CN102647862B - 一种采取不同电流参数组合的电镀填盲孔方法 - Google Patents

一种采取不同电流参数组合的电镀填盲孔方法 Download PDF

Info

Publication number
CN102647862B
CN102647862B CN201210124270.4A CN201210124270A CN102647862B CN 102647862 B CN102647862 B CN 102647862B CN 201210124270 A CN201210124270 A CN 201210124270A CN 102647862 B CN102647862 B CN 102647862B
Authority
CN
China
Prior art keywords
plating
blind hole
electroplating
copper
minutes
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201210124270.4A
Other languages
English (en)
Other versions
CN102647862A (zh
Inventor
徐缓
陈世金
罗旭
覃新
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
BOMIN ELECTRONIC Co Ltd
JIANGSU BOMIN ELECTRONICS Co Ltd
Original Assignee
BOMIN ELECTRONICS CO LTD
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by BOMIN ELECTRONICS CO LTD filed Critical BOMIN ELECTRONICS CO LTD
Priority to CN201210124270.4A priority Critical patent/CN102647862B/zh
Publication of CN102647862A publication Critical patent/CN102647862A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN102647862B publication Critical patent/CN102647862B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Printing Elements For Providing Electric Connections Between Printed Circuits (AREA)
  • Electroplating And Plating Baths Therefor (AREA)
  • Electroplating Methods And Accessories (AREA)

Abstract

本发明公开了一种采取不同电流参数组合的电镀填盲孔方法,属于线路板电镀技术领域,其技术要点包括下述步骤:(1)除胶、化学沉铜和闪镀铜;(2)填盲孔电镀;(3)干膜;其中所述的步骤(2)具体为:首先将电镀药水调整为高硫酸铜低硫酸;然后分三段时间采用不同的电流密度进行电镀:第一段采用电流密度为1.5~2.5安培/平方分米进行电镀,电镀时间为15~25分钟;第二段采用电流密度为1.2安培/平方分米进行电镀,电镀时间为30分钟;第三段采用电流密度为1.5~2.5安培/平方分米进行电镀,电镀时间为10~20分钟;本发明旨在提供一种加工效率高、成本较低且加工质量较好的电镀填盲孔方法;用于线路板的电镀填盲孔。

