CN102005212A - 真空处理设备以及衬底转移方法 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种包括用于衬底转移的机械手的真空处理设备以及一种衬底转移方法。根据本发明的机械手包括驱动机构、可转动地连接到驱动机构的第一臂、可转动地连接到第一臂的第二臂、和可转动地布置在第二臂的远端处的X状的端部执行器。在端部执行器的四个远端中，两个远端包括可以沿着一个方向保持衬底的保持单元，并且剩余的两个远端包括可以沿着相反的方向保持衬底的保持单元。

Description

真空处理设备以及衬底转移方法
技术领域
本发明涉及一种包括用于衬底转移的机械手的真空处理设备以及一种衬底转移方法，并且更具体地涉及一种包括用于在例如直列式沉积设备中进行衬底转移的机械手的真空处理设备和使用该机械手的衬底转移方法，所述直列式沉积设备在具有中心孔的、诸如磁盘或光盘的记录介质上沉积层。
背景技术
传统上已经采用机械手在预定沉积处理之前从衬底存储单元拾取衬底并且将这些衬底装载到托架上，或者从托架卸载已经进行了预定沉积处理的衬底并且将这些衬底存储在衬底存储单元中。
标量机械手广泛地用作执行该操作的机械手。一个示例是包括第一臂、第二臂以及在第二臂的远端处的适配器的机械手，所述第一臂和第二臂的驱动经由驱动单元本体和传动带控制。该适配器设有端部执行器，所述端部执行器具有多种形状并且可以保持衬底，并且因此可以转移衬底(例如，参见日本专利特开No.8-274142和2001-210695)。
在日本专利特开No.8-274142中说明的机械手的端部执行器可以一次传输两个衬底，并且随后将衬底装载到可以安装两个衬底的托架上。同样，在日本专利特开No.2001-210695中说明的机械手的端部执行器使用拱形的端部执行器，以便允许一次传输两个衬底并且将这些衬底一次装载到托架上的操作，由此提高吞吐量。
遗憾地，在日本专利特开No.8-274142和2001-210695中公开的机械手中的每个中，在将其操作速度提高超过预定的速度时衬底保持变得不稳定。而且，这些机械手中的每个在提高操作速度时都不可避免地需要更加频繁的维护。
发明内容
考虑到上述问题而作出了本发明，并且本发明的目的是提供一种真空处理设备和衬底转移方法，所述真空处理设备和衬底转移方法在抑制用于衬底转移的机械手的操作速度升高的同时提高了衬底装载到托架上的速率或衬底从托架卸载的速率，由此提高吞吐量。
根据本发明的一个方面，提供一种真空处理设备，其包括：
处理室，在该处理室中进行真空处理；
衬底转移室，其连接到处理室，并且包括存储多个衬底的衬底存储单元；
衬底传输路径，其行进通过处理室和衬底转移室；
多个托架，在所述多个托架中的每个都安装有至少两个衬底的同时，所述多个托架沿着衬底传输路径传输；以及
衬底转移机械手，其将存储在衬底存储单元中的衬底转移到停止在衬底转移位置处的托架上，所述衬底转移位置设定到衬底转移室中的衬底传输路径中的预定位置，
其中，衬底转移机械手包括：
驱动轴，
连接到驱动轴的第一臂，
可转动地连接到第一臂的第二臂，以及
可转动地布置在第二臂上的端部执行器，
所述端部执行器包括第一保持组和第二保持组，所述第一保持组包括每个都沿着一个方向保持至少两个衬底的不少于两个的保持单元，所述第二保持组包括每个都沿着相反的方向保持至少两个衬底的不少于两个的保持单元，并且
其中，当第一保持组的保持单元与停止在衬底转移位置处的托架相对时，第二保持组的保持单元面对衬底存储单元。
根据本发明的另一方面，提供一种使用上述的真空处理设备的衬底转移方法，其包括：
