CN102301040B - 模具和模具的制造方法、以及使用模具的防反射膜的制造方法 - Google Patents

模具和模具的制造方法、以及使用模具的防反射膜的制造方法 Download PDF

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Abstract

本发明的模具(100A)具有：基材(10b)；导电层(11)，其形成于基材(10b)上；以及阳极氧化膜(12a)，其形成于导电层(11)上，表面具有反转的蛾眼结构，该反转的蛾眼结构具有从表面的法线方向看时的二维大小大于等于10nm小于500nm的多个凹部(12p)，基材(10b)、导电层(11)以及阳极氧化膜(12a)能透射紫外线。

Description

模具和模具的制造方法、以及使用模具的防反射膜的制造方法
技术领域
本发明涉及模具和模具的制造方法、以及使用模具的防反射膜的制造方法。在此所说的“模具”包含各种加工方法(冲压、铸造)所用的模具，有时也称为压模。另外，还可以用于印刷(包括纳米印刷)。 
背景技术
在电视机、手机等所使用的显示装置、照相机透镜等的光学元件中，为了减少表面反射来提高光的透射量，通常使用防反射技术。这是因为，例如，如光射入空气和玻璃的界面的情况那样，在光通过折射率不同的介质的界面的情况下，因为菲涅耳反射等，光的透射量减少，视认性降低。 
近年来，作为防反射技术，在基板表面形成凹凸的周期被控制为小于等于可见光(λ＝380nm～780nm)的波长的微细的凹凸图案的方法受到关注(参照专利文献1至4)。构成实现防反射功能的凹凸图案的凸部的二维大小大于等于10nm小于500nm。 
该方法利用了所谓的蛾眼(Motheye：蛾子的眼睛)结构的原理，使相对于射入基板的光的折射率沿着凹凸的深度方向从入射介质的折射率到基板的折射率为止连续地发生变化，由此抑制希望防止反射的波段的反射。 
蛾眼结构具有除了在宽广的波段内能发挥入射角依赖性较小的防反射作用以外，还能应用于很多的材料、能将凹凸图案直接形成于基板等优点。其结果是：能以低成本提供高性能的防反射膜(或者防反射表面)。 
作为蛾眼结构的制造方法，使用对铝进行阳极氧化而得到的阳极氧化多孔氧化铝层的方法受到关注(专利文献2至4)。 
在此，简单地说明对铝进行阳极氧化而得到的阳极氧化多孔氧 化铝层。以往，利用了阳极氧化的多孔质结构体的制造方法作为能形成有规则地排列的纳米级圆柱状细孔(微细的凹部)的简单方法而受到关注。当将铝基材浸渍到硫酸、草酸或者磷酸等酸性电解液或者碱性电解液中，将其作为阳极施加电压时，能在铝基材的表面同时进行氧化和溶解，形成在其表面具有细孔的氧化膜。该圆柱状细孔相对于氧化膜垂直地进行取向且在一定的条件下(电压、电解液的种类、温度等)示出自我组织的规则性，因此期望应用于各种功能材料。 
在特定条件下制作的多孔氧化铝层，当从垂直于膜面的方向观看时，成为在二维上以最高密度填充大致正六边形的单元的排列。各个单元在其中央具有细孔，细孔的排列具有周期性。单元是局部的皮膜溶解和生长的结果所形成的，在被称为阻挡层的细孔底部，皮膜的溶解和生长同时进行。已知此时单元的尺寸、即相邻的细孔的间隔(中心间的距离)相当于阻挡层的厚度的大致2倍，与阳极氧化时的电压大致成比例。另外，已知细孔的直径依赖于电解液的种类、浓度、温度等，但通常是单元的尺寸(从垂直于膜面的方向看时的单元的最长对角线的长度)的1/3左右。这种多孔氧化铝的细孔在特定条件下形成具有高规则性(具有周期性)的排列，另外，根据条件的不同，形成规则性有某种程度紊乱的排列、或者不规则(不具有周期性)的排列。 
专利文献2公开了如下方法：使用在表面具有阳极氧化多孔氧化铝膜的压模来形成防反射膜(防反射表面)。 
另外，在专利文献3中公开了如下技术：通过反复进行铝的阳极氧化和孔径扩大处理来形成细孔直径连续地变化的锥形形状的凹部。 
本申请人在专利文献4中公开了如下技术：使用微细的凹部具有阶梯状侧面的氧化铝层来形成防反射膜。 
另外，如专利文献1、2以及4所述，除了蛾眼结构(微观结构)以外，还设置比蛾眼结构大的凹凸结构(宏观结构)，由此能对防反射膜(防反射表面)赋予防眩功能。构成发挥防眩功能的凹凸的 凸部的二维大小大于等于1μm小于100μm。为了参考，将专利文献1、2以及4的全部公开内容在本说明书中加以引用。 
通过这样地利用阳极氧化多孔氧化铝膜，能容易地制造用于在表面形成蛾眼结构的模具(下面称为“蛾眼用模具”。)。特别是如专利文献2和4所述，当将铝的阳极氧化膜的表面原样地作为模具来利用时，减少制造成本的效果较大。将能形成蛾眼结构的蛾眼用模具的表面结构称为“反转的蛾眼结构”。 
而且，在非专利文献1中公开了具有光透射性的纳米印刷用模具的制作方法。在铝板的单侧表面形成具有期望结构的阳极氧化多孔氧化铝膜后，从铝板的里面开始对全部残余的铝进行阳极氧化，由此得到光透射性的模具。公开了使用具有光透射性的模具在硅基板上形成的、紫外线固化树脂的规则性的图案。这样，能得到如下优点：当使用具有光透射性的模具时，能隔着模具对紫外线固化树脂照射光。 
现有技术文献 
专利文献
专利文献1：特表2001-517319号公报 
专利文献2：特表2003-531962号公报 
专利文献3：特开2005-156695号公报 
专利文献4：国际公开第2006/059686号 
非专利文献
非专利文献1：第68回応用物理学会学術講演会予稿(第68次应用物理学会学术报告会预备稿)5p-W-3(2007年秋) 
发明内容
发明要解决的问题
但是，对于上述非专利文献1记载的光透射性的模具而言，模具整体由阳极氧化多孔氧化铝膜形成，并且在两面形成有细孔。因此，具有模具容易损坏的问题。为了得到充分的机械强度，当加厚模具时，具有对铝板的整体进行阳极氧化困难的问题。 
另外，在上述非专利文献1记载的方法中，因为在成为模具的铝板的端部连接电极，所以在制作大面积的模具的情况下，具有对铝板的整体进行阳极氧化困难的问题。因为铝具有光透射性，所以得不到目标光透射性的模具。
另外，上述非专利文献1记载的方法包含从两侧对铝板进行阳极氧化的工序，所以不能在形成于基材上的铝膜上应用。 
本发明是为了解决上述问题而完成的，其主要目的在于提供制造能透射紫外线的大面积的蛾眼用模具的方法、以及利用那样的制造方法制造的蛾眼用模具。 
用于解决问题的方案
本发明的模具具有：基材；导电层，其形成于上述基材上；以及阳极氧化膜，其形成于上述导电层上，表面具有反转的蛾眼结构，上述反转的蛾眼结构具有从表面的法线方向看时的二维大小大于等于10nm小于500nm的多个凹部，上述基材、上述导电层以及上述阳极氧化膜能透射紫外线，上述导电层由厚度大于等于1nm小于等于100nm的钛膜形成。 
在某实施方式中，上述导电层由厚度小于等于100nm的钛膜形成。优选钛膜的厚度大于等于1nm。 
在某实施方式中，上述模具进一步具有形成于上述阳极氧化膜上的脱模层。上述脱模层例如是防水性树脂层。 
在某实施方式中，上述阳极氧化膜在上述多个凹部的上述导电层侧具有比上述多个凹部小的微细孔。 
在某实施方式中，上述阳极氧化膜具有：多孔氧化铝层，其表面具有上述反转的蛾眼结构；以及不具有微细孔的氧化铝层(有时称为“阻挡层”。)，其形成于上述多孔氧化铝层的上述导电层侧。 
在某实施方式中，上述不具有微细孔的氧化铝层的厚度大于等于100nm。优选上述不具有微细孔的氧化铝层的厚度小于等于400nm。 
在本发明的模具的制造方法中，上述模具在表面具有反转的蛾眼结构，上述反转的蛾眼结构具有从表面的法线方向看时的二维大小大于等于10nm小于500nm的多个凹部，上述模具的制造方法包含：工序(a)，准备能透射紫外线的基材；工序(b)，在上述基材上形成能透射紫外线的导电层；工序(c)，在上述导电层上沉积铝膜；以及工序(d)，对上述铝膜的整体进行阳极氧化，上述 工序(d)包含：工序(d1)，对上述铝膜进行阳极氧化，由此形成具有多个微细的凹部的多孔氧化铝层；工序(d2)，在上述工序(d1)之后，使上述多孔氧化铝层与蚀刻液接触，由此使上述多孔氧化铝层的上述多个微细的凹部扩大；以及工序(d3)，在上述工序(d2)之后，进一步进行阳极氧化，由此使上述多个微细的凹部生长，上述工序(d)进一步包含：工序(da)，利用上述工序(d1)～(d3)，在上述多孔氧化铝层的表面形成上述反转的蛾眼结构；工序(db1)，在上述工序(da)之后，进一步进行阳极氧化，由此在上述多孔氧化铝层的上述导电层侧形成比上述多个凹部小的微细孔；以及工序(db2)，在上述工序(db1)之后，进行阳极氧化，由此在上述多孔氧化铝层的上述导电层侧形成不具有上述微细孔的氧化铝层。 
在某实施方式中，在上述工序(d)中，在上述工序(d3)之后，进一步进行上述工序(d2)和上述工序(d3)。 
在某实施方式中，上述工序(d)进一步包含：工序(da)，利用上述工序(d1)～(d3)，在上述多孔氧化铝层的表面形成上述反转的蛾眼结构；以及工序(db1)，在上述工序(da)之后，进一步进行阳极氧化，由此在上述多孔氧化铝层的上述导电层侧形成比上述多个凹部小的微细孔。 
在某实施方式中，上述制造方法进一步包含工序(db2)：在上述工序(db1)之后，进行阳极氧化，由此在上述多孔氧化铝层的上述导电层侧形成不具有上述微细孔的氧化铝层。 
在某实施方式中，上述工序(db2)在pH大于4.0小于等于7.0的电解液中进行。 
在某实施方式中，在上述工序(db2)中所使用的上述电解液是选自如下酸或者盐中的至少一种的水溶液：酒石酸、酒石酸铵、酒石酸钠钾、硼酸、硼酸铵、草酸铵、柠檬酸铵、马来酸、丙二酸、邻苯二甲酸以及柠檬酸。 
在某实施方式中，上述工序(db2)在浓度小于等于0.1mol/L的酸性水溶液中进行。上述工序(db2)也能使用氧化铝的溶解力充分低、低浓度的酸性水溶液。例如能使用浓度小于等于0.1mol/L的磷酸水溶液。 
本发明的防反射膜的制造方法包含：准备上述任一项的模具和被加工物的工序；以及在上述模具与上述被加工物的表面之间赋予紫外线固化树脂的状态下，隔着上述模具对上述紫外线固化树脂照射紫外线，由此使上述紫外线固化树脂固化的工序。 
发明效果
根据本发明，可提供一种制造能透射紫外线的大面积的蛾眼用模具的方法。另外，根据本发明，能提供可透射紫外线的新的蛾眼用模具。而且，根据本发明，提供使用上述模具的防反射膜的制造方法。此外，本发明在能制造大面积的蛾眼用模具的方面是有利的，但也能应用于制造小面积的蛾眼用模具是不必说的。 
附图说明
图1(a)和(b)是用于说明现有的阳极氧化工序的问题的示意图。 
图2(a)和(b)是利用现有的阳极氧化方法得到的蛾眼用模具的截面示意图和示出SEM像的图，(a)示出铝膜完全被阳极氧化的部分90A的截面结构，(b)示出残存有铝膜的一部分的部分90B的截面结构。 
图3是示出图2(a)所示的蛾眼用模具的部分90A的透射光谱的图。 
图4(a)～(c)是用于说明本发明的实施方式的蛾眼用模具的制造方法的示意图。 
图5(a)～(c)是表示示出了利用中性溶液中的阳极氧化形成了阻挡层的、蛾眼用模具的截面的SEM像的图。 
图6是示出利用酒石酸铵溶液中的阳极氧化所形成的阻挡层的厚度与施加电压的关系的坐标图。 
图7是示出利用本发明的实施方式的制造方法制作的蛾眼用模具的透射光谱的图。 
图8是用于说明使用蛾眼用模具100A形成防反射膜的工序的示意性截面图。 
图9是用于说明使用蛾眼用模具100B形成防反射膜的工序的示意性截面图。 
图10(a)是示出偏光板的截面结构的示意图，(b)是示出利用本发明的实施方式的防反射膜的制造方法形成了防反射膜的偏光板的截面结构的示意图。 
具体实施方式
下面，参照附图说明本发明的实施方式的蛾眼用模具及其制造方法、以及使用模具的防反射膜的制造方法。 
首先，参照图1(a)和(b)说明利用现有的制造方法对形成于基材上的铝膜进行阳极氧化的情况下的问题。本发明人进行了下面的实验。 
作为能透射紫外线的基材，准备了5cm见方和10cm见方这2种玻璃基板10b。在玻璃基板10b上利用溅射法沉积了厚度为1.0μm的铝膜10a。将其作为试料10。 
阳极氧化工序是将5cm见方和10cm见方的试料10分别如图1(a)和图1(b)所示那样浸渍到容器24内的电解液26中而进行的。如图1(a)所示，5cm见方的试料10以对角线方向处于铅直方向的方式用塑料制的工具竖起。另一方面，如图1(b)所示，10cm见方的试料10以一对边处于铅直方向的方式用塑料制的工具竖起。分别将与铝膜10a接触的电极22a用导线连接到外部DC电源22D的阳极。此外，阳极氧化工序中的阴极采用与各个试料10同等程度大小的实施了镀铂处理的钽板20，将与钽板20接触的电极22c用导线连接到外部DC电源22D的阴极。电解液26采用液温为5℃的草酸为0.6质量％的水溶液，在施加电压为90V下进行25秒钟的阳极氧化。然后，在液温为30℃的磷酸为10质量％的水溶液中浸渍25分钟，由此对阳极氧化得到的多孔氧化铝层进行蚀刻。通过该蚀刻，使多孔氧化铝层的微细的凹部扩大。使上述的阳极氧化工序和蚀刻工序交替地进行五次(阳极氧化为五次，蚀刻为四次)。结果如下所述。 
通过阳极氧化，5cm见方的试料10、10cm见方的试料10均是大部分在目视下呈透明化。5cm见方的试料10在电极22a的对角的顶点附近残留略微不透明的部分，10cm见方的试料10在中央部残留略微 不透明的部分。由此可知：当在至少比5cm见方大的玻璃基板10b上沉积铝膜10a进行阳极氧化来制作光透射性的模具的情况下，难以使模具的整个面均匀地透明化。即，能在电极22a的附近对铝膜10a完全进行阳极氧化，但是阳极氧化后的铝(氧化铝)不具有导电性，所以离开电极22a约大于等于7cm的部分与外部DC电源22D的电连接被断开，不进行阳极氧化，铝膜残存。此外，如果另外制作仅实施了阳极氧化工序的试料，则得到同样的结果。 
图2(a)示出上述5cm见方的试料10中铝膜10a被完全阳极氧化的部分(透明的部分)90A的截面结构，图2(b)示出残存有铝膜10a的一部分的部分(不透明的部分)90B的截面结构。各示出示意性截面图和截面的SEM像。 
从图2(a)可知：在透明的部分90A，铝膜10a被完全阳极氧化，具有多个微细的凹部12p的多孔氧化铝层12a与玻璃基板10b上接触。在此，为了形成防反射性能优良的防反射膜，优选模具具有的微细的凹部12p从表面的法线方向看时的二维大小大于等于10nm小于500nm，彼此相邻的凹部间的距离大于等于30nm小于600nm(上述专利文献1、2以及4)。在此，对于所形成的多孔氧化铝层12a的凹部12p而言，例如开口直径是100nm～200nm，深度是900nm～1μm，凹部12p的相邻间距是150nm～250nm。 
另一方面，观看图2(b)可知：在不透明的部分90B，在多孔氧化铝层12a与玻璃基板10b之间残留有铝膜10a’。这样，可确认在不透明的部分残存有铝膜10a’。 
图3示出图2(a)所示的蛾眼用模具的部分90A的透射光谱。可知：在可见光(λ＝380nm～780nm)的全波长范围中具有大致50％程度的透射率，在紫外线固化树脂的聚合中一般所使用的i线(365nm)的透射率也是50％程度。 
接着，参照图4(a)～(c)说明本发明的实施方式的蛾眼用模具的制造方法。 
在本实施方式中，对于大面积(例如大于等于5cm见方)的蛾眼用模具，为了形成阳极氧化多孔氧化铝层，即，为了对铝膜完全 地进行阳极氧化，如图4(a)所示，在玻璃基板10b上设置导电层11。在此，导电层11使用至少能透射10％用于使紫外线固化树脂固化的紫外线(365nm)的导电层。当然，优选最终得到的模具的透射率大于等于10％，更优选大于等于40％。 
在此，作为导电层11，使用了厚度为20nm的钛膜。钛膜利用溅射法形成。钛膜的厚度只要是大于等于1nm小于等于100nm即可。若钛膜的厚度小于1nm，则有时不能确保导电性均匀，当厚度大于100nm时，有时透射率小于10％。 
此外，作为形成导电层11的材料，优选钛。也能使用作为透明导电膜被公知的ITO膜、IZO膜，但从耐蚀刻性的观点出发不优选这些。另外，钼膜、钨膜与ITO膜、IZO膜相比耐蚀刻性优良，但是，由于蚀刻，有时会在表面上形成坑，所以钛最优选。 
首先，为了制作反转的蛾眼结构(多孔氧化铝层)，使阳极氧化和蚀刻交替地反复进行。具体地，使用液温为5℃的草酸为0.6质量％的水溶液在施加电压为80V下进行25秒钟的阳极氧化。然后，在液温为30℃的磷酸为10质量％的水溶液中浸渍25分钟，由此进行了蚀刻。通过该蚀刻，使在先前的阳极氧化工序中形成的多孔氧化铝层的微细的凹部扩大。使上述的阳极氧化工序和蚀刻工序交替地进行例如各2次，由此形成了图4(a)所示的表面具有反转的蛾眼结构的多孔氧化铝层12a，该反转的蛾眼结构具有微细的凹部12p。但是，若仅这样，有时会残存铝膜10a’。 
在残存有铝膜10a’的状态下，如果接着使用液温为5℃的草酸为0.6质量％的水溶液在施加电压为80V下进行阳极氧化直到模具整体变成透明为止，得到了在图4(b)中示意性示出截面结构的模具100A。即，如图4(b)所示，在表面形成反转的蛾眼结构后，进一步进行阳极氧化，由此在多孔氧化铝层12a的导电层11侧形成比多个凹部12p(二维大小大于等于10nm小于500nm，相邻的凹部间的距离大于等于30nm小于600nm)小的微细孔12s。 
图4(b)所示的模具100A具有玻璃基板10b、形成于玻璃基板10b上的导电层(钛膜)11、以及形成于导电层11上的阳极氧化膜 (多孔氧化铝层)12a，在导电层11与多孔氧化铝层12a之间不残存铝膜。此外，图4(b)所示的多孔氧化铝层12a在导电层11侧具有比用于形成蛾眼结构的凹部12p小的直线状的微细孔12s，所以模具100A的多孔氧化铝层12a的截面结构具有如排列着多支铅笔(顶端被削)的结构。 
此外，当使用模具100A形成防反射膜时，有时微细孔12s的形状被转印。为了防止该情况，优选例如使用防水性树脂(例如氟树脂)形成脱模层14。作为氟树脂，例如能适当使用三井·デユポンフロロケミカル株式会社制的非晶性氟树脂(AF等级：AF1600)。脱模层14能通过例如旋涂氟树脂来形成。通过设置脱模层14，如图8所示，能防止微细孔12s被转印到防反射膜上。 
此外，模具100A的多孔氧化铝层12a具有的微细孔12s能利用下面的方法进行填埋。 
如上所述，在形成了图4(b)所示的模具100A后，在中性(pH大于3.0小于8.0)的电解液中进行阳极氧化，由此能填埋微细孔12s。因此，通过在上述的电解液中进行阳极氧化，结果如图4(c)所示，能在多孔氧化铝层12a的导电层11侧形成不具有微细孔12s的氧化铝层(阻挡层)12b。此外，优选中性的电解液的pH大于4.0小于等于7.0。 
另外，优选电解液是包含选自如下组的酸或者盐中的至少一种的水溶液：该组包括酒石酸、酒石酸铵、酒石酸钠钾、硼酸、硼酸铵、草酸铵、柠檬酸铵、马来酸、丙二酸、邻苯二甲酸以及柠檬酸。 
此外，也能取代上述电解液而使用氧化铝的溶解力充分低的、浓度小于等于0.1mol/L(升)的酸性水溶液。例如也能使用浓度小于等于0.1mol/L的磷酸水溶液。 
图5(a)～(c)示出例如使用酒石酸铵(浓度为0.1mol/L，pH为6.5，液温为23.2℃)作为中性的电解液进行阳极氧化来填埋微细孔12s的情况。图5(a)～(c)是表示示出了利用中性溶液中的阳极氧化形成了阻挡层12b(图4(c))的、蛾眼用模具的截面的SEM像的图。 
如上所述，在交替地进行阳极氧化工序和蚀刻工序各四次而形成了蛾眼结构后，进一步进行阳极氧化(与用于形成蛾眼结构的上述阳极氧化工序相同的条件)直到模具整体变成透明为止，对由此得到的阳极氧化膜(具有图4(b)所示的微细孔12s)使用上述中性电解液在施加电压为100V下进行180秒钟的阳极氧化，由此如图5(a)所示，微细孔的一部分被填埋，形成了厚度为96.5nm的阻挡层。而且，使用上述中性电解液在施加电压为100V下对图5(a)所示的阳极氧化膜进行180秒钟的阳极氧化，由此如图5(b)所示，微细孔进一步被填埋，阻挡层的厚度成为140nm。接着，在施加电压为200V下进行180秒钟的阳极氧化，由此如图5(c)所示，阻挡层的厚度成为253nm。 
通过使用中性电解液的阳极氧化得到的阻挡层的厚度依赖于施加电压，关于上述中性电解液，得到了图6所示的结果。 
为了得到防反射性能优良的防反射膜，优选构成蛾眼结构的多孔氧化铝层12a的凹部12p的深度处在大于等于150nm小于等于500nm的范围内。另一方面，为了在阳极氧化工序中避免高电压(例如大于200V)的施加，优选阻挡层12b的厚度处在大于0nm小于等于400nm的范围内。为了用100V的施加电压以2分钟程度填埋微细孔，优选初期的铝膜10a的厚度是500nm程度。另外，从将阻挡层12b的厚度控制在上述条件内的观点出发，优选初期的铝膜10a的厚度小于等于900μm。 
在图7中示出模具100B的透射光谱。从图7可明确：从365nm附近的紫外线起在整个可见光的全波长范围具有约60％的透射率。关于模具100A也得到了同样的透射光谱。将图7的透射光谱与图3的透射光谱比较可知：模具100B的透射率比蛾眼用模具的部分90A(图2(a))的透射率高。其原因还没有被确认，但是认为在玻璃基板上隔着没有微细孔的氧化铝层(阻挡层)形成了蛾眼结构的构成与在玻璃基板上直接形成蛾眼结构的构成(模具90A)相比，散射变小、和/或界面上的反射减少。
接着，参照图8和图9说明本发明的实施方式的防反射膜的制造方法。 
如图8和图9所示，准备模具100A或者100B。 
在被加工物42的表面与模具100A或者100B之间赋予了紫外线固化树脂32的状态下，隔着模具100A或者100B对紫外线固化树脂32照射紫外线(UV)，由此使紫外线固化树脂32固化。紫外线固化树脂32可以预先赋予到被加工物42的表面，而且可以预先赋予到模具100A或者100B的模具面(具有蛾眼结构的面)。作为紫外线固化树脂32，能使用例如丙烯酸系树脂。 
当使用本发明的实施方式的模具100A或者100B时，例如能容易地在现有的偏光板的表面形成防反射膜。 
图10(a)所示的偏光板50具有由PVA形成的偏光层52a、以及夹着偏光层52a的保护层52b和52c。保护层52c和52b例如由COP(环烯烃聚合物)或者TAC形成。为了保护偏光层52a不被紫外线照射，保护层52c和52b中的至少一方被赋予了吸收紫外线的性质。 
因此，不能从偏光板50侧对偏光板50照射用于形成防反射膜的紫外线。当使用本发明的实施方式的模具100A或者100B时，能隔着模具照射紫外线，所以如图10(b)所示，能将具有蛾眼结构的防反射膜62形成于偏光板50上。 
工业上的可利用性
本发明能广泛使用于防反射膜的形成。防反射膜能使用于以显示装置等的光学元件为首的希望防反射的所有用途。 
附图标记说明
10试料 
10b基材(玻璃基板) 
10a铝膜 
10a’残存铝膜 
11导电层 
12a阳极氧化膜(多孔氧化铝层) 
12b阻挡层 
12p凹部(反转的蛾眼结构) 
12s微细孔 
14脱模层 
100A、100B蛾眼用模具 

Claims (13)

1.一种模具，具有：
基材；
导电层，其形成于上述基材上；以及
阳极氧化膜，其形成于上述导电层上，表面具有反转的蛾眼结构，上述反转的蛾眼结构具有从表面的法线方向看时的二维大小大于等于10nm小于500nm的多个凹部；
上述基材、上述导电层以及上述阳极氧化膜能透射紫外线，上述导电层由厚度大于等于1nm小于等于100nm的钛膜形成。
2.根据权利要求1所述的模具，进一步具有形成于上述阳极氧化膜上的脱模层。
3.根据权利要求2所述的模具，上述脱模层是防水性树脂层。
4.根据权利要求1所述的模具，上述阳极氧化膜在上述多个凹部的上述导电层侧具有比上述多个凹部小的微细孔。
5.根据权利要求1所述的模具，上述阳极氧化膜具有：多孔氧化铝层，其表面具有上述反转的蛾眼结构；以及不具有微细孔的氧化铝层，其形成于上述多孔氧化铝层的上述导电层侧。
6.根据权利要求5所述的模具，上述不具有微细孔的氧化铝层的厚度大于等于100nm。
7.根据权利要求6所述的模具，上述不具有微细孔的氧化铝层的厚度小于等于400nm。
8.一种模具的制造方法，上述模具在表面具有反转的蛾眼结构，上述反转的蛾眼结构具有从表面的法线方向看时的二维大小大于等于10nm小于500nm的多个凹部，上述模具的制造方法包含：
工序(a)，准备能透射紫外线的基材；
工序(b)，在上述基材上形成能透射紫外线的导电层；
工序(c)，在上述导电层上沉积铝膜；以及
工序(d)，对上述铝膜的整体进行阳极氧化，上述工序(d)包含：
工序(d1)，对上述铝膜进行阳极氧化，由此形成具有多个微细的凹部的多孔氧化铝层；
工序(d2)，在上述工序(d1)之后，使上述多孔氧化铝层与蚀刻液接触，由此使上述多孔氧化铝层的上述多个微细的凹部扩大；以及
工序(d3)，在上述工序(d2)之后，进一步进行阳极氧化，由此使上述多个微细的凹部生长，
上述工序(d)进一步包含：
工序(da)，利用上述工序(d1)～(d3)，在上述多孔氧化铝层的表面形成上述反转的蛾眼结构；
工序(db1)，在上述工序(da)之后，进一步进行阳极氧化，由此在上述多孔氧化铝层的上述导电层侧形成比上述多个凹部小的微细孔；以及
工序(db2)，在上述工序(db1)之后，进行阳极氧化，由此在上述多孔氧化铝层的上述导电层侧形成不具有上述微细孔的氧化铝层。
9.根据权利要求8所述的模具的制造方法，在上述工序(d)中，在上述工序(d3)之后，进一步进行上述工序(d2)和上述工序(d3)。
10.根据权利要求9所述的模具的制造方法，上述工序(db2)在pH大于4.0小于等于7.0的电解液中进行。
11.根据权利要求10所述的模具的制造方法，在上述工序(db2)中所使用的上述电解液是选自如下酸或者盐中的至少一种的水溶液：酒石酸、酒石酸铵、酒石酸钠钾、硼酸、硼酸铵、草酸铵、柠檬酸铵、马来酸、丙二酸、邻苯二甲酸以及柠檬酸。
12.根据权利要求8所述的模具的制造方法，上述工序(db2)在浓度小于等于0.1mo1／L的酸性水溶液中进行。
13.一种防反射膜的制造方法，包含：
准备权利要求1～7中的任一项所述的模具和被加工物的工序；以及
在上述模具与上述被加工物的表面之间赋予紫外线固化树脂的状态下，隔着上述模具对上述紫外线固化树脂照射紫外线，由此使上述紫外线固化树脂固化的工序。
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