CN102437251A - 用于板式pecvd设备的硅片自动上下料系统 - Google Patents

Abstract

本发明提供了用于板式PECVD设备的硅片自动上下料系统，其能解决现有手工操作存在的硅片破碎率高的问题，能降低生产成本、提高劳动生产率、降低工人劳动强度。其包括安装于PECVD设备的进料端侧的主机架、控制系统、待处理硅片送料机构、已处理硅片出料机构、硅片转运机构以及硅片的横向搬运机构，待处理硅片送料机构与已处理硅片出料机构沿纵向平行布置于主机架的横向两侧，硅片转运机构沿纵向布置、并安装于待处理硅片送料机构与已处理硅片出料机构之间，硅片的横向搬运机构安装于主机架上、并横跨于待处理硅片送料机构、硅片转运机构、已处理硅片出料机构的上方，待处理硅片送料机构、已处理硅片出料机构、硅片转动机构、硅片的横向搬运机构与控制系统之间均电控连接。

Description

用于板式PECVD设备的硅片自动上下料系统

技术领域

本发明涉及太阳能硅片加工自动化设备领域，其涉及减反射膜制备工序的自动化设备领域，具体为用于板式PECVD设备的硅片自动上下料系统。

背景技术

在现有的减反射膜制备工序中，需要人工将碳板上已经处理过的硅片装入片盒、将未处理过的硅片装进碳板，其缺点在于人工操作易引起硅片的破碎使得生产成本高，同时，人工操作生产效率低、劳动强度大。

发明内容

针对上述问题，本发明提供了用于板式PECVD设备的硅片自动上下料系统，其能解决现有手工操作存在的硅片破碎率高的问题，从而能够降低生产成本，并能够提高劳动生产率、降低工人劳动强度。

其技术方案是这样的，其包括主机架，所述主机架安装于PECVD设备的进料端侧，其特征在于：其包括控制系统、待处理硅片送料机构、已处理硅片出料机构、硅片转运机构以及硅片的横向搬运机构，所述待处理硅片送料机构与已处理硅片出料机构沿纵向平行布置于所述主机架的横向两侧，所述硅片转运机构沿纵向布置、并安装于所述待处理硅片送料机构与已处理硅片出料机构之间，所述硅片的横向搬运机构安装于所述主机架上、并横跨于所述待处理硅片送料机构、硅片转运机构、已处理硅片出料机构的上方，所述待处理硅片送料机构、已处理硅片出料机构、硅片转动机构、硅片的横向搬运机构与所述控制系统之间均电控连接。

其进一步特征在于：

所述待处理硅片送料机构包括硅片盒运输线一、进料升降台、排片输送机、出片机构，所述硅片盒运输线一和所述排片输送机分别沿纵向同轴安装于进料机架、所述主机架，所述进料升降台固定于所述进料机架、位于所述硅片盒运输线一出料端与所述排片输送机进料端之间；所述出片机构沿纵向安装于所述排片输送机的下方；所述排片输送机的进料端安装有硅片定位装置，所述硅片定位装置固定于所述主机架；所述硅片定位装置包括纵向定位装置和横向定位装置；所述已处理硅片出料机构包括硅片盒运输线二、出料升降台、出片搬运架、出片输送机，所述硅片盒运输线二与所述出片输送机沿纵向同轴布置，所述硅片盒运输线二、出片输送机分别沿纵向安装于出料机架和所述主机架，所述出料升降台固定于所述出料机架、并位于所述出片输送机的出料端与所述硅片盒运输线二的进料端之间；所述出片搬运架沿纵向固定于所述主机架、所述出料升降台的侧面；所述出片输送机的出料末端安装有所述横向定位装置；所述硅片转运机构包括碳板输送装卸台、碳板升降台和底部机内输送线，所述碳板升降台设置有两组，其中一组安装于所述主机架的外侧且位于所述进料机架与所述出料机架的横向中间、另一组安装于PECVD设备出料端侧，所述碳板输送装卸台固定于所述主机架、其横向位置正对PECVD设备的进料口，所述底部机内输送线沿纵向布置于所述两组碳板升降台之间，其包括主机架段输送线与PECVD段输送线，所述主机架段输送线安装于所述主机架内、并位于所述碳板输送装卸台的下方，所述PECVD段输送线安装于所述PECVD的底部；所述硅片的横向搬运机构固定于所述主机架、并横跨于所述排片输送机、碳板输送装卸台、出片输送机上方。

其更进一步特征在于：

所述硅片盒运输线一和硅片盒运输线二均包括进盒线与出盒线，所述进盒线与出盒线均设置有输送电机，所述输送电机输出端通过联轴器连接转动轴，所述转动轴两端固定有同步带轮，所述同步带轮通过同步带连接输送同步带轮；所述进盒线的输送电机与出盒线的输送电机旋转方向相反；所述进盒线与出盒线层叠安装；所述硅片盒运输线一的进盒线一与出盒线一沿纵向层叠安装于所述进料机架上，所述出盒线一位于所述进盒线一的上方；所述硅片盒运输线二的进盒线二与出盒线二沿纵向层叠安装于所述出料机架，所述进盒线二位于所述出盒线二的上方；

所述进料升降台包括安装支架、竖向升降机构和水平输送机一，所述水平输送机一固定于升降底板，所述升降底板通过连接板一固定于所述竖向升降机构，所述竖向升降机构通过所述安装支架固定于所述进料机架；所述竖向升降机构包括竖向直线模组和伺服电机一，所述竖向直线模组固定于所述安装支架、并通过联轴器连接伺服电机一，所述水平输送机一安装于升降底板，所述升降底板通过连接板一安装于所述竖向直线模组；所述水平输送机一包括电机，电机安装于升降底板底部，电机输出轴连接传动同步带轮，传动同步带轮通过传动同步带与输送同步带轮连接，输送同步带轮通过输送同步带与输送从动带轮连接；所述连接板一上端固定有压紧气动滑台，所述压紧气动滑台外侧端安装有压装装置；所述定位挡块安装于所述升降底板的硅片出片侧端；所述出料升降台包括无杆气缸、丝杆传动机构和水平输送机二，所述无杆气缸通过支撑架竖向安装于所述出料机架，所述水平输送机二固定于水平安装板，所述丝杆传动机构的上顶板固定于所述水平安装板的底面，所述水平输送机二与所述丝杆传动机构均通过连接板安装于移动滑块，所述移动滑块连接无杆气缸输出端，所述支撑架上与所述无杆气缸平行安装有直线导轨，所述移动滑块嵌装于所述直线导轨上；所述丝杆传动机构包括伺服电机五、滚珠丝杆，所述伺服电机五的输出端连接同步带轮，所述滚珠丝杆上端通过轴承座一固定于所述水平安装板、其下端连接有传动带轮，所述同步带轮与传动带轮之间通过同步带连接，所述滚珠丝杆上安装有丝杆螺母，所述丝杆螺母与导杆连接，所述导杆上端穿过所述水平安装板、且其上端部安装有托板；所述水平输送机二与水平输送机一结构相同；

