CN101430499B - 用于形成光掩模的合成石英玻璃衬底的存储容器 - Google Patents

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Abstract

一种用于容纳形成光掩模的合成石英玻璃衬底的存储容器，其包括面向玻璃衬底的前和后表面的内壁，和提供在容器内壁上用于收纳用以吸附来自容器的释气成分的吸附剂的贮存器。比率A/B在1.0-120m2/cm2范围内，设A是吸附剂的BET比表面积(m2/g)乘以吸附剂总重量(g)的乘积(m2)，和B是玻璃衬底前和后表面的总面积(cm2)。

Description

用于形成光掩模的合成石英玻璃衬底的存储容器
技术领域
本发明涉及一种用于容纳微电子材料的存储容器，更具体地涉及在先进微电子技术中用作光掩模的合成石英玻璃衬底。
背景技术
微电子器件向着更高集成度的发展已经对能够形成具有缩小了的特征尺寸的图形的光刻法产生了日益增加的需求。在光刻法的初始步骤中，通常将涂层沉积在合成石英玻璃衬底上。由于缩小了布线图形的特征尺寸，因此需要没有涂层变化的沉积技术。由于这些以及其它原因，在涂层沉积之前必须存储合成石英玻璃衬底以避免否则将吸附到衬底上的化学物质的任何有害影响。
被吸附的化学物质的影响尤其对用于与液晶相关的光掩模的合成石英玻璃衬底是有害的。由于形成液晶光掩模的合成石英玻璃衬底通常为大尺寸，因此，由于难于控制而使容器倾向于容纳有限数目的衬底。例如，在具有超过500mm长边的矩形衬底的情况下，容器容纳单个衬底。由于容器中容纳的衬底数量受到限制，因此容器内部表面积与衬底表面积相比较大，这表示衬底更易于受到来自容器材料的释气污染。
由于通过被延长了的生产工艺制造形成光掩模的大尺寸合成石英玻璃衬底，因此通常以适当余量设计其制造体系(architecture)。具体地，备用玻璃衬底容纳在单独容器中并且作为备料(stock)被长期存储。这种倾向也加剧了来自容器材料的释气(outgassing)污染的问题。
为了抑制吸附化学物质的影响，JP-A 2004-153221、JP-A 2004-179449、和JP-A 2004-193272描述了提供有包含活性炭的过滤器的容器并改善了过滤器的机制。由于容器内部和外部之间的压力差被最小化或消除，据说这些容器防止了由于在运输期间发生的压力差而造成的来自环境气氛的污染。它们对于因容器材料导致的容器内部的释气提供了不能令人满意的防范措施。
JP-A 8-148551描述了提供有用于去除有机物质的鼓风机和活性炭的衬底容器。JP-A 2000-174109描述了具有设置于其中的风扇、化学过滤器以及干燥剂诸如活性炭的容器，其中操作风扇以在容器内部循环空气从而保持清洁度。这两项专利的容器在衬底存储于一定位置时可良好运行。但是，由于容器具有风扇或电驱动的循环装置，因此它们不适合于衬底被运送到一定目的地的应用。也就是说，这些容器不适合运送到终端用户。
发明内容
本发明的目的是提供用于容纳用作光掩模的合成石英玻璃衬底的容器，其中，控制吸附剂诸如活性炭的量和其在容器中的位置以抑制容器的释气成分吸附于玻璃衬底。
本发明人已经发现，可以通过提供具有吸附剂诸如活性炭的容器和控制吸附剂的量和位置来抑制容器的释气成分吸附于玻璃衬底。
本发明提供了用于容纳用作光掩模的合成石英玻璃衬底的存储容器，该玻璃衬底具有前和后表面。存储容器包括面向玻璃衬底前和后表面的内壁，和在面向玻璃衬底的前表面或前和后表面的一个或多个容器内壁上提供的一个或多个贮存器，用于容纳吸附来自容器的释气成分的吸附剂。容器满足比率A/B在1.0-120m2/cm2范围内，设A是吸附剂BET比表面积(m2/g)乘以吸附剂总重量(g)的乘积(m2)和B是面向提供有贮存器的容器内壁的玻璃衬底的前表面或前和后表面的总面积(cm2)。
在优选实施方案中，贮存器被设置在使贮存器和与其相对的玻璃衬底之间的最长直线距离L(mm)在800mm之内的位置。
在典型实施方案中，容器是长方体，并且面向玻璃衬底的前表面或前和后表面的一个或多个容器内壁具有短边和长边。贮存器被设置在使贮存器和与其面向的玻璃衬底之间的最长直线距离L(mm)在800mm之内的位置。该位置是选自容器内壁交叉点和中心的至少一个位置，所述交叉点通过如下方法限定：用450mm除短边长度(mm)和长边长度(mm)，从商值省略了小数部分，由此获得整数值，并且按与整数值对应的分割线等距离划分容器内壁的短边和长边，分割线相交叉以限定交叉点。
在优选实施方案中，存储容器包括矩形盒状外壳，用于容纳矩形的合成石英玻璃衬底，该外壳具有上部开口和两对相对的内壁；可拆卸地装配到外壳上的盖子，用于封盖上部开口；和在外壳的一对相对的内壁上提供的一对相对的支持装置，用于沿着玻璃衬底的一对相对的边缘支持玻璃衬底，以通过容器中的支持装置沿着所述一对相对的边缘竖直或水平地保持玻璃衬底。当在容器中竖直或水平保持玻璃衬底时，容器内部的空间优选被玻璃衬底划分为多个隔间(compartment)。
在又一实施方案中，合成石英玻璃衬底是具有至少300mm短边和至少400mm长边的矩形衬底。
在另外又一实施方案中，吸附剂包括活性炭；且贮存器是可透气的合成树脂无纺织物制成的扁平袋。
本发明的益处
本发明的存储容器含有适合于用作光掩模的合成石英玻璃衬底，该光掩模在通过光刻法形成图形中起重要作用。在长时间备用储存期间在衬底表面上几乎不发生化学物质吸附。当诸如铬膜的膜稍后沉积在玻璃衬底上时，这使沉积改变最小化，从而导致生产效率和成品率的提高。
附图说明
当参考附图阅读以下详细描述时可更好地理解本发明的这些和其它特征、方面以及优点，附图中相似的符号表示相似的部件。其中：
图1是在本发明的一个实施方案中由外壳和盖子构成且具有设置在一个内壁上的两个贮存器的容器的示意图。
图2示意性示出了测量憎水性的位置。
图3是实施例2中的由外壳和盖子构成且具有设置在一个内壁上的一个贮存器的容器的示意图。
图4是实施例3中的由外壳和盖子构成且具有设置在一个内壁上的一个贮存器的容器的示意图。
图5是实施例4中的由外壳和盖子构成且具有设置在一个内壁上的九个贮存器的容器的示意图。
具体实施方式
当保管存储形成光掩模的合成石英玻璃衬底时，希望抑制气体成分吸附到玻璃衬底上或使其最小化。一般，塑料存储容器容许到增塑剂以及其它成分的释气或者气化，它们会吸附到玻璃衬底上从而导致劣化问题。
本发明涉及一种存储容器，用于容纳用作光掩模的合成石英玻璃衬底。该玻璃衬底具有前和后主表面，且存储容器具有面向玻璃衬底前和后表面的一对内壁。将能够吸附来自容器的释气成分的吸附剂，通常为活性炭、硅胶等，设置在容器内部。通过调整吸附剂的量和位置，使得来自存储容器和(如果存在的话)封装袋等的释气成分被有效地吸附到吸附剂上，减少否则将填充容器的释气成分。
根据本发明，在面向玻璃衬底的前表面或前和后表面的存储容器的一个或多个内壁上提供一个或多个贮存器，用于容纳能够吸附来自容器的释气成分的吸附剂。调整吸附剂或者贮存器的数量和位置以使A/B的比率在1.0到120m2/cm2范围内，更具体为2.0至20m2/cm2，再具体为2.0至10m2/cm2，设A是吸附剂的BET比表面积(m2/g)乘以吸附剂的总重量(g)的乘积(m2)，和B是面向提供有贮存器的容器内壁的玻璃衬底的前表面或者前和后表面的总面积(cm2)。小于1.0m2/cm2的比率A/B会导致释气成分的不充分吸附。大于120m2/cm2的比率A/B对应于容器内壁被吸附剂充分覆盖的情况，导致包括如下的问题：来自吸附剂和吸附剂包装的粉尘增加、以及为配置如此大量吸附剂包装的费时操作。
如在此所使用的，合成石英玻璃衬底的“前表面”是其上将形成光掩模图形的表面。为了防止释气成分吸附到玻璃衬底的至少前表面，将吸附剂设置在面向玻璃衬底前表面的容器内壁上。由于自直接面向玻璃衬底前表面的容器的内壁出现的释气成分对衬底前表面最为有害，因此不必须将吸附剂设置在面向玻璃衬底后表面的容器的其它内壁上。但是，靠近边缘的衬底前表面的一部分或多或少会受到来自面向衬底后表面的容器其它内壁出现的释气成分的影响。由此优选也将吸附剂设置在面向衬底后表面的容器的其它内壁上。用于计算比率A/B的面积B是面向设置了吸附剂的容器内壁的玻璃衬底表面积，且具体地，当仅将吸附剂设置在面向前表面的内壁上时仅表示衬底前表面的面积，当将吸附剂设置在面向前和后表面的内壁上时表示衬底的前和后表面的总面积。
通过氮吸附BET方法测量吸附剂的BET比表面积。吸附剂的例子包括但不限于硅胶和活性炭，活性炭例子包括粉末状、颗粒状、球状和纤维状活性炭。
将吸附剂收纳在贮存器中。相对于面向(一个或多个)贮存器的玻璃衬底表面确定(一个或多个)贮存器的排列。具体地，将贮存器设置在贮存器和与其相对的玻璃衬底之间最长直线距离L(mm)优选在800mm以内且更优选在550mm以内的位置。如果贮存器的该位置在该范围之外，则在贮存器中的吸附剂的效果会变弱。如果将贮存器设置在远离衬底处，贮存器中的吸附剂将不能抑制释气成分吸附到整个衬底前表面上。注意，贮存器和与其相对的玻璃衬底之间的最长直线距离L(mm)是从与贮存器中心对应的起点测量的。在将两个或更多个贮存器设置在相同内壁上的场合，通过在贮存器和与其相对的玻璃衬底之间画直线、将该直线投影到设置贮存器的容器内壁上、并选择起始于一个贮存器且不与其它贮存器交叉的最长的一条直线来确定最长直线距离L。
在一个实施方案中，该容器是长方体，且包括面向玻璃衬底前和后表面并具有短边和长边的矩形内壁。在优选实施方案中，将一个或多个贮存器设置在选自容器内壁交叉点和中心的一个或多个位置处，该交叉点通过如下方法限定用450mm除短边的长度(mm)和长边的长度(mm)、从商值(或商)省略小数部分，由此获得整数值，并且按与整数值对应的分割线等距离分割容器内壁的短和长边(称作整数分割)，分割线交叉以限定交叉点。
在将贮存器设置在面向具有1220mm短边和1400mm长边的矩形合成石英玻璃衬底前表面的容器矩形内壁上的实施例中，通过用450mm除短边长度(mm)和长边长度(mm)、从商值(具体地，对于短边是2.71，且对于长边是3.11)省略小数部分，由此获得整数值(具体地，是2和3)，且按与整数值(具体地，是2和3)对应的分割线等距离分割容器内壁的短和长边来确定侯选位置。即，两条分割线将短边分割成各1/3段，且三条分割线将长边分割成各1/4段。很明显，这些分割线在六个交叉点处交叉。结果，这六个交叉点和容器的矩形内壁中心成为了设置贮存器的侯选位置。之后，将(一个或多个)贮存器设置在选自六个交叉点和容器内壁中心的一个或多个位置。为了使任一交叉点处的贮存器和与其相对的玻璃衬底之间的最长直线距离L(mm)在800mm以内，将四个至六个贮存器设置在中心和所选交叉点处。
不特别限制贮存器的形状和材料。优选贮存器是由合成树脂诸如聚脂的无纺织物制成的扁平袋，以使得该袋能透气。示例性贮存器具有20×20mm和200×200mm之间的尺寸以及容纳约1至100g，更具体地约5至20g吸附剂的容积。
将吸附剂贮存器以任何适当手段设置在容器内壁上，例如，通过用粘合剂等将贮存器固定到壁上。
当合成石英玻璃衬底容纳并存储在存储容器中时，可以对容器中的支持装置进行定位以使玻璃衬底的前表面在存储期间相对于地面竖直或水平延伸。
在这一点上，在存储容器中的玻璃衬底的数量可以是1个、2个或更多个。在容器收纳多于一个的玻璃衬底的场合，在优选实施方案中排列玻璃衬底以使最外面衬底的前表面面向容器内壁。
在该优选实施方案中，在面向容器内壁的最外面玻璃衬底的前表面和容器内壁之间的间隔优选为1至15cm，且更优选为2至10cm。在容器容纳单个玻璃衬底的场合，在玻璃衬底前表面和面向该表面的容器内壁之间的间隔优选是1至15cm，并更优选是2至10cm。如果玻璃衬底前表面和容器内壁之间的间隔过近，则存在吸附剂和衬底之间接触或者从吸附剂或吸附剂贮存器散发粉尘的危险。如果玻璃衬底前表面与容器内壁相隔过远，则容器自身必须具有大容积，这不便于存储和运输。
存储容器可与具有短边和长边的矩形合成石英玻璃衬底一起使用，该矩形合成石英玻璃衬底尺寸(mm)包括330×450、370×450、420×520、420×530、430×530、440×520、500×750、520×610、520×800、620×720、650×750、650×800、700×800、800×920、700×1100、800×960、830×960、850×1000、830×1196、850×1200、830×1396、810×1380、850×1400、1220×1400和1300×1500mm。为了便于操作，如果衬底具有小于500mm的短边，则容器可容纳多个玻璃衬底；如果衬底具有等于或大于500mm的短边，则容器可容纳单个玻璃衬底。当衬底厚度随着其平面尺寸变化时，其通常为1至50mm厚，且优选为5至20mm厚。具体地，容器最适合于容纳具有至少300mm短边和至少400mm长边、更优选400至3000mm短边和500至5000mm长边、且甚至更优选500至3000mm短边和610至5000mm长边的玻璃衬底。
参考图1，示出了用于容纳形成光掩模的合成石英玻璃衬底的一个示例性存储容器。该存储容器显示为包括：用于容纳矩形合成石英玻璃衬底(未示出)的矩形盒状外壳1，该外壳具有上部开口；和可拆卸地装配到外壳1上用于封盖上部开口的盖子2。外壳1具有两对相对的内壁、敞开的顶部和闭合的底部。外壳的一对相对内壁形成有从顶部向底部延伸且彼此纵向相对的一对沟槽3a、3b。外壳底部内壁也形成有连接上述沟槽3a、3b的沟槽3c。U形截面的支持体(未示出)装配在沟槽3a、3b和3c中。将玻璃衬底插入到沟槽中以使沿着一对纵向相对边缘夹在支持体之间。之后，沿着该对相对边缘通过支持装置(支持体和沟槽)将玻璃衬底竖直保持。
盖子2也可具有U形截面(与外壳壁上的相同)或其它形状截面的支持体。在其中盖子2具有U形截面支持体(与外壳1相同)的一个实施方案中，盖子2的相对内壁形成有与沟槽3a、3b相对应的沟槽4a、4b，且U形截面支持体(未示出)装配于其中。在其中盖子2具有的支持体形状不同于外壳1的那些支持体的其它实施方案中，将具有约10至20mm直径的可拉伸硅胶管设置在盖子2的顶板上，以使得当盖子2被置于在外壳1上时，硅胶管与玻璃衬底的顶部边缘接触，由此在其相对边缘处将玻璃衬底夹在盖子侧的硅胶管和外壳底部中的沟槽3c之间。在这一点上，在盖子2和不与硅胶管接触的玻璃衬底的一部分边缘之间留有间隙，但是该间隙至多约10mm。在其中盖子具有相同或不同形状支持体的这些实施方案中，当通过外壳1和盖子2保持玻璃衬底时，将容器内部的空间划分成多个隔间(在其中保持单个玻璃衬底的图1的实施方案中分成两个隔间5和6)。
在一个实施方案中，每一个都具有收纳于其中的吸附剂7的聚脂无纺织物贮存器8被使用粘合剂9固定到面向玻璃衬底前和后表面的外壳1的内壁上。选择贮存器8的数目以便给出在所述范围内的A/B比率。在图1中，将两个贮存器设置在容器的每个相对内壁上(总共四个贮存器)。贮存器8的数目不限于此。例如，可将单个贮存器设置在如图3和4中所示的容器的每个相对内壁上(总共两个贮存器)，或者可将不同数目的贮存器设置在相对内壁上。在替代实施方案中，仅将一个或多个贮存器设置在面向玻璃衬底前表面的一个容器内壁上，且不将贮存器设置在面向玻璃衬底后表面的其它容器内壁上。
尽管在图1的实施方案中竖直地保持玻璃衬底，但也可水平保持。在一个实施例方案，外壳的一对相对的内壁具有L形截面的支持体。通过相对的支持体沿着一对相对侧边缘支撑玻璃衬底。在其中以这种方式水平保持玻璃衬底的实施方案中，面向玻璃衬底的前表面或前和后表面的容器的一个或多个内壁是外壳底部和盖子的顶板，可在所述底部和顶板配置吸附剂贮存器。
在图1的实施方案中，贮存器7被设置成使得贮存器7和与其相对的玻璃衬底表面之间(描述为L的)最长直线距离(mm)在800mm以内。更具体地，将两个贮存器设置在两个交叉点处，该交叉点通过用450mm除短边长度(mm)和长边长度(mm)且成整数地分割短和长边，由此分隔线在两个交叉点处交叉来定义该交叉点，同时最长直线距离L(mm)在800mm以内。
使用中，将合成石英玻璃衬底插入到如上构造的存储容器中，盖子被置于外壳上，且沿着外壳和盖子之间的配合线缠绕密封带，以实现容器的气密密封。
制成容器外壳1、盖子2和支持体的适当材料包括树脂，诸如聚乙烯(PE)、聚对苯二甲酸丁二醇酯(PBT)、聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚丙稀(PP)、丙烯腈-丁二烯-苯乙烯三元共聚物(ABS)、聚碳酸酯(PC)、聚丙烯腈(PAN)、聚甲醛(POM)、聚环氧乙烷(POE)、聚氯乙烯(PVC)、聚偏二氯乙烯(PVDC)、聚偏二氟乙烯(PVDF)、聚醚醚酮(PEEK)、聚氨脂(PU)、聚烯烃(PO)、聚苯乙烯(PS)、聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)、聚四氟乙烯(PTFE)、聚异丁烯(PIB)、聚甲基丙烯腈(PMAN)、聚甲基丙烯酸甲酯(PMA)以及聚甲基丙烯酸乙酯(PEMA)，和包括上述材料中至少一种的共聚物。在优选实施方案中，外壳和盖子由聚碳酸酯(PC)或聚丙烯腈(PAN)制成，支持体由聚碳酸酯(PC)或聚四氟乙烯(PTFE)制成。
可应用本发明的玻璃衬底不限于矩形。容器中可容纳其它形状如圆形的玻璃衬底。
实施例
以下以说明性而非限制性方式给出本发明的实施例。
实施例1
提供并清洗具有800mm短边和920mm长边的矩形表面和10mm厚度的四个合成石英玻璃衬底。使用接触角测量仪测量衬底前表面的憎水性。在五个位置处进行接触角的测量，即，自衬底前表面四个拐角纵向和横向间隔10mm的位置10、11、12、13和基本与衬底前表面中心对应的位置14，如图2中所示。对于全部四个衬底，五个位置处的接触角测量显示没有变化，平均接触角为3.9°。
由矩形盒状外壳和盖子构成的存储容器如图1中所示具有面向玻璃衬底的短边800mm和长边920mm的一对矩形内壁，在每一个相对内壁上设置两个吸附剂贮存器。四个玻璃衬底中的每一个容纳在四个容器中的每一个中。容器的外壳和盖子由聚丙烯腈(PAN)制成，由聚四氟乙烯(PTFE)制成的支持体装配在外壳和盖子内壁上的沟槽中。
吸附剂贮存器被设置在下述位置，这些位置通过用450mm除短边长度(800mm)和长边长度(920mm)并实施整数分割来确定，将短边分成各1/2段的分割线和将长边分割成各1/3段的分割线在两个交叉点处交叉。在容器内壁和最外面玻璃衬底前表面之间的空间为45mm。
贮存器是容纳有纤维状活性炭的聚酯无纺织物袋(可从Toyobo有限责任公司作为K过滤器商购得到，7.5g具有1500m2/g BET比表面积的活性炭)。
在将玻璃衬底容纳在外壳中和盖子被布置在外壳上之后，通过在外壳和盖子之间的配合线处缠绕密封带密封容器。将整个容器包装在包装袋中且保管存储达36天。在通过超低穿透率空气过滤器(ULPA)清洁的洁净室内继续该收容操作和存储。
之后，在洁净室中打开容器，且使用接触角测量仪再次测量衬底前表面的憎水性。五个位置的接触角测量显示几乎没有变化，平均接触角为6.4°。在拐角附近的四个位置和吸附剂贮存器之间的距离是492mm，且中心和吸附剂贮存器之间的距离是160mm。所有四个玻璃衬底都具有相同倾向，接触角几乎没有差别。见表1。
实施例2
与实施例1中相同，在具有800mm短边和920mm长边的矩形表面和10mm厚度的四个合成石英玻璃衬底的前表面上测量接触角。对于所有四个衬底，在五个位置处的接触角测量显示没有变化，平均接触角为4.1°。
将四个玻璃衬底中的每一个容纳在四个存储容器中的每一个中，四个存储容器中的每一个都由矩形盒状外壳和盖子构成，且具有面向玻璃衬底的800mm短边和920mm长边的一对矩形内壁，在每一个内壁上设置一个吸附剂贮存器，如图3中所示。容器和贮存器的材料以及外壳内壁和衬底前表面之间的间隔与实施例1中相同。吸附剂贮存器被设置在与中心(将短边分割成各1/2段的分割线与将长边分割成各1/2段的分隔线交叉的交叉点)对应的一个位置。
在存储36天之后，使用接触角测量仪再次测量衬底前表面的憎水性。在衬底范围内五个位置处的接触角测量当中，拐角附近远离吸附剂贮存器的四个位置的那些值相对较高(四个的平均值为9.2°)，且中心处的值低至6.3°。在拐角附近的四个位置和贮存器之间的距离是597mm，且中心和贮存器之间的距离是160mm。所有四个玻璃衬底在接触角的分布方面都具有相同倾向。见表1。
实施例3
与实施例1中相同，在具有800mm短边和920mm长边的矩形表面和10mm厚度的四个合成石英玻璃衬底的前表面上测量接触角。对于所有四个衬底，在五个位置处的接触角测量没有显示出变化，平均接触角为3.9°。
将四个玻璃衬底中的每一个容纳在四个存储容器中的每一个中，四个存储容器中的每一个都由矩形盒状外壳和盖子构成，且具有面向玻璃衬底的800mm短边和920mm长边的一对矩形内壁，在每一个内壁上设置一个吸附剂贮存器，如图4中所示。容器和贮存器的材料以及外壳内壁和衬底前表面之间的间隔与实施例1中相同。吸附剂贮存器被设置在选自两个交叉点的一个位置处，将短边分割成各1/2段的分割线与将长边分割成各1/3段的分隔线交叉在这两个交叉点处。
在存储36天之后，使用接触角测量仪再次测量衬底前表面的憎水性。衬底范围内五个位置处的接触角测量当中，拐角附近远离吸附剂贮存器的两个位置的那些值相对较高(两个的平均值为11.6°)，拐角附近接近吸附剂贮存器的两个位置和中心处的那些值平均低至5.9°。在拐角附近远离贮存器的两个位置和贮存器之间的距离为720mm，在拐角附近接近贮存器的两个位置和贮存器之间的距离是492mm，且中心和贮存器之间的距离是160mm。所有四个玻璃衬底在接触角的分布方面都具有相同倾向。见表1。
实施例4
与实施例1中相同，在具有800mm短边和920mm长边的矩形表面和10mm厚度的四个合成石英玻璃衬底的前表面上测量接触角。对于所有四个衬底，在五个位置处的接触角测量没有显示出变化，平均接触角为3.8°。
将四个玻璃衬底中的每一个容纳在四个存储容器中的每一个中，四个存储容器中的每一个都由矩形盒状外壳和盖子构成，且具有面向玻璃衬底的800mm短边和920mm长边的一对矩形内壁，在每一个内壁上设置九个吸附剂贮存器，如图5中所示。容器和贮存器的材料以及外壳内壁和衬底前表面之间的间隔与实施例1中相同。将吸附剂贮存器设置在九个位置处，这九个位置是将短边分成各1/4段的分割线和将长边分割成各1/4段的分割线交叉的交叉点。
在存储36天之后，使用接触角测量仪再次测量衬底前表面的憎水性。五个位置处的接触角测量显示出很小变化，平均接触角为5.1°。在拐角附近的四个位置和贮存器之间的距离为294mm，中心和贮存器之间的距离是45mm。所有四个玻璃衬底都具有相同倾向，接触角几乎没有差别。见表1。
对比例1
与实施例1中相同，在具有800mm短边和920mm长边的矩形表面和10mm厚度的四个合成石英玻璃衬底的前表面上测量接触角。对于所有四个衬底，在五个位置处的接触角测量没有显示出变化，平均接触角为3.8°。
与实施例1中相同，将四个玻璃衬底中的每一个容纳在四个存储容器中的每一个中，只是不在其中设置吸附剂贮存器。在存储36天之后，使用接触角测量仪再次测量衬底前表面的憎水性。五个位置处的接触角测量值增加，平均接触角为16.7°。所有四个玻璃衬底在接触角分布方面都具有相同倾向。见表2。
相信玻璃衬底的前表面被释气成分污染并由于一些化学物质的吸附而导致为憎水性。
对比例2
与实施例1中相同，在具有800mm短边和920mm长边的矩形表面和10mm厚度的四个合成石英玻璃衬底的前表面上测量接触角。对于所有四个衬底，在五个位置处的接触角测量没有显示出变化，平均接触角为3.5°。
将四个玻璃衬底中的每一个容纳在与实施例1中相同的存储容器中，只是贮存器收纳有1.0g具有1500m2/g BET比表面积的活性炭。在存储36天之后，使用接触角测量仪再次测量衬底前表面的憎水性。五个位置处的接触角测量显示出一些变化，平均接触角为10.8°。所有四个玻璃衬底在接触角分布方面都具有相同倾向。见表2。
表1
表2
Figure G2008101887500D00131

Claims (7)

1.用于容纳用作光掩模的合成石英玻璃衬底的存储容器，该玻璃衬底具有前表面和后表面，所述存储容器包括：
面向玻璃衬底前表面的容器内壁和面向玻璃衬底后表面的容器内壁，和
提供在面向玻璃衬底前表面的容器内壁上的一个或多个贮存器，或者提供在面向玻璃衬底前表面的容器内壁上和面向玻璃衬底后表面的容器内壁上的一个或多个贮存器，所述贮存器包括用以吸附来自容器的释气成分的吸附剂，其中
比率A/B在1.0至120m2/cm2范围内，设A是由吸附剂的BET比表面积(m2/g)乘以吸附剂总重量(g)的乘积(m2)，且B是面向具有贮存器的容器内壁的玻璃衬底的前表面或前表面和后表面的总面积(cm2)，具体地，当仅将吸附剂设置在面向玻璃衬底前表面的容器内壁上时，B仅是玻璃衬底前表面的面积，当将吸附剂设置在面向玻璃衬底前表面的容器内壁上和面向玻璃衬底后表面的容器内壁上时，B是玻璃衬底的前表面和后表面的总面积，
其中将贮存器没置在使贮存器和与其相对的玻璃衬底之间的最长直线距离L(mm)在800mm以内的位置处。
2.如权利要求1的存储容器，其中容器是长方体，面向玻璃衬底前表面的容器内壁或面向玻璃衬底前表面的容器内壁和面向玻璃衬底后表面的容器内壁具有短边和长边，
将贮存器设置在使贮存器和与其相对的玻璃衬底之间的最长直线距离L(mm)在800mm以内的位置处，
所述位置是选自容器内壁交叉点和中心的至少一个位置，通过用450mm除短边长度(mm)和用450mm除长边长度(mm)，从商值省略小数部分，由此获得整数值，且按与该整数值对应的分割线等距离分割容器内壁的短边和长边，使分割线交叉以定义所述交叉点。
3.如权利要求1的存储容器，其中所述容器包括：
用于容纳矩形合成石英玻璃衬底的矩形盒状外壳，外壳具有上部开口以及两对相对的内壁，
可拆卸地装配到外壳上用于封盖上部开口的盖子，和
一对相对的支持装置，其提供在外壳的一对相对的内壁上，用于沿着玻璃衬底的一对相对的边缘支持玻璃衬底，以沿着所述一对相对的边缘通过容器中的支持装置竖直或水平保持玻璃衬底。
4.如权利要求3的存储容器，其中，当玻璃衬底被竖直或水平保持在容器中时，通过玻璃衬底将容器内部的空间划分成多个隔间。
5.如权利要求1的存储容器，其中合成石英玻璃衬底是具有至少300mm短边和至少400mm长边的矩形衬底。
6.如权利要求1的存储容器，其中所述吸附剂包括活性炭。
7.如权利要求1的存储容器，其中所述贮存器是由合成树脂的透气性无纺织物制成的扁平袋。
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