CN101858884A - 气体传感器的传感器元件及其制造方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 17
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title abstract description 5
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 52
- 239000007784 solid electrolyte Substances 0.000 claims abstract description 49
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 43
- 238000002955 isolation Methods 0.000 claims abstract description 25
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 18
- 238000002848 electrochemical method Methods 0.000 claims abstract description 12
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 8
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 4
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 claims abstract description 4
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 33
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 17
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims description 10
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 10
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 8
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims description 7
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims description 7
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 238000004080 punching Methods 0.000 claims description 4
- 239000012777 electrically insulating material Substances 0.000 abstract description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 26
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 13
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 6
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 5
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 5
- 239000002912 waste gas Substances 0.000 description 4
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 3
- 239000006071 cream Substances 0.000 description 3
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 3
- 239000002360 explosive Substances 0.000 description 3
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 3
- 239000002346 layers by function Substances 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- MWUXSHHQAYIFBG-UHFFFAOYSA-N nitrogen oxide Inorganic materials O=[N] MWUXSHHQAYIFBG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 3
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 3
- -1 oxygen ion Chemical class 0.000 description 3
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 description 3
- VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N yttrium atom Chemical compound [Y] VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 2
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 description 1
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 1
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 1
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/26—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
- G01N27/403—Cells and electrode assemblies
- G01N27/406—Cells and probes with solid electrolytes
- G01N27/407—Cells and probes with solid electrolytes for investigating or analysing gases
- G01N27/4073—Composition or fabrication of the solid electrolyte
- G01N27/4074—Composition or fabrication of the solid electrolyte for detection of gases other than oxygen
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
- G01N33/0004—Gaseous mixtures, e.g. polluted air
- G01N33/0009—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment
- G01N33/0027—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment concerning the detector
- G01N33/0036—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment concerning the detector specially adapted to detect a particular component
- G01N33/0037—NOx
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02A—TECHNOLOGIES FOR ADAPTATION TO CLIMATE CHANGE
- Y02A50/00—TECHNOLOGIES FOR ADAPTATION TO CLIMATE CHANGE in human health protection, e.g. against extreme weather
- Y02A50/20—Air quality improvement or preservation, e.g. vehicle emission control or emission reduction by using catalytic converters
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Pathology (AREA)
- Immunology (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Medicinal Chemistry (AREA)
- Food Science & Technology (AREA)
- Molecular Biology (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Measuring Oxygen Concentration In Cells (AREA)
Abstract
本发明涉及气体传感器的传感器元件及其制造方法。说明了用于测定测量气体的至少一种物理性能的，尤其是测量气体中气体成分浓度的气体传感器的传感器元件，它具有至少一个带有两个电极(18，20)的电化学测量单元(15，16，17)和位于它们之间的固体电解质材料。为了避免在传感器元件结构较小时流出或流向至少一个测量单元(15.16)的泄漏电流，固体电解质材料(19)电绝缘地设置在陶瓷的载体薄膜(11)里，其中载体薄膜(11)本身由电绝缘材料，如铝氧化物组成。
Description
技术领域
发明涉及一种按权利要求1的前序部分所述的，用于确定测量气体的一种物理性能的，尤其是测量气体中气体成分的浓度的气体传感器的传感器元件。
背景技术
一种已知的用于确定内燃发动机的废气中氧浓度的气体传感器的传感器元件(DE19941051A1)具有一个由多个氧离子传导的固体电解质层组成的平面陶瓷体，其中固体电解质层是由钇稳定的锆氧化物组成的陶瓷薄膜，其被印上了功能层并接着被层压。层压的结构然后进行烧结。
功能层包括有多个电化学测量单元以及一个电阻加热器，后者嵌入在两个电绝缘层之间。所述一个电化学测量单元，一个所谓泵单元，具有一个外泵电极和一个内泵电极，它们布置在一个外固体电解质层的相互背离的大面上。外泵电极受废气的作用，而内泵电极则布置在一个气体腔室里，该腔室通过一个扩散阻挡层与废气相连。第二电化学测量单元，一种所谓能斯脱单元，具有一个布置在气体腔室里的能斯脱电极和一个布置在一个参照气体腔室里的参照电极。作为参照气体优选使用环境空气。所有的电极通过印制导线与布置在陶瓷体表面上的连接触点连接。所有印制导线通过印刷的例如由铝氧化物组成的电绝缘层相对于固体电解质层绝缘，以避免泄漏电流经过固体电解质层。
发明内容