Description

一种采取不同电流参数组合的电镀填盲孔方法
技术领域
本发明涉及一种电镀填盲孔的方法,更具体地说,尤其涉及一种采用不同电流参数组合的电镀填盲孔方法。
背景技术
在印制电路板行业制作过程中,会遇到需要用电镀铜将盲孔填平的工艺,即电镀填盲孔技术。盲孔使用激光钻孔机的激光烧蚀出来的,用来实现多层板层与层之间的导通互连。在印制电路板后续的硫酸铜电镀填盲孔技术中,通常采用高铜低酸的药水组分,以提高盲孔的填孔能力。在进行电镀填盲孔的制作工艺中,会存在以下问题:采用小电流制作时,所需填满盲孔的时间较长,生产效率相对较低;而采用大电流制作时,镀铜均匀性相对较差,填孔效果不理想,容易出现孔内空洞、“封镀”和dimple过大等问题。
以上问题是行业内普遍存在的一个技术难题,大多数业者采用低电流密度、长时间作业方法,常见的参数设定:电流密度1~1.3安培/平方分米,电镀时间90~120分钟,存在成本高、效率低等缺点,而且电路板长时间浸泡于硫酸铜溶液中,板件吸湿,在焊接过程中易出现爆板等可靠性问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种加工效率高、成本较低且加工质量较好的采取不同电流参数组合的电镀填盲孔方法。
本发明的技术方案是这样实现的:一种采取不同电流参数组合的电镀填盲孔方法,该方法包括下述步骤:(1)对线路板外层进行除胶、化学沉铜和闪镀铜操作;(2)对线路板次外层进行填盲孔电镀;(3)对线路板进行干膜操作;其中所述的步骤(2)具体为:首先将电镀药水调整为高硫酸铜低硫酸;然后分三段时间采用不同的电流密度进行电镀:第一段采用电流密度为1.5~2.5安培/平方分米进行电镀,电镀时间为15~25分钟;第二段采用电流密度为1.2安培/平方分米进行电镀,电镀时间为30分钟;第三段采用电流密度为1.5~2.5安培/平方分米进行电镀,电镀时间为10~20分钟。
上述的一种采取不同电流参数组合的电镀填盲孔方法中,步骤(2)所述的将电镀药水调整为高硫酸铜低硫酸具体为:通过添加五水硫酸铜或氧化铜粉,加大铜离子的浓度,使电镀药水中硫酸与铜离子的质量比小于12:1。
上述的一种采取不同电流参数组合的电镀填盲孔方法中,步骤(2)所述的第一段电镀电流密度为2安培/平方分米进行电镀,电镀时间为20分钟。
上述的一种采取不同电流参数组合的电镀填盲孔方法中,步骤(2)所述的第三段电镀电流密度为2安培/平方分米进行电镀,电镀时间为15分钟。
上述的一种采取不同电流参数组合的电镀填盲孔方法中,所述的步骤(2)在电镀过程中,往电镀药水中添加镀铜添加剂;采用喷流泵调节流量,加速药水在盲孔内的流动,确保盲孔底部有足够的铜离子和所需的镀铜添加剂;同时启动过滤泵实现副槽与主槽药水的交换,起到循环药液和过滤杂质的作用。
本发明采用上述方法后,与现有方法相比,具有下述的优点:
(1)电镀所需时间短、生产效率高,电镀所需要时间缩短25~40分钟,效率提高30%以上;
(2)不同时段所采用的不同电流参数有利于镀铜结晶的排布,延展性相对较好,填平效果好、可靠性高;第一段通过较大电流密度在孔内迅速激发起填孔电镀的沉积爆发期,以方便下一步进行;第二段采用较小电流密度进行电镀,盲孔电镀沉积爆发期持续的时间相对较短,经过第一、二段时间的电镀,盲孔底部已趋于填平,此时还会存在一定的凹陷度;再通过第三段较大电流密度的电镀填平,加速填孔效果的产生,从而保证在线路板的盲孔填满电镀铜层,实现层与层之间的互连导通。
附图说明
下面结合附图中的实施例对本发明作进一步的详细说明,但并不构成对本发明的任何限制。
图1是本发明的工艺流程图。
具体实施方式
