CN101872799A - 一种提升太阳电池扩散均匀性的方法 - Google Patents

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郭唯博
李达非
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Abstract

本发明公开一种提升太阳电池扩散均匀性的方法，该方法通过设置石英炉管的温度，将待制备的硅片放入载片舟，放上载片桨，平稳送入石英炉管，打开设置的工艺气体及氮、氧气量开始扩散，本发明采用石英炉管为两端开口式高纯度的石英玻璃制体，在开口处的一端设有两个通孔，将小石英气管固定安装在炉管内壁上，并且在小石英气管上设有均匀分布的气孔，气体从总进气口开始逐渐由小变大、由疏变密，保证石英炉管内气氛均匀。这种扩散方式，批次的均匀性达到5％以内，明显优于传统的尾部进气扩散方式。有效降低成本，提高生产效率。

Description

一种提升太阳电池扩散均匀性的方法
技术领域
本发明涉及一种太阳电池制备方法，具体涉及一种提升太阳电池扩散均匀性的方法。
背景技术
太阳电池作为新兴的清洁可再生能源因具有直接将太阳能转换为电能，且寿命长、维护简单、可实现无人值守等优势而备受瞩目。太阳能电源系统取得了越来越广泛的应用。
太阳电池在制备过程中必须通过掺杂形成PN结，通常有杂质扩散、离子注入等方式，在太阳电池制造行业，杂质扩散是最常用的PN结制备方法。
扩散工艺通常采用国产化设备，使用直径150-300mm不等的石英炉管在炉膛尾部收尾的方式接入各种工艺气体，通入气体时必然是从炉膛尾部通向炉膛口，制造太阳电池时硅片通过载片横梁机构送入石英炉管内，由此存在如下问题：炉管尾部的扩散气氛相对于炉管口处要重一些，在横向上掺杂氛围浓度存在不均匀分布，必然影响到扩散效果的均匀性。另外，由于推舟机构速度较慢，靠近炉尾处的硅片在高温下的时间相对炉口处的硅片时间要长，引起炉尾处硅片的扩散程度相对要深，也引起了批次间的不均匀性，对太阳能电池光电转换效率有影响，因此，有必要寻找一种新的太阳电池制备过程方法来提高扩散均匀性，籍此提高电池转换效率和效率的稳定性。
发明内容
本发明解决的问题是制备太阳电池扩散过程中批次间气流不均引起方块电阻不均匀的问题，本发明由两端开口的石英炉管、小石英气管组成，石英炉管为高纯度的石英玻璃制体，其开口处的一端设有两个安装小石英气管的通孔，固定安装在炉管内壁上，并且在小石英气管上设有均匀分布的气孔，工艺气体通过石英炉管固定安装在炉管内壁上，气体从总进气口开始逐渐由小变大、由疏变密，保证石英炉管内气氛均匀。
其实现步骤如下：
步骤1：
设置石英炉管温度830-910℃，并等待40-60分钟使温度稳定。
步骤2：
将待制备的硅片放入载片舟，放上载片桨，平稳送入石英炉管；在操作界面上打开工艺气体(氮气、氧气)，并在界面上设置携源氮气流量1600-3500ml/min，氧气量1200-3000ml/min开始扩散，实际检测的气体流量在界面上均可以观察到。
步骤3：扩散完成后，载片桨自动退出。用专用工具取下载片舟并冷却后取出硅片，用四探针测试仪测试位于硅片中间和四角共5点的方块电阻，测得扩散后的方块电阻为49-51，均匀性达到了2％。
由于工艺气体通过气孔直接喷射到硅片上，气体的消耗量也相对降低，通过这种扩散方式，批次的均匀性达到5％以内，明显优于传统的尾部进气扩散方式。同时两端开口的方式也能提高生产效率，降低成本。
附图说明
图1是本发明开口式石英炉管结构示意图
具体实施方式
下面结合附图对本发明作进一步说明
图1是本发明开口式石英炉管结构示意图，图中表示石英炉管1，小石英气管2组成进气通道。石英炉管为高纯度的石英玻璃制体，其开口处的一端设有两个安装小石英气管2的通孔，固定安装在炉管内壁上，并且在小石英气管2上设有均匀分布的气孔，工艺气体通过石英炉管1固定安装在炉管内壁的两侧，工作时，气流从小石英管2的入口处进入，通过两侧的小石英气管的开孔均匀地喷射到炉管内1，气体从总进气口开始逐渐由小变大、由疏变密，保证石英炉管内气氛均匀。
其实现步骤如下：
步骤1：
设置石英炉管温度830-910℃。
步骤2：
放入待制备的硅片，打开工艺气体，设置携源氮气流量1600-3500ml/min，氧气量1200-3000ml/min并开始扩散。
步骤3：
扩散完成后用四探针测试仪测试位于硅片中间和四角共5点处的方块电阻，测得扩散后的方块电阻为49-51，均匀性达到了2％。

Claims (3)

1.一种提升太阳电池扩散均匀性的方法，其特征在于，该方法通过如下步骤实现：
步骤1：设置石英炉管[1]的温度830-910℃，并等待40-60分钟使温度稳定；
步骤2：将待制备的硅片放入载片舟，放上载片桨，平稳送入石英炉管[1]中，在操作界面上打开工艺气体(氮气、氧气)，并在界面上设置携源氮气流量1600-3500ml/min，氧气量1200-3000ml/min开始扩散；
步骤3：扩散完成后，载片桨自动退出，用专用工具取下载片舟并冷却后取出硅片，用四探针测试仪测试位于硅片中间和四角共5点的方块电阻，测得扩散后的方块电阻为49-51。
2.根据权利要求1所述的一种提升太阳电池扩散均匀性的方法，其特征在于，步骤1中选用石英炉管[1]为两端开口式高纯度的石英玻璃制体，在开口处的一端设有两个安装小石英气管[2]的通孔。
3.根据权利要求1或2所述的一种提升太阳电池扩散均匀性的方法，其特征在于，所述的小石英气管[2]通过通孔固定安装在石英炉管[1]内壁两侧，且小石英气管[2]上设有均匀分布的气孔。
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Cited By (6)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102200552A (zh) * 2010-11-17 2011-09-28 浙江正泰太阳能科技有限公司 硅片的方块电阻的测试方法及设备
CN103409803A (zh) * 2013-08-22 2013-11-27 天威新能源控股有限公司 用于晶体硅扩散的匀流板及其晶体硅扩散工艺炉
CN112038444A (zh) * 2020-08-05 2020-12-04 英利能源（中国）有限公司 一种n型晶体硅太阳能电池的制作方法及其背面钝化接触结构的制作方法
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CN113600565A (zh) * 2021-06-30 2021-11-05 英利能源（中国）有限公司 一种n型太阳能电池硼扩散炉管的清洁方法
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Cited By (8)

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PB01 Publication
C02 Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001)
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