CN102616789A - 超纯三氯氢硅分离的热泵精馏间壁塔装置及操作方法 - Google Patents
超纯三氯氢硅分离的热泵精馏间壁塔装置及操作方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN102616789A CN102616789A CN2012100439984A CN201210043998A CN102616789A CN 102616789 A CN102616789 A CN 102616789A CN 2012100439984 A CN2012100439984 A CN 2012100439984A CN 201210043998 A CN201210043998 A CN 201210043998A CN 102616789 A CN102616789 A CN 102616789A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- tower
- trichlorosilane
- section
- heat pump
- partition
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- ZDHXKXAHOVTTAH-UHFFFAOYSA-N trichlorosilane Chemical compound Cl[SiH](Cl)Cl ZDHXKXAHOVTTAH-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 52
- 239000005052 trichlorosilane Substances 0.000 title claims abstract description 52
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 19
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims abstract description 45
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims abstract description 21
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims abstract description 13
- 238000005265 energy consumption Methods 0.000 claims abstract description 12
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims abstract description 9
- 210000000689 upper leg Anatomy 0.000 claims description 33
- 238000004821 distillation Methods 0.000 claims description 19
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 17
- 241000282326 Felis catus Species 0.000 claims description 16
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims description 16
- 238000009833 condensation Methods 0.000 claims description 11
- 230000005494 condensation Effects 0.000 claims description 10
- 238000010992 reflux Methods 0.000 claims description 8
- 239000000470 constituent Substances 0.000 claims description 4
- 238000009834 vaporization Methods 0.000 claims description 2
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 claims description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 abstract description 4
- VXEGSRKPIUDPQT-UHFFFAOYSA-N 4-[4-(4-methoxyphenyl)piperazin-1-yl]aniline Chemical compound C1=CC(OC)=CC=C1N1CCN(C=2C=CC(N)=CC=2)CC1 VXEGSRKPIUDPQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 10
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 10
- 239000005049 silicon tetrachloride Substances 0.000 description 10
