CN102511088B - 层叠型压电元件、使用该层叠型压电元件的喷射装置及燃料喷射系统 - Google Patents
层叠型压电元件、使用该层叠型压电元件的喷射装置及燃料喷射系统 Download PDFInfo
- Publication number
- CN102511088B CN102511088B CN201080041342.8A CN201080041342A CN102511088B CN 102511088 B CN102511088 B CN 102511088B CN 201080041342 A CN201080041342 A CN 201080041342A CN 102511088 B CN102511088 B CN 102511088B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- active portion
- piezoelektrisches mehrschichtelement
- metallic
- layer
- interlayer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000002347 injection Methods 0.000 title claims abstract description 48
- 239000007924 injection Substances 0.000 title claims abstract description 48
- 239000000446 fuel Substances 0.000 title claims abstract description 45
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims abstract description 41
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims abstract description 38
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 117
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 claims description 50
- 229910001252 Pd alloy Inorganic materials 0.000 claims description 7
- SWELZOZIOHGSPA-UHFFFAOYSA-N palladium silver Chemical compound [Pd].[Ag] SWELZOZIOHGSPA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 230000006835 compression Effects 0.000 claims description 6
- 238000007906 compression Methods 0.000 claims description 6
- 239000007921 spray Substances 0.000 claims description 6
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 4
- 239000002923 metal particle Substances 0.000 abstract 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 25
- 208000037656 Respiratory Sounds Diseases 0.000 description 21
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 18
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 18
- 238000000034 method Methods 0.000 description 14
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 13
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 12
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 12
- 238000011161 development Methods 0.000 description 9
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 9
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 8
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 7
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 6
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 239000006071 cream Substances 0.000 description 4
- DOIRQSBPFJWKBE-UHFFFAOYSA-N dibutyl phthalate Chemical compound CCCCOC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCCCC DOIRQSBPFJWKBE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 4
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 4
- 239000004014 plasticizer Substances 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- ZTQSAGDEMFDKMZ-UHFFFAOYSA-N Butyraldehyde Chemical compound CCCC=O ZTQSAGDEMFDKMZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MQIUGAXCHLFZKX-UHFFFAOYSA-N Di-n-octyl phthalate Natural products CCCCCCCCOC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCCCCCCCC MQIUGAXCHLFZKX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- BJQHLKABXJIVAM-UHFFFAOYSA-N bis(2-ethylhexyl) phthalate Chemical compound CCCCC(CC)COC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCC(CC)CCCC BJQHLKABXJIVAM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 230000032798 delamination Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 2
