CN101755159A - 用于控制或调节真空阀的方法 - Google Patents

用于控制或调节真空阀的方法 Download PDF

Info

Publication number
CN101755159A
CN101755159A CN200880100066A CN200880100066A CN101755159A CN 101755159 A CN101755159 A CN 101755159A CN 200880100066 A CN200880100066 A CN 200880100066A CN 200880100066 A CN200880100066 A CN 200880100066A CN 101755159 A CN101755159 A CN 101755159A
Authority
CN
China
Prior art keywords
closure member
point
arrival
control gear
actuator
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN200880100066A
Other languages
English (en)
Other versions
CN101755159B (zh
Inventor
B·杜利
F·盖泽
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
VAT Holding AG
Original Assignee
VAT Holding AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by VAT Holding AG filed Critical VAT Holding AG
Publication of CN101755159A publication Critical patent/CN101755159A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN101755159B publication Critical patent/CN101755159B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K51/00—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus
    • F16K51/02—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus specially adapted for high-vacuum installations
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
    • F16K3/02—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor
    • F16K3/16—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together
    • F16K3/18—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together by movement of the closure members
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T137/00—Fluid handling
    • Y10T137/0318—Processes
    • Y10T137/0396—Involving pressure control

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Sliding Valves (AREA)
  • Details Of Valves (AREA)
  • Fluid-Driven Valves (AREA)
  • Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
  • Magnetically Actuated Valves (AREA)
  • Lift Valve (AREA)
  • Electrically Driven Valve-Operating Means (AREA)
  • Indication Of The Valve Opening Or Closing Status (AREA)

Abstract

一种用于控制或调节真空阀的方法，该真空阀包括：带有阀开孔(2)的阀体(1)；关闭件(3)，其为了关闭真空阀可在打开位置和关闭位置之间移位经过关闭路径(s)，且在关闭位置封闭阀开孔(2)，其中至少一个弹性的密封件(4)压靠到密封面(35)上；用于使得关闭件(3)移位的促动器(5)；和控制装置(9)，通过该控制装置可控制促动器(5)，考虑关闭路径(s)的在弹性的密封件(4)到达密封面(35)时的点(p)和/或关闭件(3)的此时存在的速度(v)，作为用于控制装置(9)的决定性的参数。

