CN102312203A - 可使工件摇摆的真空镀膜系统及摇摆载具 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种可使工件摇摆的真空镀膜系统及摇摆载具，真空镀膜系统内预设一非直线导引轨道，配合所述载具，使承载于载具上的工件在镀膜同时以一预设角度摆动，载具包括：一第一支架及一第二支架；一摇摆转轴，连接于第一支架及第二支架之间，摇摆转轴用以放置工件，并可转动；及一传动组件，可选择性的设置于第一支架及第二支架或二者其中之一，其中，传动组件在不增加额外动力源情况下，将运输载具的动力源配合非直线导引轨道将动力传动至摇摆转轴，使摇摆转轴以一正负预设角度转动，进而带动工件以摇摆转轴为轴心左右转动，从而大幅提升了镀膜的均匀性。

Description

可使工件摇摆的真空镀膜系统及摇摆载具

技术领域

本发明是关于一种载具，特别是指对表面为非平面结构的工件进行溅镀时，可使工件摇摆的真空镀膜系统及摇摆载具。

背景技术

市面上的电子产品，比如：手机、笔记本计算机、随身听等。消费者在选择是否购买时，除了注重功能之外，电子产品的外型及质感也是很重要的考虑因素，比如：注重外型设计是否新颖、美观，重量是否轻而方便携带，或者注重手持时触感是否良好等等。

由于工程塑料的组件形状通常可一体成形，不像金属需额外的金属加工程序，且具有质轻、可选择透明或不透明、耐水、不腐蚀、不通电、不导热等特色，已广泛应用在日常生活中。因此，电子产品的外壳通常使用塑料外壳，使电子产品具有轻薄短小的优点。然而，塑料材质制成的外壳，于视觉或触碰时质感较差，同时也无法防止电磁干扰。因此，必须对电子产品的塑料外壳镀上金属层，以提升电子产品外壳的美观及质感，并可防止电磁波轻易穿透塑料外壳，影响电子产品的使用。

相较于现有的蒸镀方式，溅镀技术所镀膜层的速度快且均匀性较佳，膜厚也较易控制。因此，要将金属层镀于塑料工件表面，现今大多采用溅镀方式。公知的载具仅负责传送工件进行溅镀，欲溅镀具有非平面表面的工件时，阴影效应会造成工件表面的凹陷部、垂直面或沟槽处无法被均匀溅镀。一般情况下，水平面膜厚通常比垂直面膜厚大两倍以上。工件表面的膜层厚度均匀性不佳，也会影响其防止电磁波穿透的功效。特别是当工件表面具有圆柱状结构时，要使柱状结构的侧表面都能够均匀地被溅镀，其困难度更高。因此，当工件表面为非平面时，如何提升表面溅镀膜厚的均匀性，是一待解决的问题。

因此，若溅镀时使工件能相对于靶材转动，使工件垂直面受到溅镀的机会增加，则可提升镀膜的均匀性。然而，在真空腔体中，利用马达来提供动力，控制工件转动角度，使工件表面的法线方向和溅镀方向形成一夹角，会具有一些难度。比如：在溅镀的过程中，金属原子亦可能会溅镀到马达上，当长时间使用后，马达上也会被溅镀上一层厚厚的金属，这有可能将马达卡住，导致马达无法精确控制工件转动的角度，以致达不到预期的溅镀效果。此外，使用马达作为动力来源时，需外接一电源装置，但在真空溅镀腔体内新增这些设备可能会造成成本的提高，或者产生其它问题。

因此，如何能在真空腔体内不新增额外装置的情况下，设计一镀膜设备传输载具，使工件在溅镀过程中能相对于靶材左右转动，来提升工件表面镀膜的均匀性，为现今溅镀技术中所欲发展的课题。

