CN201381378Y - 制备太阳电池的石英炉管 - Google Patents

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郭唯博
李达非
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本实用新型公开了一种制备太阳电池的石英炉管，该石英炉管是将通常使用的封口式石英炉管改造为两端开口的形式，其通过开口处安装两根细长的小石英气管固定在炉管内壁上，通过小石英气管上设置均匀分布的气孔，保证炉管内气氛均匀，解决了制备太阳电池扩散过程中批次间气流不均引起方块电阻不均匀的问题，并且降低气体消耗量，提高了电池转换效率的稳定性，极大的降低了制造成本，提高产品寿命。

Description

制备太阳电池的石英炉管
技术领域
本实用新型属于一种高温耐火产品技术领域，具体涉及一种在制备太阳电池过程中使用的石英炉管。
背景技术
太阳电池在制备过程中必须通过掺杂形成PN结，通常有杂质扩散、离子注入等方式，杂质扩散是最常用的PN结制备方法。在太阳电池制造行业，杂质扩散工艺通常采用国产化设备，使用直径150-300mm不等的石英炉管在炉膛尾部收尾的方式接入各种工艺气体，通入的气体从炉膛尾部通向炉膛口，在炉管尾部的扩散气氛相对于炉管口处要重一些，在横向上掺杂氛围浓度存在不均匀分布，因此影响到杂质扩散效果的均匀性。另外，由于推舟机构速度较慢，靠近炉尾处的硅片在高温下的时间相对炉口处的硅片时间要长，引起炉尾处硅片的扩散程度浓度高，也引起了批次间的不均匀性，直接对太阳能电池光电转换效率有影响，因此造成产品扩散均匀性差，制造成本高，使用寿命短等问题。
实用新型内容
本实用新型要解决的问题是在制备太阳电池的过程中提高杂质扩散均匀性，本实用新型为解决问题提出一种制备太阳电池的石英炉管，该石英炉管是将通常使用的封口式石英炉管改造为两端开口的形式，其通过开口处安装两根细长的小石英气管固定在炉管内壁上，所述的小石英气管上设有均匀分布的气孔，工艺气体通过石英炉管尾部开口处的进气口进入炉管，由于气管内各处的气压不同，小石英气管上的气孔分布从炉管开始逐渐由小变大、由疏变密，形成不均匀分布来保证炉管内气氛均匀
由于采用本实用新型，其解决了制备太阳电池扩散过程中批次间气流不均引起方块电阻不均匀的问题，并且降低气体消耗量，提高了电池转换效率的稳定性，极大的降低了制造成本，提高产品寿命。
附图说明
图1是石英炉管的结构示意图
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型作进一步说明
如图1所示，是石英炉管的结构示意图，由两端开口的石英炉管1、小石英气管2组成，所述的石英炉管为高纯度的石英玻璃制体，其开口处的一端设有两个安装小石英气管的通孔，由于石英炉管1尾部不再封口而采用两端开口的形式，其开口处可以将两根细长的小石英气管2固定安装在炉管内壁上，并且在小石英气管2上设有均匀分布的气孔，工艺气体通过石英炉管1的尾部进入气腔，在当工艺气体携源氮气量设置为1600～3500ml/min，氧气量1200～3000ml/min时，由于炉管内各处的气压不同，迫使小石英气管2上的气孔分布从石英炉管开始逐渐由小变大、由疏变密，形成不均匀分布来保证石英炉管内气氛均匀扩散，经实验产品硅片中间和四角共5点处的方块电阻，得到方阻为49～51，均匀性达到2％，优于传统的尾部进气扩散方式。

Claims (2)

1、制备太阳电池的石英炉管，其特征在于，石英炉管[1]为两端开口的高纯度石英玻璃制体，其内壁装有两根细长的小石英气管[2]；所述小石英气管[2]上设有均匀分布的气孔，工艺气体通过均匀分布的气孔进入气腔。
2、根据权利要求1所述的制备太阳电池的石英炉管，其特征在于，小石英炉管[2]的尾部与尾部密封连接。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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