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 2
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 229920000620 organic polymer Polymers 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 2
- 239000004945 silicone rubber Substances 0.000 description 2
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 2
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N Acrylic acid Chemical class OC(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 208000034189 Sclerosis Diseases 0.000 description 1
- 239000012190 activator Substances 0.000 description 1
- 239000005030 aluminium foil Substances 0.000 description 1
- 230000033228 biological regulation Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 1
- 230000027648 face development Effects 0.000 description 1
- 239000002828 fuel tank Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000001802 infusion Methods 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 229910000464 lead oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000011068 loading method Methods 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- YEXPOXQUZXUXJW-UHFFFAOYSA-N oxolead Chemical compound [Pb]=O YEXPOXQUZXUXJW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 1
- 230000008447 perception Effects 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 1
- 230000037452 priming Effects 0.000 description 1
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 1
- HGBOYTHUEUWSSQ-UHFFFAOYSA-N valeric aldehyde Natural products CCCCC=O HGBOYTHUEUWSSQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F02—COMBUSTION ENGINES; HOT-GAS OR COMBUSTION-PRODUCT ENGINE PLANTS
- F02M—SUPPLYING COMBUSTION ENGINES IN GENERAL WITH COMBUSTIBLE MIXTURES OR CONSTITUENTS THEREOF
- F02M59/00—Pumps specially adapted for fuel-injection and not provided for in groups F02M39/00 -F02M57/00, e.g. rotary cylinder-block type of pumps
- F02M59/44—Details, components parts, or accessories not provided for in, or of interest apart from, the apparatus of groups F02M59/02 - F02M59/42; Pumps having transducers, e.g. to measure displacement of pump rack or piston
- F02M59/46—Valves
- F02M59/466—Electrically operated valves, e.g. using electromagnetic or piezoelectric operating means
- F02M59/468—Electrically operated valves, e.g. using electromagnetic or piezoelectric operating means using piezoelectric operating means
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F02—COMBUSTION ENGINES; HOT-GAS OR COMBUSTION-PRODUCT ENGINE PLANTS
- F02M—SUPPLYING COMBUSTION ENGINES IN GENERAL WITH COMBUSTIBLE MIXTURES OR CONSTITUENTS THEREOF
- F02M51/00—Fuel-injection apparatus characterised by being operated electrically
- F02M51/06—Injectors peculiar thereto with means directly operating the valve needle
- F02M51/0603—Injectors peculiar thereto with means directly operating the valve needle using piezoelectric or magnetostrictive operating means
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F02—COMBUSTION ENGINES; HOT-GAS OR COMBUSTION-PRODUCT ENGINE PLANTS
- F02M—SUPPLYING COMBUSTION ENGINES IN GENERAL WITH COMBUSTIBLE MIXTURES OR CONSTITUENTS THEREOF
- F02M63/00—Other fuel-injection apparatus having pertinent characteristics not provided for in groups F02M39/00 - F02M57/00 or F02M67/00; Details, component parts, or accessories of fuel-injection apparatus, not provided for in, or of interest apart from, the apparatus of groups F02M39/00 - F02M61/00 or F02M67/00; Combination of fuel pump with other devices, e.g. lubricating oil pump
- F02M63/0012—Valves
- F02M63/0014—Valves characterised by the valve actuating means
- F02M63/0015—Valves characterised by the valve actuating means electrical, e.g. using solenoid
- F02M63/0026—Valves characterised by the valve actuating means electrical, e.g. using solenoid using piezoelectric or magnetostrictive actuators
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/50—Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure
- H10N30/508—Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure adapted for alleviating internal stress, e.g. cracking control layers
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F02—COMBUSTION ENGINES; HOT-GAS OR COMBUSTION-PRODUCT ENGINE PLANTS
- F02M—SUPPLYING COMBUSTION ENGINES IN GENERAL WITH COMBUSTIBLE MIXTURES OR CONSTITUENTS THEREOF
- F02M51/00—Fuel-injection apparatus characterised by being operated electrically
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F02—COMBUSTION ENGINES; HOT-GAS OR COMBUSTION-PRODUCT ENGINE PLANTS
- F02M—SUPPLYING COMBUSTION ENGINES IN GENERAL WITH COMBUSTIBLE MIXTURES OR CONSTITUENTS THEREOF
- F02M63/00—Other fuel-injection apparatus having pertinent characteristics not provided for in groups F02M39/00 - F02M57/00 or F02M67/00; Details, component parts, or accessories of fuel-injection apparatus, not provided for in, or of interest apart from, the apparatus of groups F02M39/00 - F02M61/00 or F02M67/00; Combination of fuel pump with other devices, e.g. lubricating oil pump
- F02M63/02—Fuel-injection apparatus having several injectors fed by a common pumping element, or having several pumping elements feeding a common injector; Fuel-injection apparatus having provisions for cutting-out pumps, pumping elements, or injectors; Fuel-injection apparatus having provisions for variably interconnecting pumping elements and injectors alternatively
- F02M63/0225—Fuel-injection apparatus having a common rail feeding several injectors ; Means for varying pressure in common rails; Pumps feeding common rails
- F02M63/023—Means for varying pressure in common rails
- F02M63/0235—Means for varying pressure in common rails by bleeding fuel pressure
- F02M63/025—Means for varying pressure in common rails by bleeding fuel pressure from the common rail
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Fuel-Injection Apparatus (AREA)
Abstract
本发明提供一种抑制裂纹从端面发展且使耐久性提高了的层叠型压电元件、使用其的喷射装置及燃料喷射系统。层叠型压电元件(1)具备：柱状层叠体(5)，其具有压电体层(21)和内部电极层(3a、3b)交替层叠多层而形成的活性部(2a)以及在活性部(2a)的层叠方向的两端配置的分别层叠多层压电体层(22)而形成的非活性部(2b)；一对外部电极(4a、4b)，它们设置在柱状层叠体(5)的侧面，与内部电极层(3a、3b)每隔一层交替地电连接，其中，在非活性部(2b)中的层间的至少一个，粒径比形成非活性部(2b)的压电体层(22)的压电陶瓷的粒径小的金属粒子(12)在从柱状层叠体(5)的层叠方向观察时，散布在包括内部电极层(3a、3b)彼此重叠的区域的范围内。
Description
技术领域
本发明涉及例如在驱动元件(压电致动器)、传感器元件及电路元件等中使用的层叠型压电元件、使用了该层叠型压电元件的喷射装置以及燃料喷射系统。
背景技术
层叠型压电元件例如通过如下方法得到，即，在陶瓷生片上印刷形成内部电极层的导电性膏，将涂敷了该导电性膏的陶瓷生片多张层叠来制作层叠成形体，并对该层叠成形体进行烧成，来制作烧结了的层叠体，进而对该层叠体实施磨削加工等加工。
内部电极层每隔一层与正负的外部电极连接。与正的外部电极连接的内部电极层和与其相邻的负的外部电极连接的内部电极层在层叠体的层叠方向上重叠的部位为活性部，当施加电压时，该活性部的压电体层进行伸缩驱动。并且，在层叠体中，以夹着该活性部的形式在上下配置有不含有内部电极层且不进行伸缩驱动的非活性部。该非活性部是为了获取端面与外部夹具的绝缘而需要的区域。
以往，由于该非活性部不含有内部电极层，因此容易从端面产生裂纹，一旦产生裂纹，则裂纹会发展到活性区域，导致电极短路，存在元件破损的问题。另外，由于该非活性层与活性层的界面各自的烧成收缩率不同，因此还存在导致脱层的问题。作为上述问题的对策，已知有将银粒子预先添加到该非活性层的方法。(参照以下的专利文献1)。
专利文献1：日本特开昭63-288074号公报
然而，在该对策中，非活性部与活性部的收缩率变得接近，虽然能够防止某种程度的脱层，但无法抑制裂纹从端面的发展。
近些年，对层叠型压电元件要求在高电压及高压力下能够长期连续驱动，进而还期望提高耐久性。由于压电元件在陶瓷中为脆的材料，因此端面特别容易产生缺口，裂纹从该缺口发展而引起元件破损的问题。
发明内容
本发明鉴于上述现有的问题而提出，其目的在于提供一种抑制裂纹从端面发展且提高了耐久性的层叠型压电元件、使用了该层叠型压电元件的喷射装置及燃料喷射系统。
本发明的层叠型压电元件具备：
柱状层叠体，其具有压电体层和内部电极层交替层叠多层而形成的活性部以及在该活性部的层叠方向的两端配置的分别层叠多层压电体层而形成的非活性部；
一对外部电极，它们设置在该柱状层叠体的侧面，并与所述内部电极层每隔一层交替地电连接，
所述层叠型压电元件的特征在于，
在所述非活性部的层间的至少一个，粒径比形成所述非活性部的所述压电体层的压电陶瓷的粒径小的金属粒子在从所述柱状层叠体的层叠方向观察时，散布在包括所述内部电极层彼此重叠的区域的范围内。
另外，本发明的层叠型压电元件在上述结构的基础上，其特征在于，所述层间中的所述金属粒子彼此的间隔为形成所述非活性部的所述压电体层的压电陶瓷的粒径以上，且为所述层间彼此的间隔以下。
另外，本发明的层叠型压电元件在上述结构的基础上，其特征在于，所述层间与所述内部电极层的间隔及所述层间彼此的间隔比所述活性部的所述压电体层的厚度大。
另外，本发明的层叠型压电元件在上述结构的基础上，其特征在于，所述金属粒子由银-钯合金构成。
另外，本发明的层叠型压电元件在上述结构的基础上，其特征在于，所述外部电极的端部位于所述金属粒子所散布的所述层间。
本发明的喷射装置的特征在于，具备：具有喷射孔的容器；上述本发明的层叠型压电元件，其中，在所述容器内积蓄的流体通过所述层叠型压电元件的驱动从所述喷射孔喷出。
本发明的喷射系统的特征在于，具备：积蓄高压燃料的共轨；将在该共轨中积蓄的所述高压燃料进行喷射的上述本发明的喷射装置；向所述共轨供给所述高压燃料的压力泵；对所述喷射装置提供驱动信号的喷射控制单元。
发明效果
根据本发明的层叠型压电元件，即使从非活性部的端部产生裂纹，裂纹也会在含有金属粒子的层中发生偏转而将能量吸收。尤其是由于金属粒子的粒径小，因此残留应力也小，从而能够抑制裂纹的发展，使耐久性得以提高。
根据本发明的喷射装置，其具备具有喷射孔的容器、上述本发明的层叠型压电元件，且在容器内积蓄的流体通过层叠型压电元件的驱动而从喷射孔喷出，因此，由于具备了使耐久性提高的层叠型压电元件，所以成为耐久性提高了的喷射装置。
本发明的燃料喷射系统具备积蓄高压燃料的共轨、将在共轨中积蓄的高压燃料进行喷射的上述本发明的喷射装置、向共轨供给高压燃料的压力泵、对喷射装置提供驱动信号的喷射控制单元，因此成为耐久性提高了的燃料喷射系统。
附图说明
图1是针对本发明的层叠型压电元件示出其实施方式之一例的立体图。
图2是将图1所示的层叠型压电元件1的一部分示意性放大后的剖视图。
图3是针对本发明的喷射装置示出其实施方式之一例的简要剖视图。
图4是针对本发明的燃料喷射系统示出其实施方式之一例的简要框图。
具体实施方式
以下，基于附图，详细说明本发明的层叠型压电元件的实施方式之一例。
图1是表示本实施方式的层叠型压电元件1的立体图。该层叠型压电元件1具有柱状层叠体5，该柱状层叠体5具有压电体层21及内部电极层3a、3b交替层叠多层而形成的活性部2a、以及在活性部2a的层叠方向的两端配置的分别层叠多层压电体层22而形成的非活性部2b。在柱状层叠体5的侧面形成有与内部电极层3a、3b每隔一层交替地电连接的一对外部电极4a、4b。活性部2a中的内部电极层3a、3b具有互相对置的区域，位于它们之间的压电体层21进行伸缩驱动。并且，在相对于该活性部2a而位于层叠方向的两端部侧的非活性部2b中，压电体层22不进行伸缩驱动。
对于层叠型压电元件1而言，在其非活性部2b的层间的至少一个，粒径比形成非活性部2b的压电体层22的压电陶瓷的结晶粒子13的粒径小的金属粒子12在从柱状层叠体5的层叠方向观察时，散布在包括内部电极层3a、3b彼此重叠的区域10的范围内。
由于层叠型压电元件1为脆的材料，因此容易产生缺口。尤其是在制造工序中或驱动中，容易从端面或角部产生裂纹。当上述的裂纹发展而到达内部电极层3a、3b时，存在内部电极层3a、3b间产生短路，以至于损坏的问题。相对于此，通过在非活性部2b的层间的至少一个，使粒径比形成非活性部2b的压电体层22的压电陶瓷的结晶粒子13的粒径小的金属粒子12在从柱状层叠体5的层叠方向观察时，散布在包括内部电极层3a、3b彼此重叠的区域10的范围内，从而即使从非活性部2b的端部产生裂纹，裂纹也会在包括金属粒子12的层中发生偏转而将其能量吸收，因此，能够抑制内部电极层3a、3b间的短路，使耐久性提高。需要说明的是，非活性部2b的层间是指在非活性部2b中层叠的压电体层22彼此之间。另外，也可以在包括内部电极层3a、3b彼此重叠的区域10的范围之外存在金属粒子12，该存在不会影响本发明。
图2是将图1所示的层叠型压电元件1的一部分示意性放大后的剖视图。由于金属粒子12的粒径比压电陶瓷的结晶粒子13的粒径小，因此能够使残留应力变小，从而抑制裂纹的发展。压电陶瓷的结晶粒子13的粒径为1～5μm左右，金属粒子12的粒径为0.1～3μm，优选为在0.5～2μm左右的范围内比压电陶瓷的结晶粒子13的粒径小的数值。
需要说明的是，压电陶瓷的结晶粒子13的粒径及金属粒子的粒径12为各自的平均粒径，通过如下方法而求出，即，通过扫描型电子显微镜(SEM)观察截面，测定任意线段间包含的粒子数和粒子所包含的线段的长度，并将该长度的合计距离除以粒子数。
本发明的层叠型压电元件1中，优选非活性部2b的压电体层22的层间的金属粒子12彼此的间隔a在形成非活性部2b的压电体层22的压电陶瓷的结晶粒子13的粒径b以上。由于散布在非活性部2b的压电体层22的层间的金属粒子12与压电陶瓷的结晶粒子13的烧成收缩率不同，因此，烧结后在金属粒子12的周围容易产生残留应力。当层间的金属粒子12彼此的间隔a(金属粒子12与金属粒子12之间的距离)比形成压电体层22的压电陶瓷的结晶粒子13的粒径b小时，上述的残留应力相互影响，可能使裂纹发展。相对于此，通过使非活性部2b的压电体层22的层间的金属粒子12彼此的间隔a在形成非活性部2b的压电体层22的压电陶瓷的结晶粒子13的粒径b以上，从而能够不被金属粒子12周围的残留应力影响。在此，由于形成非活性部2b的压电体层22的压电陶瓷的结晶粒子13的粒径为1～5μm左右，因此金属粒子12彼此的间隔a需要至少为2μm以上，优选为3μm以上。
另外，优选非活性部2b的压电体层22的层间的金属粒子12彼此的间隔a的上限为非活性部2b的压电体层22的层间彼此的间隔c以下。这是由于，当间隔在层间彼此的间隔c以上时，裂纹碰到金属粒子12的概率减少，从而可能降低效果。通过使非活性部2b的压电体层22的层间的金属粒子12彼此的间隔a的上限为层间彼此的间隔c以下，能够有效地抑制裂纹的发展。具体而言，由于非活性部2b的压电体层22的层间彼此的间隔c为20～100μm左右，因此优选层间的金属粒子12彼此的间隔a的上限为50μm、更优选为30μm且小于层间彼此的间隔c(20～100μm左右)。
需要说明的是，金属粒子12彼此的间隔a是通过如下方法求出的平均距离，即，利用扫描型电子显微镜(SEM)观察截面，测定金属粒子12所不包含的线段的合计长度和间隔数，并将该长度除以间隔数而得到的平均距离。另外，层间彼此的间隔c是按如下方法得到的长度，即，将与存在于上侧层间的金属粒子12的中心最近的下侧层间中存在的金属粒子12的中心进行连接而形成线段，对于上侧层间的金属粒子12的中心与所形成的线段的距离(从上侧的金属粒子12的中心朝连接存在于下侧层间的金属粒子12的中心而形成的线段垂下的垂线的长度)，针对不同的线段测定任意个数，并取平均而得到层间彼此的间隔c。
