CN101520612B - 彩色光刻胶的清洗剂 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种彩色光刻胶的清洗剂,其配方:1~10wt%无机碱氢氧化物或烷基氢氧化铵或苯基烷基氢氧化铵的氢氧化物,0.1~10wt%聚氧乙烯醚,0.01~0.1wt%聚醚多元醇,80~96%纯水。采用科学的配方,配制的清洗剂能够安全环保的清洗管道内壁上的彩色光刻胶残胶,保证正常生产,应用极为方便。

Description

彩色光刻胶的清洗剂
技术领域
本发明涉及清洗剂的组成物,尤其涉及一种用于去除在显影和剥离制程中吸附在管道及设备内壁上彩色光刻胶的清洗剂。
背景技术
彩色滤光片(color filter)由玻璃基板、彩色光刻胶(BM、R、G、B),OC胶、SiO2膜、ITO膜共五层组成。
彩色滤光片(color filter)的制程通常为:首先,在空白玻璃基片上镀第一层膜,然后上BM,前烘、对准,曝光、显影、后烘、蚀刻,去BM,然后再镀第二层膜,上彩色光刻胶2,前烘、对准,曝光、显影、后烘、蚀刻,然后再镀第三层膜,上彩色光刻胶3,前烘、对准,曝光、显影、后烘、蚀刻,然后再镀第三层膜,上彩色光刻胶4,前烘、对准,曝光、显影、后烘、蚀刻,最后上OC层、SiO2层、镀ITO层。
其中彩色光刻胶1、2、3、4,就是指R、G、B、BM。彩色光刻胶可以通过颜料分装法、染色法、电着法等方法制造。彩色光刻胶是由光聚引发剂、单体、分剂、溶剂、色膏、粘合剂等组成。光聚引发剂在曝光时受光后产生自由基的高感光性化合物,而单体则通过自由基引发聚合反应后,结合成高分子形态,从而形成不溶于显影溶剂的形态。粘合剂,在常温下保护液体状单体使之不溶解于显影液,并决定色膏分散剂的稳定性及R、G、B、BM的图案的稳定性、耐光性、耐化学性等可靠性。为了进一步保护R、G、B、BM的图案,通常会彩色光刻胶上OC层,同时达到公用电极施加电压,上SiO2层、镀ITO层。
还经常会出现不良品,因此需要剥离已经涂上彩色光刻胶及各层,来达到回收玻璃基板的目的,降低生产成本。
其中在显影和剥离制程中,产生的彩色光刻胶残胶很容易吸附工艺管道设备的内壁,造成管道的堵塞,影响正常的生产,造成必要的浪费。因此需要一种清洗剂清洗管道内壁上的彩色光刻胶残胶,保证正常生产。
发明内容
本发明的目的是克服现有技术存在的不足,提供一种用于去除在显影和剥离制程中吸附在管道及设备内壁上彩色光刻胶的清洗剂。
本发明的目的通过以下技术方案来实现:
彩色光刻胶的清洗剂,其组分具有如下的重量百分比:1~10wt%无机碱氢氧化物或烷基氢氧化铵或苯基烷基氢氧化铵的氢氧化物,0.1~10wt%聚氧乙烯醚,0.01~0.1wt%聚醚多元醇,80~96%纯水。
进一步地,上述的彩色光刻胶的清洗剂,所述聚氧乙烯醚为烷基酚聚氧乙烯醚、壬基聚氧乙烯醚、辛基酚聚氧乙烯醚、十二烷基酚聚氧乙烯醚。
更进一步地,上述的彩色光刻胶的清洗剂,所述聚醚多元醇为聚氧化丙烯二醇、聚四氢呋喃二醇、聚氧四亚甲基二醇、四氢呋喃-氧化丙烯共聚二醇。
再进一步地,上述的彩色光刻胶的清洗剂,所述纯水采用经离子交换树脂和RO过滤的纯水。
本发明技术方案突出的实质性特点和显著的进步主要体现在:
本发明采用科学的配方,配制的清洗剂能够安全环保的清洗管道内壁上的彩色光刻胶残胶,清洗剂清洗过的管道内壁上均很干净、无残胶,保证正常生产,应用极为方便。
具体实施方式
为了研发对彩色光刻胶清洗剂残胶的清洗方法,使用具有科学组分的清洗剂组合物,可以容易清洗管道内壁上的彩色光刻胶残胶。
本发明彩色光刻胶的清洗剂配方是:1~10wt%无机碱氢氧化物或烷基氢氧化铵或苯基烷基氢氧化铵的氢氧化物,0.1~10wt%聚氧乙烯醚,0.01~0.1wt%聚醚多元醇,80~96%纯水。
无机碱氢氧化物或烷基氢氧化铵或苯基烷基氢氧化铵的氢氧化物含量控制在1~10wt%,如果含量低于1wt%就无法分解彩色光刻胶,进而无法达到清洗管道去除残胶的效果,如果高于10wt%,就可能损坏管道,影响管道的寿命;烷基氢氧化铵包含C1-C4的烷基。
聚氧乙烯醚为烷基酚聚氧乙烯醚、壬基聚氧乙烯醚、辛基酚聚氧乙烯醚、十二烷基酚聚氧乙烯醚,含量控制在0.1~10wt%,如果含量低于0.1wt%就无法分解彩色光刻胶残胶,进而造成彩色光刻胶残胶容易吸附在管道内壁,如果高于10wt%,就可能在使用时产生泡沫较多,不利于安全高效使用。
聚醚多元醇为聚氧化丙烯二醇又称聚丙二醇(polyoxypropyleneglycol,简称PPG)、聚四氢呋喃二醇(polytetrahydrofuran glycol,简称PTHF)、聚氧四亚甲基二醇(polyoxytetramethylene glycol,简称PIG、PTMEG、PTMG、PTMO)、四氢呋喃-氧化丙烯共聚二醇(tetrahydrofuranoxide propylene copolymer glycol);聚醚多元醇含量优选0.01~0.1wt%,如果低于0.01wt%,就可能无法达到消泡的效果,如果高于0.1wt%,则会造成体系的不稳定。
纯水采用通过离子交换树脂和RO过滤的纯水,最好使用电阻高于或等于18MΩ的超纯水。基于组合物总量其含量优选80~96%。如果含量低于80%或高于96%,就可能降低组合物的活性,无法分解彩色光刻胶的残胶,无法达到清洗管道去除残胶的效果。
本发明的上述清洗剂组合物,可在常温下,较短时间内比较容易地去除吸附在管道内壁上的彩色光刻胶残胶,达到清洗管道的效果。
下面,通过实施例进一步详细说明本发明。
实施例1~8
Figure G2009100261388D00041
用上述实施例1~8配制的清洗剂清洗管道内壁,管道内壁上均非常干净、无残胶。
综上明显表明,本发明采用科学的配方,所得产品能够安全环保的清洗管道内壁上的彩色光刻胶残胶,保证正常生产,应用极为方便。
以上仅是本发明的具体应用范例,对本发明的保护范围不构成任何限制。凡采用等同变换或者等效替换而形成的技术方案,均落在本发明权利保护范围之内。

Claims (2)

1.彩色光刻胶的清洗剂,其特征在于其组分具有如下的重量百分比:1~10wt%无机碱氢氧化物或烷基氢氧化铵或苯基烷基氢氧化铵的氢氧化物,0.1~10wt%聚氧乙烯醚,0.01~0.1wt%聚醚多元醇,80~96%纯水;所述无机碱氢氧化物为氢氧化钠或氢氧化钾;所述聚氧乙烯醚为烷基酚聚氧乙烯醚;所述聚醚多元醇为聚氧化丙烯二醇、聚四氢呋喃二醇、聚氧四亚甲基二醇、四氢呋喃-氧化丙烯共聚二醇。
2.根据权利要求1所述的彩色光刻胶的清洗剂,其特征在于:所述烷基酚聚氧乙烯醚为辛基酚聚氧乙烯醚或十二烷基酚聚氧乙烯醚。
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Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102838994B (zh) * 2011-06-22 2014-04-23 苏州瑞红电子化学品有限公司 用于制作单晶硅太阳能电池选择性发射极的蚀刻胶组合物
CN102662312A (zh) * 2012-04-20 2012-09-12 陕西科技大学 一种金属基印刷ps 版上预感光涂层的清洗液及清洗方法
CN104330959B (zh) * 2014-10-25 2018-04-10 江阴市化学试剂厂有限公司 光刻胶剥离液制备方法
CN104950601B (zh) * 2015-06-24 2019-05-14 苏州晶瑞化学股份有限公司 一种掩膜版用清洗剂、其应用以及掩膜版的清洗方法
CN105301919A (zh) * 2015-11-16 2016-02-03 北京中科紫鑫科技有限责任公司 一种光刻胶清洗组合物
CN105301920A (zh) * 2015-11-16 2016-02-03 北京中科紫鑫科技有限责任公司 一种光刻胶清洗剂及清洗方法
CN105714320A (zh) * 2016-03-08 2016-06-29 湖南金裕环保科技有限公司 一种快干清洗剂的制备方法
JP7057653B2 (ja) * 2017-12-08 2022-04-20 花王株式会社 樹脂マスク剥離用洗浄剤組成物
CN116967216B (zh) * 2023-09-25 2023-12-19 福建省德尚电子材料有限公司 一种光刻胶管路系统

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6503694B1 (en) * 2001-06-12 2003-01-07 Chi Mei Corporation Developer solution and edge bead remover composition
CN1585914A (zh) * 2001-11-13 2005-02-23 三星电子株式会社 化学漂洗组合物
CN1770404A (zh) * 2004-11-02 2006-05-10 海力士半导体有限公司 清洗溶液和使用该溶液清洗半导体器件的方法
CN1958763A (zh) * 2005-11-03 2007-05-09 比亚迪股份有限公司 一种边胶清洗剂
CN101187787A (zh) * 2006-11-17 2008-05-28 安集微电子(上海)有限公司 低蚀刻性光刻胶清洗剂及其清洗方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6503694B1 (en) * 2001-06-12 2003-01-07 Chi Mei Corporation Developer solution and edge bead remover composition
CN1585914A (zh) * 2001-11-13 2005-02-23 三星电子株式会社 化学漂洗组合物
CN1770404A (zh) * 2004-11-02 2006-05-10 海力士半导体有限公司 清洗溶液和使用该溶液清洗半导体器件的方法
CN1958763A (zh) * 2005-11-03 2007-05-09 比亚迪股份有限公司 一种边胶清洗剂
CN101187787A (zh) * 2006-11-17 2008-05-28 安集微电子(上海)有限公司 低蚀刻性光刻胶清洗剂及其清洗方法

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