CN101199923A - 准分子光照射装置 - Google Patents

Abstract

本发明要解决的问题是提供一种准分子光照射装置，在利用准分子光清洁液晶面板用玻璃基板等的清洁装置中，可以进行高效的清洁，能够无偏差地清洁大型基板。本发明的准分子光照射装置在并列配置有多根准分子灯的灯壳内具有喷出至少包括氮气等不活泼气体的气体的喷气管，具有由该喷气管和该准分子灯上表面部分及该灯壳的间隔壁包围而成的第一置换空间、以及由该喷气管和该准分子灯下表面部分及搬运的基板包围而成的第二置换空间，通过从该喷气管向该第一置换空间喷出不活泼气体，形成该第一置换空间。

Description

准分子光照射装置

技术领域

本发明涉及一种准分子光照射装置，特别是涉及在半导体或液晶基板的制造工序中用于清洁基板等的准分子灯装置，制作该清洁时的氛围的结构具有特点的准分子光照射装置。

背景技术

近来的半导体或液晶基板的制造工序中，作为除去硅晶片或玻璃基板表面上附着的有机化合物等污物的方法，广泛利用使用紫外线进行干式清洁的方法。尤其在利用准分子灯放射出的真空紫外线的臭氧等活性氧进行清洁的方法中，提出了种种清洁装置，能够更高效率地在短时间内进行清洁。作为现有的这种技术，例如公知的有特开2001-137800号公报等。

根据该公报，记载了清洁基板表面的基板处理装置，在变为氮气氛围的灯壳内，配置有多根准分子灯，从该准分子灯放射的紫外线照射由辊带传送到该灯壳内的基板上，并利用臭氧等活性氧分解有机物，变换为挥发物质并除去。

但是，在这种基板处理装置中，在要进行处理的基板搬入该基板处理装置时，会有在搬入的入口部处卷入氧气而产生处理偏差的问题。并且，在该入口部和该出口处，氛围气体内的氧气浓度不均匀，存在无法进行整体均匀的处理的问题。进而，随着液晶玻璃基板等作为处理对象物的该基板的大型化，利用平板状窗玻璃本身成为大问题。这些问题是处理随着大型化变得麻烦，由于玻璃自重而产生弯曲，为了防止弯曲而增加厚度时，由于吸收的问题产生照度降低，相对于装置，窗玻璃本身的成本变得非常大等。

鉴于上述问题，在利用准分子灯的准分子光照射装置中，也逐渐开发不利用窗玻璃的装置。作为这种技术，例如公知的有特开2001-113163号公报、特开2006-134983号公报等。根据该特开2001-113163号公报，记载了一种对作为被处理物的基板面照射紫外线来进行处理的紫外线照射装置，具有在大气中保持该基板的支撑台；放射175nm以下波长的光的光源；以及使不活泼气体流入该基板面上方的大气中的空间的不活泼气体流入装置。并且，根据特开2006-134983号公报，记载了一种将从准分子灯放射的准分子光向被处理物照射的装置，其形成有不活泼气体流通部，所述不活泼气体流通部具有将不活泼气体排出到并列配置的多根该准分子灯之间的喷出口。以下表示现有准分子光照射装置的概要。

图8表示现有准分子光照射装置的概要图。在准分子光照射装置101中，在灯壳103中并列配置多根圆筒状的准分子灯102。在该灯壳103中，设有上板111和侧板112，该灯壳103下方采用不具有玻璃窗的结构。在该灯壳103内设置的该准分子灯102之间设有具有喷出不活泼气体的喷出口105的不活泼气体流通部104。并且，向该准分子光照射装置101下方传输基板115，利用该准分子灯102放射的准分子光进行清洁处理。并且，在该准分子光照射装置101的灯壳103内设置的该不活泼气体流通部104中，作为不活泼气体流有氮气。该氮气从该喷出口105喷出到该准分子光照射装置101下方，吹到该基板115上。在该准分子光照射装置101下方且在该基板115的周边，通过从该喷出口105喷出的氮气，形成真空紫外区的光可以透过的氧气浓度低的置换空间。

但是，在将氮气吹到该基板115上的现有技术中，存在不活泼气体的使用量很大，不仅制造成本高，并且搬运液晶玻璃基板等时，该基板的前端部、中央及后端部的氧气浓度不均匀，产生处理偏差的问题。并且，在图8所示的现有装置中，也存在该不活泼气体流通部上方的空间不会由氮气等置换，因此吹到基板面上的氮气中卷入的氧气浓度产生较严重的不均匀，还产生与氧气浓度的不均匀相应的严重的处理偏差的问题。

专利文献1：日本专利公布2001-137800号公报

专利文献2：日本专利公布2001-113163号公报

专利文献3：日本专利公布2006-134983号公报

本发明要解决的问题是提供一种准分子光照射装置，在利用准分子光的液晶面板用玻璃基板等的清洁装置中，即使是未配置大面积的板状玻璃窗的装置，也能使氢气置换时的气体使用量变少。进而，提供一种准分子光照射装置，即使对大型基板进行清洁，也能减少清洁偏差。

发明内容

本发明的准分子光照射装置，对被搬运的基板照射准分子光，其特征在于：在灯壳内并列配置有多根大致棒状的准分子灯，具有传送基板的搬运装置，在所述灯壳内设有间隔壁部件，在该间隔壁部件和各个准分子灯之间形成狭窄部，在该比灯壳内的该狭窄部靠该准分子灯上方形成第一置换空间，在比该狭窄部靠该准分子灯下方即基板侧形成第二置换空间，在该第一置换空间侧设有喷出包括不活泼气体的气体的喷出口。

并且，本发明的准分子光照射装置在所述结构的基础上，其特征在于：所述间隔壁部件兼用作包括不活泼气体的气体流通的喷气管，在该喷气管上，喷出气体的喷出口在该喷气管长边方向上隔开间隔设置。

进而，所述灯壳具有第一置换空间和第二置换空间，所述第一置换空间由配置在该准分子灯两侧的所述喷气管的各个侧壁、配置在其间的准分子灯的外壁的上表面部分、以及配置在该准分子灯上方的灯壳内的间隔壁形成，所述第二置换空间由所述喷气管的一个下壁、配置在其两侧的准分子灯外壁的下表面部分、以及搬运的基板形成，从该喷气管向该第一置换空间喷出不活泼气体。

并且，本发明的准分子光照射装置，在所述结构的基础上，其特征在于：所述第一置换空间的体积大于所述第二置换空间的体积。

进而，本发明的准分子光照射装置，在所述结构的基础上，其特征在于：所述第一置换空间对应于该灯壳内配置的每个准分子灯形成，流入各个置换空间内的气体流量不同。

并且，本发明的准分子光照射装置，在所述结构的基础上，其特征在于：流入所述第一置换空间中的气体流量在该灯壳外侧附近比该灯壳中央附近多。

进而，本发明的准分子光照射装置，在所述结构的基础上，其特征在于：在形成该第二置换空间之前，流入所述第一置换空间中的气体流量小于规定量，通过基板的搬运而形成该第二置换空间时，流入所述第一置换空间中的气体流量为预先设定的规定量。

并且，本发明的准分子光照射装置，在所述结构的基础上，其特征在于：所述第一置换空间通过传感器检测由基板的搬运而引起的所述第二置换空间的形成或消失，对应于该第二置换空间的形成或消失，控制流入该第一置换空间中的气体流量。

发明效果

本发明的准分子光照射装置利用设在灯壳内的间隔壁部件，在该灯壳内设置的准分子灯和该间隔壁部件之间形成狭窄部，由此将该灯壳内的空间两分为第一置换空间和第二置换空间。由此，即使基板侧的第二置换空间由于该基板的搬出而与大气接触，氧气也不会混入该第一置换空间，接着在该基板搬入时，仅在该第二置换空间进行置换即可进行处理。并且，向该第二置换空间的置换将灯壳内的空间分为二份，因此实质的容积变小，置换快速进行，处理速度提高，因此能够减少置换所用的氢气等的气体使用量。进而，在第一置换空间侧设有包括不活泼气体的气体的喷出口，因此能够切实地抑制该第一置换空间的氧气卷入或回流，能够基板处理时实现稳定的氧气浓度。由此具有降低处理偏差的效果。

进而，该间隔壁兼作喷气管，形成在该喷气管上的喷出口在该喷气管的长度方向上隔开间隔设置，因此能够在该准分子灯的灯轴方向上提供均匀的气体流量。并且，通过使置换用气体的喷出方向向着例如相邻的该喷气管的方向即侧面方向，而不是向着基板侧，由此，即使置换用气体缓慢流动，也能在置换所需的空间内进行充分置换。并且，如果该喷出口的设置位置取在该侧面方向，则能够快速排出该第一置换空间内残留的氧气，也能缩短该准分子光照射装置延迟(立ち上り)的时间。

本发明的准分子光照射装置，其灯壳内的空间被分为第一置换空间和第二置换空间，第一置换空间为大致密闭地分隔的空间，不管有无基板，通过从喷气管向第一置换空间喷出的气体而被置换，第二置换空间通过从该第一置换空间溢出的气体而被置换。因此，该基板搬运时能够快速形成适用于准分子灯和该基板之间的清洁的氛围，具有提高清洁效果并降低清洁偏差的效果。

进而，该第一置换空间的体积被设置成大于第二置换空间。由此，无论有无基板的搬运(是否形成第二置换空间)，第一置换空间都可以稳定地存在。并且，从该第二置换空间侧观察时，与第一置换空间的体积相比，第二置换空间的体积非常小。由此，从该基板被搬入开始经过短时间就可以置换第二置换空间，形成适用于清洁的氛围，因此，具有能够将氮气等置换气体的使用量抑制到非常小的效果。

并且，通过作为被照射物的基板形成关闭的空间，该空间作为第二置换空间，因此不使用大的平板玻璃用作间隔与灯之间的间隔窗部，来自准分子灯的光也能到达该基板，能够提高清洁效果。进而，设置覆盖该准分子灯外周的保护管，在该保护管和该准分子灯之间的空间利用不活泼气体进行置换时，具有如下所述优点：即使在该喷气管流出的不活泼气体中添加反应性气体，也具有能够抑制配置在该准分子灯外表面的网状电极和镜面的劣化、能够高效地将该准分子灯放射的真空紫外线照射到该基板上。

并且，在对应于每个该准分子灯形成该第一置换空间，因此在置换气体时可以迅速置换。进而，由于流入各个置换空间的气体流量不同，能够调整处理的基板上的氧气浓度分布，能够进行没有偏差的均匀处理。

进而，流入该第一置换空间中的气体流量中，靠近该灯壳外侧的流量比该灯壳中央附近的流量大，由此能够抑制氧气从外部混入。尤其在该基板搬运时，随着该基板的移动，氧气会卷入等，但由于搬入口侧的气体流量较多，因此即使卷入有氧气，也能迅速排出。由此，具有能够以预定的氧气浓度迅速形成第二置换空间的优点。

并且，在基板被搬运之前，以比该基板处理时少的气体流量抑制氧气侵入该第一置换空间，该基板被搬入时，流入预先设定的规定量的气体，由此具有能够在该第二置换空间确保预定的氧气浓度，消除偏差、均匀且迅速地进行处理的优点。并且，还具有形成第二置换空间所使用的气体使用量减少的优点。

进而，通过传感器检测该基板被搬运的时刻，随着该第二控制空间的形成、消失，控制流入该第一置换空间中的气体流量。由此，将气体使用量最佳化，且能够实现均匀的处理。

附图说明

图1是表示本发明的第一实施例的概要剖视图。

图2是表示本发明的第一实施例中配置的准分子灯的方式的剖视图。

图3是表示本发明的第一实施例中配置的喷气管的方式的剖视图。

图4是表示本发明的第二实施例的喷气管的方式的剖视图。

图5是表示本发明的第三实施例的概要图。

图6是表示本发明的第四实施例的概要图。

图7是表示本发明的第五实施例的概要图。

图8是表示现有基板处理装置的概要剖视图。

具体实施方式

本发明的准分子光照射装置具有向并列配置有多根准分子灯的灯壳内喷出至少包括氮气的气体的喷气管，具有由该喷气管与该准分子灯上表面部分及该灯壳的间隔壁所包围的第一置换空间、以及该喷气管与该准分子灯下表面部分及搬运的基板所包围的第二置换空间，通过从该喷气管向该第一置换空间喷出不活泼气体，形成该第一置换空间。并且，通过使该第二置换空间的体积小于该第一置换空间，在利用氮气等置换该基板侧的氛围时，能够高效进行置换，能够在短时间内高效进行该基板的处理。

第一实施例

作为第一实施例，图1表示本发明的准分子光照射装置。图1-a)是以垂直于多根并列配置的大致棒状的准分子灯2的管轴方向的面切断的准分子光照射装置1的概要剖视图。在该准分子光照射装置1中，多根准分子灯2在灯壳3内并列配置。在该灯壳3内，多根准分子灯2并列配置。在该灯壳3内设有间隔壁4，该间隔壁4上并列配置多根喷出包括氮气等不活泼气体的气体的喷气管5，在该喷气管之间配置该准分子灯2。并且，以各喷气管5与该准分子灯2之间形成狭窄部8的方式配置在该灯壳3内。在该间隔壁4的上方设有冷却块6，在该冷却块6内配置流过冷却流体的冷却流体通路6a，在该冷却块6上方设有向该准分子灯2供电的产生高频高压的电装部7。并且，在该准分子灯2下方，作为搬运被处理物基板10的搬运系统，使用辊带11，作为该基板10，例如可以将液晶面板用的玻璃基板等搬运到该准分子光照射装置1内。

并且，在该喷气管5中，多个喷出包括氮气等不活泼气体的气体的喷出口9在长边方向上以大致等间隔设置，设置在该喷气管5的侧壁5a上，从该喷气管5向第一置换空间喷出气体。进而，在该喷气管5上设有气体导入口42，从该气体导入口42经由控制阀74，与气体供给源连接。

并且，该准分子光照射装置1具有第一置换空间13和第二置换空间14。在图1-b)中，为了对第一置换空间13和第二置换空间14进行说明，表示仅将该第一置换空间13和该第二置换空间14的部分示意性放大的放大图。该第一置换空间13是由相对的该喷气管5的侧壁5a、该准分子灯2的上表面部分2a以及该灯壳3的间隔壁4所包围的部分构成的空间，该喷气管5和该准分子灯2之间的狭窄部8由以最短距离横穿该喷气管5和该准分子灯2的假想线划分。另一方面，第二置换空间14是该喷气管5的下壁5b、配置在其两侧的准分子灯2的下表面部分2b及被搬运的基板10所包围的部分构成的空间，该喷气管5和该准分子灯2之间的狭窄部8由以最短距离横穿该喷气管5和该准分子灯2的假想线划分，该准分子灯2与该基板10间的间隙由以最短距离连接该准分子灯2的下表面部分2b和该基板10的假想线15划分。在本发明中，该第二置换空间14的体积小于该第一置换空间13的体积。并且，此处的体积是指，图1-b)所示的剖视图中的面积乘以该准分子灯2的管轴方向的长度(到未图示的侧面间隔板为止的长度)而得到的体积。

通过这种结构，能够形成适用于清洁该准分子灯2和该基板10之间的氛围，具有提高清洁效果并且降低清洁偏差的效果。尤其是通过使该第二置换空间的体积形成得比该第一置换空间的体积小很多，从该基板10被搬入开始，在短时间内，置换第二置换空间，能够形成适用于清洁的氛围，因此，还具有例如氮气等置换气体的使用量被抑制为非常小的效果。

接着，作为图2，表示第一实施例所示的该准分子光照射装置1所具有的准分子灯2。图2是沿着该准分子灯2的管轴方向切断的管轴方向剖视图，该准分子灯2由发光管部21、外管部22以及灯头部23构成。该发光管部21由石英玻璃构成的灯泡部24；配置在该灯泡部24外周的网状电极25；与该网状电极25成对的内部电极26；以及在该灯泡部24内以包围该内部电极26的方式配置的石英玻璃构成的内部管27构成。进而，在该灯泡部24内，作为准分子发光用气体例如封入有氙气。该内部电极26的端部与供电销28连接，该供电销28的另一端与钼构成的金属箔29连接，在该灯泡部24两端夹紧密封。并且，该金属箔29的另一端与外部导线30连接，从外部向该内部电极26供给高频高压。与该内部电极26成对的该网状电极25通过配置在该灯头部23的供电部31接地。

该发光管部21在该内部电极26和该网状电极25之间经由该灯泡部24和该内部管27这两个电介体施加高频高压，由此，封入在该灯泡部24内部的氙气发生准分子放电，通过受激准分子的生成、分解，产生准分子光。并且，外管部22也由石英玻璃构成，作为该发光管部21发出的光(是氙气的情况下为波长172nm的真空紫外线)从该外管部22向外部放射的窗而起作用。并且，在设在该发光管部21和该外管部22之间的空间中充满氮气，从该发光管部21放射的真空紫外线不会接受氧气的吸收而衰减地放射到该外管部22的外部。

并且，在该发光管部21及该外管部22的两端设有该灯头部23，保持该发光管部21和该外管部22。该发光管部21插入固定在该灯头部23内的保持用凸缘部32内，直至该网状电极25的端部部分。进而，在该灯头部23中央设有供电线取出用孔33，向该发光管部21供电的供电线34从该供电线取出用孔33取出到外部。进而，设有使该外管部22内充满的氮气流入、排出的气体流通口35。

通过将这种结构的准分子灯2配置在该准分子光照射装置1上，具有即使不设置大型的平板玻璃窗，也能高效取出从该准分子灯2放射的真空紫外线的优点。进而，该保护管的形状为圆筒状，因此具有即使该保护管的壁厚较薄，也能得到足够的机械强度，不会由于保护管的厚度引起照度降低，能够得到高效的照射装置的优点。并且，由于该保护管自身涉及的成本比大型平板玻璃便宜很多，因此还具有将装置整体价格降低的优点。

接着，作为图3，表示第一实施例所示的该准分子光照射装置1所具有的喷气管5。图3-a)是沿着该喷气管5的管轴方向切断的管轴方向的剖视图，图3-b)是以垂直于图3-a)的该管轴方向的面切断的A-A截面的剖视图。在图3-a)中，在该喷气管5的侧壁5a上设有多个喷出气体的小孔的喷出口9。并且，在该喷气管5的上表面壁5c侧，设有向该喷气管5供给气体的气体导入口42。在图3-b)中，该喷气管5的A-A截面为长方形，例如该上表面壁5c、及该下壁5b的长度为20mm，该侧壁5a的长度为30mm。并且，设在该侧壁5a上的该喷出口9为φ0.7mm的圆形，从该喷出口9中心到中心的距离以10mm间距形成在该侧壁5a上。例如，如果该喷气管5的全长为2m，在一个该侧壁5a上形成200个该喷出口9。并且，在本实施例的该喷气管5中，该喷气管5的截面积s(该侧壁5a的长度×该下壁5b的长度)为该喷出口9的总面积(例如φ0.7的面积×200(个数))的2.5倍以上的大小。通过具有这样的面积比，喷出的气体的流速在各个喷出口9变得均匀。

通过采用这种结构，从该喷气管5喷出的气体在该喷气管5整体上均匀地喷出，能够均匀地保持装置整体的氛围。其结果是得到如下效果：该准分子光照射装置1可以在对该基板10进行清洁处理时保持均匀的气体氛围，能够进行没有偏差的清洁处理。并且，通过极力缩小该第二置换空间的体积，能够在该基板搬运时，在短时间内置换为处理氛围，能够充分抑制从外部卷入氧气，因此还具有氮气等不活泼气体的使用量变少的优点。

例如，在本实施例的情况下，第二置换空间的体积大约为100cm^-3(容积大致为1L)，从该喷气管流过来的氮气的流量为25L/分左右。在该情况下，从基板被搬运开始，大约以2.4秒完成置换。并且，置换完成时的残留氧气浓度实现200ppm左右的非常低的值。通常，置换时的残留氧气浓度为1000ppm左右即足够，如果不考虑置换所需要的时间，对于容积1L，如果是13L/分左右的气体流量，残留氧气浓度可以实现1000ppm以下。

第二实施例

图4是作为本发明的第二实施例，表示其他该气体喷气管的形状的剖视图。图4-a)所示的喷气管51中，为了喷出气体而设置的喷出口的形状从该喷气管51的长边方向端部开始分别按照喷出口9a、9b、9c、9d的顺序，孔径减小。通过采用这种结构，从该喷气管51喷出的气体的流量在该喷气管51的长边方向上不同，与该喷气管51中央附近相比，端部附近喷出的气体的流量变多。通过将该喷气管51组装入本发明的准分子光照射装置中，与该准分子光照射装置的灯壳的该准分子灯管轴方向中央附近相比，可以使流至该灯壳外侧附近的流量变多。这具有能够降低从准分子光照射装置外部卷入的不能控制的氧气混入的优点。

图4-b)所示的喷气管52中，为了喷出气体而设置的喷出口的孔径相同，但从该喷气管52的长边方向的端部侧开始逐渐改变排列间隔，在该端部侧设置得较密，在中央部侧设置得较疏。具体来说，从中央部开始，喷出口9A、9B、9C、9D的孔与孔的间隔53逐渐变窄。通过采用这种结构，与该喷气管52的中央附近相比，端部附近喷出的气体的流量也可以变多。与该喷气管51的情况同样地，将该喷气管52组装入本发明的准分子光照射装置，由此与该准分子光照射装置的灯壳的该准分子灯管轴方向中央附近相比，可以使流至该灯壳外侧附近的气体的流量变多。这具有能够降低从准分子光照射装置外部卷入的不能控制的氧气混入的优点。并且，通过将喷出口的排列和孔径排列在任意位置上，也可以形成具有所希望的氧气浓度分布的处理空间。

第三实施例

图5表示本发明的第三实施例。在该第三实施例中，表示使流入该第一置换空间中的气体流量为对应每个该准分子灯形成的每个第一置换空间中的不同流量的情况。图5所示的该准分子光照射装置1是从该装置上方观察并列配置有3根准分子灯2A、2B、2C的该准分子光照射装置1的灯壳内的图。并且，表示了在该准分子光照射装置1以外并列多根辊带11构成的传送路径、和在该传送路径上向箭头63的方向搬运基板10的状态。该基板10从该准分子光照射装置1的搬运口62A搬入，从搬出口62B搬出。在从该搬运口62A到搬出口62B之间，准分子灯2A、2B、2C相互并列配置，在各个准分子灯2A、2B、2C两侧面上配置有喷气管5A、5B、5C、5D。例如，在准分子灯2A的两侧面上配置有喷气管5A和喷气管5B，形成与各个准分子灯2A、2B、2C对应的第二置换空间13A、13B、13C。并且，该第一置换空间13A、13B、13C在该准分子灯2A、2B、2C的管轴方向上，由侧面间隔板61间隔开，向由该侧面间隔板61、该喷气管5A、5B、5C、5D与该准分子灯2A、2B、2C所间隔开的空间中流入氮气等置换用气体。

作为流入该第一置换空间13A、13B、13C的气体流量，在基板10的搬入口62A侧(13A)流量变多，在中央附近(13B)减少，再次在该基板10的搬出口62B侧(13C)流量变多。在本实施例中，该喷气管5A内的气压高于相邻喷气管5B，并且相对的喷气管5B的该第一置换空间13A侧的侧壁5ab上的喷出口(未图示)的孔径比另一侧壁5ac上的喷出口(未图示)的孔径大。由此，流至该第一置换空间13A侧的气体量多于相邻第一置换空间13B。

接着，对于该第一置换空间13B，由于分别设在该喷气管5B的侧壁5ac、该喷气管5C的侧壁5ad上的喷出口(未图示)的孔径比设在相邻第一置换空间13A或13C侧的孔径小，因此流入该第一置换空间13B的气体的流量变小。进而，该第一置换空间13C与该第一置换空间13A的情况相同。即，该喷气管5C的该第一置换空间13C侧的侧壁5ae上设置的喷出口(未图示)的孔径与侧壁5ab相同。进而，该喷气管5D上设置的喷出口的孔径与该喷气管5A相同，施加在该喷气管5D上的气压也与该喷气管5A为相同程度，比该喷气管5B、5C的气压高。通过这种结构，第一置换空间13A、13B、13C的气体流量在该灯壳外侧附近比灯壳中央附近多。

第四实施例

图6表示作为本发明的第四实施例，具有对流入该第一置换空间13和该第二置换空间14中的流量进行控制的机构的该准分子光照射装置1。该准分子光照射装置1在灯壳3内配置有多根并列配置的准分子灯2、在该准分子灯2两侧面并列配置的喷气管5、以及具有将从该准分子灯2放射的光向基板10侧反射的功能的间隔壁4。在本实施例中，仅记载了该灯壳3的一部分。并且，从将基板10搬入该准分子光照射装置1的搬运口62A侧，基板10的一部分通过辊带11被搬运到该准分子光照射装置1内。在该辊带11下方依次配置有光传感器71A、71B、71C、71D。来自该光传感器71A、71B、71C、71D的信号与信号处理部72连接。输入到该信号处理部72的该光传感器71A、71B、71C、71D的信号与控制信号输出部73连接，从该控制信号输出部73输入到控制阀74A、74B、74C、74D。该控制阀74A、74B、74C、74D与该喷气管5连接，控制置换用气体的气体流量和气压，形成该第一置换空间13A、13B、13C、13D以及该第二置换空间14A、14B等。并且，14C、14D由于处在搬运基板10的中途，因此处于形成第二置换空间前的状态，是随着该基板10的搬运而形成第二置换空间的区域。

接着，表示气体流量的控制。最初是在该准分子光照射装置1内没有处理对象基板的状态。此时，该第一置换空间13A、13B、13C、13D的各个空间中流入比预先设定的基板处理时的规定量少的量的置换用气体。接着，该基板10搬入该准分子光照射装置1内时，通过该光传感器71A，检测到该基板10被搬入，检测信号被输入到信号处理部72，接着从控制信号输出部73向箭头Q和R送出控制气体流量的信号。接收到该控制信号的控制阀74A、74B将流入该第一置换空间13A中的气体流量增加到预先设定的基板处理时的规定量。由此能够在极短时间内，形成该第二置换空间14A，形成适于预先设定的该基板10的处理的氛围。

如图6所示，在基板10搬运到该第二置换空间14C中途的状态下，各空间的气体流量如下。该第二置换空间14A、14B中流入预先设定的基板处理时的规定量的气体。在该第二置换空间14C中，在该光传感器71C检测到该基板10的搬运之后，马上将流入该第二置换空间14C的气体量控制成小于相邻的该第二置换空间14B。并且，同样地，在将成为该第二置换空间14D的空间中，由于没有基板10被搬运，因此在该光传感器71D检测到该基板10的搬入之前，流入比第二置换空间14A、14B少量的置换用气体。

通过采用这种控制机构，在形成第二置换空间之前，流入比规定量少量的气体，仍然保持第一置换空间的氛围，能够减少来自外部的氧气等的混入。并且，检测到基板10搬入，使气体流量增加，流入适用于预定的处理的规定量气体。随之，形成该第二置换空间，流入最适用于处理的流量，由此能够高效地处理该基板10。并且，该基板被搬出，该第二置换空间消失时，再次流入小于规定量的气体，由此能够一边防止来自外部的氧气混入，一边待机，在下一次搬入处理的基板时，能够在短时间内形成处理氛围。

图7表示本发明的第五实施例。作为第五实施例的准分子光照射装置81表示在垂直于准分子灯2的灯管轴方向的方向上切断的剖视图。在灯壳3内设有间隔壁部件82，多根该准分子灯2并列配置，在各个准分子灯2和该间隔壁部件82之间形成狭窄部83。并且，在该准分子灯2上方设有具有冷却流体流通路径6a的冷却块6。在该冷却块6上方配置有电装部7。并且，在该冷却块6上具有向该准分子灯2侧的空间喷出包括不活泼气体的气体的喷出口82，该喷出口82经由控制阀74从连接的气体供给源喷出氮气等气体。该准分子灯2上方由该间隔壁部件82和该准分子灯2包围的空间形成第一置换空间13。并且，该准分子灯2下方的基板10侧的空间成为第二置换空间14。该第二置换空间14是由该准分子灯2与该基板10及该间隔壁部件82包围的空间，通过该狭窄部83与该第一置换空间分开。

本实施例的准分子光照射装置81在第一置换空间13内设置喷出包括不活泼气体的气体(本情况下为氮气)的喷出口84，因此第一置换空间最先被置换。其后，充满在该第一置换空间13内的置换用气体(氮气)通过狭窄部83，流到第二置换空间14。通过该漏出的气体形成第二置换空间14。并且，第二置换空间14通过利用辊带11搬入基板10而形成，通过基板被搬出而消失。消失时形成该第二置换空间14的空间暴露在大气中，但该狭窄部83抑制氧气向第一置换空间回流或卷入。并且，在该基板10被搬入之前的待机时，向该第一置换空间13内流入比基板处理时少量的置换用气体(氮气)，由此能够维持该第一置换空间13。

Claims (8)

1.一种准分子光照射装置，对被搬运的基板照射准分子光，其特征在于：

在灯壳内并列配置有多根大致棒状的准分子灯，具有传送基板的搬运装置，

在所述灯壳内设有间隔壁部件，在该间隔壁部件和各个准分子灯之间形成狭窄部，

在该比灯壳内的该狭窄部靠该准分子灯上方形成第一置换空间，在比该狭窄部靠该准分子灯下方即基板侧形成第二置换空间，在该第一置换空间侧设有喷出包括不活泼气体的气体的喷出口。

2.根据权利要求1所述的准分子光照射装置，其特征在于：

所述间隔壁部件兼用作包括不活泼气体的气体流通的喷气管，在该喷气管上，喷出气体的喷出口在该喷气管长边方向上隔开间隔设置。

3.根据权利要求2所述的准分子光照射装置，其特征在于：

所述灯壳具有第一置换空间和第二置换空间，所述第一置换空间由配置在该准分子灯两侧的所述喷气管的各个侧壁、配置在其间的准分子灯的外壁的上表面部分、以及配置在该准分子灯上方的灯壳内的间隔壁形成，所述第二置换空间由所述喷气管的一个下壁、配置在其两侧的准分子灯外壁的下表面部分、以及搬运的基板形成，从该喷气管向该第一置换空间喷出不活泼气体。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的准分子光照射装置，其特征在于：

所述第一置换空间的体积大于所述第二置换空间的体积。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的准分子光照射装置，其特征在于：

所述第一置换空间对应于该灯壳内配置的每个准分子灯形成，流入各个置换空间内的气体流量不同。

6.根据权利要求1至3中任一项所述的准分子光照射装置，其特征在于：

流入所述第一置换空间中的气体流量在该灯壳外侧附近比该灯壳中央附近多。

7.根据权利要求1至3中任一项所述的准分子光照射装置，其特征在于：

在形成该第二置换空间之前，流入所述第一置换空间中的气体流量小于规定量，通过基板的搬运而形成该第二置换空间时，流入所述第一置换空间中的气体流量为预先设定的规定量。

8.根据权利要求1至3中任一项所述的准分子光照射装置，其特征在于：

所述第一置换空间通过传感器检测由基板的搬运而引起的所述第二置换空间的形成或消失，对应于该第二置换空间的形成或消失，控制流入该第一置换空间中的气体流量。

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