第一步骤，从预先存储衬底的所述衬底存储单元拾取四个衬底，并且在所述第一保持组的保持单元中的每个中保持两个衬底；
第二步骤，转动所述端部执行器，以便使保持在所述第一保持组的保持单元上的衬底面对停止在所述衬底转移位置处的托架；
第三步骤，将保持在所述第一保持组的保持单元中的每个上的一个衬底转移到停止在所述衬底转移位置处的托架上；
第四步骤，从所述衬底存储单元拾取四个衬底，并且在所述第二保持组的保持单元中的每个上保持两个衬底；
第五步骤，将其上转移有衬底的所述托架传输到其中进行真空处理的处理室中，并且使没有安装衬底的第二托架停止在所述衬底转移位置处；以及
第六步骤，转动所述端部执行器，以便在保持在所述第一保持组的保持单元中的每个上的剩余的一个衬底被转移到所述第二托架上之后，所述第一保持组的保持单元面对所述衬底存储单元。
根据本发明，能够在不提高机械手速度的情况下提高生产力。也能够减少在衬底传输期间机械手操作的次数，由此延长工业机械手的寿命。
本发明的其它特征将从以下参照附图的示例性实施例的说明而变得清楚。
附图说明
图1是示出根据本发明实施例的真空处理设备的示意图；
图2示出根据本发明实施例的装载室的局部平面图和局部侧视图；
图3是示出根据本发明实施例的机械手的示意图；
图4是示出根据本发明实施例的托架的示意图；
图5A至5F是用于解释根据本发明实施例的机械手操作的视图；
图6A至6F是用于解释根据本发明实施例的机械手操作的视图；
图7是示出其中根据本发明实施例的机械手构建在另一真空处理设备中的示例的示意图；
图8A至8D是示出根据本发明其它实施例的端部执行器的示意图。
具体实施方式
以下将参照附图说明本发明的实施例。应注意到，此处将说明的构件、布置和其它特征仅仅是实施本发明的示例，而不限制本发明，所以当然可以在本发明的范围内进行多种改变。
图1-6A至6F是用于解释根据本发明实施例的真空处理设备以及衬底传输机械手(以下简称为机械手)的视图，其中图1是示出真空处理设备的示意图；图2示出装载室的平面图和侧视图；图3是示出机械手的示意图；图4是示出托架的示意图；并且图5A至5F以及图6A至6F是用于解释机械手操作的视图。应注意到，为了简化视图，在图1-6A至6F中没有示出某些部件。
图1中所示的真空处理设备S是直列式溅射沉积设备，并且该真空处理设备S经由成四边形图案的闸阀GV连接到多个室，所述多个室用作装载室LL、卸载室UL、沉积室S1和其它处理室。衬底9在安装在衬底盒28中的同时被装到装载室LL中，并且通过盒间转移机械手30转移到衬底存储单元27中。衬底9进一步通过机械手15转移到托架10(以后将说明)上，并且衬底9在安装于托架10上的同时沿着通过这些室的衬底传输路径22传输，并且在每个室中进行预定的处理。
该实施例中的衬底9优选地是用于诸如磁盘或光盘的存储介质的盘状构件。然而，也可以通过交换附装到托架10的衬底保持器13而使用具有多种形状的玻璃衬底、例如由铝或铝合金制成的金属衬底、硅衬底、或者树脂衬底。应注意到，以下装载室LL和卸载室UL将总称为衬底转移室。
根据本发明的机械手15可广泛地应用到溅射沉积设备和在使用例如电子束的薄膜形成、表面改性、和诸如干法刻蚀的真空处理中所用的设备。然而，在该实施例中将解释其中机械手15应用到直列式溅射沉积设备(真空处理设备S)的示例。
图2示出本发明实施例中的装载室LL的平面图和侧视图。机械手15处于装载室LL中的衬底传输路径22与衬底存储单元27之间的位置。托架10是在安装衬底9的同时沿着衬底传输路径22运动的构件，并且该托架10被控制成在转移衬底9的操作期间停止在装载室LL中的预定位置(衬底转移位置)处。在沉积之前分离地存储衬底9的衬底存储单元27设置在装载室LL中。存储在衬底存储单元27中的衬底9通过设置在装载室LL中的机械手15的操作而转移到托架10上。
卸载室UL具有与装载室LL几乎相同的布置。也就是说，安装在托架10上的处理过的衬底9通过设置在卸载室UL中的机械手15的操作而存储在衬底存储单元27中，所述处理过的衬底9通过盒间转移机械手30装载到衬底盒28中，并且与衬底盒28一起从卸载室UL卸载。衬底存储单元27可以存储各自成两行排列的25个衬底9，并且衬底盒28可以存储各自成两行排列的25个或者50个衬底9。
托架10、端部执行器6和衬底存储单元27布置成使得左侧和右侧以及上侧和下侧上的衬底9的传输路径彼此相同，并且具有其中衬底9可以以最少的步骤数转移最短距离的位置关系。
图3是示出包括根据本发明的端部执行器的机械手的示意图。用在该实施例中的是包括机械手本体1的标量机械手，该机械手本体用作驱动机构并且设有：第一臂3，其包括从驱动机构传递转动力的传动带；和第二臂4，其具有与第一臂3相同的机构。机械手本体1包括用于转动的驱动源(驱动轴)、用于竖直运动的驱动源(竖直运动装置)和设置在室中的连接法兰2。第二臂4设有用于将第二臂4连接到端部执行器6的适配器5。
机械手本体1的驱动力经由驱动轴、第一臂3和第二臂4传递到端部执行器6。可以通过控制第一臂3和第二臂4的角度而执行附装到第二臂4的端部执行器6的直线运动和转动运动。而且，端部执行器6可以通过机械手本体1的竖直运动机构而相对于连接法兰2竖直地运动。更具体地，第一臂3可以竖直地运动，并且第二臂4、端部执行器6以及安装在第一臂3上的其它构件可以与第一臂3的运动一起竖直地运动。应注意到，端部执行器6可以围绕第二臂4转动。
端部执行器6通过附装锁定机构6b而形成，所述锁定机构6b将衬底9保持到与适配器5连接的支撑构件6a的端部位置。锁定机构6b主要包括：用于安装衬底9的拾取件8(保持单元)；和将拾取件8连接到端部执行器6的拾取件连接块7。
更具体地，端部执行器6通过将每组都由拾取件连接块7和拾取件8组成的四组连接到大致X状的支撑构件6a中从支撑构件6a的中心沿四个方向延伸的部分的远端而形成。在每个拾取件8中都形成例如包括槽的两个锁定部分，在所述两个锁定部分之间有预定的间隔以便一次保持两个衬底9。也就是说，端部执行器6可以最多总共保持8个衬底9。而且，连接到支撑构件6a的四个拾取件8中的两个拾取件8附装成使得这两个拾取件8可以沿着一个方向保持衬底9，并且剩余的两个拾取件8附装成使得剩余的两个拾取件8可以沿着相反的方向保持衬底9。应注意到，支撑构件6a可以具有任何形状，只要该支撑构件可以沿着相反的方向保持衬底即可，并且可以具有例如H形状。而且，在每个拾取件8上可以保持最多3个或者更多个衬底9。
图4是示出托架10的示意图。托架10通过将衬底保持器13连接到滑动件11上而形成，所述衬底保持器13中的每个都设有用于支撑衬底9的衬底支撑夹钳14，所述滑动件11具有用于使滑动件11在沉积室之间运动的机构。衬底支撑夹钳14是弹性构件并且包括弯曲的板簧。由于用在该实施例中的托架10包括两个衬底保持器13，所以托架10可以一次安装两个衬底9。应注意到，托架10的形状根据在沉积室之间传输衬底的机构的类型而改变，并且用于支撑衬底9的衬底支撑夹钳14也可以根据需要而改变。两个衬底支撑夹钳14设置在衬底保持器13的上侧上，并且一个衬底支撑夹钳14设置在衬底保持器13的下侧上。因而，可以通过向下推动下衬底支撑夹钳14而消除衬底保持。当然，衬底支撑夹钳14的数量和布置可以根据需要而改变。