所述排片输送机与出片输送机结构相同，均包括底板、传送带、传送带轮、伺服电机八，所述底板固定于所述主机架，所述传送带轮包括主动带轮与从动带轮，所述主动带轮与从动带轮分别通过带轮安装板固定于传送带托架的两端，所述传送带托架通过支架沿纵向固定于所述底板，所述伺服电机八通过支架安装于所述底板的一侧，所述伺服电机八的输出端安装有驱动带轮，所述驱动带轮与主动带轮通过同步带连接，所述主动带轮与从动带轮之间通过所述传送带连接，所述传送带绕装于所述主动带轮、传送带托架以及从动带轮外部；

所述出片机构包括伺服电机二、纵向直线模组一、竖向气动滑台一、出片板，所述出片板通过纵向连接板二装于所述竖向气动滑台一，所述竖向气动滑台一通过气动滑台支架安装于底板，所述底板安装于所述纵向直线模组一，所述纵向直线模组一通过联轴器与所述伺服电机二连接；

所述纵向定位装置安装于所述排片输送机的进料端，其包括定位块、移动块一、伺服电机三、减速器一，所述伺服电机三与所述减速器一轴接，所述减速器一固定于固定板一下端、其输出轴穿过所述固定板一，所述减速器输出轴端安装有齿轮一，所述固定板一的横向两端安装有纵向直线导轨，所述移动块一下部横向两端设置有滑块一，所述滑块一卡装于所述纵向直线导轨，所述移动块一下部还固定有齿条一，所述齿轮一与齿条一啮合，所述定位块设置有两块、分别对称安装于连接板三的横向两端部，所述连接板三固定于所述移动块一上部；所述纵向定位装置的伺服电机三、减速器一穿过所述主机架、并通过所述固定板一固定于所述主机架，所述两块定位块分别位于所述排片输送机的横向两侧；

所述横向定位装置沿所述排片输送机的进料方向、安装于所述纵向定位装置的后端，其包括定位轮一、移动块二、减速器二、伺服电机四，所述伺服电机四与减速器二轴接，所述减速器二固定于固定板二下端、其输出轴穿过所述固定板二，所述减速器输出端安装有齿轮二，所述移动块二设置有两块，所述两块移动块二均为L形，所述两块移动块相互嵌合，所述两块移动块的纵向下端均安装有滑块二，所述固定板二的纵向两端安装有横向直线导轨，所述滑块二嵌装于所述横向直线导轨上，所述两块移动块动上均安装有横向齿条，所述横向齿条与所述齿轮啮合连接，所述两块移动块的横向外侧端安装有连接板四，所述连接板四上部安装有定位轮一安装板，所述定位轮一安装板的纵向两端分别安装有所述定位轮一；所述横向定位装置的减速器二和伺服电机四穿过所述主机架、并通过所述固定板二固定于所述主机架，所述两块移动块二的的定位轮一分别位于所述排片输送机的横向两侧；

所述出片搬运架包括纵向直线模组二、伺服电机六，所述纵向直线模组二通过两端的支架一和支架二支承，所述支架一固定于所述主机架、所述出片输送机的出料末端的一侧，所述支架二固定于所述硅片盒运输线二的进盒线二平台上，所述纵向直线模组二通过联轴器与所述伺服电机六轴接，所述纵向直线模组二上通过连接板五安装有竖向气动滑台二，所述竖向气动滑台二下部通过吸盘安装板连接有气旋吸盘；

所述碳板输送装卸台包括支架二、水平输送机一、压紧定位机构、顶升机构和定位机构，所述支架二横向安装于所述主机架，所述输送机通过输送机机架安装于所述支架二，所述压紧定位机构和定位机构分别安装于所述输送机的纵向两端，所述顶升机构通过固定板三安装于所述支架二；所述水平输送机三包括电机、传动轴、主动输送轮和从动输送轮，所述电机通过电机支架固定于所述输送机机架下部，所述传动轴的横向两端通过轴承座二固定于所述输送机机架的纵向支架，所述电机与所述传动轴通过同步带轮传动连接，所述传动轴的横向两端均通过所述轴承座二安装有一个所述主动输送轮，所述两侧纵向支架上均分别通过轴承座三安装有两个所述主动输送轮与两个从动输送轮，所述主动输送轮与从动输送轮均匀、间隔分布安装于所述纵向支架，单侧所述纵向支架上、相邻两个所述主动输送轮之间通过传送带传动连接；所述压紧定位机构设置有两个，分别通过安装板一安装于所述输送机机架进料侧的横向支架两端；所述安装板二下部固定有纵向气动滑台一，所述纵向气动滑台通过连接板六连接竖向气动滑台三，所述竖向气动滑台三的上端固定有压紧座，所述压紧座通过导杆一连接压紧块，所述导杆一外部套装有弹簧，所述竖向气动滑台三通过横向连接板七安装有调节板一，所述调节板一的纵向前端安装有定位轮二；所述顶升机构包括顶升板，所述顶升板上部安装有载片柱，所述顶升板下部通过连接板八固定于竖向气动滑台四，所述竖向气动滑台四固定于所述固定板三，所述固定板三固定于所述支架二，所述竖向气动滑台四侧面安装有直线轴承导轨，所述直线轴承导轨上安装有导杆二，所述导杆二上端顶紧所述连接板下部；所述定位机构包括设置有两个，分别通过安装板二固定于所述输送机机架出料侧的横向支架两端；所述安装板二下部固定有纵向气动滑台二，所述纵向气动滑台二通过连接板八与竖向气动滑台五连接，所述竖向气动滑台五上端通过连接块与调节板二，所述调节板二的前端固定有定位轮三；

所述碳板升降台包括机架，所述机架的纵向一侧安装有竖向平移机构、其横向安装有水平输送机四，所述水平输送机四通过连接板九安装于所述竖向平移机构；所述竖向平移机构包括固定板四、直线模组，所述直线模组通过所述固定板固定于所述机架的纵向一侧的竖向支架上，所述直线模组通过联轴器与伺服电机七连接，所述固定板的纵向两端安装有竖向导轨，所述水平输送机四安装于输送机机架，所述输送机机架固定于所述连接板九，所述连接板九背面的纵向两侧安装有滑块，所述滑块卡装于所述竖向导轨；所述水平输送机四的结构与所述水平输送机三的结构相同；

