CN102198440A - 液体涂布装置及液体涂布方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种液体涂布装置及液体涂布方法。液体涂布装置(10)包括对工件(21)的预定位置涂布预定形状的功能性液体的喷墨头(1)。还包括：对涂布于工件(21)的功能性液体进行干燥的加热器(7)；以及在利用喷墨头(1)对工件(21)的同一部位进行涂布动作之后，利用加热器(7)对所涂布的功能性液体进行干燥动作的控制部(2)。控制部(2)包括涂布工序设定部(2b)，该涂布工序设定部(2b)使涂布动作和干燥动作重复进行多次，且设定涂布动作的次数和干燥动作的动作条件，以形成所希望的涂布图案。由此，能够提供将液滴涂布动作及液滴干燥动作作为一连串工序进行管理，能够得到所希望的涂布图案的液体涂布装置及液体涂布方法。

Description

液体涂布装置及液体涂布方法

技术领域

本发明涉及对被涂布对象物的预定位置涂布功能性液体以形成所希望的涂布图案的液体涂布装置及液体涂布方法。

背景技术

作为利用喷墨头对被涂布对象物进行预定涂布的装置的示例，对液晶电视机等显示装置中的滤色片玻璃基板的红色、绿色、蓝色的各像素用相应颜色的墨水进行涂布的装置、和对液晶电视机等显示装置中的薄膜晶体管(TFT：Thin Film Transistor)玻璃基板中的断线部位、绝缘不良部位涂布用于进行修正的修正墨水的装置已实用化。

例如，在专利文献1所示的涂布修正墨水的装置中，如图7所示，阐述了利用与喷墨头101平行安装的加热器102将所涂布的液滴加热干燥的结构。

专利文献1：日本公开专利公报“特开2006-35173号公报(2006年2月9日公开)”

然而，在液体涂布装置中，在对被涂布对象物进行着色及遮光的情况下，在所希望的各种涂布形状下需要实现所希望的色调或所希望的遮光性能(或浓度)。

在该情况下，由于所使用的墨水中功能性材料(该情况下是着色成分)的含有量是确定的，因此，要想实施较浓的着色，就需要增大涂布量。这里，除了利用限制液体扩散的障碍物等物理结构来限制涂布液滴扩散以外，若增加涂布次数以进行增大涂布量的涂布，则涂布形状会扩散得较大，使得着色的浓度没有期待的那样高。

因此，在专利文献1所揭示的技术中，阐述了如下内容：安装将所涂布的液滴加热干燥的机构，并在涂布后实施干燥工序。

通过使用该技术，在执行涂布后进行干燥，如此重复以使液滴干燥，在其上再次进行涂布，从而不会与最初涂布的液滴混合扩散。

然而，在上述现有的专利文献1所揭示的液体涂布装置中，没有阐述多次涂布和加热干燥工序的联合处理。因此，即使使用上述专利文献1的技术，也难以达到多次涂布所能实现的在既小又浓的所希望的涂布形状下达到所希望的色调或遮光性能(或浓度)。

具体而言，在使用涂布的液滴长时间会扩散得较大的墨水或被涂布对象物的情况下，若不将从液滴涂布到实施加热干燥以使液滴干燥为止的处理作为一连串工序进行管理并预先规定时间，则会产生无法得到所希望的涂布形状的涂布尺寸的问题。例如，若在纸上涂布水性墨水，则涂布液滴长时间扩散而会发生“漏润”。

发明内容

本发明是鉴于上述现有的问题而完成的，其目的在于提供一种将液滴涂布动作及液滴干燥动作作为一连串工序进行管理、能够得到所希望的涂布图案的液体涂布装置及液体涂布方法。

为了解决上述问题，本发明的液体涂布装置包括对被涂布对象物的预定位置涂布预定形状的功能性液体的喷墨头，其特征在于，包括：对涂布于所述被涂布对象物的功能性液体进行干燥的加热器；以及在利用所述喷墨头对所述被涂布对象物的同一部位进行涂布动作之后、利用所述加热器对所涂布的功能性液体进行干燥动作的涂布控制单元，并且，所述涂布控制单元包括涂布工序设定单元，该涂布工序设定单元使所述涂布动作和干燥动作重复进行多次，且设定所述涂布动作的次数和干燥动作的动作条件，以形成所希望的涂布图案。

为了解决上述问题，本发明的液体涂布方法利用喷墨头对被涂布对象物的预定位置涂布预定形状的功能性液体，其特征在于，使利用所述喷墨头对所述被涂布对象物的同一部位进行涂布的涂布动作、和利用加热器对所涂布的功能性液体进行干燥的干燥动作重复进行多次，并且，设定所述涂布动作的次数和干燥动作的动作条件，以形成所希望的涂布图案。

另外，所谓功能性液体，是指具有着色功能等功能的液体。此外，所谓所希望的涂布图案，是指包含所需形状、所需膜厚、以及所需遮光率的概念的涂布图案。而且，所谓干燥动作的动作条件，是指加热时间或加热温度等动作条件。

根据上述发明，涂布控制单元在利用喷墨头对所述被涂布对象物的同一部位进行涂布动作之后，利用所述加热器对所涂布的功能性液体进行干燥动作。由此，可形成具有所需形状、所需膜厚、以及所需遮光性能(或浓度)的涂布图案。

而且，在本发明中，涂布工序设定单元使所述涂布动作和干燥动作重复进行多次，且设定所述涂布动作的次数和干燥动作的动作条件，以形成所希望的涂布图案。由此，将涂布动作和干燥动作的多次重复设定为一连串的涂布工序，从而，能无延迟地进行涂布动作后的干燥动作。因而，能实现对被涂布对象物的适当的涂布动作。

其结果是，可提供一种将液滴涂布动作及液滴干燥动作作为一连串工序进行管理、能够得到所希望的涂布图案的液体涂布装置及液体涂布方法。

如上所述，本发明的液体涂布装置包括：对涂布于被涂布对象物的功能性液体进行干燥的加热器；以及在利用所述喷墨头对所述被涂布对象物的同一部位进行涂布动作之后、利用所述加热器对所涂布的功能性液体进行干燥动作的涂布控制单元，并且，所述涂布控制单元包括涂布工序设定单元，该涂布工序设定单元使所述涂布动作和干燥动作重复进行多次，且设定所述涂布动作的次数和干燥动作的动作条件，以形成所希望的涂布图案。

如上所述，本发明的液体涂布方法使利用喷墨头对所述被涂布对象物的同一部位进行涂布的涂布动作、和利用加热器对所涂布的功能性液体进行干燥的干燥动作重复进行多次，并且，设定所述涂布动作的次数和干燥动作的动作条件，以形成所希望的涂布图案。

因此，起到如下效果：提供一种将液滴涂布动作及液滴干燥动作作为一连串工序进行管理、能够得到所希望的涂布图案的液体涂布装置及液体涂布方法。

附图说明

图1是表示本发明的液体涂布装置的一个实施方式的结构图。

图2(a)是表示仅实施一次涂布动作后的涂布形状的俯视图，图2(b)是表示不加入干燥动作并将涂布量变成五倍而进行涂布时的涂布形状的俯视图。

图3是表示本实施方式中对五次涂布动作的每一次涂布动作都加入干燥动作时的涂布结果的俯视图。

图4(a)是表示涂布方法例的图，图4(b)是表示动作选择例的图。

图5(a)是表示涂布准备操作的流程图，图5(b)是表示涂布执行操作的流程图。

图6(a)、图6(b)、图6(c)是表示涂布动作时、干燥动作时、以及移动时喷墨头的高度的主视图。

图7是表示现有的液体涂布装置的结构的立体图。

标号说明

1   喷墨头

2   控制部(涂布控制单元)

2a  涂布执行部

2b  涂布工序设定部(涂布工序设定单元)

2c  涂布图案设定部

3   监视器

4   外部数据输入部

5   Z轴平台

6   观察照相机

7   加热器

8   喷头平台

9   接口部

10  液体涂布装置

11  载放台

12  工件平台

13  基座

14  维护单元

15  支架

21  工件(被涂布对象物)

具体实施方式

下面，基于图1～图6，说明本发明的一个实施方式。

图1是表示液体涂布装置的结构的图。

如图1所示，本实施方式的液体涂布装置10包括：喷墨头1；作为对液体涂布装置10的动作进行控制的涂布控制单元的控制部2；监视器3；以及利用操作按钮、键盘及外部通信等从外部输入并设定数据的外部数据输入部4。上述控制部2包含指示液体涂布动作的涂布执行部2a、作为生成设定了液体涂布的一连串涂布工序的涂布方法的涂布工序设定单元的涂布工序设定部2b、以及对确定涂布形状的图案进行设定的涂布图案设定单元即涂布图案设定部2c。

此外，本实施方式的液体涂布装置10还设有将上述喷墨头1装载于滑块表面从而使该喷墨头1上下移动的Z轴平台5、对作为被涂布对象物的工件21进行观察的观察照相机6、对涂布的液滴进行加热干燥的加热器7、以及与这些装载有喷墨头1的Z轴平台5、观察照相机6及加热器7一体安装且可在附图左右方向定位移动的喷头平台8。另外，虽然喷墨头1在此是一个喷头，但有时也会装载多个喷头以涂布多种液体。

而且，液体涂布装置10在成为液体涂布装置主体底座的基座13上设有载放台11和工件平台12，该载放台11用来载放上述工件21，且装载有将该工件21吸附保持的未图示的吸附机构，该工件平台12可使该载放台11在附图前后方向定位移动。在该基座13上还装载有对喷墨头1进行清洗等的维护单元14、和将喷头平台8加以保持的支架15。

最后，液体涂布装置10包括将上述控制部2和装置主体各部进行信号连接的接口部9。该接口部9包含喷墨头1、喷头平台8及工件平台12的驱动器等。

另外，向喷墨头1提供墨水的供墨部并未图示。此外，在将工件21载放于载放台11之后，使其与喷头平台8成直角且与喷头平台8的移动方向平行地加以保持的方式使其向涂布位置移动来说操作性较高，因此，优选设有工件21的姿势修正机构即工件对准机构，但此处将其省略。

在上述结构的液体涂布装置10中，在载放台11上载放工件21之后，从外部数据输入部4读入对工件21的涂布信息，据此从涂布工序设定部2b选择涂布方法，并利用涂布执行部2a根据涂布方法来执行涂布。另外，所谓涂布信息，是指所使用的涂布方法的编号、进行涂布的位置信息，各详细情况将在后面阐述。对于涂布信息，也可以在将工件21载放于液体涂布装置10之后利用观察照相机6进行照相机观察来确定。

在设定涂布工序的涂布方法中，包含喷墨头1所进行的液体涂布动作、和由加热器7对涂布的液滴进行干燥的干燥动作，在液体涂布动作之后进行干燥动作，如此重复多次，设定为涂布方法。

在涂布图案设定部2c中，设定并存放对涂布位置以哪种形状进行涂布的涂布图案。例如，在对涂布位置进行100μm等的涂布的情况下，预先求出利用喷墨头1涂布多少滴才能形成100μm的涂布直径，并将该值设定为涂布液常数。此外，作为其他示例，若在涂布位置的右侧50μm的位置、涂布位置、涂布位置的左侧50μm的位置上分别涂布形成100μm直径的滴数，则三个部位的液滴重合，能得到长方形的涂布形状。

接下来，基于图2(a)和图2(b)，说明上述液体涂布装置10为实现100μm直径的涂布形状和50％的遮光率时的涂布例。图2(a)是仅实施一次涂布动作后的涂布形状例。作为涂布图案，设定成可得到100μm直径的涂布形状。

如图2(a)所示，在仅实施一次涂布动作而得到100μm直径的涂布形状的情况下，液体的浓度不足，遮光率停留在10％。

在此，为了提高遮光率，只要增加液体中遮光物质的体积量即可，但是，增加体积量意味着液体的粘度和遮光物质在液体中的分散状态发生变化。液体的粘度发生变化可能会导致脱离喷墨头1可涂布的范围，可能变得无法涂布。一般而言，喷墨可进行良好涂布的粘度范围是10～20mPa·s。此外，若遮光物质的分散状态发生变化，则遮光物质会在液体中沉淀，从而导致涂布时的遮光物质浓度发生偏差。

因而，为了得到50％的遮光率，需要将涂布量变成五倍，在图2(b)中示出据此进行涂布的示例。然而，如图2(b)所示，若增加涂布量，则会与之前涂布的液滴混合，其结果仅仅是形成涂布直径变大的形状，遮光率却达不到50％的目标。

与此不同的是，在本实施方式中，重复五次可得到100μm直径、10％的遮光率的涂布动作，且在涂布动作之后进行干燥动作。由此，在本实施方式中，能得到图3所示的涂布形状。图3表示本实施方式中的涂布形状。

即，如图3所示，在本实施方式中，由于对五次涂布动作的每一次涂布动作都加入干燥动作，因此，所涂布的100μm直径的液滴每次都被干燥，不会与接下来涂布的液滴混合而浸润扩散，遮光率也能达到50％。

这样，在本实施方式中，通过在涂布液体之间实施干燥动作，从而能得到所希望的涂布形状及浓度(遮光率)。

在此，在干燥动作中，虽然通过设定加热器7对液滴的加热时间或加热温度来进行干燥，但为了减轻因重复涂布及干燥而导致的涂布时间变长，优选对每一次干燥动作变更加热时间或加热温度。

具体而言，若对第一次涂布的干燥时间为10秒，则第二次的干燥时间为8秒，第三次的干燥时间为6秒。对于第一次的涂布液滴，由于涂布液滴本身是不具有热量的状态，因此，为了使其干燥需要10秒的时间，但在第二次的干燥中，由于是第一次的加热干燥所产生的余热还有残留的状态，因此，能减少干燥时间。第三次能进一步减少干燥时间。干燥时间可通过实验求出，使得在将液滴重叠进行涂布时，干燥时间为第一次的涂布液滴与接下来的涂布液滴不会混合扩散的时间以上，且成为尽可能短的时间以抑制处理时间和不必要的加热。

另外，为了从喷墨头1对工件21涂布液滴而不偏离目标的涂布位置，优选在执行涂布动作之前对喷墨头1进行预喷动作和弯液面(meniscus)摇动动作等维护动作。此外，通过进行干燥动作，喷墨头1的液滴涂布口即喷嘴也受到余热的影响而变成易干燥的状态，因此，优选进行上述预喷动作和弯液面摇动动作。另外，所谓预喷动作，是在对工件21进行涂布的主涂布之前排出墨水涂布口即喷嘴部分的墨水，是为了用新墨水进行主涂布而准备的喷射动作，是使喷墨头1移动到不弄脏工件21的位置进行涂布的动作。此外，所谓弯液面摇动动作，是指用于通过以微小的力来驱动喷嘴、从而搅拌喷嘴部分的墨水以提高喷射稳定性的动作。

通过进行这些预喷动作和弯液面摇动动作等维护动作，从而将因与大气接触且易受到加热影响而干燥易堵塞的喷墨头1的涂布口附近的墨水排出或搅拌，因此，能减小涂布位置偏差。

接下来，基于图4(a)和图4(b)，说明本实施方式的液体涂布装置10中规定涂布工序执行流程的涂布方法的设定。图4(a)和图4(b)是说明规定涂布工序执行流程的涂布方法的设定的图。另外，图4(a)所示的涂布方法具体设定了与涂布相关的一连串操作工序，由于能缩短对工件21执行涂布所需的时间，相对于手动操作能抑制各动作的执行间隔偏差，还能消除操作失误，因此，能稳定且高可靠性地进行涂布操作。

如图4(a)所示，若作为涂布方法例的涂布方法No.0001发出涂布执行指令，则首先由“步骤1”进行100次预喷动作。该预喷动作的目的在于，在对工件21进行涂布之前，通过向维护单元14的预定部位喷射100滴的液体来进行喷射，从而排出喷墨头1内的墨水，以更新喷墨头1内的墨水。

接下来，由“步骤2”进行100次弯液面摇动动作。这里的弯液面摇动动作，是指利用微小电压将喷墨头1驱动100次以搅拌喷墨头1内的墨水的动作，其目的在于更新喷墨头1内特别是喷口附近的墨水。

这样，“步骤1”及“步骤2”使喷墨头1处于涂布位置偏差不会变大而能执行良好涂布的状态。

接下来，由“步骤3”对工件21进行涂布图案的涂布动作。这里的涂布图案是对涂布位置中心涂布10滴。该滴数决定涂布液滴的直径。

接下来，由“步骤4”实施10秒的干燥动作。这是利用加热器7对由“步骤3”涂布的液滴加热10秒以促进液滴干燥的动作。

接下来，从“步骤5”到“步骤12”，重复执行涂布和干燥动作。其中，作为干燥动作的干燥时间，由于余热的效果而比第一次要少，从而缩短处理时间和抑制不必要的加热。此外，在“步骤9”中，执行预喷动作，使喷墨头1的涂布能高精度地进行。

最后，在“步骤13”中，进行照相机观察，确认工件21的涂布状态而结束。

另外，重要的是，在“步骤3”的涂布动作和“步骤4”的干燥工序之间不设定等待时间以外的动作。这是由于，加入其他动作会导致从涂布到干燥为止的时间变得不固定，从而所涂布的液体会发生不同的浸润扩散，难以形成固定的涂布形状。相反，通过加入等待时间而设定时间间隔，产生在等待时间内不进行干燥的时间，因此，利用该期间内发生的浸润扩散，能得到所希望的涂布直径。

这样，通过适当选择涂布的一连串动作流程并登记作为涂布方法来执行，从而使流程顺畅，与手动操作相比，不会浪费时间，能正确地执行涂布。

在涂布方法中可登记各种处理，在本实施方式中，例如图4(b)所示，可选择加盖动作、等待时间等动作。另外，所谓加盖动作，是指通过保湿密封喷墨头1的喷口来使液体的喷射状态保持良好的方法。此外，虽然未图示，也可以进行擦拭清扫喷墨头1之类的动作。

接下来，基于图5(a)和图5(b)，说明本实施方式的液体涂布装置10的到执行涂布为止的流程。图5(a)和图5(b)是表示本实施方式的液体涂布装置10的到执行涂布为止的流程的图。

首先，如图5(a)所示，作为事先操作，生成规定涂布形状的涂布图案以及规定涂布工序的涂布方法。实际上，在对工件21执行涂布时，如图5(b)所示，将工件21载放并吸附保持在载放台11上进行对准(S1)，接下来，读入工件信息(S2)。所谓工件信息，是指所使用的涂布方法的编号以及涂布中心位置。另外，工件信息也可以不从外部读入，而对每一工件21手动输入并登记，涂布中心位置也可以利用液体涂布装置10的观察照相机6进行观察而设定。接下来，进行开始执行涂布前的预喷等准备动作(S3)，执行对工件21的涂布动作(S4)。若在涂布方法中登记有涂布准备动作，则在利用涂布开始按钮等发出开始的指令时自动进行S3及S4的处理。若涂布动作结束，则解除吸附保持，取出工件21，结束处理(S5)。

这样，在本实施方式中，仅设定一处涂布位置，就能以在涂布方法中登记的涂布形状进行涂布。通过适当选择涂布方法，能对工件21进行最合适的涂布形状的涂布。在执行涂布时，无需对每次涂布都设定涂布位置，也无需每次都设定涂布形状。因而，能缩短与执行涂布相关的时间，并且，能抑制因每次设定而导致的设定误差发生频率。

此外，通过生成涂布方法，能在多个涂布动作之间加入涂布前的预喷动作等，并在多个涂布动作之间加入干燥动作。其结果是，从预喷动作到涂布动作不会空出不必要的时间，能以良好的涂布状态对工件21进行涂布，并且，在涂布动作后进行涂布液滴的干燥而不会空出不必要的时间。因而，即使没有限制液滴扩散的障碍物等物理构件，涂布形状也能始终为固定的形状，能正确地实施对工件21的涂布处理。

接下来，基于图6(a)、图6(b)、图6(c)，说明在本实施方式的液体涂布装置10的涂布工序中的涂布动作时、干燥动作时、以及移动时喷墨头1的位置。图6(a)、图6(b)、图6(c)是表示涂布工序中的涂布动作时、干燥动作时、以及移动时喷墨头1的位置的图。

在本实施方式中，如图6(a)、图6(b)所示，在多个涂布动作之间进行干燥动作，但如图6(b)、图6(c)所示，在执行涂布动作时以外的干燥动作时及移动时，喷墨头1与工件21的间隔比在执行涂布动作时要大。该喷墨头1的上下动作通过控制Z轴平台5来进行，在设定涂布工序时控制Z轴平台5使其进行升降动作。工件21与喷墨头1的下表面即喷口的间隔通常在1mm左右，考虑与间隔的平方成反比的辐射所产生的热传导，若是10倍左右的距离、即工件21与喷墨头1的下表面即喷口的间隔为10mm左右，则能使涂布时的间隔下受到的加热影响为1/100。其结果是，能发挥降低喷口温度上升的效果。

如上所述，本实施方式的液体涂布装置10包括对工件21的预定位置涂布预定形状的功能性液体的喷墨头1。此外，还包括：将涂布于工件21的功能性液体进行干燥的加热器7；以及在利用喷墨头1对工件21的同一部位进行涂布动作之后、利用加热器7对所涂布的功能性液体进行干燥动作的控制部2。控制部2包括涂布工序设定部2b，该涂布工序设定部2b使涂布动作和干燥动作重复进行多次，且设定涂布动作的次数和干燥动作的动作条件，以形成所希望的涂布图案。

此外，本实施方式的液体涂布方法利用喷墨头1对工件21的预定位置涂布预定形状的功能性液体。此外，使利用喷墨头1对工件21的同一部位进行的涂布动作、和利用加热器7对所涂布的功能性液体进行的干燥动作重复进行多次，并且，设定涂布动作的次数和干燥动作的动作条件，以形成所希望的涂布图案。

根据上述结构，控制部2在利用喷墨头1对工件21的同一部位进行涂布动作之后，利用加热器7对所涂布的功能性液体进行干燥动作。由此，可形成具有所需形状、所需膜厚、以及所需遮光性能(或浓度)的涂布图案。

而且，在本实施方式中，涂布工序设定部2b将涂布动作和干燥动作重复多次，且设定涂布动作的次数和干燥动作的动作条件，以形成所希望的涂布图案。由此，将涂布动作和干燥动作的多次重复设定为一连串的涂布工序，从而，能无延迟地进行涂布动作后的干燥动作。因而，能实现对工件21的适当的涂布动作。

其结果是，可提供将液滴涂布动作及液滴干燥动作作为一连串工序进行管理、能够得到所希望的涂布图案的液体涂布装置10及液体涂布方法。

特别是在本实施方式中，能得到涂布浓度要为需要涂布多次的浓度且不允许液滴浸润扩散的小涂布形状。因而，即使没有物理上控制液滴浸润扩散的障碍物等，也能得到不变的所希望的涂布图案。

此外，由于即使是难以改变浓度的液体，也能进行所希望的涂布，因此，涂布形状及浓度不会被液体调配的限制所左右，在可使用的液体上能留有灵活性，能减少液体开发的成本和时间。

另外，在本实施方式中，控制部2包括设定预定的涂布图案的涂布图案设定单元即涂布图案设定部2c。由此，仅输入涂布位置，就能基于涂布工序设定部2b，自动形成所希望的涂布图案。

此外，在本实施方式的液体涂布装置10中，涂布工序设定部2b进行设定，使得加热器7每次重复干燥动作时，干燥动作的动作条件即加热时间或加热温度都不相同。

由此，对随涂布的叠加而变化的每一次涂布，都能形成最合适的干燥状态，能使与涂布工序相关的时间变短，能缩短处理时间。此外，通过优化干燥动作，能抑制不必要的加热，能预防因加热器7的辐射热量波及到喷墨头1而导致该喷墨头1喷射欠佳。

另外，在上述说明中，所谓干燥状态，是指如下状态：即使将涂布液滴放置也不会自然地浸润扩散，并且，即使在该涂布液滴上叠加实施涂布的情况下，液滴也不会混合扩散，从而可在该液滴上进行涂布。此外，所谓最合适的干燥状态，是指在短时间内实现干燥状态。

此外，在本实施方式的液体涂布装置10中，涂布工序设定部2b进行设定，使得涂布动作后的第一次干燥动作与第二次及其以后的干燥动作相比，加热时间更长，或加热温度更高。

即，对于第一次的涂布液滴，由于涂布液滴本身是不具有热量的状态，因此，为了要使其干燥，需要较长的时间，加热温度也优选较高。但是，在第二次及其以后的干燥中，由于是第一次加热干燥所产生的余热还有残留的状态，因此，能减少干燥时间。由此，能对涂布液滴进行高效的干燥。

此外，例如在加热液滴而使其干燥的情况下，会担心因加入干燥动作而导致涂布处理的所需时间增加。但是，通过这样有效地进行干燥，能抑制所需时间的增加。

此外，在本实施方式的液体涂布装置10中，涂布工序设定部2b在涂布动作与干燥工作之间设定等待时间。这样，通过设定从涂布动作转移至干燥动作的等待时间，能管理所涂布的液体自然干燥的时间。例如，通过将等待时间设定得较短，能抑制涂布液滴长时间扩散，另一方面，通过将等待时间设定得较长，相反能利用长时间扩散来得到所希望的涂布形状。

此外，在本实施方式的液体涂布装置10中，涂布工序设定部2b对喷墨头1的维护动作工序也进行设定。另外，所谓维护动作，例如可举出预喷动作、弯液面摇动动作等。

由此，由于能在一连串的涂布操作之间加入各种维护动作，因此，能无延误地以固定间隔进行涂布实施前的喷头维护动作。因此，能实现高精度的涂布。此外，由于与涂布的执行处理联合进行维护动作，因此，能使涂布形状固定。

然而，以往，在加热液滴而使其干燥的情况下，在加热后的液滴上再进行涂布会导致热量传送到喷墨头1，喷墨头1中的墨水变成易干燥的状态。喷墨头1的喷口一般是数10μm的细孔，因与外部气体相接触而形成易干燥的结构。因此，加热这一促进干燥的动作虽然具有使液滴干燥的效果，但是，若热量传送到喷口，则会使喷口的液体干燥固化，成为喷射欠佳的原因。

与此不同的是，在本实施方式的液体涂布装置10中，控制部2进行控制，使得在利用喷墨头1进行涂布动作时以外，工件21与喷墨头1的间隔比涂布动作时要大。由此，能缩短由干燥动作加热的液滴及工件21与喷墨头1靠近的时间。因此，能预防喷墨头1的喷口被加热而发生喷射欠佳，能提高喷射可靠性。

如上所述，在本发明的液体涂布装置中，优选使所述涂布工序设定单元进行设定，使得上述加热器每次重复干燥动作时，上述干燥动作的动作条件即加热时间或加热温度都不相同。

由此，对随涂布的叠加而变化的每一次涂布，都形成最适合的干燥状态，能使与涂布工序相关的时间变短，能缩短处理时间。此外，通过优化干燥动作，能抑制不必要的加热，能预防因加热器的辐射热量波及到喷墨头而导致该喷墨头喷射欠佳。

另外，在上述说明中，所谓干燥状态，是指如下状态：即使将涂布液滴放置也不会自然地浸润扩散，并且，即使在该涂布液滴上叠加实施涂布的情况下，液滴也不会混合扩散，从而可在该液滴上进行涂布。此外，所谓最合适的干燥状态，是指在短时间内实现干燥状态。

在本发明的液体涂布装置中，优选使所述涂布工序设定单元进行设定，使得涂布动作后的第一次干燥动作与第二次及其以后的干燥动作相比，加热时间更长，或加热温度更高。

即，对于第一次的涂布液滴，由于涂布液滴本身是不具有热量的状态，因此，为了要使其干燥，需要较长的时间，加热温度也优选较高。但是，在第二次及其以后的干燥中，由于是第一次加热干燥所产生的余热还有残留的状态，因此，能减少干燥时间。由此，能对涂布液滴进行高效的干燥。

在本发明的液体涂布装置中，优选所述涂布工序设定单元在所述涂布动作与干燥动作之间设定等待时间。

这样，通过设定从涂布动作转移至干燥动作为止的等待时间，能管理所涂布的液体自然干燥的时间。例如，通过将等待时间设定得较短，能抑制涂布液滴长时间扩散，另一方面，通过将等待时间设定得较长，相反能利用长时间扩散来得到所希望的涂布形状。

在本发明的液体涂布装置中，优选所述涂布工序设定单元对所述喷墨头的维护动作工序也进行设定。另外，所谓维护动作，例如可举出预喷动作、弯液面摇动动作等。

由此，由于能在一连串的涂布操作之间加入各种维护动作，因此，能无延误地以固定间隔进行涂布实施前的喷头维护动作。因此，能实现高精度的涂布。此外，由于与涂布的执行处理联合进行维护动作，因此，能使涂布形状固定。

在本发明的液体涂布装置中，优选使所述涂布控制单元进行控制，使得在利用所述喷墨头进行涂布动作时以外，所述被涂布对象物与喷墨头的间隔比涂布动作时要大。

由此，能缩短由干燥动作加热的液滴及被涂布对象物与喷墨头靠近的时间。因此，能预防喷墨头的喷口被加热而发生喷射欠佳，能提高喷射可靠性。

另外，本发明不限于上述各实施方式，可在权利要求书所示的范围内进行种种变更，对于适当组合各技术手段而得到的实施方式，也包含在本发明的技术范围内。

工业上的实用性

由于本发明能对工件进行涂布形状和浓度都高度自由的涂布，因此，可适用于能高可靠性地在短时间内对各种工件进行涂布或涂布各种涂布形状的液体涂布装置及液体涂布方法。此外，由于还能缓和对液体的限制，因此，可适用于能扩大喷墨头所能使用的液体的选择范围的液体涂布装置及液体涂布方法。

Claims (9)

1.一种液体涂布装置，该液体涂布装置包括对被涂布对象物的预定位置涂布预定形状的功能性液体的喷墨头，其特征在于，包括：

对涂布于所述被涂布对象物的功能性液体进行干燥的加热器；以及

在利用所述喷墨头对所述被涂布对象物的同一部位进行涂布动作之后，利用所述加热器对所涂布的功能性液体进行干燥动作的涂布控制单元，并且，

所述涂布控制单元包括涂布工序设定单元，该涂布工序设定单元使所述涂布动作和干燥动作重复进行多次，且设定所述涂布动作的次数和干燥动作的动作条件，以形成所希望的涂布图案。

2.如权利要求1所述的液体涂布装置，其特征在于，

所述涂布工序设定单元进行设定，使得所述加热器每次重复干燥动作时，所述干燥动作的动作条件即加热时间或加热温度都不相同。

3.如权利要求2所述的液体涂布装置，其特征在于，

所述涂布工序设定单元进行设定，使得涂布动作后的第一次干燥动作与第二次及其以后的干燥动作相比，加热时间更长，或加热温度更高。

4.如权利要求1至3的任一项所述的液体涂布装置，其特征在于，

所述涂布工序设定单元在所述涂布动作与干燥动作之间设定等待时间。

5.如权利要求1至3的任一项所述的液体涂布装置，其特征在于，

所述涂布工序设定单元对所述喷墨头的维护动作工序也进行设定。

6.如权利要求4所述的液体涂布装置，其特征在于，

所述涂布工序设定单元对所述喷墨头的维护动作工序也进行设定。

7.如权利要求1至3的任一项所述的液体涂布装置，其特征在于，

所述涂布控制单元进行控制，使得在利用所述喷墨头进行涂布动作时以外，所述被涂布对象物与喷墨头的间隔比涂布动作时要大。

8.如权利要求4所述的液体涂布装置，其特征在于，

所述涂布控制单元进行控制，使得在利用所述喷墨头进行涂布动作时以外，所述被涂布对象物与喷墨头的间隔比涂布动作时要大。

9.一种液体涂布方法，该液体涂布方法利用喷墨头对被涂布对象物的预定位置涂布预定形状的功能性液体，其特征在于，

使利用所述喷墨头对所述被涂布对象物的同一部位进行涂布的涂布动作、和利用加热器对所涂布的功能性液体进行干燥的干燥动作重复进行多次，并且，

设定所述涂布动作的次数和干燥动作的动作条件，以形成所希望的涂布图案。

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