CN101629708B - 准分子灯装置 - Google Patents

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Abstract

一种准分子灯装置，将装备于较长筐体的灯支撑体的位置平常保持一定，不会有灯支撑体与被处理物的摩擦，消除由于隔壁的热变形所导致的灯支撑体的位置变化，且防止从准分子灯的周围所产生的臭氧对搭载于筐体内的设备的腐蚀。该准分子灯装置(1)具备：筐体(1)；被筐体支撑的悬架体(4)；被悬架体支撑的灯支撑体(6)，被灯支撑体支撑的准分子灯(5)，以及，设于准分子灯与悬架体之间的隔壁(7)；灯支撑体松嵌合于设在隔壁上的贯通孔(8)并被悬架体支撑。而且，设置有调整灯支撑体相对于悬架体的上下方向的位置的调整机构，设置有防止气体通过贯通孔与松嵌合于贯通孔的灯支撑体之间的遮蔽机构。

Description

准分子灯装置
技术领域
本发明涉及准分子灯装置，例如，涉及应用于液晶基底洗净用干洗净装置的准分子灯装置。 
背景技术
如专利文献1所揭示的那样，以往的准分子灯装置是在灯罩平行地配置由介质障壁放电形成准分子分子的放电用气体所构成的多个准分子灯并加以收纳，又在灯罩设置取出从准分子分子所放出的紫外线的玻璃照射窗。但是，近年来随着被处理物的基板的大型化，因制作大型玻璃照射窗很困难，因此如专利文献2及3所揭示的那样，不设置玻璃照射窗。此时，为将准分子灯设于大气中而在周围喷上氮气以降低氧气浓度，而使用有效利用紫外线的技术。另外，随着基板的长尺寸化，准分子灯也被要求为较长，但因过长而使得准分子灯的设置或拆除的操作性不好，也有操作中损坏的危险性，因而如专利文献4所揭示的那样，创作了分割照射区域的方式锯齿状地配置短准分子灯的准分子灯装置。 
[专利文献1]日本特许第2854255号公报 
[专利文献2]日本特开2005-259380号公报 
[专利文献3]日本特开2005-222905号公报 
[专利文献4]日本特许第3972586号公报 
[专利文献5]日本特开2003-159571号公报 
[专利文献6]日本特开2005-193088号公报 
随着被处理物的基板大型化，搬运基板的搬运机的基板宽度变大，准分子灯装置也长尺寸化。大型的准分子灯装置是因自重而容易弯曲。还有，通过准分子灯的点灯动作，灯罩受到热放射而膨胀下垂。其弯曲量会达到0.5mm至2mm。一方面，准分子灯装置放射172nm的光，但为了大气中或是处理环境中的氧气不会吸收172nm的光，如专利文献5也揭示的那样，将 到基板为止的照射距离设定成较短。照射距离多被设定成1mm至3mm左右，但在该距离下，通过由上述灯罩的弯曲及热膨胀所导致的下垂，支撑着被搭载于灯罩的中央部的准分子灯的灯支撑部的位置下降，接近基板，最后接触而存在损伤基板表面的问题。而且，在专利文献6中，示出有设置受到来自准分子灯的热放射的部件的事例，但该情况下，该部件本体受到热影响而会膨胀，因而有灯支撑体朝下方下降的危险。一方面，作为躲开该膨胀，在部件设置用于贯通灯支撑体的开口部，在灯支撑体与开口部之间滑动，因而从该部分发生粒子，而在基板的制造过程上有带来重大不良影响的问题。 
图4是表示现有技术涉及的准分子灯装置100的构成的一例的图，图4(a)是表示准分子灯装置100的构成的主视剖面图，图4(b)是准分子灯装置100的侧视剖面图。 
如这些图所示，准分子灯装置100在灯罩101的下部配置有支撑准分子灯102的灯支撑体103a、103b。一方面，在灯罩101的内部搭载有点灯准分子灯102，或是为了控制所需要的升压变压器104或控制装置105。升压变压器104或控制装置105为了防止通过从准分子灯102的周围所产生的臭氧对电布线或印刷基板的腐蚀，在灯罩101上设置盖106加以隔离。通常，灯罩101用螺栓等固定于固定台107上，而且，在准分子灯102的附近设有用于以氮气来置换周围的大气的氮气导入管109，而每分钟喷上大概数十至数百升的氮气。而且，设有对从准分于灯102所放射的紫外线进行遮光，而且抑制从氮气导入管109所导入的氮气从筐体101下方流出的壁108。当基板110用滚子111在准分子灯装置100下面搬运而通过时，灯罩101的下部就像通过基板110被盖住，通过喷上氮气，使得准分子灯102周围的氧气浓度降低。当降低氧气浓度时，172nm的光被氧气吸收的量变少，而可有效地将172nm的光照射在基板110。 
此种灯罩101例如在基板宽度为2200mm时，灯被点灯前的灯罩101的弯曲是0.5mm左右。这是包含升压变压器104或控制装置105等的内部搭载设备的灯罩101的自重所导致的弯曲。被搭载于较长的灯罩101的多个准分子灯102在灯罩101的中央部被分割，设置成以多个准分子灯102可照射基板宽度时，则准分子灯102被固定于设置在灯罩101的中央部的灯 支撑体103a。 
当灯罩101因自重下垂时，则灯支撑体103a的位置下降，存在接近基板110而接触的危险。而且，在点灯了准分子灯102时，准分子灯102放射172nm的光，同时发热而达到约200℃。受到来自准分子灯102的热放射，灯罩101达到80～120℃。灯罩101两端被固定于固定台107，因而没有热胀的躲开处而朝下侧下降。该下降量即、膨胀量是通过准分子灯102的灯输出或点灭点灯周期等，温度会变而变化，若灯罩101的温度不变，则灯支撑体103a的位置考虑到灯罩101的下垂而设计，可避免与基板110接触，但在变更准分子灯装置100的点灯输出或点灭方法时，则无法以灯支撑体103a的形状来设计该下垂量。 
发明内容
本发明的目的是鉴于上述问题，提供将装备于较长筐体的灯支撑体的位置平常保持一定，灯支撑体(或是准分子灯)不会与被处理物相摩擦，并且消除隔壁的热变形所导致的灯支撑体的位置变化的准分子灯装置。 
而且，本发明的其他目的在于提供防止从准分子灯的周围所产生的臭氧对搭载于筐体内的设备的腐蚀的准分子灯装置。 
本发明为了解决上述课题采用如下方案。 
第1方案是一种准分子灯装置，其特征在于，具备：筐体；悬架体，被该筐体支撑；灯支撑体，在上述筐体的中央部被该悬架体支撑；准分子灯，被该灯支撑体支撑；以及，隔壁，设于上述准分子灯与上述悬架体之间，以堵住上述筐体的下部；上述灯支撑体松嵌合于设在上述隔壁上的贯通孔并被上述悬架体支撑。 
第2方案的准分子灯装置的特征在于，在第1方案中，设置有调整上述灯支撑体相对于上述悬架体的上下方向的位置的调整机构。 
第3方案的准分子灯装置的特征在于，在第1方案或第2方案中，设置有防止上述贯通孔与松嵌合于该贯通孔的灯支撑体间的气体通过的遮蔽机构。 
第4方案的准分子灯装置的特征在于，在第3方案中，上述遮蔽机构是设置于上述贯通孔周边与灯支撑体之间的波纹管。 
发明效果 
根据第1方案所述的发明，可将装备于较长筐体的灯支撑体的位置平常保持一定，使灯支撑体不会与被处理物相摩擦，同时可消除隔壁的热变形所导致的灯支撑体的位置变化。 
根据第2方案所述的发明，可调整灯支撑体的上下方向的位置。 
根据第3方案以及第4方案所述的发明，可防止从准分子灯的周围所产生的臭氧对搭载于筐体内的设备的腐蚀。 
附图说明
图1是表示第1实施方式的发明涉及的准分子灯装置1的构成的图。 
图2是表示第2实施方式的发明涉及的准分子灯装置1的构成的图。 
图3是表示第3实施方式的发明涉及的准分子灯装置1的构成的图。 
图4是表示现有技术涉及的准分子灯装置100的构成的一例的图。 
标记说明 
1：准分子灯装置，2：筐体，21：固定板，22：侧板，23：遮蔽板，3：固定台，4：悬架体，5：准分子灯，6：灯支撑体，61：支撑柱，62a：灯支撑部件62b：灯支撑部件7：隔壁，8：贯通孔，9：电气设备，91：升压变压器，92：控制装置，10：壁，11：基板，12：辊，13：氮气导入管，14：调整机构，141：紧定螺钉，142：通孔，15：遮蔽机构。 
具体实施方式
使用图1来说明本发明的第1实施方式。 
图1是表示本实施方式的发明涉及的准分子灯装置1的构成的图，图1(a)是表示准分子灯装置1的构成的主视剖面图，图1(b)是准分子灯装置1的侧视剖面图。 
如这些图所示，筐体2由被载置于固定台3的固定板21、被配置于固定板21之间的侧板22、以及遮蔽固定板21及侧板22上面的遮蔽板23构成。在筐体2内在固定板21之间固定有悬架体4，在筐体2的大约中央部灯支撑体6被支撑于悬架体4。灯支撑体6由一端侧被悬架体4支撑而另一端侧支撑灯支撑部件62a的支撑柱61、及支撑准分子灯5的灯支撑部件62a构成。而且，在准分子灯5与悬架体4之间设有隔壁7以堵住筐体1的下 部，灯支撑体6的支撑柱61在松嵌合于设在隔壁7的贯通孔8的状态下被悬架体4支撑。即、贯通孔8具有比支撑柱61的外径大的直径，所以贯通孔8与支撑柱61成为松嵌合的状态。在隔壁7上，搭载有为了点灯准分子灯5所需要的升压变压器91或控制装置92等的电气设备9。而且，在隔壁7的下面配置有准分子灯5与支撑准分子灯5的灯支撑部件62a、62b，从悬架体4经由支撑柱61及灯支撑部件62a悬挂着准分子灯5。而且，在准分子灯5附近设有用于以氮气置换周围的大气的氮气导入管13，每分钟大概喷上数十至数百升的氮气。而且，设置壁10，遮挡从准分子灯5所放射的紫外线，并且抑制从氮气导入管13所导入的氮气从筐体2的下方流出的情况。 
通过如此构成准分子灯装置1，即使是较长的筐体2，或是由于筐体2的自重及内部搭载设备的重量使得隔壁7弯曲，因为灯支撑体6通过悬架体4进行定位，因而不存在与基板11的距离变化的问题。而且，点灯准分子灯5而隔壁7受到热放射时，隔壁7会热膨胀而下垂。但是，不管其热膨胀量为多少，都被隔壁7所遮住，悬架体4不会受到热放射，而且，悬架体4被悬架于被载置于筐体2的固定台3的固定板21上，因而通过点亮灯也不存在悬架体4的位置变化的情况。所以，被悬架体4支撑的灯支撑体6也不会改变位置，因而通过准分子灯5的点灯动作，不会有灯支撑体6与通过滚子12所搬运的基板11接触而损伤的问题。而且，灯支撑体6以松嵌合于设在隔壁7的贯通孔8的状态下被悬架体4支撑，因而不会有灯支撑体6与贯通孔8滑动的情形，所以可防止滑动所导致的粉尘的产生。而且，筐体2被遮蔽板23遮蔽，因而可防止从准分子灯5的周围所产生的臭氧对电气设备9的电布线或印刷基板的腐蚀。 
使用图2来说明本发明的第2实施方式。 
图2是表示本实施方式的发明涉及的准分子灯装置1的构成的图，图2(a)是表示准分子灯装置1的构成的主视剖面图，图2(b)是准分子灯装置1的侧视剖面图。 
如同图所示地，为了调整灯支撑体6的支撑柱61相对于悬架体4的上下方向的位置，设置紧定螺钉141与由在悬架体4上用于贯通紧定螺钉141的通孔142构成的调整机构14。而且，其他的构成对应于图1(a)、(b) 所表示的相同符号的构成，因而省略说明。 
通过将准分子灯装置1如此地构成，悬架体4本身也施加其自重与灯支撑体6的重量，因而稍弯曲。通过将灯支撑体6的位置设定在规定位置之后，锁紧紧定螺钉141加以固定，也可矫正悬架体4的微量的弯曲。 
接着，使用图3来说明本发明的第3实施方式。 
图3是表示本实施方式的发明涉及的准分子灯装置1的构成的图，图3(a)是表示准分子灯装置1的构成的主视剖面图，图3(b)是准分子灯装置1的侧视剖面图。 
如同图所示地，支撑体6松嵌合于贯通孔8，因而存在从间隙流入臭氧的危险，因而设置防止贯通孔8与松嵌合于贯通孔8的灯支撑体6之间的气体通过的遮蔽机构15。作为遮蔽机构15使用具有耐紫外线性与耐臭氧性的金属波纹管或特氟隆(注册商标)波纹管。而且，其他的构成对应于图1(a)、(b)所表示的相同符号的构成，因而省略说明。 
通过将准分子灯装置1如此地构成，在准分子灯5的周围所产生的臭氧不会进入到筐体2内，而且也没有波纹管15对悬架体4的负荷，因而在对保持灯支撑体6的位置的功能进行保持的情形下可防止臭氧的进入。因为未进入臭氧，因而不会有对搭载于筐1内部的电气设备的腐蚀，可实现可靠性高的准分子灯装置1。 

Claims (4)

1.一种准分子灯装置，其特征在于，具备：
筐体；
悬架体，被该筐体支撑；
灯支撑体，在上述筐体的中央部被该悬架体支撑；
准分子灯，被该灯支撑体支撑；以及，
隔壁，设于上述准分子灯与上述悬架体之间，以堵住上述筐体的下部；
上述灯支撑体松嵌合于设在上述隔壁上的贯通孔并被上述悬架体支撑。
2.如权利要求1所述的准分子灯装置，其特征在于，
设置有调整上述灯支撑体相对于上述悬架体的上下方向的位置的调整机构。
3.如权利要求1或2所述的准分子灯装置，其特征在于，
设置有防止上述贯通孔与松嵌合于该贯通孔的灯支撑体之间的气体通过的遮蔽机构。
4.如权利要求3所述的准分子灯装置，其特征在于，
上述遮蔽机构是设置于上述贯通孔周边与灯支撑体之间的波纹管。
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