另外，本发明的层叠型压电元件1中，优选最靠近活性部2a的非活性部2b的压电体层22的层间与最靠近该层间的内部电极层3a、3b的间隔e及非活性部2b的压电体层22的层间彼此的间隔c比活性部2a的压电体层21的厚度d大。换言之，优选非活性部2b的压电体层22的厚度比活性部2a的压电体层21的厚度厚。根据先前叙述的理由，虽然在金属粒子12的周围产生残留应力，但通过使含有金属粒子12的非活性部2b的压电体层22的层间与内部电极层3a、3b的间隔e及非活性部2b的压电体层22的层间彼此的间隔c比活性部2a的压电体层的厚度大，从而能够抑制受在金属粒子12的周围产生的残留应力的影响而使裂纹容易以将层间相连的方式发展的情况。需要说明的是，最靠近活性部2a的非活性部2b的压电体层22的层间与最靠近该层间的内部电极层3a、3b的间隔e及非活性部2b的压电体层22的层间彼此的间隔c越大，则在含有金属粒子12的层中发展的裂纹越容易沿含有金属粒子12的层发展，而越难沿层叠方向发展。具体而言，由于活性部2a的压电体层21的厚度为20～100μm左右，因此，优选含有金属粒子12的非活性部2b的压电体层22的层间与最靠近该层间的内部电极层3a、3b的间隔e及层间彼此的间隔c为30～300μm、更优选为50～200μm且比活性部2a的压电体层21的厚度d大。
另外，优选本发明的层叠型压电元件1中使用的金属粒子12由柔软且与压电陶瓷的反应性低的银-钯合金构成。这是为了能够进一步吸收裂纹的能量，进一步抑制裂纹的发展。尤其是银的比率越高则越柔软，越具有效果，银的比率可以为70％以上，优选为90％以上。需要说明的是，也可以使用铜、铂等。
另外，本发明的层叠型压电元件1中，优选外部电极4a、4b的端部位于金属粒子12所散布的非活性部2b的压电体层22的层间。在层叠型压电元件1(活性部2a)的伸缩的同时外部电极4a、4b也要伸缩，从而在位于外部电极4a、4b的端部附近的非活性部2b上产生的应力变大。因此，通过将该外部电极4a、4b的端部配置成位于金属粒子12所散布的层间，从而柔软的金属粒子12缓和该应力，因此能够进一步提高耐久性。
接着，对本发明的实施方式之一例的层叠型压电元件1的制造方法进行说明。首先，将例如锆钛酸铅(PZT)的粉末；由丙烯酸系、丁醛系等有机高分子构成的粘合剂；DBP(邻苯二甲酸二丁酯)、DOP(邻苯二甲酸二辛酯)等增塑剂混合来制作料浆。
接着，利用刮板法、压延法等带成形法将得到的料浆成形为陶瓷生片。
接着，制作构成内部电极层3a、3b的导电性膏。该导电性膏例如通过在主要由银-钯合金构成的金属粉末中添加混合粘合剂、增塑剂等而得到。将该导电性膏通过丝网印刷法等在陶瓷生片的单面印刷成内部电极层3a、3b的图案。
并且，在成为非活性部2b的部分的陶瓷生片的至少一个上印刷分散有金属粒子12的膏。上述的金属粒子12为0.1～3μm的粒径，且粒子间为形成非活性部2b的压电体层22的压电陶瓷的结晶粒子13的粒径以上且层间的厚度以下即可。另外，为了对粒子间进行控制，也可以印刷在金属粒子中混合有PZT粉末或氧化铅粉末等陶瓷粒子等的膏。
接着，将印刷了导电性膏的陶瓷生片层叠成例如图1所示结构的柱状层叠体5，并通过使其干燥而得到层叠成形体。在该层叠成形体的层叠方向的两端侧还层叠多层未印刷导电性膏的非活性部7用的陶瓷生片。其中至少配置一层印刷了分散有上述金属粒子12的膏的陶瓷生片。并且，其层间的距离设计成活性部2a的压电体层21的厚度以上。需要说明的是，层叠成形体可以根据需要沿层叠方向裁断而形成为所希望的形状。
接着，以规定的温度对层叠成形体进行脱粘合剂处理，之后在900～1150℃下进行烧成，从而得到柱状层叠体5。也可以根据需要而对柱状层叠体5的侧面进行研磨。
接着，在柱状层叠体5的侧面形成外部电极4a、4b。外部电极4a、4b例如可以通过如下方法形成，即，在主要由银构成的金属粉末中添加混合粘合剂、增塑剂、玻璃粉末等来制作导电性膏，并通过丝网印刷法等将该导电性膏印刷在柱状层叠体5的侧面，并且在600～800℃下进行烧成。该外部电极4a、4b可以形成为其端部位于金属粒子12所散布的层间的长度。并且，可以在外部电极4a、4b的外表面利用导电性粘接剂安装由金属形成的网眼状体或网眼状的金属板。由金属形成的网眼状体是指编织金属线而得到的构件，网眼状的金属板是指在金属板上形成多个贯通孔而形成为网眼状的构件。
之后，通过焊料等将引线连接于外部电极4a、4b后，利用浸渍等方法在包括外部电极4a、4b的柱状层叠体5的侧面涂覆由硅酮橡胶等形成的外装树脂，由此得到层叠型压电元件1。
接着，对本发明的喷射装置的实施方式的例子进行说明。图3是表示本发明的喷射装置的实施方式之一例的简要剖视图。如图3所示，本实施方式的喷射装置6在一端具有喷射孔61的收纳容器62的内部收纳有上述的层叠型压电元件1。
在收纳容器62内配设有通过层叠型压电元件1的驱动而能够使喷射孔61开闭的针阀63。燃料通路64被配设成能够根据针阀63的移动而与喷射孔61连通。该燃料通路64与外部的燃料供给源连结，始终以固定的高压向燃料通路64供给燃料。因此，当针阀63将喷射孔61打开时，向燃料通路64供给的燃料以固定的高压向未图示的内燃机的燃料室内喷出。
另外，针阀63的上端部的内径变大，成为能够与在收纳容器62中形成的工作缸65滑动的活塞66。并且，上述的层叠型压电元件1与活塞66相接而收纳在收纳容器62内。
在这样的喷射装置6中，当层叠型压电元件1被施加电压而伸长时，按压活塞66，针阀63将喷射孔61闭塞，使燃料的供给停止。当停止电压的施加时，层叠型压电元件1收缩，碟簧67压回活塞66，喷射孔61与燃料通路64连通而进行燃料的喷射。
若在内燃机中使用本实施方式的喷射装置6，则与现有的喷射装置相比，能够将燃料更长期且精度良好地向发动机等内燃机的燃烧室喷射。
需要说明的是，喷射装置6具备具有喷射孔61的容器和层叠型压电元件1，其只要构成为填充到容器内的液体通过层叠型压电元件1的驱动而从喷射孔61喷出即可。即，层叠型压电元件1不必一定位于容器的内部，只要构成为通过层叠型压电元件1的驱动而对容器的内部施加压力即可。在本实施方式中，液体除了燃料、墨液等之外，还包括各种液状流体(导电性膏等)。
图4是表示本发明的燃料喷射系统的实施方式之一例的简要框图。如图4所示，本发明的实施方式的燃料喷射系统7具备：积蓄高压燃料的共轨71；将在该共轨71中积蓄的高压燃料进行喷射的多个喷射装置6；向共轨71供给高压燃料的压力泵72；对喷射装置6提供驱动信号的喷射控制单元73。
喷射控制单元73通过传感器等感知发动机的燃烧室内的状况并同时对燃料喷射的量或时机进行控制。压力泵72起到使燃料为1000～2000气压(约101MPa～约203MPa)左右、优选为1500～1700气压(约152MPa～约172MPa)左右并将燃料从燃料箱74向共轨71送入的作用。另外，在共轨71中蓄积从压力泵72送来的燃料，并将燃料适当向喷射装置6送入。并且，喷射装置6如上述那样将少量的燃料从喷射孔61向燃烧室内雾状地喷射。
若使用本实施方式的燃料喷射系统7，则与现有的燃料喷射系统相比，能够长期稳定地进行高压燃料的所希望的喷射。
实施例
以下，对本发明的层叠型压电元件的实施例进行说明。
首先，将以PZT为主要成分的压电体陶瓷的准烧成粉末、由有机高分子构成的粘合剂、增塑剂混合而制作料浆，并通过注浆成形法制作出厚度为150μm的陶瓷生片。
接着，通过丝网印刷法，在该陶瓷生片的单面上，将银的含有量为70质量％且钯的含有量为30质量％的银-钯合金的粉末印刷成厚度为5μm的所希望的图案形状来作为导电性膏层。另外，相对于20质量％的下述合金粉末、即银的含有量为90质量％且钯的含有量为10质量％的平均粒径为1μm的银-钯合金的粉末(表1的试料编号3)或者银的含有量为70质量％且钯的含有量为30质量％的平均粒径为1μm的银-钯合金的粉末(表1的试料编号2、4～7)，混合60～90质量％的平均粒径为3μm的PZT的粉末来改变粒子间距离，并将上述那样调整的粉末通过丝网印刷法印刷成厚度为5μm的与上述同样的形状，来作为非导电性膏层。
接着，在使导电性膏层干燥后，将涂敷了导电性膏层的多个陶瓷生片层叠100张，来制作出一次层叠成形体。并且，在一次层叠成形体的层叠方向的上侧端部层叠20张未涂敷导电性膏的陶瓷生片，在下侧端部层叠20张未涂敷导电性膏的陶瓷生片，从而制作出层叠成形体。此时，每隔一层或三层加入含有上述的合金和PZT的非导电性膏层。
接着，将该层叠成形体在100℃下加热并同时加压，使层叠成形体的陶瓷生片一体化。
接着，将层叠成形体切断成截面为8mm×8mm的四方形状且长度为18mm的四棱柱状后，在800℃进行10小时的脱粘合剂处理，在1130℃下进行2小时烧成，从而得到柱状层叠体。烧成时使用的烧成钵使用密封结构的MgO制的钵，将层叠成形体及与层叠成形体所含有的陶瓷相同组成的陶瓷粉末装入钵中进行烧成，从而得到柱状层叠体。需要说明的是，柱状层叠体中的活性部及非活性部的压电体层的厚度为100μm。
接着，利用平面磨床，对层叠体的四个侧面各以0.2mm的厚度量进行研磨。
此时，使内部电极层的端部交替露出于柱状层叠体的两个侧面。即，使内部电极层3a的端部向外部电极4a侧的柱状层叠体的侧面露出，使内部电极层3b的端部向外部电极4b侧的柱状层叠体的侧面露出。
接着，在柱状层叠体的两个侧面涂敷含有银和聚酰亚胺树脂的导电性粘接剂，并在该导电性粘接剂中埋入由不锈钢形成的网眼状体，在该状态下，在200℃下加热而使导电性粘接剂硬化，由此形成外部电极4a和外部电极4b。抽取各条件下试制的样品中的各3个，从侧面研磨2mm，之后通过粒径为1μm的金刚石研磨膏进行抛光。
之后，通过扫描型电子显微镜(SEM)的1000倍的图像观察截面，测定连结金属粒子的中心的100μm的线段之间所包含的金属粒子数和金属粒子所包含的线段的长度，将该长度的合计距离除以金属粒子数，从而求出金属粒子的平均粒径，此时求得的平均粒径为1μm。另外，测定仅含有压电陶瓷的100μm的线段之间所含有的压电陶瓷的结晶粒子数和结晶粒子所含有的线段的长度，将该长度的合计距离除以结晶粒子数，由此求出压电陶瓷的结晶粒子的平均粒径，此时求得的平均粒径为3μm。
并且，通过扫描型电子显微镜(SEM)的1000倍的图像观察截面，测定连结金属粒子的中心的100μm的线段中的金属粒子所不包含的线段的合计长度和间隔数，将该长度除以间隔数，由此求出金属粒子彼此的间隔。在表1中示出其结果。
另外，通过扫描型电子显微镜(SEM)的500倍的图像观察截面，将与存在于上侧层间的金属粒子的中心最近的下侧层间中存在的金属粒子的中心进行连接而形成线段，针对不同的5个线段测定上侧层间的金属粒子的中心与所形成的线段的距离(从上侧的金属粒子12的中心朝连接存在于下侧层间的金属粒子12的中心而形成的线段垂下的垂线的长度)，并将其平均化。在表1中示出其结果。
另外，利用维氏硬度计对非活性部端面施加500g的荷重，在端面产生约150μm的裂纹。
接着，通过焊料在正极用的外部电极(外部电极4a)、负极用的外部电极(外部电极4b)上分别连接引线，并通过乙醇清洗层叠型压电元件的表面。之后，利用底漆对层叠体实施表面处理来提高外装树脂的密接性，之后通过浸渍法将由硅酮橡胶形成的外装树脂覆盖于层叠体的表面，从而制作出层叠型压电元件。
最后，对层叠型压电元件施加2kV/mm的极化电压，对层叠型压电元件的压电体层整体实施极化处理，从而得到本发明的层叠型压电元件。
此时，制作出柱状层叠体的结构如表1所示为五种的五种层叠型压电元件。
如图1所示，试料编号2～7的层叠型压电元件在非活性部设有含有金属粒子的层。
具体而言，试料编号2的层叠型压电元件以100μm的间隔配置有两层平均粒径1μm的银/钯＝70/30的粉末以2μm的间隔分散的层。
试料编号3的层叠型压电元件以100μm的间隔配置有两层平均粒径1μm的银/钯＝90/10的粉末以3μm的间隔分散的层。
试料编号4的层叠型压电元件以300μm的间隔配置有两层平均粒径1μm的银/钯＝70/30的粉末以3μm的间隔分散的层。
试料编号5的层叠型压电元件以100μm的间隔配置有两层平均粒径1μm的银/钯＝70/30的粉末以5μm的间隔分散的层。
试料编号6的层叠型压电元件以100μm的间隔配置有两层平均粒径1μm的银/钯＝70/30的粉末以40μm的间隔分散的层。
试料编号7的层叠型压电元件以100μm的间隔配置有两层平均粒径1μm的银/钯＝70/30的粉末以110μm的间隔分散的层。
对上述的层叠型压电元件分别施加200V的直流电压的结果是，各层叠型压电元件都得到伸缩驱动引起的10μm的位移量(初始的位移量)。需要说明的是，位移量的测定通过将试料固定在防振台上，在试料上表面张贴铝箔，利用激光位移计在元件的中心部及两端部这三个部位进行测定而进行，将三个部位的位移量的平均值作为层叠型压电元件的位移量。
然后，以200Hz的频率对上述的层叠型压电元件施加0V～+200V的交流电场，在150℃下进行驱动试验。驱动试验中测定将层叠型压电元件连续驱动1×109循环后的位移，研究从初始位移开始的变化。具体而言，对各试料各评价10个，将位移的变化量的绝对值超过0.5μm的情况作为不良，并确认其个数。并且，确认连续驱动1×109循环后的从非活性部端面到活性部的裂纹的发展状况。具体而言，对各试料各测定10个，确认裂纹从非活性部端面发展到活性部的个数。在表1中示出其结果。
需要说明的是，作为比较例，制作在非活性部未设置含有金属粒子的层的层叠型压电元件(试料编号1)，并且与试料编号2～7的层叠型压电元件同样地测定初始的位移量，此时确认了10个都未得到规定的位移。另外，对于试料编号1的层叠型压电元件，与试料编号2～7的层叠型压电元件同样地确认裂纹从非活性部端面发展到活性部的个数。在表1中示出其结果。
[表1]
*1标记表示本发明范围外的试料。
本发明的试料编号2～7的层叠型压电元件中，各试料的10个中，初始的位移量与连续驱动1×109循环后的位移量之差的绝对值都未超过0.5μm。
另外，通过表1确认了如下内容，即，虽然在试料编号5～7的层叠型压电元件中，裂纹从非活性部端面发展到活性部的层叠型压电元件存在一个至两个，但在试料编号2～7的层叠型压电元件的每一个中，金属粒子的存在抑制裂纹的发展。
与此相对，确认了试料编号1的层叠型压电元件中，裂纹从非活性部端面发展到活性部的层叠型压电元件在10个中为10个。
需要说明的是，本发明没有限定为上述实施方式及实施例，在不脱离本发明的主旨的范围内可以任意施加各种变更。
符号说明：
1：层叠型压电元件
2a：活性部
2b：非活性部
21、22：压电体层
3a、3b：内部电极层
4a、4b：外部电极
5：柱状层叠体
Claims (6)
1.一种层叠型压电元件，其具备：
柱状层叠体，其具有压电体层和内部电极层交替层叠多层而形成的活性部以及在该活性部的层叠方向的两端配置的分别层叠多层压电体层而形成的非活性部；
一对外部电极，它们设置在该柱状层叠体的侧面，并与所述内部电极层每隔一层交替地电连接，
所述层叠型压电元件的特征在于，
在所述非活性部的所述压电体层的层间的至少一个，粒径比形成所述非活性部的所述压电体层的压电陶瓷的粒径小的金属粒子在从所述柱状层叠体的层叠方向观察时，散布在包括所述内部电极层彼此重叠的区域的范围内，
所述层间中的所述金属粒子彼此的间隔为形成所述非活性部的所述压电体层的压电陶瓷的粒径以上，且为所述层间彼此的间隔以下。
2.根据权利要求1所述的层叠型压电元件，其特征在于，
所述层间与所述内部电极层的间隔及所述层间彼此的间隔比所述活性部的所述压电体层的厚度大。
3.根据权利要求1所述的层叠型压电元件，其特征在于，
所述金属粒子由银-钯合金构成。
4.根据权利要求1所述的层叠型压电元件，其特征在于，
所述外部电极的端部位于所述金属粒子所散布的所述层间。
5.一种喷射装置，其特征在于，具备：
具有喷射孔的容器；
权利要求1至权利要求4中任一项所述的层叠型压电元件，
在所述容器内积蓄的流体通过所述层叠型压电元件的驱动而从所述喷射孔喷出。
6.一种燃料喷射系统，其特征在于，具备：
积蓄高压燃料的共轨；
将在该共轨中积蓄的所述高压燃料进行喷射的权利要求5所述的喷射装置；
向所述共轨供给所述高压燃料的压力泵；
对所述喷射装置提供驱动信号的喷射控制单元。
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2009-247262 | 2009-10-28 | ||
| JP2009247262 | 2009-10-28 | ||
| PCT/JP2010/068825 WO2011052528A1 (ja) | 2009-10-28 | 2010-10-25 | 積層型圧電素子およびそれを用いた噴射装置ならびに燃料噴射システム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN102511088A CN102511088A (zh) | 2012-06-20 |
| CN102511088B true CN102511088B (zh) | 2014-05-14 |
Family
ID=43921951
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201080041342.8A Active CN102511088B (zh) | 2009-10-28 | 2010-10-25 | 层叠型压电元件、使用该层叠型压电元件的喷射装置及燃料喷射系统 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US8857413B2 (zh) |
| EP (1) | EP2495776B1 (zh) |
| JP (1) | JP5518090B2 (zh) |
| CN (1) | CN102511088B (zh) |
| WO (1) | WO2011052528A1 (zh) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104584248A (zh) * | 2012-08-27 | 2015-04-29 | 佳能株式会社 | 压电材料、压电元件和电子装置 |
| JPWO2016132581A1 (ja) * | 2015-02-18 | 2017-08-24 | 株式会社村田製作所 | 圧電素子および圧電センサ |
| JP2017011125A (ja) * | 2015-06-23 | 2017-01-12 | 京セラ株式会社 | 積層型圧電素子およびこれを備えた噴射装置ならびに燃料噴射システム |
| WO2017141460A1 (ja) * | 2016-02-15 | 2017-08-24 | 京セラ株式会社 | 圧力センサ |
| JP7131955B2 (ja) * | 2017-08-08 | 2022-09-06 | 太陽誘電株式会社 | 積層セラミックコンデンサおよびその製造方法 |
| CN108878639B (zh) * | 2018-06-26 | 2022-02-11 | 业成科技（成都）有限公司 | 输入装置及其制造方法 |
| JP7239350B2 (ja) * | 2019-03-05 | 2023-03-14 | 太陽誘電株式会社 | 圧電セラミックス及びその製造方法、並びに圧電素子 |
| CN118402337A (zh) * | 2022-02-17 | 2024-07-26 | 太阳诱电株式会社 | 层叠型压电元件以及电子设备 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2003706A1 (en) * | 2006-03-07 | 2008-12-17 | Kyocera Corporation | Process for producing ceramic member, ceramic member, gas sensor element, fuel cell element, layer-built piezoelectric element, injector, and fuel injection system |
| CN101432902A (zh) * | 2006-04-28 | 2009-05-13 | 西门子公司 | 具有梯度封装层的压电执行元件及其制造方法 |
| CN101507007A (zh) * | 2006-09-28 | 2009-08-12 | 京瓷株式会社 | 层叠型压电元件、使用它的喷射装置和燃料喷射系统、层叠型压电元件的制造方法 |
Family Cites Families (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63288074A (ja) | 1987-05-20 | 1988-11-25 | Nec Corp | 積層圧電素子 |
| JPH10139540A (ja) * | 1996-10-31 | 1998-05-26 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 圧電材料 |
| JP4854831B2 (ja) * | 2000-03-17 | 2012-01-18 | 太平洋セメント株式会社 | 積層型圧電アクチュエータ |
| JP2001352110A (ja) * | 2000-06-05 | 2001-12-21 | Tokin Ceramics Corp | 積層型圧電セラミックス |
| US6734607B2 (en) * | 2000-12-28 | 2004-05-11 | Denso Corporation | Integrally fired, laminated electromechanical transducing element |
| JP3730893B2 (ja) * | 2001-09-20 | 2006-01-05 | 京セラ株式会社 | 積層型圧電素子及びその製法並びに噴射装置 |
| US7633214B2 (en) * | 2003-09-24 | 2009-12-15 | Kyocera Corporation | Multi-layer piezoelectric element |
| CN101694865B (zh) * | 2004-03-09 | 2013-03-20 | 京瓷株式会社 | 叠层型压电元件及其制造方法 |
| EP1753039B1 (en) | 2004-03-29 | 2012-10-24 | Kyocera Corporation | Multilayer piezoelectric element |
| DE112005001022B4 (de) | 2005-01-06 | 2014-08-21 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen Aktuators und piezoelektrischer Aktuator |
| WO2007049697A1 (ja) * | 2005-10-28 | 2007-05-03 | Kyocera Corporation | 積層型圧電素子およびこれを用いた噴射装置 |
| JP5311733B2 (ja) | 2006-10-30 | 2013-10-09 | 京セラ株式会社 | 積層型圧電素子、これを備えた噴射装置、及びこれを備えた燃料噴射システム |
| WO2008072746A1 (ja) | 2006-12-15 | 2008-06-19 | Kyocera Corporation | 積層型圧電素子、これを備えた噴射装置及び燃料噴射システム |
| JP5203621B2 (ja) | 2007-03-30 | 2013-06-05 | 京セラ株式会社 | 積層型圧電素子、これを備えた噴射装置及び燃料噴射システム |
| CN101681985B (zh) * | 2007-05-30 | 2012-10-31 | 京瓷株式会社 | 层叠型压电元件、喷射装置、燃料喷射系统以及层叠型压电元件的制造方法 |
| US8757130B2 (en) * | 2008-08-28 | 2014-06-24 | Kyocera Corporation | Multi-layer piezoelectric element, injection device, and fuel injection system |
-
2010
- 2010-10-25 CN CN201080041342.8A patent/CN102511088B/zh active Active
- 2010-10-25 WO PCT/JP2010/068825 patent/WO2011052528A1/ja active Application Filing
- 2010-10-25 JP JP2011538410A patent/JP5518090B2/ja active Active
- 2010-10-25 US US13/501,040 patent/US8857413B2/en active Active
- 2010-10-25 EP EP10826660.2A patent/EP2495776B1/en active Active
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2003706A1 (en) * | 2006-03-07 | 2008-12-17 | Kyocera Corporation | Process for producing ceramic member, ceramic member, gas sensor element, fuel cell element, layer-built piezoelectric element, injector, and fuel injection system |
| CN101432902A (zh) * | 2006-04-28 | 2009-05-13 | 西门子公司 | 具有梯度封装层的压电执行元件及其制造方法 |
| CN101507007A (zh) * | 2006-09-28 | 2009-08-12 | 京瓷株式会社 | 层叠型压电元件、使用它的喷射装置和燃料喷射系统、层叠型压电元件的制造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPWO2011052528A1 (ja) | 2013-03-21 |
| WO2011052528A1 (ja) | 2011-05-05 |
| US8857413B2 (en) | 2014-10-14 |
| EP2495776A4 (en) | 2014-01-22 |
| CN102511088A (zh) | 2012-06-20 |
| JP5518090B2 (ja) | 2014-06-11 |
| US20120228401A1 (en) | 2012-09-13 |
| EP2495776A1 (en) | 2012-09-05 |
| EP2495776B1 (en) | 2015-03-18 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN102511088B (zh) | 层叠型压电元件、使用该层叠型压电元件的喷射装置及燃料喷射系统 | |
| EP2461385B1 (en) | Multi-layer piezoelectric element, and injection device and fuel injection system using the same | |
| JP4933554B2 (ja) | 積層型圧電素子、これを用いた噴射装置及び燃料噴射システム、並びに積層型圧電素子の製造方法 | |
| CN103098251B (zh) | 层叠型压电元件以及使用其的喷射装置和燃料喷射系统 | |
| JP5586777B2 (ja) | 積層型圧電素子およびこれを備えた噴射装置ならびに燃料噴射システム | |
| JP5311733B2 (ja) | 積層型圧電素子、これを備えた噴射装置、及びこれを備えた燃料噴射システム | |
| JP2008053467A (ja) | 積層型圧電素子及びその製造方法 | |
| EP2511968B1 (en) | Stacked piezoelectric element, injection device using same, and fuel injection system | |
| EP2667425A1 (en) | Laminated-type piezoelectric element, and piezoelectric actuator, injection apparatus, and fuel injection system provided with same | |
| WO2007037377A1 (ja) | 積層型圧電素子およびこれを用いた噴射装置 | |
| WO2006001334A1 (ja) | 積層型電子部品及びこれを用いた噴射装置 | |
| WO2010110291A1 (ja) | 積層型圧電素子およびそれを用いた噴射装置ならびに燃料噴射システム | |
| EP2530756A1 (en) | Laminated piezoelectric element, manufacturing method of same, injection device provided with laminated piezoelectric element, and fuel injection system | |
| JP5270578B2 (ja) | 積層型圧電素子、これを備えた噴射装置及び燃料噴射システム | |
| EP2472620B1 (en) | Multilayer piezoelectric element, and injection device and fuel injection device using the same | |
| JP2003101092A (ja) | 積層型圧電素子及びその製法並びに噴射装置 | |
| JP5697381B2 (ja) | 積層型圧電素子およびこれを備えた噴射装置ならびに燃料噴射システム | |
| JP5398543B2 (ja) | 積層型圧電素子及びその製造方法、並びに噴射装置及び燃料噴射システム | |
| JP5329544B2 (ja) | 燃料噴射システム | |
| CN100587989C (zh) | 叠层型电子部件及使用其的喷射装置 | |
| JP2006210423A (ja) | 積層型圧電素子及びその製造方法 | |
| WO2016121278A1 (ja) | 積層型圧電素子およびこれを備えた噴射装置ならびに燃料噴射システム | |
| WO2012011302A1 (ja) | 積層型圧電素子およびこれを備えた噴射装置ならびに燃料噴射システム | |
| JP2009182311A (ja) | 積層型圧電素子及びその製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant |