KR101237650B1 - 엑시머 램프 장치 - Google Patents

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도시유키 스가
신이치 엔도
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우시오덴키 가부시키가이샤
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Abstract

장척(長尺)의 케이스에 설치되는 램프 지지체의 위치를 상시 일정하게 유지하여, 램프 지지체가 피처리물과 마찰되지 않고, 격벽의 열변형에 의한 램프 지지체의 위치의 변동을 없애며, 또한 엑시머 램프의 주위로부터 발생하는 오존에 의한 케이스내에 탑재되는 기기의 부식을 방지한다.
엑시머 램프 장치(1)는, 케이스(1)와, 케이스(1)에 지지된 현가체(懸架體)(4)와, 현가체(4)에 지지된 램프 지지체(6)와, 램프 지지체(6)에 지지된 엑시머 램프(5)와, 엑시머 램프(5)와 현가체(4) 사이에 설치한 격벽(7)을 구비하고, 램프 지지체(6)는, 격벽(7)에 설치한 관통 구멍(8)에 헐겁게 끼워져 현가체(4)에 지지되어 있는 것을 특징으로 한다. 또, 현가체(4)에 대한 램프 지지체(6)의 상하 방향의 위치를 조정하는 조정 수단을 설치하여, 관통 구멍(8)과 관통 구멍(8)에 헐겁게 끼워지는 램프 지지체(6) 사이에서의 기체의 통과를 방지하는 차폐 수단을 설치한다.

Description

엑시머 램프 장치{EXCIMER LAMP APPARATUS}
본 발명은, 엑시머 램프 장치에 관한 것으로, 예를 들면, 액정 기판 세정용 드라이 세정 장치에 적용되는 엑시머 램프 장치에 관한 것이다.
종래의 엑시머 램프 장치는, 특허 문헌 1에 보여지는 바와 같이, 램프 하우스에 유전체 배리어 방전에 의해 엑시머 분자를 형성하는 방전용 가스로 이루어지는 복수의 엑시머 램프를 병행으로 배치하여 수납하고, 램프 하우스에 엑시머 분자로부터 방출되는 자외선을 취출하는 유리 조사창을 설치하고 있었다. 그러나, 최근, 피처리물인 기판의 대형화에 수반하여, 대형의 유리 조사창의 제작이 곤란하게 되었기 때문에, 특허 문헌 2 및 3에 보여지는 바와 같이, 유리 조사창을 설치하지 않게 되었다. 그래서, 엑시머 램프를 대기중에 설치하고 주위에 질소를 내뿜어, 산소 농도를 저하시켜, 자외선을 유효하게 이용하는 기술이 이용되게 되었다. 또한, 기판의 장척화에 수반하여, 엑시머 램프도 장척의 것이 요구되게 되었지만, 너무 길기 때문에 엑시머 램프의 설치나 분리의 조작성이 나쁘고, 핸들링 중의 파손의 위험성도 있기 때문에, 특허 문헌 4에 보여지는 바와 같이, 조사 에리어를 분할하도록 짧은 엑시머 램프를 지그재그형상으로 설치한 엑시머 램프 장치가 고안되었 다.
