CN102313926A - 光波导路的制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种将不使毛刺产生的成形模用于形成上敷层的光波导路的制造方法。通过将透光性树脂(20A)作为形成材料、并使用具有形状与上敷层的形状相同的突起部分(41)和形成在该突起部分的周围的突条部分(42)的模具构件(40)进行模具成形，制作上敷层形成用的成形模(20)。该成形模的突起部分的脱离痕迹被形成为上敷层形成用的凹部(21)，突条部分的脱离痕迹被形成为槽部(22)。并且，在形成上敷层时，向凹部内填充上敷层形成用的感光性树脂，在将形成在下敷层的表面上的芯浸入该感光性树脂内、并将从凹部溢出的感光性树脂积存在槽部(22)中的状态下，透过成形模(20)而使感光性树脂曝光并使感光性树脂硬化。

Description

光波导路的制造方法

技术领域

本发明涉及在光通信、光信息处理、位置传感器、其他的一般光学技术的领域被广泛地使用的光波导路的制造方法。

背景技术

通常，在下敷层的表面上，将光的通路、即芯形成为规定图案，并以覆盖该芯的状态形成上敷层，从而构成光波导路。特别是使上述上敷层的端部形成为透镜部等将上敷层形成为所希望的形状时，使用形成有凹部的成形模来形成上敷层，该凹部具有与该所希望的形状相对应的模面(例如，参照专利文献1)。

另外，本申请人提出有尺寸精度优异的具有透光性的树脂制的成形模来作为上述上敷层形成用的成形模，并已经提出专利申请(日本发明专利申请2010-126714)。该成形模是如下所述那样制作的。即、首先，准备形状与上敷层的形状相同的模具构件，将该模具构件设置在成形模形成用的容器内。接着，向该容器内填充透光性树脂并使透光性树脂硬化。然后，从上述容器中取出该硬化了的透光性树脂，并使上述模具构件脱离，由此，获得将上述模具构件的脱离痕迹作为上敷层形成用的凹部的透光性树脂制的成形模。

使用上述成形模的光波导路的制作如下所述那样进行。即、首先，向上述成形模的凹部内填充上敷层形成用的感光性树脂。接着，将形成在下敷层的表面上的芯浸入该感光性树脂内，并将上述下敷层按压于上述成形模。然后，透过上述成形模使上述感光性树脂曝光并使上述感光性树脂硬化，形成为上敷层。然后，脱模，从而获得由上述下敷层、芯以及上敷层构成的光波导路。

专利文献1：日本特开2008-281654号公报

在上述光波导路的上敷层形成工序中，在将形成有芯的下敷层按压于上述成形模时，为了使上述上敷层形成用的感光性树脂中不混入空气，通常，向上述成形模的凹部内多填充一些感光性树脂。因此，在将下敷层按压于上述成形模时，过剩的感光性树脂从凹部溢出，在凹部的周边部，会发现该溢出了的感光性树脂夹在成形模与下敷层之间的倾向。会发现该夹着的感光性树脂由于上述曝光而保持原样地硬化并变成毛刺的倾向。虽然该毛刺在脱模后被切除，但在上敷层的透镜部形成有毛刺时，不能将该毛刺切除成透镜曲面状，会发现透镜性能变得不足的倾向。

另外，上述那样在成形模与下敷层之间夹着感光性树脂时，上述成形模的高度位置偏移该夹着的感光性树脂的厚度，因此，上敷层的高度被形成得比设计值高，从而芯与上敷层之间的位置关系产生偏移。因此，从芯的顶端射出的光在上敷层的端部的透镜部未被适当地聚光，而在分散的状态下从该透镜部射出。因此，接收该光的一侧的受光强度(光传播特性)下降。并且，在上述毛刺中，存在厚度较厚的部分和厚度较薄的部分，这成为产品(光波导路)的特性产生偏差、有损特性的均匀性的原因。采用上述成形模来形成上敷层在上述方面存在改良的余地。

发明内容

本发明是鉴于这样的情况而做成的，其目的在于提供一种光波导路的制造方法，该光波导路的制造方法在上敷层的形成中使用不会产生毛刺的成形模。

为了达成上述目的，本发明的光波导路的制造方法具有如下所述的工序：在将芯图案形成在下敷层的表面上之后，使用形成有凹部的成形模而以覆盖上述芯的状态形成上敷层，该凹部具有与上敷层的形状相对应的模面，该光波导路的制造方法采用如下的构成：使用下述(A)的成形模来作为上述成形模，上敷层的形成是这样进行的：向上述成形模的凹部内填充上敷层形成用的感光性树脂，在将上述芯浸入该感光性树脂内并且将从上述凹部内溢出的感光性树脂积存在上述成形模的槽部内的状态下，透过上述成形模使上述凹部内的感光性树脂曝光并使上述感光性树脂硬化而形成为上敷层。

(A)是如下的透光性树脂制成的成形模，即，将具有形状与上敷层的形状相同的突起部分和形成在该突起部分的周围的突条部分的模具构件设置在成形模形成用的容器内，向该容器内填充透光性树脂并使透光性树脂硬化之后，从上述容器中将硬化后的透光性树脂与模具构件一起取出，以使上述模具构件脱离所得到的上述突起部分的脱离痕迹作为上敷层形成用的凹部、并将上述突条部分的脱离痕迹作为对从上述凹部溢出的上敷层形成用的感光性树脂进行积存的槽部。

本发明人以制作不会使毛刺产生的成形模来作为用于上敷层的形成的成形模为目的，对该成形模的形状反复进行了研究。在该过程中，想到了下述方法：在成形模中，在上敷层形成用的凹部的周围形成槽部，将成为毛刺的原因的从上述凹部溢出的上敷层形成用的感光性树脂积存在上述槽部中，在该状态下形成上敷层。因此，对本申请人已经申请的将透光性树脂作为形成材料、并使用形状与上敷层的形状相同的模具构件来进行模具成形的方法加以改良，在上述模具构件上形成上述槽部形成用的突条部分，从而制作出形成有上述槽部的成形模。然后，发现使用该成形模来形成上敷层时，能够制作不会产生毛刺的光波导路，从而达成本发明。

在本发明的光波导路的制造方法中，上敷层形成用的成形模的制作以如下所述的方式进行：将透光性树脂作为形成材料，并使用具有形状与上敷层的形状相同的突起部分和形成在该突起部分的周围的突条部分的模具构件进行模具成形。因此，能够使上述成形模成为在上敷层形成用的凹部的周围形成有用于对从该凹部溢出的上敷层形成用的感光性树脂进行积存的槽部的成形模。另外，在形成上敷层的工序中，能够通过使用上述成形模将成为毛刺的原因的感光性树脂积存在上述槽部，因此，能够制作不会产生毛刺的光波导路。因此，不需要毛刺的切除工序，从而能够提高光波导路的生产率。

特别是上述成形模的凹部的与覆盖上述芯的顶端部的上敷层部分相对应的模面部分被形成为透镜曲面时，能够获得将覆盖芯的顶端部的上敷层部分形成为透镜部的光波导路。并且，在该光波导路中，对于从芯的顶端部射出的光，能够利用上述上敷层的透镜部的折射作用，以抑制了发散的状态射出。另外，对于从上述上敷层的透镜部的表面入射的光，能够利用上述透镜部的折射作用，以聚光而使光集中的状态使该光入射到芯的顶端部。即、获得的上述光波导路是光传播特性优异的光波导路。

另外，上述成形模的形成材料、即透光性树脂含有硅树脂时，能够将上述成形模形成为尺寸精度更优异的成形模，从而能够获得光传播特性更优异的光波导路。

附图说明

图1的(a)～(c)是示意地表示在本发明的光波导路的制造方法的一实施方式中所使用的上敷层形成用的成形模的制造方法的说明图。

图2的(a)～(d)是示意地表示使用上述成形模的光波导路的制造方法的说明图。

图3是示意地表示利用图2的(a)～(d)所示的制造方法获得的光波导路的剖视图。

具体实施方式

下面，根据附图详细说明本发明的实施方式。

在本发明的光波导路的制造方法的一实施方式中，在形成上敷层3(参照图2的(d))时，使用成形模20，该成形模20将透光性树脂作为形成材料并通过模具成形一体地制作、并在上敷层形成用的凹部21的周围形成有槽部22。本发明的主要特征在于，使用这样的成形模20来形成上敷层3。即、如果使用该成形模20来形成上敷层3，则在将形成有芯2的下敷层1按压于上述成形模20时，不会将从上述凹部21溢出的过剩的感光性树脂3A夹在成形模20与下敷层1之间，而能够将从上述凹部21溢出的过剩的感光性树脂3A积存在上述槽部22内，从而能够制作没有毛刺的光波导路。

另外，在本实施方式中，形成有两个上述成形模20(参照图2的(c))的凹部21，各凹部21的一端部分(在图2的(c)中左端部分)被形成为透镜曲面21a。另外，上述槽部22的横截面被形成为V字状。

详细说明上述成形模20的制造方法。

首先，如图1的(a)所示，以突出于底座构件43的上表面的状态将具有形状与上敷层3(参照图3)的形状相同的突起部分41和形成在该突起部分41的周围的突条部分42的模具构件40形成在底座构件43的上表面上。例如通过使用刀具切削板状的构件来进行上述模具构件40的制作。另外，作为上述模具构件40的形成材料可列举例如铝、不锈钢、铁等。特别是考虑到加工性而优选铝。另外，在本实施方式中，上述突条部分42的横截面被形成为三角形状。

接下来，如图1的(b)所示，将由上述模具构件40以及底座构件41构成的结构体设置在成形模形成用的容器30内。此时，如图所示，优选以上述模具构件40为上侧、底座构件43为下侧的状态将该结构体设置在上述容器30的底面上。另外，优选在上述容器30的内表面、上述模具构件40以及底座构件43的表面上涂覆脱模剂。

接着，如图所示，向上述容器30内填充液状的透光性树脂20A直到上述模具构件40整体浸入该透光性树脂20A中。作为该透光性树脂20A可列举例如硅氧烷树脂、丙烯酸树脂、环氧树脂等，可以单独地或者两种以上共同地使用这些树脂。特别是考虑到能够将成形模20形成为尺寸精度更优异的成形模而优选含有硅树脂。

然后，使上述透光性树脂20A硬化。根据透光性树脂20A的种类，在常温下、加热下或者利用常温下与加热下的组合来进行该硬化。

然后，将上述硬化了的透光性树脂与上述模具构件40以及底座构件43一起从上述容器30中取出。然后，使由上述模具构件40以及底座构件43构成的结构体从硬化了的透光性树脂脱离。上述模具构件40的突起部分41的脱离痕迹成为具有与上敷层3(参照图2的(d))的形状相对应的模面的凹部21(参照图1的(c))。另外，上述模具构件40的突条部分42的脱离痕迹成为上述凹部21的周围的槽部22(参照图1的(c))。另外，将上述硬化了的透光性树脂中的与底座构件43的周侧部分相对应的部分(不需要的部分)切除。这样一来，获得如图1的(c)(与图1的(b)上下相反地图示)所示那样的透光性树脂制的上述成形模20。另外，在该成形模20中，考虑到透光性、强度等，优选将在图1的(c)中观察的上述凹部21的底面与成形模20的下表面之间的部分的厚度T设定在0.5～5.0mm的范围内。另外，通常将上述槽部22的大小设定为不会被从上述凹部21溢出的感光性树脂3A(参照图2的(d))填满的程度，例如，将宽度设定在1～10mm的范围内、将深度设定在0.1～1.0mm的范围内。

下面，详细说明光波导路的制造方法。

首先，准备在形成下敷层1时使用的平板状的基座10(参照图2的(a))。作为该基座10的形成材料可列举例如金属、树脂、玻璃、石英、硅等。特别优选不锈钢(SUS)制基板。原因在于不锈钢制基板对热的伸缩抗性优异，从而能够在上述光波导路的制造过程中，将各种尺寸大致维持为设计值。另外，将基座10的厚度设定在例如20μm(膜状)～5mm(板状)的范围内。

接着，如图2的(a)所示，将下敷层1形成在上述基座10的表面上。作为该下敷层1的形成材料可列举热固性树脂或者感光性树脂。使用上述热固性树脂时，将在溶剂中溶解有该热固性树脂的清漆涂覆在基座10的表面上，之后加热该清漆，由此形成为下敷层1。另一方面，使用上述感光性树脂时，将在溶剂中溶解有该感光性树脂的清漆涂覆在基座10的表面上，之后用紫外线等照射线曝光该清漆，由此形成为下敷层1。将下敷层1的厚度设定在例如5～50μm的范围内。

接着，如图2的(b)所示，利用光刻法将规定图案的芯2形成在上述下敷层1的表面上。作为该芯2的形成材料，优选使用图案化性优异的感光性树脂。作为该感光性树脂可列举例如丙烯酸类紫外线硬化树脂、环氧类紫外线硬化树脂、硅氧烷类紫外线硬化树脂、降冰片烷类紫外线硬化树脂、聚酰亚胺类紫外线硬化树脂等，可以单独地或者两种以上一起地使用上述的树脂。另外，芯2的截面形状例如是图案化性优异的梯形或者长方形。将芯2的宽度设定在例如10～500μm的范围内。将芯2的厚度(高度)设定在例如25～100μm的范围内。

另外，作为上述芯2的形成材料，使用折射率比上述下敷层1以及下述上敷层3(参照图3)的形成材料折射率高、且在传播的光的波长的条件下透光性高的材料。上述折射率通过使向上述下敷层1、芯2、上敷层3的各形成材料、即树脂中导入的有机基的种类以及含有量中的至少一个发生变化来进行调整，能够使该折射率适当增加或者适当减少。例如，通过将环型芳香族性的基(苯基等)导入到树脂分子中、或者使该芳香族性基团在树脂分子中的含有量增加，能够使折射率变大。另一方面，通过将直链或者环型脂肪族性的基(甲基、降冰片烷基等)导入到树脂分子中、或者使该脂肪族性基在树脂分子中的含有量增加，能够使折射率变小。

然后，如图2的(c)所示，使在上述的工序中制作的上述上敷层形成用的成形模20的凹部21以及槽部22朝上地将该成形模20设置在成形台(未图示)上，向该凹部21中填充上敷层3(参照图2的(d))的形成材料即、液状的感光性树脂3A。

接着，如图2的(d)所示，在将图案形成在上述下敷层1的表面上的芯2浸入上述上敷层3的形成材料、即感光性树脂3A内的状态下，将该芯2相对于成形模20的凹部21进行定位，将上述下敷层1按压于上述成形模20。此时的按压载荷被设定在例如49～980N的范围内。另外，此时，过剩的感光性树脂3A从上述凹部21溢出，流入上述槽部22内并积存。在此，由于上述成形模20的凹部21的形成部分是树脂制的，因此具有耐压性。因此，能够如上述那样将下敷层1按压于成形模20而使其与该成形模20紧密贴合，在该紧密贴合部分不存在上述感光性树脂3A。

接着，通过将紫外线等照射线透过上述成形模20向上述感光性树脂3A进行照射而曝光该感光性树脂3A。通过该曝光，上述凹部21内的感光性树脂3A硬化，从而以上敷层3与上述下敷层1以及芯2相接合的状态形成一端部分被形成为透镜部3a的上敷层3。该上敷层3的厚度(自下敷层1的表面起的厚度)被设定在例如25～1500μm的范围内。另外，因为上述槽部22内的感光性树脂3A通常不会填满上述槽部22，所以虽然通过上述曝光而硬化，但不会与下敷层1相接合。

然后，将上述上敷层3与上述基座10、下敷层1、芯2一起从上述成形模20脱模，如图3(与图2的(d)上下相反地图示)所示，获得形成在基座10的表面上的由下敷层1、芯2、上敷层3构成的光波导路。在该实施方式中，形成有两个光波导路，在使用光波导路时，一个一个地切割两个光波导路。另外，在上述脱模时，将上述槽部22内的感光性树脂3A的硬化体从上述槽部22除去。

另外，在上述上敷层3的脱模之前或者脱模之后，根据需要进行加热处理。另外，根据需要将上述基座10从下敷层1剥离。

上述光波导路例如能够通过形成为L字板状来用作手指等在触摸面板上的接触位置的检测部件(位置传感器)。即、在上述L字板状的光波导路中，将多个芯2形成为从上述L字板状的角部向内侧端缘部以等间隔地排列状态延伸的图案。制作两个这样的L字板状的光波导路。然后，将发光元件光耦合在一个光波导路的角部的外侧，将受光元件光耦合在另一个光波导路的角部的外侧。然后，将上述光波导路沿着触摸面板的四边形的显示器的窗口周缘部进行设置时，能够用作手指等在触摸面板上的接触位置的检测部件。

另外，在上述实施方式中，将上敷层3的一端部分形成为透镜部3a，但也可以与另一端部分同样地形成为平面状。

另外，在上述实施方式中，使形成在成形模20上的槽部22的横截面的形状成为V字状，但也可以是其他的形状，例如，可列举U字状、四边形状(长方形、梯形等)等。

另外，在上述实施方式中，将透光性树脂20A作为形成材料来制作成形模20，但也可以向该形成材料中增加透光性支承板。即、也可以在成形模20的制作工序中，向成形模形成用的容器30内填充液状的透光性树脂20A之后，使透光性支承板与该透光性树脂20A的表面相接触。该透光性支承板的接触既可以在刚向上述容器30内填充上述透光性树脂20A之后进行、也可以在经过一段时间而上述透光性树脂20A稍微硬化之后进行。对于与上述透光性支承板的接触来说优选该透光性树脂20A的硬化程度是适当的大约两日后的硬化程度。这样制作成形模20时，成形模20变成被透光性支承板加强的状态，能够使该成形模成为在使模具构件40脱离时的仿型性优异、并且将壁厚的厚度形成得较薄而透光性(透过成形模20的曝光性)优异的成形模。

下面，与比较例一起对实施例进行说明。但是，本发明并不限定于实施例。

实施例

(下敷层的形成材料)

通过将100重量份的具有脂环骨架的环氧树脂(ADEKACORPORATION制、EP4080E)、2重量份的光产酸剂(photoacid generator)(San-Apro.Ltd，.制、CPI-200K)、5重量份的紫外线吸收剂(チバジャパン社制、TINUVIN479)混合，调制下敷层的形成材料。

(芯的形成材料)

通过将40重量份的含有芴骨架的环氧树脂(Osaka GasChemicals.co.ltd，.制、OGSOL EG)、30重量份的含有芴骨架的环氧树脂(Nagase ChemteX Corporation制、EX-1040)、30重量份的1，3，3-三{4-(2-(3-氧杂环丁烷基))丁氧基苯基}丁烷、1重量份的光产酸剂(San-Apro.Ltd，.制、CPI-200K)溶解在乳酸乙酯中，调制芯的形成材料。

(上敷层的形成材料)

通过将100重量份的具有脂环骨架的环氧树脂(ADEKACORPORATION制、EP4080E)、2重量份的光产酸剂(San-Apro.Ltd，.制、CPI-200K)混合，调制上敷层的形成材料。

(上敷层形成用的成形模的制作)

首先，使刀具旋转从而切削铝板，由此，以突出于底座构件的上表面的状态将具有形状与上敷层的形状相同的突起部分和形成在该突起部分的周围的突条部分的模具构件制作在底座构件的上表面上。

接着，在以上述模具构件为上侧、底座构件为下侧的状态下，将上述结构体设置在成形模形成用的容器的底面上。另外，在设置上述结构体之前，在上述容器的内表面、上述模具构件以及底座构件的表面上涂覆脱模剂。

接着，向上述容器内填充透光性树脂(Shin-EtsuChemical Co，.Ltd制、PolydimethylsiloxaneSIM-260)，使从上述模具构件的上端面到上述透光性树脂的液面的深度为1mm。然后，在常温(25℃)下放置五天之后，进行150℃×30分钟的加热处理，由此，使上述透光性树脂硬化。

然后，将上述硬化了的透光性树脂与上述模具构件、底座构件一起从上述容器中取出之后，使由上述模具构件以及底座构件构成的结构体从硬化了的透光性树脂脱离，并且，切除不需要的部分。这样一来，获得了由透光性树脂构成的具有上敷层形成用的凹部和形成在该凹部的周围的槽部的成形模。在该成形模中，上敷层形成用的凹部的一端部分形成为侧截面形状为大致1/4圆弧状的透镜曲面(曲率半径为1.4mm)。另外，上述槽部的横截面形成为V字状(开口宽度2mm、深度1mm)。另外，上敷层形成用的凹部的底面与成形模的下表面之间的部分的厚度为1mm。

(光波导路的制造)

首先，利用涂敷器在不锈钢制基座(厚度为50μm)的表面上涂覆上述下敷层的形成材料。接着，进行1500J/cm²的紫外线照射的曝光，之后进行80℃×5分钟的加热处理，由此，形成厚20μm的下敷层(在波长830nm的折射率＝1.510)。

接着，利用涂敷器在上述下敷层的表面上涂覆上述芯的形成材料，之后进行100℃×5分钟的加热处理，从而形成感光性树脂层。随后，隔着形成有与芯的图案相同形状的开口图案的光刻掩模(间隙100μm)进行2500J/cm²的紫外线照射的曝光，之后进行100℃×10分钟的加热处理。然后，通过使用γ-丁内酯水溶液进行显影而溶解除去未曝光部分，之后通过进行120℃×5分钟的加热处理而图案形成宽20μm、高50μm的截面为长方形的芯(在波长830nm的折射率＝1.592)。

然后，使上述上敷层形成用的成形模的凹部以及槽部朝上地将该成形模设置在成形台上，向该凹部21中填充上述上敷层的形成材料。

接着，在将图案形成在上述下敷层的表面上的芯浸入上述上敷层的形成材料内的状态下，将上述芯相对于成形模的凹部进行定位，将上述下敷层按压于上述成形模(按压载荷196N)。

接着，透过上述成形模进行5000mJ/cm²的紫外线照射的曝光，由此，形成了上敷层(在波长830nm的折射率＝1.510)，该上敷层的上表面到芯的顶面的厚度为950μm，一端部分被形成为透镜部(侧截面形状为大致1/4圆弧状的凸透镜部(曲率半径1.4mm))。

然后，将上述上敷层、上述不锈钢制基座、下敷层、芯一起从上述成形模脱模，从而获得了形成在不锈钢制基座的表面上的由下敷层、芯、上敷层构成的光波导路。在该光波导路的上敷层上未形成毛刺。

比较例

在上述实施例中，作为上敷层形成用的成形模使用了未在凹部的周围形成槽部的成形模。该成形模的制作如下所述：在上述实施例的成形模的制作中，使用了在形状与上敷层的形状相同的突起部分的周围未形成突条部分的模具构件来作为模具构件。除了使用该模具构件之外，与上述实施例同样，制作了成形模。然后，使用上述成形模，与上述实施例同样，获得了光波导路。另外，因为在该光波导路的上敷层上形成有毛刺，所以切除了该毛刺。

(受光强度的测量)

分别制作上述实施例以及比较例的光波导路各两个，将发光元件(オプトゥェル社制、VCS EL)光耦合到一个光波导路的另一端部(未形成有透镜部的端部)，将受光元件(TAOS社制、CMOS线性传感器阵列)光耦合到另一个光波导路的另一端部。然后，将上述两个光波导路以夹着坐标输入区域(对角尺寸76.2mm)并透镜部相对的方式配置。在该状态下，从上述发光元件射出5.0mW的光，对上述受光元件处的受光强度进行了测量。

结果，受光强度在使用实施例的光波导路时，最大值为3V、最小值为2V，其差为1V。另一方面，在使用比较例的光波导路时，最大值为3.5V、最小值为1.5V，其差为2V。

由上述的结果可知实施例的光波导路的受光强度的最大值和最小值之间的差比比较例的光波导路的最大值和最小值之间的差小，因此在光传播特性的均匀性上优异。

产业上的可利用性

本发明的光波导路的制造方法能够利用在光通信、光信息处理、手指等在触摸面板上的接触位置的检测部件(位置传感器)等所采用的光波导路的制造。

Claims (3)

1.一种光波导路的制造方法，其具有如下所述的工序：在将芯图案形成于下敷层的表面之后，使用形成有凹部的成形模而以覆盖上述芯的状态形成上敷层，该凹部具有与上敷层的形状相对应的模面，该光波导路的制造方法的特征在于，

使用下述(A)的成形模来作为上述成形模，上敷层的形成是这样进行的：向上述成形模的凹部内填充上敷层形成用的感光性树脂，在将上述芯浸入该感光性树脂内并且将从上述凹部内溢出的感光性树脂积存在上述成形模的槽部内的状态下，透过上述成形模使上述凹部内的感光性树脂曝光并使上述感光性树脂硬化而形成为上敷层；

(A)是如下的由透光性树脂制成的成形模，即，将具有形状与上敷层的形状相同的突起部分和形成在该突起部分的周围的突条部分的模具构件设置在成形模形成用的容器内，向该容器内填充透光性树脂并使透光性树脂硬化之后，从上述容器中将硬化后的透光性树脂与模具构件一起取出，以使上述模具构件脱离所得到的上述突起部分的脱离痕迹作为上敷层形成用的凹部、并将上述突条部分的脱离痕迹作为对从上述凹部溢出的上敷层形成用的感光性树脂进行积存的槽部。

2.根据权利要求1所述的光波导路的制造方法，其中，

上述成形模的凹部的与覆盖上述芯的顶端部的上敷层部分相对应的模面部分被形成为透镜曲面。

3.根据权利要求1或者2所述的光波导路的制造方法，其中，

上述成形模的形成材料、即透光性树脂含有硅树脂。

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