CN101415656A - 氮化铝烧结体的接合方法及氮化铝接合体 - Google Patents
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Abstract
本发明提供可以高效且牢固地将氮化铝烧结体相互接合的接合方法。本发明的氮化铝烧结体的接合方法的特征在于，在一个氮化铝烧结体的接合面和另一个氮化铝烧结体的接合面之间配置含有烧结助剂的中介物，通过电磁波照射加热所述中介物来使所述氮化铝烧结体相互接合。
Description
技术领域
本发明涉及氮化铝烧结体的接合方法及氮化铝接合体，更具体涉及利用微波等电磁波的氮化铝烧结体的接合方法及氮化铝接合体。
背景技术
目前，作为陶瓷的接合方法，已知将接合部附近局部加热来接合的方法。
作为该加热的方法，可以例举例如激光的照射或微波的照射等。
然而，通过激光的照射，将陶瓷从外部加热、熔融来接合，因此接合体的内部强度弱，接合面的形状容易变形。此外，该方法存在仅可接合氧化物类的陶瓷、容易发生热龟裂等问题，还会产生接合部的气泡残留和晶粒的粗大化的问题。
另一方面，作为采用微波照射的陶瓷的接合方法，日本专利特公平2-62516号公报(专利文献1)中记载了利用陶瓷的接合装置的陶瓷的接合方法，所述装置由空腔谐振器、微波发生构件、配置于该空腔谐振器内的用于对陶瓷的接合面加压的加压构件以及用于控制该陶瓷的温度分布的温度控制构件形成。
而且，实施例3中揭示了该温度控制构件由介质加热组件和温度差形成组件形成的形态；所述介质加热组件通过对被接合陶瓷照射微波而对该被接合陶瓷进行介质加热；所述温度差形成组件由被接合面间的由介质损耗因数比上述被接合陶瓷大的材料形成的板状或粉末状的中介物构成。具体来说，接合纯度99％的氧化铝试样(室温下的介质损耗因数：εrtanδ＝0.001)相互接合时，使介质损耗因数比该氧化铝试样大的氧化铝薄板(主要成分：Al2O3，CaO：1.5％，MgO：0.8％，SiO2：7％，室温下的介质损耗因数：εrtanδ＝0.01)介于接合面之间，通过优先地对该氧化铝薄板进行介质加热而将氧化铝试样加热并接合。
此外，日本专利特开平8-73280号公报(专利文献2)中揭示了将多个陶瓷体(氮化铝)固相接合的接合体的制造方法，其特征在于，在要接合的各陶瓷体的接合面的至少一方涂布接合助剂的溶液，再在使各接合面相接的状态下对各陶瓷体进行热处理，从而制造接合体(权利要求6、实施例等)；记载了作为陶瓷体为氮化铝时的接合助剂的溶液，较好是钇化合物的水溶液或乙醇溶液的内容([0009]、[0021]等)。
另外，专利文献2中还有“([0012])接合助剂必需使其溶解，使用含接合助剂的粒子的分散液或浆料的情况下，无法使两者良好地接合。”、“[0023]作为加热方法，由常压下的热处理、热压法、等离子体活化烧结、采用激光的局部加热法等。”的记载。还有，比较例中，记载了使接合助剂介于多个陶瓷体(氮化铝)之间进行热处理后陶瓷体未接合的内容。
专利文献1：日本专利特公平2-62516号公报
专利文献2：日本专利特开平8-73280号公报
发明的揭示
然而，通过专利文献1中记载的接合方法使室温附近的介质损耗因数极小的氮化铝烧结体相互接合是非常困难的。
此外，对于专利文献2中记载的接合体的制造方法，已知需要加热的不仅是接合部，而是被接合物整体，高效地将氮化铝烧结体相互接合方面仍有改进的余地。
本发明是鉴于这样的问题而完成的，其目的在于提供可以高效且牢固地将氮化铝烧结体相互接合的接合方法。
本发明的氮化铝烧结体的接合方法的特征在于，在一个氮化铝烧结体的接合面和另一个氮化铝烧结体的接合面之间配置含有烧结助剂的中介物，通过电磁波照射加热所述中介物来使所述氮化铝烧结体相互接合。
作为所述烧结助剂，较好是选自含有选自钇(Y)、钙(Ca)、铈(Ce)、钬(Ho)、镱(Yb)、钆(Gd)、钕(Nd)、钐(Sm)、镝(Dy)和锶(Sr)的至少1种元素的氧化物、氮化物、氯化物、硝酸盐、碳酸盐和氟化物的至少1种化合物。
作为所述中介物，可以例举含有所述烧结助剂的糊料、含有所述烧结助剂的氮化铝的坯体、含有所述烧结助剂的氮化铝的脱脂体等，其中较好是所述糊料，特别好是还含有氮化铝粉末的糊料。
所述氮化铝烧结体的接合方法中，较好是所述糊料使用还含有碳的中介物，在还原气氛下进行所述加热。
所述氮化铝烧结体的接合方法中，较好是所述中介物所含的烧结助剂为通过球磨机处理了的烧结助剂。
此外，氮化铝烧结体的接合方法中，也较好是在惰性气体气氛下进行所述加热。
所述电磁波的频率较好是0.2～30GHz。
本发明的氮化铝接合体的特征在于，通过所述的接合方法接合而成。
如果采用本发明的氮化铝烧结体的接合方法，则可以高效且牢固地将氮化铝烧结体相互接合。
附图的简单说明
图1是表示氮化铝烧结体的接合面的形状的例子的图。
图2是表示氮化铝烧结体的接合形态的例子的图。
图3是表示本发明的一种实施方式的图。
图4是表示并用含有烧结助剂的糊料2和不含烧结助剂的糊料3的实施方式的一例的图。
图5是表示对陶瓷的接合面加压的手段的一种方式的图。
图6是表示3点弯曲试验时的试验片的形状和配置的简略模式图。
图7是表示实施例中的氮化铝烧结体等的配置的一例的简略模式图。
符号的说明
1…氮化铝烧结体，2…(含有烧结助剂的)糊料，3…(不含烧结助剂的)糊料，4…氮化铝烧结体用夹具，5…微波发射机，6…接合装置，11…接合面，12…接合部。
实施发明的最佳方式
以下，对本发明的氮化铝烧结体的接合方法及氮化铝接合体进行更详细的说明。
[氮化铝烧结体的接合方法]
本发明的氮化铝烧结体的接合方法中，在一个氮化铝烧结体的接合面和另一个氮化铝烧结体的接合面之间配置含有烧结助剂的中介物，通过电磁波照射加热所述中介物来使所述氮化铝烧结体相互接合。
被接合的氮化铝烧结体通常含有0.01～6质量％、较好是0.02～4质量％作为杂质的稀土元素和/或碱土金属元素。该杂质通常来源于制造氮化铝烧结体时所用的烧结助剂中的稀土元素和/或碱土金属元素。作为该烧结助剂，可使用后述的本发明中所用的糊料中所含的烧结助剂。如果氮化铝烧结体中的稀土元素和/或碱土金属元素的浓度在上述范围内，则存在氮化铝烧结体自身的强度下降的倾向。
被接合的氮化铝烧结体的形状没有特别限定，可以是例如棱柱状、圆柱状、块状的形状，但为了获得具有可靠性更高的接合强度的氮化铝接合体，较好是将氮化铝烧结体的接合面通过研磨加工等使其平坦，使得将氮化铝烧结体相互紧贴时不产生间隙。
此外，氮化铝烧结体的接合面的形状除了如图1(a)所示的平面形状之外，还可以是如图1(b)所示的V字形状或如图1(c)所示的阶梯形状。
此外，接合的氮化铝烧结体的数量也没有特别限定，例如可以如图2(a)所示将2个氮化铝烧结体接合，也可以如图2(b)所示将3个或更多的氮化铝烧结体接合。
在氮化铝烧结体的接合面间以接触该接合面的状态配置含有烧结助剂的中介物。
作为该烧结助剂，较好是含有选自钇(Y)、钙(Ca)、铈(Ce)、钬(Ho)、镱(Yb)、钆(Gd)、钕(Nd)、钐(Sm)、镝(Dy)和锶(Sr)的至少1种元素的化合物，作为该化合物的形态，可优选例举氧化物、氮化物、氯化物、硝酸盐、碳酸盐、氟化物。更具体来说，较好是例如Y2O3、CaO、Yb2O3，其中特别好是Y2O3和CaO。
作为配置于氮化铝烧结体的接合面间的中介物，可以例举含有所述烧结助剂的糊料、含有所述烧结助剂的氮化铝的坯体、含有所述烧结助剂的氮化铝的脱脂体等；其中，从溶液涂布且对于复杂形状的接合面也可适用的角度来看，较好是所述糊料。此外，在上述任一种形态中，所述烧结助剂都较好是在介于一个氮化铝烧结体的接合面和另一个氮化铝烧结体的接合面之间前通过球磨机处理。
基于球磨机的处理较好是在烧结助剂单独或与氮化铝粉末等一起形成糊料的状态下实施。此外，基于球磨机的处理时间较好是1～50小时，球磨机的容器和球的材质较好是氧化铝。
作为球磨机调制的中介物的加热方法，从可进行高效的加热的角度来看，较好是频率为0.2～30GHz的电磁波(微波或毫米波)的照射。作为通过该加热方法可进行高效的加热的理由，虽然并不确定，但认为是以下的理由。即，认为是因为使用球磨机处理了的烧结助剂粒子产生伴随结晶缺陷的缺损，因而烧结助剂粒子被照射微波或毫米波时变得容易振动，烧结助剂粒子以及含有该粒子的中介物的温度容易上升(变得容易对烧结助剂粒子进行介质加热)。
首先，对该中介物为所述糊料的情况进行说明。
所述糊料中较好是还含有氮化铝粉末。如果含有氮化铝粉末，则由于与氮化铝烧结体的组成和该糊料烧结而形成的部分(以下也称“糊料烧结部”)的组成较近似，因此具有将氮化铝烧结体相互接合而成的接合体的强度更好的优点。
该糊料中，所述烧结助剂的含量换算为烧结助剂中的稀土元素和/或碱土金属元素较好是7质量％以下，更好是1.2～5.0质量％(将所述氮化铝粉末和所述烧结助剂的总和设为100质量％)。如果糊料中的烧结助剂浓度在上述范围内，则氮化铝粉末的烧结温度充分下降，且烧结助剂充分地飞散或在氮化铝接合体中充分地扩散，因此烧结助剂不会在糊料烧结部局部地残留，在烧结部和氮化铝烧结体之间残留的烧结助剂浓度基本恒定。因此，所得的氮化铝接合体在其接合部(烧结部)也具有与母材(接合前的氮化铝烧结体)同样的弯曲强度。
所述氮化铝粉末和所述烧结助剂的粒径较好是0.1～3μm。如果粒径、特别是氮化铝粉末的粒径在该范围内，则氮化铝粉末的体积占糊料总体积的比例大，因此糊料中的氮化铝粉末烧结而得的部分(以下也简称“烧结部”)的密度大。
此外，该糊料中可以含有碳粉末。如果含碳粉末，则可以在后述的加热中促进烧结助剂的飞散，所以是理想的。
理想的是所述糊料中按以质量比计氮化铝粉末:碳粉末＝100:0.5～30、较好是100:1～10的比例含有所述氮化铝粉末和所述碳粉末。如果碳粉末的比例在上述范围内，则烧结时可以促进烧结助剂的飞散。
所述碳粉末的粒径较好是0.1～10μm。如果粒径在该范围内，则可以使糊料中的碳的分布均匀。
作为所述糊料含有的溶剂，可以例举例如萜品醇(沸点：212℃)。
作为该溶剂，较好是像上述萜品醇那样沸点高的溶剂，例如沸点为100～300℃左右的溶剂。如果使用沸点高的溶剂，则对糊料照射微波或毫米波时，可以防止溶剂在糊料中的烧结助剂充分自身发热前挥发，使对烧结助剂的介质加热容易。
该溶剂的含量在糊料中于室温(25℃)下为10～50质量％即可。
所述糊料可以将上述各成分使用高速分散搅拌机、砂磨机、篮式研磨机、球磨机、三辊混合机、罗斯混合机、行星式混合机、万能品川搅拌机等目前公知的混合·搅拌装置来调制，其中较好是如前所述进行采用球磨机的处理来调制。
在该糊料中不含AlN粉末和碳粉末的形式下，本发明的效果也当然得到充分的发挥。
本发明的接合方法中，如图3所示，通过电磁波照射加热配置在氮化铝烧结体的接合面之间的所述糊料等中介物，使氮化铝烧结体相互接合。
介于氮化铝烧结体的接合面之间的所述糊料(糊料层)的厚度在室温下较好是0.01～0.5mm，更好是0.1～0.3mm。如果糊料层的厚度在上述范围内，则糊料的烧结进行，糊料烧结部和氮化铝烧结体的密合性提高。
该糊料层可以在一个氮化铝烧结体的接合面涂布所述糊料而形成，或者可以将氮化铝烧结体隔开间隙对向配置并在该间隙中注入所述糊料而形成。
此外，可以独立于所述糊料，调制含有氮化铝粉末且不含烧结助剂的糊料，如图4所示，使该糊料(不含烧结助剂的糊料3)介于所述糊料层(含有烧结助剂的糊料层2)和所述氮化铝烧结体1之间。如果这样操作，则可以使接合层和氮化铝烧结体的密合性进一步提高。还有，该不含烧结助剂的糊料可以通过除了不使用烧结助剂以外与所述的含有烧结助剂的糊料同样的配合和方法来调制。
试样通过利用微波等电磁波的介质加热所吸收的能量P以
P＝2πfε0εrtanδ E2
〔其中，ε0为真空的介电常数，εr为介电常数，tanδ为介质损耗角正切，f为频率，E为微波等电磁波的电场强度〕表示，如果介质损耗因数ε″(＝εrtanδ)大，则试样的能量吸收效率高。
介质损耗因数ε″(＝εrtanδ)根据温度、频率等而变化，通常陶瓷介质损耗因数在室温附近小，但随着温度的上升而急剧上升。
但是，由于氮化铝等的陶瓷在室温附近的介质损耗因数在陶瓷中是极小的，因此通过通常的微波照射，将氮化铝从室温加热至可接合的温度是非常困难的。
另一方面，如果对含有氮化铝粉末和烧结助剂的糊料照射微波，则通过电磁波照射而使所述糊料中的烧结助剂自身发热，使所述糊料中的氮化铝粉末的温度上升至基于电磁波照射的加热变得容易的温度(即，至自身发热变得容易的温度)的同时，使烧结温度下降，可以在使氮化铝粉末烧结的同时使氮化铝烧结体相互接合。这时，较好是烧结助剂飞散和/或扩散至接合的氮化铝烧结体中，因此残存于烧结部的烧结助剂的量变少，氮化铝烧结体被牢固地接合。残存于烧结部的烧结助剂的量如果换算成烧结助剂中的金属元素量，例如金属元素为钇的情况下，例如为0.01～6质量％，较好是0.02～4质量％。
为了使所述烧结助剂飞散，较好是在例如碳气氛下或一氧化碳气氛下等还原气氛下进行所述加热。此外，这时较好是使用如上所述含有碳粉末的糊料作为上述糊料。
所述烧结助剂的飞散例如可以通过以能量色散型X射线测定装置测定糊料的烧结部(糊料中的氮化铝粉末的烧结部)的烧结助剂中的金属元素的含量来进行确认。糊料烧结部中的所述金属元素的含量例如为烧结前的1～75％，较好是1～55％。
另一方面，为了使所述烧结助剂扩散至所述氮化铝烧结体中，较好是在例如氮气气氛下或稀有气体气氛下等惰性气体气氛下进行所述加热。通过在惰性气体气氛下进行加热，可以使糊料的烧结部的烧结助剂中的金属元素的含量与被接合了的氮化铝烧结体的接合面附近的所述金属元素的含量大致相同。
所述烧结助剂向氮化铝烧结体中的扩散例如可以通过对所形成的氮化铝接合体的一部分在自接合部的距离不同的位置取样，分别以能量色散型X射线测定装置进行分析来进行确认。
本发明中，仅配置于氮化铝烧结体间的中介物通过电磁波照射被局部加热，因此，不需要对氮化铝烧结体整体进行加热。
还有，虽然对所述中介物为糊料的情况进行了说明，但如上所述，作为该中介物，除了糊料以外，还可以使用含有烧结助剂的氮化铝的坯体、含有烧结助剂的氮化铝的脱脂体。
所述中介物为含有烧结助剂的氮化铝的坯体的情况下，介于氮化铝烧结体的接合面间的所述坯体的厚度较好是0.1～3mm，更好是0.3～2mm。如果坯体的厚度在上述范围内，则坯体的烧结进行，坯体烧结部和氮化铝烧结体的密合性提高。
所述中介物为含有烧结助剂的氮化铝的脱脂体的情况下，介于氮化铝烧结体的接合面间的所述脱脂体的厚度较好是0.1～3mm，更好是0.3～2mm。如果脱脂体的厚度在上述范围内，则脱脂体的烧结进行，脱脂体烧结部和氮化铝烧结体的密合性提高。
此外，也当然可以将这些坯体、脱脂体介以所述糊料与氮化铝接合。
使用坯体或脱脂体的情况下，除它们的厚度以外的条件，例如烧结助剂的种类和碳粉的使用、加热时的气氛等条件与使用糊料的情况相同。
作为加热中使用的电磁波，可以优选使用频率为0.2～30GHz的电磁波(微波或毫米波)，例如可以使用2.45GHz的电磁波。
此外，为了使所述氮化铝烧结体高效地吸收电磁波的能量，较好是至少将所述氮化铝烧结体的接合面附近收纳于使电磁波不漏出至外部的容器内进行电磁波照射。
电磁波的照射可以使用专利文献1中记载的装置、目前公知的装置。
加热时，为了使氮化铝烧结体之间的接合更加牢固，较好是将氮化铝烧结体相互压紧，对氮化铝烧结体的接合面加压。作为对接合面加压的手段，可以使用目前公知的加压手段，例如如图5(专利文献1的图17)所示的由保持要接合的氮化铝烧结体1的与接合面11相反侧的端部的呈左右对称的同心的卡盘21、可以对该卡盘加压的气筒22、可以在对该卡盘加压的同时使其移动的移动台23构成的加压手段。
通过这样的本发明的接合方法形成的本发明的氮化铝接合体的强度良好，所述中介物为含有氮化铝粉末和所述烧结助剂的糊料时特别良好，例如对接合部直接施压，按照精细陶瓷的室温弯曲试验方法(JIS C2141标准)在室温下进行3点弯曲试验时的弯曲强度为母材、即接合前的氮化铝烧结体的70％以上，较好是80％以上。还有，该值是如图6所示，支点间的距离设为30mm，制成长40mm×宽30mm×厚1.5mm的接合部12存在于长度方向的中央部的试验片，以糊料的接合部12位于支点间的中心的状态配置该试验片，从该接合部的上方施压来进行测定时的值。
此外，本发明的氮化铝接合体的接合面处的氮化铝烧结体的劣化也少。
[实施例]
以下，基于作为优选形态的实施例对本发明进行更具体的说明，但本发明并不受到所述实施例的任何限定。
<装置、测定方法>
糊料的调制使用球磨机(型号：P-5，制造商：福里茨公司(フリッチユ社)制，氧化铝制罐和球)。
微波照射使用美浓陶瓷株式会社(美濃
業(株))制微波烧成炉(型号：MW-Master)(以下也称“接合装置”)。
温度的测定通过该接合装置附带的红外放射温度计进行。
<弯曲试验>
基于精细陶瓷的室温弯曲试验方法(JIS C2141标准)，进行3点弯曲试验。支点间距离设为30mm。如图6所示，评价接合后的氮化铝时，将氮化铝接合体加工成全长40mm、厚1.5mm的形状的试样片，以接合部位于支点间的中心的状态配置该试验片，从该接合部的上方施压。
<Y浓度>
通过能量色散型X射线测定装置测定氮化铝烧结体和烧结部(糊料的烧结部)的Y浓度。
实施例1
将100g氮化铝粉末(平均粒径1.2μm，德山株式会社((株)トクヤマ)制高纯度氮化铝粉末H级)、5g Y2O3粉末(平均粒径1μm，商品名、制造商名等和光纯药工业株式会社(和光
社)制氧化钇)和15g作为溶剂的萜品醇使用球磨机以200rpm的转速混合5小时，制成固体成分中的Y浓度为37000ppm的糊料。
将该糊料以厚度达到约0.3mm的条件涂布于30mm×30mm、厚2mm、Y浓度34000ppm的氮化铝烧结体的接合面11(30mm×2mm的侧面部分)整面，在该涂布面上再配置另1个氮化铝烧结体，如图7所示，将它们配置于接合装置6的框体内。使用夹具4将氮化铝烧结体1相互压紧，从而对接合面11施加1kgf/cm2(0.098MPa)的压力。
接着，通过微波发生装置5照射微波(频率：2.45GHz)，将糊料2在氮气气氛中从室温开始加热。对于微波的输出功率，以恒定的速度用120分钟使其上升至3000W。电磁波照射开始120分钟后，涂布了糊料的部分的温度达到1700℃，保持该温度30分钟后，结束电磁波照射，将通过糊料中的氮化铝粉末的烧结接合了的氮化铝烧结体(氮化铝接合体)在接合装置内放冷60分钟后取出。
对于接合了的氮化铝烧结体(氮化铝接合体)进行3点弯曲试验，结果强度与接合前的氮化铝烧结体相同(350MPa)。测定了接合部的Y浓度，结果为33000ppm，浓度与氮化铝烧结体大致相同。
实施例2
将100g氮化铝粉末(平均粒径1.2μm，德山株式会社((株)トクヤマ)制高纯度氮化铝粉末H级)、5g Y2O3粉末(平均粒径1μm，商品名、制造商名等和光纯药工业株式会社(和光
社)制氧化钇)、1g碳粉末(平均粒径0.5μm，商品名和光纯药工业株式会社(和光
)制碳粉末)和15g作为溶剂的萜品醇使用球磨机以200rpm的转速混合5小时，制成固体成分中的Y浓度为37000ppm的糊料。
除了使用该糊料，以CO气体气氛(一氧化碳气氛)代替氮气气氛以外，通过与实施例1同样的方法将氮化铝烧结体相互接合。还有，与实施例1同样，电磁波照射开始120分钟后，涂布了糊料的部分的温度达到1700℃。
对于接合了的氮化铝烧结体(氮化铝接合体)进行3点弯曲试验，结果强度与接合前的氮化铝烧结体相同(350MPa)。
此外，接合部的Y浓度为15000ppm，确认Y浓度比烧结前的糊料减少了50％以上。
实施例3
除了配合30g Y2O3粉末代替5g Y2O3粉末以外，通过与实施例1同样的方法，制成固体成分中的Y浓度为182000ppm的糊料，除了使用该糊料以外，通过与实施例1同样的方法将氮化铝烧结体相互接合。还有，与实施例1同样，电磁波照射开始120分钟后，涂布了糊料的部分的温度达到1700℃。
对于接合了的氮化铝烧结体(氮化铝接合体)进行3点弯曲试验，结果弯曲强度为200MPa，为比接合前的氮化铝烧结体的弯曲强度(350MPa)小的值。
此外，氮化铝烧结体的接合部附近的Y浓度为34000ppm，接合部的Y浓度为180000ppm。
Claims (11)
1.一种氮化铝烧结体的接合方法，其特征在于，在一个氮化铝烧结体的接合面和另一个氮化铝烧结体的接合面之间配置含有烧结助剂的中介物，通过电磁波照射加热所述中介物来使所述氮化铝烧结体相互接合。
2.如权利要求1所述的氮化铝烧结体的接合方法，其特征在于，所述烧结助剂为选自含有选自钇(Y)、钙(Ca)、铈(Ce)、钬(Ho)、镱(Yb)、钆(Gd)、钕(Nd)、钐(Sm)、镝(Dy)和锶(Sr)的至少1种元素的氧化物、氮化物、氯化物、硝酸盐、碳酸盐和氟化物的至少1种化合物。
3.如权利要求1或2所述的氮化铝烧结体的接合方法，其特征在于，所述中介物为含有所述烧结助剂的糊料。
4.如权利要求3所述的氮化铝烧结体的接合方法，其特征在于，所述糊料还含有氮化铝粉末。
5.如权利要求1或2所述的氮化铝烧结体的接合方法，其特征在于，所述中介物为含有所述烧结助剂的氮化铝的坯体。
6.如权利要求1或2所述的氮化铝烧结体的接合方法，其特征在于，所述中介物为含有所述烧结助剂的氮化铝的脱脂体。
7.如权利要求1～6中的任一项所述的氮化铝烧结体的接合方法，其特征在于，所述中介物使用还含有碳的中介物，在还原气氛下进行所述加热。
8.如权利要求1～7中的任一项所述的氮化铝烧结体的接合方法，其特征在于，所述中介物所含的烧结助剂为通过球磨机处理了的烧结助剂。
9.如权利要求1～8中的任一项所述的氮化铝烧结体的接合方法，其特征在于，在惰性气体气氛下进行所述加热。
10.如权利要求1～9中的任一项所述的氮化铝烧结体的接合方法，其特征在于，所述电磁波的频率为0.2～30GHz。
11.一种氮化铝接合体，其特征在于，通过权利要求1～10中的任一项所述的方法接合而成。
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