CN102549339A

CN102549339A - 蓄热式燃烧器的燃烧设备以及燃烧方法

Info

Publication number: CN102549339A
Application number: CN2010800471599A
Authority: CN
Inventors: 松浦光纪; 田中智之; 藤森俊郎
Original assignee: IHI Corp
Current assignee: IHI Corp
Priority date: 2009-10-23
Filing date: 2010-10-18
Publication date: 2012-07-04
Anticipated expiration: 2030-10-18
Also published as: JP2011089723A; KR20120066045A; TW201124678A; JP5509785B2; EP2492594A4; TWI417489B; CN102549339B; WO2011049032A1; KR101485967B1; EP2492594A1

Abstract

本发明的蓄热式燃烧器的燃烧设备（1）具有炉体（2）以及设置在炉体内的具备蓄热体（12A、12B）的一对燃烧器（11A、11B），使前述一对燃烧器在炉内交替燃烧，并从非燃烧状态的燃烧器将炉内的燃烧废气抽吸出来，使热量积蓄在该燃烧器的蓄热体中，向燃烧状态的燃烧器（11A）供给既定量的燃烧用气体，对该燃烧器的蓄热体（12B）进行冷却，同时通过该蓄热体的散热对燃烧用气体进行预热，具有气体供给装置（31），将不会对燃烧产生外部扰乱的非燃烧用气体与既定量的燃烧用气体一起向燃烧状态的前述燃烧器供给，从而对该燃烧器的蓄热体进行冷却。

Description

蓄热式燃烧器的燃烧设备以及燃烧方法

技术领域

本发明涉蓄热式燃烧器的燃烧设备以及燃烧方法。

本申请依据2009年10月23日在日本申请的特愿2009-244381号要求优先权，其内容引用于此。

背景技术

为实现工业炉的节能化而提出的蓄热式燃烧器（regenerative burner）方案是将具备蓄热体的一对燃烧器设置在炉侧壁等处，在以一方的燃烧器使燃料气体与含有氧气的燃烧用气体（燃烧用空气）的混合气体燃烧时，从另一方的燃烧器将燃烧废气穿过蓄热体排出而对蓄热体进行加热。并且，通过以数十秒～数分钟的间隔使上述两个燃烧器的状态频繁交替，使得燃烧与燃烧废气的排出交替进行，燃烧用气体在从被燃烧废气加热了的蓄热体中通过时被预热。由此，实现高的废热回收效率，谋求节能化。作为使用该蓄热式燃烧器的燃烧设备，例如可列举出下述专利文献1所记载的蓄热式燃烧器设置炉。

专利文献1：特开2007-3036号公报

但是，在上述燃烧设备中，不能够使炉内发生的燃烧废气全部流经蓄热体。也就是说，与燃烧用气体的供给量相比燃烧废气的发生量要大，因而有由燃烧废气积蓄在蓄热体中的热量不能够全部通过燃烧用气体的预热散发掉，蓄热体温度上升过高而烧损的可能性。

因此，为了避免蓄热体温度上升过高，过去是将燃烧废气的总发生量的约20%作为泄放气体（escape gas）不穿过蓄热体而保持高温状态排放到系统外。但是，从废热回收效率及节能化的观点来说，不希望有泄放气体的排放。

要想降低泄放气体的排放量，就必须防止蓄热体的温度上升过高。例如可以考虑这样一种运行方法，即制造时间差使得燃烧时间（散热时间）比非燃烧时间（蓄热时间）长，但这种方法因无法取得质量平衡（mass balance）而不可能实现。

发明内容

本发明是鉴于上述问题而提出的，其目的是提供一种能够降低泄放气体的排放量，谋求高的废热回收效率以及节能化的蓄热式燃烧器的燃烧设备以及燃烧方法。

为了解决上述问题，本发明采用了以下的方案。即，

（1）本发明的蓄热式燃烧器的燃烧设备具有炉体以及设置在炉体上的具备蓄热体的一对燃烧器，使前述一对燃烧器在炉内交替燃烧，并从非燃烧状态的燃烧器将炉内的燃烧废气抽吸出来，使热量积蓄在该燃烧器的蓄热体中，向燃烧状态的燃烧器供给既定量的燃烧用气体，对该燃烧器的蓄热体进行冷却，同时通过该蓄热体的散热对该燃烧用气体进行预热，其中具有气体供给装置，将不会对燃烧产生外部扰乱的非燃烧用气体与既定量的燃烧用气体一起向燃烧状态的前述燃烧器供给，从而对该燃烧器的蓄热体进行冷却。

（2）在上述（1）所记载的蓄热式燃烧器的燃烧设备中，也可以还具有：排气管线，将未从非燃烧状态的燃烧器抽吸出来而残存的燃烧废气向炉外进行排气的；冷却、热量回收器，在对从前述排气管线排气的前述燃烧废气进行冷却的同时进行热量回收；以及非燃烧用气体供给装置，将前述热量回收后的前述燃烧废气作为前述非燃烧用气体向前述气体供给装置供给。

（3）在上述（1）所记载的蓄热式燃烧器的燃烧设备中，也可以还具有：排气管线，将未从非燃烧状态的燃烧器抽吸出来而残存的燃烧废气向炉外进行排气；锅炉，在对从前述排气管线排气的前述燃烧废气进行冷却的同时进行热量回收而生成水蒸气；以及第2非燃烧用气体供给装置，将前述热量回收后的前述燃烧废气以及前述生成的前述水蒸气之中的至少任意一种作为前述非燃烧用气体向前述气体供给装置供给。

（4）在上述（1）～（3）之任意一项所记载的蓄热式燃烧器的燃烧设备中，也可以具有第3非燃烧用气体供给装置，将惰性气体作为前述非燃烧用气体向前述气体供给装置供给。

（5）本发明的蓄热式燃烧器的燃烧方法具有：蓄热工序，使具有蓄热体的一对燃烧器在炉内交替燃烧，并从非燃烧状态的燃烧器将炉内的前述燃烧废气抽吸出来，使热量积蓄在该燃烧器的蓄热体中；燃烧用气体预热工序，向燃烧状态的燃烧器供给既定量的前述燃烧用气体，对该燃烧器的蓄热体进行冷却，同时通过该蓄热体的散热对该燃烧用气体进行预热；以及气体供给工序，将不会对燃烧产生外部扰乱的非燃烧用气体与前述既定量的燃烧用气体一起向前述燃烧状态的燃烧器供给，对该燃烧器的蓄热体进行冷却。

（6）在上述（5）所记载的蓄热式燃烧器的燃烧方法中，也可以还具有：排气工序，将未从前述非燃烧状态的燃烧器抽吸出来而残存的燃烧废气向炉外进行排气；冷却、热量回收工序，在对在前述排气工序中排气的前述燃烧废气进行冷却的同时进行热量回收；以及非燃烧用气体供给工序，将前述热量回收后的前述燃烧废气作为前述非燃烧用气体向前述气体供给工序供给。

（7）在上述（5）所记载的蓄热式燃烧器的燃烧方法中，也可以还具有：排气工序，将未从前述非燃烧状态的燃烧器抽吸出来而残存的燃烧废气向炉外进行排气；冷却、热量回收工序，在对在前述排气工序中被排气的前述燃烧废气进行冷却的同时进行热量回收而生成水蒸气；以及第2非燃烧用气体供给工序，将前述热量回收后的前述燃烧废气以及前述生成的前述水蒸气之中的至少任意一种作为前述非燃烧用气体向前述气体供给工序供给。

（8）在上述（5）～（7）之任意一项所记载的蓄热式燃烧器的燃烧方法中，也可以还具有第3非燃烧用气体供给工序，将惰性气体作为前述非燃烧用气体向前述气体供给装置供给。

根据本发明的蓄热式燃烧器的燃烧设备以及蓄热式燃烧器的燃烧方法，由于具有气体供给装置以及气体供给工序，从而除了像过去那样既定量的燃烧用气体进行的蓄热体的冷却之外，还进行无助于燃烧的非燃烧用气体进行的蓄热体的冷却。由此，增加蓄热体的散热量，防止蓄热体的温度上升过高。当蓄热体的散热量增加时，蓄热体能够积蓄与其散热量相匹配的热量，因而与过去相比，能够使燃烧废气流经蓄热体，其结果，能够降低泄放气体的排放量。此外，由于非燃烧用气体无助于燃烧，因而燃烧废气的发生量不会增加到非燃烧用气体的供给量以上。

