CN102404984B - 元件安装装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种元件安装装置，其吸嘴座(51)嵌入筒状部件(52)的贯通孔中由筒状部件(52)予以支承。此外，吸嘴(83)相对于吸嘴座(51)中设置的保持孔在上下轴方向(Z方向)上移动自如地受到保持。该吸嘴(83)中设有两个流通孔(FH1、FH2)，另一方面吸嘴座(51)中设有两个连通孔(CH1、CH2)。通过吸嘴向元件吸附位置的下降及吸嘴向上升端的上升，切换连通孔与流通孔的连通连接，调整经由气压导入通道(831)供给吸嘴(83)前端的气压。

Description

元件安装装置

技术领域

本发明涉及一种根据吸嘴的升降动作切换供给该吸嘴的压力，并且用该吸嘴吸附元件，将该被吸附的元件安装到基板上的元件安装装置。

背景技术

作为具有根据吸嘴的升降动作切换供给该吸嘴压力的机构的元件安装装置，已知有例如专利文献1所述的装置。在该专利文献1所述的装置中，相对于可水平转动的吸嘴座沿其转动方向以指定间隔可上下移动地设有多个吸嘴。此外，吸嘴座上为每个吸嘴分别设有负压侧滑阀(spool valve)和正压侧滑阀。向各吸嘴内供给负压的负压通道采用可由各负压侧滑阀开闭的结构，且向各吸嘴内供给正压(或大气压)的正压通道采用可由正压侧滑阀开闭的结构。

专利文献1：日本特开2004-311807号公报(例如图7)

在如上所述的专利文献1所述的装置中，为了向吸嘴提供两种互不相同的压力必须设置两种滑阀，供应给吸嘴的压力的切换结构较为复杂。此外，在该装置中，必须为一个吸嘴设置两种滑阀，随着安装在吸嘴座上的吸嘴数量的增加吸嘴座上应设置的滑阀的个数也增多。从而，在吸嘴座上安装多个吸嘴的元件安装装置中，无法避免吸嘴座的大型化，由此导致元件安装装置大型化的问题。

发明内容

本发明鉴于上述问题，其目的在于提供一种能切换供给吸嘴的压力并且用该吸嘴在基板上安装元件的元件安装装置，可简化用于切换供给该吸嘴的压力的结构。

本发明所涉及的元件安装装置，将元件安装到基板上，其特征在于包括：沿上下轴方向设置、用其前端吸附元件的吸嘴；具有嵌合并保持所述吸嘴的保持孔、一边沿着所述保持孔的内周面与所述吸嘴的侧面滑动接触一边在所述上下轴方向上移动自如地保持所述吸嘴的保持部；以及相对于所述保持部向所述上下轴方向移动所述吸嘴的吸嘴移动机构，所述吸嘴具有在所述吸嘴的内部延伸设置至所述吸嘴的前端的气压(pneumatic pressure)导入通道，以及从所述吸嘴的侧面延伸设置至所述气压导入通道的至少一个以上的流通孔，所述保持部具有与所述保持孔相连通、可向所述保持孔供给第1气压的第1连通孔，以及与所述保持孔相连通、可向所述保持孔供给第2气压的第2连通孔，所述吸嘴移动机构通过所述吸嘴向所述流通孔仅与所述第1连通孔相连通的第1位置的下降以及所述吸嘴向所述流通孔仅与所述第2连通孔相连通的第2位置的上升，调整经由所述气压导入通道供给所述吸嘴前端的气压。

在如此构成的发明中，一方面吸嘴上设有流通孔，另一方面保持吸嘴的保持部上设有第1连通孔和第2连通孔，经由吸嘴向第1位置的下降以及吸嘴向第2位置的上升，切换第1连通孔及第2连通孔与流通孔的连通连接，调整经由气压导入通道供给吸嘴前端的气压。从而，与以往技术相比，可以简单的结构切换供给吸嘴的压力。

此外，第1、第2气压均为负压的情况下，将吸嘴定位在第1位置及第2位置上时，向吸嘴供给与各位置相对应的负压。从而，将吸嘴移动至第1位置，在第1负压的作用下将元件吸附在吸嘴上。此外，为使所吸附的元件向基板侧移动而将吸嘴上升至第2位置时，由于在该第2位置上向吸嘴供给第2负压，可使元件不至从吸嘴上落下，使吸嘴吸附着元件地移动至基板侧。由于采用第1负压和第2负压分别经由第1连通孔和第2连通孔供给的结构，可将第1负压和第2负压分别设定为适合吸附元件的值及适合搬送元件的值。

此处，第1连通孔呈向上下轴方向延伸的长孔形状时，第1位置的范围在上下轴方向很广泛。即，第1连通孔向上下轴方向延伸多少，可经由第1连通孔及流通孔持续向吸嘴供给第1负压的上下轴方向的范围就有多广泛，可以获得如下作用效果。即，用吸嘴吸附元件时的吸附高度位置及将该被吸附的元件安装到基板上时的安装高度位置，因各种元件高度尺寸等的差异而有所不同。从而，通过采用长孔形状的连通孔，即便吸嘴驱动机构使吸嘴在第1位置范围内适当地上下移动，也可无障碍地用吸嘴吸附保持元件。

此外，流通孔的个数任意，例如作为流通孔设置第1流通孔和第2流通孔时，可采用第1流通孔、第2流通孔、第1连通孔及第2连通孔的位置关系如下所述的结构。吸嘴被移动至第1位置时，第1流通孔和第2流通孔至少其中一方仅与第1连通孔相连通，同时第2连通孔被吸嘴的侧面所堵塞，与任何流通孔都不连通，从而可向吸嘴供给第1负压。此外，吸嘴被定位于第2位置时，第1流通孔和第2流通孔仅其中一方的流通孔仅与第2连通孔相连通，同时另一流通孔被保持孔的内周面所堵塞，与任何连通孔都不连通，从而可向吸嘴供给第2负压。另外，吸嘴被定位于第1位置和第2位置之间的第3位置时，第1流通孔和第2流通孔其中一方的流通孔仅与第1连通孔相连通，同时另一流通孔仅与第2连通孔相连通，从而可向吸嘴供给负压。从而，即便吸嘴在第1位置和第2位置之间移动时，也可以总是向吸嘴供给负压。例如使用负压时，吸嘴移动过程中元件也为吸嘴所吸附保持，可以切实防止元件落下。

此外，吸嘴被移动至第1位置时，第1流通孔及第2流通孔也可同时仅与第1连通孔相连通，由此，由于第1位置处各流通孔的剖面面积(section area)的总合(有效剖面面积)增大，可以一举供给吸附元件时的负压等，供给与场合相应的压力。

此外，第1流通孔和第2流通孔也可在上下轴方向的同一位置上于围绕上下轴方向的圆周方向上相互分离地设置，吸嘴被移动至第1位置时，仅第1流通孔仅与第1连通孔相连通，第2流通孔被保持孔的内周面所堵塞，与任何连通孔都不连通，这样的结构可以获得如下作用效果。即，第1气压自与第1流通孔的形成位置相对应的方向供给而来，而第2气压自与第2流通孔的形成位置相对应的方向供给而来，第1气压的供给方向和第2气压的供给方向在围绕上下轴方向的圆周方向上互不相同。从而，可以在吸嘴周围分散地设置用于向保持部供给气压的气压管道及气压供给源等，能提高布局的自由度。此外，由于第1流通孔和第2流通孔设置在上下轴方向的大致同一位置上，可以缩短上下轴方向上流通孔的间隔，实现上下轴方向上保持部的小型化。另外，与上述间隔的缩小相应地，吸嘴和保持部的嵌合范围也缩小，容易提高嵌合精度，可以降低制造成本。

此外，连通孔也可采用流通孔的上述结构。即，第1连通孔和第2连通孔也可在围绕上下轴方向的圆周方向上相互分离且孔中心位于上下轴方向的同一位置地设置于保持部中。此时，也由于第1负压的供给方向和第2负压的供给方向在围绕上下轴方向的圆周方向上互不相同，与上述发明同样地，可在吸嘴周围分散地设置用于向保持部供给负压的气压管道及气压供给源等，能提高布局的自由度。

此外，也可只设置一个流通孔。此时，较为理想的是，吸嘴被定位于第1位置和第2位置之间的第3位置时，流通孔跨越第1连通孔和第2连通孔且与各连通孔相连通。此时，即便吸嘴在第1位置和第2位置之间移动时，也可以总是向吸嘴供给气压。从而，例如负压的情况下，吸嘴移动过程中元件也为吸嘴所吸附保持，可以切实防止元件落下。此外，通过使流通孔的个数最小化可以降低制造成本。

此外，还可以包括第1切换单元，其与第1连通孔相连，选择性地通过第1连通孔向保持孔供给作为所述第1气压的第1负压或第1正压。此时，通过将施予吸嘴的压力由负压切换为正压，可以容易地在空气喷射(air-blow)的作用下使所吸附的元件脱离吸嘴。此外，由于仅通过切换单元的切换即可选择性地供给正压和负压其中之一，故用于供给正压、负压的结构简单。

此外，第2连通孔也可采用与第1连通孔同样的结构。即，还可以包括第2切换单元，其与第2连通孔相连，选择性地通过第2连通孔向保持孔供给作为所述第2气压的第2负压或第2正压。此时，例如吸嘴在未吸附元件的状态下被移动至第2位置时，通过将施予吸嘴的压力从负压切换为正压，可以气洗(air purge)的方式对吸嘴的气压导入通道和吸嘴前端进行空气净化。此外，通过使第1正压的绝对值小于第2正压的绝对值，可以获得如下作用效果。即，在吸嘴驱动机构的作用下使吸嘴下降安装元件时，作用效果是，使元件脱离吸嘴时空气喷射的正压无需不必要地大。此外，还有可以降低产生第1正压的正压源的正压供给能力的效果。

此外，元件安装装置为了提高安装效率，可以包括多个吸嘴。此时，保持部具有围绕上下轴方向相互分离地设置的多个保持孔，多个吸嘴分别一一嵌合于各保持孔中，一边使吸嘴的侧面沿着保持孔的内周面与之滑动接触一边在上下轴方向上移动自如地由保持部加以保持，吸嘴移动机构选择性地使多个吸嘴向上下轴方向移动，从而可以获得与上述发明同样的作用效果。即，可用简单的结构切换供给多个吸嘴的压力。

另外，如此包含多个吸嘴的元件安装装置中，较为理想的是，还包括将保持部嵌合于上下轴方向上贯通的贯通孔中而予以支承的筒状部件，各保持孔分别与第1连通孔和第2连通孔相连通，筒状部件具有可与多个第1连通孔相连通、可向多个第1连通孔供给第1气压的第1气压供给孔，和可与多个第2连通孔相连通、可向多个第2连通孔供给第2气压的第2气压供给孔，贯通孔的内周面和保持部的外周面至少一方设有连通多个第1连通孔和第1气压供给孔的第1环状槽，贯通孔的内周面和保持部的外周面至少一方设有连通多个第2连通孔和第2气压供给孔的第2环状槽。此时，通过经由第1气压供给孔供给第1气压，可以向所有的吸嘴供给第1气压，另外通过经由第2气压供给孔供给第2气压，可以向所有的吸嘴供给第2气压。从而，即使具有多个吸嘴，也可以通过分别只设置一个第1气压和第2气压的供给源，以简单的结构切换供给多个吸嘴的压力。

此外，作为具备多个吸嘴的结构，例如保持部具有在与上下轴方向相垂直的水平方向上相互分离地排列的多个保持孔，多个吸嘴分别一一嵌合于各保持孔中，一边使吸嘴的侧面沿着保持孔的内周面与之滑动接触一边在上下轴方向上移动自如地由保持部对多个吸嘴加以保持，吸嘴移动机构选择性地使多个吸嘴向上下轴方向移动也可，可以起到与上述发明同样的作用效果。

此外，第1连通孔也可使多个保持孔相互连通地形成于保持部中，第2连通孔与第1连通孔分离，使多个保持孔相互连通地形成于保持部中。此时，通过经由第1连通孔供给第1气压，可以向所有的吸嘴供给第1气压，另外通过经由第2连通孔供给第2气压，可以向所有的吸嘴供给第2气压。从而，即使具有多个吸嘴，也可以通过分别只设置一个第1气压和第2气压的供给源，以简单的结构切换供给多个吸嘴的压力。

另外，保持部具有在上下轴方向的第1高度位置上分别与多个保持孔一一连通地设置的多个第1连通室部，和在与第1高度位置相异的上下轴方向的第2高度位置上分别与多个保持孔一一连通地设置的多个第2连通室部，第1连通孔经由多个第1连通室部使多个保持孔相互连通，第2连通孔经由多个第2连通室部使多个保持孔相互连通。

另外，第1气压和第2气压的关系虽然任意，但有时较为理想的是，两气压均为负压的情况下，吸嘴被移动至下方在第1位置上开始用吸嘴的顶端吸附元件时，第1负压的绝对值大于第2负压的绝对值。这一方面是因为，吸附元件时，用较大的负压吸附元件可以切实地吸附元件，另一方面有时用吸嘴前端吸附元件后使吸嘴上升移动至第2位置，则无需元件吸附开始时那样大的吸附力。此外，采用这样的结构还有可以降低产生第2负压的负压源的负压供给能力的效果。

另外，有时较为理想的是，两气压均为负压，在吸嘴的前端吸附着元件的状态下吸嘴向上方移动后的第2位置上，高度水平移动停止时，第2负压的绝对值大于第1负压的绝对值。这是因为，水平移动的吸嘴急速停止时，元件受到较大的惯性力作用，有元件脱落的可能性。此外，采用这样的结构还有可以降低产生第1负压的负压源的负压供给能力的效果。

此外，在包含多个吸嘴的元件安装装置中，有时较为理想的是，两气压均为负压时，第1负压的绝对值等于第2负压的绝对值。即，在能够提供充分的负压，足够吸附元件并且在水平移动紧急停止时也可防止元件脱落的情况下，采用这样的结构具有可以减少负压源个数的效果。

如上所述，气压导入通道延伸设置至吸嘴前端，且流通孔从吸嘴侧面延伸设置至气压导入通道。此外，在用保持孔保持该吸嘴的保持部中，设有与保持孔相连通可向保持孔供给第1负压的第1连通孔，和设有与保持孔相连通可向保持孔供给第2负压的第2连通孔。若吸嘴被下降至第1位置，则流通孔仅与第1连通孔相连通，另一方面若吸嘴被上升至第2位置，则流通孔仅与第2连通孔相连通。可以通过这样简单的结构调整供给吸嘴顶端的气压。

附图说明

图1是表示本发明所涉及的元件安装装置的第1实施方式的概略结构的俯视图。

图2是图1所示的元件安装装置所包含的头部单元的局部等角投影图。

图3是图1所示的元件安装装置所包含的头部单元的局部侧视图。

图4A是表示向安装在安装头上的各吸嘴供给气压的机构的立体图。

图4B是表示向安装在安装头上的各吸嘴供给气压的机构的分解图。

图5是安装头的局部剖视图。

图6A是表示吸嘴位于第2位置时流通孔与设置于保持部的连通孔的连接关系的模式图。

图6B是表示吸嘴位于第3位置时流通孔与设置于保持部的连通孔的连接关系的模式图。

图6C是表示吸嘴在吸附元件时位于第1位置时流通孔与设置于保持部的连通孔的连接关系的模式图。

图6D是表示吸嘴在搭载元件时位于第1位置时流通孔与设置于保持部的连通孔的连接关系的模式图。

图7A是表示本发明所涉及的元件安装装置的第2实施方式中，吸嘴位于第2位置时流通孔与连通孔的连接关系的模式图。

图7B是表示本发明所涉及的元件安装装置的第2实施方式中，吸嘴位于第3位置时流通孔与连通孔的连接关系的模式图。

图7C是表示本发明所涉及的元件安装装置的第2实施方式中，吸嘴位于第1位置时流通孔与设置于保持部的连通孔的连接关系的模式图。

图8A是表示本发明所涉及的元件安装装置的第3实施方式中，吸嘴位于第2位置时流通孔与连通孔的连接关系的模式图。

图8B是表示本发明所涉及的元件安装装置的第3实施方式中，吸嘴位于第3位置时流通孔与连通孔的连接关系的模式图。

图8C是表示本发明所涉及的元件安装装置的第3实施方式中，吸嘴位于第1位置时流通孔与设置于保持部的连通孔的连接关系的模式图。

图9A是表示本发明所涉及的元件安装装置的第4实施方式中，吸嘴位于第2位置时流通孔与连通孔的连接关系的模式图。

图9B是表示本发明所涉及的元件安装装置的第4实施方式中，吸嘴位于第3位置时流通孔与连通孔的连接关系的模式图。

图9C是表示本发明所涉及的元件安装装置的第4实施方式中，吸嘴位于第1位置时流通孔与设置于保持部的连通孔的连接关系的模式图。

图10A是表示本发明所涉及的元件安装装置的第5实施方式中，吸嘴位于第2位置时流通孔与连通孔的连接关系的模式图。

图10B是表示本发明所涉及的元件安装装置的第5实施方式中，吸嘴位于第3位置时流通孔与连通孔的连接关系的模式图。

图10C是表示本发明所涉及的元件安装装置的第5实施方式中，吸嘴位于第1位置时流通孔与设置于保持部的连通孔的连接关系的模式图。

图11是表示本发明所涉及的元件安装装置的第8实施方式的侧视图。

图12是第8实施方式所采用的头部单元的正视图。

图13是图12所示的头部单元的局部剖视图。

图14是表示托架结构的局部剖视图。

图15是从图14中的A-A线箭头方向观察的剖视图。

图16是从图15中的B-B线箭头方向观察的剖视图。

图17是从图15中的C-C线箭头方向观察的剖视图。

图18是负压发生装置及切换阀相对于连通孔的连接状态的示意图。

图19是本发明所涉及的元件安装装置的第9实施方式的负压发生装置及切换阀相对于连通孔的连接状态的示意图。

图20是表示元件安装装置的另一实施方式的模式图。

图21是说明图20的要部的说明图。

具体实施方式

图1是表示本发明所涉及的元件安装装置的第1实施方式的概略结构的俯视图。另外，在图1及稍后说明的附图中，为了明确各图的方向关系，标有XYZ直角坐标轴。在该XYZ直角坐标中，以基板的搬送方向为X方向，用(+)表示搬送方向下游侧，用(-)表示上游侧。另外，以俯视时与X方向垂直的方向为Y方向，用(+)表示前方，用(-)表示后方。进而，以上下方向为Z方向，用(+)表示上方，用(-)表示下方。

在该元件安装装置1中，基台11上设有基板搬送机构2，可在指定的搬送方向X上搬送基板3。更详细而言，基板搬送机构2具有在基台11上将基板3从图1的右侧向左侧搬送的一对搬送带21、21。搬送带21、21搬入基板3，在指定的安装作业位置使基板3(本图所示的基板3的位置)停止，用图略的保持装置来固定保持基板3。头部单元6在头部移动机构的作用下在基台11的指定范围内向X轴方向及Y轴方向(X轴及与Z轴垂直的方向)移动，并且元件供给部4所供给的电子元件由头部单元6所搭载的安装头8移载至基板3。然后，当应安装到基板3上的所有元件的安装处理完成后，基板搬送机构2搬出基板3。另外，基台11上设有元件识别用摄像机7。该元件识别用摄像机7包括照明部和CCD(Charge Coupled Device)摄像机等，从下侧对头部单元6的各安装头8所保持的电子元件进行拍摄。

在如此构成的基板搬送机构2的前方侧(Y方向(+)侧)以及后方侧(Y方向(-)侧)，设置有上述元件供给部4。这些元件供给部4具备多个带式送料器41。而且，在各带式送料器41上，设置有对收纳、保持电子元件的带进行卷绕的卷轴(省略图示)，可将电子元件供应给头部单元6。即，在各带上，隔开指定间隔而收纳、保持有集成电路(IC)、晶体管、电容器等小片状的芯片式电子元件。并且，带式送料器41从卷轴向头部单元6侧送出带，该带内的电子元件由此被间歇性地陆续送出，其结果，可实现头部单元6的安装头8对电子元件的吸附。

该头部单元6在保持由安装头8在元件供给部4吸附的电子元件的状态下将该电子元件搬送至基板3，并且移载到由使用者指示的搭载位置。接着，用图2至图5对该头部单元6以及头部单元6所包含的安装头8的结构予以说明。在此，图2是头部单元的局部等角投影图，图3是头部单元的局部侧视图。此外，图4A、图4B是向安装在安装头上的各吸嘴供给气压的机构的示意图。此外，图5是安装头的局部剖视图。

头部单元6的4个安装头8在X方向(水平方向)上排成一列，并包括从后方(Y方向(-)侧)由支承框架61对其予以支承的概略结构。具体而言，这些安装头8由从支承框架61向前方(Y方向(+)侧)延伸的两条臂部61a、61b予以支承。另外，由于4个安装头8具有大致共同的结构，以下安装头8的说明基本以一个安装头8为代表进行，为其他的安装头8付予相当的符号，适当省略说明。

安装头8包括在上下轴(Z轴)方向上延伸的较长的轴体81。在该轴体81的上下轴方向(Z方向)的下部设有吸嘴座51。该吸嘴座51如图4A、图4B及图5所示，具有在上下轴方向(Z方向)上延伸设置的圆柱形状，在沿其轴芯从上方穿设的凹部511中插入轴体81的下端部，并将其从吸嘴座51的下方侧以螺钉、螺栓等紧固部件固定在吸嘴座51上。

如此在吸嘴座51固定于轴体81的下端部的状态下，为了用臂部61a对它们进行支承，本实施方式使用了筒状部件52。该筒状部件52具有与臂部61a上设置的4个贯通孔61a1的内径相同程度的外径，并且具有在上下轴方向(Z方向)上贯通的贯通孔521。如图4A所示，筒状部件52嵌入臂部61a的贯通孔61a1中支承于臂部61a上。进而，吸嘴座51嵌入该筒状部件52的贯通孔521中由筒状部件52予以支承。这样，吸嘴座51在轴体81的下端部受到臂部61a的支承。

另外，在本实施方式中，臂部61a不仅作为单纯的支承部件发挥作用，在前方(Y方向(+)侧)的侧面具有连接第1气压供给部53(图5)用的连接部CP1和连接第2气压供给部54(图5)用的连接部CP2，并且具有通过形成于内部的歧管(省略图示)向后述吸嘴供给气压的功能。此外，为了将如此供给的气压供应给吸嘴，在吸嘴座51及筒状部件52中设置槽、孔部等，形成导向吸嘴83的气压供给机构。就其结构及动作稍后予以详细说明。

如图4A所示，吸嘴座51中以上述凹部511为中心，围绕上下轴(Z轴)空出一定间隔而圆周状地设有8个上下轴方向(Z方向)上贯通的保持孔512。各保持孔512中分别插入一个吸嘴83。更为具体地，沿着保持孔512的内周面使吸嘴83的侧面与之滑动接触，并且吸嘴83在上下轴方向上移动自如地由吸嘴座51加以保持。此外，各保持孔512分别各设有一弹簧等构成的施力部件82，吸嘴83受到各施力部件82向上升方向(Z方向(+)侧)的施力，在未有下面说明的按下机构的按下力作用时，如图5中右侧的吸嘴那样，吸嘴83被定位于上升端位置。

该按下机构是设置在上述8个吸嘴83的上下轴方向(Z方向)的上方、选择性地按下上述吸嘴83其中之一以吸附元件的机构。具体而言，该按下机构包括引导部件84、相对于引导部件84移动自如的移动部件85、与移动部件85成一体移动的吸嘴按压部件86和将吸嘴按压部件86结合在移动部件85上的连杆部件87。

即，在轴体81的上下轴方向(Z方向)的上部，固定有中心轴与上下轴方向(Z方向)平行的圆筒形状的引导部件84。该引导部件84以其中心轴与轴体81的中心轴保持一致的方式安装，并且在其周面上，与吸嘴83的个数相应地在圆周方向上相隔等间距地形成有上下延伸的槽C。槽C的上部形成有将相邻接的槽C予以连通的连通槽。连通槽的一端侧与另一端侧在轴体81的径向上的高度(径向深度)不同，引导后述移动部件85的滑块851使其仅可单向移动导。此外，连通槽在Z轴方向上一端侧与另一端侧的位置不同，进入相邻接的另一槽C的滑块851被送到该槽C内时，可以防止其移动过度进入下一槽C。

引导部件84的上下轴方向(Z方向)的下方(图5)设有相对于引导部件84在上下轴方向(Z方向)上移动自如的移动部件85。该移动部件85呈其中心轴与上下轴方向(Z方向)相平行的圆筒形状，且作为中空部形成上下轴方向(Z方向)上贯通的圆柱状的孔。移动部件85的中空部的直径略大于引导部件84的直径，移动部件85在引导部件84嵌于其中空部中的状态下，相对于引导部件84在上下轴方向(Z方向)上移动自如。

此外，从移动部件85(的中空部)的内壁向内突出的销形状的两个滑块851以移动部件85的中心轴为中心，设置在相互错开180°的位置上。具体而言，对应于各滑块851，形成有从移动部件85的外壁至内壁贯通的小径孔，各滑块851移动自如地嵌于对应的小径孔中。进而，各滑块851的两端中移动部件85外壁侧的一端，与对该滑块851施力的板簧相抵接。即，板簧的下端部固定于移动部件85的外壁，而板簧的上端为自由端，滑块851与该自由端相抵接。由该板簧向内(引导部件84侧)对滑块851施力，将其向槽C内引导。

如此构成的移动部件85的滑块851在嵌入引导部件84的槽C中的状态下，被板簧的作用力按压于槽C中。移动部件85在该状态下相对于引导部件84在上下轴方向(Z方向)上移动。此时，在指定的按下行程范围内，滑块851沿槽C移动，从而移动部件85的移动为引导部件84所引导。由此，下面说明的吸嘴按压部件86通过随着该移动部件85的移动而在上下轴方向(Z方向)上进行直线下降动作，执行按下多个吸嘴83之一的按下动作。此外，若在设定于按下行程范围上方的切换行程范围内升降，则移动部件85通过与槽C相连通的连通槽的引导在圆周方向上移动，向相邻接的另一槽C内移动。通过该移动，执行对进行按下动作的吸嘴83切换的切换动作。

在移动部件85的上下轴方向(Z方向)的下端，通过连杆部件87固定有吸嘴按压部件86。该吸嘴按压部件86为在上下轴方向(Z方向)上延伸的棒状部件，与移动部件85成一体地移动。从而，除与移动部件85成一体地在上下轴方向(Z方向)上下降的动作外，还可执行与移动部件85成一体地绕上下轴(Z轴)转动的动作。然后，由该吸嘴按压部件86选择性地将8个吸嘴83之一在上下轴方向(Z方向)上按下，以便吸附元件。

即，8个吸嘴83分别在不用于吸附元件时，在施力部件82的作用力下被拉向上下轴方向的上方(Z方向(+)侧)，另一方面用于吸附元件时，被吸嘴按压部件86逆该作用力而向上下轴方向的下方(Z方向(-)侧)按下。此时，吸嘴按压部件86通过绕上下轴(Z轴)转动，可在8个吸嘴83的上方的分别与8个吸嘴83相对应地围绕上下轴(Z轴)排列的8个吸嘴上方位置(在此为各吸嘴83的上下轴方向(Z方向)正上方的位置)上选择性地移动。然后，吸嘴按压部件86从与被选择的吸嘴83相对应的吸嘴上方位置下降，按下该吸嘴83。如此按下的吸嘴83用其前端部吸附元件。在图2中，从该图的左侧数第3个安装头8所包含的8个吸嘴83之一被按下。

以上为安装头8的结构。接着，对驱动安装头8的两种驱动机构(Z轴驱动机构62、R轴驱动机构63)进行说明。如上所述，安装头8通过移动部件85与吸嘴按压部件86成一体地在指定的按下行程范围内在上下轴方向(Z方向)上移动，执行吸嘴83的按下动作，并通过移动部件85与吸嘴按压部件86成一体地在指定的切换行程范围内在上下轴方向(Z方向)上移动，执行对作为按下动作的对象的吸嘴83予以切换的切换动作。为此，Z轴驱动机构62作为在上下轴方向(Z方向)上驱动该移动部件85的单元而设置。该Z轴驱动机构62设置于支承框架61和安装头8之间，由从支承框架61向前方(Y轴方向(+)侧)延伸的两条臂部61b、61c予以支承。

更为具体地，在Z轴驱动机构62中设有，在上下轴方向(Z方向)上延伸的滚珠丝杠621，设置在滚珠丝杠621上下轴方向(Z方向)的上方驱动滚珠丝杠621转动的Z轴电动机622，以及螺合滚珠丝杠621的可动部件623。Z轴电动机622使滚珠丝杠621绕上下轴(Z轴)正逆向转动，从而可动部件623在上下轴方向(Z方向)上升降。该可动部件623通过球轴承88对结合移动部件85和吸嘴按压部件86的连杆部件87予以支承。这样，可动部件623围绕上下轴(Z轴)转动自如地支承移动部件85、吸嘴按压部件86以及连杆部件87，且随着可动部件623在上下轴方向(Z方向)上的升降，移动部件85、吸嘴按压部件86、球轴承88及连杆部件87在上下轴方向(Z轴方向)上升降。如此，可通过Z轴驱动机构62，使移动部件85和吸嘴按压部件86成一体地在上下轴方向(Z方向)上移动。

此外，如上所述，在安装头8中，轴体81随着移动部件85、连杆部件87、吸嘴按压部件86及多个吸嘴83围绕上下轴(Z轴)转动。R轴驱动机构63为驱动轴体81绕上下轴(Z轴)转动而设。具体而言，R轴驱动机构63具备安装于轴体81上端的R轴电动机631，在R轴电动机631的转动驱动力作用下轴体81可绕上下轴(Z轴)正逆向转动。

此外，在头部单元6中，4个安装头8在水平方向(X方向)上排成一列，且分别为上述安装头8设置有Z轴驱动机构62和R轴驱动机构63。此时，4个Z轴驱动机构62也在水平方向(X方向)上排成一列，且4个R轴驱动机构63也在水平方向(X方向)上排成一列。并且，4个Z轴驱动机构62的列和4个R轴驱动机构63的列从上下轴方向(Z方向)上观察相互并列地设置。采用这样的结构，可以紧凑地设置元件安装装置1的各结构部件(安装头8、Z轴驱动机构62、R轴驱动机构63)，可使元件安装装置1小型化。特别是，由于使4个Z轴驱动机构62的列和4个R轴驱动机构63的列并列设置地布局(与Z轴驱动机构62和R轴驱动机构63相互间隔地排成一列的串联设置相比)，可以缩短水平方向(X方向)上相邻的安装头8之间的距离，进而缩短各安装头8所包含的吸嘴组(由8个吸嘴83构成的组)之间的距离。

下面，参照图4A至图4B乃至图6A至图6D对向各吸嘴83供给气压的气压供给机构的结构及动作进行说明。图6A至图6D是设置于吸嘴中的流通孔与设置于保持部的连通孔的连接关系的模式图。各吸嘴83如图5所示在上下轴方向(Z方向)上延伸设置，吸嘴内部沿着吸嘴83的轴芯设有气压导入通道831，其下端延伸设置至吸嘴前端部。此外，如图6A至图6D所示，两个流通孔FH1、FH2从吸嘴83的侧面在水平方向上延伸设置至气压导入通道831。另外，在该第1实施方式中，流通孔FH1、FH2与气压导入通道831的上端部相连，在上下轴方向上流通孔FH1位于流通孔FH2的下方而成上下一列地设置。

如此构成的吸嘴83，吸嘴侧面沿着保持孔512的内周面与之滑动接触，并且在上下轴方向(Z方向)上升降移动。此外，为了伴随各吸嘴83的升降，如后所述地经由流通孔FH1、FH2向气压导入通道831供给负压或正压，吸嘴座51的侧面上两种连通孔CH1、CH2成一组地分别与各保持孔512相连通，与流通孔FH1、FH2同样地，在各保持孔512中的上下轴方向(Z方向)上，连通孔CH1位于连通孔CH2的下方成上下一列地设置。这样，在第1实施方式中，吸嘴83中设有两个流通孔FH1、FH2，且吸嘴座51中设有两个连通孔CH1、CH2，其设置位置与吸嘴83的升降移动相关联地满足如下关系。

在此，着眼于一个吸嘴83对上述关系进行说明。吸嘴83若被上升移动至上升端，则如图6A所示，上侧流通孔FH2与上侧连通孔CH2完全相对置，上侧连通孔CH2经由上侧流通孔FH2与气压导入通道831相连，从而可以供给气压。另一方面，下侧流通孔FH1被保持孔512的内周面所堵塞，且下侧连通孔CH1被吸嘴83的侧面所堵塞，不进行使用下侧连通孔CH1的气压供给。另外，称此时相对于吸嘴座51的吸嘴83的位置为“上升端位置”，它相当于本发明的“第2位置”。

此外，吸嘴83若从上升端位置下降移动，则伴随吸嘴下降，上侧流通孔FH2相对于上侧连通孔CH2的对置范围渐渐变窄，如图6B所示，下降途中上侧流通孔FH2相对于上侧连通孔CH2局部对置，下侧流通孔FH1相对于下侧连通孔CH1局部对置。因此，在该位置上，可通过两连通孔CH1、CH2供给气压。如下所述，吸嘴83若进一步下降，则气压的供给路径即气流线路进一步被切换。这样，图6B所示的位置用作气流线路的切换位置，在本说明书中，称此时相对于吸嘴座51的吸嘴83的位置为“线路切换位置”，它相当于本发明的“第3位置”。

进而，吸嘴83若从线路切换位置下降移动，移动至从元件供给部4吸附元件或向基板3载置元件的高度位置(上下轴方向的位置)，则如图6C及图6D所示，两流通孔FH1、FH2都与下侧连通孔CH1完全相对置，下侧连通孔CH1经由流通孔FH1、FH2与气压导入通道831相连，从而可以供给气压。另一方面，上侧连通孔CH2被吸嘴83的侧面所堵塞，不进行使用上侧连通孔CH2的气压供给。另外，称如图6C所示进行元件吸附时相对于吸嘴座51的吸嘴83的位置为“元件吸附位置”，并称如图6D所示进行元件搭载时相对于吸嘴座51的吸嘴83的位置为“元件搭载位置”，它们相当于本发明的“第1位置”。此外，由于元件吸附位置、元件搭载位置根据元件尺寸等而在上下轴方向(Z方向)上多少有所差异，本实施方式中，下侧连通孔CH1采用在上下轴方向上延伸设置的长孔形状。而且，其上下轴方向的长度可基于元件安装装置1能够安装的最大元件的尺寸等予以设定。此外，如上所述，由于在元件吸附位置、元件搭载位置上流通孔FH1、FH2同时相对于下侧连通孔CH1完全对置，较为理想的是，长孔形状长于上下轴方向(Z方向)上流通孔FH1、FH2的间隔。

在此，虽以一个吸嘴83从上升端下降至元件吸附位置、元件搭载位置的情况为例进行了说明，从元件吸附位置、元件搭载位置上升至上升端的情况下，与相对于吸嘴座51的吸嘴83的位置相应地，连通孔CH1、CH2与连通孔FH1、FH2的连接关系为与下降时相反的顺序。

此外第1实施方式中，由于8个吸嘴83分别相对于1个吸嘴座51一一交互升降移动，吸嘴座51上设有8个连通孔CH1和8个连通孔CH2。在此，为了能够经由各连通孔CH1、CH2向吸嘴侧供给气压，如图4A、4B所示，在吸嘴座51的外周面设有两条圆环状的槽LT1、LT2。即，槽LT1设置于吸嘴座51的外周面而连接8个下侧连通孔CH1，且在槽LT1的上方侧，槽LT2设置于吸嘴座51的外周面而连接8个上侧连通孔CH2。由于吸嘴座51嵌入筒状部件52的贯通孔521中，形成夹在贯通孔521的内周面与下侧槽LT1之间的圆环状空间，可通过该圆环状空间向各下侧连通孔CH1供给气压。关于这点，上侧槽LT2也完全相同。即，可通过形成于贯通孔521的内周面与上侧槽LT2之间的圆环状空间向各上侧连通孔CH2供给气压。

筒状部件52上设有两个气压供给孔SH1、SH2。上述气压供给孔SH1、SH2在吸嘴座51嵌入贯通孔521中时分别与圆环状槽LT1、LT2相对置，并且在筒状部件52嵌入臂部61a的贯通孔61a中时分别与连接部CP1、CP2相连接地设置。

上述两个连接部中连接部CP1如图5所示连接有气压供给部53，其中气压供给部53包括产生负压(P1-)的负压源531、产生正压(P1+)的正压源532以及切换阀533。该气压供给部53中负压源531和正压源532与切换阀533相连接，切换阀533可根据控制整个装置的控制单元(省略图示)发出的切换指令选择性地向吸嘴侧供给负压(P1-)或正压(P1+)。从而，如下所述进行元件搭载时切换阀533切换为供给正压，除此以外的情况下切换阀533切换为供给负压(另外，图5中显示的是负压供给状态)。另一方面，连接部CP2与具有产生负压(P2-)的负压源541的气压供给部54相连接，总是经由气压供给孔SH2向上侧连通孔CH2供给负压(P2-)。

下面，参照图6A至6D对上述结构的装置1的气压切换动作与元件安装动作(主要是吸嘴83的升降动作)相关联地进行说明。图1所示的元件安装装置1在控制单元的存储部中存储有服务器等外部控制装置(省略图示)所输出的生产程序，控制单元从存储部中读出生产程序，基于该生产程序对装置各部分进行驱动控制，如下地使吸嘴升降移动，且与该升降移动相应地进行气压的供给路径即气流线路的切换动作。另外，在此，为了方便理解与吸嘴83的升降移动相关联的气流线路的切换动作，对安装头8所安装的8个吸嘴83中被选中的吸嘴83的动作进行重点说明。

头部单元6向元件供给部4的上方移动，以使安装头8的吸嘴83位于被送出至元件供给部4的元件吸附位置的元件的正上方位置。另外，此时整个吸嘴83如图6A所示被移动至上升端位置，连通孔CH2与流通孔FH2相连通，从气压供给部54向气压导入通道831供给指定的负压(P2-)。另外，气压供给部53的切换阀533虽呈负压供给状态，执行向连通孔CH1的负压供给，并满足大于气压供给部54的负压(P1-)，即|P1-|＞|P2-|，但由于连通孔CH1被吸嘴83的侧面所堵塞，故气压供给部53不向气压导入通道831供给负压。

随后，若吸嘴83为吸附保持元件而开始下降，下降至线路切换位置，则在维持连通孔CH2和流通孔FH2的连通的状态下，连通孔CH1与流通孔FH1流通，从气压供给部53和气压供给部54两处向气压导入通道831供给负压(图6B)。但是，吸嘴83若从线路切换位置下降，则吸嘴下降的同时流通孔FH2向下方移动，连通孔CH2被吸嘴侧面所堵塞，停止由气压供给部54向气压导入通道831供给负压。因此，仅由气压供给部53经由流通孔FH1向气压导入通道831供给负压。

此外，吸嘴83若进一步下降，移动至元件吸附位置，则如图6C所示，相对于连通孔CH1不仅流通孔FH1，流通孔FH2也与连通孔CH1相对置而连通。其结果，各流通孔FH1、FH2的剖面面积的总合(有效剖面面积)增大，元件吸附时的负压一举供应给吸嘴83的气压导入通道831，可以更加切实地用吸嘴前端部进行元件吸附。

如上所述地完成元件吸附后，吸嘴83上升至原先的上升端位置。该上升移动的过程中，执行与下降移动中的气流线路切换相反的切换动作。从而，即便在上升移动中，也由气压供给部53及/或气压供给部54向气压导入通道831供给负压，由此在吸嘴前端吸附保持元件的状态下吸嘴83移动至上升端。在上升端位置上，维持由气压供给部54供给负压而吸附保持元件的状态，在上升端位置上待机直至其他吸嘴83完成元件吸附。

接着，各吸嘴83完成元件吸附后，头部单元6从元件供给部4的上方向基板3的元件搭载位置上方移动。此时，头部单元6通过元件识别用摄像机7的上方，由元件识别用摄像机7对各吸嘴83所保持的元件从其下侧予以拍摄，用以往众所周知的方法进行元件识别。

头部单元6在元件搭载位置上的定位完成后，吸嘴83开始为搭载元件而下降。如此为向基板3搭载元件而下降的情况，也与为吸附元件而执行下降动作时一样，可伴随吸嘴83的下降动作切换气流线路，由于在该下降动作中由气压供给部53及/或气压供给部54向气压导入通道831供给负压，在吸嘴前端吸附保持元件的状态下吸嘴83下降至元件搭载位置。从而，可以切实防止该下降移动过程中元件从吸嘴83落下。

如此，吸嘴83到达元件搭载位置后，气压供给部53就根据控制单元发出的动作指令将切换阀533切换到正压供给侧，经由连通孔CH1、流通孔FH1、FH2向气压导入通道831供给正压，从吸嘴前端进行空气喷射。由此，可使吸附保持于吸嘴83上的元件容易地脱离吸嘴前端，将元件搭载于所希望的元件搭载位置上。元件搭载完成之后，使吸嘴83上升移动，经由线路切换位置移动至上升端位置。该上升移动就要开始之前或到达线路切换位置之前，切换阀533根据控制单元发出的动作指令返回负压供给侧，向气压导入通道831供给负压。另外，虽然在本实施方式中，元件搭载后气压导入通道831回到负压状态，但也可使气压导入通道831释放气压。

另外，通过上述动作完成元件搭载后，为了向基板3搭载下一元件，重复执行上述一系列的动作。

如上所述，在第1实施方式中，一方面吸嘴83上设有两个流通孔FH1、FH2，另一方面保持吸嘴83的吸嘴座51上设有两个连通孔CH1、CH2。通过吸嘴向元件吸附位置的下降及吸嘴向上升端的上升，切换连通孔CH1、CH2与流通孔FH1、FH2的连通连接，调整经由气压导入通道831供给吸嘴83前端的负压。从而，可用与以往技术相比较简单的结构切换供给吸嘴83的气压。

此外，在上述实施方式中，由于设有供给互不相同的负压的气压供给部53、54，随着吸嘴83的升降移动变化供给吸嘴83的负压的大小，故可使元件不从吸嘴83落下地将该元件移动至基板侧。而且，在第1实施方式中，由于分别将气压供给部53供给的负压(P1-)和气压供给部54供给的负压(P2-)设定为适于元件吸附及适于元件搬送的值，可切实地执行元件吸附，并切实地防止吸嘴83或头部单元6的移动过程中元件从吸嘴前端脱落。

此外，由于连通孔CH1构成在上下轴方向(Z方向)上延伸的长孔形状，通过连通孔CH1能够供给负压的范围，即元件吸附位置及元件搭载位置的范围在上下轴方向(Z方向)上很广泛。因此，即便由于各种元件的高度尺寸等差异，吸附元件或搭载于基板3的高度位置在上下轴方向上变动，也可无任何障碍地用吸嘴83吸附保持元件。

另外，在上述第1实施方式中，如图4A、图4B所示，各保持孔512在凹部511的相反侧设置连通孔CH1、CH2，通过圆环状槽LT1连通连通孔CH1，可经由气压供给孔SH1向所有吸嘴83供给来自气压供给部53的气压(负压或正压)，且通过LT2连通连通孔CH2，可经由气压供给孔SH2向所有吸嘴83供给来自气压供给部54的气压(负压)。从而，即便像本实施方式那样吸嘴83为多个，也可以通过只设置一个气压供给部53和一个气压供给部54，以简单的结构向各吸嘴83供给与吸嘴位置相应的气压。

这样，在第1实施方式中，流通孔FH1、FH2分别相当于本发明的“第1流通孔”、“第2流通孔”，连通孔CH1、CH2分别相当于本发明的“第1连通孔”、“第2连通孔”。此外，气压供给孔SH1、SH2分别相当于本发明的“第1气压供给孔”、“第2气压供给孔”。此外，Z轴驱动机构62和施力部件82作为本发明的“吸嘴移动机构”发挥作用。此外，吸嘴座51相当于本发明的“保持部”。此外，正压(P1+)、负压(P1-)及负压(P2-)分别相当于本发明的“第1正压”、“第1负压”及“第2负压”。此外，切换阀533相当于本发明的“第1切换单元”。另外，圆环状槽LT1、LT2分别相当于本发明的“第1环状槽”及“第2环状槽”。

此外，本发明并不限定于上述实施方式，只要不脱离其主旨，能够进行上述之外的各种变形。例如，虽然在上述第1实施方式中，第1流通孔FH1及第1连通孔CH1分别设置在第2流通孔FH2和第2连通孔CH2的下方，但并不限定于上述设置关系，例如也可如图7A至图7C所示对换上下关系地设置(第2实施方式)。但是，该第2实施方式的元件吸附位置如图7C所示，仅流通孔FH1与连通孔CH1相对置，另一流通孔FH2被保持孔512的内周面所堵塞，与任一连通孔CH1、CH2都不连通。此外，图7A至图7C中虽然省略了图示，但吸嘴83移动至元件搭载位置时，与移动到元件吸附位置时(图7C)一样。另外，关于这点，在以下说明的第3实施方式乃至第5实施方式中也是一样。

此外，虽然在上述第1实施方式及第2实施方式中，在吸嘴83上设有两个流通孔FH1、FH2，但流通孔的个数并不限定于此，可以任意，例如也可如图8A至图8C所示仅由在上下轴方向(Z方向)上延伸的长孔形状的流通孔FH构成(第3实施方式)。在该第3实施方式中，与保持孔512的内周面相对侧的上下轴方向的流通孔FH的开口长度比连通孔CH1、CH2之间的间隔距离更长，如图8B所示，使吸嘴83移动到线路切换位置上时，流通孔FH跨越两连通孔CH1、CH2而同时连通各连通孔CH1、CH2。其结果，即便吸嘴83在上升端位置、元件吸附位置及元件搭载位置之间移动时，也可以总是向吸嘴83供给负压，在吸嘴83的移动过程中也可使元件被吸嘴83吸附保持，切实地防止元件落下。此外，通过使流通孔FH的个数最小化可以降低制造成本。

此外，虽然在上述实施方式中，第1流通孔FH1和第2流通孔FH2在上下轴方向上排成一列，且第1连通孔CH1和第2连通孔CH2在上下轴方向上排成一列，但流通孔和连通孔的设置关系并不限定于此，也可使连通孔CH1、连通孔CH2的流通孔侧开口(图6A至图6D乃至图8A至图8C中的右侧开口)位于伴随吸嘴83的升降移动的流通孔FH1、FH2的连通孔侧开口(图6A至图6D乃至图8A至图8C中的左侧开口)的移动轨迹上。

此外，虽然在第1实施方式乃至第3实施方式中，流通孔FH1、FH2与连通孔CH1、CH2设置在相对于吸嘴83的同一方向侧(图6A至图6D乃至图8A至图8C中的左手侧)，但也可例如图9A至图9C所示隔着吸嘴83地设置在相互相反侧(第4实施方式)。此外，在该第4实施方式中，流通孔FH1、FH2在上下轴方向(Z方向)的大致同一位置上，且在围绕上下轴方向的圆周方向上相互分离地设置。吸嘴83移动至元件吸附位置时，如图9C所示仅流通孔FH1仅与连通孔CH1连通，流通孔FH2被保持孔512的内周面所堵塞，与任何连通孔都不连通。

在如此构成的第4实施方式中，适于吸附元件及搭载元件的气压(负压P1-及正压P1+)从与流通孔FH1的形成位置相对应的方向(图9A至图9C中的右手侧)供给，另一方面适于搬送元件的气压(负压P2-)从与流通孔FH2的形成位置相对应的方向(图9A至图9C中的左手侧)供给，这样，气压的供给方向在围绕上下轴方向的圆周方向上互不相同。从而，可在吸嘴周围错开地设置用于向吸嘴座51供给气压的气压管道及气压供给源等，能提高布局的自由度。此外，如图9A至图9C所示，由于流通孔FH1、FH2设置在上下轴方向的大致同一位置上，可以缩短上下轴方向(Z方向)上流通孔FH1、FH2的间隔，实现上下轴方向上吸嘴座51的小型化。另外，与上述间隔的缩小相应地，吸嘴83和吸嘴座51的嵌合范围也缩小，容易提高嵌合精度，可以降低制造成本。

此外，虽然在上述第4实施方式中，流通孔FH1、FH2设置在上下轴方向的大致同一位置上，但也可代替流通孔FH1、FH2的上述设置，将连通孔CH1、CH2设置成第4实施方式所示的结构(第5实施方式)。即，如图10A至图10C所示，连通孔CH1、CH2也可在围绕上下轴方向的圆周方向上相互分离且孔中心位于上下轴方向的大致同一位置地设置于吸嘴座51。此时，由于经由连通孔CH1、CH2的气压供给方向分别在围绕上下轴方向的圆周方向上不同，与上述第4实施方式同样地，可在吸嘴周围错开地设置用于向吸嘴座51供给气压的气压管道及气压供给源等，能提高布局的自由度。

此外正如已经提及过的那样，第1负压和第2负压的关系虽然任意，但在上述实施方式中为了重视对元件的切实吸附而满足|P1-|＞|P2-|的关系。即，考虑到如下技术背景：在用吸嘴前端吸附元件后的吸嘴以相对低速移动的装置中，移动吸嘴时所需要的吸附力无需像元件吸附开始时那样大。另一方面，谋求装置高速化的情况下，需要将吸嘴的最高移动速度设定得较高，吸嘴加减速时及停止的瞬间作用在吸嘴前端所吸附的元件上的惯性力增大。在这样的装置中，克服该惯性力的第2负压|P2-|必须大于吸附时克服摩擦力等的第1负压|P1-|。这样的情况虽然在以往众所周知的所有表面安装装置中都是共通的，但特别是对上述实施方式的安装头8，由于例如图2所示8个吸嘴83围绕吸嘴座51均匀设置，即呈左轮手枪(revolver)状搭载，吸嘴座51的半径随着搭载数量的增大而增长，安装头8的转动加减速度增大时，较为理想的是，满足|P1-|＜|P2-|的关系(第6实施方式)。

此外，在上述实施方式中，具有多个吸嘴83，且用少于吸嘴数量的切换阀(上述实施方式中为单一的切换阀533)进行向各吸嘴83供给正压或负压的切换。此时，在移动吸嘴时所需的吸附力与元件吸附开始时的吸附力同等程度即可的情况下，也可采用具有单一负压源的负压发生装置(例如参照稍后说明的图19)向各吸嘴83供给负压，即满足|P1-|＝|P2-|的关系(第7实施方式)。此时，与上述其它实施方式同样，在元件吸附时及元件搬运时，向所有吸嘴83施以负压，另一方面在基板上安装元件时，可以如下方式进行负压/正压的切换。即，如为使用切换阀533将下降中的吸嘴83从负压切换到正压以实现安装，并向位于上升位置的吸嘴83施以负压，则吸嘴本身可用作滑阀的一部分，在向位于上升位置的吸嘴83施以负压的气流线路，和在下降位置上与切换阀533相连通的气流线路之间切换。

此外，如为使用切换阀533将下降中的吸嘴83从负压切换到正压以实现安装，并向位于上升位置的吸嘴83施以负压，则在上升位置处导入负压的气流线路和在下降位置上与切换阀533相连通的气流线路，也可采用将吸嘴本身用作滑阀的一部分的结构。

此外，虽然在上述实施方式中，气压供给部54仅由负压源541构成，但也可与气压供给部53同样地还包含正压源及切换阀，除负压外还可选择性地供给正压(P2+)。在如此构成的装置中，可经由第2连通孔CH2选择性地向保持孔512供给负压(P2-)或正压(P2+)。因此，例如吸嘴83在未吸附元件的状态下被移动至上升端位置时，通过将付予吸嘴83的压力从负压(P2-)切换为正压(P2+)，可用气洗的方式对吸嘴83的气压导入通道831和吸嘴前端进行空气净化。此外，若考虑将正压(P1+)的气压供给用于使元件脱离的空气喷射，则较为理想的是，使空气喷射用的正压(P1+)的绝对值小于气洗用的正压(P2+)的绝对值。这是因为，在Z轴驱动机构62的作用下使吸嘴83下降安装元件时，使元件脱离吸嘴83时空气喷射的正压无需不必要地大。此外，还有可以降低正压源532的正压供给能力的效果。

此外，虽然上述实施方式适用于圆环状地设置有8个吸嘴83、即左轮手枪状的安装头8中，但本发明的适用范围并不限定于此，例如还可适用于用通过其它方式装配有多个吸嘴83的安装头进行元件安装的元件安装装置。此外，可将本发明适用于对各吸嘴83分别切换并供给气压的元件安装装置。

图11是表示本发明所涉及的元件安装装置的第8实施方式的侧视图。在该第8实施方式中，与第1实施方式同样地，在基台11上设有基板搬送机构2(参照图1)，且在基板搬送机构2的前方(+Y)侧以及后方(-Y)侧，设置着上述元件供给部4(参照图1)。基板3被基板搬送机构2搬送至指定的安装作业位置，用图略的保持装置固定后，头部单元6在头部移动机构的作用下在基台11的指定范围内向X轴方向及Y轴方向移动，与此同时在保持由吸嘴830在元件供给部4处吸附的电子元件的状态下将其搬送至基板3，并移载至使用者指示的搭载位置。但是，在第8实施方式中，头部单元6与第1实施方式不同，8个吸嘴83在水平方向(X方向)上排成一列。下面，参照图11乃至图18对头部单元6的结构及动作进行说明。

图12是头部单元的正视图，表示摘除前方盖体的状态。此外，图13是图12所示的头部单元的局部剖视图。在该第8实施方式中，头部单元6的支承框架61可相对于在X轴方向上延伸的安装头支承部件91而沿X轴移动地受到支承。在构成该支承框架61的前方(+Y)部的支承板61A的两侧部固定有侧板64(side plate)(另外，图12中仅表示了(-X)侧的侧板)。此外，支承板61A的上方端部固定有顶板65，同时下方端部固定有相当于本发明的“保持部”的托架66。

该头部单元6中，如图11所示，8个安装头800在X轴方向上排成一列。上述安装头800均具有相同结构，各安装头800中在上下轴方向(Z方向)上延伸设置的吸嘴轴810因轴承单元820而转动可能且沿上下轴方向滑动可能地受到支承。即，相对于支承板61A的前方(+Y)面，8个轴承单元820在X轴方向上等间距地排成一列而被固定。各轴承单元820中如图13所示，吸嘴轴引导轴822绕上下轴转动自如地设置在轴承单元主体821的内部。此外，在该吸嘴轴引导轴822的中央部贯通上下轴方向地设有花键孔，相对于该花键孔，吸嘴轴810在上下轴方向上滑动可能地与之花键嵌合并穿插支承于其中。

此外，各吸嘴轴引导轴822的下方端部延伸设置至轴承单元主体821的下端面的下方，而且从动齿轮(driven gear)841安装在该下方端部。这样8个从动齿轮841在左右方向(X轴方向)上排成一列。通过将R轴电动机842的驱动力传递给各从动齿轮841而转动吸嘴轴引导轴822，从而使吸嘴轴810绕R轴方向转动。即，使安装着吸嘴830的吸嘴轴810绕R轴方向转动的吸嘴转动机构其结构如下。R轴电动机842由电动机固定件(motor stay)843安装在侧板64上。此外，在该R轴电动机842的输出轴的下方端部安装有小齿轮(pinion)844，经由两端在左右方向(X轴方向)上滑动可能地支承在齿条导板(rackguide)845上的齿条846对从动齿轮841进行转动驱动。由此，可使进入元件安装动作的安装于安装头800的吸嘴轴810的下端的吸嘴830位于与各安装位置所设定的元件安装方向相一致的转动角度。

顶板65上，在8个吸嘴轴810的上方位置分别设有一个吸嘴移动机构的驱动源861。在本实施方式中，驱动源861使用线性电动机，各线性电动机861的输出轴862的下方端部螺纹嵌合于联轴节(coupling)863，且联轴节863经由轴承864转动可能地支承吸嘴轴810的上方端部。这样，联轴节863转动可能地将吸嘴轴810连接于不能转动但上下移动的线性电动机861的输出轴862。另外，吸嘴驱动机构的结构并不限定于此，使输出轴862不能转动但上下移动的结构，也可例如采用使用中空电动机、滚珠螺母及滚珠丝杠机构的吸嘴驱动机构。

此外，托架66支承并列设置在左右方向(X轴方向)上的吸嘴轴810的下方端部，使其转动可能且上下滑动可能。下面，参照图14乃至图17对托架66的结构进行详细说明。

图14是表示托架结构的局部剖视图。此外，图15是从图14中的A-A线箭头方向观察的剖视图，图16是从图15中的B-B线箭头方向观察的剖视图，图17是从图15中的C-C线箭头方向观察的剖视图。托架66中，在左右方向(X轴方向)上空出一定间隔地直线状地设有贯通上下轴方向(Z方向)的8个保持孔。吸嘴轴810的下方端部分别插入各保持孔中。更为具体地，吸嘴轴810的下方端部侧面沿着保持孔的内周面与之滑动接触，并且在上下轴方向上吸嘴轴810转动可能且上下移动自如地受到保持。

此外，托架66的内部如图14及图15所示，在上下轴方向(Z方向)的第1高度位置P1上，相对于8个保持孔设有一个使保持孔向水平方向呈圆环状扩展的第1连通室部CH1a。此外，在第1高度位置P1的上方侧即第2高度位置P2处，与第1连通室部CH1a同样地设有8个第2连通室部CH2a。如此相对于各保持孔设置两种连通室部CH1a、CH2a，分别在不同的高度位置P1、P2上与保持孔相连通。

进而，在托架66的内部，在第1高度位置P1上设有与第1连通室部CH1a相互连通的连通孔CH1b。该连通孔CH1b的(-X)侧端部如图16所示，延伸设置至托架66的(-X)侧端面。另一方面，在第2高度位置P2上也与上述同样地设有连通孔CH2b。即，如图17所示，连通孔CH2b与第2连通室部CH2a相互连通，且其(-X)侧端部延伸设置至托架66的(-X)侧端面。

图18是负压发生装置及切换阀相对于连通孔的连接状态的示意图。结构如上的连通孔中连通孔CH1b的(-X)侧端部与切换阀55相连接，切换阀55根据控制整个装置的控制部(省略图示)发出的切换指令切换气流线路，与该切换相应地与大气或经由负压管道561与负压发生装置57的第1负压源571相连通。另外，在图18中，连通孔CH1b的(-X)侧端部经由切换阀55及负压管道561与第1负压源571相连，此时，第1负压源571经由第1连通室部CH1a向保持孔供给负压(P1-)。此外，替代向大气开放，也可与第1实施方式同样地，与正压源相连接而供给正压(P1+)。

此外，连通孔CH2b的(-X)侧端部经由负压管道562与负压发生装置57的第2负压源572相连通。因此，第2负压源572经由第2连通室部CH2a向保持孔供给负压(P2-)。

这样，根据切换阀55的切换，总是向各保持孔供给两种负压(P1-)、(P2-)，或大气及负压(P2-)。8个吸嘴轴810的各下方端部分别插入上述保持孔中，沿着保持孔的内周面与之滑动接触，且转动可能且在上下轴方向上移动可能地受到保持。此外，在各吸嘴轴810的下方端部的前端安装有吸嘴830。吸嘴830的内部设有沿着吸嘴轴芯直达吸嘴前端部的贯通孔(省略图示)，与该贯通孔相连通地，在各吸嘴轴810的下方端部设有直达吸嘴830的气压导入通道811。这样，吸嘴轴810和吸嘴830形成为一体，作为本发明的“吸嘴”发挥作用。

各吸嘴轴810中，与第1实施方式的吸嘴83同样地，两个流通孔FH1、FH2从吸嘴830的侧面在水平方向上延伸设置至气压导入通道811，在上下轴方向上流通孔FH1位于流通孔FH2的下方而成上下一列地设置。此外，流通孔FH1、FH2的形成方式(大小和上下轴方向的间隔)与连通室部CH1a、CH2a的形成方式(大小和上下轴方向的间隔)均与第1实施方式相同。从而，与第1实施方式同样地，可以通过吸嘴向元件吸附位置的下降及吸嘴向上升端的上升，切换连通室部CH1a、CH2a与流通孔FH1、FH2的连通连接，调整经由吸嘴轴810的气压导入通道811、吸嘴830的贯通孔而供给吸嘴83前端的负压。从而，可用与以往技术相比较简单的结构切换供给吸嘴830的气压。

此外，与第1实施方式同样地，由于负压发生装置57中设有供给互不相同的负压的负压源571、572，随着吸嘴(＝吸嘴轴810+吸嘴830)的升降移动而变化供给吸嘴830的负压的大小，故可使元件不从吸嘴830落下地将该元件移动至基板侧。而且，由于分别将负压源571供给的负压(P1-)和负压源572供给的负压(P2-)设定为适于元件吸附及适于元件搬送的值，可切实执行元件吸附，且切实地防止吸嘴(＝吸嘴轴810+吸嘴830)的上下移动或转动、或头部单元6的移动过程中元件从吸嘴顶端脱落。

此外，由于连通室部CH1a构成在上下轴方向(Z方向)上延伸的形状，通过连通室部CH1a供给负压的可能范围，即元件吸附位置及元件搭载位置的范围在上下轴方向(Z方向)上很广泛。因此，即便由于各种元件的高度尺寸等差异，吸附元件或搭载于基板3的高度位置在上下轴方向上变动，也可无任何障碍地用吸嘴830吸附保持元件。

此外，连通室部CH1a、CH2a包围保持孔，且连通孔CH1b、CH2b经由连通室部CH1a、CH2a与保持孔相连通。因此，无论吸嘴(＝吸嘴轴810+吸嘴830)转动至何角度，连通孔CH1b、CH2b总能经由连通室部CH1a、CH2a与保持孔相连通，可获得上述作用效果。另外，在吸嘴(＝吸嘴轴810+吸嘴830)不转动的装置中，也可以省略连通室部CH1a、CH2a而使连通孔CH1b、CH2b与保持孔相连通。

另外，在该第8实施方式中，与第1实施方式同样地，即使具有多个安装头800，也可以通过小于安装头800的数量地分别只设置一个切换阀55和一个负压发生装置57，以简单的结构向各吸嘴830供给与吸嘴位置相对应的气压。

另外，虽然在上述第8实施方式中，第1流通孔FH1和第1连通室部CH1a分别设置在第2流通孔FH2和第2连通室部CH2a的下方，但并不限定于上述设置关系，也可采用与第2实施方式(图7A至图7C)乃至第5实施方式(图10A至图10C)中说明的同样的设置关系。

此外，在第8实施方式中，也如已经提及过的那样，第1负压和第2负压的关系虽然任意，但可与第1实施方式同样地，重视对元件的切实吸附而满足|P1-|＞|P2-|的关系，或重视吸嘴移动速度、急剧加速、停止而满足|P1-|＜|P2-|的关系。

此外，在第8实施方式中，由于在具有多个吸嘴830的同时，由小于吸嘴数量的一个切换阀55进行对各吸嘴830的正压或负压的供给切换，也可例如图19所示，在负压发生装置57中设置共同的负压源573，该负压源573经由负压管道561及切换阀55与连通孔CH1b相连接，且经由负压管道562与连通孔CH2b相连接(第9实施方式)。通过采用这样的结构，满足|P1-|＝|P2-|的关系。此时，可在元件吸附时及元件搬运时，向所有吸嘴830施以负压，另一方面在基板上安装元件时，以如下方式进行负压/正压的切换。即，如为使用切换阀55将下降中的吸嘴830从负压切换到正压以实现安装，并向位于上升位置的吸嘴830施以负压，则吸嘴本身用作滑阀的一部分，在引导上升位置的负压的气流线路(负压源573-负压管道562-连通孔CH2b-连通室部CH2a)和下降位置上包含切换阀55的气流线路(负压源573-负压管道561-切换阀55-连通孔CH1b-连通室部CH1a)之间切换。

此外，本发明可适用于对各吸嘴(在吸嘴轴810的下方端部安装吸嘴830的部分)分别切换并供给气压的元件安装装置。

如上所述，在上述第1实施方式乃至第7实施方式中，用小于吸嘴83数量的切换阀533进行供应给各吸嘴83的负压/正压切换，另一方面通过设置跨上述吸嘴83的连通孔CH1、CH2，形成互异的气流线路，通过各吸嘴83的上下移动来切换气流线路，调整供给吸嘴83的负压。此外，在上述第8实施方式及第9实施方式中，也用小于多个吸嘴(在吸嘴轴810的下方端部安装吸嘴830的部分)数量的切换阀55进行供应给各吸嘴830的负压/正压切换，另一方面通过设置上述吸嘴810的连通孔CH1b、CH2b，形成互异的气流线路，通过各吸嘴的上下移动切换气流线路，调整供给吸嘴830的负压。这样，吸嘴83、830所要求的负压与吸嘴位置相对应，可利用吸嘴的上下移动切换负压。从而，具有用于切换负压的结构简单、不易发生故障、成本低廉的优点。

在此，若着眼于利用吸嘴的上下移动进行负压切换的技术特点，也可以如下方式构成元件安装装置。即，在专利文献1所述的装置中，如前述说明，通过相对于吸嘴设置负压侧滑阀和正压侧滑阀，控制对吸嘴的正压/负压供给。从而，为了对吸嘴所要求的负压进行更为细致的控制，必须进一步追加与上述负压侧滑阀不同的另一负压侧滑阀，在使装置结构复杂化的同时，也无法避免装置的大型化。对此类问题，虽然能通过上述实施方式加以解决，但也可进一步采用如下结构。下面，参照图20及图21对另一实施方式进行说明。

图20及图21是表示元件安装装置的另一实施方式的模式图。该实施方式所涉及的元件安装装置，多个吸嘴830在水平方向(X方向)上排成一列，除安装头800的具体结构及负压切换机构不同这点外，基本与第8实施方式(图11)相同。从而，下面参照着图20及图21以不同点为中心进行说明，另一方面对相同结构付予相同的符号省略说明。

在该实施方式中，3个安装头800在X轴方向上排成一列。上述安装头800均具有相同结构，各安装头800中在上下轴方向(Z方向)上延伸设置的吸嘴轴810的上方端部因轴承单元820而转动可能且沿上下轴方向移动可能地受到支承，并且该吸嘴轴810的下方端部因托架66而转动可能且沿上下轴方向移动可能地受到支承。R轴电动机842及线性电动机861根据对装置各部分进行控制的驱动控制部900发出的指令而运转，使吸嘴轴810在R轴方向上转动并在上下轴方向(Z方向)上移动。另外，为了方便发明的理解，图20中仅抽出托架66、吸嘴轴810及吸嘴830的剖面进行图示。此外，虽然在该实施方式中，用一个托架66支承三个吸嘴轴810，但吸嘴的数量并不限定于“三”，也可准备与吸嘴轴810的数量相同的托架，各托架支承一个吸嘴轴810。

在各吸嘴轴810的下方端部与第8实施方式同样地设有直达吸嘴830的气压导入通道811，且使吸嘴830的贯通孔与该气压导入通道811相连通地将吸嘴830安装于吸嘴轴810的下方端部。这样，吸嘴轴810和吸嘴830形成为一体，作为本发明的“吸嘴”发挥作用。此外，各吸嘴轴810中，一个流通孔FH从其侧面在水平方向上延伸设置至气压导入通道811。

该托架66中，在左右方向(X轴方向)上空出一定间隔地直线状地设有贯通上下轴方向(Z方向)的3个保持孔。吸嘴轴810的下方端部一一插入各保持孔中。更为具体地，吸嘴轴810的下方端部侧面沿着保持孔的内周面与之滑动接触，且在上下轴方向上吸嘴轴810转动可能且上下移动自如地受到保持。

在该托架66的内部，相对于3个保持孔一一设有使保持孔向水平方向呈圆环状扩展的连通室部CH1a。连通孔CH1b独立分离地自各连通室部CH1a延伸设置至托架66的侧面。上述连通室部CH1a均较设于吸嘴轴810的流通孔FH在上下轴方向上更长，在该长度范围内即便吸嘴在上下轴方向(Z方向)上升降移动，流通孔FH也与连通室部CH1a相连通，经由连通室部CH1a及流通孔FH如下说明地可向气压导入通道811供给正压及负压。

托架66的前表面上为各安装头800在左右方向上安装有压力切换/调整部58，各连通孔CH1b分别经由各压力切换/调整部58与真空源59相连。该压力切换/调整部58如图21所示，具有电动气动真空调节器(electropneumatic vacuum regulator)581、切换阀582及正压源583。该电动气动真空调节器581具有将由真空源59传送出的真空压力调整为所希望的负压的压力调整功能。此外，切换阀582具有基于驱动控制部900发出的动作指令，向正压侧及负压侧切换气流线路的功能。因此，切换阀582若切换到将正压源583与连通孔CH1b相连的正压侧气流线路，则向与该正压侧气流线路相连的吸嘴830供给正压。另一方面，如图21所示，切换阀582若切换到负压侧，则真空源59经由该电动气动真空调节器581及切换阀582与连通孔CH1b相连，向与该负压侧气流线路(真空源59-电动气动真空调节器581-切换阀582-连通孔CH1b)相连的吸嘴830供给负压。而且，如此向吸嘴830供给负压时，电动气动真空调节器581基于驱动控制部900发出的控制信号如稍后说明地进行负压的两段调整。

此外，在该实施方式中，各安装头800中设有吸嘴上下位置传感器901，检测出吸嘴(＝吸嘴轴810+吸嘴830)上下轴方向的高度位置，将该位置信息输出给驱动控制部900。另一方面，驱动控制部900根据存储于存储器902中的安装程序对装置各部分进行控制，使它们以下述方式运作。

存储器902中存储有与安装位置相对应的电子元件数据、电子元件高度数据等各种数据，驱动控制部900基于这些数据在吸嘴上下位置传感器901所检测出的指定的吸嘴上下位置(电子元件的底接触基板的上下位置)上切换合适的切换阀582，进行正压/负压的切换。

进而，驱动控制部900根据各安装头800的吸嘴(＝吸嘴轴810+吸嘴830)的升降动作付予电动气动真空调节器581控制信号，在负压PA、PB之间切换。另外，上述两种负压中负压PA是从吸嘴为吸附元件而下降的途中或到达下降端后的时刻开始到吸附后在吸附着元件的吸嘴的上升途中的时刻为止的真空压。此外，另一负压PB是指头部单元6(参照图11)，从元件供给部4(参照图1)的上方向基板3的上方位置的移动过程及在基板3的上方位置上向该安装头800的元件安装位置上方移动的过程中，从到达吸附元件后的吸嘴的上升端之前开始直到吸附着元件的吸嘴为开始安装而下降的途中或到达下降端为止的真空压。另外，负压，除必须为负压PA、负压PB的上述时段以外，可为负压PA或负压PB中的任意之一。

如上所述，根据本实施方式，可用一个电动气动真空调节器581切换吸嘴830在吸附元件时的负压PA和头部单元6在搬运元件的过程中的负压PB。从而，与为专利文献1所述的装置附加负压切换功能的情况相比，可以较少的结构要素进行负压切换，抑制装置的大型化。此外，上述作用效果是利用吸嘴的上下移动进行负压切换的第1实施方式乃至第9实施方式也可达成的。

另外，向吸嘴830供给负压时，驱动控制部900也可对电动气动真空调节器581进行控制，使得可按不同电子元件细致地调整负压。即，分别根据元件种类向吸嘴作用不同的负压，对惯性力较大的大型元件施以较大的负压，对惯性力较小的小型元件施以相对较小的负压，或对需要较大吸附力的元件施以较大的负压，对较小的吸附力即可的元件施以较小的负压。

另外，虽然在上述实施方式中，对包括多个安装头800的元件安装装置，应用根据吸嘴的上下动作控制电动气动真空调节器581进行负压切换的发明，但本发明的适用对象并不限定于此，也可应用于由单一安装头构成的元件安装装置中。

另外，虽然在上述实施方式中，将正压源、负压源设置在装置内部，但也可利用设置在其它装置中的正压源、负压源或装置所设置的工厂的设备(utility)供给的正压、负压。此外，代替正压源也可采用释放气压的结构。

Claims (17)

1.一种元件安装装置，将元件安装到基板上，其特征在于包括：

沿上下轴方向设置、用其顶端吸附元件的吸嘴；

具有嵌合并保持所述吸嘴的保持孔、一边使所述吸嘴的侧面沿着所述保持孔的内周面滑动接触一边在所述上下轴方向上移动自如地保持所述吸嘴的保持部；以及

相对于所述保持部向所述上下轴方向移动所述吸嘴的吸嘴移动机构，其中，

所述吸嘴，具有在所述吸嘴的内部延伸设置至所述吸嘴的前端的气压导入通道和从所述吸嘴的侧面延伸设置至所述气压导入通道的至少一个流通孔，

所述保持部，具有与所述保持孔相连通、可向所述保持孔供给第1气压的第1连通孔，和与所述保持孔相连通、可向所述保持孔供给第2气压的第2连通孔，

所述吸嘴移动机构，通过所述吸嘴向所述流通孔仅与所述第1连通孔相连通的第1位置的下降以及所述吸嘴向所述流通孔仅与所述第2连通孔相连通的第2位置的上升，来调整经由所述气压导入通道供给所述吸嘴的前端的气压。

2.根据权利要求1所述的元件安装装置，其特征在于：

所述第1连通孔呈向上下轴方向延伸的长孔形状。

3.根据权利要求1所述的元件安装装置，其特征在于：

所述吸嘴设有作为所述流通孔的第1流通孔和第2流通孔，

所述吸嘴被移动至所述第1位置时，所述第1流通孔和所述第2流通孔中的至少其中一方仅与所述第1连通孔相连通，同时所述第2连通孔被所述吸嘴的侧面所堵塞与任何流通孔都不连通，

所述吸嘴位于所述第2位置时，所述第1流通孔和所述第2流通孔中的仅其中一方的流通孔仅与所述第2连通孔相连通，并且另一流通孔被所述保持孔的内周面所堵塞与任何连通孔都不连通，

所述吸嘴位于所述第1位置和所述第2位置之间的第3位置时，所述第1流通孔和所述第2流通孔中的其中一方的流通孔仅与所述第1连通孔相连通，并且另一流通孔仅与所述第2连通孔相连通。

4.根据权利要求3所述的元件安装装置，其特征在于：

所述吸嘴被移动至所述第1位置时，所述第1流通孔及所述第2流通孔都仅与所述第1连通孔相连通。

5.根据权利要求3所述的元件安装装置，其特征在于：

所述第1流通孔和所述第2流通孔在所述上下轴方向的同一位置上、在围绕所述上下轴方向的圆周方向上相互分离而设置，

所述吸嘴被移动至所述第1位置时，仅所述第1流通孔与所述第1连通孔相连通，所述第2流通孔被所述保持孔的内周面所堵塞与任何连通孔都不连通。

6.根据权利要求3所述的元件安装装置，其特征在于：

所述第1连通孔和所述第2连通孔在围绕所述上下轴方向的圆周方向上相互分离且孔中心位于所述上下轴方向的同一位置而设置于所述保持部中，

所述吸嘴被移动至所述第1位置时，仅所述第1流通孔与所述第1连通孔相连通，所述第2流通孔被所述保持孔的内周面所堵塞，与任何连通孔都不连通。

7.根据权利要求1所述的元件安装装置，其特征在于：

所述吸嘴中设置的所述流通孔为一个，

所述吸嘴位于所述第1位置和所述第2位置之间的第3位置时，所述流通孔跨所述第1连通孔和所述第2连通孔同时与各连通孔相连通。

8.根据权利要求1所述的元件安装装置，其特征在于还包括第1切换单元，其中，

所述第1切换单元与所述第1连通孔相连，通过所述第1连通孔选择性地向所述保持孔供给作为所述第1气压的第1负压或第1正压。

9.根据权利要求8所述的元件安装装置，其特征在于还包括第2切换单元，其中，所述第2切换单元与所述第2连通孔相连，通过所述第2连通孔选择性地向所述保持孔供给作为所述第2气压的第2负压或第2正压，

所述第1正压的绝对值小于所述第2正压的绝对值。

10.根据权利要求1所述的元件安装装置，其特征在于：

所述吸嘴为多个，

所述保持部具有围绕所述上下轴方向相互分离地设置的多个保持孔，

所述多个吸嘴被分别嵌合于各保持孔中，各吸嘴的侧面沿着所述保持孔的内周面滑动接触地由所述保持部在所述上下轴方向上移动自如地加以保持，

所述吸嘴移动机构选择性地使所述多个吸嘴向所述上下轴方向移动。

11.根据权利要求10所述的元件安装装置，其特征在于还包括：将所述保持部嵌合于在所述上下轴方向上贯通的贯通孔中而对所述保持部进行支承的筒状部件，其中，

各保持孔分别与所述第1连通孔和所述第2连通孔相连通，

所述筒状部件具有可向所述多个第1连通孔供给所述第1气压的第1气压供给孔，和可与所述多个第2连通孔相连通、可向所述多个第2连通孔供给所述第2气压的第2气压供给孔，

所述贯通孔的内周面和所述保持部的外周面中的至少一方设有连通所述多个第1连通孔和所述第1气压供给孔的第1环状槽，

所述贯通孔的内周面和所述保持部的外周面中的至少一方设有连通所述多个第2连通孔和所述第2气压供给孔的第2环状槽。

12.根据权利要求1所述的元件安装装置，其特征在于：

所述吸嘴为多个，

所述保持部具有在与所述上下轴方向相垂直的水平方向上相互分离地排列的多个所述保持孔，

所述多个吸嘴被分别嵌合于各保持孔中，各吸嘴的侧面沿着所述保持孔的内周面滑动接触地由所述保持部在所述上下轴方向上移动自如地加以保持，

所述吸嘴移动机构选择性地使所述多个吸嘴向所述上下轴方向移动。

13.根据权利要求12所述的元件安装装置，其特征在于：

所述第1连通孔使所述多个保持孔相互连通地形成于所述保持部中，

所述第2连通孔与所述第1连通孔分离，使所述多个保持孔相互连通地形成于所述保持部中。

14.根据权利要求13所述的元件安装装置，其特征在于：

所述保持部具有在所述上下轴方向的第1高度位置上分别与所述多个保持孔一一连通地设置的多个第1连通室部，和在与所述第1高度位置相异的所述上下轴方向的第2高度位置上分别与所述多个保持孔一一连通地设置的多个第2连通室部，

所述第1连通孔经由所述多个第1连通室部使所述多个保持孔相互连通，

所述第2连通孔经由所述多个第2连通室部使所述多个保持孔相互连通。

15.根据权利要求1至14中任一项所述的元件安装装置，其特征在于：

所述第1、第2气压均为负压，

所述第1气压的绝对值大于所述第2气压的绝对值。

16.根据权利要求1至14中任一项所述的元件安装装置，其特征在于：

所述第1、第2气压均为负压，

所述第1气压的绝对值小于所述第2气压的绝对值。

17.根据权利要求1至14中任一项所述的元件安装装置，其特征在于：

所述第1、第2气压均为负压，

所述第1气压的绝对值等于所述第2气压的绝对值。