发明内容

本发明解决的技术问题是提供一种可使工件摇摆的真空镀膜系统及载具，大幅提升镀膜的均匀性。

本发明的技术解决方案是：

一种摇摆载具，其中，该摇摆载具用以配合一导引轨道及一输送装置，在仅使用输送动力源的情况下，使承载于该摇摆载具上的工件摆动，该摇摆载具包括：

一第一支架及一第二支架；

一摇摆转轴，连接于该第一支架及第二支架之间，该摇摆转轴用以装载所述工件；及

一传动组件，可选择性的设置于第一支架及第二支架或二者其中之一，并连接该摇摆转轴，在不新增额外动力源情况下，将运输载具的动力源配合该导引轨道将动力传动至该摇摆转轴，使该摇摆转轴在顺时针方向及逆时针方向转动，进而带动所述工件以一正负预设角度摆动。

一种可使工件摇摆的真空镀膜系统，其中，该镀膜系统包括：

一真空腔体，该真空腔体内具有一镀膜设备及一导引轨道，其中，该镀膜设备用以对工件进行镀膜；及

一摇摆载具，该摇摆载具配合该导引轨道来使工件摆动，该摇摆载具包括：

一第一支架及一第二支架；

一摇摆转轴，连接于该第一支架及第二支架之间，该摇摆转轴用以装载所述工件；及

一传动组件，可选择性的设置于第一支架及第二支架或二者其中之一，并连接于该摇摆转轴，在不增加额外动力源情况下，将运输载具的动力源配合该导引轨道将动力传动至该摇摆转轴，使该摇摆转轴转动，而带动所述工件在进行镀膜时以一正负预设角度摆动。

本发明提供了一种真空镀膜系统的摇摆载具，真空镀膜系统内预设一导引轨道，使载具在真空镀膜系统内时，承载于载具上的工件在镀膜同时可相对于靶材转动，载具包括：一第一支架及一第二支架；一摇摆转轴，连接于第一支架及一第二支架之间，用以放置工件，并可转动；及一传动组件，可选择性的设置于第一支架及第二支架或二者其中之一，在不增加额外新动力源情况下，将运输载具的动力源配合导引轨道将动力传动至摇摆转轴，使摇摆转轴以一正负预设角度转动，进而带动工件摆动。

本发明提供的真空镀膜系统可配合上述摇摆载具，使该摇摆载具上的工件镀膜时可左右摆动一角度，镀膜系统包括：一真空腔体，真空腔体内具有一镀膜设备及一导引轨道，其中，导引轨道系用以配合载具来使工件摆动。

由以上说明得知，本发明确实具有如下的优点：

本发明不需额外增设马达及新增动力源于载具上或真空腔体内，可节省成本支出。同时，又可使具有非平面结构的工件在其侧壁及垂直面的被镀机率增加。

附图说明

图1A为本发明的真空镀膜系统直立式摇摆载具的剖面侧视图；

图1B为本发明的真空镀膜系统的摇摆载具一实施例的俯视图；

图1C为本发明的真空镀膜系统的摇摆载具另一实施例的俯视图；

图1D为本发明的另一实施例摇摆载具的传动组件局部示意图；

图2A为本发明的实施例的传动组件设置方式的示意图；

图2B、2C及2D为本发明的真空镀膜系统的摇摆载具不同实施例的立体图；

图3A为本发明的真空镀膜系统平卧式摇摆载具的俯视图；

图3B为本发明的真空镀膜系统平卧式摇摆载具的右侧视图；

图3C为本发明的真空镀膜系统平卧式摇摆载具的前视图。

主要元件标号说明：

本发明：

1：真空镀膜系统    10：真空腔体            102：镀膜设备

104：导引轨道      104a：直线段            104b：主要曲线段

105：固定架        11：输送装置            12：摇摆载具

12a：第一支架      12b：第二支架           120：轴承底座

122：摇摆转轴      121：夹具               124：传动组件

1240：第一从动轮   1240’：第一从动轮组    1240’a：大从动轮

1240’b：小从动轮  1244’：驱动轮组        1244’a：大驱动轮

1244’b：小驱动轮  1247：第一传动机构      1248：单连杆

1241：第二从动轮   1242：连动组件          1242a：第一连杆

1242b：第二连杆    1243：第二传动机构      1244：轨迹轮

1244a：橡胶轮圈    1245：调节器            1246：弹簧

1246a：左半部弹簧  1246b：右半部弹簧       125：V型导轨

具体实施方式

为使本发明的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文依本发明的真空镀膜系统的摇摆载具，特举较佳实施例，并配合所附相关附图，作详细说明如下。

一般欲镀的工件具有非平面的表面，包括许多凹陷部、沟槽、斜面、阶梯或柱状结构等等。因此，为了使工件表面的镀膜均匀性能提升。本发明提供一种可使工件以一预设正负角度摆动的镀膜系统及载具，更特别的是它在真空腔体内不需增加额外动力源。请参照图1A至图1D，图1A为本发明所提供的真空镀膜系统及载具的剖面图，图1B至图1D为俯视图。

所述的真空镀膜系统1包括一真空腔体10、输送装置11及一摇摆载具12。请参照图1A，为了便于运输摇摆载具12进入真空腔体10进行镀膜制程，所述的真空镀膜系统1包括一输送装置11。输送装置11可为一输送带或为一输送轨道，提供摇摆载具12于输送轨道上运行，同时将工件传输进入真空腔体10。

所述的摇摆载具12，包括一第一支架12a及一第二支架12b，至少一摇摆转轴122及一传动组件124。传动组件124可选择性的设置于第一支架12a及第二支架12b或二者其中之一，在本实施例中，传动组件124设置于第一支架12a。摇摆转轴122则连接于第一支架12a及第二支架12b之间，每个摇摆转轴122设有至少一夹具121，使工件可放置于夹具121上。

请参阅图1B至1D，为本发明中传动组件124的不同的实施例。所述的真空腔体10内具有一镀膜设备102及一导引轨道104。镀膜设备102用以对工件进行镀膜，导引轨道104则以固定架105固定于真空腔体10之中。

首先，请参照图1B及1C，在第一种传动方式中，导引轨道104可依据情况设计成一非直线导引轨道中，比如一曲线型折板，如图1B；或者是一S型导引轨道，如图1C，主要是为了利用导引轨道104的曲度及转折面来带动传动组件124。曲线型折板或S型导引轨道预设曲率，则依照工件所预设的摆动角度决定，在一实施例中，工件摆动角度可设定在±5至±80度，在另一更佳实施例中，摆动角度设定在±10至±45度之间，可以得到较好的镀膜质量。

传动组件124包括一第一从动轮1240、一连动组件1242及一轨迹轮1244。第一从动轮1240及轨迹轮1244以连动组件1242相互连接。并且，第一从动轮1240的轴心和摇摆转轴122的轴心相同。

在图1B及1C这两个实施例中，当输送装置11将摇摆载具12传输至真空腔体10准备进行溅镀时，轨迹轮1244嵌入导引轨道104。溅镀时，输送装置11会控制摇摆载具12往复移动，此时，轨迹轮1244沿导引轨道104来回移动，由于导引轨道104的曲度，迫使轨迹轮1244拉动连动组件1242，随着移动轨迹带动第一从动轮1240，使摇摆转轴122转动。

值得注意的是，为了便于使轨迹轮1244贴合导引轨道104移动，因此，由附图上看，轨迹轮1244设置时，可突出于传动组件124所设置的第一支架12a。当然，若传动组件124设置于第二支架12b，则轨迹轮1244必须突出于第二支架12b。

连动组件1242为二连杆，包括第一连杆1242a及第二连杆1242b，如图1B所示。第一连杆1242a一端固定于第一从动轮1240，另一端则固定于第二连杆1242b。第二连杆1242b的另一端则连接于轨迹轮1244。而在本发明的另一实施例中，如图1C，连动组件1242则使用一连杆来连接第一从动轮1240及轨迹轮1244，此方式相较于前一实施例而言，可使设计简单化，且更易带动第一从动轮1240转动。

