CN102636829B - 波长可变干涉滤波器、光模块以及光分析装置 - Google Patents
波长可变干涉滤波器、光模块以及光分析装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN102636829B CN102636829B CN201210033130.6A CN201210033130A CN102636829B CN 102636829 B CN102636829 B CN 102636829B CN 201210033130 A CN201210033130 A CN 201210033130A CN 102636829 B CN102636829 B CN 102636829B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- substrate
- electrode
- thickness
- movable part
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 21
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 193
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims abstract description 33
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims abstract description 33
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 39
- 238000009751 slip forming Methods 0.000 abstract 1
- BJQHLKABXJIVAM-UHFFFAOYSA-N bis(2-ethylhexyl) phthalate Chemical compound CCCCC(CC)COC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCC(CC)CCCC BJQHLKABXJIVAM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 44
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 23
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 15
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 15
- 239000000463 material Substances 0.000 description 14
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 13
- 239000002585 base Substances 0.000 description 12
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 11
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 description 10
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 description 10
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 description 10
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 description 10
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 8
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 7
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 6
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 5
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 4
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 4
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N titanium dioxide Inorganic materials O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910003082 TiO2-SiO2 Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 3
- 238000001994 activation Methods 0.000 description 3
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 3
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N Tetraethyl orthosilicate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)OCC BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MRNHPUHPBOKKQT-UHFFFAOYSA-N indium;tin;hydrate Chemical compound O.[In].[Sn] MRNHPUHPBOKKQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 2
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 2
- 239000005355 lead glass Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- -1 polysiloxanes Polymers 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- RZVAJINKPMORJF-UHFFFAOYSA-N Acetaminophen Chemical compound CC(=O)NC1=CC=C(O)C=C1 RZVAJINKPMORJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001316 Ag alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241000790917 Dioxys <bee> Species 0.000 description 1
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 1
- ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N Potassium Chemical compound [K] ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229910003978 SiClx Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000005357 flat glass Substances 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 229940072033 potash Drugs 0.000 description 1
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011591 potassium Substances 0.000 description 1
- BWHMMNNQKKPAPP-UHFFFAOYSA-L potassium carbonate Substances [K+].[K+].[O-]C([O-])=O BWHMMNNQKKPAPP-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 235000015320 potassium carbonate Nutrition 0.000 description 1
- 239000005297 pyrex Substances 0.000 description 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 1
- 239000005361 soda-lime glass Substances 0.000 description 1
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/001—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements based on interference in an adjustable optical cavity
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/12—Generating the spectrum; Monochromators
- G01J3/26—Generating the spectrum; Monochromators using multiple reflection, e.g. Fabry-Perot interferometer, variable interference filters
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/46—Measurement of colour; Colour measuring devices, e.g. colorimeters
- G01J3/50—Measurement of colour; Colour measuring devices, e.g. colorimeters using electric radiation detectors
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/06—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the phase of light
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2011029490A JP5909850B2 (ja) | 2011-02-15 | 2011-02-15 | 波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置 |
| JP2011-029490 | 2011-02-15 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN102636829A CN102636829A (zh) | 2012-08-15 |
| CN102636829B true CN102636829B (zh) | 2018-02-13 |
Family
ID=46621288
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201210033130.6A Active CN102636829B (zh) | 2011-02-15 | 2012-02-14 | 波长可变干涉滤波器、光模块以及光分析装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US8917451B2 (th) |
| JP (1) | JP5909850B2 (th) |
| CN (1) | CN102636829B (th) |
Families Citing this family (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5786424B2 (ja) * | 2011-04-11 | 2015-09-30 | セイコーエプソン株式会社 | 波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び電子機器 |
| JP2012237794A (ja) | 2011-05-10 | 2012-12-06 | Seiko Epson Corp | 光フィルター、光フィルターモジュールおよび光分析装置 |
| JP6119090B2 (ja) | 2011-09-27 | 2017-04-26 | セイコーエプソン株式会社 | 光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器 |
| JP5834718B2 (ja) | 2011-09-29 | 2015-12-24 | セイコーエプソン株式会社 | 波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器 |
| JP2013238755A (ja) | 2012-05-16 | 2013-11-28 | Seiko Epson Corp | 光学モジュール、電子機器、食物分析装置、分光カメラ、及び波長可変干渉フィルターの駆動方法 |
| JP2014059497A (ja) * | 2012-09-19 | 2014-04-03 | Seiko Epson Corp | 波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、電子機器、及びｍｅｍｓデバイス |
| JP6107186B2 (ja) | 2013-02-05 | 2017-04-05 | セイコーエプソン株式会社 | 光学モジュール、電子機器、及び分光カメラ |
| JP6136357B2 (ja) * | 2013-02-25 | 2017-05-31 | セイコーエプソン株式会社 | 分光測定装置、通信システム及びカラーマネージメントシステム |
| JP2014164068A (ja) * | 2013-02-25 | 2014-09-08 | Seiko Epson Corp | 波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、および電子機器 |
| JP6119325B2 (ja) * | 2013-03-14 | 2017-04-26 | セイコーエプソン株式会社 | 干渉フィルター、干渉フィルターの製造方法、光学モジュール、電子機器、及び接合基板 |
| JP6543884B2 (ja) | 2014-01-27 | 2019-07-17 | セイコーエプソン株式会社 | アクチュエーター制御装置、光学モジュール、電子機器、及びアクチュエーター制御方法 |
| JP6413325B2 (ja) | 2014-05-01 | 2018-10-31 | セイコーエプソン株式会社 | アクチュエーター装置、電子機器、及び制御方法 |
| FI126791B (en) * | 2014-12-29 | 2017-05-31 | Teknologian Tutkimuskeskus Vtt Oy | Mirror disk for an optical interferometer, method for manufacturing a mirror disk and optical interferometer |
| JP7006172B2 (ja) * | 2017-11-21 | 2022-01-24 | セイコーエプソン株式会社 | 波長可変干渉フィルター、光学デバイス、光学モジュール、及び電子機器 |
| CN110954981A (zh) * | 2018-09-27 | 2020-04-03 | 精工爱普生株式会社 | 光学装置及电子设备 |
| JP7110081B2 (ja) * | 2018-12-18 | 2022-08-01 | 浜松ホトニクス株式会社 | 制御装置、光学フィルタシステム、制御方法 |
| JP7200842B2 (ja) | 2019-06-21 | 2023-01-10 | セイコーエプソン株式会社 | 波長可変干渉フィルター |
| US20220206284A1 (en) * | 2020-12-24 | 2022-06-30 | Seiko Epson Corporation | Wavelength variable optical filter |
Family Cites Families (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5142414A (en) * | 1991-04-22 | 1992-08-25 | Koehler Dale R | Electrically actuatable temporal tristimulus-color device |
| FI94804C (fi) | 1994-02-17 | 1995-10-25 | Vaisala Oy | Sähköisesti säädettävä pintamikromekaaninen Fabry-Perot-interferometri käytettäväksi optisessa materiaalianalyysissä |
| JPH11142752A (ja) | 1997-11-05 | 1999-05-28 | Yokogawa Electric Corp | 透過波長可変干渉フィルタ及びこれを用いた分光器 |
| JP4059692B2 (ja) * | 2001-04-24 | 2008-03-12 | シャープ株式会社 | 照明装置およびそれを備える表示装置ならびに導光板 |
| JP3909812B2 (ja) * | 2001-07-19 | 2007-04-25 | 富士フイルム株式会社 | 表示素子及び露光素子 |
| JP2003185941A (ja) | 2001-12-20 | 2003-07-03 | Yokogawa Electric Corp | ファブリペローフィルタ |
| JP2003215473A (ja) | 2002-01-21 | 2003-07-30 | Yokogawa Electric Corp | ファブリペローフィルタ |
| JP5017803B2 (ja) | 2005-06-13 | 2012-09-05 | セイコーエプソン株式会社 | 光学素子および光学装置 |
| JP4466634B2 (ja) * | 2006-01-19 | 2010-05-26 | セイコーエプソン株式会社 | 光学デバイス、波長可変フィルタ、波長可変フィルタモジュール、および光スペクトラムアナライザ |
| US7734131B2 (en) * | 2006-04-18 | 2010-06-08 | Xerox Corporation | Fabry-Perot tunable filter using a bonded pair of transparent substrates |
| JP4561728B2 (ja) * | 2006-11-02 | 2010-10-13 | セイコーエプソン株式会社 | 光学デバイス、光学デバイスの製造方法、波長可変フィルタ、波長可変フィルタモジュール、および光スペクトラムアナライザ |
| JP5141213B2 (ja) * | 2007-11-29 | 2013-02-13 | セイコーエプソン株式会社 | 光学デバイス、波長可変フィルタモジュール、および光スペクトラムアナライザ |
| JP5564759B2 (ja) * | 2008-04-02 | 2014-08-06 | セイコーエプソン株式会社 | 光学フィルタ装置 |
| JP5369515B2 (ja) | 2008-06-26 | 2013-12-18 | セイコーエプソン株式会社 | 光フィルタとその製造方法及び光学フィルタ装置モジュール |
| JP5151944B2 (ja) * | 2008-12-09 | 2013-02-27 | セイコーエプソン株式会社 | 光フィルタ及びそれを備えた光モジュール |
| JP5370246B2 (ja) * | 2009-05-27 | 2013-12-18 | セイコーエプソン株式会社 | 光フィルター、光フィルター装置、分析機器、および光フィルターの製造方法 |
| JP5707780B2 (ja) | 2010-08-25 | 2015-04-30 | セイコーエプソン株式会社 | 波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置 |
| JP5999213B2 (ja) | 2015-03-04 | 2016-09-28 | セイコーエプソン株式会社 | 波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置 |
-
2011
- 2011-02-15 JP JP2011029490A patent/JP5909850B2/ja active Active
-
2012
- 2012-02-14 CN CN201210033130.6A patent/CN102636829B/zh active Active
- 2012-02-14 US US13/372,946 patent/US8917451B2/en active Active
-
2014
- 2014-11-13 US US14/540,318 patent/US9664890B2/en active Active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US9664890B2 (en) | 2017-05-30 |
| US20150070767A1 (en) | 2015-03-12 |
| US20130044377A1 (en) | 2013-02-21 |
| JP5909850B2 (ja) | 2016-04-27 |
| JP2012168362A (ja) | 2012-09-06 |
| CN102636829A (zh) | 2012-08-15 |
| US8917451B2 (en) | 2014-12-23 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN102636829B (zh) | 波长可变干涉滤波器、光模块以及光分析装置 | |
| US9459387B2 (en) | Optical filter and optical module provided with same | |
| JP5724557B2 (ja) | 波長可変干渉フィルター、光モジュール、および光分析装置 | |
| CN102608689B (zh) | 波长可变干涉滤波器、光模块以及光分析装置 | |
| JP5707780B2 (ja) | 波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置 | |
| TWI531821B (zh) | 干涉濾光器、光模組及分析裝置 | |
| JP5779852B2 (ja) | 波長可変干渉フィルター、光モジュール、および光分析装置 | |
| JP2011053510A (ja) | 波長可変干渉フィルター、測色センサー、測色モジュール、および波長可変干渉フィルターの制御方法 | |
| US9046679B2 (en) | Wavelength variable interference filter, optical sensor, analyzer and process for producing wavelength variable interference filter | |
| JP2012150353A (ja) | 波長可変干渉フィルター、光モジュール、および光分析装置 | |
| JP2011112999A (ja) | 干渉フィルター、光センサー、および光モジュール | |
| US8797650B2 (en) | Variable wavelength interference filter, optical module, and optical analysis device | |
| JP2016050803A (ja) | 分光画像取得装置、及び分光画像取得方法 | |
| JP5445303B2 (ja) | 光フィルター素子、光フィルターモジュール、および分析機器 | |
| US20120019827A1 (en) | Interference filter, optical module, and analyzing device | |
| JP5273025B2 (ja) | 波長可変干渉フィルター、その製造方法、測色センサー、および測色モジュール | |
| JP5999213B2 (ja) | 波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置 | |
| JP5617621B2 (ja) | 波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置 | |
| JP5593671B2 (ja) | 波長可変干渉フィルター、測色センサー、測色モジュール | |
| JP2012128136A (ja) | 光センサー | |
| JP5673075B2 (ja) | 波長可変干渉フィルター、光モジュール、および光分析装置 | |
| JP2012047858A (ja) | 波長可変干渉フィルター、光モジュール、光分析装置、および波長可変干渉フィルターの製造方法 | |
| JP2016090251A (ja) | 分光測定装置、及び分光測定方法 | |
| JP2016095526A (ja) | 波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |