CN204849126U - 一种扩散炉管进气装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种扩散炉管进气装置，包括混气罐、分别直接与所述混气罐连通的第一进气管和第二进气管，所述混气罐的出气口与扩散炉管的进气口连通，大氮通过所述第一进气管进入所述混气罐，小氮携POCl3通过所述第二进气管进入所述混气罐，所述第二进气管的出气口比所述第一进气管的出气口更靠近所述扩散炉管的进气口。气体先在混气罐中混合再进入扩散炉管，保证POCl3气体可以更均匀地沉积在硅片表面，同时本实施例中还避免了由于POCl3气管倾斜带来的方阻分层问题，提高了扩散方阻的均匀性；另外第二进气管的出气口比第一进气管的出气口更靠近扩散炉管的进气口，可以保证POCl3顺利进气从而与大氮均匀混合，提高扩散方阻的均匀性。
Description
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池领域，尤其涉及一种扩散炉管进气装置。
背景技术
目前，如图1所示，扩散炉管的进气装置中，小氮携POCl3(三氯氧磷)通过伸入到扩散炉管内部的细石英管3’直接通到扩散炉管4’内，大氮从上述细石英管3’外部的套管1’单独进入扩散炉管内，使得进入扩散炉管内的气体混合不均匀，另外POCl3气体管固定不牢易出现倾斜，这都导致扩散方阻的均匀度较差。
因此，亟需发明一种可以提高扩散方阻的均匀度的扩散炉管进气装置。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提出一种可以提高扩散方阻的均匀度的扩散炉管进气装置。
为达此目的，本实用新型提出的技术方案如下：
一种扩散炉管进气装置，包括混气罐、分别直接与所述混气罐连通的第一进气管和第二进气管，所述混气罐的出气口与扩散炉管的进气口连通，大氮通过所述第一进气管进入所述混气罐，小氮携POCl3(三氯氧磷)通过所述第二进气管进入所述混气罐，所述第二进气管的出气口比所述第一进气管的出气口更靠近所述扩散炉管的进气口。
优选地，所述第二进气管的出气口与所述第一进气管的出气口在所述混气罐的轴线方向的间距小于等于2cm且大于等于0.3cm。
优选地，所述混气罐为管状的混气罐且所述混气罐的轴线与所述扩散炉管的轴线共线。
优选地，所述第二进气管伸入所述混气罐中。
优选地，所述第二进气管从所述混气罐的侧壁伸入所述混气罐中；或所述第二进气管从与所述混气罐的出气口相对的所述混气罐的壁面上伸入所述混气罐中。
优选地，所述第二进气管的出气口的轴线与所述混气罐的轴线共线；或所述第二进气管的出气口的轴线与所述混气罐的轴线平行；或所述第二进气管的出气口朝向所述混气罐的轴线。
优选地，所述第一进气管的出气口位于所述混气罐的侧壁上；或所述第一进气管的出气口位于与所述混气罐的出气口相对的所述混气罐的壁面上。
优选地，氧气通过第一进气管进气。
本实用新型的有益效果为：小氮携POCl3从第二进气管进气，大氮从第一进气管进气，两股气体先在混气罐中混合再进入扩散炉管，保证POCl3气体可以更均匀地沉积在硅片表面，同时本实施例中还避免了由于POCl3气管倾斜带来的方阻分层问题，提高了扩散方阻的均匀性；且第二进气管的出气口比第一进气管的出气口更靠近扩散炉管的进气口，可以保证POCl3顺利进气从而与大氮均匀混合，提高扩散方阻的均匀性。
附图说明
图1是现有技术中的扩散炉管进气装置的结构示意图；
图2是本实用新型的实施例提供的扩散炉管进气装置的结构示意图；
图3是图2的局部放大图；
图4是本实用新型的实施例提供的第二进气管从混气罐的侧壁伸入混气罐的扩散炉管进气装置的结构示意图；
图5是本实用新型的实施例提供的第一进气管位于与混气罐的出气口相对的混气罐的壁面上的扩散炉管进气装置的结构示意图；
图6是图5的局部放大图；
图中，1、混气罐；1’套管；11、壁面；2、第一进气管；3、第二进气管；3’石英管；4、扩散炉管；4’、扩散炉管；5、硅片。
具体实施方式
下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案
本实用新型的实施例提供了一种扩散炉管进气装置，如图2所示，包括混气罐1、分别直接与混气罐1连通的第一进气管2和第二进气管3，混气罐1的出气口与扩散炉管4的进气口连通，大氮通过第一进气管2进入混气罐1，小氮携POCl3通过第二进气管3进入混气罐1，第二进气管3的出气口比第一进气管2的出气口更靠近扩散炉管4的进气口。
本实施例中，小氮携POCl3从第二进气管进气，大氮从第一进气管进气，两股气体先在混气罐1中混合再进入扩散炉管4，保证POCl3气体可以更均匀地沉积在硅片5表面，同时本实施例中还避免了由于POCl3气管倾斜带来的方阻分层问题，提高了扩散方阻的均匀性；且第二进气管的出气口比第一进气管的出气口更靠近扩散炉管的进气口，可以保证POCl3顺利进气从而与大氮均匀混合，提高扩散方阻的均匀性。另外，大氮和小氮的成分均为氮气，只是流量不同，大氮作为保护气体，小氮用于携带POCl3(三氯氧磷)进行扩散。
优选地，上述实施例中，为了保证POCl3顺利进气且可以与大氮均匀混合，第二进气管3的出气口与第一进气管2的出气口在混气罐1的轴线方向的间距L小于等于2cm且大于等于0.3cm。
上述实施例中，如图1至图6所示，混气罐1优选为为管状的混气罐且混气罐1的轴线与扩散炉管的轴线共线。
为了保证POCl3顺利进气从而与大氮均匀混合，上述实施例中，第二进气管3伸入混气罐1中。在一种实施方式中，如图4所示，第二进气管3从混气罐1的侧壁伸入混气罐中；在另一种实施方式中，如图2所示，第二进气管3从与混气罐1的出气口相对的混气罐1的壁面11上伸入混气罐1中。
进一步优选地，上述实施例中，如图2、图3和图4所示，第二进气管3的出气口的轴线与混气罐的轴线共线；或作为可以变换的实施方式，第二进气管3的出气口的轴线与混气罐1的轴线平行；或作为可以变换的实施方式，第二进气管3的出气口朝向混气罐1的轴线。
进一步地，上述实施例中，如图2和图4所示，第一进气管2的出气口位于混气罐1的侧壁上；或如图5和图6所示，第一进气管的出气口位于与混气罐的出气口相对的混气罐的壁面上。当然，上述实施例中，第一进气管的出气口也可以伸入混合罐中，优选地，两个进气管的出气口之间保持上述的适当间距。
上述实施例中，氧气可以通过第一进气管进气。
以下为相同的其他条件下，例如相同的工艺参数及相同的扩散炉管的条件下，本实用新型提供的扩散炉管进气装置和现有的扩散炉管进气装置得到的扩散方阻的均匀度的数据。
实验1：传统的扩散炉管进气装置，其第二进气管伸入扩散炉管中，第一进气管与套设在第二进气管外的套管连通，该套管的轴线与扩散炉管的轴线共线，其中，POCl3和小氮通过第二进气管进入扩散炉管，大氮和氧气通过第一进气管进气；
实验2：本实用新型的扩散炉管进气装置，且第二进气管3的出气口与第一进气管2的出气口在混气罐1的轴线方向的间距L为2cm；
实验3：本实用新型的扩散炉管进气装置，且第二进气管3的出气口与第一进气管2的出气口在混气罐1的轴线方向的间距L为1.6cm；
实验4：本实用新型的扩散炉管进气装置，且第二进气管3的出气口与第一进气管2的出气口在混气罐1的轴线方向的间距L为1cm；
实验5：本实用新型的扩散炉管进气装置，且第二进气管3的出气口与第一进气管2的出气口在混气罐1的轴线方向的间距L为0.3cm；
其中，上述实验2至实验5中本实用新型的扩散炉管进气装置均为：混气罐为管状且其轴线与扩散炉管的轴线共线，第一进气管的出气口位于混气罐的侧壁上，第二进气管伸入混气罐中且第二进气管3的出气口的轴线与混气罐的轴线共线，POCl3和小氮通过第二进气管进气，大氮和氧气通过第一进气管进气，另外，扩散炉管进气装置设置于扩散炉管的炉尾，炉中1、炉中2、炉中3、分别为沿炉口至炉尾方向依次采取的位置，炉口不均匀度、位置1不均匀度、位置2不均匀度、位置3不均匀度、炉尾不均匀度分别为炉口、炉中1、炉中2、炉中3及炉尾处的方阻不均匀度。下述的表1为上述实验的工艺参数表，表2至表5为上述实验分别得到的扩散方阻不均匀度，扩散方阻不均匀度是基于STDEV公式进行技术算的。
表1：工艺参数表
表2
表3
表4
表5
从上述实验数据中可以看出，本实用新型提供的扩散炉管进气装置与现有的扩散炉管进气装置相比，扩散炉管中5个温区的扩散方阻不均匀度均下降，有效地提升了扩散工艺中扩散方阻的均匀度。
以上结合具体实施例描述了本实用新型的技术原理。这些描述只是为了解释本实用新型的原理，而不能以任何方式解释为对本实用新型保护范围的限制。基于此处的解释，本领域的技术人员不需要付出创造性的劳动即可联想到本实用新型的其它具体实施方式，这些方式都将落入本实用新型的保护范围之内。
Claims (8)
1.一种扩散炉管进气装置，其特征在于：包括混气罐、分别直接与所述混气罐连通的第一进气管和第二进气管，所述混气罐的出气口与扩散炉管的进气口连通，大氮通过所述第一进气管进入所述混气罐，小氮携POCl3通过所述第二进气管进入所述混气罐，所述第二进气管的出气口比所述第一进气管的出气口更靠近所述扩散炉管的进气口。
2.如权利要求1所述的扩散炉管进气装置，其特征在于：所述第二进气管的出气口与所述第一进气管的出气口在所述混气罐的轴线方向的间距小于等于2cm且大于等于0.3cm。
3.如权利要求1所述的扩散炉管进气装置，其特征在于：所述混气罐为管状的混气罐且所述混气罐的轴线与所述扩散炉管的轴线共线。
4.如权利要求1至3中任一项所述的扩散炉管进气装置，其特征在于：所述第二进气管伸入所述混气罐中。
5.如权利要求4所述的扩散炉管进气装置，其特征在于：所述第二进气管从所述混气罐的侧壁伸入所述混气罐中；或所述第二进气管从与所述混气罐的出气口相对的所述混气罐的壁面上伸入所述混气罐中。
6.如权利要求5所述的扩散炉管进气装置，其特征在于：所述第二进气管的出气口的轴线与所述混气罐的轴线共线；或所述第二进气管的出气口的轴线与所述混气罐的轴线平行；或所述第二进气管的出气口朝向所述混气罐的轴线。
7.如权利要求1至3中任一项所述的扩散炉管进气装置，其特征在于：所述第一进气管的出气口位于所述混气罐的侧壁上；或所述第一进气管的出气口位于与所述混气罐的出气口相对的所述混气罐的壁面上。
8.如权利要求1至3中任一项所述的扩散炉管进气装置，其特征在于：氧气通过第一进气管进气。
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| CN201520565062.7U CN204849126U (zh) | 2015-07-30 | 2015-07-30 | 一种扩散炉管进气装置 |
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|---|---|---|---|---|
| CN111617713A (zh) * | 2020-05-15 | 2020-09-04 | 浙江理工大学 | 一种利用二氧化碳和水合成甲醇的反应装置及利用二氧化碳和水合成甲醇的方法 |
| CN111834257B (zh) * | 2020-06-11 | 2021-06-04 | 长江存储科技有限责任公司 | 炉管的进气装置及其炉管结构 |
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