CN102094247B - 磷扩散炉管两端进气装置 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及扩散炉技术领域，特别是一种磷扩散炉管两端进气装置。它包括两根在炉管内延伸的进气管，每根进气管的两端均连接到气源，每根进气管两端通入的为同一种反应气体，并可通过阀门调节两端的进气比率，一根进气管通入O2，一根进气管通入POCL3，进气管上有均匀分布的出气孔，出气孔的出气方向平行与硅片表面，两根进气管分别通入不同的反应气体。本发明通过从炉口，炉尾同时通进反应气体，达到调整管内气体分布，改善方阻均匀性的目的。

Description

磷扩散炉管两端进气装置
技术领域
本发明涉及扩散炉技术领域，特别是一种磷扩散炉管两端进气装置。
背景技术
现有扩散设备中由于POCl3液体源扩散中，携带磷源的气流N2、反应气体O2直接通过一根进气管从炉尾进入炉管，靠近炉口处气体的浓度将比炉尾出气流低，导致整管方阻片间均匀性较差。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是：提高磷扩散后的片内、片间方阻均匀性，达到较好的整管方阻分布。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种磷扩散炉管两端进气装置，包括两根在炉管内延伸的进气管，每根进气管的两端均连接到气源，每根进气管两端通入的为同一种反应气体，并通过阀门调节每根进气管的两端的进气比率，进气管上有均匀分布的出气孔，出气孔的出气方向平行与硅片表面，两根进气管分别通入不同的反应气体。
两根进气管上的出气孔的出气方向相互垂直。
两根进气管的延伸方向与炉管的轴向平行，并且分别位于炉管5点半和7点半方向。
不同的反应气体分别为由N2携带的POCl3，以及O2。
本发明的有益效果是：本发明通过从炉口，炉尾同时通进反应气体，达到调整管内气体分布，改善方阻均匀性的目的。
附图说明
下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。
图1是炉管内部进气方式侧视图；
图2是炉管内部进气方式截面图；
图中：1.炉管，2.进气管，3.出气孔，4.硅片。
具体实施方式
如图1所示，一种磷扩散炉管两端进气装置，包括两根在炉管1内延伸的进气管2，每根进气管2的两端均连接到气源，每根进气管2两端通入的为同一种反应气体，并通过阀门调节每根进气管的两端的进气比率，进气管2上有均匀分布的出气孔3，出气孔3的出气方向平行与硅片4表面，两根进气管2分别通入不同的反应气体，来防止气体提前反应。两根进气管2上的出气孔3的出气方向相互垂直。两根进气管2的延伸方向与炉管1的轴向平行，并且分别位于炉管15点半和7点半方向。不同的反应气体分别为由N2携带的POCl3，以及O2。

Claims (4)

1.一种磷扩散炉管两端进气装置，其特征是：包括两根在炉管（1）内延伸的进气管（2），每根进气管（2）的两端均连接到气源，每根进气管（2）两端通入的为同一种反应气体，并通过阀门调节每根进气管的两端的进气比率，进气管（2）上有均匀分布的出气孔（3），出气孔（3）的出气方向平行与硅片（4）表面，两根进气管（2）分别通入不同的反应气体。
2.根据权利要求1所述的磷扩散炉管两端进气装置，其特征是：所述的两根进气管（2）上的出气孔（3）的出气方向相互垂直。
3.根据权利要求1或2所述的磷扩散炉管两端进气装置，其特征是：所述的两根进气管（2）的延伸方向与炉管（1）的轴向平行，并且分别位于炉管（1）5点半和7点半方向。
4.根据权利要求1所述的磷扩散炉管两端进气装置，其特征是：所述的不同的反应气体分别为由N2携带的POCl3，以及O2。
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