CN102533470A - 一种硅片清洗液 - Google Patents

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Abstract

本发明一种硅片清洗液，由表面活性剂、乙醇、氟化氢、EDTA二钠、三乙醇胺、柠檬酸、去离子水，进行搅拌混合，形成清洗液，本发明制备方法简单，对环境无不利影响，且表面去污力强，可保持清洁度的持续性，对于多晶硅片等物料具有良好的清洁效果，并且提高了清洗速度和耐用性能；本发明通过乙醇对硅片表面有机沾污进行清洗，另外，通过氟化氢对氧化层进行清洗，从而，使硅片的清洗更加彻底，且对金属离子有较强的清洗作用，从而，提高了硅片的后续使用性能。

Description

一种硅片清洗液
技术领域
本发明涉及一种清洗液，特别涉及一种用于清洗硅片的清洗液，并提供该清洗液的制备方法，属于硅片加工的技术领域。
背景技术
硅片是一种硅材料通过加工切成一片一片而形成的。从而硅材料到可使用的硅片要经过切割、清洗等多道工序。随着社会的发展，硅片的使用越来越多，硅片的加工也受取更多的关注。
清洗作为硅片的一个生产工序之一，其清洗的好坏对硅片的使用性能有着很大的影响。清洗的主要目的是为了清洗掉切割过程中的产生的砂粒、残留的切削磨料、金属离子及指纹等，使硅片表面达到无腐蚀氧化、无残留等技术指标。传统的硅片清洗，由于各方法不一样，采用的清洗液也不一样。大多采用盐酸进行清洗，盐酸为强腐蚀性物质，处理过后很难处理，如随意倒放，容易引起污染。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种硅片清洗液，该清洗液表面去污力强，可保持清洁度的持续性，具有良好的清洁效果，并且该清洗液对环境无不利影响；另外，提供了本清洗液的制备方法，该制备方法操作简单、方便。
为了解决上述技术问题，本发明一种硅片清洗液，由以下成分组成(按重量份数计)：
Figure BDA0000126300530000021
上述的硅片清洗液，其中，所述表面活性剂脂肪醇聚环氧乙烷醚、烷基酚聚环氧乙烷醚、十二烷基苯磺酸钠、十二烷基二醇酰胺或甲氧基脂肪酰胺基苯磺酸钠。
上述的硅片清洗液，其中，所述乙醇的浓度为90-100％(质量百分比)。
上述的硅片清洗液，其中，所述柠檬酸的浓度为10％(质量百分比)。
本发明可实现以下有益效果：本发明制备方法简单，对环境无不利影响，且表面去污力强，可保持清洁度的持续性，对于多晶硅片等物料具有良好的清洁效果，并且提高了清洗速度和耐用性能；本发明通过乙醇对硅片表面有机沾污进行清洗，另外，通过氟化氢对氧化层进行清洗，从而，使硅片的清洗更加彻底，且对金属离子有较强的清洗作用，从而，提高了硅片的后续使用性能。
具体实施方式
下面结合具体实施例对本发明作进一步说明。
为了解决上述技术问题，本发明一种硅片清洗液，由以下成分组成(按重量份数计)：
Figure BDA0000126300530000031
所述表面活性剂脂肪醇聚环氧乙烷醚、烷基酚聚环氧乙烷醚、十二烷基苯磺酸钠、十二烷基二醇酰胺或甲氧基脂肪酰胺基苯磺酸钠。
所述乙醇的浓度为90-100％(质量百分比)。
所述柠檬酸的浓度为10％(质量百分比)。
实施例一
将表面活性剂15份、乙醇5份、氟化氢2份、EDTA二钠2份、三乙醇胺3份、柠檬酸0.5份、去离子水余量，进行搅拌混合，形成清洗液。乙醇的浓度为90％，柠檬酸的浓度为10％。
性能指标：清洗硅片1000片，清洗洁净度达到98.9％。
实施例二
将表面活性剂20份、乙醇6份、氟化氢3份、EDTA二钠2份、三乙醇胺4份、柠檬酸1份、去离子水余量，进行搅拌混合，形成清洗液。乙醇的浓度为98％，柠檬酸的浓度为10％。
性能指标：清洗硅片1000片，清洗洁净度达到99.9％。
实施例三
将表面活性剂30份、乙醇5份、氟化氢2份、EDTA二钠2份、三乙醇胺3份、柠檬酸0.5份、去离子水余量，进行搅拌混合，形成清洗液。乙醇的浓度为100％，柠檬酸的浓度为10％。
性能指标：清洗硅片1000片，清洗洁净度达到99.6％。
本发明制备方法简单，对环境无不利影响，且表面去污力强，可保持清洁度的持续性，对于多晶硅片等物料具有良好的清洁效果，并且提高了清洗速度和耐用性能；本发明通过乙醇对硅片表面有机沾污进行清洗，另外，通过氟化氢对氧化层进行清洗，从而，使硅片的清洗更加彻底，且对金属离子有较强的清洗作用，从而，提高了硅片的后续使用性能，本清洗液对硅片进行清洗可提高硅片的良率，提高硅片的成品率，降低企业消耗的成本。
最后有必要在此说明的是，上述说明并非是对本发明的限制，本发明也并不限于上述举例，本领域的技术人员，在本发明的实质范围内，作出的变化、改型、添加或替换，都应属于本发明的保护范围。

Claims (4)

1.一种硅片清洗液，其特征在于，由以下成分组成(按重量份数计)：
Figure FDA0000126300520000011
2.如权利要求1所述的硅片清洗液，其特征在于，所述表面活性剂脂肪醇聚环氧乙烷醚、烷基酚聚环氧乙烷醚、十二烷基苯磺酸钠、十二烷基二醇酰胺或甲氧基脂肪酰胺基苯磺酸钠。
3.如权利要求1所述的硅片清洗液，其特征在于，所述乙醇的浓度为90-100％，按质量百分比计。
4.如权利要求1所述的硅片清洗液，其特征在于，所述柠檬酸的浓度为10％，按质量百分比计。
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