参阅图1所示,本发明的一种采取不同电流参数组合的电镀填盲孔方法,该方法包括下述步骤:(1)对线路板外层进行除胶、化学沉铜和闪镀铜操作;(2)对线路板次外层进行填盲孔电镀;(3)对线路板进行干膜操作;其中步骤(2)具体为:首先将电镀药水调整为高硫酸铜低硫酸,具体为通过添加五水硫酸铜或氧化铜粉,加大铜离子的浓度,使电镀药水中硫酸与铜离子的质量比小于12:1;然后分三段时间采用不同的电流密度进行电镀:第一段采用电流密度为1.5~2.5安培/平方分米进行电镀,优选电流密度为2安培/平方分米,电镀时间为15~25分钟,优选时间为20分钟;第二段采用电流密度为1.2安培/平方分米进行电镀,时间为30分钟;第三段采用电流密度为1.5~2.5安培/平方分米进行电镀,优选电流密度为2安培/平方分米,电镀时间为10~20分钟,优选时间为15分钟。同时,在步骤(2)的电镀过程中,往电镀药水中添加镀铜添加剂;采用喷流泵调节流量,加速药水在盲孔内的流动,确保盲孔底部有足够的铜离子和所需的镀铜添加剂;同时启动过滤泵实现副槽与主槽药水的交换,起到循环药液和过滤杂质的作用。
下面结合具体的实施方式和附图对本发明进行详细描述。
首先在电路板上利用镭射机钻出相应的盲孔,以10层2+6+2结构的高密度互连印制电路板盲孔填孔电镀为例。
以下是10层板的具体参数:
2张内层core:75μm;板厚:2.3mm;盲孔孔径:100μm;盲孔纵横比:0.75:1。
具体实现方法为:
1)首先进行次外层的除胶、化学沉铜和闪镀铜工序,通过化学反应在盲孔孔壁沉积上一层薄铜,然后闪镀加厚至3~5μm,电镀时起导通作用。化学反应如下:
Cu2++2HCHO+4OH-=2Cu+2HCOO-+2H2O+H2↑    (PTH)
Cu2++2e→Cu     (PLATING)
2)经过化学沉铜和闪镀铜后的板进行次外层的填盲孔电镀,主要操作为:
将硫酸铜系列电镀药水的组分进行调整,调整为高铜低酸,即硫酸铜约200g/L,硫酸约50g/L,加大铜离子浓度,本处采用五水硫酸铜或氧化铜粉来加大铜离子浓度。
高铜低酸的浓度与板子层数、通盲孔个数和板面积无关,与介电层厚度和孔径大小有关,介电层厚度与盲孔孔径的比值越大,填孔电镀难度系数越大,电流密度将减小,电镀时间也越长。
根据实验结果,为了实现本发明的目的,填孔电镀药水中的硫酸与铜离子的质量比应小于12:1。
对于电镀时间,与电路板介盲孔纵横比成正比,本实施例中第一段电镀的电镀时间为20分钟,电流密度为2安培/平方分米。
经过上述高铜低酸的配比,在镀铜添加剂的协助下,在盲孔内存在大量铜离子,后形成单质铜沉积在盲孔孔内。由于电流密度较大,在孔内会迅速激发起填孔电镀的沉积爆发期,有利于下一步的进行。
3)经过第一段时间的高电流密度电镀后,再进行填孔电镀的第二段电镀流程,本段的电镀时间是30分钟,电流密度为1.2安培/平方分米。
4)经过第二段时间的填孔电镀后,由于电流密度小,盲孔电镀沉积爆发期持续的时间相对较短,经过第一、二段时间的电镀,盲孔底部已趋于填平,但是也会存在一定的凹陷度。此时再通过第三段时间的电镀填平,加速填孔效果的产生,达到理想的填孔效果。第三段电镀的电镀时间是15分钟,电流密度为2安培/平方分米。
镀液中的硫酸浓度通过添加98%(AR级)浓硫酸提高,过程中通过喷流泵的喷射作用来加速药水的交换,再配合填孔镀铜添加剂的作用,来增加铜离子在盲孔内的沉积。经过第三段时间的填孔电镀后,即可保证在线路板的盲孔填满电镀铜层,实现层与层之间的互连导通。
下面对喷流泵、过滤泵和镀铜添加剂及氧化铜粉添加装置的操作进行阐述:
喷流泵:通过电机马达带动,按照一定的要求来加速药水在盲孔内的流动,使铜离子和镀铜添加剂等在孔内得到及时的补充,通过流量计来观察喷流量的大小,并可实现大小调节。
过滤泵:通过电机马达带动,实现副槽与主槽药水的交换,所添加的氧化铜粉和镀铜添加剂均通过运送至主槽,并起到循环药液和过滤杂质的作用。
镀铜添加剂和氧化铜粉添加装置:安装在副槽旁边,也是通过电机马达带动,由PLC及PC的安培小时累计和铜离子含量情况来控制,进行自动补加镀铜添加剂药水和氧化铜粉,使主槽内的各组分处于平衡状态。
完成填孔电镀后,最后进行干膜操作。
采用本发明的方法进行高密度互连印制电路板的电镀填盲孔操作,时间短效率高,与现有方法相比,电镀所需时间要少25~40分钟,效率可提高约30%以上;填孔效果良好,生产产品品质完全满足可靠性要求。
本领域技术人员可以对本发明进行各种改动和变形而不脱离本发明的精髓和范围。如此一来,若对发明的这些修改和变形属于本发明的权利要求及其等同技术的范围之内,则本发明也意图包含这些改动和变形在内。

Claims (5)

1.一种采取不同电流参数组合的电镀填盲孔方法,该方法包括下述步骤:(1)对线路板外层进行除胶、化学沉铜和闪镀铜操作;(2)对线路板次外层进行填盲孔电镀;(3)对线路板进行干膜操作;其特征在于,所述的步骤(2)具体为:首先将电镀药水调整为高硫酸铜低硫酸;然后分三段时间采用不同的电流密度进行电镀:第一段采用电流密度为1.5~2.5安培/平方分米进行电镀,电镀时间为15~25分钟;第二段采用电流密度为1.2安培/平方分米进行电镀,电镀时间为30分钟;第三段采用电流密度为1.5~2.5安培/平方分米进行电镀,电镀时间为10~20分钟。
2.根据权利要求1所述的一种采取不同电流参数组合的电镀填盲孔方法,其特征在于,步骤(2)所述的将电镀药水调整为高硫酸铜低硫酸具体为:通过添加五水硫酸铜或氧化铜粉,加大铜离子的浓度,使电镀药水中硫酸与铜离子的质量比小于12:1。
3.根据权利要求1所述的一种采取不同电流参数组合的电镀填盲孔方法,其特征在于,步骤(2)所述的第一段电镀电流密度为2安培/平方分米进行电镀,电镀时间为20分钟。
4.根据权利要求1所述的一种采取不同电流参数组合的电镀填盲孔方法,其特征在于,步骤(2)所述的第三段电镀电流密度为2安培/平方分米进行电镀,电镀时间为15分钟。
5.根据权利要求2所述的一种采取不同电流参数组合的电镀填盲孔方法,其特征在于,所述的步骤(2)在电镀过程中,往电镀药水中添加镀铜添加剂;采用喷流泵调节流量,加速药水在盲孔内的流动,确保盲孔底部有足够的铜离子和所需的镀铜添加剂;同时启动过滤泵实现副槽与主槽药水的交换,起到循环药液和过滤杂质的作用。
CN201210124270.4A 2012-04-25 2012-04-25 一种采取不同电流参数组合的电镀填盲孔方法 Active CN102647862B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201210124270.4A CN102647862B (zh) 2012-04-25 2012-04-25 一种采取不同电流参数组合的电镀填盲孔方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201210124270.4A CN102647862B (zh) 2012-04-25 2012-04-25 一种采取不同电流参数组合的电镀填盲孔方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN102647862A CN102647862A (zh) 2012-08-22
CN102647862B true CN102647862B (zh) 2014-07-09

Family

ID=46660379

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201210124270.4A Active CN102647862B (zh) 2012-04-25 2012-04-25 一种采取不同电流参数组合的电镀填盲孔方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN102647862B (zh)

Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103491726A (zh) * 2013-07-25 2014-01-01 博罗县精汇电子科技有限公司 柔性线路板制造方法
CN103572336B (zh) * 2013-11-20 2016-06-22 东莞市富默克化工有限公司 一种pcb盲孔电镀铜溶液及其制备方法和电镀方法
CN103572334B (zh) * 2013-11-20 2016-06-22 东莞市富默克化工有限公司 一种pcb通孔盲孔电镀铜溶液及其制备方法和电镀方法
CN104532318A (zh) * 2014-12-31 2015-04-22 广州兴森快捷电路科技有限公司 一种电镀填通孔的方法
CN105392303B (zh) * 2015-11-06 2018-05-25 天津普林电路股份有限公司 一种高密度积层板pi树脂板材槽孔沉铜工艺
CN105316737A (zh) * 2015-11-23 2016-02-10 深圳崇达多层线路板有限公司 一种hdi板盲孔电镀装置
CN106149018A (zh) * 2016-08-09 2016-11-23 安徽广德威正光电科技有限公司 一种用于pcb板电镀铜的工艺方法
TWI625991B (zh) * 2016-10-17 2018-06-01 南亞電路板股份有限公司 電路板結構與其製造方法
CN106793576B (zh) * 2016-12-27 2019-04-02 江门崇达电路技术有限公司 一种pcb中盲孔的填孔方法
CN108601244A (zh) * 2018-04-19 2018-09-28 中国电子科技集团公司第十五研究所印制板与装联中心 一种刚挠多层印制板孔金属化技术
CN110769616B (zh) * 2018-07-26 2022-08-02 健鼎(无锡)电子有限公司 电路板结构的制造方法
TWI677269B (zh) * 2018-08-31 2019-11-11 健鼎科技股份有限公司 電路板結構的孔內電鍍方法
CN109609987A (zh) * 2018-12-06 2019-04-12 广东科翔电子科技有限公司 一种微小盲孔的填镀系统及方法
CN110913609A (zh) * 2019-10-10 2020-03-24 宜兴硅谷电子科技有限公司 一种含有盲埋孔结构的高频光电板制备工艺
CN115835530A (zh) * 2021-09-17 2023-03-21 无锡深南电路有限公司 一种电路板的加工方法及电路板
CN116657203A (zh) * 2023-06-09 2023-08-29 江苏博敏电子有限公司 一种hdi板盲孔电镀工艺

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102036509A (zh) * 2009-09-25 2011-04-27 北大方正集团有限公司 一种电路板通孔盲孔电镀方法

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20030080413A (ko) * 2002-04-08 2003-10-17 주식회사 심텍 스텝 전류 밀도를 이용한 다층 인쇄회로기판용 마이크로비아홀의 전기도금 방법
JP4764718B2 (ja) * 2005-12-28 2011-09-07 新光電気工業株式会社 スルーホールの充填方法

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102036509A (zh) * 2009-09-25 2011-04-27 北大方正集团有限公司 一种电路板通孔盲孔电镀方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN102647862A (zh) 2012-08-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102647862B (zh) 一种采取不同电流参数组合的电镀填盲孔方法
CN102036509B (zh) 一种电路板通孔盲孔电镀方法
CN102869206B (zh) 一种印制电路板通孔和盲孔共镀金属化方法
CN102802364B (zh) 一种在印刷电路板的导电层中设置金属钯层的方法及其层状结构
CN104160792B (zh) 印刷布线板的制造方法及激光加工用铜箔
JP4932370B2 (ja) 電解めっき方法、プリント配線板及び半導体ウェハー
US6783654B2 (en) Electrolytic plating method and device for a wiring board
CN109327975A (zh) 用于部件承载件中的孔的无缺陷铜填充的方法和镀覆装置
JP6899062B1 (ja) Icボードのスルーホールを充填するための電気銅めっき液およびその電気めっき方法
CN104244613A (zh) 一种hdi板中金属化孔的制作方法
CN105612820B (zh) 多层配线基板及其制造方法
CN103444275A (zh) 印刷电路板制造用的镀铜填充方法以及使用该镀铜填充方法得到的印刷电路板
CN113802158B (zh) 一种电镀液及其应用、镀铜工艺及镀件
EP1330146A2 (en) Via filling method
CN102787316A (zh) 一种pcb电镀微蚀药液及其配制方法
CN107432087A (zh) 多层配线基板的制造方法
CN105612819B (zh) 多层配线基板的制造方法
CN111424296A (zh) 填充ic载板通孔的电镀铜溶液及电镀方法
JP5142862B2 (ja) 配線基板の製造方法
CN105792533B (zh) 一种pcb的制作方法及pcb
CN104703391A (zh) 线路板及其制造方法
CN104219898A (zh) 一种多层软硬结合板电镀填通孔制作工艺
JP7438578B2 (ja) 回路基板のスルーホールの充填方法及びこれを用いた回路基板
JP2009167506A (ja) 酸性電解銅めっき液およびこれを用いる微細配線回路の作製方法
CN110636710A (zh) 一种印制电路板精细线路电解蚀刻和电镀同步制作方法

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
C41 Transfer of patent application or patent right or utility model
TR01 Transfer of patent right

Effective date of registration: 20170117

Address after: 514768 Guangdong city of Meizhou Province Dongsheng Industrial Park B District

Patentee after: Bomin Electronic Co., Ltd.

Patentee after: JIANGSU BOMIN ELECTRONICS CO., LTD.

Address before: 514768 Guangdong city of Meizhou Province Dongsheng Industrial Park B District Bomin electronic Limited by Share Ltd

Patentee before: Bomin Electronic Co., Ltd.