另一种传动方式，请参照图1D，为了清楚显示本实施例的作动方式，图1D中，仅局部显示摇摆载具12的传动组件124及导引轨道104。其中，导引轨道104表面可选择性的设计成凹痕或沟纹的轨道，且具有一预定长度，是依据所预设工件摆动的正负角度决定，由图中可看出，在本发明实施例中，导引轨道104为一曲线轨道，在一实施例中，可以是和载具大约平行的直线段104a加一主要曲线段104b，或是只有主要曲线段104b。此实施方式主要是利用导引轨道104与传动组件124之间的摩擦力，使摇摆转轴上的工件摆动。

本实施例的传动组件124包括一第一从动轮组1240’、一驱动轮组1244’、一第一传动机构1247、一弹簧1246及一单连杆1248。其中，第一从动轮组1240’包括一大从动轮1240’a及一小从动轮1240’b，大从动轮1240’a及小从动轮1240’b的轴心与摇摆转轴122轴心相同。

驱动轮组1244’包括一大驱动轮1244’a及一小驱动轮1244’b，在本发明实施例中，大驱动轮1244’a与小驱动轮1244’b的轴心是枢接于第一支架12a。且大驱动轮1244’a的轮圈表面具有凹痕及沟纹，以便于在摇摆载具12经过导引轨道104表面时，和导引轨道104相互摩擦以产生转动。并且，当驱动轮组1244’移动到导引轨道104的主要曲线段104b时，大驱动轮1244’a和导引轨道104之间会具有最大的压迫力及摩擦力。

第一传动机构1247可以是一皮带或链条，套设于小驱动轮1244’b及小从动轮1240’b之间。当大驱动轮1244’a与导引轨道104摩擦产生转动时，使第一传动机构1247带动小从动轮1240’b转动。

本发明实施例使工件产生摇摆的作动方式是，输送装置11将载具12传送至导引轨道104，在大驱动轮1244’a沿着导引轨道104的主要曲线段104b移动时，由于主要曲线段104b和大驱动轮1244’a之间的摩擦力，使驱动轮组1244’往逆时针(或顺时针)方向转动，也带动第一从动轮组1240’往逆时针(或顺时针)方向转动。

值得注意的是，若在进行镀膜的过程当中时，摇摆载具12来回移动的距离过长，会造成被装载在载具12两侧的工件121有可能因此而脱离被镀范围，反而牺牲了这些工件的镀膜质量。因此，导引轨道104的预设长度以不超过100mm为宜。

为了保证摇摆载具12在这样短的移动距离下，就能使工件产生一定的摆动角度，在本发明实施例中，以能够产生10至45度的摆动角度为佳。因此，本发明实施例中还使用了弹簧1246。利用此弹簧1246本身的固定频率，以共振方式带动第一从动轮组1240’，使工件产生摆动。

如图1D，弹簧1246的两端固定于第一支架12a，并利用单连杆1248连结弹簧1246与第一从动轮组1240’，单连杆1248一端固定于弹簧1246中间，另一端可以选择性的固定于大从动轮1240’a或小从动轮1240’b的轮面。

假若以单连杆1248为中心，由图面上看，弹簧1246可视为左半部弹簧1246a及右半部弹簧1246b，但在另一实施例中，左右半部弹簧也可以是两分开的第一弹簧1246a及第二弹簧1246b。当第一从动轮组1240’的小从动轮1240’b以顺时针方向转动时，右半部弹簧1246b会因此而被拉长，左半部弹簧1246a会压缩。藉由弹簧1246本身简谐震动，带动单连杆1248移动产生偏移，进而带动第一从动轮组1240’往反方向(逆时针方向)做转动，如此往复循环，可连带使摇摆转轴122上的工件以预设的正负角度转动。