Description

用于控制或调节真空阀的方法
本发明涉及一种用于控制或调节真空阀的方法，该真空阀包括：
-带有阀开孔的阀体；
-关闭件，其为了关闭真空阀可在打开位置和关闭位置之间移位经过关闭路径，且在关闭位置封闭阀开孔，其中至少一个弹性的密封件压靠到密封面上；
-用于使得关闭件移位的促动器；和
-控制装置，通过该控制装置可控制促动器。
已知有用于真空阀的控制装置，这些控制装置控制用于使得关闭件打开和关闭的促动器，其中为了激活促动器，给该促动器输送相应的工作介质，大多数情况下输送压缩空气。在此已知有自动打开和自动关闭的阀，对于这种阀而言，当工作介质撤除时，通过弹簧件来保持关闭件的打开位置或关闭位置。除了气动驱动的真空阀外，还已知有电驱动的真空阀。同样已知的是，给控制装置输送关于阀状态的不同的输入信号，以便实现安全功能，也就是说，在真空系统的一定的状态下，防止或引起真空阀的打开或关闭。
由US 7,036,794 B2已知一种用于控制真空阀的方法，其中，作用到弹性密封件上的压紧力由控制装置根据两个真空腔之间的差压的求取值来调节，在所述两个真空腔之间设有真空阀。由此可以减小弹性密封件的磨损。
本发明的目的是，对开头部分所述类型的真空阀控制或调节方案加以改进。根据本发明，该目的通过一种具有权利要求1的特征的方法得以实现。
本发明基于如下构思：可以考虑弹性密封件到达密封面时的到达点和/或此时存在的关闭件速度，来改善利用控制装置对真空阀的控制或调节。
如果在本文献范围内谈及“控制装置”，则用该概念来涵盖所有如下的特别是电子的装置，即这些装置能够根据包括至少一个调节回路的开路控制或调节或者其组合来执行控制过程。
根据本发明的一种有利的实施方式，由控制装置来调节关闭件的速度，关闭件以该速度到达到达点。在这里，关闭件的速度被相应地控制或优选被调节。在到达点时关闭件的速度可以有利地由控制装置根据至少一个用于控制或调节的输入参数调节至不同的值。所述输入参数在此可以是可输入到控制装置中的参数，或者是由控制装置自动检测的参数，或者是被自动检测的变量。可手动输入的和可自动检测的参数的组合也是可考虑的和可行的。
例如，可以由控制装置根据(所输入的或所检测的)弹性密封件的材料将弹性密封件到达密封面时的速度调节至不同的值。到达速度被视为弹性密封件的重要的负荷参数，其中对于足够长的寿命来说，针对不同的密封材料允许存在大小不同的到达速度。另一方面，针对最大的真空阀节拍周期，希望到达速度尽可能大。在使用由不同材料构成的弹性密封件时，采用本发明可以优化这些要求。
例如，所使用的过程气体的类型可以作为将到达速度调节至不同值所依据的其它参数，在其中装有真空阀的真空设备上实施过程时，弹性密封件与所述过程气体接触。因而在侵蚀性的过程气体情况下可以减小到达速度，以便实现所希望的寿命。
通过对关闭件的在到达点时的速度的控制或调节，也可以优化不同于密封件的其它部件例如促动器或关闭机构(其是将促动器的运动传递到关闭件上的传动件)的磨损。
根据本发明的另一或附加的方面，可以有控制装置至少一次地例如在系统刚投入工作时优选重复地在关闭路径内或者在真空阀关闭时所完成的全行程内检测到达点位置的当前值。由此单独地或组合地得到不同的控制或调节方案，这些方案在下面说明。
通过对到达点的每一个当前值的重复检测，可以使得每次检测的到达点值与弹性密封件的磨损相关联。由此在密封件磨损增大的情况下，到达点越来越远离在真空阀关闭时由促动器执行的行程的起始点移动。如果超过了极限值，则可以由控制装置输出特别是光学的和/或声音的维护信号，该维护信号表明，应更换弹性密封件。
例如也可考虑且可行的是，将已有的密封件磨损考虑作为用于控制或调节在弹性密封件到达密封面时所在的到达点处的关闭件速度的变量。
也可考虑且可行的是，根据所求取的到达点，来改变在关闭件的关闭位置作用到弹性密封件上的压紧力。由此例如可以在密封件的磨损增大时增大压紧力，以便使得泄漏程度保持在所希望的值以下。
通过对到达点当前值的求取，可以在实际到达点之前的较短的间距处使得关闭件制动，以便将其在到达点时的速度调节至所希望的值。
根据本发明的另一种变型设计，可以规定，由控制装置通过对在真空阀关闭情况下到达点到达时所在的时间的确定，来检测促动器的效率或将促动器的运动传递到关闭件上的传动件的效率。该效率可以与促动器的磨损或这些传动件的磨损或这些部件的支撑件的磨损相关联，其中当超过允许的磨损时，可以由控制装置输出特别是光学的和/或声音的维护信号。该维护信号表明，应对促动器、传动件或支撑件进行维护。
本发明的方法可结合类型非常不同的阀来使用。例如，可以采用如下方式来设计该阀，即在关闭件的打开位置和关闭位置之间的整个关闭运动对于关闭件的所有部件来说都是直线形的。这种真空阀例如由US 4,809,950 A、US 6,685,163 B2或US 4,921,213 A已知。
该方法例如也可用于按照滑阀类型构造的阀，所述滑阀例如由US4,052,036 A或US 4,470,576 A已知。
按照蝶阀类型设计的真空阀例如也是可考虑的和可行的。这种蝶阀例如由US 4,634,094 A或US 6,494,434 B1已知。
此外，也可考虑且可行的是，将真空阀例如设计成L阀。这种L阀例如由US 6,431,518 B1已知。L形运动的各个运动分量在此可以由相同的或不同的促动器引起。
另外，例如也可以如下设计真空阀，即关闭件呈V形，且在两侧具有密封件，这些密封件贴靠在相应的左右颠倒的密封面上，此点如由US 6,367,770 B1已知。
下面对照附图来说明本发明的其它优点和细节。图中示出：
图1为在关闭件的关闭位置，设置在两个真空腔之间的真空阀的示意图，该真空阀沿着阀开孔的轴线被示意性地剖视地示出；
图2为在关闭件的打开位置，图1的真空阀沿着横向于阀开孔轴线的方向的示意性的剖视图；
图3为关闭件的速度和促动器的电流强度关于关闭件路径的曲线图；
图4为设置在两个真空腔之间的、可采用本发明的方式控制和调节的真空阀的另一实施方式的示意图；