因此，本发明能够降低泄放气体的排放量，谋求高的废热回收效率以及节能化。

附图说明

图1是对使用了本发明的实施方式中的蓄热式燃烧器的加热炉的结构进行展示的附图；

图2是对使用了本发明的实施方式中的蓄热式燃烧器的加热炉的结构进行展示的附图。

附图标记说明：

1：加热炉（蓄热式燃烧器的燃烧设备），10：蓄热式燃烧器，11A、11B：燃烧器，12A、12B：蓄热体，31：燃烧用鼓风机（气体供给装置），50：泄放气体管线（排气管线），51：冷却、热量回收器（锅炉），60：非燃烧用气体供给装置。

具体实施方式

下面，参照附图对本发明的蓄热式燃烧器的燃烧设备以及燃烧方法的实施方式进行说明。

图1及图2是对本发明的实施方式中的加热炉1的结构进行展示的附图。

加热炉（蓄热式燃烧器的燃烧设备）1具有炉体2，炉体2被由耐热性混凝土等耐火物形成的炉壁包围。炉体2内配置钢材等被热处理品。

一组蓄热式燃烧器10设置成从炉体2的侧壁内部向外部伸出。蓄热式燃烧器10具有成对的燃烧器11A及燃烧器11B。蓄热式燃烧器10使成对的燃烧器11A及燃烧器11B交替进行燃烧与抽吸（参照图1及图2）。此外，炉内设置有计量炉内压力的炉压传感器及炉温传感器，其计量信息送往控制装置（均未图示）。控制装置具有对加热炉1所具备的各结构装置的动作进行综合控制的计算机系统，对加热炉1的运行进行全面控制。

燃烧器11A中设置有蓄热体12A，燃烧器11B中设置有蓄热体12B。蓄热体12A及蓄热体12B例如可采用填充陶瓷珠的形态或将陶瓷做成蜂窝状的形态等。

燃烧器11A及燃烧器11B上连接有供给燃料气体的第1气体供给管线20，以及与燃烧用气体（燃烧用空气）一起供给后述的非燃烧用气体（燃烧废气）的第2气体供给管线30。第1气体供给管线20在比蓄热体12A、12B更靠近炉体2一侧的位置与各燃烧器11A、11B连接。燃烧用鼓风机（气体供给装置）31在一定的压力下将燃烧用气体与非燃烧用气体向第2气体供给管线30供给。即，在燃烧器处于燃烧状态时，以燃烧用鼓风机31将不会对燃烧产生外部扰乱的非燃烧用气体与既定量的燃烧用气体一起供给，从而能够对该燃烧器的蓄热体进行冷却。第2气体供给管线30配管成将被燃烧用鼓风机31压送过来的气体穿过蓄热体12A、12B向各燃烧器11A、11B供给。

第1气体供给管线20上设置有将气体的供给向燃烧器11A或燃烧器11B进行切换的控制阀22A、22B。此外，第2气体供给管线30上设置有将燃烧用鼓风机31进行的气体的供给向燃烧器11A或燃烧器11B进行切换的控制阀32A、32B。根据该结构，燃烧器11A、11B在使既定量的燃烧用气体与所供给的燃料气体混合而燃烧的同时，通过流量调整对燃烧状态及炉内温度进行控制。

此外，燃烧器11A及燃烧器11B上连接有对炉内发生的燃烧废气进行抽吸而向炉外进行排气的废气管线40。废气管线40配管成将被排气扇41抽吸出来的气体穿过蓄热体12A、12B向外部排放。废气管线40上设置有控制阀42A、42B，将通过排气扇41进行的气体抽吸的源头切换成从燃烧器11A抽吸或从燃烧器11B抽吸。

炉体2上设置有泄放气体管线（排气管线）50，该泄放气体管线50将炉内的燃烧废气的一部分（泄放气体）不穿过燃烧器11A、11B向炉外进行排气。泄放气体管线50上设置有在对作为泄放气体而排气到炉外的燃烧废气进行冷却的同时进行热量回收的冷却、热量回收器51。本实施方式的冷却·热量回收器51采用在燃烧废气与水之间进行热交换从而生成水蒸气的锅炉的形态。另外，作为冷却、热量回收器51的形态，可以采用管壳型热交换器、散热片型热交换器等众所周知的形态。

此外，在泄放气体管线50（escape gas line）的设置冷却·热量回收器51的位置的下游侧设置有非燃烧用气体供给装置60，该非燃烧用气体供给装置60将经过热量回收的燃烧废气的一部分经由泄放气体回送管线61向燃烧用鼓风机31供给并将经过热量回收的燃烧废气的剩余部分向外部排放。非燃烧用气体供给装置60包括鼓风机等压送装置、用来对燃烧废气的回送流量进行控制的流量控制装置以及配管等（均未图示）。

下面，对上述结构的加热炉1的工作原理进行说明。

在将铁或不锈钢等钢材搬入炉内后，依据来自控制装置的指令，如图1所示地将控制阀22A及控制阀32A打开，使燃烧器11A处于燃烧状态。此时，控制阀22B及控制阀32B被关闭。

当随着燃烧器11A的燃烧炉内被加热时，其燃烧废气从非燃烧状态的燃烧器11B抽吸出来。此时，控制阀42B打开而控制阀42A关闭。从燃烧器11B抽吸出来的燃烧废气（约1200℃左右）穿过蓄热体12B，其热量被吸收而冷却并向外部排放。此时，通过燃烧废气的穿过产生的蓄热，蓄热体12B从约250℃左右升高到约1200℃左右（蓄热工序）。

一旦到达设定时间（例如30秒），便依据来自控制装置的指令，如图2所示地将燃烧从燃烧器11A切换到燃烧器11B。即，将控制阀22A及控制阀32A关闭，将控制阀22B及控制阀32B打开。并且，将控制阀42B关闭，将控制阀42A打开。向燃烧器11B供给的燃烧用气体（约30℃左右）在穿过蓄热体12B时被预热，升温至接近于炉温的温度（燃烧用气体预热工序）。另一方面，蓄热体12B通过燃烧用气体的穿过而产生的散热从约1200℃左右降温至约250℃左右。并且，在燃烧器11A处，对燃烧废气进行抽吸而使热量积蓄在蓄热体12A中。

通过反复持续地进行上述燃烧循环，炉内被加热。

在上述加热炉1中，因燃烧循环反复进行，因而不能够使炉内所发生的所有燃烧废气流向蓄热体12A、12B。因此，将燃烧废气的总发生量的约20%作为泄放气体而不穿过蓄热体12A、12B地保持原本的高温（约1200℃左右）经由泄放气体管线50向炉外排气（排气工序）。

经由泄放气体管线50排气到炉外的燃烧废气被导入冷却、热量回收器51。在冷却、热量回收器51中作为冷媒供给有水，燃烧废气通过与水之间进行热交换而从约1200℃左右冷却至约300℃左右（冷却、热量回收工序）。冷却、热量回收器51通过将燃烧废气的废热如上所述进行回收而生成水蒸气。在冷却、热量回收器51中生成的水蒸气例如被输送到其它热处理设备中在热处理工艺的过程中使用。

在冷却、热量回收器51中经过了热量回收的燃烧废气被导入非燃烧用气体供给装置60。非燃烧用气体供给装置60在将经过热量回收的燃烧废气的一部分经由泄放气体回送管线61向燃烧用鼓风机31供给的同时将经过热量回收的燃烧废气的剩余部分排放到外部（非燃烧用气体供给工序）。

经由泄放气体回送管线61供给到燃烧用鼓风机31的低温（约300℃左右）的燃烧废气由燃烧用鼓风机31与既定量的燃烧用气体一起向燃烧状态的燃烧器11A、11B中的某一个供给。

在如图1所示燃烧废气供给至燃烧器11A的情况下，燃烧废气与燃烧用气体一起进行蓄热体12A的冷却（气体供给工序）。由于燃烧用鼓风机31将燃烧废气与燃烧用气体一起供给，因而相对于蓄热体12A的气体供给量增加、冷却能力提高。即，由于蓄热体12A中除了有助于燃烧的既定量的燃烧用气体之外，还供给无助于燃烧的既定量的低温的燃烧废气，因而蓄热体12A的散热量增加，防止蓄热体12A的温度上升过高。穿过蓄热体12A而被预热的燃烧废气被再次吹入炉内，但无助于燃烧却专门有助于维持炉内温度。此外，通过如上所述使燃烧废气进行循环，能够降低系统内氮氧化物（NOx）的发生。

在如图2所示燃烧从燃烧器11A切换到燃烧器11B的情况下，在燃烧器11A处，对燃烧废气进行抽吸而使热量积蓄在蓄热体12A中。在这里，蓄热体12A处的散热量仅增加与燃烧废气的供给量相应的散热量。由于蓄热体12A能够积蓄与散热量相匹配的热量，因而能够使更多的燃烧废气流经蓄热体12A。其结果，能够降低泄放气体的排放量。此外，由于燃烧废气无助于燃烧，因而炉内发生的燃烧废气量不会增加到燃烧废气的供给量以上，取得了系统内的质量平衡。

因此，根据本实施方式的加热炉1，在使具备蓄热体12A、12B的成对的燃烧器11A、11B在炉内交替进行燃烧的同时，从非燃烧状态的燃烧器对炉内的燃烧废气进行抽吸而使热量积蓄在该燃烧器的蓄热体中。而且，向燃烧状态的燃烧器供给既定量的燃烧用气体，对该燃烧器的蓄热体进行冷却，同时通过该蓄热体的散热对该燃烧用气体进行预热。具有将不会对燃烧产生外部扰乱的非燃烧用气体与上述既定量的燃烧用气体一起向燃烧状态的燃烧器11A、11B供给，对该燃烧器的蓄热体进行冷却的燃烧用鼓风机31。

通过采用该结构，在本发明中，除了像过去那样既定量的燃烧用气体进行的蓄热体12A、12B的冷却之外，还进行无助于燃烧的非燃烧用气体进行的蓄热体12A、12B的冷却。由此，增加蓄热体12A、12B的散热量，防止蓄热体12A、12B的温度上升过高。当蓄热体12A、12B的散热量增加时，蓄热体12A、12B便能够积蓄与其散热量相匹配的热量，因此，与过去相比能够使燃烧废气流经蓄热体12A、12B，其结果，能够降低泄放气体的排放量。此外，由于非燃烧用气体无助于燃烧，因而燃烧废气的发生量不会增加到非燃烧用气体的供给量以上。

此外，根据本实施方式的加热炉1，还具有：将未从非燃烧状态的燃烧器11A、11B抽吸出来而残存的燃烧废气向炉外排气的泄放气体管线50；对从泄放气体管线50排气的燃烧废气进行冷却并进行热量回收的冷却、热量回收器51；以及将经过上述热量回收的燃烧废气作为上述非燃烧用气体向燃烧用鼓风机31供给的非燃烧用气体供给装置60。

通过采用该结构，在本发明中，将未从非燃烧状态的燃烧器11A、11B抽吸出来而残存的燃烧废气从非燃烧用气体供给装置60排出到炉外后进行热量回收，将温度降低状态的燃烧废气作为非燃烧用气体向燃烧用鼓风机31供给。由此，使蓄热体的散热量增加，防止蓄热体的温度上升过高。此外，通过燃烧废气的循环能够降低系统内氮氧化物（NOx）的发生。

以上，参照附图对本发明的优选的实施方式进行了说明，但本发明并不仅限于上述实施方式。上述实施方式中所展示的各结构部件的诸形状和组合等只是一个例子，在不超出本发明宗旨的范围内可以依据设计要求等进行各种变更。

例如，作为非燃烧用气体，在上述实施方式中就使用燃烧废气进行了说明，但并不仅限于该结构。

例如，作为非燃烧用气体，也可以使用由冷却、热量回收器51生成的水蒸气。即，也可以取代在上述泄放气体管线50上设置冷却、热量回收器51而设置对从上述排气管线排气的上述燃烧废气进行冷却的同时进行热量回收而生成水蒸气的锅炉。通过设置锅炉，此处的非燃烧用气体供给装置（称作第2非燃烧用气体供给装置）将经过上述热量回收的上述燃烧废气及上述生成的上述水蒸气之中的至少任意一种作为上述非燃烧用气体向上述气体供给装置供给。

根据该结构，将未从非燃烧状态的燃烧器抽吸出来而残存的燃烧废气从排气管线排出炉外后进行热量回收而生成水蒸气，将温度降低状态的燃烧废气及生成的水蒸气之中的至少任意一种作为对蓄热体进行冷却的非燃烧用气体向气体供给装置供给。由此，能够增加蓄热体的散热量，防止蓄热体的温度上升过高。

此外，使用水蒸气除了具有上述作用效果之外，通过水蒸气的供给还能够抑制炉内的急剧燃烧，能够抑制氮氧化物（NOx）的发生量。此外，也可以将经过热量回收的燃烧废气与上述水蒸气一起作为非燃烧用气体使用。

此外，作为非燃烧用气体，即使使用惰性气体也能够得到与上述实施方式同样的作用效果。作为惰性气体，例如可以使用氩气、氦气、氮气等。另外，在作为非燃烧用气体使用惰性气体的情况下，必须另外配备惰性气体及供给惰性气体的非燃烧用气体供给装置（称作第3非燃烧用气体供给装置）。因此，从成本的观点来说，优选方案是，作为在上述加热炉1的燃烧过程中产生的气体、即作为非燃烧用气体，使用燃烧废气及水蒸气之中的至少任意一种。

根据该结构，除了像过去那样以既定量的燃烧用气体进行蓄热体的冷却之外，还以无助于燃烧的惰性气体进行蓄热体的冷却。由此，能够增加蓄热体的散热量，防止蓄热体的温度上升过高。

根据本发明的蓄热式燃烧器的燃烧设备及燃烧方法，能够降低泄放气体的排放量，谋求高的废热回收效率及节能化。

Claims

1.一种蓄热式燃烧器的燃烧设备，具有炉体以及设置在炉体上的具备蓄热体的一对燃烧器，使前述一对燃烧器在炉内交替燃烧，并从非燃烧状态的燃烧器将炉内的燃烧废气抽吸出来，使热量积蓄在该燃烧器的蓄热体中，向燃烧状态的燃烧器供给既定量的燃烧用气体，对该燃烧器的蓄热体进行冷却，同时通过该蓄热体的散热对该燃烧用气体进行预热，其特征是，

具有气体供给装置，将不会对燃烧产生外部扰乱的非燃烧用气体与既定量的燃烧用气体一起向燃烧状态的前述燃烧器供给，从而对该燃烧器的蓄热体进行冷却。

2.如权利要求1所记载的蓄热式燃烧器的燃烧设备，其特征是，还具有：

排气管线，将未从非燃烧状态的燃烧器抽吸出来而残存的燃烧废气向炉外进行排气；

冷却、热量回收器，在对从前述排气管线排气的前述燃烧废气进行冷却的同时进行热量回收；

非燃烧用气体供给装置，将前述热量回收后的前述燃烧废气作为前述非燃烧用气体向前述气体供给装置供给。

3.如权利要求1所记载的蓄热式燃烧器的燃烧设备，其特征是，还具有：

锅炉，在对从前述排气管线排气的前述燃烧废气进行冷却的同时进行热量回收而生成水蒸气；

第2非燃烧用气体供给装置，将前述热量回收后的前述燃烧废气以及前述生成的前述水蒸气之中的至少任意一种作为前述非燃烧用气体向前述气体供给装置供给。

4.如权利要求1至3之任一权利要求所记载的蓄热式燃烧器的燃烧设备，其特征是，具有第3非燃烧用气体供给装置，将惰性气体作为前述非燃烧用气体向前述气体供给装置供给。

5.一种蓄热式燃烧器的燃烧方法，其特征是，具有：

蓄热工序，使具有蓄热体的一对燃烧器在炉内交替燃烧，并从非燃烧状态的燃烧器将炉内的前述燃烧废气抽吸出来，使热量积蓄在该燃烧器的蓄热体中；

燃烧用气体预热工序，向燃烧状态的燃烧器供给既定量的前述燃烧用气体，对该燃烧器的蓄热体进行冷却，同时通过该蓄热体的散热对该燃烧用气体进行预热；

气体供给工序，将不会对燃烧产生外部扰乱的非燃烧用气体与前述既定量的燃烧用气体一起向前述燃烧状态的燃烧器供给，对该燃烧器的蓄热体进行冷却。

6.如权利要求5所记载的蓄热式燃烧器的燃烧方法，其特征是，还具有：

排气工序，将未从前述非燃烧状态的燃烧器抽吸出来而残存的燃烧废气向炉外进行排气；

冷却、热量回收工序，在对在前述排气工序中排气的前述燃烧废气进行冷却的同时进行热量回收；

非燃烧用气体供给工序，将前述热量回收后的前述燃烧废气作为前述非燃烧用气体向前述气体供给工序供给。

7.如权利要求5所记载的蓄热式燃烧器的燃烧方法，其特征是，还具有：

冷却、热量回收工序，在对在前述排气工序中被排气的前述燃烧废气进行冷却的同时进行热量回收而生成水蒸气；

第2非燃烧用气体供给工序，将前述热量回收后的前述燃烧废气以及前述生成的前述水蒸气之中的至少任意一种作为前述非燃烧用气体向前述气体供给工序供给。

8.如权利要求5至7之任一权利要求所记载的蓄热式燃烧器的燃烧方法，其特征是，还具有第3非燃烧用气体供给工序，将惰性气体作为前述非燃烧用气体向前述气体供给装置供给。