若是让输送装置11以弹簧的共振频率来回移动摇摆载具12。此时，驱动轮组1244’同样会与导引轨道104摩擦来带动第一从动轮组1240’，但第一从动轮组1240’左右转动的频率会和弹簧1246的共振频率产生响应，而有更大的转动角度，确保载具12上的工件在摇摆的同时，都能在被镀范围之内。这时导引轨道104主要曲线段104b的长度，在本发明实施例中，不超过10mm，会有最佳的共振效果。

当然还有其它方式可以用来带动摇摆转轴122旋转，比如：将导引轨道104改成一齿条，将大驱动轮1244’a及大从动轮1240’a改成齿轮并让两齿轮互相啮合。当输送装置11控制摇摆载具12在导引轨道104往复移动时，大驱动轮1244’a与齿条啮合而转动时，也会带动大从动轮1240’a转动，此时就不需要使用弹簧，也不需使用第一传动机构。除此之外，尚有其它依据本发明实施例所能轻易想见的变化，在此并不一一列举。

若是摇摆载具12需要承载更多任务件进行镀膜制程，则载具12需新增多个第二从动轮1241及多个第二传动机构1243。第二从动轮1241与第一从动轮1240之间即是以第二传动机构1243相互连结。这时，当所述的导引轨道104与轨迹轮1244或驱动轮组1244’作用，带动第一从动轮1240顺时针及逆时针转动时，还依序带动第二传动机构1243、第二从动轮1241。

第二传动机构1243可选自皮带、链条及齿轮，以及其组合其中之一。在本发明实施例中，如图1B至图1D所示，第二传动机构1243是使用多条皮带来连结第一从动轮1240及第二从动轮1241。

图2A为本发明实施例中第二传动机构1243的设置方式示意图。由图中可看出，每一相邻的两从动轮是以一条皮带套接，当其中一从动轮左右转动时，皮带立即带动另一从动轮，使之跟着转动，比如在本示意图中，四个从动轮之间是以三条皮带相互套接。本实施例中，其中一条皮带位于第一从动轮1240及其左侧的第二从动轮1241上半部，另一条则位于第一从动轮1240及其右侧第二从动轮1241的下半部。在最佳实施例中，相邻从动轮之间更增设一调节器1245，调节皮带松紧，以确保皮带的紧度。

载具12的第二支架12b还可包括一轴承底座120，正对于第一从动轮1240或第二从动轮1241设置。在一较佳实施例中，如图2B至图2D的立体图中所示，轴承底座120是正对第二从动轮1241设置，摇摆转轴122一端固定于第二从动轮1241，另一端则连接轴承底座120，第一从动轮1240于此实施例中仅是用来带动第二从动轮1241，再由第二从动轮1241带动摇摆转轴122转动。摇摆转轴122经第二从动轮1241带动后，轴承底座120使摇摆转轴122可独立于第二支架12b转动。本发明实施例中，第二支架12b底部更具有二V型导轨125，可卡合于输送装置11的输送轨道上，配合输送装置11运输载具12，如图2B至图2D所示。

另外，虽然本发明实施例中，工件是以直立方式被传送进入腔体进行镀膜，但摇摆载具12不限于直立式，也可使用平卧式载具，表示工件也可选择以平躺方式被装载于摇摆载具12上来进行镀膜。要注意的是，镀膜设备102及导引轨道104在真空腔体10内设置的相对位置也会因应载具而变化，如图3A至3C所示，分别为本发明真空镀膜系统平卧式摇摆载具的俯视示意图、右侧视示意图及前视示意图。

本发明主要是利用移动载具的动力源带动载具上的工件摇摆，因此不需额外增设马达及新增动力源于载具上或真空腔体内，可节省成本支出。同时，又可使具有非平面结构的工件在其侧壁及垂直面的被镀机率增加。虽然对于在工件表面深宽比较深的沟槽仍会由于阴影效应过大而无法被溅镀，但整体而言，已可大幅提升镀膜的均匀性。

本发明虽以较佳实例阐明如上，然其并非用以限定本发明精神与发明实体仅止于上述实施例。凡熟悉此项技术者，当可轻易了解并利用其它组件或方式来产生相同的功效。所以，在不脱离本发明的精神与范畴内所作的修改，均应包含在本发明的专利保护范围内。

Claims (13)

1.一种摇摆载具，其特征在于，该摇摆载具用以配合一导引轨道及一输送装置，在仅使用输送动力源的情况下，使承载于该摇摆载具上的工件摆动，该摇摆载具包括：

一第一支架及一第二支架；

一摇摆转轴，连接于该第一支架及第二支架之间，该摇摆转轴用以装载所述工件；及

一传动组件，可选择性的设置于第一支架及第二支架或二者其中之一，并连接该摇摆转轴，在不新增额外动力源情况下，将运输载具的动力源配合该导引轨道将动力传动至该摇摆转轴，使该摇摆转轴在顺时针方向及逆时针方向转动，进而带动所述工件以一正负预设角度摆动。

2.如权利要求1所述的摇摆载具，其特征在于，该导引轨道是一非直线导引轨道，该传动组件包括一第一从动轮、一连动组件及一轨迹轮，该第一从动轮及该轨迹轮以该连动组件相互连接，该第一从动轮轴心与该摇摆转轴轴心相同，当该轨迹轮沿该非直线导引轨道移动时，藉由该非直线导引轨道的曲度，迫使该连动组件随该轨迹轮的移动轨迹带动该第一从动轮转动，使得该摇摆转轴上的工件摆动。

3.如权利要求1所述的摇摆载具，其特征在于，该导引轨道是一曲线轨道，且该传动组件包括：

一第一从动轮组，该第一从动轮组包括一大从动轮及一小从动轮，该大从动轮及该小从动轮的轴心与该摇摆转轴轴心相同；

一驱动轮组，该驱动轮组包括一大驱动轮和一小驱动轮，该大驱动轮及该小驱动轮的轴心枢接于该传动组件所设置的支架；

一第一传动机构，该第一传动机构套设于该小从动轮及该小驱动轮之间，当该小驱动轮转动时可带动该小从动轮；

一弹簧，该弹簧两端被固定；及

一单连杆，该单连杆一端连接于该大从动轮或小从动轮的轮面，另一端连接于该弹簧中间，其中，当该驱动轮组靠近该导引轨道时，该大驱动轮与该导引轨道摩擦而转动，使该驱动轮组往顺时针或逆时针方向转动，以带动该第一从动轮组，并使该单连杆产生偏移，藉由该弹簧的拉伸弹力，使该第一从动轮组往逆时针或顺时针方向转动。

4.如权利要求3所述的摇摆载具，其特征在于，该弹簧以该单连杆为中心分成一第一弹簧及一第二弹簧，该第一弹簧及该第二弹簧的其中一端均同时固定于该单连杆，当该输送装置以所述弹簧的共振频率来回移动该摇摆载具时，该驱动轮组会与该导引轨道摩擦来带动该第一从动轮组，使第一从动轮组左右转动的频率和所述弹簧的共振频率产生响应，而有更大的转动角度。

5.如权利要求1所述的摇摆载具，其特征在于，该摇摆载具还包括一第二摇摆转轴、一第二从动轮及一第二传动机构，其中，该第二从动轮轴心与该第二摇摆转轴轴心相同，并且该第二从动轮与该传动组件以所述第二传动机构相互连结，以使该第二摇摆转轴同时摇摆。