- 238000005204 segregation Methods 0.000 description 8
- 239000012808 vapor phase Substances 0.000 description 8
- 230000008569 process Effects 0.000 description 6
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 5
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 5
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 4
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 4
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 3
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 3
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000001174 ascending effect Effects 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P20/00—Technologies relating to chemical industry
- Y02P20/10—Process efficiency
- Y02P20/129—Energy recovery, e.g. by cogeneration, H2recovery or pressure recovery turbines
Landscapes
- Silicon Compounds (AREA)
Abstract
本发明涉及超纯三氯氢硅分离的热泵精馏间壁塔装置以及操作方法。通常为了得到高纯度的三氯氢硅，需要经过多塔的分离才能将原料中的轻重杂质除去，并且耗费大量的能量。而采用热泵精馏间壁塔装置，在一个间壁塔内就可以实现多种轻重杂质的完全脱除，得到超纯的三氯氢硅，并且通过热泵达到降低能耗的目标。间壁塔内的隔板将塔分为进料段、塔顶段、塔底段以及侧线产品段，在合适的控制参数下，在侧线段的合适位置能得到超高纯度的三氯氢硅产品。本发明的优点在于集合了热泵精馏以及间壁塔的特点，在一塔内完成不同杂质的脱除，在得到超纯三氯氢硅产品的同时大幅度降低能耗，减少设备投资。
Description
技术领域
本发明属于精馏技术领域，涉及超纯三氯氢硅提纯的新型节能分离装置，特别涉及一种分离超纯三氯氢硅的热泵精馏间壁塔的设备装置以及操作方法。
背景技术
太阳能作为一种清洁环保的可再生能源，被认为是未来重要的替代能源。目前太阳能的直接利用形式主要是太阳能发电，而其核心器件则是太阳能电池。制作太阳能电池的主要材料就是多晶硅。随着近几年光伏产业的兴起，对多晶硅的需求不断增长。鉴于目前我国已成为世界第二大石油进口国，传统能源压力很大，由此进一步促使光伏产业加速发展。目前国内多晶硅的生产主要以西门子法为主，通过还原三氯氢硅制备多晶硅，因而三氯氢硅的提纯对于最终产品的质量以及成本有决定作用。目前对于三氯氢硅的提纯主要使用精馏法。精馏是化学工业中最主要的分离方法，传统的精馏分离设备及工艺流程存在着能耗大、设备投资大等缺陷。传统的精馏操作，塔釜需要外界热源提供能量，塔顶蒸汽的潜热需要冷却剂进行转移，因此该部分能量得不到充分的利用。对于含有轻重杂质的三氯氢硅原料，往往需要多个精馏塔分别脱除不同的杂质才能得到高纯度的三氯氢硅。
热泵精馏间壁塔装置结合了热泵精馏和间壁塔的优点，在一个塔中的不同位置得到不同的产品，使用塔顶蒸汽流股与塔釜液体流股进行换热，有效利用塔顶蒸汽潜热。针对目前三氯氢硅分离中存在的能耗大，所需分离塔数目多的问题，提出使用热泵精馏间壁塔作为提纯三氯氢硅的设备，结合三氯氢硅原料的性质，制定合理的工艺参数，包括理论塔板数、回流比、塔顶压力、塔顶液体分配比(进料段的液体回流量与塔顶总回流量之比)以及塔釜气体分配比(进料段气体上升量与塔釜总上升气量之比)等，得到高纯度的三氯氢硅产品，并且降低分离过程的能耗，具有占地小，投资费用低，可操作性强等优点。
目前，天津大学的研究人员在三氯氢硅分离上已经开发出多种设备及流程，在专利CN101249312A、CN101538044A、CN101704524A、CN102153092A和CN101786630A中均有所体现，但都为多塔流程，在此领域尚无热泵精馏间壁塔装置的应用实例。如果将热泵精馏间壁塔装置用于三氯氢硅的提纯，对多晶硅产业的发展具有重大意义，降低耗能，降低产品成本，推动太阳能电池的普及。
发明内容
本发明的目的，是提出一种全新的超纯三氯氢硅(产品纯度在99.999％以上)的分离装置及其相应的操作方法：该装置集合了热泵精馏和间壁塔的特点，结合优化过的操作参数，相比于传统的精馏塔，在得到高纯度三氯氢硅的前提下，降低了能耗及设备投资。
本发明是通过以下技术方案加以实现的：
一种超纯三氯氢硅分离的热泵精馏间壁塔装置，包括间壁塔(1)、冷凝再沸器(15)；在间壁塔(1)中，隔板将塔分为预分离塔和主塔两部分，预分离塔由进料段精馏段(4)和进料段提馏段(5)组成，主塔部分由侧线产品段精馏段(6)和侧线产品段提馏段(7)组成；预分离塔的理论板数在160～320块，进料位置在60～110块理论板，主塔的理论板数在150～230块，侧线采出的位置在60～80块理论板。
