CN203976978U - 一种新型扩散炉 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种新型扩散炉，包括炉门、及与炉门相连的炉体，所述炉门上设有与炉体内腔相通的进气装置，所述炉体内设有用于放置硅片的石英舟，所述石英舟上缠绕有螺旋管，所述螺旋管上设有送气孔，所述炉体内还设有排气管，所述排气管上设有若个排气孔排气管的另一端穿出炉体侧壁上的出气孔，且该端的排气管与尾气管道相连，所述进气装置包括储气箱体、进气管道，所述储气箱体上端设有出口，该出口处与波纹管相连，所述波纹管另一端与炉体内的螺旋管相连，出气孔处炉体的侧壁上设有设有排风管。本实用新型的有益效果是：设置进气装置，在进气之前，将气体充分混合，保证了反应的均匀性，更好的改善了扩散方阻的均匀性。
Description
技术领域
本实用新型属于太阳能光伏电池制造技术领域，尤其是涉及一种新型扩散炉。
背景技术
扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导限位等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。扩散工艺的主要用途是在高温条件下对半导体晶圆进行掺杂，即将元素磷、硼扩散入硅片，从而改变半导体内杂质的类型、浓度和分布，以便建立起不同的点特性区域。
目前的扩散炉存在以下缺点：首先随着方阻的提升，扩散方阻的均匀性逐渐恶化，会导致电池质量下降，产生良率异常等问题；工作时，扩散炉内炉口与炉尾的方块电阻存在差异，减少了方块电阻的均匀性，降低了电池电性能(；扩散炉在装载硅片时，会有一些粉尘、颗粒附在硅片表面，随之送入到炉口内部高温区域后，会扩散到硅片中从而影响其质量。
发明内容
本实用新型的目的是提供一种结构简单、操作方便、去除硅片表面上的灰尘和提高方块方阻的均匀性的新型扩散炉，尤其适合生产太阳能电池生产线中。
本实用新型的技术方案是：一种新型扩散炉，包括炉门、及与炉门相连的炉体，所述炉门上设有与炉体内腔相通的进气装置，所述炉体内设有用于放置硅片的石英舟，所述石英舟上缠绕有螺旋管，所述螺旋管上设有送气孔，所述送气孔设在靠近硅片侧，所述炉体内还设有排气管，所述排气管上设有若个排气孔，排气孔为朝向石英舟上的硅片，伸入炉体内腔的排气管端为封闭的，排气管的另一端穿出炉体侧壁上的出气孔，且该端的排气管与尾气管道相连，所述进气装置包括储气箱体、进气管道，所述储气箱体的下端设有3个通向大气的进气管道，进气管道上设有若干个孔，所述储气箱体上端设有出口，该出口处与波纹管相连，所述波纹管另一端与炉体内的螺旋管相连，出气孔处炉体的侧壁上设有设有排风管，所述排风管上至少开设有一个进风口，所述排风管上的出气口与抽风机相连。
进一步，排气管上均匀设有8个排气孔。
进一步，所述尾气管道与气体过滤装置相连。
进一步，所述排气管与尾气管道连接处设有密封圈，所述密封圈的两端分别与排气管、尾气管道相连，所述密封圈的内外表面为柔韧性好耐高温的有机硅胶。
进一步，所述排风管上开设有2个进风口。
进一步，所述位于排风管上的进风口处设有推盖。
本实用新型具有的优点和积极效果是：由于采用上述技术方案，设置进气装置，在进气之前，将气体充分混合，保证了反应的均匀性，更好的改善了扩散方阻的均匀性；炉体内排气管上设有排气孔，有效降低了扩散炉内炉口与炉尾的方块电阻差异，提高了方块电阻的均匀性；石英舟上盘绕有带有送气孔的螺旋管，可以全方位的吹扫硅片上的粉尘、颗粒，可以方便的避免了粉尘、颗粒在高温时扩散到硅片中。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图。
图2是本实用新型的螺旋管示意图。
图3是本实用新型的出气孔处的结构示意图。
图中：
1、炉门 2、炉体 3、硅片
4、石英舟 5、螺旋管 6、送气孔
7、排气管 8、排气孔 9、出气孔
10、尾气管道 11、储气箱体 12、进气管道
13、通孔 14、出口 15、波纹管
16、排风管 17、进风口 18、推盖
19、密封圈
具体实施方式
如图1-3所示，
本实用新型的技术方案为：一种新型扩散炉，包括炉门1、及与炉门1相连的炉体2，所述炉门1上设有与炉体2内腔相通的进气装置，所述炉体2内设有用于放置硅片3的石英舟4，所述石英舟4上缠绕有螺旋管5，所述螺旋管5上设有送气孔6，所述送气孔6设在靠近硅片3侧，用于吹掉硅片3上的灰尘、颗粒，所述炉体2内还设有排气管7，所述排气管7上设有8个排气孔8，排气孔8为朝向石英舟4上的硅片3，使炉口与炉尾的方块电阻差异减少，提高了方块电阻的均匀性，伸入炉体2内腔的排气管7端为封闭的，排气管7的另一端穿出炉体2侧壁上的出气孔9，且该端排气管7与尾气管道10相连，所述尾气管道10与气体过滤装置相连，所述排气管7与尾气管道10连接处设有密封圈19，所述密封圈19的两端分别与排气管7、尾气管道10相连，所述密封圈19内外表面为柔韧性好耐高温的有机硅胶，所述进气装置包括储气箱体11、进气管道12，所述储气箱体11的下端设有3个通向大气的进气管道12，进气管道12上设有若干个通孔13，所述储气箱体11上端设有出口14，该出口14处与波纹管15相连，所述波纹管15另一端与炉体1内的螺旋管5相连，出气孔9处的炉体2侧壁上设有设有排风管16，所述排风管16上开设有2个进风口17，所述位于排风管16上的进风口17处设有推盖18，所述排风管16上的出气口与抽风机相连。
本实例的工作过程：设置进气装置，在进气之前，将气体充分混合，保证了反应的均匀性，更好地改善了扩散方阻的均匀性；炉体2内排气管7上设有排气孔8，有效降低了扩散炉内炉口与炉尾的方块电阻差异，提高了方块电阻的均匀性；石英舟4上盘绕有带有送气孔6的螺旋管5，可以全方位的吹扫硅片3上的粉尘、颗粒，可以方便的避免了粉尘、颗粒在高温时扩散到硅片3中。
以上对本实用新型的一个实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本实用新型的较佳实施例，不能被认为用于限定本实用新型的实施范围。凡依本实用新型申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本实用新型的专利涵盖范围之内。
Claims (6)
1.一种新型扩散炉，其特征在于：包括炉门、及与炉门相连的炉体，所述炉门上设有与炉体内腔相通的进气装置，所述炉体内设有用于放置硅片的石英舟，所述石英舟上缠绕有螺旋管，所述螺旋管上设有送气孔，所述送气孔设在靠近硅片侧，所述炉体内还设有排气管，所述排气管上设有若个排气孔，排气孔为朝向石英舟上的硅片，伸入炉体内腔的排气管端为封闭的，排气管的另一端穿出炉体侧壁上的出气孔，且该端的排气管与尾气管道相连，所述进气装置包括储气箱体、进气管道，所述储气箱体的下端设有3个通向大气的进气管道，进气管道上设有若干个孔，所述储气箱体上端设有出口，该出口处与波纹管相连，所述波纹管另一端与炉体内的螺旋管相连，出气孔处炉体的侧壁上设有设有排风管，所述排风管上至少开设有一个进风口，所述排风管上的出气口与抽风机相连。
2.根据权利要求1所述的一种新型扩散炉，其特征在于：排气管上均匀设有8个排气孔。
3.根据权利要求2所述的一种新型扩散炉，其特征在于：所述尾气管道与气体过滤装置相连。
4.根据权利要求3所述的一种新型扩散炉，其特征在于：所述排气管与尾气管道连接处设有密封圈，所述密封圈的两端分别与排气管、尾气管道相连，所述密封圈的内外表面为柔韧性好耐高温的有机硅胶。
5.根据权利要求4所述的一种新型扩散炉，其特征在于：所述排风管上开设有2个进风口。
6.根据权利要求5所述的一种新型扩散炉，其特征在于：所述位于排风管上的进风口处设有推盖。
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Cited By (3)
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|---|---|---|---|---|
| CN105551948A (zh) * | 2015-12-11 | 2016-05-04 | 合肥海润光伏科技有限公司 | 一种提高太阳电池扩散均匀性的装置及其方法 |
| CN106435740A (zh) * | 2016-11-11 | 2017-02-22 | 桂林电子科技大学 | 一种立式太阳能硅片扩散炉 |
| CN106960785A (zh) * | 2017-05-09 | 2017-07-18 | 无锡赛晶太阳能有限公司 | 一种改善扩散均匀性的炉管 |
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