棒支承构件6上取下盖体10，可以仅更换电极棒5。此时，不必整体更换电极单元U，相应地节省了构件更换的费用。
图6表示了电极框体2的变形例。如图6所示，也可以在电极框体2上形成突起11，以作为安装电极单元U时的基准。如果采用所述结构，则在安装电极单元U时使位置调整简单，能够缩短安装时间。
在使用长条状的电极以及利用多枚电极作为带电粒子束发生装置的引出电极系统时，本发明的结构特别有利。
对于长条状的电极来说，电极的长边方向的端部和中央部分相比，电极的热变形程度差异很大。具体而言，电极的端部热变形大，而电极的中央部分热变形小。此时，由于狭缝状开口部的形状因电极的部位不同而不同，难以通过电极引出需要的带电粒子束。而在本发明的结构中，各电极单元U的热变形量小，所以在电极长度方向的端部和中央部分上，狭缝状开口部的热变形量几乎不产生差异。因此，能够容易地通过电极引出需要的带电粒子束。
此外，利用多枚狭缝电极作为带电粒子束引出用的电极时，为了通过各电极上设置的狭缝状开口部引出带电粒子束，需要将各电极上狭缝状开口部的位置定位于规定位置。但是，由于现有的狭缝电极的结构中电极的热变形量较大，难以进行所述定位，当各电极上的狭缝状开口部的位置发生偏移时，可能无法引出带电粒子束。而利用本发明的结构，可以减小电极上形成的狭缝状开口部的热变形，因此与现有的结构相比，能够明显减小各电极上的狭缝状开口部的位置偏移。其结果，可用稳定地引出需要的带电粒子束。
(其他实施方式)
本发明中使用的电极框体2、电极棒支承构件6、盖体10和电极棒5优选采用热膨胀率小的钼和钨之类的高融点材料。
此外，也可以在电极框体2上设置制冷剂流路，通过使制冷剂流过制冷剂流路来对电极框体2进行冷却。
并且，在采用本发明的电极框体2上所形成的开口部3的形状不一定是长方形，也可以是其他的形状。例如，开口部3可以是圆形、椭圆形或多边形，在开口部3内配置电极棒5时，只要可以形成使带电粒子束通过的狭缝状开口部4，则开口部3可以采用任意形状。
此外，以上对多根电极棒5的长度方向沿X方向配置为例进行了说明，也可以采用其他结构。例如，也可以在XY平面上将各电极棒5的长度方向配置在相对于X方向倾斜的方向上，并且各电极棒5大致沿Y方向并列设置。此时，在XY平面中，多根电极棒5之间形成的狭缝状开口部4的形状大致呈平行四边形。另外，本发明中，各电极棒5的长度方向和并列设置在开口部3内的各电极棒5的并列设置方向不一定垂直相交，也可以交差。
关于向电极框体2安装电极单元U和向电极棒支承构件6安装盖体10，以使用螺钉8为例进行了说明，但只要保证能装拆地安装各构件，也可以采用其他的固定方法。
除了上述以外，可以在不脱离本发明主旨的范围内，对本发明进行各种改进和变形。

Claims (3)

1.一种狭缝电极，包括：
电极框体，具有开口部；以及
多个电极单元，能装拆地安装在所述电极框体上，所述狭缝电极的特征在于，
各电极单元包括：多根电极棒，并列设置在所述开口部内；以及一组电极棒支承构件，隔着所述开口部支承各电极棒的长度方向的端部，
所述电极单元配置成在各电极单元之间以及各电极单元和所述电极框体之间具有间隙。
2.根据权利要求1所述的狭缝电极，其特征在于，所述电极单元还包括盖体，所述盖体能装拆地安装在所述电极棒支承构件上，并且所述盖体覆盖所述电极棒长度方向的端部的上表面。
3.一种带电粒子束发生装置，其特征在于，带电粒子束引出用的电极包括权利要求1或2所述的狭缝电极。
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