CN101520612B - 彩色光刻胶的清洗剂 - Google Patents
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Claims (2)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2009100261388A CN101520612B (zh) | 2009-04-01 | 2009-04-01 | 彩色光刻胶的清洗剂 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2009100261388A CN101520612B (zh) | 2009-04-01 | 2009-04-01 | 彩色光刻胶的清洗剂 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN101520612A CN101520612A (zh) | 2009-09-02 |
CN101520612B true CN101520612B (zh) | 2011-12-21 |
Family
ID=41081264
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN2009100261388A Active CN101520612B (zh) | 2009-04-01 | 2009-04-01 | 彩色光刻胶的清洗剂 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN101520612B (zh) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102838994B (zh) * | 2011-06-22 | 2014-04-23 | 苏州瑞红电子化学品有限公司 | 用于制作单晶硅太阳能电池选择性发射极的蚀刻胶组合物 |
CN102662312A (zh) * | 2012-04-20 | 2012-09-12 | 陕西科技大学 | 一种金属基印刷ps 版上预感光涂层的清洗液及清洗方法 |
CN104330959B (zh) * | 2014-10-25 | 2018-04-10 | 江阴市化学试剂厂有限公司 | 光刻胶剥离液制备方法 |
CN104950601B (zh) * | 2015-06-24 | 2019-05-14 | 苏州晶瑞化学股份有限公司 | 一种掩膜版用清洗剂、其应用以及掩膜版的清洗方法 |
CN105301919A (zh) * | 2015-11-16 | 2016-02-03 | 北京中科紫鑫科技有限责任公司 | 一种光刻胶清洗组合物 |
CN105301920A (zh) * | 2015-11-16 | 2016-02-03 | 北京中科紫鑫科技有限责任公司 | 一种光刻胶清洗剂及清洗方法 |
CN105714320A (zh) * | 2016-03-08 | 2016-06-29 | 湖南金裕环保科技有限公司 | 一种快干清洗剂的制备方法 |
JP7057653B2 (ja) * | 2017-12-08 | 2022-04-20 | 花王株式会社 | 樹脂マスク剥離用洗浄剤組成物 |
CN116967216B (zh) * | 2023-09-25 | 2023-12-19 | 福建省德尚电子材料有限公司 | 一种光刻胶管路系统 |
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-
2009
- 2009-04-01 CN CN2009100261388A patent/CN101520612B/zh active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN101520612A (zh) | 2009-09-02 |
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Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
ASS | Succession or assignment of patent right |
Owner name: SUZHOU RUIHONG ELECTRONIC CHEMICAL PRODUCT CO., LT Free format text: FORMER OWNER: SUZHOU CRYSTAL CLEAR CHEMICAL CO., LTD. Effective date: 20100730 |
|
C41 | Transfer of patent application or patent right or utility model | ||
COR | Change of bibliographic data |
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TA01 | Transfer of patent application right |
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C14 | Grant of patent or utility model | ||
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CP03 | Change of name, title or address |