所述横向搬运机构包括直线导轨支架、直线模组支架、上料搬运机构和下料搬运机构，所述直线导轨支架与直线模组支架等高、并沿横向平行固定于所述主机架，所述直线导轨支架上安装有直线导轨，所述上料搬运机构和下料搬运机构均包括直线模组与搬运横梁，所述直线模组均轴接安装有伺服电机九，所述上料搬运机构的直线模组与下料搬运机构的直线模组交错安装于所述直线模组支架，所述搬运横梁一端通过滑块安装于所述直线导轨、另一端通过直线模组连接板安装于对应的直线模组；所述上料搬运机构的搬运横梁与下料搬运机构的搬运横梁背向安装，所述搬运横梁外侧面安装有气动滑台，所述气动滑台通过气动滑台安装板连接吸盘安装横梁，所述吸盘安装横梁上通过吸盘安装板固定有所述气旋吸盘；所述吸盘安装横梁上安装有六个所述气旋吸盘，所述六个气旋吸盘均匀分布于所述吸盘安装横梁上；

所述碳板输送装卸台的下方安装有废料收集机构，所述废料收集机构固定于所述主机架；所述待处理硅片进料机构与已处理硅片出料机构均设置有两套；所述两套待处理硅片进料机构、两套已处理硅片出料机构均沿纵向平行安装。

采用本发明的用于板式PECVD设备的自动上下料系统，其有益效果在于：其解决了其实现硅片的全自动上下料操作，大大提高了生产效率，降低工人劳动强度，同时避免了以往因人工手动上下料而引起的硅片碎片率高的问题，降低了生产成本。

附图说明

图1为本发明一种用于板式PECVD设备的的硅片自动上下料系统俯视结构示意图；

图2为本发明一种用于板式PECVD设备的的硅片自动上下料系统左视结构示意图；

图3为图1的右视结构示意图；

图4为图1的左视结构示意图；

图5为本发明中硅片盒运输线一的结构示意图；

图6为本发明中硅片盒运输线二的结构示意图；

图7为本发明中进料升降台结构示意图；

图8为本发明中出料升降台结构示意图；

图9为图8的左视结构示意图；

图10为图8的俯视结构示意图；

图11为本发明中排片输送机（出片输送机）结构示意图；

图12为本发明中出片机构结构示意图；

图13为本发明中纵向定位装置结构示意图；

图14为本发明中横向定位装置主视结构示意图；

图15为图14的俯视结构示意图；

图16为本发明中出片搬运架的结构示意图；

图17为图16的左视结构示意图；

图18为本发明中碳板输送装卸台结构示意图；

图19为本发明中碳板输送装卸台的水平输送机三结构示意图；

图20为本发明中碳板输送装卸台的压紧定位机构结构示意图；

图21为本发明中碳板输送装卸台的顶升机构结构示意图；

图22为本发明中碳板输送装卸台的定位机构结构示意图

图23为本发明中碳板升降台的结构示意图；

图24为本发明中横向搬运机构结构示意图。

具体实施方式

见图1、图2、图3和图4，本发明一种用于板式PECVD设备的的硅片自动上下料系统其包括主机架1，主机架1安装于PECVD的进料口侧，其还包括待处理硅片送料机构、已处理硅片出料机构、硅片转运机构以及硅片的横向搬运机构8，待处理硅片送料机构与已处理硅片出料机构沿纵向平行布置于主机架1的横向两侧，硅片转运机构沿纵向布置、并安装于待处理硅片送料机构与已处理硅片出料机构之间，硅片的横向搬运机构8安装于所述主机架1上、并横跨于待处理硅片送料机构、硅片转运机构、已处理硅片出料机构的上方。待处理硅片送料机构包括硅片盒运输线一、进料升降台16、排片输送机7、出片机构6，硅片盒运输线一与排片输送机7纵向布置分别沿纵向同轴安装于进料机架2、所述主机架1，进料升降台16固定于进料机架2、并位于硅片盒运输线一出料端与排片输送机7进料端之间；出片机构6沿纵向安装于排片输送机7的下方；排片输送机7的进料端安装有硅片定位装置，硅片定位装置固定于主机架1；硅片定位装置包括纵向定位装置4和横向定位装置5；已处理硅片出料机构包括硅片盒运输线二、出料升降台12、出片搬运架13、出片输送机14，硅片盒运输线二与出片输送机14沿纵向同轴安装于出料机架3和主机架1，出料升降台12固定于出料机架3、并位于出片输送机14的出料端与硅片盒运输线二的进料端之间；出片搬运架13沿纵向固定于主机架1、出料升降台12的侧面；出片输送机14的出料末端安装有横向定位装置5；硅片转运机构包括碳板输送装卸台9、碳板升降台和底部机内输送线，碳板升降台设置有两组分别为10a和10b，其中碳板升降台10a安装于主机架1的外侧且位于进料机架2与出料机架3的横向中间、另一组碳板升降台10b安装于PECVD设备出料端侧，碳板输送装卸台9固定于主机架1、其横向位置正对PECVD设备的进料口，底部机内输送线沿纵向布置于碳板升降台10a与碳板升降台10b之间，其包括主机架段输送线15a与PECVD段输送线15b，主机架段输送线15a安装于主机架1内、并位于碳板输送装卸台9的下方，PECVD段输送线15b安装于PECVD的底部，硅片的横向搬运机构8固定于主机架1、并横跨于排片输送机7、碳板输送装卸台9、出片输送机14上方。

硅片盒运输线一包括沿进料机架2纵向层叠安装的进盒线一17和出盒线一18，见图5，进盒线一17与出盒线一18分别设置有输送电机17-1和18-1，输送电机17-1输出端通过联轴器17-2连接转动轴17-3，转动轴17-3两端固定有同步带轮17-4，同步带轮17-4通过同步带17-5连接输送同步带轮17-6；输送电机17-1与输送电机18-1旋转方向相反；出盒线一18位于进盒线一17的上方；出盒线一18结构与进盒线一17相同；硅片盒运输线二包括沿出料机架3纵向层叠安装的进盒线二20与出盒线二19，见图6，进盒线二20位于所述出盒线二19的上方；硅片盒运输线二的结构与硅片盒运输线一的结构相同；工作时，进盒线一17的输送电机17-1通过联轴器17-2带动转动轴17-3转动，转动轴17-3带动两端的同步带轮17-4转动、从而带动同步带17-5水平移动将装满未经PECVD处理硅片的硅片盒输送至进料升降台16上，待硅片盒中的硅片全部取出后进料升降台16将空硅片盒举升至出盒线一18的高度，进料升降台16的水平输送装置将空硅片盒输送至出盒线一18的水平同步带18-5上，出盒线一18的输送电机18-1通过联轴器18-2带动转动轴18-3转动，输送电机18-1的转动方向与输送电机17-1的转动方向相反，转动轴18-3带动两端的同步带轮18-4转动、从而带动同步带18-5水平移动、既而将空硅片盒带离；硅片盒运输线二其进盒线二20位于出盒线二19的上方，其工作流程与硅片盒运输线一相反；