图5为可采用本发明的方式控制和调节的真空阀的另一实施方式的示意性的剖视图。
在图1和2中示意性地示出了真空阀的一个实例，对于该真空阀可实施本发明的方法。真空阀包括阀体1和关闭件3，阀体1具有以通道形式构造的阀开孔2。关闭件3在打开位置(图2)使得阀开孔2打开，而在关闭位置使得阀开孔2关闭(图1)。在关闭件3的关闭位置，弹性的密封件4压靠到密封面35上。在这里，密封件4设置在关闭件3上，而密封面35设置在阀体1上。也可以采用相反的设置。
在真空阀的该实施方式中，密封件4具有位于两个平行的、沿着阀开孔2的纵轴线的方向彼此间隔开的平面中的区段，这些区段通过连接区段相互连接。对关闭件3和阀体1的密封面35的这种设计是已知的，例如在US 4,809,950 B中有所记载。
为了使得关闭件3从其在图2中所示的打开位置移动至其在图1中所示的关闭位置，使用一种促动器5，在本实施例中，该促动器5的构造形式为电动机，例如AC伺服电动机或DC伺服电动机或步进电动机。关闭件3利用促动器5通过中间连接的传动件来实现移位，在所示实施例中示意性地示出了小齿轮6和齿条7。在齿条7的凸出部分(Fortsatz)上固定着关闭件3。在这里，齿条7的形成阀杆的凸出部分被密封(密封件8)，且可移动地伸入到真空阀的真空区域中。
促动器5受控制装置9控制，其中促动器5的运动手控制装置9控制。
也可以设有多个受控制装置9控制的促动器5。
在所示实施例中，关闭件3的位置被传感器10检测，例如利用对设置在齿条7上的编码的检测。为了形成调节回路，所检测的关闭件3的位置被输送给控制装置9。在该实施例中，因而对关闭件3的运动进行调节，如优选如此进行调节。
此外设有制动器或保持机构36，关闭件3至少可以被所述制动器或保持机构36固定在关闭位置，优选还可以被固定在其它位置，例如固定在打开位置或固定在其关闭路径的任一位置。图1中仅示意性地示出的、受控制装置9触动的保持机构36可以采用有利的方式被设计成自动关闭(selbstschlieβend)，也就是说，当输送工作介质例如电流或压缩空气时，它就打开，而当不输送工作介质时，它就关闭。例如，为此可以设有弹簧装置，该弹簧装置使得摩擦部件37压靠到与关闭件3连接的部件例如齿条7上。
例如可以使用机电的、电磁的保持机构36，或者使用气动的保持机构36。
真空阀设置在真空腔11、12之间，因而通过真空阀能够实现真空腔11、12之间的连通，或者实现真空腔11、12之间的气密的封闭。例如，可以在真空腔11之一中，对至少一个有待加工的工件例如波形转换器(Waver)进行工艺处理。另一真空腔12例如可以是转换腔(Transferkammer)。
此外，优选设有图1中示意性地示出的压力传感器13、14，在相应的真空腔11、12中产生的压力可由所述压力传感器来检测。压力测量值被输送给控制装置9。
控制装置9优选还具有输入机构15，例如键盘，用于输入数据，例如用于控制或调节的输入参数。
此外，控制装置9优选具有输出机构16，例如显示器或显示屏。也可以设有声音输出机构。
在图3所示的曲线图中示出了关闭件3的速度v关于关闭路径s的曲线17。在关闭路径s的起始处，速度v首先上升到一个值，该值在大部分关闭路径上都基本保持不变。在关闭路径结束之前，速度v又下降，直至在关闭路径结束时达到关闭件3的静止状态，此时弹性的密封件4以所希望的力压靠到密封面上。
图3中示出了弹性的密封件4到达密封面上时所在的点。该点p之前的关闭路径也可以称为关闭行程18，该点p之后直至调节的关闭路径称为密封行程19。整个关闭路径也可以称为全行程20。
在所示实施例中，整个关闭路径s例如为所示的59mm。
关闭件3到达点p时的速度v由控制装置9来调节。在这里，在到达点(Aufsetzpunkt)p时的速度v的大小(＝到达速度)根据至少一个用于控制或调节的输入参数来调节。
弹性密封件4的组成材料优选用作这种输入参数。特别是已知由FKM(氟弹性体，氟橡胶)、FFKM(全氟弹性体)或硅树酯(Silikon)构成的弹性密封件。例如，相比于由FKM或硅树脂构成的密封件，可以为由FFKM材料构成的密封件选择较小的到达速度。
密封件4的组成材料可以通过输入机构15输入到控制装置9中。例如，密封件4也可以设有相应的编码，该编码被传感器检测。
根据输入参数将到达速度调节至不同的值，替代地或附加地，作为所述输入参数，可以使用一种过程气体(Prozessgas)，这种过程气体特别是位于形成处理腔的真空腔11中，并与密封件4接触。
到达速度也可以根据用于允许的颗粒产生的输入值来选择。到达速度越高，就会产生越多的颗粒，其中某些应用对颗粒产生是敏感的。
在真空阀关闭时对关闭件3的速度控制，利用控制装置9，通过对促动器5的相应控制来实现。在这里，优选检测速度实际值，在所示实施例中通过传感器10进行检测，其中形成了用于将速度调节至所希望的给定值的调节回路。
此外，在图3中示出了促动器所吸取的电流I的大小关于关闭路径s的曲线21。在促动器5起初加速之后，电流I下降到在大部分关闭路径上都基本恒定的值(优选偏差小于10％)。为了在到达点p到达前不久使得关闭件3制动，所输送的电流强度首先上升，以便以后又下降。当密封件4在到达点p到达密封面时，出现电流强度的峰值22(电流强度在相对短的时间间隔内上升和下降)。在该峰值之后，电流强度I上升，同时弹性密封件4的压力增加，直至关闭路径结束。在关闭位置，在激活保持机构36之后，可以切断电流输送。
最好使得整个关闭路径s所需要的时间的至少20％优选40％用于关闭路径的后部分，关闭路径的后部分延伸经过双倍的密封行程19。
可以从电流强度的峰值22，由控制装置9求得到达点p。
至少在系统刚投入工作时和在更换对于到达点p的值重要的组件时，例如在更换关闭件3、其密封件4、促动器5、在促动器5和关闭件3之间中间连接的传动件时，或者在更换控制装置9本身时，在宣导(Einlern)-关闭过程中检测到达点p。由此也可以优化对关闭件3的速度控制或调节。
如果到达点p本身未被直接检测，例如可以采用如下方式对关闭件3的速度v进行控制或调节，以便在到达点p将所述速度v调节至所希望的值，即检测关闭路径的终止点，并从弹性密封件的至少近乎公知的压缩求得到达点p的近似值，且在大致求得的到达点周围足够大的区域内使得速度值恒定地保持所希望的值。
但最好如前所述，至少在系统刚投入工作时或者在更换对于到达点的值重要的组件时，实施宣导-关闭过程，从该过程求得到达点的值。
但优选重复地检测到达点p的位置，例如在每次(第n次)关闭过程中都进行检测，其中n是1和1000之间的自然数。
如果重复地对到达点p的当前值进行检测，则可以从到达点p的位置例如推断出密封件的磨损。由于磨损和经过重复的压缩之后不能完全恢复到最初的直径，到达点p越来越远离关闭路径的起始点或远离以阀体1为基准的另一固定点移动，在真空阀关闭时会经过该固定点。如果对所检测的到达点的当前值与预先给定的极限值的比较得出弹性密封件4磨损严重的结论，则由控制装置9输出维护信号，该维护信号表明必须要更换弹性密封件4。
如果要对促动器或阀机构的一部分进行改变，则将当前存在的密封件磨损存储起来，以便能够确定在宣导-关闭过程之后仍允许的密封件磨损。
如果更换了密封件或具有密封件的关闭件，则磨损被重置为值零，且进行用于检测到达点p的宣导-关闭过程。
根据所求得的到达点p的位置，例如也可以在关闭件3的关闭位置适配调节施加到弹性密封件4上的压紧力。这样就可以在磨损严重时加大该压紧力，以便像以前一样实现所希望的气密性。
从在真空阀关闭情况下到达点p到达时所在的时间段，可以由控制装置9求得促动器5的效率和在促动器5和关闭件3之间中间连接的传动件的效率。电流强度至少在大部分关闭路径内，例如在超过80％的关闭路径内，被调节至在每次关闭过程中都相同的值，参见图3。根据效率得到大很多或不太大的速度v和与此相关的直至到达到达点p的长很多或不太长的时间段。如果确定效率太低，则由控制装置9输出维护信号。
在求取效率时也可以检测时间，在规定值的输送电流情况下，关闭件3需要用所述时间来经过关闭路径的一定的部分路程。该部分路程例如可以通过传感器10来检测。
在关闭件3的关闭位置，作用到密封件4上的压紧力被调节到所希望的值。对压紧力的控制或调节可以通过力或位移控制或调节来进行。在力控制或调节情况下，由促动器施加的力通过对工作介质的相应的输送来调节，所述工作介质在这里为电流强度。所施加的力例如可以通过应变计来检测。在位移控制或调节情况下，调节密封行程19的大小，以便实现相应的作用到密封件4上的压紧力。为此，检测到达点p，例如如前所述进行检测，或者利用光学使用摄像机进行检测。从到达点p起，关闭件3还要朝向阀座移动经过一段路程，该段路程相应于所希望的密封行程。
如果在关闭情况下到达预先给定的关闭位置，则触动保持机构(制动器)36，以便固定调节好的压紧力。然后可以切断对工作介质的输送，在当前情况下为切断电流输送。
在工作介质中断的情况下，可以通过设计成自动关闭的保持机构36，来确定关闭件3恰好所处的表明安全特征的位置。
如已知的那样，在关闭件3的关闭位置作用到弹性密封件4上的压紧力可以由控制装置9根据在两个真空腔11、12之间起作用的差压来调节。
图4中示意性地示出气动地工作的真空阀的一个实施例。在这里，给促动器5输送作为工作介质的处于压力下的空气。为了能够对关闭件3的速度进行有效的调节，可以同时在两侧给促动器5的活塞23施加压缩空气，其中两个气缸室中的压力差可由控制装置9通过相应的调节件24、25来调节。
到达点p在这里必要时可以从关于关闭路径s的压力变化曲线来测得。
与所使用的促动器5的类型无关，到达点p例如也可以利用光学使用摄像机来检测。
在本实施例中，对真空阀的控制或调节可以采用与前述对照附图1至3所述类似的方式来进行，其中对真空阀3的控制或调节替代前述通过电流强度进行，现在通过工作介质的压力或压力差来进行。
本发明的所述不同方面也可在不同设计的真空阀上实施。图5中仅示例性地示出L阀。通过设计成活塞-气缸单元的促动器26，使得关闭件3在其打开位置和与密封面相对的、但还脱离密封面的位置之间移位，为此给压缩空气管路27、28相应地施加压缩空气或通风。通过也由活塞-气缸单元构成的促动器29，使得关闭件3压靠到具有密封面的阀座上，为此给压缩空气管路30、31相应地施加压缩空气或通风，以便使得活塞32移动。通过偏心地支撑的齿轮33来使得密封件4压紧到设置在阀体1上的密封面上，所述齿轮33与设置在活塞32上的齿条34配合作用。
密封件4到达密封面时的到达速度例如也可以根据密封件4的材料来改变。
根据对到达点的位置的确定，也可以推断出密封件4的磨损，以便在效率较低时输出维护信号。
在所有实施例中，可以通过对使得关闭件3移位所需的力的监视来提供免于杂质的夹紧防护。特别是在检测到达点p时可以监视是否在关闭情况下在到达点p到达之前出现了超过预先给定的极限值的力上升，以便实现这种夹紧防护。
为了检测关闭件3的位置和/或速度，可以使用不同类型的传感器，例如光学的或感应的传感器。
关闭件3在其关闭位置固定的实现方式例如也可以是，利用设计成自动制动的、传递促动器5的运动的传动件(例如自动制动的螺旋式起升传动机构)或促动器本身，或者使得传动件移动经过死点。
附图标记列表
1    阀体
2    阀开孔
3    关闭件
4    弹性的密封件
5    促动器
6    小齿轮
7     齿条
8     密封件
9     控制装置
10    传感器
11    真空腔
12    真空腔
13    压力传感器
14    压力传感器
15    输入机构
16    输出机构
17    曲线
18    关闭行程
19    密封行程
20    全行程
21    曲线
22    峰值
23    活塞
24    调节件
25    调节件
26    促动器
27    压缩空气管路
28    压缩空气管路
29    促动器
30    压缩空气管路
31    压缩空气管路
32    活塞
33    齿轮
34    齿条
35    密封面
36    保持机构
37    摩擦部件

Claims (12)

1.一种用于控制或调节真空阀的方法，该真空阀包括：
-带有阀开孔(2)的阀体(1)；
-关闭件(3)，其为了关闭真空阀可在打开位置和关闭位置之间移位经过关闭路径(s)，且在关闭位置封闭阀开孔(2)，其中至少一个弹性的密封件(4)压靠到密封面(35)上；
-用于使得关闭件(3)移位的促动器(5)；和
-控制装置(9)，通过该控制装置可控制促动器(5)，
其特征在于，考虑关闭路径(s)的在弹性的密封件(4)到达密封面(35)时的点(p)和/或关闭件(3)的此时存在的速度(v)，作为用于控制装置(9)的决定性的参数。
2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，由控制装置(9)根据至少一个参数或至少一个变量来调节关闭件(3)的速度(v)，关闭件(3)以该速度(v)到达到达点(p)。
3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，由控制装置(9)针对弹性的密封件(4)的不同的材料，将关闭件(3)的速度(v)调节至不同的值，关闭件(3)以该速度(v)到达到达点(p)。
4.如权利要求2或3所述的方法，其特征在于，由控制装置(9)针对不同的过程气体，将关闭件(3)的速度(v)调节至不同的值，关闭件(3)以该速度(v)到达到达点(p)，弹性的密封件(4)与所述过程气体接触。
5.如权利要求1至4中任一项所述的方法，其特征在于，由控制装置(9)实施至少一个宣导-关闭过程，在该过程中，检测被考虑用于控制或调节真空阀的参数的至少一个值。
6.如权利要求1至5中任一项所述的方法，其特征在于，由控制装置(9)至少一次地优选重复地检测在关闭路径(s)内的点(p)，弹性的密封件(4)在该点(p)时到达密封面(35)。
7.如权利要求6所述的方法，其特征在于，由控制装置(9)对到达点(p)的每一个检测到的值与极限值进行比较。
8.如权利要求7所述的方法，其特征在于，根据比较的结果，由控制装置(9)输出维护信号。
9.如权利要求6至8中任一项所述的方法，其特征在于，由控制装置(9)，通过对在真空阀关闭情况下到达点(p)到达时所在的时间的确定，来检测促动器的效率或将促动器(5)的运动传递到关闭件(3)上的传动件的效率，所述效率与促动器(5)的磨损或这些传动件的磨损相关联。
10.如权利要求1至9中任一项所述的方法，其特征在于，弹性的密封件(4)到达密封面(35)时的到达点(p)从关于关闭路径(s)的变化曲线中求得，该变化曲线反映了向促动器(5)输送工作介质。
11.如权利要求1至10中任一项所述的方法，其特征在于，到达点(p)从向用电工作的促动器(5)输送的电流的电流强度(I)关于关闭件(3)的关闭路径(s)的变化曲线中求得。
12.如权利要求1至11中任一项所述的方法，其特征在于，在关闭真空阀时，使得整个关闭路径(s)所需要的时间的至少20％优选40％用于关闭路径(s)的后部分，关闭路径的后部分为从到达点(p)至关闭位置的路径的长度的两倍。
CN2008801000660A 2007-07-24 2008-07-21 用于控制或调节真空阀的方法 Active CN101755159B (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE200710034926 DE102007034926A1 (de) 2007-07-24 2007-07-24 Verfahren zur Steuerung oder Regelung eines Vakuumventils
DE102007034926.4 2007-07-24
PCT/AT2008/000263 WO2009012509A2 (de) 2007-07-24 2008-07-21 Verfahren zur steuerung oder regelung eines vakuumventils

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN101755159A true CN101755159A (zh) 2010-06-23
CN101755159B CN101755159B (zh) 2012-06-20

Family

ID=40175628

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2008801000660A Active CN101755159B (zh) 2007-07-24 2008-07-21 用于控制或调节真空阀的方法

Country Status (8)

Country Link
US (1) US8132782B2 (zh)
EP (1) EP2171335B1 (zh)
JP (1) JP5340283B2 (zh)
KR (1) KR101482815B1 (zh)
CN (1) CN101755159B (zh)
AT (1) ATE504771T1 (zh)
DE (2) DE102007034926A1 (zh)
WO (1) WO2009012509A2 (zh)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103375601A (zh) * 2012-04-27 2013-10-30 株式会社V泰克斯 可控制密封件压缩量的闸阀
CN104236467A (zh) * 2014-10-10 2014-12-24 慈溪市三洋电子有限公司 一种检测电机阀开阀距离的装置
CN104421437A (zh) * 2013-08-20 2015-03-18 中微半导体设备(上海)有限公司 活动阀门、活动屏蔽门及真空处理系统
CN108361865A (zh) * 2018-04-20 2018-08-03 珠海格力电器股份有限公司 风道组件及新风机组
CN108413553A (zh) * 2018-04-20 2018-08-17 珠海格力电器股份有限公司 一种新风机组
CN108571600A (zh) * 2017-03-09 2018-09-25 Vat控股公司 具有光学传感器的真空阀
CN110520661A (zh) * 2017-04-19 2019-11-29 Vat控股公司 具有力传感器的真空阀

Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8833383B2 (en) 2011-07-20 2014-09-16 Ferrotec (Usa) Corporation Multi-vane throttle valve
EP2749798B1 (de) * 2012-12-27 2016-03-02 VAT Holding AG Vakuumschieberventil
KR101388044B1 (ko) * 2013-07-30 2014-04-22 한국기계연구원 밸브 액추에이터
US9638335B2 (en) 2015-01-08 2017-05-02 King Lai Hygienic Materials Co., Ltd. Double sealing valve
US20180012692A9 (en) * 2015-02-12 2018-01-11 Eaton Corporation Multi-piece armature and solenoid with amplified stroke
US9829397B2 (en) * 2015-09-28 2017-11-28 Apple Inc. Compression seal for force sensing device
KR101891825B1 (ko) * 2016-06-30 2018-08-24 주식회사 조은이엔지 증착공정용 개폐장치
JP6760092B2 (ja) * 2017-01-12 2020-09-23 株式会社島津製作所 真空バルブ
EP3421850A1 (de) * 2017-06-30 2019-01-02 VAT Holding AG Vakuumventil mit positionssensor
JP6856483B2 (ja) * 2017-09-25 2021-04-07 愛三工業株式会社 流体制御弁の制御装置
JP6392479B1 (ja) 2018-04-27 2018-09-19 株式会社ブイテックス 真空バルブ駆動制御方法
JP6368882B1 (ja) * 2018-05-14 2018-08-01 株式会社ブイテックス ゲートバルブの制御方法
WO2019239673A1 (ja) * 2018-06-12 2019-12-19 株式会社アルバック 仕切弁装置
US20200371632A1 (en) 2019-05-24 2020-11-26 Apple Inc. Force Sensor and Coplanar Display
JP2022544436A (ja) 2019-05-31 2022-10-19 グリーン， ツイード テクノロジーズ， インコーポレイテッド 半導体弁において有用であるシール特性の監視および分析のためのスマートシール
DE102022000602A1 (de) 2022-02-17 2023-08-17 Vat Holding Ag Vakuumeckventil mit Drucksensor

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH582842A5 (zh) 1974-07-15 1976-12-15 Vat Ag
DE3209217C2 (de) 1982-03-13 1985-10-03 Siegfried Haag Schertler Schiebeventil
DE3508318C1 (de) 1985-03-08 1986-07-24 Schertler, Siegfried, Haag Absperrklappe
DE3717724A1 (de) 1987-05-26 1988-12-08 Schertler Siegfried Ventilschieber mit einem schiebergehaeuse
DE3831249A1 (de) 1988-09-14 1990-03-22 Schertler Siegfried Ventilschieber
DE4023845C1 (en) * 1990-07-27 1992-04-02 Vat Holding Ag, Haag, Ch Shut-off valve for semiconductor producinvacuum equipment - has valve disc pressed against valve seal by actuator and seal between disc and seat
JPH09210246A (ja) * 1996-02-06 1997-08-12 Nikon Corp 真空ゲートバルブ
KR100264220B1 (ko) * 1997-09-11 2000-09-01 권이랑 전자밸브용 액츄에이터의 제어시스템
US6073655A (en) * 1998-03-10 2000-06-13 Applied Materials, Inc. High pressure/vacuum isolation apparatus and method
US6367770B1 (en) 2000-03-23 2002-04-09 Vat Holding Ag Vacuum valve for separating two vacuum chambers
JP2002054759A (ja) * 2000-08-14 2002-02-20 Nissan Motor Co Ltd 電磁駆動弁の制御装置
US6431518B1 (en) 2001-01-11 2002-08-13 Vat Holding Ag Vacuum valve
US6629682B2 (en) * 2001-01-11 2003-10-07 Vat Holding Ag Vacuum valve
US6494434B1 (en) 2001-07-12 2002-12-17 Vat Holding Ag Butterfly valve
US6685163B2 (en) 2002-02-26 2004-02-03 Vat Holding Ag Vacuum valve
US6698719B2 (en) * 2002-06-26 2004-03-02 Vat Holding Ag Seal arrangement for a vacuum valve
DE602004003143T2 (de) * 2003-05-26 2007-08-23 Danfoss A/S Servoventil für ein vakuumsystem
JP4196293B2 (ja) * 2004-08-02 2008-12-17 Ｓｍｃ株式会社 真空調圧用バルブ
US7036794B2 (en) * 2004-08-13 2006-05-02 Vat Holding Ag Method for control of a vacuum valve arranged between two vacuum chambers
JP4547674B2 (ja) 2005-11-24 2010-09-22 Ｓｍｃ株式会社 真空調圧システム

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103375601A (zh) * 2012-04-27 2013-10-30 株式会社V泰克斯 可控制密封件压缩量的闸阀
CN103375601B (zh) * 2012-04-27 2015-07-29 株式会社V泰克斯 可控制密封件压缩量的闸阀
CN104421437A (zh) * 2013-08-20 2015-03-18 中微半导体设备(上海)有限公司 活动阀门、活动屏蔽门及真空处理系统
CN104421437B (zh) * 2013-08-20 2017-10-17 中微半导体设备(上海)有限公司 活动阀门、活动屏蔽门及真空处理系统
CN104236467A (zh) * 2014-10-10 2014-12-24 慈溪市三洋电子有限公司 一种检测电机阀开阀距离的装置
CN108571600B (zh) * 2017-03-09 2021-08-06 Vat控股公司 真空阀系统
CN108571600A (zh) * 2017-03-09 2018-09-25 Vat控股公司 具有光学传感器的真空阀
CN110520661A (zh) * 2017-04-19 2019-11-29 Vat控股公司 具有力传感器的真空阀
CN110520661B (zh) * 2017-04-19 2022-03-08 Vat控股公司 具有力传感器的真空阀
CN108413553A (zh) * 2018-04-20 2018-08-17 珠海格力电器股份有限公司 一种新风机组
CN108361865A (zh) * 2018-04-20 2018-08-03 珠海格力电器股份有限公司 风道组件及新风机组
CN108413553B (zh) * 2018-04-20 2023-08-29 珠海格力电器股份有限公司 一种新风机组
CN108361865B (zh) * 2018-04-20 2023-09-01 珠海格力电器股份有限公司 风道组件及新风机组

Also Published As

Publication number Publication date
DE102007034926A1 (de) 2009-02-05
DE502008003123D1 (de) 2011-05-19
JP2010534301A (ja) 2010-11-04
KR20100046150A (ko) 2010-05-06
WO2009012509A3 (de) 2009-03-12
EP2171335A2 (de) 2010-04-07
WO2009012509A2 (de) 2009-01-29
CN101755159B (zh) 2012-06-20
ATE504771T1 (de) 2011-04-15
US20100108151A1 (en) 2010-05-06
US8132782B2 (en) 2012-03-13
JP5340283B2 (ja) 2013-11-13
EP2171335B1 (de) 2011-04-06
KR101482815B1 (ko) 2015-01-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101755159B (zh) 用于控制或调节真空阀的方法
CN101809349B (zh) 用于控制或者调节真空阀的方法
US7178447B2 (en) Control valve and a method for a percussion device with a working cycle involving several coupling moments
JP5739420B2 (ja) 送出量を制御する方法および送出量制御機能を備える往復動圧縮機
CN101104404A (zh) 制动系统、行程模拟器断开机构和行程模拟器断开方法
CN106739122B (zh) 机械信号换向的电液控制压力机械
CN103481252A (zh) 传动装置壳体
CN102767639A (zh) 带有至少一个封闭机构的阀
KR20180036713A (ko) 공압식 밸브 드라이브
CN104514907B (zh) 用于可控地引入吹制介质的阀装置
KR101717042B1 (ko) 공압을 이용한 밸브 개폐용 액츄에이터
CN202001688U (zh) 一种具有压力滞回特性的压力开关阀
CN103372851B (zh) 手持式工具机及其控制方法
KR20120120286A (ko) 밸브에서의 유체 작동식 작동 드라이브
CN202510450U (zh) 一种液压油缸及液压系统
CA2419737A1 (en) Hydraulic elevator with an accumulator
US20150158166A1 (en) Pneumatic Percussion Mechanism Apparatus
CN102239393A (zh) 秤
CN111151664B (zh) 压机
CA2591893A1 (en) Method for controlling pressure fluid operated percussion device, and percussion device
CN219692319U (zh) 一种管夹阀
KR101824441B1 (ko) 댐퍼기능과 속도제어기능을 동시에 구비한 액추에이터
EP1674209A3 (en) Percussion power tool apparatus
CN208429321U (zh) 玻璃基板包装工位
CN102537317A (zh) 用于运行cvt变速器的装置

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant