CN201793816U - 磷扩散炉尾上下进气管多点进气装置 - Google Patents
磷扩散炉尾上下进气管多点进气装置 Download PDFInfo
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Abstract
本实用新型涉及扩散炉技术领域，特别是一种磷扩散炉尾上下进气管多点进气装置。它包括进气管，进气管从炉尾伸入炉内后一分为二，分为上进气管和下进气管，上进气管和下进气管分别位于炉管的上部和下部，上进气管和下进气管上开有多个出气孔，出气孔方向平行硅片表面。通入的反应气体可以通过上下进气管上的多点出气孔出气，提高磷扩散后的片内、片间方阻均匀性，达到较好的整管方阻分布。
Description
技术领域
本实用新型涉及扩散炉技术领域，特别是一种磷扩散炉尾上下进气管多点进气装置。
背景技术
由于POCl3液体源扩散中，携带磷源的气流直接从炉尾进入炉管，靠近炉口处反应气体的浓度将比炉尾处低，导致整管方阻片间，片内均匀性较差。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是：靠近炉口处反应气体的浓度将比炉尾处低，导致整管方阻片间，片内均匀性较差。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种磷扩散炉尾上下进气管多点进气装置，包括进气管，进气管从炉尾伸入炉内后一分为二，分为上进气管和下进气管，上进气管和下进气管分别位于炉管的上部和下部，上进气管和下进气管上开有多个出气孔，出气孔方向平行硅片表面。
上进气管和下进气管为石英材质。
本实用新型的有益效果是：通入的反应气体可以通过上下进气管上的多点出气孔出气，提高磷扩散后的片内、片间方阻均匀性，达到较好的整管方阻分布。
附图说明
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明；
图1是炉管内部进气方式侧视图；
图2是炉管内部进气方式截面图；
其中：1.上进气管，2.下进气管，3.炉管，4.尾气管，5.硅片。
具体实施方式
现在结合附图1和2对本实用新型作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。
如图1和2所示，一种磷扩散炉尾上下进气管多点进气装置，包括进气管，进气管从炉尾伸入炉内后一分为二，分为上进气管1和下进气管2，如图2所示，上进气管1和下进气管2分别位于炉管3的上部和下部，12点和6点方向各一根，上进气管1和下进气管2上开有多个出气孔，出气孔方向平行硅片5表面。上进气管1和下进气管2为石英材质。炉管3内的尾气通过尾气管4排出炉管。
通入的反应气体可以通过上下进气管上的多点出气孔出气，气流从各出气孔平行吹到硅片表面，从硅片上部和下部同时进入，提高片内、片间均匀性。
Claims (2)
1.一种磷扩散炉尾上下进气管多点进气装置，包括进气管，其特征是：所述的进气管从炉尾伸入炉内后一分为二，分为上进气管(1)和下进气管(2)，上进气管(1)和下进气管(2)分别位于炉管(3)的上部和下部，上进气管(1)和下进气管(2)上开有多个出气孔，出气孔方向平行硅片表面。
2.根据权利要求1所述的磷扩散炉尾上下进气管多点进气装置，其特征是：所述的上进气管(1)和下进气管(2)为石英材质。
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| CN2010205483335U CN201793816U (zh) | 2010-09-29 | 2010-09-29 | 磷扩散炉尾上下进气管多点进气装置 |
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Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102433589A (zh) * | 2011-12-09 | 2012-05-02 | 东南大学 | 一种多端进排气可控型扩散炉管 |
| CN105734675A (zh) * | 2016-04-19 | 2016-07-06 | 温州巨亮光伏科技有限公司 | 一种晶圆氧化用高温扩散炉管 |
| CN106929923A (zh) * | 2015-12-31 | 2017-07-07 | 无锡华润华晶微电子有限公司 | 一种石英炉管 |
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2010
- 2010-09-29 CN CN2010205483335U patent/CN201793816U/zh not_active Expired - Fee Related
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| GR01 | Patent grant | ||
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Address after: Solar photovoltaic industry park Tianhe Road 213031 north of Jiangsu Province, Changzhou City, No. 2 Patentee after: TRINA SOLAR Co.,Ltd. Address before: Solar photovoltaic industry park Tianhe Road 213031 north of Jiangsu Province, Changzhou City, No. 2 Patentee before: trina solar Ltd. |
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| CP01 | Change in the name or title of a patent holder | ||
| CP03 | Change of name, title or address |
Address after: Solar photovoltaic industry park Tianhe Road 213031 north of Jiangsu Province, Changzhou City, No. 2 Patentee after: trina solar Ltd. Address before: 213031, No. 2, Tianhe Road, Xinbei Industrial Park, Jiangsu, Changzhou Patentee before: CHANGZHOU TRINA SOLAR ENERGY Co.,Ltd. |
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Granted publication date: 20110413 Termination date: 20180929 |
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