进料升降台16包括安装支架16-3、竖向升降机构和水平输送机一，见图7，水平输送机一固定于竖向升降机构，竖向升降机构通过安装支架16-3固定于进料机架2；竖向升降机构包括竖向直线模组16-2和伺服电机一16-1，竖向直线模组16-2固定于安装支架16-3、并通过联轴器连接伺服电机一16-1，水平输送机一安装于升降底板16-5，升降底板16-5通过连接板一16-4安装于竖向直线模组16-2；连接板一16-4上端固定有压紧气动滑台16-8，压紧气动滑台16-8外侧端安装有压装装置16-7；水平输送机一包括电机46，电机46安装于升降底板底部16-5，电机46输出轴连接传动同步带轮47，传动同步带轮47通过传动同步带48与输送同步带轮49连接，输送同步带轮49通过输送同步带50与输送从动带轮51连接；升降底板16-5的硅片出片侧端安装有定位挡块16-6；进料升降台16工作时：伺服电机一16-1转动，连接板一16-4在竖向直线模组16-2的作用下带动安装于其上的压紧装置16-7、升降底板16-5、升降底板16-5上的水平输送机一起下降、直至升降底板16-5上的水平输送机一与进盒线一17的同步带17-5处于同一水平位置伺服电机一16-1停止工作，水平输送机一的电机16-8转动通过传动同步带16-6带动输送同步带轮16-9转动，从而实现输送同步带16-10的水平移动，装满未经PECVD处理硅片的硅片盒即由进盒线一17输送至进料升降台16上，电机16-8停止工作，硅片盒受定位挡块16-6的阻挡停留在输送同步带16-10表面，随后压紧气动滑台16-8动作带动压紧装置16-7向下压紧硅片盒，伺服电机一16-1与竖向直线模组16-2工作、将硅片盒向上提升，直到硅片盒中最下层的硅片的高度到达预定出片位置，出片机构6将硅片盒中的硅片自下往上一一取出，每取出一张硅片，伺服电机16-1控制竖向直线模组16-2带动硅片盒下降一层硅片高度，直到硅片盒中的硅片被取空后，伺服电机16-1控制竖向直线模组16-2带动空硅片盒下降至出盒线一18的高度，空硅片盒由水平输送机送入出盒线一18；

所述出料升降台12包括无杆气缸12-1、丝杆传动机构和水平传动输送机二，见图8、图9和图10，无杆气缸12-1通过支撑架12-2竖向安装于出料机架3，水平输送机二12-17固定于水平安装板12-3，丝杆传动机构的上顶板12-4固定于水平安装板12-3的底面，水平输送机二12-17与丝杆传动机构均通过连接板12-5安装于移动滑块12-6，移动滑块12-6连接无杆气缸输出端，支撑架12-2上安装有与无杆气缸12-1平行的直线导轨12-7，移动滑块12-6嵌装于直线导轨12-7上；丝杆传动机构包括伺服电机五12-8、滚珠丝杆12-9，伺服电机五12-8的输出端连接同步带轮12-10，滚珠丝杆12-9上端通过轴承座一12-11固定于水平安装板12-3、下端连接有传动带轮12-12，同步带轮12-10与传动带轮12-12之间通过同步带12-16连接，滚珠丝杆12-9上安装有丝杆螺母12-13，丝杆螺母12-13与导杆12-14连接，导杆12-14上端穿过水平安装板12-3、且其上端部安装有托板12-15；水平输送机二12-17与水平输送机一结构相同；

排片输送机7与出片输送机14结构相同，见图11，均包括底板22、传送带23、传送带轮、伺服电机八24，底板22固定于主机架1，传送带轮包括主动带轮25与从动带轮26，主动带轮25与从动带轮26分别通过带轮安装板27、28固定于传送带托架29的两端，传送带托架29通过支架30沿纵向固定于底板22，伺服电机八24通过支撑31安装于底板22的一侧，伺服电机八24的输出端安装有驱动带轮32，驱动带轮32与主动带轮25通过同步带33连接，主动带轮25与从动带轮26之间通过传送带23连接，传送带23绕装于主动带轮25、传送带托架29以及从动带带轮26外部；

出片机构6包括伺服电机二6-1、纵向直线模组一6-2、竖向气动滑台一6-4、出片板6-7，见图12，出片板6-7通过纵向连接板二6-6装于竖向气动滑台一6-4，竖向气动滑台一6-4通过气动滑台支架6-3安装于底板6-5，底板6-5安装于纵向直线模组一6-2，纵向直线模组一6-2通过联轴器与伺服电机二6-1连接；出片机构工作时：伺服电机二6-1、纵向直线模组一6-2动作，推动安装于纵向直线模组一6-2上的出片板6-7向前伸出至定位于进料升降台上的硅片盒中最下层的硅片下方，竖向气动滑台一6-4向上伸出使出片板6-7与硅片接触，伺服电机二6-1、纵向直线模组一6-2继续动作带动出片板6-7以及其上的硅片向后运动到达排片输送机的上方后停止动作，然后竖向气动滑台一6-4向下回缩、硅片被放置于排片输送机7上后与出片板6-7分离，一个出片过程结束；

纵向定位装置4安装于排片输送机7的进料端，其结构见图13，其包括定位块4-9、移动块一4-7、伺服电机三4-1、减速器一4-2，伺服电机三4-1与减速器一4-2轴接，减速器一4-2固定于固定板一4-10下端、其输出轴穿过固定板一4-10，减速器4-2输出轴端安装有齿轮一4-5，固定板一4-10的横向两端安装有纵向直线导轨4-3，移动块一4-7下部横向两端设置有滑块一4-4，滑块一4-4卡装于纵向直线导轨4-3，移动块一4-7下部还固定有齿条一4-6，齿轮一4-5与齿条一4-6啮合，定位块4-9设置有两块、分别对称安装于连接板三4-8的横向两端部，连接板三4-8固定于移动块一4-7上部；纵向定位装置4的伺服电机三4-1、减速器一4-2穿过主机架1、并通过固定板一4-10固定于主机架1，两块定位块4-9分别位于排片输送机7的横向两侧；当排片输送机表面的硅片经过纵向定位装置时，齿轮一4-5在伺服电机三4-1、减速器4-2的驱动下转动，通过齿轮一4-5与齿条一4-6的啮合传动、移动块一4-7沿着纵向直线导轨4-3作水平的纵向移动，硅片由固定于移动块一4-7横向两端的定位块4-9进行纵向定位；

横向定位装置5沿排片输送机7的进料方向、安装于纵向定位装置4的后端，其结构见图14、图15，其包括定位轮一5-10、移动块二5-7、减速器二5-2、伺服电机四5-1，伺服电机四5-1与减速器二5-2轴接，减速器二5-2固定于固定板二5-11下端、其输出轴穿过固定板二5-11，减速器5-2输出端安装有齿轮二5-5，移动块二5-7设置有两块，两块移动块二5-7均为L形，两块移动块5-7相互嵌合，两块移动块5-7的纵向下端均安装有滑块二5-4，固定板二5-11的纵向两端安装有横向直线导轨5-3，滑块二5-4嵌装于横向直线导轨5-3上，两块移动块5-7上均安装有横向齿条5-6，横向齿条5-6与齿轮二5-5啮合连接，两块移动块5-7的横向外侧端安装有连接板四5-8，连接板四5-8上部安装有定位轮一安装板5-9，定位轮一安装板5-9的纵向两端分别安装有定位轮一5-10；横向定位装置5的减速器二5-2和伺服电机四5-1 穿过主机架1、并通过固定板二5-11固定于主机架1，两块移动块二5-7的的定位轮一5-10分别位于排片输送机7的横向两侧；对硅片进行横向定位时，齿轮二5-5在伺服电机四5-1、减速器二5-2的驱动下转动，分别安装于两块移动块二5-7上的齿条5-6与齿轮二5-5啮合传动，两块移动块二5-7在对应的齿条二5-6的带动下沿横向直线导轨5-3横向移动，从而使固定于两块移动块二5-7上的定位轮5-10能够将硅片进行横向的水平微量移动，完成横向定位的操作；

出片搬运架13包括纵向直线模组二13-2、伺服电机六13-3，见图16和图17，纵向直线模组二13-2通过两端的支架一13-1和支架二13-8支承，支架一13-1固定于主机架1、出片输送机14的出料末端的一侧，支架二13-8固定于硅片盒运输线二的进盒线二20的平台上，纵向直线模组二13-2通过联轴器与伺服电机六13-3轴接，纵向直线模组二13-2上通过连接板五13-4安装有竖向气动滑台二13-5，竖向气动滑台二13-5下部通过吸盘安装板13-6连接有气旋吸盘13-7；工作时，伺服电机六13-3、纵向直线模组二13-2控制竖向气动滑台二13-5沿纵向水平移动，竖向气动滑台13-5控制气旋吸盘13-7从出片输送机14表面的硅片吸取后，沿纵向移动至出料升降台12上方，气旋吸盘13-7将硅片放置于出料升降台12的硅片盒中，即完成一个硅片的移动过程；

碳板升降台10a、10b均包括机架10-8，见图23，机架10-8的纵向一侧安装有竖向平移机构、其横向安装有水平输送机四10-7，水平输送机四10-7通过连接板九10-5安装于竖向平移机构；竖向平移机构包括固定板四10-9、直线模组10-2，直线模组10-2通过固定板四10-9固定于机架10-8的纵向一侧的竖向支架上，直线模组10-2通过联轴器与伺服电机七10-1连接，固定板四10-9的纵向两端安装有竖向导轨10-3，水平输送机四10-7安装于输送机机架10-6，输送机机架10-6固定于连接板九10-5，连接板九10-5背面的纵向两侧安装有滑块10-4，滑块10-4卡装于竖向导轨10-3；水平输送机四10-7的结构与水平输送机三9-2的结构相同；工作时，伺服电机七10-1、直线模组10-2控制水平输送机四10-7上下移动，水平输送机四10-7将放置于其表面的出片碳板进行水平输送；

碳板输送装卸台9包括支架二9-1、水平输送机三9-2、压紧定位机构9-3、顶升机构9-4和定位机构9-5，见图18，支架二9-1横向安装于主机架1，输送机9-2通过输送机机架42安装于支架二9-1，压紧定位机构9-3和定位机构9-5分别安装于输送机9-2的纵向两端，顶升机构9-4通过固定板三9-17安装于支架二9-1；水平输送机三9-2包括电机34、传动轴37、主动输送轮39和从动输送轮40，见图19，电机34通过电机支架35固定于输送机机架42下部，传动轴37的横向两端通过轴承座二41固定于输送机机架42的纵向支架43上，电机34与传动轴37通过同步带轮36、38传动连接，传动轴37的横向两端均通过轴承座二安装有一个主动输送轮39，两侧纵向支架43上通过轴承座三45安装有两个主动输送轮39与两个从动输送轮40，主动输送轮39与从动输送轮40均匀、间隔分布安装于纵向支架37，单侧纵向支架上37、相邻两个主动输送轮39之间通过传送带52传动连接；压紧定位机构9-3设置有两个，分别通过安装板一9-7安装于输送机机架42进料侧的横向支架44两端；见图20，安装板一9-7下部固定有纵向气动滑台一9-6，纵向气动滑台9-6通过连接板六9-8连接竖向气动滑台三9-9，竖向气动滑台三9-9的上端固定有压紧座9-10，压紧座9-10通过导杆一9-14连接压紧块9-16，导杆一9-14外部套装有弹簧9-15，竖向气动滑台三9-9通过横向连接板七9-11安装有调节板一9-12，调节板一9-12的纵向前端安装有定位轮二9-13；顶升机构9-4包括顶升板9-22，见图21，顶升板9-22上部安装有载片柱9-23，顶升板9-22下部通过连接板八9-21固定于竖向气动滑台四9-20，竖向气动滑台四9-20固定于固定板三9-17，固定板三9-17固定于支架二9-1，竖向气动滑台四9-20侧面安装有直线轴承座9-19，直线轴承座9-19上安装有导杆二9-18，导杆二9-18上端顶紧连接板八9-21下部；定位机构9-5包括设置有两个，分别通过安装板二9-25固定于输送机机架42出料侧的横向支架44两端；见图22，安装板二9-25下部固定有纵向气动滑台二9-24，纵向气动滑台二9-24通过连接板八9-26与竖向气动滑台五9-27连接，竖向气动滑台五9-27上端通过连接块9-28与调节板二9-29连接，调节板二9-29的前端固定有定位轮三9-30；在工作过程中，装满已处理硅片的出片碳板由碳板升降台10a的水平输送机10-7水平输送至碳板输送装卸台的顶升机构9-22的正上方，同时压紧定位机构9-3和定位机构9-5动作，将出片碳板夹紧定位后，然后顶升机构9-22的竖向气动滑台四9-20向上动作，载片柱9-23支承住硅片，横向搬运机构动作进行硅片的装卸，硅片装卸完后，顶升机构9-22动作将硅片落入碳板的定位槽中，压紧定位机构9-3与定位机构9-5动作松开出片碳板，水平输送机三9-2动作将出片碳板水平输送至PECVD进料端口；