在此将参照图5A至5F以及图6A至6F而说明通过机械手15转移衬底9的操作。应注意到，在参照图5A至5F以及图6A至6F的说明中，在一侧设有两个拾取件8的部件被定义为臂A(端部执行器6的一侧)，并且在相对侧设有两个拾取件8的部件被定义为臂B(端部执行器6的另一侧)。还应注意到，设置在臂A上的一组拾取件8被定义为第一拾取件组(第一保持组)，并且设置在臂B上的一组拾取件8被定义为第二拾取件组(第二保持组)。
图5A示出当机械手15处于初始状态中时装载室LL中的平面图和侧视图。此时，没有衬底保持在端部执行器6的四个拾取件8上，沉积之前的衬底9存储在衬底存储单元27中，并且衬底9还没有装载到托架10上。
接下来执行通过端部执行器6的臂A从衬底存储单元27拾取四个衬底9以及将这四个衬底9放置在两个拾取件8(第一拾取件组)上的操作，如图5B中所示。端部执行器6通过第一臂3和第二臂4的操作朝向衬底存储单元27运动，以便将拾取件8插入到衬底9中的中心孔中。在该状态中，衬底9通过机械手本体1的竖直运动机构与端部执行器6一起提升，由此保持在拾取件8上。由于衬底9根据每个拾取件8中的两个衬底锁定部分之间的间隔而存储在衬底存储单元27中，所以拾取件8可以一次保持两个衬底9。
图5C示出其中四个衬底9安装在臂A的拾取件8(第一拾取件组)上的状态。随后，端部执行器6转动通过180°，以便使臂A朝向托架10，如图5D中所示。
参照图5E，执行通过端部执行器6将臂A运动到托架10以将锁定在拾取件8中的两个衬底9装载到停止在衬底转移位置处的托架10上的操作。此时，托架10的衬底保持器13上的下衬底支撑夹钳14被向下推动以将锁定在拾取件8中的衬底9运动到衬底保持器13的衬底保持位置。保持在臂A的拾取件8上的两个衬底9通过机械手本体1的竖直运动机构而提升直到这两个衬底9与托架10的上衬底支撑夹钳14接触为止。此后，下衬底支撑夹钳14返回到初始位置。这样能够将衬底9平滑地转移到托架10上。
端部执行器6的沿着竖直方向(重力方向)的以下位置被定义为上限位置，在该位置处衬底9与托架10的上衬底支撑夹钳14接触，并且端部执行器6的以下位置被定义为下限位置，在该位置处在下衬底支撑夹钳14被向下推动的情况下衬底9运动到衬底保持器13的衬底保持位置。基于上限位置和下限位置在两个步骤中控制端部执行器6的水平位置(level position)。应注意到，也基于上限位置和下限位置在两个步骤中控制端部执行器6在保持衬底9的操作期间的竖直运动。
参照图5F，端部执行器6在两个衬底9安装在臂A的拾取件8上的同时返回到待机位置。此时，两个衬底9被锁定在臂A的拾取件8中。在该实施例中应注意到，保持在托架10上的衬底9与保持在衬底存储单元27中的衬底9处于相同的高度水平。因此，端部执行器6在保持衬底9的操作期间仅需要竖直地运动。这样能够最小化沿着竖直方向的运动量。这样，衬底9可以平滑地转移到托架10上。应注意到，保持在衬底存储单元27和托架10中的衬底9当然可以处于不同的高度水平。还应注意到，端部执行器6可以优选地同时转动和竖直运动。
参照图6A，执行在两个衬底安装在臂A的拾取件8上的同时收回端部执行器6以从衬底存储单元27拾取四个衬底9并且将这四个衬底9放置在臂B的拾取件8上的操作。更具体地，在两个衬底安装在臂A的拾取件8上的同时(每个拾取件上都安装有一个衬底9)，臂B通过第一臂3和第二臂4的操作而运动到衬底存储单元27以将拾取件8插入到衬底9中的中心孔中。第一臂3通过机械手本体1的竖直运动装置提升，以便从衬底存储单元27拾取四个衬底9并且将这四个衬底放置在臂B的拾取件8中。
此后，端部执行器6通过第一臂3和第二臂4的操作而运动到诸如待机位置的任意原始位置。此时，参照图5E，其上转移有衬底9的托架10(第一托架)被传输到处理室中，并且没有安装衬底9的下一个托架(第二托架)被传输到装载室LL中。
图6B示出两个衬底9安装在臂A的拾取件8(第一拾取件组)上并且四个衬底9安装在臂B的拾取件8(第二拾取件组)上的状态。随后，臂A延伸到托架10(第二托架)以将安装在臂A的拾取件8上的剩余的两个衬底装载到托架10(第二托架)上，如图6C中所示。
图6D示出由于所有衬底9转移到托架10(第二托架)上而没有衬底9安装在臂A的拾取件8上并且四个衬底9安装在臂B的拾取件8上的状态。在该状态中，端部执行器6返回到待机位置。
图6E示出通过将端部执行器6转动通过180°而使臂B导向托架10的状态。同时，安装有衬底9的托架10(第二托架)被传输到沉积室中，并且没有安装衬底9的下一个托架10被传输到装载室LL中。此后，在臂A和B保持在端部执行器6中的当前位置的同时重复从图5E所示状态的操作，如图6F中所示。
卸载室UL可以具有与装载室LL类似的布置。在卸载室UL中，机械手15执行与装载室LL中的操作几乎相反的操作。
在使用上述X状端部执行器6的机械手15的操作中，在将衬底9从衬底存储单元27传输到托架10上的处理中，可以通过重复将端部执行器6转动通过180°而执行衬底转移操作。也就是说，由于端部执行器6可以转动通过180°而不是像传统的情况下的360°，所以可以在不提升机械手15的操作速度的情况下提高衬底9的转移速率。此外，每个都可以安装有两个衬底9的拾取件8的使用允许在不同步骤中的两个操作：从衬底存储单元27拾取衬底9并且将衬底9放置在拾取件8上的操作；和将端部执行器6转动到能够执行衬底转移操作的位置的操作。
也就是说，在传统的情况下衬底9在三个操作中一次转移到托架10上：“180°转动”→“衬底保持”→“180°转动”，但是在本实施例中衬底9可以在两个操作中一次转移到托架10上：“衬底保持”和“180°转动”。更具体地，在从保持在第一拾取件组上的第一衬底9转移到托架10上时开始直到第一拾取件组上的第二衬底9转移到托架10(第二托架)上为止的时间内，执行从衬底存储单元27拾取衬底9并且将衬底9放置在相对侧的拾取件8(第二拾取件组)上的操作。该操作能够在不提升机械手15的操作速度的情况下显著地提高衬底9的转移速率。
在此将说明使用各自都可以一次保持三个衬底9的拾取件8的操作。首先将解释其中仅两个衬底保持在端部执行器6的每个拾取件8上的情况。如果奇数个衬底9存储在衬底存储单元27中，则对于存储在最后一行的衬底9，执行在每个拾取件上仅保持一个衬底的操作。
如果衬底存储单元27可以存储例如25行的衬底，则每个拾取件8都从衬底存储单元27接收两个衬底，直到接收次数达到12为止。然而，每个拾取件8都在第13次时仅接收剩余的一个衬底。结果，图5A至5F中所示的操作可以重复12次，但是仅在第13次时在一侧每个拾取件8上安装一个衬底9的同时端部执行器6被翻转。如果不采取措施，则仅在第13次时花费较多的时间来将衬底9转移到托架10上，所以吞吐量暂时降低。
将解释其中每个拾取件8都可以一次保持三个衬底9的情况。在该情况下，当使用可以存储25行的衬底9的衬底存储单元27时，衬底9通过重复图5A至5F中所示的操作而转移，其中每个拾取件8都从衬底存储单元27接收两个衬底9，直到重复的次数达到11为止。仅在第12次时每个拾取件8都可以设定成一次接收三个衬底9。
由于从衬底存储单元27接收的次数减少了一次，所以能够节省将衬底9转移到托架10上所花费的时间，从而提高了吞吐量。应注意到，在可以保持三个衬底9的衬底锁定机构中的转移方法不限于上述的方法，而是每个拾取件8都可以总是从衬底存储单元27接收两个或者更多个衬底9。一次可以保持的衬底9的数量也不限于三个。此外，虽然在本实施例中在第12次时每个拾取件8都从衬底存储单元27接收三个衬底9，但是该时间可以是第一次或者另外的一次。
图7示出其中机械手构建在另一个真空处理设备中的示例。图7中所示的真空处理设备T与图1中所示的真空处理设备S明显的不同之处在于，在前者中装载室LL和卸载室UL一体地形成为转移室LU。应注意到，在图7中所示的真空处理设备T中与真空处理设备S中相同的附图标记表示相同的构件、布置和其它部件，并且将不给出其详细的说明。
转移室LU通过将真空处理设备S的装载室LL和卸载室UL在衬底传输路径22侧的内部空间一体地连接而形成。在转移室UL中衬底传输路径22侧上布置有单个机械手15。在转移室UL中，单个机械手15执行从托架10卸载处理过的衬底9和将未处理的衬底9装载到托架10上的两种操作。
机械手15包括X状的端部执行器6，并且使用臂A用于衬底装载并使用臂B用于衬底卸载。两个衬底存储单元27设置成使得一个用于存储待装载的未处理的衬底，而另一个用于存储卸载的衬底(沉积后的衬底9)，由此将装载室LL和卸载室UL整合到一个室(转移室UL)。这允许单个机械手15执行衬底的装载和卸载两种操作。
机械手15操作以使用臂B从托架10卸载沉积后的衬底9，并且将已经安装在臂A上的沉积前的衬底9装载到托架10上。托架10(第一托架)被传输，并且在下一个托架10(第二托架)运动到衬底卸载/装载位置的同时，臂B上的衬底9传输到衬底存储单元27中来进行衬底卸载。此后，从存储未处理的衬底9的衬底存储单元27拾取沉积前的衬底9，并且将该沉积前的衬底9放置在臂A上。对于下一个托架10执行相同的循环。
虽然以上已经说明了在臂A和臂B中的每个臂的每个拾取件8上都安装有一个衬底9的示例，但是也可以在每个拾取件8上都安装有两个衬底9。这就消除了对于每个托架都进行将衬底9存储和装载到衬底存储单元27中的操作的需要。也就是说，对于每个托架都可以执行存储操作和装载操作中的一个。这样能够在不减慢衬底9的转移速率的情况下减少机械手15的操作量。
图8A至8D是示出根据其它实施例的端部执行器的示意图。在包括图3中所示的端部执行器6的机械手15中，可以改变附装到适配器5的端部执行器。可以想到的代替端部执行器的示例是可以连接有两个拾取件8的端部执行器16(图8A)、可以连接有三个拾取件8的端部执行器17(图8B)、可以连接有六个拾取件8的端部执行器19(图8C)、以及可以连接有八个拾取件8的端部执行器20(图8D)。
端部执行器16、17、19和20中的每个端部执行器的支撑构件都具有从中心以相等的角间距沿着连接法兰2、第一臂3和第二臂4的方向延伸的部分。而且端部执行器16、17、19和20中的每个端部执行器的拾取件8都可以保持成使得衬底9的沉积面从中心以相等的角间距沿着连接法兰2、第一臂3和第二臂4的方向相面对。端部执行器19和20尤其在该方面是有利的，这是因为它们在沿着相应的方向延伸的部分的中间(在延伸部分的远端处)分叉，使得比分叉的部分更加靠近远端的部分与分叉之前的延伸方向平行地延伸。
为了使用包括端部执行器16、17、19和20的机械手将衬底9转移到托架10上，使用一侧的拾取件8将衬底9转移到托架10上，并且通过将端部执行器16、17、19和20转动通过预定角度而将衬底9放置在另一侧的拾取件8上。这使得能够采用与包括端部执行器6的机械手中的衬底转移方法几乎相同的衬底转移方法。
图8A至8D中所示的端部执行器16、17、19和20仅仅是示例，并且当然也可以采用能沿着竖直方向连接拾取件8的端部执行器。此外，端部执行器16、17、19和20中的每个端部执行器的拾取件8和支撑构件不必总是以相等的角间距布置，而可以是成预定角度移动。
根据本发明的机械手15不限于用于传输，而可以广泛地应用到多种工业机械手。相同的结构也可以用于例如焊接机械手。通过在两行上布置单个机械手，该机械手可以替换两个传统的工业机械手。
虽然已经参照示例性实施例说明本发明，但应理解本发明不受所公开的示例性实施例限制。以下权利要求的范围将与最广泛的解释一致，从而包含所有这些修改和等同结构以及功能。

Claims (6)

1.一种真空处理设备，包括：
处理室，在所述处理室中进行真空处理；
衬底转移室，其连接到所述处理室，并且包括存储多个衬底的衬底存储单元；
衬底传输路径，其行进通过所述处理室和所述衬底转移室；
多个托架，在所述多个托架中的每个都安装有至少两个衬底的同时，所述多个托架沿着所述衬底传输路径传输；以及
衬底转移机械手，其将存储在所述衬底存储单元中的衬底转移到停止在衬底转移位置处的托架上，所述衬底转移位置设定到所述衬底转移室中的衬底传输路径中的预定位置，
其中，所述衬底转移机械手包括：
驱动轴，
连接到所述驱动轴的第一臂，
可转动地连接到所述第一臂的第二臂，以及
可转动地布置在所述第二臂上的端部执行器，
所述端部执行器包括第一保持组和第二保持组，所述第一保持组包括每个都沿着一个方向保持至少两个衬底的不少于两个的保持单元，所述第二保持组包括每个都沿着相反的方向保持至少两个衬底的不少于两个的保持单元，并且
其中，当所述第一保持组的所述保持单元与停止在所述衬底转移位置处的托架相对时，所述第二保持组的所述保持单元面对所述衬底存储单元。
2.根据权利要求1所述的真空处理设备，其中，所述第一保持组和所述第二保持组中的每个都包括两个保持单元，每个保持单元都能够一次保持两个衬底。
3.根据权利要求1所述的真空处理设备，其中，所述衬底转移机械手还包括竖直运动机构，用于基于所述端部执行器降低到的位置和所述端部执行器升高到的位置而在两个步骤中控制所述端部执行器沿着重力方向的位置。
4.一种使用根据权利要求1所述的真空处理设备的衬底转移方法，包括：
第一步骤，从预先存储衬底的所述衬底存储单元拾取四个衬底，并且在所述第一保持组的保持单元中的每个中保持两个衬底；
第二步骤，转动所述端部执行器，以便使保持在所述第一保持组的保持单元上的衬底面对停止在所述衬底转移位置处的托架；
第三步骤，将保持在所述第一保持组的保持单元中的每个上的一个衬底转移到停止在所述衬底转移位置处的托架上；
第四步骤，从所述衬底存储单元拾取四个衬底，并且在所述第二保持组的保持单元中的每个上保持两个衬底；
第五步骤，将其上转移有衬底的所述托架传输到其中进行真空处理的处理室中，并且使没有安装衬底的第二托架停止在所述衬底转移位置处；以及
第六步骤，转动所述端部执行器，以便在保持在所述第一保持组的保持单元中的每个上的剩余的一个衬底被转移到所述第二托架上之后，所述第一保持组的保持单元面对所述衬底存储单元。
5.根据权利要求4所述的方法，其中，并行地执行所述第四步骤和所述第五步骤。
6.根据权利要求5所述的方法，其中，如果所述衬底存储单元存储奇数行的衬底，则仅在执行所述第一步骤和所述第四步骤的操作中的任意一个操作中在所述保持单元中的每个上保持奇数个衬底，在所述第一步骤和所述第四步骤中从所述衬底存储单元拾取衬底并保持在所述保持单元上。
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