本发明的超纯三氯氢硅分离的热泵精馏间壁塔的操作方法；含有轻重杂质的进料流股(10)进入间壁塔(1)的进料段，在进料段精馏段(4)和进料段提馏段(5)完成轻重组分的分离；含有轻组分杂质和三氯氢硅的流股进入到塔顶分离段(2)、侧线产品段精馏段(6)和侧线产品段提馏段(7)进一步分离，最终在侧线处得到超纯三氯氢硅。
热泵精馏间壁塔的回流比在10～30，塔顶压力为80kpa～320kpa，塔顶的液体分配比在25％～40％，塔釜的气体分配比在40％～55％，压缩机能耗在300kw～650kw，换热器所需冷量在150kw～650kw。
能量利用方面，在塔底分离段(3)处的塔釜流股(12)含有较多的四氯化硅，塔顶气相流股(9)含有较多的二氯二氢硅，塔顶气相流股(9)通过压缩机(8)提高压力温度后进入到冷凝再沸器(15)中与塔釜流股(12)进行换热。经过换热，塔釜流股(12)液体受热部分汽化，而后塔釜流股(12)进入到分离罐(21)中，分离罐中的气体作为塔釜再沸流股(14)重新进入间壁塔(1)中，液体作为塔釜液相流股(13)采出；同样经过换热，塔顶气相流股(9)中气体部分液化，而后依次经过减压阀(20)和换热器(18)后全部冷凝为液体，液化后的塔顶气相流股(9)通过泵(16)一部分作为塔顶回流流股(17)重新进入间壁塔(1)中，余下的部分作为塔顶采出流股(19)，整个过程通过冷凝再沸器(15)完成了热量的耦合。
本发明的特征在于提出一种新的三氯氢硅分离的热泵精馏间壁塔精馏方法，利用在普通精馏塔中设置挡板，将塔分为塔顶分离段(2)、塔底分离段(3)、进料段(包括进料段精馏段(4)和进料段提馏段(5))以及侧线产品段(包括侧线产品段精馏段(6)和侧线产品段提馏段(7))，并且通过冷凝再沸器实现塔顶和塔底之间的气液流股间的热耦合，在侧线处得到超纯度的三氯氢硅产品，将原来需要两塔甚至更多塔分别进行脱轻脱重操作的提纯方法改为在一个塔中进行，并且将原来需要外部公用工程提供的绝大部分冷量和热量改为通过内部热耦合来实现。
本发明的效果和优点，通过塔内气液流股的能量耦合，充分利用塔顶气体的潜热，减少外部热源提供的能量，最终完全脱除轻重杂质，得到高纯度的三氯氢硅，相比于传统的精馏序列，将冷凝器和再沸器集成为一个冷凝再沸器而且减少了精馏塔的数量，显著降低了设备投资费用。
附图说明
图1为本发明的超纯三氯氢硅分离的热泵精馏间壁塔装置结构和工艺流程。
其中，1-间壁塔，2-塔顶分离段，3-塔底分离段，4-进料段精馏段，5-进料段提馏段，6-侧线产品段精馏段，7-侧线产品段提馏段，8-压缩机，9-塔顶气相流股，10-进料流股，11-侧线产品(三氯氢硅)流股，12-塔釜流股，13-塔釜液相流股，14-塔釜再沸流股，15-冷凝再沸器，16-泵，17-塔顶回流流股，18-换热器，19-塔顶采出流股，20-降压阀，21-分离罐。
具体实施方式
下面结合实施例及附图对本发明作进一步阐述，但并不对本发明产生任何限制。
本发明提出的超纯三氯氢硅分离的热泵精馏间壁塔精馏装置，是由一座间壁塔和一个冷凝再沸器组成，此外还包括压缩机、泵、相应的物料管线以及控制阀门。针对含有二氯二氢硅、四氯化硅杂质的三氯氢硅原料，采用如附图1所示的装置，在间壁塔(1)中，隔板将塔分为预分离塔和主塔两部分，预分离塔由进料段精馏段(4)和进料段提馏段(5)组成，主塔部分由侧线产品段精馏段(6)和侧线产品段提馏段(7)组成；预分离塔的理论板数在160～320块，进料位置在60～110块理论板，主塔的理论板数在150～230块，侧线采出的位置在60～80块理论板。
具体操作方法如下：含有三氯氢硅的进料流股(10)进入间壁塔(1)中，在塔顶引出塔顶气相流股(9)经过压缩机(8)提高温度和压力后进入到冷凝再沸器(15)中，与来自塔釜的塔釜流股(12)进行换热。塔顶气相流股(9)中的气体部分液化，在依次经过降压阀(20)和换热器(18)后全部液化，液化后的塔顶气相流股(12)经过泵(16)一部分作为塔顶采出流股(19)，另一部分作为塔顶回流流股(17)再次进入到间壁塔(1)中；塔釜流股(12)在冷凝再沸器(15)中受热，部分液体汽化后进入到分离罐(21)中，其中的气体作为塔釜再沸流股(14)再次进入到间壁塔(1)中，液体作为塔釜液相流股(13)采出。通过塔顶分离段(2)，进料段(包括进料段精馏段(4)和进料段提馏段(5))，采出段(侧线产品段精馏段(6)和侧线产品段提馏段(7))以及塔底分离段(3)的分离，在侧线的合适位置引出侧线流股，最终得到超纯的三氯氢硅产品。
实施例1：以含有二氯二氢硅、三氯氢硅和四氯化硅成分的原料为例，饱和液体以10000kg/hr流量进入隔板塔，物系组成(二氯二氢硅10％、三氯氢硅80％以及四氯化硅10％)。隔板塔主塔理论板数210块，预分离塔理论板数300块，进料位置为预分离塔的第85块理论板，回流比为14.5，侧线采出位置在主塔的第72块理论板，塔顶压力为100kpa，塔顶液体分配比28.9％，塔釜气体分配比51.9％。得到三氯氢硅流股的纯度为99.999943％，收率达到91.25％，压缩机能耗为501.25kw，换热器所需冷量为-471.00kw。
实施例2：以含有二氯二氢硅、三氯氢硅和四氯化硅成分的原料为例，饱和液体以10000kg/hr流量进入隔板塔，物系组成(二氯二氢硅10％、三氯氢硅80％以及四氯化硅10％)。隔板塔主塔理论板数160块，预分离塔理论板数200块，进料位置为预分离塔的第70块理论板，回流比为14，侧线采出位置在主塔的第68块理论板，塔顶压力为280kpa，塔顶液体分配比39.4％，塔釜气体分配比43.5％。得到三氯氢硅流股的纯度为99.999171％％，收率达到90.62％，压缩机能耗为331.97kw，换热器所需冷量为-227.31kw。
实施例3：以含有二氯二氢硅、三氯氢硅和四氯化硅成分的原料为例，饱和液体以10000kg/hr流量进入隔板塔，物系组成(二氯二氢硅10％、三氯氢硅80％以及四氯化硅10％)。隔板塔主塔理论板数150块，预分离塔理论板数180块，进料位置为预分离塔的第70块理论板，回流比为12.5，侧线采出位置在主塔的第70块理论板，塔顶压力为300kpa，塔顶液体分配比35.4％，塔釜气体分配比41.4％。得到三氯氢硅流股的纯度为99.999334％，收率达到89.99％，压缩机能耗为313.22kw，换热器所需冷量为-204.64kw。
实施例4：以含有二氯二氢硅、三氯氢硅和四氯化硅成分的原料为例，饱和液体以10000kg/hr流量进入隔板塔，物系组成(二氯二氢硅4％、三氯氢硅92％以及四氯化硅4％)。隔板塔主塔理论板数150块，预分离塔理论板数180块，进料位置为预分离塔的第100块理论板，回流比为25.4，侧线采出位置在主塔的第60块理论板，塔顶压力为100kpa，塔顶液体分配比31.0％，塔釜气体分配比47.5％。得到三氯氢硅流股的纯度为99.999997％，收率达到89.51％，压缩机能耗为512.71kw，换热器所需冷量为-488.15kw。
Claims (3)
1.超纯三氯氢硅分离的热泵精馏间壁塔装置，包括间壁塔(1)、冷凝再沸器(15)；其特征是在塔(1)中，隔板将塔分为预分离塔和主塔两部分，预分离塔由进料段精馏段(4)和提馏段(5)组成，主塔部分由侧线产品段精馏段(6)和提馏段(7)组成；预分离塔的理论板数在160～320块，进料位置在60～110块理论板，主塔的理论板数在150～230块，侧线采出的位置在60～80块理论板。
2.权利要求1的超纯三氯氢硅分离的热泵精馏间壁塔的操作方法；其特征为，含有轻重杂质的三氯氢硅原料(10)进入间壁塔(1)的进料段，在进料段的精馏段(4)和提馏段(5)完成轻重组分的分离；含有轻组分杂质和三氯氢硅的流股进入到塔顶段(2)、侧线产品段精馏段(6)和提馏段(7)进一步分离，最终在侧线采出得到超纯三氯氢硅；塔顶汽体流股(9)和塔釜液体流股(12)在冷凝再沸器(15)中进行换热，流股(12)部分汽化，进入到分离罐(21)中，其中的汽体流股作为塔釜再沸汽进入到塔(1)中，液体流股作为塔釜重组分杂质采出；汽体流股(9)换热后部分液化，依次经过降压阀(20)和换热器(18)后全部液化，液体流股(9)通过泵(16)一部分作为塔顶回流液进入到塔(1)中，另一部分作为塔顶轻组分杂质采出。
3.如权利要求2所述方法，其特征是热泵精馏间壁塔的回流比在10～30，塔顶压力为80kpa～320kpa，塔顶的液体分配比在25％～40％，塔釜的气体分配比在40％～55％，压缩机能耗在300kw～650kw，换热器所需冷量在150kw～650kw。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2012100439984A CN102616789B (zh) | 2012-02-24 | 2012-02-24 | 超纯三氯氢硅分离的热泵精馏间壁塔装置及操作方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2012100439984A CN102616789B (zh) | 2012-02-24 | 2012-02-24 | 超纯三氯氢硅分离的热泵精馏间壁塔装置及操作方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN102616789A true CN102616789A (zh) | 2012-08-01 |
| CN102616789B CN102616789B (zh) | 2013-12-11 |
Family
ID=46557075
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN2012100439984A Expired - Fee Related CN102616789B (zh) | 2012-02-24 | 2012-02-24 | 超纯三氯氢硅分离的热泵精馏间壁塔装置及操作方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN102616789B (zh) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102807223A (zh) * | 2012-08-17 | 2012-12-05 | 中国天辰工程有限公司 | 一种三氯氢硅精制方法 |
| CN102826553A (zh) * | 2012-08-17 | 2012-12-19 | 中国天辰工程有限公司 | 一种氯硅烷混合物的分离方法 |
| CN102923714A (zh) * | 2012-11-05 | 2013-02-13 | 天津大学 | 一种用于多晶硅生产的隔壁热耦合精馏方法及设备 |
| CN113651294A (zh) * | 2021-07-02 | 2021-11-16 | 北京化工大学 | 电子级氢氟酸的连续化制备系统及方法 |
| CN115043869A (zh) * | 2022-06-08 | 2022-09-13 | 宁夏福瑞硅烷材料有限公司 | 一种制备高纯度乙烯基三甲氧基硅烷的方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN202499718U (zh) * | 2012-02-24 | 2012-10-24 | 天津大学 | 超纯三氯氢硅分离的热泵精馏间壁塔装置 |
-
2012
- 2012-02-24 CN CN2012100439984A patent/CN102616789B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN202499718U (zh) * | 2012-02-24 | 2012-10-24 | 天津大学 | 超纯三氯氢硅分离的热泵精馏间壁塔装置 |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102807223A (zh) * | 2012-08-17 | 2012-12-05 | 中国天辰工程有限公司 | 一种三氯氢硅精制方法 |
| CN102826553A (zh) * | 2012-08-17 | 2012-12-19 | 中国天辰工程有限公司 | 一种氯硅烷混合物的分离方法 |
| CN102807223B (zh) * | 2012-08-17 | 2014-03-26 | 中国天辰工程有限公司 | 一种三氯氢硅精制方法 |
| CN102923714A (zh) * | 2012-11-05 | 2013-02-13 | 天津大学 | 一种用于多晶硅生产的隔壁热耦合精馏方法及设备 |
| CN113651294A (zh) * | 2021-07-02 | 2021-11-16 | 北京化工大学 | 电子级氢氟酸的连续化制备系统及方法 |
| CN113651294B (zh) * | 2021-07-02 | 2024-01-02 | 北京化工大学 | 电子级氢氟酸的连续化制备系统及方法 |
| CN115043869A (zh) * | 2022-06-08 | 2022-09-13 | 宁夏福瑞硅烷材料有限公司 | 一种制备高纯度乙烯基三甲氧基硅烷的方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN102616789B (zh) | 2013-12-11 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN102583393B (zh) | 一种三氯氢硅提纯的双热泵精馏装置及操作方法 | |
| CN101704524B (zh) | 高纯三氯氢硅热泵精馏生产装置和方法 | |
| CN101780958B (zh) | 三氯氢硅和四氯化硅的精馏方法 | |
| CN101857606B (zh) | 甲基氯硅烷并联双效精馏方法 | |
| JP5425055B2 (ja) | ホウ素を含有するクロロシラン流の後処理法 | |
| CN102616789B (zh) | 超纯三氯氢硅分离的热泵精馏间壁塔装置及操作方法 | |
| JP6518233B2 (ja) | 三成分または多成分混合物の蒸留による分離のための方法および装置 | |
| CN102826553B (zh) | 一种氯硅烷混合物的分离方法 | |
| CN102923714A (zh) | 一种用于多晶硅生产的隔壁热耦合精馏方法及设备 | |
| CN202499719U (zh) | 一种三氯氢硅提纯的双热泵精馏装置 | |
| CN103896281A (zh) | 一种完全热耦合精馏提纯四氯化硅的方法 | |
| CN102807223B (zh) | 一种三氯氢硅精制方法 | |
| CN105502409B (zh) | 全回流精馏提纯光纤级四氯化硅的方法及装置 | |
| CN102807222B (zh) | 一种四氯化硅提纯方法 | |
| CN202499718U (zh) | 超纯三氯氢硅分离的热泵精馏间壁塔装置 | |
| CN102701216A (zh) | 一种二氯二氢硅除杂方法 | |
| CN102285658B (zh) | 超纯三氯氢硅制备的多级全热耦合精馏生产装置和工艺方法 | |
| CN202924742U (zh) | 一种二氯二氢硅除杂设备 | |
| CN106115719B (zh) | 氯硅烷精馏提纯过程中热量梯级利用的系统及方法 | |
| CN202898052U (zh) | 三氟化硼-11电子特气的生产装置 | |
| CN102134080B (zh) | 采用静态混合升压器提纯三氯氢硅热泵节能分离装置和方法 | |
| CN108502889A (zh) | 多晶硅冷氢化产品分离及提纯装置及方法 | |
| CN103130227A (zh) | 三氯氢硅全热耦合集成多效精馏生产装置及生产方法 | |
| CN111202999B (zh) | 一种从三甲苯异构化反应生成油中提取高纯度均三甲苯产品的精馏装置及方法 | |
| CN204022481U (zh) | 一种四氯化硅提纯系统 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20131211 |