JP2002039684A

JP2002039684A - 熱処理装置及び熱処理方法

Info

Publication number: JP2002039684A
Application number: JP2000224386A
Authority: JP
Inventors: Masao Hattori; 雅夫服部; Yoshihiro Nakamura; 義弘中村; Hiroshi Kato; 啓加藤
Original assignee: Toho Gas Co Ltd
Current assignee: Toho Gas Co Ltd
Priority date: 2000-07-25
Filing date: 2000-07-25
Publication date: 2002-02-06

Abstract

(57)【要約】【課題】設備コストを増大させることなく，従来より
もトータルエネルギー効率を向上させることができる熱
処理装置及び熱処理方法を提供すること。【解決手段】行う昇温ゾーン１１と均熱ゾーン１２と
電源用ガスタービン２とを有している。昇温ゾーン１１
には，蓄熱式ラジアントチューブバーナ３を配設してあ
る。蓄熱式ラジアントチューブバーナ３へ燃焼用空気７
を供給する空気供給管には，電源用ガスタービン２から
タービン排気を排出するタービン排気管を接続してある
と共に，蓄熱式ラジアントチューブバーナ３のバーナ排
気管にはラジアントチューブ３０から排出するバーナ排
気８を吸引するための排気ブロワ４を接続してある。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【技術分野】本発明は，燃焼加熱を行う昇温ゾーンと電
気加熱を行う均熱ゾーンとを用いた熱処理装置，及び熱
処理方法に関する。

【０００２】

【従来技術】鋼部材等の熱処理を行うにあたり，被処理
材の昇温あるいは予熱を目的とした熱処理を行う昇温ゾ
ーンと，昇温した被処理材の均熱保持等を目的とした均
熱ゾーンとを有する熱処理装置を採用する場合がある。
従来，このような熱処理装置としては，上記昇温ゾーン
を燃焼加熱とすると共に，上記均熱ゾーンを電気加熱と
し，その電源をガスタービンから得るよう構成されたも
のがある。

【０００３】

【解決しようとする課題】ところで，上記従来の熱処理
装置においては，全体の省エネルギー化を図るため，ガ
スタービンにより生ずるタービン排気が有する廃熱をボ
イラによって蒸気に変換して熱回収するシステムが採用
されている。この熱回収システムでは，ボイラでの熱変
換ロスが発生するため，トータルエネルギー効率は７０
％程度であり，必ずしも十分なエネルギー効率が得られ
ているとはいえない。また，ボイラーにおける変換効率
を向上させるためには，その大型化やエコノマイザの変
換効率向上が必要となり，設置面積の増大，イニシャル
コストの増大等が招かれるという問題が生ずる。

【０００４】一方，上記昇温ゾーンにおける燃焼加熱に
は，ＮＯｘ低減及び省エネルギー化の観点から，蓄熱式
ラジアントチューブバーナを用いることが考えられる。
この場合においても，さらに蓄熱式ラジアントチューブ
バーナの熱効率を向上させて，熱処理装置全体のトータ
ルエネルギー効率の向上を図ることが求められる。

【０００５】本発明は，かかる従来の問題点に鑑みてな
されたもので，設備コストを増大させることなく，従来
よりもトータルエネルギー効率を向上させることができ
る熱処理装置及び熱処理方法を提供しようとするもので
ある。

【０００６】

【課題の解決手段】請求項１の発明は，燃焼加熱を行う
昇温ゾーンと，電気加熱を行う均熱ゾーンと，上記電気
加熱の電源用ガスタービンとを有し，上記昇温ゾーンに
は，蓄熱式ラジアントチューブバーナを配設してあり，
該蓄熱式ラジアントチューブバーナは，ラジアントチュ
ーブの両端にバーナ及び蓄熱体をそれぞれ設けてなり，
一方のバーナを燃焼させる際には他方のバーナは燃焼を
停止してラジアントチューブを通じて一方のバーナから
排出されるバーナ排気を上記蓄熱体を通じて排出させ，
上記燃焼側のバーナにおいては燃焼用空気を上記蓄熱体
を通して供給するように構成されており，かつ，上記蓄
熱式ラジアントチューブバーナへ燃焼用空気を供給する
空気供給管には，上記電源用ガスタービンからタービン
排気を排出するタービン排気管を接続してあると共に，
上記蓄熱式ラジアントチューブバーナのバーナ排気管に
はラジアントチューブから排出するバーナ排気を吸引す
るための排気ブロワを接続してあることを特徴とする熱
処理装置にある。

【０００７】本発明において最も注目すべきことは，上
記昇温ゾーンに上記構成の蓄熱式ラジアントチューブバ
ーナを配設し，その空気供給管には上記タービン排気を
排出するタービン排気管を接続してあると共に，上記バ
ーナ排気管には上記バーナ排気を吸引するための排気ブ
ロワを接続したことである。

【０００８】次に，本発明の作用効果につき説明する。
本発明においては，上記のごとく，蓄熱式ラジアントチ
ューブバーナを昇温ゾーンに用い，その燃焼用空気とし
て上記タービン排気を利用する。これにより，タービン
排気の有する顕熱を利用して，上記蓄熱式ラジアントチ
ューブバーナにおける燃焼を従来よりもさらに高効率化
することができる。特に，本発明においては，蓄熱式ラ
ジアントチューブバーナを用いるので，上記タービン排
気を上記蓄熱体によってさらに高温にすることができ
る。そのため，燃焼空気における酸素濃度が低い場合で
も十分な燃焼を実現することができる。

【０００９】また，上記電源用ガスタービンのタービン
排気を上記蓄熱式ラジアントチューブバーナに供給する
ことによって，タービン排気をボイラーを用いて蒸気に
変換して熱回収する必要がなくなる。そのため従来必要
だったボイラーの設置を不要とすることができる。これ
により大幅な設備コストの削減を図ることができる。

【００１０】また，本発明では，上記蓄熱式ラジアント
チューブバーナのバーナ排気管に上記排気ブロワを接続
する。そして，この排気ブロワによって蓄熱式ラジアン
トチューブバーナのバーナ排気を吸引する。これによっ
て，燃焼用空気を押し込むための燃焼ブロワーを用いる
ことなく，高温の上記タービン排気を上記タービン排気
管から蓄熱式ラジアントチューブバーナ内に直接導入す
ることができる。そのため，燃焼ブロワーには，高温の
上記タービン排気を吸い込むために高い耐熱性が必要と
なり高価である。一方，排気ブロワーの場合には上記蓄
熱式ラジアントチューブバーナの排気は３００℃以下と
低いため，比較的安価に上記燃焼装置を有効に機能させ
ることができ，この点からも設備コストの削減を図るこ
とができる。

【００１１】そして，本発明において特に重要な点は，
高温状態で排出されるタービン排気の顕熱を，蒸気等に
変換するのではなく，直接利用，いわばカスケード型熱
利用システムを構築できる点である。これにより，蒸気
等への変換ロスのない非常に効率的な熱利用を行うこと
ができ，トータルエネルギー効率を従来よりも向上させ
ることができる。したがって，本発明の熱処理装置によ
れば，設備コストを増大させることなく，従来よりもト
ータルエネルギー効率を向上させることができる。

【００１２】次に，請求項２の発明のように，上記排気
ブロワは，上記電源用ガスタービンから排出される上記
タービン排気の温度，酸素濃度又は流量のいずれか１つ
以上の変動に応じて吸引量を増減制御するよう構成され
ていることが好ましい。この場合には，例えば上記電源
用ガスタービンの運転状態が変動等した場合において
も，上記排気ブロワの吸引量を増減制御することによっ
て蓄熱式ラジアントチューブバーナに導入されるタービ
ン排気の流量，圧力等を燃焼に最適な状態に維持するこ
とができる。

【００１３】また，請求項３の発明のように，上記蓄熱
式ラジアントチューブバーナは，高温希釈空気燃焼する
よう構成されていることが好ましい。この場合には，蓄
熱式ラジアントチューブバーナの燃焼状態を容易に低Ｎ
Ｏｘ状態とすることができる。

【００１４】また，請求項４の発明のように，上記蓄熱
式ラジアントチューブバーナは，導入する上記燃焼用空
気の流速が１５０ｍ／秒以上となるよう構成されている
ことことが好ましい。これにより，容易に高温希釈空気
燃焼を得ることができ，低ＮＯｘ燃焼を容易に得ること
ができる。また，この導入するタービン排気の流速の向
上は，例えばラジアントチューブ内におけるタービン排
気の吹き出し口の径を調整するなどによって実現するこ
とができる。

【００１５】また，請求項５の発明のように，上記蓄熱
式ラジアントチューブバーナの上記空気供給管には，上
記燃焼用空気の不足を補うための補助燃焼空気を供給す
る補助燃焼ブロワを接続してあることが好ましい。この
場合には，例えば，電源用ガスタービンの運転開始直後
などのように，タービン排気の温度あるいは流量が不足
した場合に，外部から空気を補うことができる。これに
より，蓄熱式ラジアントチューブバーナの正常な燃焼状
態を確保することができる。

【００１６】また，請求項６の発明は，昇温ゾーンにお
いて燃焼加熱により被処理材の昇温を行い，次いで均熱
ゾーンにおいて電気加熱により被処理材の均熱保持を行
う熱処理方法において，上記均熱ゾーンにおける電気加
熱の電源は電源用ガスタービンにより供給し，上記昇温
ゾーンにおける燃焼加熱は，ラジアントチューブの両端
にバーナ及び蓄熱体をそれぞれ設けてなり，一方のバー
ナを燃焼させる際には他方のバーナは燃焼を停止してラ
ジアントチューブを通じて一方のバーナから排出される
バーナ排気を上記蓄熱体を通じて排出させ，上記燃焼側
のバーナにおいては燃焼用空気を上記蓄熱体を通して供
給するように構成された蓄熱式ラジアントチューブバー
ナを用いて行い，かつ，上記蓄熱式ラジアントチューブ
バーナの燃焼用空気には，上記電源用ガスタービンから
排出されるタービン排気を用いると共に，上記ラジアン
トチューブから排出するバーナ排気は上記蓄熱式ラジア
ントチューブバーナのバーナ排気管に接続された排気ブ
ロワにより吸引することを特徴とする熱処理方法にあ
る。

【００１７】本発明の熱処理方法において最も注目すべ
きことは，上記昇温ゾーンにおける燃焼加熱は，上記構
成の蓄熱式ラジアントチューブバーナを用いて行い，そ
の燃焼用空気には上記タービン排気を用いると共に，上
記バーナ排気は上記排気ブロワにより吸引することであ
る。

【００１８】本発明の場合にも，上記熱処理装置の発明
と同様に，高温状態で排出されるタービン排気の顕熱
を，蒸気等に変換するのではなく，直接利用，いわばカ
スケード型熱利用システムを構築できる。これにより，
蒸気等への変換ロスのない非常に効率的な熱利用を行う
ことができ，トータルエネルギー効率を従来よりも向上
させることができる。そして，そのために，上述したよ
うに，設備コストの低減をも図ることができる。

【００１９】次に，請求項７の発明のように，上記排気
ブロワは，上記電源用ガスタービンから排出される上記
タービン排気の温度，酸素濃度又は流量のいずれか１つ
以上の変動に応じて吸引量を増減制御することが好まし
い。この場合には，上記と同様に，上記電源用ガスター
ビンの運転状態が変動等した場合における蓄熱式ラジア
ントチューブバーナの燃焼状態を最適な状態に維持する
ことができる。

【００２０】また，請求項８の発明のように，上記蓄熱
式ラジアントチューブバーナは，高温希釈空気燃焼させ
ることが好ましい。この場合には，蓄熱式ラジアントチ
ューブバーナの燃焼状態を容易に低ＮＯｘ状態とするこ
とができる。また，請求項９の発明のように，上記蓄熱
式ラジアントチューブバーナに導入する上記燃焼用空気
の流速は１００ｍ／秒以上とすることが好ましい。この
場合には，容易に高温希釈空気燃焼を得ることができ，
低ＮＯｘの燃焼状態を容易に得ることができる。

【００２１】また，請求項１０の発明のように，上記蓄
熱式ラジアントチューブバーナには，上記燃焼用空気の
不足を補うための補助燃焼空気を供給することが好まし
い。この場合には，上記と同様に，電源用ガスタービン
の運転開始直後などの不安定時に外部から空気を補うこ
とができ，蓄熱式ラジアントチューブバーナの正常な燃
焼状態を確保することができる。

【００２２】

【発明の実施の形態】実施形態例１本発明の実施形態例にかかる熱処理装置及び熱処理方法
につき，図１，図２を用いて説明する。本例の熱処理装
置１は，図１に示すごとく，燃焼加熱を行う昇温ゾーン
１１と，電気加熱を行う均熱ゾーン１２と，上記電気加
熱の電源用ガスタービン２とを有し，上記昇温ゾーンに
は，蓄熱式ラジアントチューブバーナ３を配設してあ
る。

【００２３】蓄熱式ラジアントチューブバーナ３は，図
１，図２に示すごとく，ラジアントチューブ３０の両端
にバーナ３１，３２及び蓄熱体３３，３４をそれぞれ設
けてなり，一方のバーナ３１を燃焼させる際には他方の
バーナ３２は燃焼を停止してラジアントチューブ３０か
ら排出されるバーナ排気８を上記蓄熱体３４を通じて排
出させ，上記燃焼側のバーナ３１においては燃焼用空気
７を上記蓄熱体３３を通して供給するように構成されて
いる。

【００２４】そして，蓄熱式ラジアントチューブバーナ
３へ燃焼用空気を供給する空気供給管３６には，上記電
源用ガスタービン２から排出されるタービン排気を排出
するタービン排気管２６を接続してあると共に，上記蓄
熱式ラジアントチューブバーナ３のバーナ排気管３７に
はラジアントチューブ３０から排出するバーナ排気８を
吸引するための排気ブロワ４を接続してある。

【００２５】以下，これを詳説する。上記均熱ゾーン１
２には，図１に示すごとく，電気加熱を行うための複数
の電気ヒータ１２１を配設してあり，これに上記電源用
ガスタービン２の電気を供給するよう電気配線１９がな
されている。上記電源用ガスタービン２は，従来の大型
のものではなく，いわゆるマイクロタービンといわれる
もので，比較的小容量の発電を行うよう構成されてい
る。そして，本例の電源用ガスタービン２は，上記均熱
ゾーン１２における電気ヒータ１２１のための必要かつ
十分な電力だけ得られるように構成されている。また，
本例の電源用ガスタービン２からのタービン排気は，約
５７０℃の温度及び約１６％の酸素濃度を有する。な
お，例えば，複数組の熱処理炉を準備して，これらに一
つの電源用ガスタービンを対応させることも勿論でき
る。

【００２６】また，図２に示すごとく，蓄熱式ラジアン
トチューブバーナ３のラジアントチューブ３０は，丸み
を帯びたＷ字状またはＵ字状を呈し，昇温ゾーン１１内
に挿入配設されている。そして，ラジアントチューブ３
０の両端部は，炉壁１１０に固定されている。

【００２７】上記バーナ３１，３２は，ラジアントチュ
ーブ３０の基部に設けたバーナシェル３０１，３０２に
設けてあると共に，バーナの先端部は，図２に示すごと
く，セラミックハニカム式の蓄熱体３３，３４の中央部
を貫通して配設されている。そして，バーナシェル３０
１，３０２は，それぞれ空気通路５１，５２を介して，
四方弁５に接続されている。

【００２８】四方弁５は，燃焼用空気７をいずれか一方
のバーナ３１あるいは３２へ送り，バーナ排気８をバー
ナ排気管３７へ排出するための，切換バルブを５０を有
する。また，四方弁５は，その一端が上記空気供給管３
６となっており，これが図２に示すごとく上記電源用ガ
スタービン２のタービン排気管２６に接続されている。
また，バーナ排気管３７には，上記のごとく，バーナ排
気７を吸引するための排気ブロワ４を接続してある。

【００２９】また，上記バーナ３１，３２のパイロット
用空気口３１２，３２２には，燃焼用空気７の一部を導
入するためのパイロット空気系路３１５，３２５が接続
されている。また，バーナ３１，３２の燃料ガス導入口
３１１，３２１には，流量調整弁６１を設けた燃料ガス
供給パイプ６５がそれぞれ接続されている。そして，燃
料供給源６０から燃料ガス供給パイプ６５を通って燃料
ガス６がバーナ３１，３２に供給される。

【００３０】そして，本例では，蓄熱式ラジアントチュ
ーブバーナ３の燃焼用空気７の吹き出し口の径と上記排
気ブロワ４の容量とを調整することにより，上記燃焼用
空気７の流速が１５０ｍ／秒程度となるよう構成した。
そして，これにより，高温希釈空気燃焼を可能とした。

【００３１】また，本例の熱処理装置１は，鋼部材であ
るワーク９の熱処理を行うものであり，昇温ゾーン１１
及び均熱ゾーン１２内には浸炭処理を目的とした雰囲気
に維持できるよう構成してある。また，熱処理装置１
は，ワーク９を熱処理しながら移動させる耐熱性のコン
ベア９５を有している。

【００３２】次に，本例の作用効果につき説明する。本
例の熱処理装置１においては，図１に示すごとく，ワー
ク９をコンベア９５によって徐々に移動させながら昇温
処理及び均熱処理を行う。このとき，均熱ゾーン１２に
おいては，電源用ガスタービン２から供給される電力を
用いて上記電気ヒータ１２１により加熱する。

【００３３】一方，昇温ゾーン１１においては，電源用
ガスタービン２から排出されるタービン排気を燃焼用空
気７として用いて蓄熱式ラジアントチューブバーナ３に
より燃焼加熱を行う。この燃焼加熱を，図２を用いてさ
らに説明する。同図に示すごとく，一方のバーナ３１が
燃焼している場合を例にとる。

【００３４】まず，電源用ガスタービン２のタービン排
気管２６から空気導入管３６にタービン排気が燃焼用空
気７として導入される。この燃焼用空気７は，四方弁５
に進入し，これが切替バルブ５０によってバーナ３１側
に導かれる。燃焼用空気７は，上記のごとくタービン排
気よりなり，約５７０℃の高温状態でバーナ３１の周囲
の蓄熱体３３を通過し，さらに約１０００℃の高温状態
まで昇温される。そして，燃焼用空気７は，この高温状
態で，かつ，流速約１５０ｍ／秒の高速でバーナ３１の
周囲からラジアントチューブ３０内へ進入する。

【００３５】一方，バーナ３１には，パイロット用空気
口３１２から燃焼用空気７の一部をパイロット空気とし
て導入すると共に燃料ガス導入口３１１から燃料ガスを
導入して火炎６９を形成する。これにより，ラジアント
チューブ３０内においては，上記火炎６９と燃焼用空気
７とによって低ＮＯｘ状態の燃焼である高温希釈空気燃
焼が行われる。

【００３６】高温希釈燃焼の結果生ずるバーナ排ガス８
は，バーナ３２側の蓄熱体３４を通って四方弁５へと導
かれる。このとき，バーナ排ガス８は，蓄熱体３４に熱
を伝達し，約１５０〜２００℃のレベルまで冷やされ
る。そして，バーナ排ガス８は，四方弁５の切替バルブ
５０の作用によってバーナ排気管３７に導かれ，排気ブ
ロワ４によって外部へ排出される。そして，適当な時間
をおいて上記四方弁５の切替バルブ５０を切り替えると
共にバーナ３１，３２の燃焼状態を切り替えることによ
り，蓄熱式ラジアントチューブバーナ３の本来の優れた
作用を得ることができる。

【００３７】ここで本例において重要な点は，上記蓄熱
式ラジアントチューブバーナ３の燃焼用空気７として上
記タービン排気を利用する点である。これにより，ター
ビン排気の有する顕熱を利用して，蓄熱式ラジアントチ
ューブバーナ３における燃焼を従来よりもさらに高効率
化することができる。特に，上記のごとく，上記タービ
ン排気よりなる約５７０℃という高温の燃焼用空気７
を，上記蓄熱体３３によってさらに約１０００℃という
高温にすることができる。そのため，燃焼用空気におけ
る酸素濃度が約１６％と低いにもかかわらず，十分な燃
焼を実現することができる。

【００３８】また，電源用ガスタービン２のタービン排
気を蓄熱式ラジアントチューブバーナ３に供給するの
で，タービン排気をボイラーを用いて蒸気に変換して熱
回収する必要がなくなる。そのため従来必要だったボイ
ラーの設置を不要とすることができる。これにより大幅
な設備コストの削減を図ることができる。

【００３９】また，本例では，蓄熱式ラジアントチュー
ブバーナ３のバーナ排気管３７に排気ブロワ４を接続し
てある。そして，この排気ブロワ３７によって蓄熱式ラ
ジアントチューブバーナ３のバーナ排気８を吸引する。
これによって，燃焼用空気７を押し込むための燃焼ブロ
ワーを用いることなく，高温の上記タービン排気を上記
タービン排気管３６から蓄熱式ラジアントチューブバー
ナ３内に直接導入することができる。そのため，耐熱性
の高い高価な燃焼ブロワーの導入を行うことなく比較的
安価な排気ブロワを導入するだけで上記燃焼装置１を有
効に機能させることができ，この点からも設備コストの
削減を図ることができる。

【００４０】そして，本例では，高温状態で排出される
タービン排気の顕熱を，蒸気等に変換するのではなく，
直接利用，いわばカスケード型熱利用システムを構築で
きる点である。これにより，蒸気等への変換ロスのない
非常に効率的な熱利用を行うことができ，トータルエネ
ルギー効率を従来よりも向上させることができる。

【００４１】実施形態例２本例は，実施形態例１の熱処理装置１を基にして，さら
に，上記蓄熱式ラジアントチューブバーナ３の上記空気
供給管３６に，タービン排気の不足を補うための補助燃
焼空気を供給する補助燃焼ブロワ７７を接続した例であ
る。本例の補助燃焼ブロワ７７は，電源用ガスタービン
２の運転開始時にタービン排気温度が低く流量が少ない
不具合を補うように，運転するよう構成した。即ち，電
源用ガスタービン２の運転開始時は比較的大量の補助燃
焼空気を空気供給管３６に供給し，電源用ガスタービン
２の運転状態が安定するに連れて徐々に補助燃焼空気の
供給量を徐々に減らし最低限の供給量に保持するよう構
成した。

【００４２】これにより，熱処理装置１の安定操業の早
期化を容易に得ることができる。その他は実施形態例１
と同様の作用効果が得られる。

【００４３】なお，実施形態例１，２では示していない
が，上記排気ブロワ４の吸引量を，電源用ガスタービン
２の運転状況に応じて増減制御することにより，さらに
蓄熱式ラジアントチューブバーナ３の燃焼状態を安定化
させることもできる。具体的な制御方法としては，燃焼
用空気７あるいはバーナ排気８の圧力，流量あるいは酸
素濃度等を測定し，これらを一定にするように排気ブロ
ワ７の吸引量を増減制御する方法などがある。

【００４４】

【発明の効果】上述のごとく，本発明によれば，設備コ
ストを増大させることなく，従来よりもトータルエネル
ギー効率を向上させることができる熱処理装置及び熱処
理方法を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施形態例１における，熱処理装置の構成を示
す説明図。

【図２】実施形態例１における，蓄熱式ラジアントチュ
ーブバーナの周辺の構成を示す説明図。

【図３】実施形態例２における，熱処理装置の構成を示
す説明図。

【符号の説明】

１．．．熱処理装置，１１．．．昇温ゾーン，１２．．．均熱ゾーン，２．．．電源用ガスタービン，３．．．蓄熱式ラジアントチューブバーナ，３０．．．ラジアントチューブ，３１，３２．．．バーナ，３３，３４．．．蓄熱体，４．．．排気ブロワー，５．．．四方弁，６．．．燃料ガス，７．．．燃焼用空気，８．．．バーナ排気，９．．．ワーク，

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）Ｆ２７Ｄ 17/00 １０１Ｆ２７Ｄ 17/00 １０１Ａ (72)発明者加藤啓愛知県名古屋市熱田区桜田町19番18号東邦瓦斯株式会社内Ｆターム(参考） 3K017 BA01 BE05 3K023 QA16 QB01 QB09 QC07 QC08 SA00 3K091 AA16 BB08 BB26 CC06 CC22 DD01 DD05 EA15 EA22 4K050 AA02 BA02 CC07 CD01 CD06 CE04 4K056 AA09 BB02 DA27 DA36

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】燃焼加熱を行う昇温ゾーンと，電気加熱
を行う均熱ゾーンと，上記電気加熱の電源用ガスタービ
ンとを有し，上記昇温ゾーンには，蓄熱式ラジアントチ
ューブバーナを配設してあり，該蓄熱式ラジアントチュ
ーブバーナは，ラジアントチューブの両端にバーナ及び
蓄熱体をそれぞれ設けてなり，一方のバーナを燃焼させ
る際には他方のバーナは燃焼を停止してラジアントチュ
ーブを通じて一方のバーナから排出されるバーナ排気を
上記蓄熱体を通じて排出させ，上記燃焼側のバーナにお
いては燃焼用空気を上記蓄熱体を通して供給するように
構成されており，かつ，上記蓄熱式ラジアントチューブ
バーナへ燃焼用空気を供給する空気供給管には，上記電
源用ガスタービンからタービン排気を排出するタービン
排気管を接続してあると共に，上記蓄熱式ラジアントチ
ューブバーナのバーナ排気管にはラジアントチューブか
ら排出するバーナ排気を吸引するための排気ブロワを接
続してあることを特徴とする熱処理装置。
【請求項２】請求項１において，上記排気ブロワは，
上記電源用ガスタービンから排出される上記タービン排
気の温度，酸素濃度又は流量のいずれか１つ以上の変動
に応じて吸引量を増減制御するよう構成されていること
を特徴とする熱処理装置。
【請求項３】請求項１又は２において，上記蓄熱式ラ
ジアントチューブバーナは，高温希釈空気燃焼するよう
構成されていることを特徴とする熱処理装置。
【請求項４】請求項１〜３のいずれか１項において，
上記蓄熱式ラジアントチューブバーナは，導入する上記
燃焼用空気の流速が１５０ｍ／秒以上となるよう構成さ
れていることを特徴とする熱処理装置。
【請求項５】請求項１〜４のいずれか１項において，
上記蓄熱式ラジアントチューブバーナの上記空気供給管
には，上記燃焼用空気の不足を補うための補助燃焼空気
を供給する補助燃焼ブロワを接続してあることを特徴と
する熱処理装置。
【請求項６】昇温ゾーンにおいて燃焼加熱により被処
理材の昇温を行い，次いで均熱ゾーンにおいて電気加熱
により被処理材の均熱保持を行う熱処理方法において，
上記均熱ゾーンにおける電気加熱の電源は電源用ガスタ
ービンにより供給し，上記昇温ゾーンにおける燃焼加熱
は，ラジアントチューブの両端にバーナ及び蓄熱体をそ
れぞれ設けてなり，一方のバーナを燃焼させる際には他
方のバーナは燃焼を停止してラジアントチューブを通じ
て一方のバーナから排出されるバーナ排気を上記蓄熱体
を通じて排出させ，上記燃焼側のバーナにおいては燃焼
用空気を上記蓄熱体を通して供給するように構成された
蓄熱式ラジアントチューブバーナを用いて行い，かつ，
上記蓄熱式ラジアントチューブバーナの燃焼用空気に
は，上記電源用ガスタービンから排出されるタービン排
気を用いると共に，上記ラジアントチューブから排出す
るバーナ排気は上記蓄熱式ラジアントチューブバーナの
バーナ排気管に接続された排気ブロワにより吸引するこ
とを特徴とする熱処理方法。
【請求項７】請求項６において，上記排気ブロワは，
上記電源用ガスタービンから排出される上記タービン排
気の温度，酸素濃度又は流量のいずれか１つ以上の変動
に応じて吸引量を増減制御することを特徴とする熱処理
方法。
【請求項８】請求項６又は７において，上記蓄熱式ラ
ジアントチューブバーナは，高温希釈空気燃焼させるこ
とを特徴とする熱処理方法。
【請求項９】請求項６〜８のいずれか１項において，
上記蓄熱式ラジアントチューブバーナに導入する上記燃
焼用空気の流速は１５０ｍ／秒以上とすることを特徴と
する熱処理方法。
【請求項１０】請求項１〜９のいずれか１項におい
て，上記蓄熱式ラジアントチューブバーナには，上記燃
焼用空気の不足を補うための補助燃焼空気を供給するこ
とを特徴とする熱処理方法。