CN102603200B - 一种浮法玻璃在线镀膜装置 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种浮法玻璃在线镀膜装置,包括悬挂梁、一安装在该悬挂梁上的镀膜器机体、该机体底面上设置石墨板,以及彼此相隔交替排列的进气单元和排气单元,每一进气单元包括一同时贯穿石墨板和机体的上小下大的进气管道和位于该进气管道顶部的进气装置,该进气管道上设有螺旋状槽道;每一排气单元包括一同时贯穿石墨板和机体的上小下大的排气管道和位于该排气管道顶部的排气装置,该排气管道上设有螺旋状槽道。本发明可以灵活控制雷诺数,维持气流平稳,提高镀膜的均匀度和成品率,并降低安装成本。

Description

一种浮法玻璃在线镀膜装置
技术领域
本发明属于镀膜技术领域,特别是涉及一种浮法玻璃在线镀膜装置。
背景技术
镀膜玻璃是在玻璃表面涂镀一层或多层金属、合金或金属化合物薄膜,以改变玻璃的光学性能,满足某种特定要求。镀膜工艺包括真空磁控溅射法、真空蒸发法、化学气相沉积法以及溶胶-凝胶法等。在线镀膜是利用先进的镀膜技术(CVD),在浮法玻璃生产线上直接对高温、洁净且高质量的浮法玻璃基片表面镀上一层或多层纳米颗粒大小的金属、合金或金属氧化物薄膜,对玻璃表面进行改性处理,从而赋予玻璃多种特殊功能,如阳光控制功能、低辐射功能、自洁功能、透明导电功能等,并可使玻璃呈现各种色调的美观效果。由于在线化学气相淀积(CVD)法生产的镀膜玻璃具有膜层均匀、化学稳定性高、抗腐蚀性高、膜层牢固耐磨、可用于切割、钻孔、钢化和热弯等进一步深加工等优点,且在线镀膜玻璃因其规模大、成本低等独特的优点使其成为平板玻璃加工的重点产品。
在线镀膜器的安装位置主要有二个,一个是在浮法玻璃生产线的锡槽内,另一个是在浮法玻璃生产线的退火窑的A0区,以前者为主。目前的浮法锡槽镀膜器普遍为单进气道,单排气道,U型结构。这种结构不便于控制化学品在玻璃表面的气流,致使镀膜均匀性不好,可镀膜的厚度范围小,产品种类少。
为解决上述的问题,CN179296A中公开了一种浮法玻璃在线多功能镀膜装置,其包括底板,底板由多块条形钢板连接组成,每两块钢板间留有狭缝,底板上固定有多个彼此相隔交替排列的进气室和排气室,进气室的出气口和排气室的进气口分别与底板上的狭缝相对应,在每块底板的上方焊接冷却腔,下方固定石墨块,每两块石墨块之间形成与进气室对应的进气管道和排气室对应的排气管道,进气室的进气口与连接进气管的进气分配室相连通,进气室内设有气流阻尼器,进气室的出气口呈上大下小的锥形,排气室内设有缓冲器和负压调节装置,其中缓冲器位于排气室的进气口端,排气室的出气口与连接排气管的排气集成器相连通。该镀膜装置通过设置独立的进气单元和排气单元,形成平行的多进多排的稳定的气流走向,从而有利于提高镀膜玻璃的质量。但是,在该种镀膜装置中,为维持气流稳定,需在进气管道内需设置气流阻尼器,排气室内需设置缓冲器及负压调节装置,这就使得镀膜装置的安装成本大幅度增加。
发明内容
本发明的目的是提供一种浮法玻璃在线镀膜装置,以解决现有技术存在的上述问题。本发明可以灵活控制雷诺数,维持气流平稳,提高镀膜的均匀度和成品率,并降低安装成本。
本发明采用的技术方案如下:
一种浮法玻璃在线镀膜装置,包括悬挂梁、一安装在该悬挂梁上的镀膜器机体、该机体底面上设置的石墨板、以及彼此相隔交替排列的进气单元和排气单元,其特征在于:每一进气单元包括一同时贯穿石墨板和机体的上小下大的进气管道和位于该进气管道顶部的进气装置,该进气管道上设有螺旋状槽道;每一排气单元包括一同时贯穿石墨板和机体的上小下大的排气管道和位于该排气管道顶部的排气装置,该排气管道上设有螺旋状槽道。
在推荐的实施例中,其包括一进气单元和两排气单元,该两排气单元分列于该进气单元的两侧。
在推荐的实施例中,该进气装置与进气管道的连接处设有流量调节阀,该排气装置与排气管道的连接处设有流量调节阀。
在推荐的实施例中,所述进气管道与机体上表面的连接处安装一用以防止反应气体溢出的密封板,所述排气管道与机体上表面的连接处同样安装一用以防止反应气体溢出的密封板,密封板用于密封机体,防止反应气体泄漏。
在推荐的实施例中,所述的进气管道和排气管道均呈圆台形,且圆台的母线与轴线的夹角为15~75度。
由上述对本发明的描述可知,和现有技术相比,本发明具有以下的特点:
1)本发明可以灵活控制雷诺数,维持气流平稳,提高镀膜的均匀度和成品率,并降低安装成本;
2)由于进气管道设置成上小下大的形状,因此,在气流从进气管道从上而下地流入时,可以有效地降低气体流入速度,便于气体平稳流入,同样地,由于排气管道设置成上小下大的形状,因此,在气流从排气管道从下而上地流出时,可以有效地降低气体流出压力,便于气体平稳流出;
3)由于进气管道和排气管道内均设置有螺旋状槽道,因此,可以更稳定有效地控制反应气体的进气气流和排气气流,以灵活控制雷诺数,提高镀膜均匀度;
4)流量调节阀可以实现对进气量和排气量的控制,也有利于控制气流,提高膜层的均匀度,提高镀膜效率,节约镀膜原料,降低生产成本。
附图说明
图1是本发明一种浮法玻璃在线镀膜装置的结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图对本发明的具体实施方式作进一步详细说明。
实施例
如图1所示,一种浮法玻璃在线镀膜装置,包括悬挂梁9、一安装在该悬挂梁9上的镀膜器机体1、该机体1底面上设置的石墨板7、以及一进气单元和两排气单元,该两排气单元分列于该进气单元的两侧,整个镀膜装置通过悬挂梁9装配于浮法玻璃生产线上锡槽内。
每一进气单元包括一同时贯穿石墨板7和机体1的上小下大的圆台形进气管道2和位于该进气管道2顶部的进气装置3,该进气装置3与进气管道2的连接处设有流量调节阀6,该进气管道2上设有螺旋状槽道。且该进气管道2与机体上表面的连接处安装一用以防止反应气体溢出的密封板8。该圆台形进气管道2中,圆台的母线与轴线的夹角为15~75度。
每一排气单元包括一同时贯穿石墨板7和机体1的上小下大的圆台形排气管道4和位于该排气管道4顶部的排气装置5,该排气装置5与排气管道4的连接处设有流量调节阀6,该排气管道4上设有螺旋状槽道。且排气管道4与机体上表面的连接处同样安装一用以防止反应气体溢出的密封板8。该圆台形排气管道4中,圆台的母线与轴线的夹角为15~75度。
由于进气管道2设置成上小下大的圆台形状,因此,在气流从进气管道2从上而下地流入时,可以有效地降低气体流入速度,便于气体平稳流入,同样地,由于排气管道4设置成上小下大的圆台形状,因此,在气流从排气管道4从下而上地流出时,可以有效地降低气体流出压力,便于气体平稳流出,以灵活控制雷诺数,提高镀膜的均匀度和成品率。
对比例
对比例与实施例不同的是,对比例的进气管道2和排气管道4均设置成圆柱形,且内壁光滑。
表1改进前后雷诺数和镀膜均匀度对比值
Figure BDA0000044635480000041
上述实施例为本发明较佳的实施方式,但本发明的实施方式并不受上述实施例的限制,其他的任何未背离本发明的精神实质与原理下所作的改变、修饰、替代、组合、简化,均应为等效的置换方式,都包含在本发明的保护范围之内。

Claims (4)

1.一种浮法玻璃在线镀膜装置,包括悬挂梁、一安装在该悬挂梁上的镀膜器机体、该机体底面上设置的石墨板、以及彼此相隔交替排列的进气单元和排气单元,其特征在于:每一进气单元包括一同时贯穿石墨板和机体的上小下大的进气管道和位于该进气管道顶部的进气装置,该进气管道上设有螺旋状槽道;每一排气单元包括一同时贯穿石墨板和机体的上小下大的排气管道和位于该排气管道顶部的排气装置,该排气管道上设有螺旋状槽道;该进气装置与该进气管道的连接处设有流量调节阀,该排气装置与该排气管道的连接处同样设有流量调节阀。
2.根据权利要求1中所述的一种浮法玻璃在线镀膜装置,其特征在于:其包括一进气单元和两排气单元,该两排气单元分列于该进气单元的两侧。
3.根据权利要求1中所述的一种浮法玻璃在线镀膜装置,其特征在于:所述进气管道与机体上表面的连接处安装一用以防止反应气体溢出的密封板,所述排气管道与机体上表面的连接处同样安装一用以防止反应气体溢出的密封板。
4.根据权利要求1或2或3中所述的一种浮法玻璃在线镀膜装置,其特征在于:所述的进气管道和排气管道均呈圆台形,且圆台的母线与轴线的夹角为15~75度。
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114956556A (zh) * 2022-05-31 2022-08-30 中玻(陕西)新技术有限公司 一种在线Sun-E镀膜玻璃制品及其制作方法
CN115806393A (zh) * 2022-12-09 2023-03-17 耀华(秦皇岛)玻璃技术开发有限公司 超大板宽浮法玻璃在线硅质阳光镀膜系统

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1792926A (zh) * 2005-11-08 2006-06-28 浙江大学蓝星新材料技术有限公司 浮法玻璃在线镀膜装置
CN201648231U (zh) * 2010-03-22 2010-11-24 秦皇岛耀华玻璃机械制造有限责任公司 浮法玻璃在线镀膜器

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5157486B2 (ja) * 2008-01-30 2013-03-06 大日本印刷株式会社 ダイヘッド及びこれを備えたダイコーター

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1792926A (zh) * 2005-11-08 2006-06-28 浙江大学蓝星新材料技术有限公司 浮法玻璃在线镀膜装置
CN201648231U (zh) * 2010-03-22 2010-11-24 秦皇岛耀华玻璃机械制造有限责任公司 浮法玻璃在线镀膜器

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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