6.如权利要求1所述的摇摆载具，其特征在于，该摇摆载具为直立式或平卧式，所述摇摆转轴上设有多个夹具，以装载所述工件。

7.一种可使工件摇摆的真空镀膜系统，其特征在于，该镀膜系统包括：

一真空腔体，该真空腔体内具有一镀膜设备及一导引轨道，其中，该镀膜设备用以对工件进行镀膜；及

一摇摆载具，该摇摆载具配合该导引轨道来使工件摆动，该摇摆载具包括：

一第一支架及一第二支架；

一摇摆转轴，连接于该第一支架及第二支架之间，该摇摆转轴用以装载所述工件；及

一传动组件，可选择性的设置于第一支架及第二支架或二者其中之一，并连接于该摇摆转轴，在不增加额外动力源情况下，将运输载具的动力源配合该导引轨道将动力传动至该摇摆转轴，使该摇摆转轴转动，而带动所述工件在进行镀膜时以一正负预设角度摆动。

8.如权利要求7所述的可使工件摇摆的真空镀膜系统，其特征在于，该导引轨道是一非直线导引轨道，该非直线导引轨道为一曲线型折板或一S型导引轨道，依预设曲率而使该工件摆动，其中该工件摆动的预设角度大约±5至±80度。

9.如权利要求8所述的可使工件摇摆的真空镀膜系统，其特征在于，该传动组件包括一第一从动轮、一连动组件及一轨迹轮，该第一从动轮及该轨迹轮以该连动组件相互连接，该第一从动轮连接于该摇摆转轴，由于该非直线导引轨道的曲度，当该轨迹轮沿该非直线导引轨道移动时，迫使该连动组件随该轨迹轮的移动轨迹带动该第一从动轮转动，使该摇摆转轴上的工件摆动。

10.如权利要求7所述的可使工件摇摆的真空镀膜系统，其特征在于，该导引轨道是一曲线轨道，并且，该传动组件包括：

一第一从动轮组，其中，该第一从动轮组包括一大从动轮及一小从动轮，该大从动轮及该小从动轮的轴心与该摇摆转轴轴心相同；

一驱动轮组，该驱动轮组包括一大驱动轮和一小驱动轮，该大驱动轮及该小驱动轮的轴心枢接于该传动组件所设置的支架；

一第一传动机构，该第一传动机构套设于该小从动轮及该小驱动轮之间，当该小驱动轮转动时可带动该小从动轮；

一弹簧，该弹簧两端被固定；及

一单连杆，该单连杆一端连接于该大从动轮或小从动轮的轮面，另一端连接于该弹簧中间，其中，当该驱动轮组靠近该导引轨道时，该大驱动轮与该导引轨道摩擦而转动，使该驱动轮组往顺时针或逆时针方向转动，以带动该第一从动轮组，并使该单连杆产生偏移，藉由该弹簧的拉伸弹力，使该第一从动轮组往逆时针或顺时针方向转动。

11.如权利要求10所述的可使工件摇摆的真空镀膜系统，其特征在于，该导引轨道的表面具有凹痕或沟纹，该曲线轨道长度不超过100mm，且该曲线轨道具有一平行段及一主要曲线段，该主要曲线段的预定长度及预设曲率是依据所预设工件摆动的正负角度决定，该预设工件摆动的角度大约±5至±80度。

12.如权利要求11所述的可使工件摇摆的真空镀膜系统，其特征在于，该弹簧以该单连杆为中心分成一第一弹簧及一第二弹簧，该第一弹簧及该第二弹簧其中一端皆同时固定于该单连杆，当以所述弹簧的共振频率来回移动该摇摆载具时，该驱动轮组与该导引轨道摩擦来带动该第一从动轮组，使第一从动轮组左右转动的频率和所述弹簧的共振频率产生响应而有更大的转动角度，该导引轨道的主要曲线段不超过10mm。

13.如权利要求7所述的可使工件摇摆的真空镀膜系统，其特征在于，该镀膜系统更包括一输送装置，以输送该摇摆载具进入真空腔体，该输送装置为一输送带或一输送轨道，使该摇摆载具在该导引轨道附近移动，并使该传动组件与该导引轨道配合将动力传动至摇摆转轴。

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