横向搬运机构包括直线导轨支架8-12、直线模组支架8-13、上料搬运机构和下料搬运机构，见图24，直线导轨支架8-12与直线模组支架8-13等高、并沿横向平行固定于主机架1，直线导轨支架8-12上安装有直线导轨8-11，上料搬运机构包括直线模组8-1a和搬运横梁8-14a，下料搬运机构包括直线模组8-1b与搬运横梁8-214b，直线模组8-1a、8-1b均轴接安装有伺服电机九8-4，直线模组8-1a与直线模组8-1b交错安装于直线模组支架8-13，搬运横梁8-14a、8-14b的一端分别通过滑块8-10a、8-10b安装于直线导轨8-11、另一端通过直线模组连接板8-3a（图23中未标注）、8-3b安装于对应的直线模组8-1a、8-1b；搬运横梁8-14a与搬运横梁8-14b背向安装，搬运横梁8-14a、8-14b的外侧面分别安装有气动滑台8-9a（图23中未标注）、8-9b，气动滑台8-9a、8-9b分别通过气动滑台连接板8-8a（图23中未标注）、8-8b连接吸盘安装横梁8-7a（图23中未标注）、8-7b，吸盘安装横梁8-7a、8-7b上分别通过吸盘安装板8-5a、8-5b固定有气旋吸盘8-6a、8-6b；吸盘安装横梁8-7a、8-7b上均对应安装有六个气旋吸盘8-6a、8-6b，六个气旋吸盘8-6均匀分布于吸盘安装横梁8-7上；进行上料搬运时，上料搬运机构的搬运横梁8-14a在伺服电机九8-4、直线模组8-1a的作用下沿直线导轨8-11水平移动至排片输送机7上方，气动滑台8-9a动作、驱动与其连接安装的气旋吸盘8-6a向下运动使气旋吸盘8-6a与硅片接近，气旋吸盘8-6a通气、吸取排片输送架7表面的硅片，然后伺服电机九8-4、直线模组8-1a驱动搬运横梁8-14a水平移动至碳板输送装卸台9的正上方，气动滑台8-9a带动气旋吸盘8-6a向下使硅片与碳板接近，气旋吸盘8-6a断气，硅片即被放置于载片柱9-23上；出料搬运过程与上料搬运过程相反； 

碳板输送装卸台9的正下方安装有废料收集机构21，废料收集机构21固定于主机架1；待处理硅片进料机构与已处理硅片出料机构均设置有两套；两套待处理硅片进料机构、两套已处理硅片出料机构均沿纵向平行安装。

下面结合附图具体描述一下采用本发明实现硅片自动上下料的过程：见图1和图2，首先，装满未经PECVD处理硅片的硅片盒由进盒线一17输送至进料升降台16，进料升降台16将硅片盒向上举升至预设的出片位置高度，出片机构6动作、向进料升降台16方向伸出将硅片盒中硅片取出放置于排片输送机7传送带表面，每取出一片硅片进料升降台16向下移动一层高度、排片输送机7带动传送带表面的硅片向前移动一格距离，待硅片盒中的硅片全部取出后进料升降台16带动空硅片盒上升至出盒线一18的高度，由出盒线一将空硅片盒运出，而当排片输送机7的输送带表面排满硅片后，横向搬运机构8的上料搬运机构整体沿直线导轨8-11向排片输送机7一侧移动，上料搬运机构的气旋吸盘8-6a将排片输送机7传送带表面排列的硅片吸取后、上料搬运机构整体平移至碳板输送装卸台9上方，气旋吸盘8-6a将硅片放置于碳板输送装卸台9上的出片碳板上，直至出片碳板上排满硅片后碳板输送装卸台9将表面放满未处理硅片的出片碳板输送入PECVD进料口进行PECVD处理；而经PECVD处理后的硅片随出片碳板由PECVD机的出料口水平输出至碳板升降台10-b内的水平输送机，碳板升降台10-b带动出片碳板以及碳板上已处理过的硅片下降至PECVD段输送线15b高度，碳板升降台10-b的水平输送机将出片碳板及其上的硅片输送入PECVD段输送线15b，出片碳板及其上的硅片由PECVD段输送线15b传送至主机架输送线15a，然后由主机架输送线15a输送入碳板升降台10a内，碳板升降台10a带动出片碳板与硅片上升至碳板输送装卸台9的相同高度，碳板升降台10a的水平输送机将碳板与硅片传送至碳板输送装卸台9，而后横向搬运机构8的出料搬运机构水平移动至碳板输送装卸台9上方并吸取出片碳板上已处理的硅片、然后将已处理的硅片放置于出片输送机14的水平传送带表面，出片搬运架13动作将放置于出片输送机14的水平传送带表面的硅片逐一吸取后放入出料升降台12的空硅片盒中，出料升降台12的空硅片盒由进盒线二20输送入出料升降台12，待空硅片盒中放满硅片后，出料升降台12驱动装满已处理硅片的硅片盒竖直下降、由出盒线二19将硅片盒运出；出料搬运机构每吸取一列出片碳板上已经PECVD处理过的硅片，进料搬运机构即从排片输送机7的传送带表面吸取一列未经PECVD处理的硅片放置于出片碳板上，待出片碳板上所有的已处理硅片被出料搬运机构输送完、出片碳板上已放置满未经PECVD处理的硅片，此后碳板输送装卸台9再将出片碳板及放置于出片碳板上未处理的硅片向PECVD的进料口输送。

Claims (17)

1.用于板式PECVD设备的硅片自动上下料系统，其包括主机架，所述主机架安装于PECVD设备的进料端侧，其特征在于：其包括控制系统、待处理硅片送料机构、已处理硅片出料机构、硅片转运机构以及硅片的横向搬运机构，所述待处理硅片送料机构与已处理硅片出料机构沿纵向平行布置于所述主机架的横向两侧，所述硅片转运机构沿纵向布置、并安装于所述待处理硅片送料机构与已处理硅片出料机构之间，所述硅片的横向搬运机构安装于所述主机架上、并横跨于所述待处理硅片送料机构、硅片转运机构、已处理硅片出料机构的上方，所述待处理硅片送料机构、已处理硅片出料机构、硅片转动机构、硅片的横向搬运机构与所述控制系统之间均电控连接。

2.根据权利要求1所述的用于板式PECVD设备的硅片自动上下料系统，其特征在于：所述待处理硅片送料机构包括硅片盒运输线一、进料升降台、排片输送机、出片机构，所述硅片盒运输线一和所述排片输送机分别沿纵向同轴安装于进料机架、所述主机架，所述进料升降台固定于所述进料机架、位于所述硅片盒运输线一出料端与所述排片输送机进料端之间；所述出片机构沿纵向安装于所述排片输送机的下方；所述排片输送机的进料端安装有硅片定位装置，所述硅片定位装置固定于所述主机架；所述硅片定位装置包括纵向定位装置和横向定位装置。

3.根据权利要求2所述的用于板式PECVD设备的硅片自动上下料系统，其特征在于：所述已处理硅片出料机构包括硅片盒运输线二、出料升降台、出片搬运架、出片输送机，所述硅片盒运输线二与所述出片输送机沿纵向同轴布置，所述硅片盒运输线二、出片输送机分别沿纵向安装于出料机架和所述主机架，所述出料升降台固定于所述出料机架、并位于所述出片输送机的出料端与所述硅片盒运输线二的进料端之间；所述出片搬运架沿纵向固定于所述主机架、所述出料升降台的侧面；所述出片输送机的出料末端安装有所述横向定位装置。

4.根据权利要求3所述的用于板式PECVD设备的硅片自动上下料系统，其特征在于：所述硅片转运机构包括碳板输送装卸台、碳板升降台和底部机内输送线，所述碳板升降台设置有两组，其中一组安装于所述主机架的外侧且位于所述进料机架与所述出料机架的横向中间、另一组安装于PECVD设备出料端侧，所述碳板输送装卸台固定于所述主机架、其横向位置正对PECVD设备的进料口，所述底部机内输送线沿纵向布置于所述两组碳板升降台之间，其包括主机架段输送线与PECVD段输送线，所述主机架段输送线安装于所述主机架内、并位于所述碳板输送装卸台的下方，所述PECVD段输送线安装于所述PECVD的底部。

5.根据权利要求4所述的用于板式PECVD设备的硅片自动上下料系统，其特征在于：所述硅片的横向搬运机构固定于所述主机架、并横跨于所述排片输送机、碳板输送装卸台、出片输送机上方。

6.根据权利要求5所述的用于板式PECVD设备的硅片自动上下料系统，其特征在于：所述硅片盒运输线一和硅片盒运输线二均包括进盒线与出盒线，所述进盒线与出盒线均设置有输送电机，所述输送电机输出端通过联轴器连接转动轴，所述转动轴两端固定有同步带轮，所述同步带轮通过同步带连接输送同步带轮；所述进盒线的输送电机与出盒线的输送电机旋转方向相反；所述进盒线与出盒线层叠安装；所述硅片盒运输线一的进盒线一与出盒线一沿纵向层叠安装于所述进料机架上、且所述出盒线一位于所述进盒线一的上方；所述硅片盒运输线二的进盒线二与出盒线二沿纵向层叠安装于所述出料机架，所述进盒线二位于所述出盒线二的上方。

7.根据权利要求6所述的用于板式PECVD设备的硅片自动上下料系统，其特征在于：所述进料升降台包括安装支架、竖向升降机构和水平输送机一，所述水平输送机一固定于升降底板，所述升降底板通过连接板一固定于所述竖向升降机构，所述竖向升降机构通过所述安装支架固定于所述进料机架；所述竖向升降机构包括竖向直线模组和伺服电机一，所述竖向直线模组固定于所述安装支架、并通过联轴器连接伺服电机一，所述水平输送机一安装于升降底板，所述升降底板通过连接板一安装于所述竖向直线模组；所述水平输送机一包括电机，电机安装于升降底板底部，电机输出轴连接传动同步带轮，传动同步带轮通过传动同步带与输送同步带轮连接，输送同步带轮通过输送同步带与输送从动带轮连接；所述连接板一上端固定有压紧气动滑台，所述压紧气动滑台外侧端安装有压装装置；所述定位挡块安装于所述升降底板的硅片出片侧端；所述出料升降台包括无杆气缸、丝杆传动机构和水平输送机二，所述无杆气缸通过支撑架竖向安装于所述出料机架，所述水平输送机二固定于水平安装板，所述丝杆传动机构的上顶板固定于所述水平安装板的底面，所述水平输送机二与所述丝杆传动机构均通过连接板安装于移动滑块，所述移动滑块连接无杆气缸输出端，所述支撑架上与所述无杆气缸平行安装有直线导轨，所述移动滑块嵌装于所述直线导轨上；所述丝杆传动机构包括伺服电机五、滚珠丝杆，所述伺服电机五的输出端连接同步带轮，所述滚珠丝杆上端通过轴承座一固定于所述水平安装板、其下端连接有传动带轮，所述同步带轮与传动带轮之间通过同步带连接，所述滚珠丝杆上安装有丝杆螺母，所述丝杆螺母与导杆连接，所述导杆上端穿过所述水平安装板、且其上端部安装有托板；所述水平输送机二与水平输送机一结构相同。

8.根据权利要求7所述的用于板式PECVD设备的硅片自动上下料系统，其特征在于：所述排片输送机与出片输送机结构相同，均包括底板、传送带、传送带轮、伺服电机八，所述底板固定于所述主机架，所述传送带轮包括主动带轮与从动带轮，所述主动带轮与从动带轮分别通过带轮安装板固定于传送带托架的两端，所述传送带托架通过支架沿纵向固定于所述底板，所述伺服电机八通过支架安装于所述底板的一侧，所述伺服电机八的输出端安装有驱动带轮，所述驱动带轮与主动带轮通过同步带连接，所述主动带轮与从动带轮之间通过所述传送带连接，所述传送带绕装于所述主动带轮、传送带托架以及从动带轮外部。

9.根据权利要求2所述的用于板式PECVD设备的硅片自动上下料系统，其特征在于：所述出片机构包括伺服电机二、纵向直线模组一、竖向气动滑台一、出片板，所述出片板通过纵向连接板二装于所述竖向气动滑台一，所述竖向气动滑台一通过气动滑台支架安装于底板，所述底板安装于所述纵向直线模组一，所述纵向直线模组一通过联轴器与所述伺服电机二连接。

10.根据权利要求2所述的用于板式PECVD设备的硅片自动上下料系统，其特征在于：所述纵向定位装置安装于所述排片输送机的进料端，其包括定位块、移动块一、伺服电机三、减速器一，所述伺服电机三与所述减速器一轴接，所述减速器一固定于固定板一下端、其输出轴穿过所述固定板一，所述减速器输出轴端安装有齿轮一，所述固定板一的横向两端安装有纵向直线导轨，所述移动块一下部横向两端设置有滑块一，所述滑块一卡装于所述纵向直线导轨，所述移动块一下部还固定有齿条一，所述齿轮一与齿条一啮合，所述定位块设置有两块、分别对称安装于连接板三的横向两端部，所述连接板三固定于所述移动块一上部；所述纵向定位装置的伺服电机三、减速器一穿过所述主机架、并通过所述固定板一固定于所述主机架，所述两块定位块分别位于所述排片输送机的横向两侧。

11.根据权利要求2所述的用于板式PECVD设备的硅片自动上下料系统，其特征在于：所述横向定位装置沿所述排片输送机的进料方向、安装于所述纵向定位装置的后端，其包括定位轮一、移动块二、减速器二、伺服电机四，所述伺服电机四与减速器二轴接，所述减速器二固定于固定板二下端、其输出轴穿过所述固定板二，所述减速器输出端安装有齿轮二，所述移动块二设置有两块，所述两块移动块二均为L形，所述两块移动块相互嵌合，所述两块移动块的纵向下端均安装有滑块二，所述固定板二的纵向两端安装有横向直线导轨，所述滑块二嵌装于所述横向直线导轨上，所述两块移动块动上均安装有横向齿条，所述横向齿条与所述齿轮啮合连接，所述两块移动块的横向外侧端安装有连接板四，所述连接板四上部安装有定位轮一安装板，所述定位轮一安装板的纵向两端分别安装有所述定位轮一；所述横向定位装置的减速器二和伺服电机四穿过所述主机架、并通过所述固定板二固定于所述主机架，所述两块移动块二的的定位轮一分别位于所述排片输送机的横向两侧。

12.根据权利要求3所述的用于板式PECVD设备的硅片自动上下料系统，其特征在于：所述出片搬运架包括纵向直线模组二、伺服电机六，所述纵向直线模组二通过两端的支架一和支架二支承，所述支架一固定于所述主机架、所述出片输送机的出料末端的一侧，所述支架二固定于所述硅片盒运输线二的进盒线二平台上，所述纵向直线模组二通过联轴器与所述伺服电机六轴接，所述纵向直线模组二上通过连接板五安装有竖向气动滑台二，所述竖向气动滑台二下部通过吸盘安装板连接有气旋吸盘。

13.根据权利要求4所述的用于板式PECVD设备的硅片自动上下料系统，其特征在于：所述碳板输送装卸台包括支架二、水平输送机一、压紧定位机构、顶升机构和定位机构，所述支架二横向安装于所述主机架，所述输送机通过输送机机架安装于所述支架二，所述压紧定位机构和定位机构分别安装于所述输送机的纵向两端，所述顶升机构通过固定板三安装于所述支架二；所述水平输送机三包括电机、传动轴、主动输送轮和从动输送轮，所述电机通过电机支架固定于所述输送机机架下部，所述传动轴的横向两端通过轴承座二固定于所述输送机机架的纵向支架，所述电机与所述传动轴通过同步带轮传动连接，所述传动轴的横向两端均通过所述轴承座二安装有一个所述主动输送轮，所述两侧纵向支架上均分别通过轴承座三安装有两个所述主动输送轮与两个从动输送轮，所述主动输送轮与从动输送轮均匀、间隔分布安装于所述纵向支架，单侧所述纵向支架上、相邻两个所述主动输送轮之间通过传送带传动连接；所述压紧定位机构设置有两个，分别通过安装板一安装于所述输送机机架进料侧的横向支架两端；所述安装板二下部固定有纵向气动滑台一，所述纵向气动滑台通过连接板六连接竖向气动滑台三，所述竖向气动滑台三的上端固定有压紧座，所述压紧座通过导杆一连接压紧块，所述导杆一外部套装有弹簧，所述竖向气动滑台三通过横向连接板七安装有调节板一，所述调节板一的纵向前端安装有定位轮二；所述顶升机构包括顶升板，所述顶升板上部安装有载片柱，所述顶升板下部通过连接板八固定于竖向气动滑台四，所述竖向气动滑台四固定于所述固定板三，所述固定板三固定于所述支架二，所述竖向气动滑台四侧面安装有直线轴承导轨，所述直线轴承导轨上安装有导杆二，所述导杆二上端顶紧所述连接板下部；所述定位机构包括设置有两个，分别通过安装板二固定于所述输送机机架出料侧的横向支架两端；所述安装板二下部固定有纵向气动滑台二，所述纵向气动滑台二通过连接板八与竖向气动滑台五连接，所述竖向气动滑台五上端通过连接块与调节板二，所述调节板二的前端固定有定位轮三。

14.根据权利要求13所述的用于板式PECVD设备的硅片自动上下料系统，其特征在于：所述碳板升降台包括机架，所述机架的纵向一侧安装有竖向平移机构、其横向安装有水平输送机四，所述水平输送机四通过连接板九安装于所述竖向平移机构；所述竖向平移机构包括固定板四、直线模组，所述直线模组通过所述固定板固定于所述机架的纵向一侧的竖向支架上，所述直线模组通过联轴器与伺服电机七连接，所述固定板的纵向两端安装有竖向导轨，所述水平输送机四安装于输送机机架，所述输送机机架固定于所述连接板九，所述连接板九背面的纵向两侧安装有滑块，所述滑块卡装于所述竖向导轨；所述水平输送机四的结构与所述水平输送机三的结构相同。

15.根据权利要求5所述的用于板式PECVD设备的硅片自动上下料系统，其特征在于：所述横向搬运机构包括直线导轨支架、直线模组支架、上料搬运机构和下料搬运机构，所述直线导轨支架与直线模组支架等高、并沿横向平行固定于所述主机架，所述直线导轨支架上安装有直线导轨，所述上料搬运机构和下料搬运机构均包括直线模组与搬运横梁，所述直线模组均轴接安装有伺服电机九，所述上料搬运机构的直线模组与下料搬运机构的直线模组交错安装于所述直线模组支架，所述搬运横梁一端通过滑块安装于所述直线导轨、另一端通过直线模组连接板安装于对应的直线模组；所述上料搬运机构的搬运横梁与下料搬运机构的搬运横梁背向安装，所述搬运横梁外侧面安装有气动滑台，所述气动滑台通过气动滑台安装板连接吸盘安装横梁，所述吸盘安装横梁上通过吸盘安装板固定有所述气旋吸盘；所述吸盘安装横梁上安装有六个所述气旋吸盘，所述六个气旋吸盘均匀分布于所述吸盘安装横梁上。

16.根据权利要求4所述的用于板式PECVD设备的硅片自动上下料系统，其特征在于：所述碳板输送装卸台的下方安装有废料收集机构，所述废料收集机构固定于所述主机架。

17.根据权利要求1所述的用于板式PECVD设备的硅片自动上下料系统，其特征在于：所述待处理硅片进料机构与已处理硅片出料机构均设置有两套；所述两套待处理硅片进料机构、两套已处理硅片出料机构均沿纵向平行安装。

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