功率MOS晶体管的制造方法
技术领域
本发明涉及半导体制造技术领域,特别涉及一种功率MOS晶体管的制造方法。
背景技术
传统的MOS晶体管,其栅极、源极和漏极在同一水平面上(即水平沟道),此种结构在制造时非常方便,但因源极和漏极之间距离太近而无法满足大功率晶体管的需求,为了满足大功率晶体管的需求,20世纪70年代末出现了具有垂直沟槽的MOS晶体管即功率MOS晶体管,其不仅继承了水平沟道MOS晶体管输入阻抗高、驱动电流小等优点,还具有耐压高、工作电流大、输出功率高、开关速度快等优点。
如今功率MOS器件更多的应用到通讯设备及便携式电子设备上,对于功率MOS器件可靠性能的要求也进一步提高。在工艺技术上,需要不断缩小原胞的尺寸,提高原胞集成度。
在现有技术中,常用的深沟槽结构大功率MOS器件结构图,请参见图1,其所示为现有技术中功率MOS晶体管的剖视图。
如图1所示,所述功率MOS晶体管的栅极沟槽为U型槽,功率MOS晶体管包括:漏极区100,外延层110、栅极沟槽、栅氧化层120、栅极130、反型衬底140、源极区150,其中外延层110、源极区150以及漏极区100掺杂类型相同,反型衬底140与漏极区100掺杂类型相反。
请参见图2并结合图1详述其制造方法,主要制造工艺流程包括以下步骤:
S210对硅衬底进行重掺杂制成漏极区100;
S220制作与漏极区100掺杂类型相同且轻掺杂的外延层110;
S230在外延层110上通过光刻刻蚀出栅极沟槽;
S240在沟槽中形成栅氧化层120;
S250在沟槽中成长多晶硅,通过平坦化或回刻形成栅极130;
S260在外延层上制作与漏极区100掺杂类型相反的反型衬底140;
S270在反型衬底上制作与漏极区掺杂类型相同且重掺杂的源极区150。
由于应用了垂直MOS晶体管结构,它的MOS晶体管原胞尺寸相对平面结构的MOS晶体管原胞尺寸大大减小。所以在相同的芯片面积内可集成更多的MOS晶体管原胞,因而大大降低了功率损耗。
然而,由于这种深沟槽结构的MOS晶体管的深沟槽底部面积较大,在栅极和漏极之间存在较大的寄生电容,这大大的降低了器件的频率特性。
发明内容
本发明旨在解决现有技术中,生产出的深沟槽结构的MOS晶体管的深沟槽底部面积较大,在栅极和漏极之间存在较大的寄生电容,降低了器件的频率特性的技术问题。
有鉴于此,本发明提供一种功率MOS晶体管的制造方法,包括以下步骤:
在硅衬底中形成漏极区及外延层;
在所述外延层中形成沟槽;
依次在所述硅衬底顶表面及所述沟槽中沉积第一及第二氧化层;
去除所述硅衬底顶表面及所述沟槽侧壁上的氧化层,在所述沟槽底部形成较厚的底氧化层;
在所述沟槽中生长栅氧化层;
在所述沟槽中成长多晶硅,通过平坦化或回刻,形成栅极。
进一步的,通过高密度等离子沉积形成所述第二氧化层。
进一步的,去除所述硅衬底顶表面及所述沟槽侧壁上的氧化层,具体包括以下步骤:
在所述硅衬底顶表面及所述沟槽中涂覆光刻胶;
刻蚀去除所述硅衬底顶表面的所述光刻胶及第二氧化层;
去除所述沟槽中的所述光刻胶;
刻蚀去除所述硅衬底顶表面的所述第一氧化层。
利用本发明提供的功率MOS晶体管的制造方法制造出的深沟槽功率MOS晶体管,在沟槽底部的栅氧化层的厚度比沟槽侧壁的栅氧化层厚,由于栅极与漏极之间的栅氧化层的厚度增大,使功率MOS晶体管的栅极和漏极之间的寄生电容大大减小,从而改善了其开关速度和频率响应,进而使器件具有良好的频率特性,且该制造方法步骤简单,便于操作,适用于量产。
附图说明
图1所示为现有技术中功率MOS晶体管的剖视图;
图2所示为现有技术中功率MOS晶体管的制造方法流程图;
图3所示为本发明实施例提供的功率MOS晶体管的制造方法流程图;
图4A至图4H所示为发明实施例提供的方法制造的功率MOS晶体管的剖视图。
具体实施方式
为使本发明的目的、特征更明显易懂,给出较佳实施例并结合附图,对本发明作进一步说明。
请参见图3,其所示为本发明实施例提供的功率MOS晶体管的制造方法流程图。
为更加清晰的阐释本制造方法,请结合参见图4A至图4E。
该功率MOS晶体管的制造方法包括以下步骤:
S301在硅衬底300中形成漏极区310及外延层320。
如图4A所示,首先提供一硅衬底300,对硅衬底300进行重掺杂制成漏极区310,并在硅衬底300中制作与漏极区310掺杂类型相同且轻掺杂的外延层320。这样就在硅衬底300中形成漏极区310及外延层320。
S302在所述外延层320中形成栅极沟槽330。
如图4B所示,先通过化学气相淀积(CVD)在硅衬底300上形成硬掩模(例如二氧化硅或氮化硅),然后利用该掩模进行光刻刻蚀形成栅极沟槽330,之后去除硬掩模。
S303依次在所述硅衬底300顶表面及所述沟槽330中沉积第一氧化层341及第二氧化层342。
如图4C所示,在本实施例中,通过热氧化工艺在硅衬底300顶表面和栅极沟槽330的侧壁及底部生长第一氧化层341,为了进一步增加栅极沟槽330底部氧化层的厚度,再通过高密度等离子沉积在硅衬底300的顶表面和栅极沟槽330的底部形成水平的第二氧化层342。
S304去除所述硅衬底300顶表面及所述栅极沟槽330的侧壁上的氧化层341,342,在所述栅极沟槽330的底部形成较厚的底氧化层340。
在本实施例中,为了在栅极沟槽330的底部形成厚的底氧化层340,
如图4D所示,在所述硅衬底300顶表面及所述栅极沟槽330中涂覆光刻胶350;
如图4E所示,刻蚀去除所述硅衬底300顶表面第二氧化层342及相应的光刻胶350;
如图4F所示,再去除所述栅极沟槽330中的光刻胶,并刻蚀去除所述硅衬底300表面的第一氧化层341,从而在栅极沟槽330的底部形成较厚的底氧化层340。
S305在所述沟槽330中生长栅氧化层360,如图4G所示。
S306在所述沟槽330中成长多晶硅,通过平坦化或回刻,形成栅极370,如图4H所示。
本发明实施例提供的功率MOS晶体管的制造方法制造出的深沟槽功率MOS晶体管,在沟槽底部的栅氧化层的厚度比沟槽侧壁的栅氧化层厚,由于栅极与漏极之间的栅氧化层的厚度增大,使功率MOS晶体管的栅极和漏极之间的寄生电容大大减小,从而改善了其开关速度和频率响应,进而使器件具有良好的频率特性,且本方法制造工艺步骤简单,便于操作,适用于量产。
虽然本发明已以较佳实施例揭露如上,然其并非用以限定本发明,任何所属技术领域中具有通常知识者,在不脱离本发明的精神和范围内,当可作些许的更动与润饰,因此本发明的保护范围当视权利要求书所界定者为准。