특허 문헌 1: 일본 특허 제2854255호 공보
특허 문헌 2: 일본 공개 특허 2005－259380호 공보
특허 문헌 3: 일본 공개 특허 2005－222905호 공보
특허 문헌 4: 일본 특허 제3972586호 공보
특허 문헌 5: 일본 공개 특허 2003－159571호 공보
특허 문헌 6: 일본 공개 특허 2005－193088호 공보
피처리물인 기판이 대형화되어, 기판을 반송하는 반송기의 기판폭이 커짐에 따라, 엑시머 램프 장치도 장척화되어 가고 있다. 대형의 엑시머 램프 장치는 자중에 의해 휘기 쉽다. 이에 더하여, 엑시머 램프의 점등 동작에 의해 램프 하우스는 열방사를 받아 팽창하여 처진다. 그 휨량은 0.5mm에서 2mm에 이른다. 한편, 엑시머 램프 장치는 172nm의 광을 방사하는 것인데, 대기중 혹은 처리 분위기중의 산소에 의해 172nm의 광이 흡수되지 않게 하기 위해서, 특허 문헌 5에도 나타내는 바와 같이, 기판까지의 조사 거리를 짧게 설정하고 있다. 조사 거리는 1mm 내지 3mm정도로 설정되는 것이 많지만, 이 거리에서는, 상기 서술한 램프 하우스의 휨 및 열팽창에 의한 처짐에 의해, 램프 하우스의 중앙부에 탑재되는 엑시머 램프를 지지하는 램프 지지부의 위치가 내려가, 기판에 접근, 결국에는 접촉하여 기판 표면을 손상시켜 버리는 문제가 있다. 또, 특허 문헌 6에는, 엑시머 램프로부터의 열방사를 받는 부재를 설치하는 사례가 나타나 있는데, 이 경우, 이 부재 자체가 열적 영향을 받아 팽창되어 버리기 때문에, 램프 지지체가 아래쪽으로 내려갈 우려가 있다. 한편, 그 팽창을 내보내려고 하여 부재에 램프 지지체를 관통시키기 위한 개구부를 설치하면 램프 지지체와 개구부 사이에서 슬라이드하기 때문에, 그 부분으로부터 파티클이 발생하여 기판의 제조 프로세스에 중대한 악영향을 주는 문제가 있다.
도 4는, 종래 기술에 관련된 엑시머 램프 장치(100)의 구성의 일례를 나타내는 도이며, 도 4(a)는 엑시머 램프 장치(100)의 구성을 나타내는 정면 단면도, 도 4(b)는 엑시머 램프 장치(100)의 측면 단면도이다.
이들 도에 나타내는 바와 같이, 엑시머 램프 장치(100)는, 램프 하우스(101)의 하부에, 엑시머 램프(102)를 지지한 램프 지지체(103a, 103b)가 배치되어 있다. 한편, 램프 하우스(101)의 내부에는, 엑시머 램프(102)를 점등시키거나, 제어하기 위해 필요한 승압 트랜스(104)나 제어 장치(105)가 탑재되어 있다. 승압 트랜스(104)나 제어 장치(105)는, 엑시머 램프(102)의 주위로부터 발생하는 오존에 의한 전기 배선 또는 프린트 기판의 부식을 방지하기 위해서, 램프 하우스(101) 위에 커버(106)를 설치하여 격리하고 있다. 램프 하우스(101)는, 통상, 고정대(107) 위에 볼트 등으로 고정되고, 또 엑시머 램프(102)의 근방에는 주위의 대기를 질소로 치환하기 위한 질소 도입관(109)이 설치되어 있으며, 대강 수십에서 수백 리터 매분의 질소가 내뿜어져 있다. 또, 엑시머 램프(102)로부터 방사되는 자외선을 차광하는 동시에, 질소 도입관(109)으로부터 도입되는 질소가 케이스(101)의 아래쪽에 서 유출되는 것을 억제하는 벽(108)이 설치되어 있다. 기판(110)이 엑시머 램프 장치(100)의 아래를 롤러(111)에 반송되어 통과하면, 램프 하우스(101)의 하부는, 의사적(擬似的)으로 기판(110)에 의해 뚜껑을 한 것처럼 되고, 질소가 내뿜어짐으로써, 엑시머 램프(102) 주위의 산소 농도가 저하된다. 산소 농도가 저하되면, 172nm의 광은 산소에 의한 흡수가 적어져, 기판(110)에 유효하게 172nm의 광을 조사할 수 있다.
이러한 램프 하우스(101)가, 예를 들면, 기판폭이 2200mm인 경우에는, 램프 점등전의 램프 하우스(101)의 휨은 0.5mm정도이다. 이것은 승압 트랜스(104)나 제어 장치(105) 등의 내부 탑재 기기를 포함한 램프 하우스(101)의 자중에 의한 휨이다. 장척의 램프 하우스(101)에 탑재되는 복수의 엑시머 램프(102)는, 램프 하우스(101)의 중앙부에서 분할되고, 복수개의 엑시머 램프(102)로 기판폭을 조사하도록 설치하는 경우에는, 엑시머 램프(102)는, 램프 하우스(101)의 중앙부에 설치되는 램프 지지체(103a)에 고정된다.
램프 하우스(101)가 자중에 의해 처지면, 램프 지지체(103a)의 위치가 내려가, 기판(110)에 접근하여, 접촉할 우려가 있다. 또한, 엑시머 램프(102)가 점등한 경우에는, 엑시머 램프(102)는 172nm의 광을 방사하는 동시에 발열하여 약 200℃에 이른다. 엑시머 램프(102)로부터의 열방사를 받아, 램프 하우스(101)는 80~120℃에 이른다. 램프 하우스(101)는 양단이 고정대(107)에 고정되어 있기 때문에, 열팽창을 내보낼 곳이 없어져, 하측으로 내려 간다. 이 내려감량, 즉, 팽창량은, 엑시머 램프(102)의 램프 출력이나 점멸 점등 사이클 등에 의해 온도가 바뀌 어 변화한다. 램프 하우스(101)의 온도가 불변이면, 램프 지지체(103a)의 위치는, 램프 하우스(101)의 처짐을 고려한 설계를 하면, 기판(110)과의 접촉은 회피할 수 있지만, 엑시머 램프 장치(100)의 점등 출력이나 점멸 방법이 바뀌는 경우에는, 그 처짐량을 램프 지지체(103a)의 형상으로 설계할 수는 없다.
본 발명의 목적은, 상기의 문제점을 감안하여, 장척의 케이스에 설치되는 램프 지지체의 위치를 상시 일정하게 유지하여, 램프 지지체(또는 엑시머 램프)가 피처리물과 마찰되지 않도록 하는 동시에, 격벽의 열변형에 의한 램프 지지체의 위치의 변동을 없앤 엑시머 램프 장치를 제공하는 것에 있다.
또, 본 발명의 다른 목적은, 엑시머 램프의 주위로부터 발생하는 오존에 의한 케이스내에 탑재되는 기기의 부식을 방지한 엑시머 램프 장치를 제공하는 것에 있다.
본 발명은, 상기의 과제를 해결하기 위해서, 다음과 같은 수단을 채용했다.
제1의 수단은, 케이스와, 그 케이스에 지지된 현가체(懸架體)와, 그 현가체에 지지된 램프 지지체와, 그 램프 지지체에 지지된 엑시머 램프와, 상기 엑시머 램프와 상기 현가체 사이에 설치한 격벽을 구비하고, 상기 램프 지지체는, 상기 격벽에 설치한 관통 구멍에 헐겁게 끼워져 상기 현가체에 지지되어 있는 것을 특징으로 하는 엑시머 램프 장치이다.
제2의 수단은, 제1의 수단에 있어서, 상기 현가체에 대한 상기 램프 지지체의 상하 방향의 위치를 조정하는 조정 수단을 설치한 것을 특징으로 하는 엑시머 램프 장치이다.
제3의 수단은, 제1의 수단 또는 제2의 수단에 있어서, 상기 관통 구멍과 그 관통 구멍에 헐겁게 끼워지는 램프 지지체 사이에서의 기체의 통과를 방지하는 차폐 수단을 설치한 것을 특징으로 하는 엑시머 램프 장치이다.
제4의 수단은, 제3의 수단에 있어서, 상기 차폐 수단은, 상기 관통 구멍 주변과 램프 지지체 사이에 설치된 벨로우즈인 것을 특징으로 하는 엑시머 램프 장치이다.
청구항 1에 기재된 발명에 의하면, 장척의 케이스에 설치되는 램프 지지체의 위치를 상시 일정하게 유지하여, 램프 지지체가 피처리물과 마찰되지 않게 할 수 있는 동시에, 격벽의 열변형에 의한 램프 지지체의 위치의 변동을 없앨 수 있다.
청구항 2에 기재된 발명에 의하면, 램프 지지체의 상하 방향의 위치를 조정할 수 있다.
청구항 3 및 청구항 4에 기재된 발명에 의하면, 엑시머 램프의 주위로부터 발생하는 오존에 의한 케이스 내에 탑재되는 기기의 부식을 방지할 수 있다.
본 발명의 제1의 실시 형태를 도 1을 이용하여 설명한다.
도 1은, 본 실시 형태의 발명에 관련된 엑시머 램프 장치(1)의 구성을 나타내는 도이며, 도 1(a)는, 엑시머 램프 장치(1)의 구성을 나타내는 정면 단면도, 도 1(b)은 엑시머 램프 장치(1)의 측면 단면도이다.
이들 도에 나타내는 바와 같이, 케이스(2)는, 고정대(3)에 얹어지는 고정판(21), 고정판(21) 사이에 배치되는 측판(22) 및 고정판(21) 및 측판(22) 위를 차폐하는 차폐판(23)으로 구성된다. 케이스(2)내에는 고정판(21) 사이에 현가체(4)가 고정되어 있으며, 현가체(4)에는, 케이스(2)의 대략 중앙부에서 램프 지지체(6)가 지지되어 있다. 램프 지지체(6)는, 현가체(4)에 일단측이 지지되고 타단측이 램프 지지 부재(62a)를 지지하는 지지기둥(61)과, 엑시머 램프(5)를 지지하는 램프 지지 부재(62a)로 구성되어 있다. 또한, 엑시머 램프(5)와 현가체(4) 사이에는 케이스(1)의 하부를 막도록 격벽(7)이 설치되어 있으며, 램프 지지체(6)의 지지기둥(61)이, 격벽(7)에 설치된 관통 구멍(8)에 헐겁게 끼워진 상태로 현가체(4)에 지지되어 있다. 즉, 관통 구멍(8)은, 지지기둥(61)의 외경보다 큰 직경이므로, 관통 구멍(8)과 지지기둥(61)은 헐겁게 끼워진 상태가 된다. 격벽(7) 위에는, 엑시머 램프(5)를 점등하기 위해 필요한 승압 트랜스(91)나 제어 장치(92) 등의 전기 기기(9)가 탑재되어 있다. 또, 격벽(7)의 아래에는, 엑시머 램프(5)와 엑시머 램프(5)를 지지하는 램프 지지 부재(62a, 62b)가 배치되어 있고, 현가체(4)로부터 지지기둥(61) 및 램프 지지 부재(62a)를 개재하여 엑시머 램프(5)가 매달려 있다. 또, 엑시머 램프(5)의 근방에는 주위의 대기를 질소로 치환하기 위한 질소 도입관(13)이 설치되어 있으며, 대강 수십에서 수백 리터 매분의 질소가 내뿜어져 있다. 또, 엑시머 램프(5)로부터 방사되는 자외선을 차광하는 동시에, 질소 도입관(13)으로부터 도입되는 질소가 케이스(2)의 아래쪽에서 유출되는 것을 억제하는 벽(10)이 설치되어 있다.
엑시머 램프 장치(1)를 이와 같이 구성함으로써, 장척의 케이스(2)여도, 케이스(2)의 자중 및 내부 탑재 기기의 중량에 의해 격벽(7)이 휘어도, 램프 지지체(6)는 현가체(4)에 의해 위치가 결정되어 있으므로, 기판(11)과의 거리가 바뀌는 일은 없다. 또, 엑시머 램프(5)가 점등되어 격벽(7)이 열방사를 받으면, 격벽(7)이 열팽창하여 처진다. 그러나, 그 열팽창량이 어느 정도이든지 간에, 격벽(7)에 차단되어 현가체(4)는 열방사를 받지 않으며, 또, 현가체(4)는, 케이스(2)의 고정대(3)에 얹어진 고정판(21)에 현가되어 있으므로, 램프 점등에 의해 현가체(4)의 위치가 바뀌는 일도 없다. 그 때문에, 현가체(4)에 지지된 램프 지지체(6)도 위치가 바뀌는 일이 없기 때문에, 엑시머 램프(5)의 점등 동작에 의해, 램프 지지체(6)가 롤러(12)에 의해 반송되는 기판(11)에 접촉하여 손상되는 것 같은 문제는 없어진다. 또, 램프 지지체(6)는, 격벽(7)에 설치한 관통 구멍(8)에 헐겁게 끼워진 상태로 현가체(4)에 지지되어 있으므로, 램프 지지체(6)가 관통 구멍(8)과 슬라이드하는 일이 없기 때문에, 슬라이드에 의한 분진의 발생을 방지할 수 있다. 또, 케이스(2)는 차폐판(23)에 의해 차폐되어 있으므로, 엑시머 램프(5)의 주위로부터 발생하는 오존에 의한 전기 기기(9)의 전기 배선 또는 프린트 기판의 부식을 방지할 수 있다.
본 발명의 제2의 실시 형태를 도 2를 이용하여 설명한다.
도 2는, 본 실시 형태의 발명에 관련된 엑시머 램프 장치(1)의 구성을 나타내는 도면이며, 도 2(a)는, 엑시머 램프 장치(1)의 구성을 나타내는 정면 단면도, 도 2(b)는 엑시머 램프 장치(1)의 측면 단면도이다.
동일한 도면에 나타내는 바와 같이, 램프 지지체(6)의 지지기둥(61)을, 현가체(4)에 대한 상하 방향의 위치 조정을 하기 위해서, 스토퍼 나사(141)와 현가체(4)에 스토퍼 나사(141)를 관통시키기 위한 관통 구멍(142)으로 이루어지는 조정 수단(14)을 설치한다. 또한, 그 외의 구성은 도 1(a), (b)에 나타낸 동일한 부호의 구성에 대응하므로 설명을 생략한다.
엑시머 램프 장치(1)를 이와 같이 구성함으로써, 현가체(4) 자체도 그 자중과 램프 지지체(6)의 중량이 걸리므로 조금 휜다. 램프 지지체(6)의 위치를 소정의 위치에 세트한 후에, 스토퍼 나사(141)를 조여 고정함으로써, 현가체(4)의 작은 휨도 교정할 수 있다.
다음에, 본 발명의 제3의 실시 형태를 도 3을 이용하여 설명한다.
도 3은, 본 실시 형태의 발명에 관련된 엑시머 램프 장치(1)의 구성을 나타내는 도이며, 도 3(a)는, 엑시머 램프 장치(1)의 구성을 나타내는 정면 단면도, 도 3(b)은 엑시머 램프 장치(1)의 측면 단면도이다.
동일한 도면에 나타내는 바와 같이, 지지체(6)는 관통 구멍(8)에 헐겁게 끼워져 있기 때문에 간극으로부터 오존이 유입할 우려가 있으므로, 관통 구멍(8)과 관통 구멍(8)에 헐겁게 끼워지는 램프 지지체(6) 사이에서의 기체의 통과를 방지하는 차폐 수단(15)을 설치한다. 차폐 수단(15)으로서는, 내자외선성과 내오존성을 가지는, 금속 벨로우즈나 테플론(등록상표) 벨로우즈가 이용된다. 또한, 그 외의 구성은, 도 1(a), (b)에 나타낸 동일한 부호의 구성에 대응하므로 설명을 생략한다.
엑시머 램프 장치(1)를 이와 같이 구성함으로써, 엑시머 램프(5)의 주위에서 발생한 오존이 케이스(2)내에 진입하는 일이 없으며, 게다가 벨로우즈(15)에 의한 현가체(4)로의 하중도 없기 때문에, 램프 지지체(6)의 위치를 유지하는 기능을 유지한 채로 오존의 진입을 방지할 수 있다. 오존이 들어 오지 않기 때문에 케이스(1) 내부에 탑재되어 있는 전기 기기에 대한 부식이 없고, 신뢰성이 높은 엑시머 램프 장치(1)를 실현할 수 있다.
도 1은 제 1의 실시 형태의 발명에 관련된 엑시머 램프 장치(1)의 구성을 나타내는 도면이다.
도 2는 제2의 실시 형태의 발명에 관련된 엑시머 램프 장치(1)의 구성을 나타내는 도면이다.
도 3은 제3의 실시 형태의 발명에 관련된 엑시머 램프 장치(1)의 구성을 나타내는 도면이다.
도 4는 종래 기술에 관련된 엑시머 램프 장치(100)의 구성의 일례를 나타내는 도면이다.
〈도면의 주요한 부분에 대한 부호의 설명〉
1 : 엑시머 램프 장치 2 : 케이스
21 : 고정판 22 : 측판
23 : 차폐판 3 : 고정대
4 : 현가체 5 : 엑시머 램프
6 : 램프 지지체 61 : 지지기둥
62a : 램프 지지 부재 62b : 램프 지지 부재
7 : 격벽 8 : 관통 구멍
9 : 전기 기기 91 : 승압 트랜스
92 : 제어 장치 10 : 벽
11 : 기판 12 : 롤러
13 : 질소 도입관 14 : 조정 수단
141 : 스토퍼 나사 142 : 관통 구멍
15 : 차폐 수단

Claims (4)

  1. 케이스와, 상기 케이스에 지지된 현가체(懸架體)와, 상기 케이스의 중앙부에 서, 상기 현가체에 지지된 램프 지지체와, 상기 램프 지지체에 지지된 엑시머 램프와, 상기 엑시머 램프와 상기 현가체 사이에, 상기 케이스의 하부를 막도록 설치됨과 함께, 내부 탑재 기기를 탑재한 격벽을 구비하고, 상기 램프 지지체는, 상기 격벽에 설치한 관통 구멍에 간극을 두고 끼워져 상기 현가체에 지지되어 있는 것을 특징으로 하는 엑시머 램프 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 현가체에 대한 상기 램프 지지체의 상하 방향의 위치를 조정하는 조정 수단을 설치한 것을 특징으로 하는 엑시머 램프 장치.
  3. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 관통 구멍과 상기 관통 구멍에 간극을 두고 끼워지는 램프 지지체 사이에서의 기체의 통과를 방지하는 차폐 수단을 설치한 것을 특징으로 하는 엑시머 램프 장치.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 차폐 수단은, 상기 관통 구멍 주변과 램프 지지체 사이에 설치된 벨로우즈(bellows)인 것을 특징으로 하는 엑시머 램프 장치.
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2004012259A1 (ja) * 2002-07-25 2004-02-05 Tokyo Electron Limited 基板処理容器
JP2005193088A (ja) * 2003-12-26 2005-07-21 Japan Storage Battery Co Ltd エキシマランプ照射装置
JP2005222905A (ja) 2004-02-09 2005-08-18 Japan Storage Battery Co Ltd エキシマランプ
JP2006352155A (ja) * 1995-07-13 2006-12-28 Samsung Electronics Co Ltd 紫外線照射装置

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6312139B1 (en) * 1999-11-23 2001-11-06 Pioneer Hi-Bred International, Inc. Vertically adjustable overhead lighting system
JP4337547B2 (ja) * 2003-12-26 2009-09-30 株式会社ジーエス・ユアサコーポレーション 紫外光洗浄装置および紫外光洗浄装置用紫外線ランプ
JP5019156B2 (ja) * 2006-08-21 2012-09-05 ウシオ電機株式会社 エキシマランプ装置
JP2008068155A (ja) * 2006-09-12 2008-03-27 Ushio Inc エキシマ光照射装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006352155A (ja) * 1995-07-13 2006-12-28 Samsung Electronics Co Ltd 紫外線照射装置
WO2004012259A1 (ja) * 2002-07-25 2004-02-05 Tokyo Electron Limited 基板処理容器
JP2005193088A (ja) * 2003-12-26 2005-07-21 Japan Storage Battery Co Ltd エキシマランプ照射装置
JP2005222905A (ja) 2004-02-09 2005-08-18 Japan Storage Battery Co Ltd エキシマランプ

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