CN102112215B - 流体混合器及使用流体混合器的装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种可以使流体的流动方向的浓度分布及温度分布没有不均地进行均匀混合、紧凑且容易进行配管施工的流体混合器，该流体混合器的特征在于，其具有：流体入口、连接于该流体入口的第一流路、连接于该第一流路的螺旋流路、从该螺旋流路分支的多个分支流路、该多个分支流路所分别连接的第二流路、和连接于该第二流路的流体出口，所述多个分支流路从所述螺旋流路的不同位置各自分支，分别在所述第二流路的不同位置与第二流路连接。

Description

流体混合器及使用流体混合器的装置

技术领域

本发明涉及一种用于化工厂、半导体制造领域、食品领域、医疗领域、生物领域等各种产业中的流体输送配管的流体混合器，尤其涉及一种可使流体的流动方向的浓度分布及温度分布没有不均地进行均匀混合的流体混合器及使用流体混合器的装置。

背景技术

一直以来，作为使安装在配管内并在管内流动的流体均匀地混合的方法，通常为使用如图16所示的搅拌叶片状的静态混合器元件81的方法(例如参照日本特开2001-205062号公报)。通常，静态混合器元件81具有以下结构：以使矩形板绕其长轴线扭转180度而形成的板作为最小单元构件，将多个最小单元构件以扭转方向成为相互不同的方向的方式一体地串联连接。将该静态混合器元件81配置于管82内，在管82的两端部安装凸接头83，并安装喇叭管85而将紧固螺母84紧固，从而形成静态混合器。此时，将静态混合器元件81的外径设置为与管82的内径大致相同，由此可以有效地搅拌流体。

然而，对于使用上述现有的静态混合器的流体的混合方法，由于其是沿流向对流过来的流体进行搅拌的构成，因此，如图17(a)所示，可以使配管的径向的浓度分布没有不均地进行均匀化，但如图17(b)所示，不能使轴向(流动方向)的浓度分布没有不均地进行均匀化。因此，例如在静态混合器的上游侧使水和药液混合流动时，在药液的混合比暂时增加的情况下，将以在流路内浓度局部变浓的状态通过静态混合器。此时，即使搅拌在径向变均匀的水和药液，也导致在轴向(流动方向)上在流路内浓度局部变浓处以几乎没有被稀释地变浓的状态直接流向下游侧(参照图17(b))。由此，在与半导体清洗装置、尤其是在半导体晶片的表面直接涂布药液而进行各种处理之类的装置连接的情况下，存在浓度不同的药液被涂布在半导体晶片的表面上而成为次品的原因的问题。

作为避免该轴向(流动方向)的浓度分布不均的方法，可以举出在流路的途中设置罐而将流体暂时贮存在罐内、使罐内的浓度均匀后使流体流动的方法(未图示)等。然而，存在以下问题：为了设置罐而需要较大的空间，从而产生装置变大的问题；为了从罐再次输送流体，需要泵、配管等，因此，存在使用部件的数量变多的问题；具有产生用于对配管线路进行施工的成本的问题。另外，在该方法中，在罐内滞留流体。如果流体滞留，则成为产生细菌的原因，存在导致在罐内产生的细菌流入配管线路中，在半导体生产线中产生细菌附着于半导体晶片上而成为次品的问题。

作为避免轴向(流动方向)的浓度分布不均的其它的方法，如图18所示，有将流路分支而进行流体稀释的分支稀释装置(例如参照日本特开平8-146008号公报)。对该装置而言，在分析以一定速度在细管91中流动的试样溶液的装置中，通过将使流动的试样分支为多个流路的分支部92设置于流路的途中，由此可以分开试样溶液，使各分支流路的细管93、94的内径或长度变化，在检测器95的前面的合流部96再次合流，利用检测试样溶液的时间差进行稀释。

先行技术文献

日本特开2001-205062号公报及日本特开平8-146008号公报

发明内容

然而，在将图18的现有的分支稀释装置的技术用于流体输送配管的情况下，需要设置在管路的途中分支的长度不同的管路并设置再次合流的配管线路。因此，为了使轴向(流动方向)的浓度分布没有不均地在流路内均匀化，必须较多地设置分支的流路，在该情况下，存在设置分支的配管线路的空间变大的问题。另外，为了对这样的配管线路进行施工，存在部件件数需要较多、繁杂且需要时间的问题。

本发明是鉴于以上的现有技术的问题点而完成的，其目的在于提供一种可以使流体的流动方向的浓度分布及温度分布没有不均地进行均匀混合、紧凑且配管施工容易的流体混合器及使用流体混合器的装置。

若要对用于解决上述课题的本发明的构成进行说明，流体混合器的第一特征在于，其具有：流体入口、连接于该流体入口的第一流路、连接于该第一流路的螺旋流路、从该螺旋流路分支的多个分支流路、该多个分支流路所分别连接的第二流路、和连接于该第二流路的流体出口，其中，所述多个分支流路从所述螺旋流路的不同位置各自分支，分别在所述第二流路的不同位置与第二流路连接。

另外，流体混合器的第二特征在于，其具备：主体部：所述主体部形成为：在一个端面配置有所述流体入口，在另一端面配置有所述流体出口，在外周形成有螺旋槽，与所述螺旋槽的螺旋的中心轴同轴地配置有所述第二流路，而且多个连通孔分别连通所述第二流路和所述螺旋槽；和筐体：其与该主体部的外周面嵌合；其中，由所述螺旋槽及所述筐体的内周面形成所述螺旋流路，所述连通孔成为所述分支流路。

另外，流体混合器的第三特征在于，其具备：主体部：所述主体部形成为：在一个端面配置有所述流体出口，在外周形成有螺旋槽，与所述螺旋槽的螺旋的中心轴同轴地配置有所述第二流路，多个连通孔分别连通所述第二流路和所述螺旋槽；和筐体：其与该主体部的外周面嵌合；其中，在该筐体的外周形成所述流体入口，由所述螺旋槽及所述筐体的内周面形成所述螺旋流路，所述连通孔成为所述分支流路。

另外，流体混合器的第四特征在于，所述螺旋流路以通路截面积从与所述第一流路连接的一端部朝向另一端部逐渐减小的方式形成。

另外，流体混合器的第五特征在于，所述第二流路的内周面从上游侧朝向所述流体出口被逐渐扩径地形成。

另外，流体混合器的第六特征在于，所述连通孔各自的通路截面积被相同地形成。

流体混合器的第七特征在于，在所述筐体上设置有套筒连接(ferrulecoupling)部。

流体混合器的第八特征在于，所述筐体由2个以上的部件形成，而且在该部件上分别设置有凸缘部，并用夹具固定该凸缘部。

流体混合器的第九特征在于，所述筐体由2个圆筒部构成，在该圆筒部的一端部外周设置凸缘部和另一端部被缩径而成的缩径部，在2个该圆筒部的该凸缘部侧开口部嵌插所述主体部，并用夹具固定各该凸缘部。

流体混合器的第十特征在于，所述筐体由主体和闭塞该中空室的开口的盖体构成，所述主体在下部设置有开口的中空室，且在该中空室上分别连通有入口流路和出口流路；所述主体部嵌合配置于该筐体的中空室。

第十一特征在于，在流动物质的温度或浓度经时变化的线路中，利用所述流体混合器使该物质的温度或浓度均匀化。

第十二特征在于，所述物质为气体或液体。

第十三特征在于，在至少2个物质的混合比率经时变化的线路中，利用所述流体混合器使该物质的混合比率均匀化。

第十四特征在于，在至少2个物质各自流动的线路的合流部的下游侧配置有所述流体混合器。

第十五特征在于，所述物质为气体、液体、固体、粉体中的任一种。

第十六特征在于，所述物质至少为水、以及pH调节剂、液体肥料、漂白剂、杀菌剂、表面活性剂或液体药品中的任一种。

第十七特征在于，所述物质至少为第一液体药品以及第二液体药品或金属。

第十八特征在于，所述物质至少为废液、以及pH调节剂、絮凝剂或微生物。

第十九特征在于，所述物质至少为第一石油类、以及第二石油类、添加剂或水。

第二十特征在于，所述物质至少为粘接剂以及固化剂。

第二十一特征在于，所述物质至少为第一树脂、以及第二树脂、溶剂、固化剂或着色剂中的任一种。

第二十二特征在于，所述物质至少为第一食品原料、以及第二食品原料、食品添加剂、调味料、微生物或不燃性气体中的任一种。

第二十三特征在于，所述物质至少为空气以及可燃性气体。

第二十四特征在于，所述物质至少为第一不燃性气体以及第二不燃性气体或蒸汽。

第二十五特征在于，所述物质至少为水、液体药品或食品原料中的任一种；以及空气、不燃性气体或蒸汽中的任一种。

第二十六特征在于，所述物质为第一合成中间体、以及第二合成中间体、添加剂、液体药品或金属中的任一种。

本发明的流体混合器的主体部7、圆筒体14等的各部件的材质只要为树脂制，就可以为聚氯乙烯、聚丙烯(以下记为PP)、聚乙烯等中的任一种。特别是，使用腐蚀性流体作为流体时，优选聚四氟乙烯(以下记为PTFE)、聚偏氟乙烯、四氟乙烯-全氟烷基乙烯基醚共聚树脂(以下记为PFA)等氟树脂，只要为氟树脂制就可以用于腐蚀性流体中，或即使腐蚀性气体透过也不必担心配管部件的腐蚀，故优选。另外，形成主体部或筐体的部件可以以透明或半透明的部件使用，由于可以目视确认流体的混合状态，故优选。另外，根据流入流体混合器中的物质的不同，各部件的材质也可以为铁、铜、铜合金、黄铜、铝、不锈钢、钛等金属或合金。

本发明通过形成如上所述的结构，可以得到以下的优异的效果。

(1)在流路内即使处于药液的浓度暂时变浓或变稀的状态，也可以使流体的流动方向的浓度分布没有不均地进行均匀混合，可供给浓度稳定的药液，并可以防止在各种领域中因药液浓度的变化而产生的不良情况。

(2)在流路内即使处于流体的温度暂时变高或变低的状态，也可以使流体的流动方向的温度分布没有不均地进行均匀混合，可供给温度稳定的流体，并可以使热水器等中的温度更稳定，同时防止烧伤等。

(3)可以使流体混合器小型化，也可以使其设置空间为所需最小限。

(4)可以简单且在短时间内进行配管施工。

以下，通过记载附图和本发明优选的实施方式，可以进一步充分理解本发明。

附图说明

图1是表示本发明的第一实施方式的流体混合器的配管流路的示意图。

图2是表示使用图1的流体混合器测定流体的浓度的装置的示意图。

图3是测定图2的流体混合器的上游侧的浓度的图表。

图4是测定图2的流体混合器的下游侧的浓度的图表。

图5是表示本发明的第二实施方式的流体混合器的纵向剖面图。

图6是表示第二实施方式的圆筒体的不同安装结构的纵向剖面图。

图7是表示第二实施方式的螺旋流路的不同结构的纵向剖面图。

图8是表示第二实施方式的第二流路的不同结构的纵向剖面图。

图9是表示本发明的第三实施方式的流体混合器的配管流路的示意图。

图10是表示本发明的第四实施方式的流体混合器的纵向剖面图。

图11是表示第四实施方式的圆筒体的不同安装结构的纵向剖面图。

图12是表示本发明的第五实施方式的流体混合器的纵向剖面图。

图13是表示本发明的第六实施方式的流体混合器的纵向剖面图。

图14是表示使用本发明的流体混合器的装置的实施方式的示意图。

图15是表示使用本发明的流体混合器的装置的另一实施方式的示意图。

图16是表示现有的静态混合器的纵向剖面图。

图17是表示图16的静态混合器的流体的搅拌状态的示意图。

图18是表示现有的分支稀释装置的纵向剖面图。

具体实施方式

以下，参照附图所示的实施例说明本发明的实施方式，当然本发明并不限定于这些实施例。

以下，参照图1，对本发明的第一实施方式的流体混合器进行说明。

在流体混合器中，在同轴上配置有：流体流入的流体入口5和连接于流体入口5的第一流路1、以及流体流出的流体出口6和连接于流体出口6的第二流路3，并配置有以流路1、3为螺旋中心轴的螺旋流路2。第一流路1及第二流路3都为直线形流路。在螺旋流路2的一端部连接第一流路1，在螺旋流路2的途中设置分别与第二流路3连接的5个分支流路4a～4e。另外，位于距流体出口6侧最近的地方的分支流路4e被设置成与螺旋流路2的另一端部连接。即，多个分支流路4a～4e从螺旋流路2的不同的位置各自分支，分别在第二流路3的不同的位置与第二流路3连接。在本实施方式中，例如可以通过管等进行配管连接。

接着，对本发明的第一实施方式的流体混合器的运转进行说明。

在流体混合器的上游侧使水和药液混合，以药液的浓度暂时变浓的状态流动时，在流路内浓度局部变浓地流动着的药液从流体入口5流入于第一流路1并流向螺旋流路2。在浓度变浓的药液的一部分流过螺旋流路2与分支流路4a的连接处时，其一部分在分支流路4a中流动并通过第二流路3而流向流体出口6。剩余的药液流向螺旋流路2的下游侧，另外，在浓度变浓的剩余的药液的一部分流过分支流路4b的连接处时，其一部分在分支流路4b中流动并通过第二流路3而流向流体出口6。剩余的药液流向螺旋流路2的下游侧，进而，在浓度变浓的剩余药液的一部分与流过分支流路4b的药液同样地流过分支流路4c的连接处时，其一部分在分支流路4c中流动并通过第二流路3而流向流体出口6。以下，与4a、4b、4c相同，浓度变浓的剩余药液的一部分在4d、4e中流动并通过第二流路3而流向流体出口6。

此时，在分支流路4a中流动的浓度变浓的药液的一部分比其它的浓度变浓的药液更早地从流体出口6流出，以时间差按照分支流路4b、分支流路4c、分支流路4d、分支流路4e的顺序，浓度变浓的药液的每一部分分别从流体出口6流出。即，在流路内浓度局部变浓地流动着的药液通过流体混合器以时间差被分割为5部分进行流动，通过分别与浓度没有变浓的药液互相混合，可以使流体的流动方向的浓度分布没有不均地进行均匀混合。此时，各分支流路的内径大致相同时，由于浓度变浓的药液的部分被分割为大致5等分，因此，可以使流体的流动方向的浓度分布没有不均地更均匀地混合。

另外，在图1的本实施方式中，分支流路4a～4e沿第二流路3的轴线等间隔地设置，但为了调节对在各分支流路4a～4e中流动的流体赋予的时间差，可以自由地设定连接的位置或以从螺旋流路2与第一流路1连接的一端部朝向另一端部使通路截面积逐渐变小的方式形成。分支流路4a～4e的数量也没有特别的限定。如果分支流路4a～4e的数量设置较多，则可以使流体的流动方向的浓度分布没有不均地进行更精细的均匀化。

在此，对用流体混合器对浓度变浓的药液的部分进行分割而使流体的流动方向的浓度分布没有不均地进行均匀化的作用进行说明。如图2所示，在2个物质即纯水和药液分别流动的线路的合流部的下游侧配置有图1的流体混合器的线路中，在图1的流体混合器的上游侧和下游侧分别设置浓度计100、101，制作从上游侧混合纯水和药液并使其流动的装置，在使纯水和药液以一定比率流动的途中，在形成瞬间地使药液的浓度变浓的状态(使药液相对于纯水的比率变大)之后，测定按照原本的一定比率流动而产生浓度分布不均时的上游侧和下游侧的浓度，结果示于图3及图4中。

图3是表示设置在流体混合器的上游侧的浓度计100的图表，其中，横轴为经过时间、纵轴为浓度，在某一定时间内浓度变浓的情况下，出现如图所示的峰(h1)。图4是表示设置在流体混合器的下游侧的浓度计101的图表，浓度的峰被分散为5个，峰(h2)的高度约为五分之一。浓度的峰间的间隔t1对应于流体在螺旋流路2内通过分支流路4a的位置后到达分支流路4b的时间，同样地，t2对应从分支流路4b到达分支流路4c的时间，t3对应从分支流路4c到达分支流路4d的时间，t4对应从分支流路4d到达分支流路4e的时间。此时，通过改变到达螺旋流路2的各分支流路4a～4e的长度，可以使峰(h2)的出现的间隔t1～t4发生变化，而且进一步增加分支流路4a～4e的数量时，峰(h2)的高度可以被抑制到上游侧的峰(h1)被分支流路的数量相除的程度的高度。另外，在假设不设置流体混合器时，图3所示的浓度的峰因流体的流动会下降若干，但峰(h1)在流动中几乎没有变化。

另外，对本实施方式中的浓度分布的不均进行说明，对混合了热水和冷水时的温度分布的流动方向的均匀化也可以得到同样的效果。将温度分布的均匀化作为目的，也可在热水器等中加以利用，通过使在流路内局部变为高温的流体的温度的流动方向均匀化，可以使温度稳定，并可以防止因热水流动而导致的烧伤。另外，流体混合器的流路通过重复分支和合流，不仅对流动方向、而且也对径向进行混合。在本发明的实施方式中，为了方便说明作用，记为流体入口和流体出口，但即使使流体沿相反方向流动也可得到同样的效果，此时，流体出口成为流体流入的入口，流体入口成为流体流出的出口。

接着，参照图5，对本发明的第二实施方式的流体混合器进行说明。

7为PTFE制的主体部。主体部7形成为圆柱状，在主体部7的一端面设置流体入口8和连接于流体入口8的第一流路9，在另一端面设置流体出口10和连接于流体出口10的第二流路11，第一、第二流路9、11配置于主体部7的中心轴的位置。在主体部7的外周面设置螺旋槽12，螺旋槽12的一端部与第一流路9连接，设置分别连通第二流路11内周面和螺旋槽12底面的成为多个分支流路的连通孔13。另外，位于距流体出口10侧最近处的连通孔13与螺旋槽12的另一端部连通。

14是PFA管制的成为筐体的圆筒体。圆筒体14形成为略圆筒形，圆筒体14内径被形成为具有与主体部7外径大致相同的直径，通过主体部7和管即圆筒体14的热装以密封的状态嵌合于主体部7的外周面。通过在本体部7嵌合圆筒体14，在主体部7的螺旋槽12和圆筒体14内周面形成螺旋流路15。

另外，筐体即圆筒体14既可以为管那样的软质的部件，也可以由硬质的部件形成。筐体的形状除圆筒体以外也可以为长方体等。另外，只要圆筒体14和主体部7以密封的状态嵌合，就可以使用任一种方法进行嵌合，除热装以外，也可以为焊接或粘接，如图6所示，也可以使PFA管制的圆筒体17密接嵌合于主体部16，并在主体部16的两端螺合盖螺母18，由此以密封的状态将圆筒体17固定于主体部16外周面，或如图7所示，也可以使略圆筒形的圆筒体20与主体部19嵌合，利用盖螺母21将圆筒体20用密封环22以密封的状态固定于主体部19外周面。

接着，对本发明的第二实施方式的流体混合器的作用进行说明。

从流体混合器的上游侧使水和药液混合并流动，在药液的浓度暂时变浓的状态下流动时，在流路内浓度局部变浓地流动着的药液从流体入口8流入并流向螺旋流路15。在螺旋流路15中流动的浓度局部变浓的药液利用各自的连通孔13分开流动，浓度局部变浓的药液通过以时间差与在第二流路11中流动的浓度未变浓的药液分别混合，可以沿流体的流动方向均匀地混合。由于使第二实施方式的流体的流动方向的浓度分布没有不均地进行均匀化的作用与第一实施方式相同，因此省略说明。对于本实施方式的流体混合器，由于可以容易地形成分别连通第二流路11内周面和螺旋槽12底面的连通孔13，因此，可以自由地设计连通孔13的设置位置及设置的数量，可以精细且均等地调节流动的时间差，并可以使流体的流动方向的浓度分布没有不均的更精细地均匀化。另外，本实施方式的流体混合器虽然流路复杂，但加工相对比较容易，部件件数也少，因此，可以容易地制造。另外，由于流路结构可以较小地汇集，因而可以使流体混合器小型化，可以不耗费配管空间地进行设置。另外，将流体混合器连接在配管线路上时，仅分别用接头等连接在流体入口8与流体出口10上即可完成施工，因此，配管施工容易且可以在短时间内进行。

在此，连通孔13优选各通路截面积被大致相同地形成。这是因为，被各连通孔13分割的流体的流量分别恒定，因而流入流体混合器中的流体按照连通孔13的个数大致相等地被分割并且分别赋予时间差地进行合流流动，因此，可以使浓度分布没有不均地进行均匀化，因而优选。

另外，如图7所示，螺旋流路23优选以通路截面积从与第一流路24连接的一端部朝向另一端部逐渐减小的方式形成。这是因为，在螺旋流路23中流动的流体从各自的连通孔25分割流体而流动，从而产生压力损失而导致螺旋流路23的下游侧的流速降低，因此，通过使螺旋流路23的通路截面积逐渐减小，即使产生压力损失流体的流动也以恒定的速度流动，可以使分割流动的流体的时间差稳定，因此优选。另外，作为使螺旋流路23的通路截面积减小的方法，如图7所示，可以以主体部19的外周面从流体入口26朝向流体出口27逐渐缩径的方式设置，并嵌合与该外周面形状相对应的圆筒体20，从而形成螺旋流路23；除此以外，也可以逐渐减少螺旋槽的深度地形成(未图示)，或使螺旋槽的宽度逐渐变窄地形成(未图示)，或由它们复合形成。

另外，如图8所示，优选从上游部(流体入口29侧)朝向流体出口30逐渐扩径地形成第二流路28内周面。这是因为，在流入螺旋流路31的最初被分割且从连通孔32a流向第二流路28中的流体迅速地流过第二流路28后从流体出口30流出，使逐渐地被分割地从连通孔32流向第二流路28的流体的流速渐渐变慢，由此，使分割流动的流体的时间差更明确，因此是优选的。

接着，参照图9，对本发明的第三实施方式的流体混合器进行说明。

在流体混合器中，配置有：流体流出的流体出口46和连接于流体出口46的第二流路43、和以第二流路43为螺旋的中心轴的螺旋流路42，流体流入的流体入口45和连接于流体入口45的第一流路41被设置成与螺旋流路42的流体出口侧的一端部连接。在螺旋流路42的途中设置分别连接于第二流路43的5个分支流路44a～44e。另外，位于距流体出口46侧最远处位置的分支流路44e以连接于螺旋流路42的另一端部的方式设置。本实施方式可以例如用管等进行配管连接。

接着，对本发明的第三实施方式的流体混合器的作用进行说明。

在流体混合器的上游侧使水和药液混合，以药液的浓度暂时变浓的状态流动时，在流路内浓度局部变浓地流动着的药液从流体入口45流入于第一流路41中并流入螺旋流路42。在浓度变浓的药液流过螺旋流路42与分支流路44a的连接处时，其一部分在分支流路44a中流动后通过第二流路43而流向流体出口46。剩余的药液流向螺旋流路42的下游侧，另外，在浓度变浓的剩余的药液流过分支流路44b的连接处时，其一部分在分支流路44b中流动后通过第二流路43而流向流体出口46。剩余的药液流向螺旋流路42的下游侧，进而，在浓度变浓的剩余药液的一部分与流过分支流路44b的药液同样地流过分支流路44c的连接处时，其一部分在分支流路44c中流动并通过第二流路43而流向流体出口46。以下，与44a、44b、44c相同，浓度变浓的剩余药液的一部分在44d、44e中流动后通过第二流路43而流向流体出口46。

此时，在分支流路44a中流动的浓度变浓的药液的一部分比以最短的路线通过第二流路49的其它的浓度变浓的药液更早地从流体出口48流出，以时间差通过按照分支流路44b、分支流路44c、分支流路44d、分支流路44e的顺序缓慢地变长的路线，浓度变浓的药液的每一部分分别流出。即，在流路内浓度局部变浓地流动着的药液通过流体混合器以时间差被分割为5部分进行流动，通过分别与浓度没有变浓的药液混合，可以沿流体的流动方向没有不均地进行均匀混合。特别是从各分支流路44a～44e按分割的顺序至流体出口46的距离每隔一定距离变长，因此，可以使时间差更明确。

另外，图9的分支流路44a～44e沿第二流路43的轴线等间隔地设置，但为了调节赋予在各分支流路44a～44e中流动的流体的时间差，可以自由地设定与第二流路43连接的位置或以从螺旋流路42与第一流路41连接的一端部朝向另一端部使通路截面积逐渐变小的方式形成，分支流路44a～44e的数量也没有特别的限定。如果分支流路4a～4e的数量设置的多，则可以使流体的流动方向的浓度分布没有不均地更精细地均匀化。

接着，参照图10，对本发明的第四实施方式的流体混合器进行说明。

47是PTFE制的主体部。主体部47形成为圆柱状，在主体部47的一端面设置有流体出口48和连接于流体出口48的第二流路49，第二流路49配置在主体部47的中心轴的位置。在主体部47的外周面设置螺旋槽50，螺旋槽50的流体出口48侧的一端部与后述第一流路55连接，设置分别连通第二流路49内周面和螺旋槽50底面的成为多个分支流路的连通孔51。另外，位于距流体出口48侧最远处位置的通孔51与螺旋槽50的另一端部连通。

52是PP制的成为筐体的圆筒体。圆筒体52形成为大致圆筒形，圆筒体52内径被形成为具有与主体部47外径大致相同的直径，且通过与主体部7热装，以密封的状态嵌合在主体部47外周面。通过在主体部47嵌合圆筒体52，以主体部47的螺旋槽50和圆筒体52内周面形成螺旋流路53。在圆筒体52的流体出口48侧的侧面设置有流体入口54，且设置与流体入口54和主体部47的螺旋槽50的流体出口48侧的一端部连接的第一流路55。另外，只要圆筒体52与主体部47以密封的状态嵌合，就可以通过任意的方法进行嵌合，除第二实施方式中记载的变化以外，如图11所示，也可以使有底圆筒状的圆筒体56与主体部57嵌合，利用盖螺母58将圆筒体56用密封环59以密封的状态固定在主体部57外周面。

第四实施方式的使流体的流动方向的浓度分布没有不均地进行均匀化的作用与第二实施方式相同，因此省略说明。与第二实施方式同样，连通孔51优选以各通路截面积大致相同的方式形成，螺旋流路53优选以通路截面积从与第一流路55连接的一端侧朝向另一端侧逐渐变小的方式形成，优选从上游部朝向流体出口48逐渐扩径地形成第二流路49内周面。

接着，参照图12，对本发明的第五实施方式的使用套圈接头的形状的流体混合器进行说明。

111、112为SUS304制的第一、第二圆筒部。第一、第二圆筒部为相同的形状，因此，以第一圆筒部111进行说明。在第一圆筒部111的一端部外周设置凸缘部113，在另一端部设置圆筒部被缩径而成的缩径部114，并且在缩径部114的被缩径的端部设置套圈接头部115。在凸缘部115端面设置入口开口126，设置与入口开口和第一圆筒部111内部连通的入口流路127(在第二圆筒部112，入口的部分为出口开口128及出口流路129)。

116为SUS304制的主体部。主体部116形成为圆柱状，在主体部116的一端面设置流体入口119和连接于流体入口119的第一流路121，在另一端面设置流体出口120和连接于流体出口120的第二流路122，第一、第二流路121、122配置在主体部116的中心轴位置。在主体部116的外周面设置螺旋槽123，螺旋槽123的一端部与第一流路121连接，并设置有分别连通第二流路122内周面和螺旋槽123底面的成为多个分支流路的连通孔125。另外，位于距流体出口120侧最近处位置的连通孔125与螺旋槽123的另一端部连通。主体部116的两端部缩径为与第一、第二圆筒部111、112的内周面相对应的形状，外周形成为与第一、第二圆筒部111、112的内周大致相同的直径。主体部116嵌插在第一、第二圆筒部111、112的未缩径一侧的凸缘部113、117的开口部。在各凸缘部113、117端面间夹持垫圈124，用夹具118固定凸缘部113、117。第一圆筒部111的入口流路127与主体部116的第一流路121连通，第二圆筒部112的出口流路129与主体部116的第二流路122连通。此时，第一、第二圆筒部111、112形成筐体。

另外，本实施方式的凸缘部113、117的连接与套圈接头的连接方法相同，可以使用套圈接头。除本实施方式的形状以外，也可以使用套圈接头组装容易地形成流体混合器。例如可以形成在圆筒状的筐体的两端部设置有套圈接头部的筐体上嵌合主体部的构成。另外，可以使主体部的流路的形状为第四实施方式的形状，该情况下，将有底圆筒状的第一圆筒部和设置有流体入口及流体出口的第二圆筒部用套圈接头部连接(未图示)。

接着，对第五实施方式的作用进行说明。

流入流体混合器的流体从流体入口119通过主体部116的第一流路121而流向螺旋槽123形成的螺旋流路。通过在主体部116内的流路流动而使流体的流动方向的浓度分布没有不均地进行均匀化的作用与第一实施方式相同，因此省略说明。均匀化的流体通过第二流路122后从流体出口120流出。此时，本实施方式的流体混合器的分解及组装容易，利用套圈接头部115使配管线路的组装和拆卸变容易，特别是可以优选用于频繁进行分解、对部件清洗后再进行组装的操作的食品领域。

接着，参照图13，对本发明的第六实施方式的Y型过滤器(strainer)形状的流体混合器进行说明。

图中，131为聚氯乙烯(以下记为PVC)制的主体，形成为Y型管状，在主体131的下部设置中空室132，主体具有与中空室132连通的连通口133的底座134和从中空室132向下方开口的开口部135。在主体131两端面形成凸缘状的入口开口136及出口开口137，并具有分别与入口开口136和中空室132连通的入口流路138、以及分别与出口开口137和连通口133连通的出口流路139。

140为PVC制的盖体，形成为圆板状，在一端部外周设置法兰部141。

PVC制的盖螺母142形成为圆筒状，在一个端部内周设置与设置在主体131的开口部135外周的外螺纹部螺合的内螺纹部，在另一端部设置向内周方向突出的内法兰部。盖螺母142通过在盖体140的法兰部141端面抵接内法兰部，并与主体131的外螺纹部螺合，由此固定盖体140，由该主体131和盖体140形成筐体。另外，盖体140和后述的主体部143可以一体地设置。另外，可以不使用盖螺母142而在盖体140形成内螺纹部，并与主体131螺合，也可以在主体131的开口部135设置内螺纹部而螺合具有外螺纹部的盖体140。另外，固定方法除螺合以外，只要可以固定主体131和盖体140，可以为接合销钉及套圈及螺钉等，没有特别限定。

143为PVC制的主体部。主体部143形成为圆柱状，在主体部143的一端面设置与流体出口146和流体出口146连接的第二流路145，第二流路145配置在主体部143的中心轴位置。在主体部143的外周面设置螺旋槽144，螺旋槽144的流体出口146侧的一端部与主体131的入口流路138连通，设置分别连通第二流路145内周面和螺旋槽144底面的成为多个分支流路的连通孔147。另外，位于距流体出口146侧最远处位置的连通孔147与螺旋槽144的另一端部连通。主体部143的外周与主体131的中空室132的内周形成大致相同的直径，在主体部143的流体出口146的相反侧的端部外周设置开口部135内周面和具有密封的O形环的环状槽。主体部143从主体131的开口部135与中空室132嵌合，使插入的主体部143的端部与底座134抵接，以主体部143的第二流路145连通的状态用盖体140和盖螺母142固定在连通口133上。这时，入口开口136成为流体混合器的流体入口，入口流路138成为流体混合器的第一流路。

接着，对第六实施方式的作用进行说明。

流入流体混合器的流体从主体131的入口开口136通过入口流路138而流入主体部143的螺旋槽144形成的螺旋流路。通过在主体部143内的流路流动而使流体的流动方向的浓度分布没有不均地进行均匀化的作用与第三实施方式相同，因此省略说明。均匀化的流体从第二流路145通过出口流路139从出口开口137流出。这时，本实施方式的流体混合器的分解及组装容易，特别是可以优选用于频繁进行分解、对部件清洗后再进行组装的操作的食品领域。

接着，对使用本发明的流体混合器的装置进行说明。

作为使用本发明的流体混合器的装置，有在流动物质的温度或浓度经时变化的管线内设置流体混合器的装置。这在例如下述情况下，即，在线路内设置加热器，并使相对于该加热器加热的时间轴的流体温度产生不均从而使流动的流体的温度经时变化的情况(未图示)、及使浸渍在槽内的固体物质向流体内溶出且在流体流动的线路中溶出的浓度经时变化的情况(未图示)等情况下，通过在流体混合器内流动，可以使流体的温度或浓度均匀化。这时，作为流体流动的物质，只要为气体或流体就没有特别限定。

另外，如图14所示，有在2种物质分别流动的线路60、61的合流部62的下游侧配置本发明的流体混合器的装置。该装置在例如在下述情况下，即，通过供给2种物质的泵63、64进行脉动等，合流时的混合比率经时变化的情况；及在高温流体和低温流体分别合流的线路中高温流体不均匀地流动且相对于时间轴的流体的温度产生不均从而使流动的流体的温度经时变化的情况；及在使规定浓度的流体与无垢的流体混合的线路中混合流体的浓度经时变化的情况等，通过利用流体混合器65使物质的混合比率均匀化，可以相对于时间轴使温度及浓度恒定。作为此时的流体，流动的物体为气体、液体、固体、粉体中的任一种即可，固体、粉体必须可以在线路内流动，也可以为预先与气体或液体混合的物质。另外，也可以制成使3种以上物质流动的线路合流的装置，并利用流体混合器混合3种以上物质。

另外，如图15所示，也可以为如下所述的装置：在2种物质分别流动的线路66、67的合流部68的下游侧配置本发明的流体混合器69，在其他物质流动的线路70于流体混合器69的下游侧合流的合流部71的下游侧配置另一流体混合器72。其在同时混合3种以上物质时产生混合不均的情况等时，通过使最初混合的2种物质均匀化后，与其他物质混合并使其均匀化，由此可以有效且没有混合不均地进行均匀的混合。例如在将水和油和表面活性剂混合的情况下，如果一次性将全部混合，则不能顺利混合而产生混合不均，因此，可以通过预先将水和表面活性剂混合后与油混合从而没有不均地均匀混合；或将水、硫酸混合并稀释后使该混合物和氨气混合后吸收氨气；或将水和硫酸混合并稀释后将该混合物和硅酸钠混合而调节pH等方法合适地进行混合。另外，也可以在最初使3种以上物质流动地合流，也可以在途中使2种以上物质合流。另外，也可以同样使3种以上流体混合器连接而阶段性地使其它物质混合。

接着，对通过本装置进行混合的物质的组合的实施方式进行说明。

在图14的装置中，通过在一个物质流动的线路60中流通水，在另一物质流动的线路61中流通pH调节剂、液体肥料、漂白剂、杀菌剂、表面活性剂或液体药品中的任一种，可以通过使用流体混合器65的装置进行混合而使其均匀化。

这时的水只要为纯水、蒸馏水、自来水、工业用水等符合混合的物质的条件的水就没有特别限定。另外，水的温度也没有特别限定，可以为温水或冷水。

pH调节剂只要为用于调节混合的液体的pH的酸、碱即可，可以举出盐酸、硫酸、硝酸、氢氟酸、羧酸、柠檬酸、葡糖酸、琥珀酸、碳酸钾、碳酸氢钠、氢氧化钠水溶液等。

液体肥料为农业用的液状肥料即可，可以举出粪尿及化学肥料等。

漂白剂为利用化学物质的氧化、还原反应而分解色素的漂白剂即可，可以举出次氯酸钠、过碳酸钠、过氧化氢、臭氧水、二氧化硫脲、连二亚硫酸钠等。

杀菌剂为用于杀死具有病原性或有害性的微生物的药剂，可以举出碘酒、聚维酮碘、次氯酸钠、漂白粉、汞溴红溶液、葡萄糖酸氯己定溶液、利凡诺、乙醇、异丙醇、过氧化氢水、苯扎氯铵、西吡氯铵、甲酚皂溶液、亚氯酸钠、过氧化氢、次氯酸钠、次氯酸水、臭氧水等。

表面活性剂为在分子内具有易溶于水的部分(亲水基)、易溶于油的部分(亲油基和疏水基)的物质，可以举出脂肪酸钠、脂肪酸钾、单烷基硫酸盐、烷基聚氧乙烯硫酸盐、烷基苯磺酸盐、单烷基磷酸盐、烷基三甲基铵盐、二烷基二甲基铵盐、烷基苄基二甲基铵盐、氧化烷基二甲基胺、烷基羧基甜菜碱、聚氧乙烯烷基醚、脂肪酸山梨糖醇酐酯烷基多苷脂肪酸二乙醇酰胺、烷基单甘油醚、α-磺基脂肪酸酯钠、直链烷基苯磺酸钠、烷基硫酸酯钠、烷基醚硫酸酯钠、α-烯烃磺酸钠、烷基磺酸钠、蔗糖脂肪酸酯山梨糖醇脂肪酸酯、聚氧乙烯山梨糖醇酐脂肪酸酯、脂肪酸烷醇酰胺、聚氧乙烯烷基醚、聚氧乙烯烷基苯基醚、烷基氨基脂肪酸钠、烷基甜菜碱、氧化烷基胺、烷基三甲基铵盐、二烷基二甲基铵盐等。

另外，只要在液体药品的范畴内，就可以使用不在上述范畴内的液体药品，可以举出盐酸、硫酸、醋酸、硝酸、甲酸、氢氟酸、氢氧化钠、氢氧化钾、氢氧化钙、氢氧化钡、氢氧化铵硅酸钠、油等。另外，这里举出的液体药品也作为符合上述范畴的物质使用。另外，也可以在一个物质流动的线路60内流通水、在另一物质流动的线路61内流通热水，以对水和热水进行混合而形成均匀且恒定的温度的方式进行混合。

另外，可以通过在一个物质流动的线路60内流通第一液体药品、在另一物质流动的线路61内流通第二液体药品或金属，由此通过使用流体混合器65的装置进行混合。这里混合的第一、第二液体药品为可以混合的液体药品即可，可以为上述液体药品或除此以外的液体药品。例如可以举出光致抗蚀剂和稀释剂等。另外，液体药品可以为化妆品。化妆品可以举出洁面乳、洗面奶、化妆水、美容液、乳液、雪花膏、凝胶等以调节肤质自身为目的的基础化妆品、及防止口臭、体臭、痱子、溃烂、脱毛等、育毛或除毛、驱除老鼠及害虫等的相当于医药部外品的药用化妆品等。

金属主要为有机金属化合物，以微小的粒状、粉体或溶解于有机溶剂等中而形成的液体形式使用。有机金属化合物可以举出氯(乙氧基羰基甲基)锌之类的有机锌化合物、二甲基铜锂之类的有机铜化合物、格氏试剂、碘化甲基镁、二乙基镁之类的有机镁化合物、正丁基锂之类的有机锂化合物、以羰基金属、碳烯复体、二茂铁为代表的茂金属等有机金属化合物、溶解于石蜡油的单元素或多元素混合标准液等。另外，也包含硅、砷、硼等半金属的化合物及铝之类的贱金属。有机金属化合物在石油化学制品的制造及有机聚合物的制造中优选用作催化剂。

另外，也可以通过在一个物质流动的线路60内流通废液、在另一物质流动的线路61内流通pH调节剂或絮凝剂，由此通过使用流体混合器65的装置进行混合。pH调节剂使用上述pH调节剂，絮凝剂只要可以进行废液的凝聚就没有特别限定，可以举出硫酸铝、聚合硫酸铁、聚合氯化铝、聚硅酸铁、硫酸钙、氯化铁、消石灰等。微生物只要为促进废液发酵及分解的微生物即可，可以举出霉菌、酵母等菌类、及细菌等细菌类等。

另外，也可以通过在一个物质流动的线路60内流通第一石油类、在另一物质流动的线路61内流通第二石油类、添加剂、或水，由此通过使用流体混合器65的装置进行混合。在此，所谓第一、第二石油类为以烃为主成分且还包含少量硫、氧、氮等各种物质的液状油，可以举出石脑油(汽油)、煤油、轻油、重油、润滑油、沥青等。这里所说的添加剂是指为了提高及保持石油类的品质而添加的物质，作为润滑油添加剂，可以举出清洗分散剂、抗氧化剂、粘度指数改进剂/降凝剂、油性添加剂/极压添加剂、防摩损剂、防锈/防腐蚀剂等，作为润滑脂添加剂，可以举出结构稳定剂、填充剂等、燃料油添加剂等。这里所说的水只要是纯水、蒸馏水、自来水、工业用水等符合混合的物质的条件的水就没有特别限定。另外，水的温度也没有特别限定，可以是温水也可以是冷水。

另外，也可以在一个物质流动的线路60内流通第一树脂、在另一物质流动的线路61内流通第二树脂、溶剂、固化剂、着色剂，由此通过使用流体混合器65的装置进行混合。这里所说的树脂是熔融树脂、液体树脂等粘接剂的主成分、涂料的涂膜形成成分。熔融树脂只要是可以进行注射成形及挤出成形的树脂就没有特别限定，可以举出聚乙烯、聚丙烯、聚氯乙烯、聚苯乙烯、四氟乙烯-全氟烷基乙烯基醚共聚物、ABS树脂、丙烯酸树脂、聚酰胺、尼龙、聚缩醛、聚碳酸酯、改性聚苯醚、聚对苯二甲酸丁二醇酯、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚苯硫醚、聚醚醚酮等。

液体树脂等粘接剂的主成分可以举出丙烯酸树脂系粘接剂、α-烯烃系粘接剂、氨基甲酸酯树脂系粘接剂、醚系纤维素、乙烯-醋酸乙烯酯树脂粘接剂、环氧树脂系粘接剂、氯乙烯树脂溶剂系粘接剂、氯丁二烯橡胶系粘接剂、醋酸乙烯酯树脂系粘接剂、氰基丙烯酸酯系粘接剂、硅酮系粘接剂、水性高分子-异氰酸酯系粘接剂、苯乙烯-丁二烯橡胶溶液系粘接剂、苯乙烯-丁二烯橡胶系乳胶粘接剂、丁腈橡胶系粘接剂、硝基纤维素粘接剂、反应性热熔粘接剂、酚醛树脂系粘接剂、改性硅酮系粘接剂、聚酰胺树脂热熔粘接剂、聚酰亚胺系粘接剂、聚氨酯树脂热熔粘接剂、聚烯烃树脂热熔粘接剂、聚醋酸乙烯酯树脂溶液系粘接剂、聚苯乙烯树脂溶剂系粘接剂、聚乙烯醇系粘接剂、聚乙烯基吡咯烷酮树脂系粘接剂、聚乙烯醇缩丁醛树脂系粘接剂、聚苯并咪唑粘接剂、聚甲基丙烯酸酯树脂溶液系粘接剂、三聚氰胺树脂系粘接剂、脲树脂系粘接剂、间苯二酚系粘接剂等。作为涂料的涂膜形成成分，可以举出丙烯酸树脂、氨基甲酸酯树脂、三聚氰胺树脂等。

作为溶剂，可以举出己烷、苯、甲苯、二乙基醚、氯仿、醋酸乙酯、四氢呋喃、二氯甲烷、丙酮、乙腈、二甲基亚砜、二甲基甲酰胺、二甲基乙酰胺、N-甲基吡咯烷酮、乙醇、甲醇等。作为固化剂，可以举出聚胺、酸酐、胺类、过氧化物、糖精等。作为着色剂，可以举出氧化锌、铅白、锌钡白、二氧化钛、沉淀性硫酸钡、重晶石粉、铅丹、氧化铁红、铬黄、锌铬、群青蓝、亚铁氰化钾、炭黑等颜料。

在此，在上述树脂为熔融树脂的情况下，可以形成由成形机或挤出机向流体混合器65流入熔融树脂的装置(未图示)，例如在为成形机时，在成形机的喷嘴和模具之间配置流体混合器65而进行注射成形，或者在为挤出机时，在挤出机和模头之间配置流体混合器65而进行挤出成形。该情况下，可以使树脂内的温度均匀化、使树脂的粘度稳定，抑制厚度不均及内部应力的产生，并可以使色彩不均消失。

另外，也可以在一个物质流动的线路60内流通第一食品原料、在另一物质流动的线路61内流通第二食品原料、食品添加剂、调味料、不燃性气体，由此通过使用流体混合器65的装置进行混合。

第一、第二食品原料为可以在配管内流动的饮料或食品即可，可以举出日本酒、烧酒、啤酒、威士忌、葡萄酒、伏特加酒等醇饮料；牛奶、酸奶、黄油、奶油、奶酪、炼乳、乳脂等乳制品；果汁、茶、咖啡、豆奶、水等饮料；汤汁、大酱汤、清汤、玉米汤、猪骨汤等饮料食品；以及果冻、魔芋、布丁、巧克力、冰激凌、糖果、豆腐、鱼肉加工食品、搅拌好的鸡蛋、明胶等各种食品原料等。另外，如果可以流动，可以是固体或粉体，可以举出小麦粉、淀粉、强力粉、薄力粉、荞麦面、奶粉、咖啡、可可等粉原料、及果肉、裙带菜、芝麻、海青菜(green laver)、干松鱼削成的薄片、面包面粉、切碎或磨碎的食品等小固体食品等。

食品添加剂可以举出红糖、浓缩甘蔗汁(evaporated cane juice)、果糖、麦芽糖、蜂蜜、糖蜜、槭糖浆、糖稀、赤藓酮糖、海藻糖、麦芽糖醇、帕拉金糖、木糖醇、山梨糖醇、索马甜(somatin)、糖精钠、环己烷氨基碘酸、甘素(dulcin)、阿斯巴甜、安塞蜜(acesulfame potassium)、三氯蔗糖、纽甜(neotame)等甜味剂；焦糖色素、栀子色素、花色素苷色素、胭脂树橙色素、辣椒色素、红花色素、红曲色素、类黄酮色素、洋红色素、苋菜红、赤藓红、阿洛拉红AC、新胭脂红、焰红染料、孟加拉玫瑰红、酸性红、酒石黄、日落黄FCF、坚牢绿FCF、亮兰FCF、靛蓝胭脂红等着色料；苯甲酸钠、ε-聚赖氨酸、鱼精蛋白萃取物(精蛋白)、山梨酸钾、钠、脱氢醋酸钠、崖柏素(桧醇)等防腐剂；抗坏血酸、生育酚、二丁基羟基甲苯、丁基羟基茴香醚、异抗坏血酸钠、亚硫酸钠、二氧化硫、绿原酸、儿茶素等抗氧化剂；香料等。

调味料可以举出酱油、沙士(sauce)、醋、油、辣油、大酱、番茄汁、蛋黄酱、调味汁、甜料酒等液体物质，及砂糖、盐、胡椒、花椒、粉辣椒等粉体物质等。微生物是促进食品发酵及分解的物质，为蘑菇(mushroom)、霉菌、酵母等菌类；及细菌等细菌类。作为菌类，可以举出各种蘑菇或曲霉菌等，作为细菌类，例如可以举出双叉杆菌、乳酸菌、杆菌等。作为不燃性气体，可以举出二氧化碳气体等，例如可以将麦汁和二氧化碳气体混合而用于生产啤酒等。

另外，也可以在一个物质流动的线路60内流通空气、在另一个物质流动的线路61内流通可燃性气体，由此通过使用流体混合器65的装置进行混合。作为可燃性气体，可以举出甲烷、乙烷、丙烷、丁烷、戊烷、乙炔、氢、一氧化碳、氨、二甲基醚等。

另外，也可以在一个物质流动的线路60内流通第一不燃性气体、在另一个物质流动的线路61内流通第二不燃性气体或蒸汽，由此通过使用流体混合器65的装置进行混合。作为不燃性气体，可以举出氮、氧、二氧化碳、氩气、氦气、硫化氢气体、二氧化硫气体、硫氧化物气体等。另外，作为上述的其它组合，可以在一个物质流动的线路60内流通水、液体药品、食品原料，在另一物质流动的线路内流通空气、不燃性气体、蒸汽，由此通过使用流体混合器65的装置进行混合。

另外，也可以在一个物质流动的线路60内流通第一合成中间体、在另一物质流动的线路61内流通第二合成中间体、添加剂、液体药品或金属，由此通过使用流体混合器65的装置进行混合。所谓第一、第二合成中间体，是指在形成目标化合物之前的多阶段的合成路线中出现的合成在途中阶段的化合物，可以举出混合多个药品的合成途中的化合物、树脂的精制途中的化合物、及医药中间体等。

另外，用上述图14的使用流体混合器的装置混合的物质的组合可以进一步使用图15的装置等分别组合。另外，在图14、图15的使用流体混合器的装置中，可以在合流之前的物质的流动的各个线路设置加热器或汽化器(未图示)，也可以在流体混合器的下游侧设置热交换器(未图示)。另外，也可以在合流之前的一个物质流动的线路配置测量仪，并具有根据用测量仪测量的参数调节另一物质流动的线路的泵的输出功率的控制部(未图示)，还可以具有在另一物质流动的线路设置控制阀并根据测量仪的参数调节控制阀的开度的控制阀(未图示)。此时，测量仪只要为可以测量所需的流体的参数，就可以为流量计、流速计、浓度计、pH测定仪。另外，可以在线路的合流部的下游侧的流路设置静态混合器，由于用流体混合器进行流路的轴向均匀化，用静态混合器进行流路的径向均匀化，因此，可以更均匀地进行流体的混合。

另外，以上基于特定的实施方式对本发明进行了详细叙述，但本领域技术人员可以在不脱离本发明的权利要求书及思想的情况下进行各种变更、修正等。

符号说明

1第一流路

2螺旋流路

3第二流路

4a～4e分支流路

5流体入口

6流体出口

7主体部

8流体入口

9第一流路

10流体出口

11第二流路

12螺旋槽

13连通孔

14圆筒体

15螺旋流路

41第一流路

42螺旋流路

43第二流路

44a～44e分支流路

45流体入口

46流体出口

47主体部

48流体出口

49第二流路

50螺旋槽

51连通孔

52圆筒体

53螺旋流路

54流体入口

55第一流路

Claims (26)

1.一种流体混合器，其特征在于，其具有：流体入口、在一端部连接有该流体入口的直线形的第一流路、与该第一流路在同轴上相互分开地配置的直线形的第二流路、配置于该第二流路的周围且连接于该第一流路的另一端部的一个螺旋流路、从该螺旋流路的不同位置分别分支且分别连接在包含该第二流路的一端部的不同位置的多个分支流路和连接于该第二流路的另一端部的流体出口；

其中，所述螺旋流路以所述第二流路作为中心轴且按照不与所述第二流路相互交叉的方式配置，所述螺旋流路的长度比所述第二流路长。

2.如权利要求1所述的流体混合器，其特征在于，其具备：

主体部：所述主体部形成为：在一个端面配置有所述流体入口，在另一端面配置有所述流体出口，在外周形成有螺旋槽，与所述螺旋槽的螺旋的中心轴同轴地配置有所述第二流路，而且多个连通孔分别连通所述第二流路和所述螺旋槽；和

筐体：其与该主体部的外周面嵌合；

其中，由所述螺旋槽及所述筐体的内周面形成所述螺旋流路，所述连通孔成为所述分支流路。

3.如权利要求1所述的流体混合器，其特征在于，其具备：

主体部：所述主体部形成为：在一个端面配置有所述流体出口，在外周形成有螺旋槽，与所述螺旋槽的螺旋的中心轴同轴地配置有所述第二流路，而且多个连通孔分别连通所述第二流路和所述螺旋槽；和

筐体：其与该主体部的外周面嵌合；

其中，在该筐体的外周形成所述流体入口，由所述螺旋槽及所述筐体的内周面形成所述螺旋流路，所述连通孔成为所述分支流路。

4.如权利要求1～3中任一项所述的流体混合器，其特征在于，所述螺旋流路以通路截面积从与所述第一流路连接的一端部朝向另一端部逐渐减小的方式形成。

5.如权利要求2或3所述的流体混合器，其特征在于，所述第二流路的内周面从上游侧朝向所述流体出口被逐渐扩径地形成。

6.如权利要求2或3所述的流体混合器，其特征在于，所述连通孔各自的通路截面积被相同地形成。

7.如权利要求2或3所述的流体混合器，其特征在于，在所述筐体上设置有套筒连接部。

8.如权利要求2或3所述的流体混合器，其特征在于，所述筐体由2个以上的部件形成，而且在该部件上分别设置凸缘部，并用夹具固定该凸缘部。

9.如权利要求8所述的流体混合器，其特征在于，所述筐体由2个圆筒部构成，在该圆筒部的一端部外周设置凸缘部和另一端部被缩径而成的缩径部，在2个该圆筒部的该凸缘部侧开口部嵌插所述主体部，并用夹具固定各该凸缘部。

10.如权利要求2或3所述的流体混合器，其特征在于，所述筐体由主体和闭塞中空室的开口的盖体构成，所述主体在下部设置有开口的中空室，且在该中空室上分别连通有入口流路和出口流路；所述主体部嵌合配置于该筐体的中空室。

11.一种使用流体混合器的装置，其特征在于，在流动物质的温度或浓度经时变化的线路中，利用权利要求1～3中任一项所述的流体混合器使该物质的温度或浓度均匀化。

12.如权利要求11所述的使用流体混合器的装置，其特征在于，所述物质为气体或液体。

13.一种使用流体混合器的装置，其特征在于，在至少2个物质的混合比率经时变化的线路中，利用权利要求1～3中任一项所述的流体混合器使该物质的混合比率均匀化。

14.如权利要求13所述的使用流体混合器的装置，其特征在于，在至少2个物质各自流动的线路的合流部的下游侧配置有所述流体混合器。

15.如权利要求13所述的使用流体混合器的装置，其特征在于，所述物质为气体、液体、固体中的任一种。

16.如权利要求12或15所述的使用流体混合器的装置，其特征在于，所述物质至少为水、以及pH调节剂、液体肥料、漂白剂、杀菌剂、表面活性剂或液体药品中的任一种。

17.如权利要求12或15所述的使用流体混合器的装置，其特征在于，所述物质至少为第一液体药品以及第二液体药品或金属。

18.如权利要求12或15所述的使用流体混合器的装置，其特征在于，所述物质至少为废液、以及pH调节剂、絮凝剂或微生物。

19.如权利要求12或15所述的使用流体混合器的装置，其特征在于，所述物质至少为第一石油类、以及第二石油类、添加剂或水。

20.如权利要求12或15所述的使用流体混合器的装置，其特征在于，所述物质至少为粘接剂以及固化剂。

21.如权利要求12或15所述的使用流体混合器的装置，其特征在于，所述物质至少为第一树脂、以及第二树脂、溶剂、固化剂或着色剂中的任一种。

22.如权利要求12或15所述的使用流体混合器的装置，其特征在于，所述物质至少为第一食品原料、以及第二食品原料、食品添加剂、调味料、微生物或不燃性气体中的任一种。

23.如权利要求12或15所述的使用流体混合器的装置，其特征在于，所述物质至少为空气以及可燃性气体。

24.如权利要求12或15所述的使用流体混合器的装置，其特征在于，所述物质至少为第一不燃性气体以及第二不燃性气体。

25.如权利要求12或15所述的使用流体混合器的装置，其特征在于，所述物质至少为水、液体药品或食品原料中的任一种；以及空气、不燃性气体中的任一种。

26.如权利要求12或15所述的使用流体混合器的装置，其特征在于，所述物质为第一合成中间体、以及第二合成中间体、添加剂、液体药品或金属中的任一种。