具有权利要求1的特征的按照本发明的传感器元件有如下优点：通过所述将至少一个电化学测量单元的固体电解质材料绝缘地嵌入在陶瓷载体薄膜里可以使多个电化学测量单元相互很靠近地布置在传感器元件的陶瓷体里，而在测量单元之间没有泄漏电流。因此可以使传感器元件大大地微型化。
固体电解质材料的绝缘的嵌入在此可以按不同的方式达到。
在本发明的一种优选实施形式中，载体薄膜本身由电绝缘的基质组成，优先由铝氧化物组成，而固体电解质材料作为至少一个窗口插入载体薄膜里。由电绝缘的基质组成的载体薄膜除了有高的机械强度之外，还具有差不多完全的电绝缘性，因此可靠地既避免了泄漏电流的问题，又避免了一种在一定条件下存在于传感器元件里的电阻加热器耦合入测量单元里。也可以用于延伸在载体薄膜上的印制导线至电极不设置电绝缘层。
在本发明的一种同样也是有利的实施形式中，载体薄膜如通常那样由固体电解质材料，优选由稳定的锆氧化物组成，而且固体电解质材料作为至少一个设有一个由电绝缘的基质组成的窗口边框的窗口插入载体薄膜里。通过由电绝缘的基质组成的窗口边框同样也消除了泄漏电流的问题。这种传感器元件还有附加的优点：在陶瓷体烧结时(这陶瓷体通过载体薄膜与其它陶瓷薄膜层压在一起而生成，烧结收缩良好地适应于由固体电解质材料和固体电解质窗口组成的载体薄膜。
通过在其它权利要求3至5和7和8中所述的措施可以实现对权利要求1中所述的传感器元件的有利的扩展设计和改进。
由权利要求9和10可以得到制造传感器元件的有利方法，这传感器元件具有一个由电绝缘基质组成的载体薄膜和一个由固体电解质材料组成的载体薄膜。用这种方法可以使固体电解质材料成本低廉地集成在载体薄膜里，并使许多电化学测量单元以微型结构形式组合成一种测量单元阵列。所述的方法适合于大批量生产，并且提供电化学的测量单元用来使用在任意的气体传感器中，例如氮氧化物传感器，氧传感器或者λ探测器，温度探头，测定氢或者含氢化合物，如氨或者碳氢化合物的浓度的传感器等等。这方法也可以有利地使用在燃料电池技术中。
附图说明
按照附图所示的实施例，在以下的说明中对发明作了详细叙述。所示为：
图1一个用于气体传感器的传感器元件的按图2中的I-I线的纵向剖视图；
图2沿着图1中II-II线的剖视图；
图3沿着图1中III-III线的剖视图；
图4A-4C按照第一方法制造按图1至3所示在传感器元件里的载体薄膜的单个方法步骤的简示；
图4A-4F按照第二方法制造按图1至3所示在传感器元件里的修改的载体薄膜的单个方法步骤的简要说明；
图5具有用于图1至3所述的传感器元件的电化学测量单元的修改的载体薄膜的纵向剖视图；
图6在去除测量单元的外电极时，图5所示载体薄膜的俯视图；
图7按照另一个实施例的载体薄膜的分解图，载体薄膜具有一个布置在其中的电化学测量单元。
具体实施方式
图1至3表示了一种电化学气体传感器的平面传感器元件的结构实例，这气体传感器例如作为氮氧化物传感器而运行，用于确定在内燃发动机废气中的氮氧化物浓度。传感器元件具有一个层状的陶瓷体10，该陶瓷体由4个设有功能层的陶瓷薄膜11，12，13，14层压在一起并接着烧结。最上的陶瓷薄膜11，以下称为载体薄膜11，装有3个电化学测量单元15，16，17，它们分别具有一个外电极20，一个内电极18和位于这些电极20，18之间的氧离子传导的固体电解质材料，例如钇稳定的锆氧化物ZrO2位于陶瓷体10外侧上的外电极20直接地，在一定条件下通过一种多孔保护层，受到测量气体，例如内燃发动机废气的作用，而内电极18分别布置在一个测量气体腔室21，22，23里。测量气体腔室21至23设计在第二薄膜12里并且在上侧由载体薄膜11限定而在下侧由第三陶瓷薄膜13限定。如图2所示，装有第一测量单元14的内电极18的测量气体腔室21通过第一多孔的扩散阻挡层24与包围传感器元件的测量气体分开。两个测量气体腔室22，23并排地布置在第一测量气体腔室21后面。装有第二测量单元15的内电极18的第二测量气体腔室22通过第二多孔扩散阻挡层25与第一测量气体腔室21分开，而装有第三测量单元16的内电极18的第三测量气体腔室23通过第三多孔扩散阻挡层26与第一测量气体腔室21分开。在第三陶瓷薄膜13和最下面的陶瓷薄膜14之间电绝缘地嵌入了一个电阻加热器27。在图1至3的实施例中，所有薄膜11至14由电绝缘的基质，例如铝氧化物Al2O3构成，因此通过两个薄膜13和14保证了电阻加热器27的绝缘。
如图1和3所示，三个测量单元15，16，17的固体电解质材料19电绝缘地装在陶瓷载体薄膜11里，其中电绝缘通过载体薄膜11本身的电绝缘基质来保证。固体电解质材料分别作为窗口插入载体薄膜11里，而且窗口在外和内窗口面上覆盖有外电极20或内电极18。窗口面的覆盖优选通过印刷一种由电极材料，例如铂组成的膏糊来进行。在一种优选的实施例中，载体薄膜11的层厚尺寸范围在100μm至500μm，并且电极20，18的面积大小在15mm2和500mm2之间.
在图4A至4C中以单个方法步骤简要说明了载体薄膜11的制造，这载体薄膜由电绝缘的具有在其中插入的由固体电解质材料19组成的窗口的基质组成。由一种未烧结的，在所谓生坯状态下的由固体电解质材料构成的薄膜30中切出成型物体31，这些物体具有由测量单元15，16，17所规定的净横断面(图4A)。优选采用冲模进行切出，冲模的冲头33见图4所示。为了简单起见在图4A中，与图1至3不同，冲出的成型物体31表示成相同的大小。事实上它们必须匹配于图1至3中测量单元15，16，17的不同的横断面。在另一个方法步骤中，由一种未烧结的，由电绝缘基质组成的薄膜32切割出通孔34，通孔的净横断面由成型物体31的横断面来规定，这基质构成了传感器元件的以后的载体薄膜11。通孔34的产生又借助于一种冲模，其冲头33具有如同用于冲出成型物体31的冲头33那样相同的冲压面积。由薄膜32冲出的冲压件被除去，其中在图4B中用虚线表示了一个冲压件。在薄膜32的通孔34里形状配合连接地插入以前所得的成型物体31，例如通过压入(图4C)。这样加工的薄膜32被切割成所需的载体薄膜11的形状或者已经切割成这种形状。将这薄膜32加热和/或挤压或者辊压，并接着干燥。然后用由电极材料组成的膏糊对包含在薄膜32里的，由固体电解质材料组成的成型物体31的端面进行印刷。也可以备选地在对薄膜32进行加热和/或挤压或者辊压，并接着干燥之前进行印刷。这样生产的具有测量单元15，16，17的载体薄膜11与薄膜12，13和14和上面印刷有印制的扩散阻挡层24，25，26的电阻加热器27层压在一起并烧结。
在以前所述的传感器元件中至少是陶瓷的载体薄膜11可以备选地由一种固体电解质材料，优选由钇稳定的锆氧化物组成。测量单元15，16，17的固体电解质材料这里也是又电绝缘地容纳于载体薄膜11′里。为此固体电解质材料19作为一个设有由电绝缘基质，例如Al2O3组成的窗框28的窗口插入在载体薄膜11′里，如同这在图5以剖视图，和在图6中，在去除外电极20时载体薄膜11′以俯视图可见的那样。
在图4中，用单个方法步骤简略地说明了在图5和6中所示的，具有插入的测量单元15，16，17的，由固体电解质材料组成的载体薄膜11的制造过程。首先用以前已述的并且在图4A，B和C中所示的方法步骤，在一个由电绝缘材料，优选为铝氧化物，组成的未烧结薄膜32里，通过按照图4B冲出通孔34，并将由固体电解质材料的一种未烧结薄膜30得到的成型物体31(图4A)插入在通孔34里，制成一种薄膜32，这薄膜由电绝缘基质组成，它具有插入的由固体电解质材料组成的成型物体31，如其在图4C中所示那样。从这薄膜32里切出与插入的成型物体31同轴的成型物体35，它具有比第一成型物体31更大的横断面，这又通过用一个冲模的冲压来进行，冲模的冲头36简略表示于图4D中。这些成型物体35，如同在图5和6中的测量单元15，16，17那样，具有一个由固体电解质材料19组成的芯，芯被一个由电绝缘基质组成的框28包围。在固体电解质材料组成的第二种未烧结薄膜37中切出通孔38，其横断面相应于第二成型物体35的横断面，薄膜37构成了由固体电解质材料组成的以后的载体薄膜11。又是通过在冲模里的冲压来切出，在图4D中简略表示了冲模的冲头36。将所产生的冲压件除去，其中一个在图4E中用虚线表示。在通孔38里插入第二成型物体35。这样获得的由固体电解质材料组成的薄膜37有插入的第二成型物体35，将这薄膜加热和/或挤压或者辊压，并接着干燥。通过用一个外电极20和一个内电极18覆盖第二成型物体35的端面，这优选通过用一种由电极材料组成的膏糊印刷端面来进行，获得具有插入的测量单元15，16，17的，由固体电解质材料组成的，在图5和6中所示的载体薄膜11。这里也可以在对薄膜37进行加热和/或挤压或者辊压，并接着干燥之前用电极18，20覆盖第二成型物体35的端面。
在图7中用局部分解图表示了传感器元件的载体薄膜11的另一种可能的修改方案。载体薄膜11又是由电绝缘基质，优选是铝氧化物组成，而测量单元15的固体电解质材料19通过许多由固体电解质材料组成的微型化窗口来实现，这些窗口成矩阵状布置在一个薄膜区里。微型窗口又通过如下来实现：在载体薄膜11里设有许多孔，而这些孔装有由固体电解质材料组成的微型物体。如图7所示，整个设有许多微型窗口的区域部位，在载体薄膜11的上侧和下侧覆盖有外电极11或内电极18。
Claims (12)
1.用于确定测量气体的至少一种物理性能，尤其是确定气体中气体成分浓度的气体传感器的传感器元件，它具有至少一个电化学测量单元(15，16，17)，所述测量单元具有两个电极(18，20)和位于它们之间的固体电解质材料，其特征在于，固体电解质材料(19)电绝缘地容纳在陶瓷的载体薄膜(11，11′)里。
2.按权利要求1所述的传感器元件，其特征在于，载体薄膜(11)由电绝缘的基质组成，优先由铝氧化物组成，而固体电解质材料(19)作为至少一个窗口插入载体薄膜(11)里。
3.按权利要求2所述的传感器元件，其特征在于，所述至少一个窗口由从固体电解质材料的薄膜里分出来的成型物体(31)构成，该成型物体在载体薄膜(11)的生坯状态时形状配合连接地插入在载体薄膜(11)里产生的通孔里。
4.按权利要求2或者3所述的传感器元件，其特征在于，所述至少一个窗口分别用电极(18，20)遮盖在两个窗口面上。
5.按权利要求2或者3所述的传感器元件，其特征在于，许多窗口布置在载体薄膜(11)的薄膜区里，优选成矩阵状，而且薄膜区在两侧各用电极(18，20)覆盖。
6.按权利要求1所述的传感器元件，其特征在于，载体薄膜(11′)由固体电解质材料，优选由稳定的锆氧化物组成，而且固体电解质材料(19)作为至少一个设有由电绝缘的基质，优选是铝氧化物组成的窗口边框(28)的窗口插入载体薄膜(11′)里。
7.按权利要求6所述的传感器元件，其特征在于，所述至少一个窗口的相互背离的窗口面各用电极(18，20)遮盖住。
8.按权利要求4至7中之一所述的传感器元件，其特征在于，载体薄膜(11)的层厚为100μm-500μm，电极(18，20)的面积为15mm2-500mm2
9.制造传感器元件的方法，所述传感器元件用于一种用来确定测量气体的至少一种物理性能，尤其是测量气体中气体成分的浓度的气体传感器，它具有至少一个电化学测量单元(15，16，17)，所述测量单元具有两个通过固体电解质材料(19)分开的电极(18，20)，其特征在于，由未烧结的，由固体电解质材料构成薄膜(30)切出至少一个成型物体(31)，成形物体具有由所述至少一个测量单元(15，16，17)所规定的净横断面；未烧结的，由电绝缘基质组成的陶瓷薄膜(32)设有至少一个通孔(34)，通孔的净横断面相应于成型物体(31)；而且将成型物体(31)形状配合连接地插入由电绝缘基质组成的薄膜(32)的所述至少一个通孔(34)里。
10.按权利要求9所述的方法，其特征在于，从由电绝缘基质组成的，具有所述至少一个插入的由固体电解质材料组成的成型物体(31)的薄膜(32)里切出至少一个与成型物体(31)同轴的第二成型物体(35)，它具有更大的横断面；在固体电解质材料组成的第二未烧结的薄膜(37)里产生至少一个第二通孔(38)，它具有相应于第二成型物体(35)的净横断面；而且第二成型物体(35)形状配合连接地被插入由固体电解质材料组成的薄膜(37)中的所述至少一个第二通孔(38)里。
11.按权利要求9或者10所述的方法，其特征在于，具有插入在其中的至少一个由固体电解质材料组成的所述成型物体(31)里的由电绝缘基质组成的薄膜(32)，或者说具有插入在其中的所述至少一个第二成型物体(35)的由固体电解质材料组成的薄膜(37)被加热和/或挤压或者辊压，并接着干燥。
12.按权利要求9至11中之一所述的方法，其特征在于，在薄膜(32，37)里产生通孔(34，38)和将成型物体(31，35)从薄膜(30和32)里分出来都借助于冲压来进行。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE102009002118A DE102009002118A1 (de) | 2009-04-02 | 2009-04-02 | Sensorelement für einen Gassensor und Verfahren zu dessen Herstellung |
| DE102009002118.3 | 2009-04-02 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN101858884A true CN101858884A (zh) | 2010-10-13 |
| CN101858884B CN101858884B (zh) | 2014-11-12 |
Family
ID=42732931
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201010157423.6A Active CN101858884B (zh) | 2009-04-02 | 2010-04-01 | 气体传感器的传感器元件及其制造方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN101858884B (zh) |
| DE (1) | DE102009002118A1 (zh) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN105683744A (zh) * | 2013-10-31 | 2016-06-15 | 西门子公司 | 探测氮氧化物的气体传感器和这种气体传感器的运行方法 |
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| CN110612277A (zh) * | 2017-05-18 | 2019-12-24 | 贺利氏先进传感器技术有限公司 | 用于测定气体参数的传感器 |
| CN114527181A (zh) * | 2021-12-30 | 2022-05-24 | 有研科技集团有限公司 | 一种氮氧检测传感器芯片 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102010029096B4 (de) | 2010-05-19 | 2022-11-03 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zur Herstellung eines keramischen Bauelements |
| ITSA20130001A1 (it) * | 2013-02-15 | 2014-08-16 | Univ Degli Studi Salerno | Camera di misura per la determinazione chimico-fisica dei composti gassosi e la misura degli odori, (code - chamber for odor detection). |
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| CN1694599A (zh) * | 2004-02-27 | 2005-11-09 | 日本特殊陶业株式会社 | 复合陶瓷生基板及其制造方法、陶瓷烧结主体及气体传感器 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19941051C2 (de) | 1999-08-28 | 2003-10-23 | Bosch Gmbh Robert | Sensorelement zur Bestimmung der Sauerstoffkonzentration in Gasgemischen und Verfahren zur Herstellung desselben |
-
2009
- 2009-04-02 DE DE102009002118A patent/DE102009002118A1/de not_active Ceased
-
2010
- 2010-04-01 CN CN201010157423.6A patent/CN101858884B/zh active Active
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| CN114527181A (zh) * | 2021-12-30 | 2022-05-24 | 有研科技集团有限公司 | 一种氮氧检测传感器芯片 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE102009002118A1 (de) | 2010-10-14 |
| CN101858884B (zh) | 2014-11-12 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant |