CN101415551B - 薄膜及使用该薄膜的薄膜层合体 - Google Patents

Abstract

本发明的目的是提供一种耐热性、耐水性及柔性优异的薄膜和薄膜层合体，并提供一种在薄片状耐热材料的层间具有耐热性流动物质构成的薄膜。

Description

薄膜及使用该薄膜的薄膜层合体

技术领域

本发明涉及一种可以用作显示器用膜基板、并且具有优异的耐热性、耐水性以及柔性的薄膜以及使用该薄膜的薄膜层合体。 

本申请要求基于2006年3月30日提出的日本专利申请2006-095788号及2006年8月25日提出的日本专利申请2006-229849号的优先权，并将其内容引用于此。 

背景技术

从可移动性、省空间方面考虑，显示器正在迅速地由现有的布劳恩管方式转变为液晶方式(LCD)。进而，作为新一代显示器，开始生产属于自发光装置、在亮度、鲜艳度、耗电量方面也很优异的有机EL方式的显示器。上述显示器与现有的布劳恩管方式的显示器相比，在可移动性、省空间方面格外优异，但是由于仍然使用玻璃作为基板，所以存在比较重且易碎的缺点。 

为解决上述问题，在一部分液晶方式的显示器中使用膜基板(称为“plastic cell”)。但是，在作为新一代显示器而受到关注的有机EL显示器的情况下，由于需要低电阻的透明导电膜，所以必须进行超过250℃的热处理。现有的塑料基板无法耐受上述热处理条件，近年来，作为能够满足上述要求的材料，粘土薄膜受到关注。 

粘土薄膜具有优异的透明性和柔性。另外，具有粒子致密地层状取向形成的结构，所以阻气性优异。进而，由于主要成分为无机物，所以耐热性非常优异(例如，参见专利文献1)。但是，用作液晶或有机EL显示器用膜基板时，存在耐水性问题。通常使用的粘土层间含有亲水性阳离子，是吸湿性高的物质。因此，不适合用作有可能因水分而劣化的有机EL显示器用膜基板。为解决该问题，提出了将粘土层 间含有的亲水性阳离子交换为疏水性阳离子的方案。但交换为疏水性阳离子时，由于粘土膜的柔性降低，因此必须加入用于赋予柔性的树脂成分，因为该树脂成分不耐热，所以存在不能充分发挥粘土具有的耐热性的问题。 

专利文献1：特开2005-104133号公报 

发明内容

如上所述，为了将粘土薄膜用作有机EL显示器用膜基板，必须得到透明性、耐热性以及耐水性优异、并具有柔性的薄膜。因此，本发明的目的在于提供一种具备足够的耐热性和耐水性、同时兼具柔性的薄膜和薄膜层合体。 

本发明薄膜的特征在于，在薄片状耐热材料的层间具有耐热性流动物质。 

另外，本发明的薄膜层合体的特征在于，在上述薄膜的一面或两面层合单层或多层无机薄膜或有机薄膜中的至少一种。 

本发明薄膜是同时具有优异的耐热性、耐水性和柔性的薄膜。 

另外，本发明的薄膜由于具有上述特性，可用于多种产品。例如可用于电子纸用基板、电子设备用密封膜、透镜膜、导光板用膜、棱镜膜、相位差板·偏光板用膜、视角补偿膜、PDP用膜、LED用膜、光通信用构件、触摸面板用膜、各种功能性膜的基板、具有可透视内部结构的电子机器用膜、含有影碟·CD/CD-R/CD-RW/DVD/MO/MD·相变光盘·光卡的光记录介质用膜、燃料电池用密封膜以及太阳能电池用膜等。 

另外，本发明的薄膜层合体由于在薄膜的一面或两面层合单层或多层无机薄膜或有机薄膜中的至少一种，因此能够实现高阻气性。可以优选用作液晶和有机EL显示器用膜基板。 

附图说明

[图1]本发明的薄膜之一例的模式剖面图。

符号说明

1薄片状耐热材料 

2耐热性流动物质 

具体实施方式

以下，详细说明本发明的薄膜及薄膜层合体。 

本发明的薄膜具有薄片状耐热材料取向层合形成的结构，在该薄片状耐热材料的间隙内存在耐热性流动物质。膜厚为1～3,000μm左右。 

图1为本发明的薄膜之一例的模式剖面图。如图1所示，本发明的薄膜具有如下结构：厚0.5～2纳米、粒径为1μm以下的多个薄片状耐热材料1取向、层合，在各薄片状耐热材料1之间存在耐热性流动物质2。 

作为本发明中的薄片状耐热材料1，例如可以举出由天然或合成材料构成的粘土矿物。具体可以举出选自云母、蛭石、蒙脱石、铁蒙脱石、贝得石、皂石、锂蒙脱石、富镁蒙脱石、囊脱石、麦羟硅钠石(magadiite)、伊利石(ilerite)、水硅钠石(kanemite)、层状钛酸及绿土等中的至少一种。 

另外，作为存在于上述薄片状耐热材料1的层间的耐热性流动物质2，优选以润滑油等为代表的即使加热到200℃以上也不引起分解、沸腾等变质的液状或糊状物质。 

所述耐热性流动物质的含量以重量比计优选为薄膜总体的1～60％，较优选为5～60％。若为1％以上，则容易获得薄膜的柔性。若为60％以下，则容易作为膜进行自支撑。 

作为上述耐热性流动物质的具体例，例如可以举出聚亚烷基二醇、磷酸酯、烷基苯、聚α-烯烃、多元醇酯、烷基萘、硅油、卤化碳、聚芳烷烃(polyarylalkane)、聚苯、硅酸酯以及聚苯醚等。 

上述耐热性流动物质中，优选具有反应性官能团的耐热性流动物质。 

另外，上述耐热性流动物质中，优选硅油。理由是硅油与其它耐热性流动物质相比，由温度引起的粘度变化小。

进而，硅油中优选使用具有各种反应性官能团的硅油。较优选为反应性改性硅油。 

此处，反应性改性硅油是指在硅油的一部分甲基上引入各种反应性官能团，赋予与有机物的相容性和化学反应性、水溶性、乳化性以及疏水性等特性。 

硅油的反应性官能团之间通过固化剂或反应助剂化学键合或者交联。由此可以使具有流动性的硅油变为橡胶性状或柔性物质，从而发挥赋予自支撑膜柔性的作用。 

其中，优选为高耐热性的甲基苯基硅油或改性甲基苯基硅油。甲基苯基硅油的结构式如下所示。 

(式中，m和n表示1以上的整数) 

另外，还优选环氧改性硅油。耐热性流动物质为环氧改性硅油，并且含有环氧树脂固化剂或环氧树脂时，环氧改性硅油的环氧基反应形成硅橡胶性状的自支撑膜。 

含有环氧树脂时，树脂与作为耐热性流动物质的环氧改性硅油之间还进行交联反应，形成具有更高强度和柔性的自支撑膜。 

如上所述，作为硅油具有的反应性官能团即有机基团，例如有甲基苯基或环氧基。但本发明不限于上述基团，只要是具有上述效果的基团即可，可以选用各种反应性官能团。 

本发明使用的耐热性流动物质优选含有疏水性阳离子物质。含有疏水性阳离子物质时，耐热性流动物质容易存在于薄片状耐热材料之间。通常，粘土内部含有亲水性的交换性阳离子，容易与疏水性阳离子进行交换。 

作为疏水性阳离子物质，例如可以举出二甲基二硬脂酸铵盐或三甲基硬脂酸铵盐等季铵盐、含有苄基或聚氧亚乙基的铵盐、季鏻盐、吡啶鎓盐以及咪唑鎓盐等。

可以使用上述疏水性阳离子物质，利用粘土的离子交换性例如蒙脱石的阳离子交换性进行有机化。由此使粘土容易分散于有机溶剂中，进而容易进行硅油的插层反应。 

下述通式表示上述疏水性阳离子物质。下述通式(1)表示季铵盐，通式(2)表示季鏻盐，通式(3)表示吡啶鎓盐，通式(4)表示咪唑鎓盐。 

(式中，X表示卤素，R1～R11表示烷基或苯基。) 

另外，为了增加薄膜强度，耐热性流动物质优选含有在室温下具有固体形状的树脂。作为在室温下具有固体形状的树脂没有特别限定，可以举出通过热或紫外线聚合的环氧类树脂、聚酰胺酰亚胺、有机硅树脂等。 

进而，上述在室温下为固体形状的树脂优选具有能与上述耐热性流动物质进行化学反应的官能团。 

例如，作为上述树脂与优选的耐热性流动物质的组合，可以举出如上说明的具有环氧基的硅油与环氧类树脂、具有氨基的硅油与聚酰亚胺树脂或有机硅树脂等各种组合。 

通过与具有能与耐热性流动物质进行化学反应的官能团的树脂进行组合，该树脂与上述耐热性流动物质进行化学反应形成交联结构，结果提高了薄膜的强度。 

此处所述具有官能团的树脂以重量比计优选为薄膜总体的50％以下。若为50％以下，则由于可以维持优选的薄片状耐热材料的比率，所以较容易得到良好的耐热性和阻气性。 

本发明的薄膜例如可以如下得到。 

(1)使薄片状耐热材料和具有疏水性的阳离子物质分散于纯水中以后，进行固液分离，使其干燥，得到有机化粘土。 

(2)使所述有机化粘土和耐热性流动物质分散于有机溶剂中以后，将该分散液静置于容器内或膜等中，使薄片状耐热材料沉积，同时挥发除去有机溶剂，在60～300℃的温度条件下任意进行干燥，由此得到自支撑的薄膜。 

需要说明的是，作为上述工序(1)的前工序，通过预先将薄片状耐热材料用硅烷偶联剂或硅烷化合物等进行甲硅烷基化处理，能得到提高与耐热性流动物质的相溶性、反应性等效果，故而优选。 

另外，在上述工序(1)中将薄片状耐热材料和具有疏水性的阳离子物质分散于纯水中时，或者在上述工序(2)中使其分散于有机溶剂中时，还可以添加固化助剂、抗氧化剂、表面活性剂、颜料、匀涂剂等各种常用的添加剂。 

除了上述制造方法以外，还可以通过下述方法制造，即，将薄片状耐热材料和耐热性流动物质分散于溶剂中，将其涂布于支撑体等上形成膜，然后，对支撑体和膜进行热处理后，从支撑体上剥离膜。 

本发明的薄膜可以单独作为自支撑膜进行使用，但为了得到更高的阻气性、耐化学腐蚀性和表面平滑性，还可以在薄膜的一面或两面层合单层或多层无机薄膜或有机薄膜中的至少一种，制成薄膜层合体。 

作为上述无机薄膜或有机薄膜，没有特别限定，可根据用途选择最适合的薄膜。例如可以通过溅射法或等离子体CVD法将氧化硅或氧 氮化硅制成无机薄膜，赋予高阻气性以及耐化学腐蚀性。还可以通过涂布有机聚合物形成有机薄膜，使表面具有平坦性。通过层合上述无机薄膜和有机薄膜的表面涂层，能够赋予薄膜单独使用时所不具备的特性。 

以下，基于实施例说明本发明的具体实施方式，但本发明并不限于下述实施例。 

实施例 

实施例1 

(有机化粘土的制备) 

将5g作为疏水性阳离子物质的溴化十四烷基三甲基铵分散于50g纯水中，然后加入5g作为薄片状耐热材料的合成绿土(kunimine公司制商品名：sumecton SA)，使其充分分散溶胀。使用离心机将该溶液进行固液分离，除去液体成分后，再加入50g纯水进行分散、固液分离。反复进行该分散·固液分离直至不再发泡，然后，使用干燥器完全除去水分。由此交换粘土中含有的亲水性的交换性阳离子和十四烷基三甲基铵离子，得到对非极性溶剂甲苯具有溶胀性的有机化粘土。(薄膜的制备) 

将如上所述得到的有机化粘土粉碎，将5g有机化粘土分散·溶胀于100g甲苯中，加入4g作为耐热性流动物质的二甲基苯基硅油，进一步分散。所得溶液注入底面平坦、深2mm的氟树脂容器中。将其置于室温气氛中挥发溶剂以后，进而使用150℃的热风干燥器完全除去溶剂成分，得到本实施例的薄膜。该薄膜是能够容易地从容器上剥离、透明并具有柔性的厚度为100μm的含硅油薄膜。 

实施例2 

疏水性阳离子为溴化十八烷基三苯基鏻，除此以外，用与实施例1相同的方法得到本发明的薄膜。 

实施例3 

在加入形成粘土膜的二甲基苯基硅油的同时加入2g热固性环氧 树脂，除此以外，用与实施例1相同的方法得到本发明的薄膜。 

实施例4 

在上述实施例2中得到的薄膜的两面，涂布厚2μm的紫外线固化型丙烯酸树脂。之后使用反应性溅射装置在涂布后的树脂上形成60nm的氧氮化硅膜，得到本实施例的薄膜层合体。 

实施例5 

耐热性流动物质为烷基苯(新日本石油公司制商品名：Gradealkene200P)，除此以外，用与实施例2相同的方法得到本实施例的薄膜。 

实施例6 

耐热性流动物质为聚α-烯烃(出光公司制商品名：PAO5010)，除此以外，用与实施例2相同的方法得到本实施例的薄膜。 

实施例7 

耐热性流动物质为多元醇酯(花王公司制商品名：Kaolube262)，除此以外，用与实施例2相同的方法得到本实施例的薄膜。 

实施例8 

耐热性流动物质为聚苯醚(松村石油研究所公司制商品名：MORESCO-HIRAD RP-42R)，除此以外，用与实施例2相同的方法得到本实施例的薄膜。 

比较例1 

将5g合成绿土(kunimine公司制商品名：sumecton SA)分散·溶胀于100g纯水中以后，加入2g聚丙烯酸钠进一步分散。将所得溶液注入底面平坦、深2mm的氟树脂容器中。使其在100℃下干燥除去水分，得到比较用薄膜。该薄膜是能够容易地从容器上剥离、具有透明性的厚100μm的薄膜。 

比较例2 

将5g与上述实施例1相同的有机化粘土分散·溶胀于100g甲苯中，将所得溶液注入底面平坦、深2mm的氟树脂容器中。将其置于室温气氛中挥发溶剂后，放入150℃的热风干燥器内完全除去溶剂成分，得 到比较用薄膜。该薄膜是能够容易地从容器上剥离、具有透明性的厚100μm的薄膜。 

比较例3 

将5g与上述实施例1相同的有机化粘土分散·溶胀于100g甲苯中，加入4g热固性环氧树脂进一步分散。将所得溶液注入底面平坦、深2mm的氟树脂容器内。将其置于室温气氛中挥发溶剂后，放入150℃的热风干燥器中完全除去溶剂成分并固化树脂，得到比较用薄膜。薄膜是能够容易地从容器上剥离、具有透明性的厚100μm的含环氧树脂薄膜。 

特性评价 

评价所述实施例1～8及比较例1～3中制备的薄膜和薄膜层合体的下述特性。 

(1)浸水后的外观评价 

将上述实施例1～8及比较例1～3中制备的薄膜和薄膜层合体切割成3cm×3cm的大小，放入水中浸渍1小时后评价其外观，结果示于表1。 

(2)弯曲后的外观 

将上述实施例1～8及比较例1～3中制备的薄膜和薄膜层合体切割成3cm×6cm的大小，卷绕于直径20mm的圆棒上，评价此时的外观，结果示于表1。 

(3)加热后的外观 

将上述实施例1～8及比较例1～3中制备的薄膜和薄膜层合体切割成3cm×3cm的大小后，放入烘箱中，在200℃下加热15分钟、250℃下加热15分钟后，评价其外观，结果示于表1。 

(4)总透光率 

使用雾度计(Haze Meter NDH2000，日本电色公司制)测定上述实施例1～4及比较例1～3中加热后的薄膜和薄膜层合体、与未加热的薄膜和薄膜层合体的总透光率，结果示于表2。 

(5)线膨胀系数 

通过线膨胀系数试验方法(JIS K 7197)测定上述实施例1～4及比 较例1～3中制备的薄膜和薄膜层合体的线膨胀系数，其结果示于表2。 

(6)水蒸气透过率 

利用基于JIS K 7126A法(压差法)的压差式气相色谱法，使用可测定气体·蒸汽等的透过率·透湿度的GTR TEC株式会社制气体·蒸汽透过率测定装置，测定上述实施例1～4及比较例1～3中制备的薄膜和薄膜层合体的水蒸气透过率，其结果示于表2。在40℃/90％RH的条件下测定水蒸气透过率。 

表1 

  

	浸水后的外观	弯曲后的外观	200℃加热后的 外观	250℃加热后的 外观
					实施例1	无变化	无变化	无变化	稍着色
实施例2	无变化	无变化	无变化	无变化
					实施例3	无变化	无变化	无变化	无变化
实施例4	无变化	无变化	无变化	无变化
					实施例5	无变化	无变化	无变化	无变化
实施例6	无变化	无变化	无变化	无变化
					实施例7	无变化	无变化	无变化	无变化
实施例8	无变化	无变化	无变化	无变化
					比较例1	溶解	裂纹破损	无柔性	无柔性
比较例2	无变化	裂纹破损	变为褐色	黑化
					比较例3	无变化	无变化	变为褐色	黑化

由表1的结果明确本实施例1～8的薄膜和薄膜层合体在浸水后、弯曲后以及加热后无任何变化，具有优异的耐水性、耐热性和柔性。 

而比较例1的薄膜和薄膜层合体柔性差，比较例2和3的薄膜和薄膜层合体耐热性差。 

[表2] 

由表2的结果明确本实施例1～4的薄膜和薄膜层合体在未加热时以及加热后的总透光率均为81％以上，线膨胀系数和水蒸气透过率在实用方面也没有问题。 

而比较例1的薄膜和薄膜层合体显著收缩，水蒸气透过率也差至无法测定的程度。另外，比较例2和3的薄膜和薄膜层合体加热后的总透光率差至无法测定的程度，线膨胀系数以及水蒸气透过率也无法测定或在实用方面特别差。 

实施例9 

(有机化粘土的制备) 

将5g溴化十四烷基三甲基铵分散于50g纯水中以后，加入5g合成绿土(kunimine工业公司制，商品名：Sumecton SA)，使其充分分散溶胀。使用离心机将所述溶液固液分离，除去液体成分后，再加入50g纯水，进行分散、固液分离。反复进行该分散·固液分离至不再发泡以后，使用干燥器完全除去水分。由此交换粘土中含有的亲水性的交换性阳离子和十四烷基三甲基铵离子，得到对非极性溶剂甲苯具有溶胀性的有机化粘土。 

(薄膜的形成) 

将如上所述得到的有机化粘土粉碎，将10g有机化粘土分散·溶胀于100g甲苯中，加入0.5g具有环氧基的环氧改性二甲基苯基硅油(信越化学工业公司制，商品名：X-22-2000)、0.25g酸酐类固化剂(新日本理化公司制，商品名：RIKACID MH-700)，进一步分散。将所得溶液使用涂布器涂布于实施了脱模处理的聚对苯二甲酸乙二醇酯膜(以下称为PET膜)上制膜。之后，放入100℃干燥器中，除去溶剂成分，从PET膜上剥离后，在170℃/2小时的条件下进行热处理，使环氧改性硅油交联，得到本实施例的薄膜。该薄膜为透明且具有柔性的厚80μm的薄状物。 

实施例10 

使用5g环氧改性二甲基苯基硅油(信越化学工业公司制，商品名： X-22-2000)、2.5g酸酐类固化剂(新日本理化公司制，商品名：RIKACIDMH-700)，除此以外，与实施例9同样操作得到厚80μm的本实施例的薄膜。 

实施例11 

使用10g环氧改性二甲基苯基硅油(信越化学工业公司制，商品名：X-22-2000)、5g酸酐类固化剂(新日本理化公司制，商品名：RIKACID MH-700)，除此以外，与实施例9同样操作得到厚80μm的本实施例的薄膜。 

实施例12 

使用5g溴化十八烷基三苯基鏻代替5g溴化十四烷基三甲基铵，除此之外，与实施例9同样操作得到厚80μm的本实施例的薄膜。 

实施例13 

使用1g氨基改性二甲基苯基硅油(信越化学工业公司制，商品名：X-22-1660B-3)代替1g环氧改性二甲基苯基硅油(信越化学工业公司制，商品名：X-22-2000)，除此之外，与实施例9同样操作得到厚80μm的本实施例的薄膜。 

实施例14 

在形成薄膜时，再加入1g以双芳基芴(bisarylfluorene)为基本骨架的热固性环氧树脂(长濑产业公司制，商品名：EX1020)，除此之外，与实施例9同样操作得到厚80μm的本实施例的薄膜。 

实施例15 

使用棒涂器在实施例9制备的薄膜的表面和背面涂布作为硬膜层材料的紫外线固化氨基甲酸乙酯丙烯酸酯(日本合成化学公司制，商品名：紫光UV7600B)，通过紫外线照射使其固化，在表面和背面分别层合1μm的硬膜层，得到本实施例的薄膜层合体。 

实施例16 

在实施例9中制备的薄膜的表面和背面，通过反应性溅射层合厚60nm的无机层S_iO_x膜，得到本实施例的薄膜层合体。 

比较例4 

将5g实施例9中得到的有机化粘土分散·溶胀于100g甲苯中，使用涂布器将没有配合耐热性流动物质制得的溶液涂布于实施了脱模处理的PET膜上制膜。之后，放入100℃的干燥器中，除去溶剂成分，从PET膜上剥离，得到厚80μm的比较用薄膜。 

比较例5 

使用1g无反应性的流动物质二甲基硅油(信越化学工业公司制，商品名：KF-54)代替环氧改性二甲基苯基硅油，并且不含酸酐类固化剂，除此之外，与实施例9同样操作得到厚80μm的比较用薄膜。 

薄膜的特性评价 

测定如上所述得到的实施例9～16及比较例4和5中制备的薄膜的下述特性，结果示于表3。 

(1)柔性 

[弯曲后外观] 

将薄膜卷绕于直径15mm的圆棒上，使其弯曲后，观察其外观。 

(2)耐热性 

[加热后外观] 

将薄膜分别置于200℃和250℃的恒温槽中1小时后，观察其外观。 

[线膨胀系数] 

基于ASTM-D696测定线膨胀系数。 

(3)耐水性 

[水蒸气透过率] 

通过基于JIS K 7126 A法(压差法)的压差式气相色谱法，使用可测定气体·蒸汽等的透过率·透湿度的GTR TEC公司制气体·蒸汽透过率测定装置，在温度40℃/湿度90％RH的条件下测定水蒸气透过率。 

(4)透明性 

[总透光率] 

使用雾度计(Haze Meter NDH2000，日本电色公司制)测定总透光率。 

从上述表3可明确本发明实施例9～16的薄膜和层合体，在弯曲后外观无变化，并具有柔性，200℃加热后仍然无变化，具有充分的耐热性。另外，实施例9～16的薄膜的线膨胀系数为33ppm/℃以下，尺寸稳定性方面也具有良好的耐热性，水蒸气透过率为0.8g/m²·day以下，具有良好的耐水性，总透光率为90％以上，透明性也良好。 

而比较例4的薄膜弯曲后产生裂纹，不具有柔性。另外，比较例5的薄膜的线膨胀系数为53ppm/℃，耐热性不充分，所以尺寸稳定性差，加工性存在问题。 

产业上的可利用性 

本发明的薄膜由于具有各种特性，所以可用于多种产品。例如可用于电子纸用基板、电子设备用密封膜、透镜膜、导光板用膜、棱镜膜、相位差板·偏光板用薄膜、视角补偿膜、PDP用膜、LED用膜、光通信用构件、触摸面板用膜、各种功能性膜的基板、具有可透视内部的结构的电子机器用膜、含有影碟·CD/CD-R/CD-RW/DVD/MO/MD·相变光盘·光卡的光记录介质用膜、燃料电池用密封膜、太阳能电池用膜等。 

另外本发明的薄膜层合体可以实现高阻气性，可以优选用作液晶及有机EL显示器用薄膜基板。

Claims (14)

1.一种薄膜，其特征在于，在取向层合的薄片状耐热材料的层间具有耐热性流动物质，耐热性流动物质为具有反应性官能团的氨基改性硅油或具有反应性官能团的环氧改性硅油，所述薄膜的线膨胀系数为33ppm/℃以下，所述耐热性流动物质包含疏水性阳离子物质。

2.如权利要求1所述的薄膜，其特征在于，所述薄片状耐热材料为粘土矿物。

3.如权利要求2所述的薄膜，其特征在于，所述粘土矿物为选自云母、蛭石、绿土、麦羟硅钠石、伊利石、水硅钠石、层状钛酸中的至少一种。

4.如权利要求3所述的薄膜，其特征在于，所述绿土为选自蒙脱石、贝得石、皂石、锂蒙脱石、富镁蒙脱石、囊脱石中的至少一种。

5.如权利要求1所述的薄膜，其特征在于，耐热性流动物质的含量以重量比计为薄膜总体的1～60％。

6.如权利要求5所述的薄膜，其特征在于，耐热性流动物质的含量以重量比计为薄膜总体的5～60％。

7.如权利要求1所述的薄膜，其特征在于，所述疏水性阳离子物质为选自季铵盐、季鏻盐、吡啶鎓盐和咪唑鎓盐中的至少一种。

8.如权利要求1所述的薄膜，其特征在于，所述耐热性流动物质含有室温下具有固体形状的树脂。

9.如权利要求8所述的薄膜，其特征在于，所述树脂具有能与耐热性流动物质进行化学反应的官能团。

10.如权利要求9所述的薄膜，其特征在于，所述树脂具有与耐热性流动物质形成的交联结构。

11.如权利要求8所述的薄膜，其特征在于，所述树脂的含量以重量计为薄膜总体的50％以下。

12.一种薄膜层合体，其特征在于，在权利要求1所述薄膜的一面或两面层合单层或多层无机薄膜或有机薄膜中的至少一种。

13.如权利要求12所述的薄膜层合体，其特征在于，所述无机薄膜是通过溅射法或等离子体CVD法将氧化硅或氧氮化硅制膜而形成的。

14.如权利要求12所述的薄膜层合体，其特征在于，所述有机薄膜是涂布有机聚合物而形成的。

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