CN101387830A - 用于形成着色层的放射线敏感性树脂组合物和滤色器 - Google Patents
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Abstract
本发明提供可以高产品收率形成不发生“图像残留”的滤色器、并且即使干燥后对洗涤溶剂的溶解性也高的用于形成着色层的放射线敏感性树脂组合物。该用于形成着色层的放射线敏感性树脂组合物含有(A)着色剂、(B)碱溶性树脂、(C)多官能性单体以及(D)光聚合引发剂,其特征在于:(B)碱溶性树脂含有将含有选自(b1)聚合性不饱和羧酸和聚合性不饱和羧酸酐的至少一种的聚合性不饱和化合物在下式(1)所示化合物的存在下经聚合步骤制备的共聚物,式(1)中,Z1和Z2表示碳原子数4-18的烷基或可被取代的苄基。
Description
技术领域
本发明涉及用于形成在透射型或反射型彩色液晶显示装置、彩色摄像管元件等中使用的滤色器的着色层的放射线敏感性树脂组合物、具备使用该放射线敏感性树脂组合物形成的着色层的滤色器以及具备该滤色器的彩色液晶显示装置。
背景技术
使用着色放射线敏感性树脂组合物形成滤色器的方法已知有:在基板上或预先形成了所需图案的遮光层的基板上形成着色放射线敏感性树脂组合物的涂膜,经由具有所需图案形状的光掩模照射放射线(以下称为“曝光”),通过性碱显影液显影,溶解除去未曝光部分,然后使用洁净烘箱或热板进行后烘,获得各色像素的方法(例如参照专利文献1)。
近年来,用于形成滤色器的基板尺寸逐渐大型化,因此,着色放射线敏感性树脂组合物的涂布方法由使用中央滴落型的旋涂机的方式改为使用使涂布着色放射线敏感性树脂组合物的喷液部分为更小口径的狭缝喷嘴的方式。后者的狭缝喷嘴方式中,喷液部分的口径小(狭窄),因此涂布结束后,喷嘴尖端部分周边大多残留有着色放射线敏感性树脂组合物,其干燥后就会作为下一次涂布时的干燥杂质落到滤色器上,使滤色器的品质显著降低,因此,通常,在涂布前要使喷嘴尖端部分喷出洗涤溶剂进行喷射洗涤。但是,即使如此也无法有效防止干燥杂质导致的滤色器品质降低,成为成品率降低的主要原因。
针对上述问题,近年来人们需求洗涤溶剂的洗涤性高的着色放射线敏感性树脂组合物,即,即使干燥后对洗涤溶剂的溶解性也高的着色放射线敏感性树脂组合物。
近年来,人们要求具备滤色器的液晶显示装置的寿命更长,与此相伴,对于滤色器防图像残留功能的要求也日益强烈。
“图像残留”是彩色液晶显示装置显示不良的一种,是本来不应显示的图像在画面上显示,或黑或白的“雾”状物在原本要显示的图像上重叠显示的现象。上述现象被认为是由于液晶中带电荷的杂质在液晶内扩散,为了使液晶分子取向而施加的电位差无法保持一定的时间而造成的。上述杂质不仅来自于液晶分子制备时,最近又了解到,上述杂质也会从形成的滤色器中溶出。如专利文献1所公开的,对于防止“图像残留”来说,已知提高颜料纯度是有效的,但是杂质也可能来自于着色放射线敏感性树脂组合物中颜料以外的成分,因此,单纯提高颜料纯度未必足够。
近年来,人们强烈要求开发满足滤色器制造时高成品率的要求,且不产生“图像残留”的进一步改善的着色放射线敏感性树脂组合物。
另一方面,专利文献2中公开了:含有使用二硫化四乙基秋兰姆或双(吡唑-1-基-硫羰基)二硫化物等二硫化物化合物作为分子量控制剂聚合的碱溶性树脂的放射线敏感性树脂组合物,其干燥后可提高对洗涤溶剂的溶解性或可防止“图像残留”。但是,这些二硫化物化合物在合成后的保管中容易发生分解而导致随时间变化,非常难以应用。
专利文献1:日本特开2000-329929号公报
专利文献2:国际公开第07/029871号小册子
发明内容
本发明的课题在于提供可以高产率形成不发生“图像残留”的滤色器、即使干燥后对洗涤溶剂的溶解性也高的用于形成着色层的放射线敏感性树脂组合物等。本发明的另一课题在于:通过使用保存稳定性良好的二硫化物化合物作为分子量控制剂,提供更适合量产性的含有碱溶性树脂的用于形成着色层的放射线敏感性树脂组合物。
本发明的第一方面包括用于形成着色层的放射线敏感性树脂组合物,该放射线敏感性树脂组合物含有(A)着色剂、(B)碱溶性树脂、(C)多官能性单体以及(D)光聚合引发剂,其特征在于:(B)碱溶性树脂含有将含有选自(b1)聚合性不饱和羧酸和聚合性不饱和羧酸酐的至少一种的聚合性不饱和化合物在下式(1)所示化合物的存在下经聚合步骤制备的共聚物。
本发明所述“着色层”是指含有像素和/或黑底的层。
式(1)中,Z1和Z2各自独立,表示碳原子数4-18的烷基或可被取代的苄基。
本发明的第二方面包括具备使用上述用于形成着色层的放射线敏感性树脂组合物形成的着色层的滤色器。
本发明的第三方面包括具备上述滤色器的彩色液晶显示装置。
本发明的用于形成着色层的放射线敏感性树脂组合物可以以高产品收率形成不发生“图像残留”的滤色器,另外,即使干燥后对洗涤溶剂的溶解性也高,例如适合通过狭缝喷嘴涂布。
具体实施方式
以下,对本发明进行详细说明。
用于形成着色层的放射线敏感性树脂组合物
-(A)着色剂-
本发明的着色剂没有特别限定,可以是颜料、染料或天然色素的任意形式,但由于滤色器要求高纯度、高透光性的显色、或高遮光性和良好的耐热性,因此优选颜料,特别优选有机颜料或碳黑。
作为上述有机颜料,例如可以举出在染料索引中分类为颜料的化合物,具体可以举出下述带染料索引(C.I.)编号的化合物。
C.I.颜料黄12、C.I.颜料黄13、C.I.颜料黄14、C.I.颜料黄17、C.I.颜料黄20、C.I.颜料黄24、C.I.颜料黄31、C.I.颜料黄55、C.I.颜料黄83、C.I.颜料黄93、C.I.颜料黄109、C.I.颜料黄110、C.I.颜料黄138、C.I.颜料黄139、C.I.颜料黄150、C.I.颜料黄153、C.I.颜料黄154、C.I.颜料黄155、C.I.颜料黄166、C.I.颜料黄168、C.I.颜料黄180、C.I.颜料黄211;
C.I.颜料橙5、C.I.颜料橙13、C.I.颜料橙14、C.I.颜料橙24、C.I.颜料橙34、C.I.颜料橙36、C.I.颜料橙38、C.I.颜料橙40、C.I.颜料橙43、C.I.颜料橙46、C.I.颜料橙49、C.I.颜料橙61、C.I.颜料橙64、C.I.颜料橙68、C.I.颜料橙70、C.I.颜料橙71、C.I.颜料橙72、C.I.颜料橙73、C.I.颜料橙74;
C.I.颜料红1、C.I.颜料红2、C.I.颜料红5、C.I.颜料红17、C.I.颜料红31、C.I.颜料红32、C.I.颜料红41、C.I.颜料红122、C.I.颜料红123、C.I.颜料红144、C.I.颜料红149、C.I.颜料红166、C.I.颜料红168、C.I.颜料红170、C.I.颜料红171、C.I.颜料红175、C.I.颜料红176、C.I.颜料红177、C.I.颜料红178、C.I.颜料红179、C.I.颜料红180、C.I.颜料红185、C.I.颜料红187、C.I.颜料红202、C.I.颜料红206、C.I.颜料红207、C.I.颜料红209、C.I.颜料红214、C.I.颜料红220、C.I.颜料红221、C.I.颜料红224、C.I.颜料红242、C.I.颜料红243、C.I.颜料红254、C.I.颜料红255、C.I.颜料红262、C.I.颜料红264、C.I.颜料红272;
C.I.颜料紫1、C.I.颜料紫19、C.I.颜料紫23、C.I.颜料紫29、C.I.颜料紫32、C.I.颜料紫36、C.I.颜料紫38;
C.I.颜料蓝15、C.I.颜料蓝15:3、C.I.颜料蓝15:4、C.I.颜料蓝15:6、C.I.颜料蓝60、C.I.颜料蓝80;
C.I.颜料绿7、C.I.颜料绿36、C.I.颜料绿58;
C.I.颜料棕23、C.I.颜料棕25;
C.I.颜料黑1、C.I.颜料黑7。
这些有机颜料中,优选选自C.I.颜料黄83、C.I.颜料黄138、C.I.颜料黄139、C.I.颜料黄150、C.I.颜料黄180、C.I.颜料红177、C.I.颜料红242、C.I.颜料红254、C.I.颜料蓝15:3、C.I.颜料蓝15:4、C.I.颜料蓝15:6、C.I.颜料绿7、C.I.颜料绿36、C.I.颜料绿58、C.I.颜料紫23、C.I.颜料蓝60和C.I.颜料蓝80的至少一种。
上述有机颜料可以单独或2种以上混合使用,还可以将有机颜料和碳黑混合使用。形成像素时,优选使用有机颜料;形成黑底时,优选使用2种以上的有机颜料和/或碳黑。
本发明中,着色剂为颜料时,优选如下制备:在溶剂中、分散剂的存在下,例如使用珠磨机、辊磨机等将所述颜料粉碎,同时混合和分散,制成颜料分散液,向其中添加后述的(B)成分、(C)成分和(D)成分以及根据需要进一步追加的溶剂或后述的其它添加剂,混合制备。
上述颜料分散液的制备中使用的分散剂例如可使用阳离子类、阴离子类、非离子类或两性等适当的分散剂。其中,优选含有具氨基甲酸酯键的化合物(以下称为“氨基甲酸酯类分散剂”)的分散剂。
上述氨基甲酸酯键通常由式R-NH-COO-R’(R和R’是脂族、脂环族或芳族的一价或多价有机基团,该多价有机基团进一步与其它具有氨基甲酸酯键的基团或其它基团结合)表示,可存在于氨基甲酸酯类分散剂中的亲油性基团和/或亲水性基团中,也可以存在于氨基甲酸酯类分散剂的主链和/或支链中,还可在氨基甲酸酯类分散剂中存在1个以上。氨基甲酸酯键在氨基甲酸酯类分散剂中存在2个以上时,各氨基甲酸酯键可以相同或不同。
上述氨基甲酸酯类分散剂例如有:二异氰酸酯类和/或三异氰酸酯类与一个末端具有羟基的聚酯类和/或两个末端具有羟基的聚酯类的反应产物。
上述二异氰酸酯类例如有:苯-1,3-二异氰酸酯、苯-1,4-二异氰酸酯等苯二异氰酸酯类;甲苯-2,4-二异氰酸酯、甲苯-2,5-二异氰酸酯、甲苯-2,6-二异氰酸酯、甲苯-3,5-二异氰酸酯等甲苯二异氰酸酯类;1,2-二甲苯-3,5-二异氰酸酯、1,2-二甲苯-3,6-二异氰酸酯、1,3-二甲苯-2,4-二异氰酸酯、1,3-二甲苯-2,5-二异氰酸酯、1,3-二甲苯-4,6-二异氰酸酯、1,4-二甲苯-2,5-二异氰酸酯、1,4-二甲苯-2,6-二异氰酸酯等二甲苯二异氰酸酯类等其它芳族二异氰酸酯类等。
上述三异氰酸酯类例如有苯-1,2,4-三异氰酸酯、苯-1,2,5-三异氰酸酯、苯-1,3,5-三异氰酸酯等苯三异氰酸酯类;甲苯-2,3,5-三异氰酸酯、甲苯-2,3,6-三异氰酸酯、甲苯-2,4,5-三异氰酸酯、甲苯-2,4,6-三异氰酸酯等甲苯三异氰酸酯类;1,2-二甲苯-3,4,5-三异氰酸酯、1,2-二甲苯-3,4,6-三异氰酸酯、1,3-二甲苯-2,4,5-三异氰酸酯、1,3-二甲苯-2,4,6-三异氰酸酯、1,3-二甲苯-4,5,6-三异氰酸酯、1,4-二甲苯-2,3,5-三异氰酸酯、1,4-二甲苯-2,3,6-三异氰酸酯等二甲苯三异氰酸酯类等其它芳族三异氰酸酯类等。
这些二异氰酸酯类和三异氰酸酯类可以分别单独或者两种以上混合使用。
上述一个末端具有羟基的聚酯类和两个末端具有羟基的聚酯类例如有:一个末端或两个末端具有羟基的聚己内酯、一个末端或两个末端具有羟基的聚戊内酯、一个末端或两个末端具有羟基的聚丙内酯等一个末端或两个末端具有羟基的聚内酯类;一个末端或两个末端具有羟基的聚对苯二甲酸乙二醇酯、一个末端或两个末端具有羟基的聚对苯二甲酸丁二醇酯等一个末端或两个末端具有羟基的缩聚类聚酯类等。
这些一个末端具有羟基的聚酯类和两个末端具有羟基的聚酯类可以分别单独或2种以上混合使用。
本发明的氨基甲酸酯类分散剂优选芳族二异氰酸酯类与一个末端具有羟基的聚内酯类和/或两个末端具有羟基的聚内酯类的反应产物,特别优选甲苯二异氰酸酯类与一个末端具有羟基的聚己内酯和/或两个末端具有羟基的聚己内酯的反应产物。
上述氨基甲酸酯类分散剂的具体例子有:商品名Disperbyk161、Disperbyk170(以上由BYK Chemie(BYK)制备)或EFKA(EFKAChemicals BV(EFKA)制备)、Disperon(楠本化成(株)制备)、Solsperse(Lubrizol(株)制备)等系列的分散剂。
本发明的氨基甲酸酯类分散剂的Mw通常为5,000-50,000,优选7,000-20,000。
上述氨基甲酸酯类分散剂可以单独或2种以上混合使用。
作为分散剂,还优选含有(甲基)丙烯酸类单体的(共)聚合物的(甲基)丙烯酸类分散剂。
上述(甲基)丙烯酸类分散剂的具体例子有:商品名Disperbyk2000、Disperbyk2001(以上由BYK Chemie(BYK)制备)等。
上述(甲基)丙烯酸类分散剂可以单独或2种以上混合使用。
制备颜料分散液时,分散剂的用量相对于100重量份颜料,通常为100重量份以下,优选0.5-100重量份,进一步优选1-70重量份,特别优选10-50重量份。分散剂的用量超过100重量份时,可能有损显影性等。
另外,作为制备颜料分散液时使用的溶剂,例如可以与在后述的放射线敏感性树脂组合物的液状组合物中列举的溶剂相同。
制备颜料分散液时,溶剂的用量相对于100重量份颜料,通常为200-1,200重量份,优选300-1,000重量份。
制备颜料分散液时,在使用珠磨机制备时,例如可使用直径0.5-10mm左右的玻璃珠或氧化钛珠等,将含有颜料、溶剂和分散剂的颜料混合液优选边用冷却水等冷却边混合和分散来实施。
此时,珠的填充率通常为磨机容量的50-80%,颜料混合液的注入量通常为磨机容量的20-50%左右,处理时间通常为2-50小时,优选2-25小时。
在使用辊磨机制备时,例如可使用三辊磨或双辊磨等,优选将颜料混合液边用冷却水等冷却边进行处理来实施。
此时,辊间距优选10μm以下,剪切力通常为108dyn/秒左右,处理时间通常为2-50小时,优选2-25小时。
-(B)碱溶性树脂-
本发明的碱溶性树脂含有一种树脂(以下称为“树脂(B)”),该树脂B含有共聚物(以下称为“共聚物(BI)”),该共聚物BI是在上述式(1)所示的化合物(以下称为“分子量控制剂(1)”)的存在下、使含有选自(b1)聚合性不饱和羧酸和聚合性不饱和羧酸酐的至少一种(以下将这些化合物总称为“不饱和化合物(b1)”)的聚合性不饱和化合物(以下也称为“聚合性不饱和化合物”)经由聚合的步骤制备的。
不饱和化合物(b1)例如有:
(甲基)丙烯酸、巴豆酸、α-氯丙烯酸、肉桂酸等不饱和一元羧酸类;
马来酸、马来酸酐、富马酸、衣康酸、衣康酸酐、柠康酸、柠康酸酐、中康酸等不饱和二羧酸或其酸酐类;
3元以上的不饱和多元羧酸或其酸酐类;
琥珀酸单[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯、邻苯二甲酸单[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯等2元以上的多元羧酸的单[(甲基)丙烯酰氧基烷基]酯类;
ω-羧基聚己内酯单(甲基)丙烯酸酯等两末端具有羧基和羟基的聚合物的单(甲基)丙烯酸酯类等。
这些不饱和化合物(b1)中,特别优选(甲基)丙烯酸、琥珀酸单[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯、ω-羧基聚己内酯单(甲基)丙烯酸酯等。
共聚物(B1)中,聚合性不饱和羧酸和聚合性不饱和羧酸酐可分别单独或2种以上混合使用。
共聚物(B1)中,优选使不饱和化合物(b1)与可与不饱和化合物(b1)共聚的其它聚合性不饱和化合物(以下称为“不饱和化合物(b2)”)共聚。
不饱和化合物(b2)例如有:
苯乙烯、α-甲基苯乙烯、邻羟基苯乙烯、间羟基苯乙烯、对羟基苯乙烯、邻羟基-α-甲基苯乙烯、间羟基-α-甲基苯乙烯、对羟基-α-甲基苯乙烯、对苯乙烯磺酸、邻乙烯基甲苯、间乙烯基甲苯、对乙烯基甲苯、对氯苯乙烯、邻甲氧基苯乙烯、间甲氧基苯乙烯、对甲氧基苯乙烯、邻乙烯基苄基甲基醚、间乙烯基苄基甲基醚、对乙烯基苄基甲基醚、邻乙烯基苄基缩水甘油基醚、间乙烯基苄基缩水甘油基醚、对乙烯基苄基缩水甘油基醚等芳族乙烯基化合物;
茚、1-甲基茚等茚类;
聚苯乙烯、聚(甲基)丙烯酸甲酯、聚(甲基)丙烯酸正丁酯、聚硅氧烷等聚合物分子链的一个末端具有(甲基)丙烯酰基的大分子单体(以下简称为“大分子单体”)类;
N-苯基马来酰亚胺、N-邻羟基苯基马来酰亚胺、N-间羟基苯基马来酰亚胺、N-对羟基苯基马来酰亚胺、N-邻甲基苯基马来酰亚胺、N-间甲基苯基马来酰亚胺、N-对甲基苯基马来酰亚胺、N-邻甲氧基苯基马来酰亚胺、N-间甲氧基苯基马来酰亚胺、N-对甲氧基苯基马来酰亚胺等N-(取代)芳基马来酰亚胺或N-环己基马来酰亚胺等N-位取代马来酰亚胺类;
(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸正丙酯、(甲基)丙烯酸异丙酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸异丁酯、(甲基)丙烯酸仲丁酯、(甲基)丙烯酸叔丁酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯、(甲基)丙烯酸2-羟基丙酯、(甲基)丙烯酸3-羟基丙酯、(甲基)丙烯酸2-羟基丁酯、(甲基)丙烯酸3-羟基丁酯、(甲基)丙烯酸4-羟基丁酯、甲基丙烯酸烯丙酯、(甲基)丙烯酸苄酯、(甲基)丙烯酸环己酯、(甲基)丙烯酸苯酯、(甲基)丙烯酸2-甲氧基乙酯、(甲基)丙烯酸2-苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸甲氧基二甘醇酯、(甲基)丙烯酸甲氧基三甘醇酯、(甲基)丙烯酸甲氧基丙二醇酯、(甲基)丙烯酸甲氧基一缩二丙二醇酯、(甲基)丙烯酸异冰片酯、(甲基)丙烯酸三环[5.2.1.02,6]癸烷-8-基酯、(甲基)丙烯酸2-羟基-3-苯氧基丙酯、(甲基)丙烯酸甘油酯、对枯基酚的环氧乙烷加成产物的(甲基)丙烯酸酯等不饱和羧酸酯类;
(甲基)丙烯酸2-氨基乙酯、(甲基)丙烯酸2-二甲基氨基乙酯、(甲基)丙烯酸2-氨基丙酯、丙烯酸2-二甲基氨基丙酯、(甲基)丙烯酸3-氨基丙酯、(甲基)丙烯酸3-二甲基氨基丙酯等不饱和羧酸氨基烷基酯类;
(甲基)丙烯酸缩水甘油酯等不饱和羧酸缩水甘油酯类;
乙酸乙烯酯、丙酸乙烯酯、丁酸乙烯酯、苯甲酸乙烯酯等羧酸乙烯基酯类;
乙烯基甲基醚、乙烯基乙基醚、烯丙基缩水甘油基醚等其它不饱和醚类;
(甲基)丙烯腈、α-氯丙烯腈、偏二氰乙烯等氰化乙烯基化合物;
(甲基)丙烯酰胺、α-氯丙烯酰胺、N-2-羟基乙基(甲基)丙烯酰胺等不饱和酰胺类;
1,3-丁二烯、异戊二烯、氯丁二烯、异戊二烯磺酸等脂族共轭二烯类等。
这些不饱和化合物(b2)中,优选苯乙烯、大分子单体类、N-位取代马来酰亚胺类、(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯、(甲基)丙烯酸烯丙酯、(甲基)丙烯酸苄酯、(甲基)丙烯酸苯酯、一(甲基)丙烯酸甘油酯、对枯基酚的环氧乙烷加成产物的(甲基)丙烯酸酯等,大分子单体类中,优选聚苯乙烯大分子单体、聚(甲基)丙烯酸甲酯大分子单体,N-位取代的马来酰亚胺类中,优选N-苯基马来酰亚胺、N-环己基马来酰亚胺。
上述不饱和化合物(b2)可以单独或2种以上混合使用。
本发明中,作为优选的共聚物(BI),更具体地说有:含有选自(甲基)丙烯酸、琥珀酸单[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯和ω-羧基聚己内酯单(甲基)丙烯酸酯的至少1种不饱和化合物(b1),和选自聚苯乙烯大分子单体、聚(甲基)丙烯酸甲酯大分子单体、N-苯基马来酰亚胺、N-环己基马来酰亚胺、(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯、(甲基)丙烯酸苄酯、单(甲基)丙烯酸甘油酯和对枯基酚的环氧乙烷加成产物的(甲基)丙烯酸酯的至少一种不饱和化合物(b2),并根据情况进一步含有选自苯乙烯、(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸烯丙酯和(甲基)丙烯酸苯酯的至少一种不饱和化合物(b2)的单体混合物的共聚物(以下称为“共聚物(BI-1)”),
作为进一步优选的共聚物(BI-1),更具体地说有:以(甲基)丙烯酸为必须成分,含有根据情况进一步含有琥珀酸单[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯的不饱和化合物(b1),和选自聚苯乙烯大分子单体、聚(甲基)丙烯酸甲酯大分子单体、N-苯基马来酰亚胺、N-环己基马来酰亚胺、(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯、(甲基)丙烯酸苄酯、(甲基)丙烯酸甘油酯和对枯基酚的环氧乙烷加成产物的(甲基)丙烯酸酯的至少1种不饱和化合物(b2),并根据情况进一步含有选自苯乙烯、(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸烯丙酯和(甲基)丙烯酸苯酯的至少一种不饱和化合物(b2)的单体混合物的共聚物(以下称为“共聚物(BI-2)”)。
共聚物(BI-2)的具体例子有:
(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯共聚物、
(甲基)丙烯酸/聚苯乙烯大分子单体/(甲基)丙烯酸苄酯共聚物、
(甲基)丙烯酸/聚(甲基)丙烯酸甲酯大分子单体/(甲基)丙烯酸苄酯共聚物、
(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸苄酯/单(甲基)丙烯酸甘油酯共聚物、
(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯/(甲基)丙烯酸苯酯共聚物、
(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯/苯乙烯共聚物、
(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸苄酯/单(甲基)丙烯酸甘油酯共聚物、
(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯/(甲基)丙烯酸苄酯共聚物、
(甲基)丙烯酸/聚苯乙烯大分子单体/(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯/(甲基)丙烯酸苄酯共聚物、
(甲基)丙烯酸/聚(甲基)丙烯酸甲酯大分子单体/(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯/(甲基)丙烯酸苄酯共聚物、
(甲基)丙烯酸/N-苯基马来酰亚胺/(甲基)丙烯酸烯丙酯/苯乙烯共聚物、
(甲基)丙烯酸/N-苯基马来酰亚胺/(甲基)丙烯酸苄酯/苯乙烯共聚物、
(甲基)丙烯酸/N-环己基马来酰亚胺/(甲基)丙烯酸烯丙酯/苯乙烯共聚物、
(甲基)丙烯酸/N-环己基马来酰亚胺/(甲基)丙烯酸苄酯/苯乙烯共聚物、
(甲基)丙烯酸/N-苯基马来酰亚胺/(甲基)丙烯酸苄酯/单(甲基)丙烯酸甘油酯/苯乙烯共聚物、
(甲基)丙烯酸/N-苯基马来酰亚胺/对枯基酚的环氧乙烷加成产物的(甲基)丙烯酸酯/苯乙烯共聚物、
(甲基)丙烯酸/琥珀酸单[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯/(甲基)丙烯酸苄酯/单(甲基)丙烯酸甘油酯共聚物、
(甲基)丙烯酸/琥珀酸单[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯/N-苯基马来酰亚胺/(甲基)丙烯酸烯丙酯/苯乙烯共聚物、
(甲基)丙烯酸/琥珀酸单[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯/N-苯基马来酰亚胺/(甲基)丙烯酸苄酯/苯乙烯共聚物、
(甲基)丙烯酸/琥珀酸单[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯/N-环己基马来酰亚胺/(甲基)丙烯酸烯丙酯/苯乙烯共聚物、
(甲基)丙烯酸/琥珀酸单[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯/N-环己基马来酰亚胺/(甲基)丙烯酸苄酯/苯乙烯共聚物、
(甲基)丙烯酸/琥珀酸单[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯/N-苯基马来酰亚胺/(甲基)丙烯酸苄酯/单(甲基)丙烯酸甘油酯/苯乙烯共聚物等。
共聚物(BI-1)的具体例子有:
(甲基)丙烯酸/ω-羧基聚己内酯单(甲基)丙烯酸酯/N-苯基马来酰亚胺/(甲基)丙烯酸苄酯/单(甲基)丙烯酸甘油酯/苯乙烯共聚物、
(甲基)丙烯酸/ω-羧基聚己内酯单(甲基)丙烯酸酯/(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯共聚物、
(甲基)丙烯酸/ω-羧基聚己内酯单(甲基)丙烯酸酯/聚苯乙烯大分子单体/(甲基)丙烯酸苄酯共聚物、
(甲基)丙烯酸/ω-羧基聚己内酯单(甲基)丙烯酸酯/聚(甲基)丙烯酸甲酯大分子单体/(甲基)丙烯酸苄酯共聚物、
(甲基)丙烯酸/ω-羧基聚己内酯单(甲基)丙烯酸酯/(甲基)丙烯酸苄酯/单(甲基)丙烯酸甘油酯共聚物、
(甲基)丙烯酸/ω-羧基聚己内酯单(甲基)丙烯酸酯/(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯/(甲基)丙烯酸苯酯共聚物、
(甲基)丙烯酸/ω-羧基聚己内酯单(甲基)丙烯酸酯/(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯/苯乙烯共聚物、
(甲基)丙烯酸/ω-羧基聚己内酯单(甲基)丙烯酸酯/(甲基)丙烯酸苄酯/单(甲基)丙烯酸甘油酯共聚物、
(甲基)丙烯酸/ω-羧基聚己内酯单(甲基)丙烯酸酯/(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯/(甲基)丙烯酸苄酯共聚物、
(甲基)丙烯酸/ω-羧基聚己内酯单(甲基)丙烯酸酯/聚苯乙烯大分子单体/(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯/(甲基)丙烯酸苄酯共聚物、
(甲基)丙烯酸/ω-羧基聚己内酯单(甲基)丙烯酸酯/聚(甲基)丙烯酸甲酯大分子单体/(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯/(甲基)丙烯酸苄酯共聚物、
(甲基)丙烯酸/ω-羧基聚己内酯单(甲基)丙烯酸酯/N-苯基马来酰亚胺/(甲基)丙烯酸烯丙酯/苯乙烯共聚物、
(甲基)丙烯酸/ω-羧基聚己内酯单(甲基)丙烯酸酯/N-苯基马来酰亚胺/(甲基)丙烯酸苄酯/苯乙烯共聚物、
(甲基)丙烯酸/ω-羧基聚己内酯单(甲基)丙烯酸酯/N-环己基马来酰亚胺/(甲基)丙烯酸烯丙酯/苯乙烯共聚物、
(甲基)丙烯酸/ω-羧基聚己内酯单(甲基)丙烯酸酯/N-环己基马来酰亚胺/(甲基)丙烯酸苄酯/苯乙烯共聚物、
(甲基)丙烯酸/ω-羧基聚己内酯单(甲基)丙烯酸酯/N-苯基马来酰亚胺/(甲基)丙烯酸苄酯/单(甲基)丙烯酸甘油酯/苯乙烯共聚物、
(甲基)丙烯酸/ω-羧基聚己内酯单(甲基)丙烯酸酯/琥珀酸单[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯/(甲基)丙烯酸苄酯/单(甲基)丙烯酸甘油酯共聚物、
(甲基)丙烯酸/ω-羧基聚己内酯单(甲基)丙烯酸酯/琥珀酸单[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯/N-苯基马来酰亚胺/(甲基)丙烯酸烯丙酯/苯乙烯共聚物、
(甲基)丙烯酸/ω-羧基聚己内酯单(甲基)丙烯酸酯/琥珀酸单[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯/N-苯基马来酰亚胺/(甲基)丙烯酸苄酯/苯乙烯共聚物、
(甲基)丙烯酸/ω-羧基聚己内酯单(甲基)丙烯酸酯/琥珀酸单[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯/N-环己基马来酰亚胺/(甲基)丙烯酸烯丙酯/苯乙烯共聚物、
(甲基)丙烯酸/ω-羧基聚己内酯单(甲基)丙烯酸酯/琥珀酸单[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯/N-环己基马来酰亚胺/(甲基)丙烯酸苄酯/苯乙烯共聚物、
(甲基)丙烯酸/ω-羧基聚己内酯单(甲基)丙烯酸酯/琥珀酸单[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯/N-苯基马来酰亚胺/(甲基)丙烯酸苄酯/单(甲基)丙烯酸甘油酯/苯乙烯共聚物等。
共聚物(BI)中,不饱和化合物(b1)的共聚比例相对于全部不饱和化合物优选1-40重量%,进一步优选5-30重量%,特别优选10-30重量%。这种情况下,如果不饱和化合物(b1)的共聚比例低于1重量%,则所得共聚物对碱性显影液的溶解性有降低倾向,而超过40重量%,则所得共聚物对碱性显影液的溶解性过高,可能使图案形状等受损。
下面,对于制备共聚物(BI)的聚合方法进行说明。
上述聚合例如可通过在溶剂中、在分子量控制剂(1)的存在下,使用自由基聚合引发剂使构成共聚物(BI)的聚合性不饱和化合物聚合来实施,由此,可以获得分子量和分子量分布得到控制的共聚物(BI)。
本发明中使用的分子量控制剂(1)具有双(烷基巯基-硫羰基)二硫化物或双(苄基巯基-硫羰基)二硫化物结构,使用该分子量控制剂制备的含有碱溶性树脂的放射线敏感性树脂组合物,其干燥后对洗涤溶剂的溶解性提高或可防止图像残留。本发明中使用的分子量控制剂长时间保持稳定,即便在合成后和保管后使用时,所得碱溶性树脂的品质也良好。
表示分子量控制剂(1)的式(1)中,Z1和Z2的碳原子数4-18的烷基例如有:正丁基、叔丁基、正庚基、正己基、正戊基、正辛基、正壬基、正癸基、正十二烷基、叔十二烷基、正十四烷基、正十六烷基、正十八烷基等。
这些烷基中,优选正己基、正戊基、正辛基、正癸基、正十二烷基等,特别优选正辛基、正癸基、正十二烷基等。
式(1)中,Z1和Z2的可被取代的苄基例如有苄基、邻氯苄基、对氯苄基、邻氰基苄基、对氰基苄基、邻甲氧基苄基、对甲氧基苄基等。
这些可被取代的苄基中,特别优选苄基。
上述聚合中,分子量控制剂(1)可以单独或2种以上混合使用。
上述聚合时,也可以将其它分子量控制剂、例如α-甲基苯乙烯二聚体、叔十二烷基硫醇等的1种以上与分子量控制剂(1)结合使用。
在分子量控制剂(1)的存在下进行的聚合性不饱和化合物的聚合有时采取在聚合物链的生长端形成活性自由基的活性自由基聚合的形式。
上述聚合采取活性自由基聚合的形式时,在聚合性不饱和化合物含有具有可能使羧基等活性自由基失活的官能基团的化合物时,为了不使生长端失活,可以根据需要、例如通过酯化等保护该官能基团后进行聚合,然后通过脱保护获得共聚物(BI)。
上述自由基聚合引发剂可根据所使用的聚合性不饱和化合物的种类进行适当选择,例如有:2,2’-偶氮二异丁腈、2,2’-偶氮二(2,4-二甲基戊腈)、2,2’-偶氮二(4-甲氧基-2,4-二甲基戊腈)、4,4’-偶氮二(4-氰基戊酸)、2,2’-偶氮二(2-甲基丙酸)二甲酯、2,2’-偶氮二(4-甲氧基-2,4-二甲基戊腈)等偶氮化合物;过氧化苯甲酰、过氧化月桂酰、过氧新戊酸叔丁酯、1,1-双(过氧叔丁基)环己烷等有机过氧化物;含有过氧化氢或上述过氧化物和还原剂的氧化还原型引发剂等。
这些自由基聚合引发剂中,从难以产生氧等导致的副反应产物的角度考虑,特别优选2,2’-偶氮二异丁腈、2,2’-偶氮二(2,4-二甲基戊腈)等偶氮化合物。
上述自由基聚合引发剂可以单独或2种以上混合使用。
上述聚合中使用的溶剂没有特别限定,例如有:丙二醇单甲基醚、丙二醇单乙基醚等丙二醇单烷基醚;
乙二醇一甲基醚乙酸酯、乙二醇一乙基醚乙酸酯、二甘醇一甲基醚乙酸酯、二甘醇一乙基醚乙酸酯、丙二醇一甲基醚乙酸酯、丙二醇一乙基醚乙酸酯、一缩二丙二醇一甲基醚乙酸酯、一缩二丙二醇一乙基醚乙酸酯等(聚)亚烷基二醇一烷基醚乙酸酯类;
二甘醇二甲基醚、二甘醇甲基乙基醚、二甘醇二乙基醚、一缩二丙二醇二甲基醚、一缩二丙二醇甲基乙基醚、一缩二丙二醇二乙基醚等(聚)亚烷基二醇二醚类;
四氢呋喃等其它的醚类;
甲基乙基酮、环己酮、2-庚酮、3-庚酮等酮类;
双丙酮醇(即,4-羟基-4-甲基戊烷-2-酮)、4-羟基-4-甲基己烷-2-酮等酮醇类;
乳酸甲酯、乳酸乙酯等乳酸烷基酯类;
2-羟基-2-甲基丙酸乙酯、羟基乙酸乙酯、2-羟基-3-甲基丁酸甲酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、乙氧基乙酸乙酯、乙酸3-甲基-3-甲氧基丁酯、丙酸3-甲基-3-甲氧基丁酯、乙酸乙酯、乙酸正丙酯、乙酸异丙酯、乙酸正丁酯、乙酸异丁酯、甲酸正戊酯、乙酸异戊酯、丙酸正丁酯、丁酸乙酯、丁酸正丙酯、丁酸异丙酯、丁酸正丁酯、丙酮酸甲酯、丙酮酸乙酯、丙酮酸正丙酯、乙酰乙酸甲酯、乙酰乙酸乙酯、2-氧代丁酸乙酯等其它酯类;
甲苯、二甲苯等芳族烃类;
N-甲基吡咯烷酮、N,N-二甲基甲酰胺、N,N-二甲基乙酰胺等酰胺等。
这些溶剂中,从活性自由基聚合时活性自由基不失活、制成放射线敏感性树脂组合物时各成分的溶解性、颜料分散性、涂布性等角度考虑,优选丙二醇一甲基醚、乙二醇一甲基醚乙酸酯、二甘醇一甲基醚乙酸酯、二甘醇一乙基醚乙酸酯、丙二醇一甲基醚乙酸酯、丙二醇一乙基醚乙酸酯、一缩二丙二醇一甲基醚乙酸酯、二甘醇二甲基醚、二甘醇甲基乙基醚、一缩二丙二醇二甲基醚、环己酮、2-庚酮、3-庚酮、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、丙酸3-甲基-3-甲氧基丁酯、乙酸正丁酯、乙酸异丁酯、甲酸正戊酯、乙酸异戊酯、丙酸正丁酯、丁酸乙酯、丁酸异丙酯、丁酸正丁酯、丙酮酸乙酯等。
上述溶剂可以单独使用或2种以上混合使用。
上述聚合中,相对于100重量份聚合性不饱和化合物,自由基聚合引发剂的用量通常为0.1-50重量份,优选0.1-20重量份。
相对于100重量份聚合性不饱和化合物,分子量控制剂(1)的用量通常为0.1-50重量份,优选0.2-16重量份,特别优选0.4-8重量份。此时,分子量控制剂(1)的用量低于0.1重量份,则分子量和分子量分布的控制效果有降低倾向,而超过50重量份,则可能优先生成低分子量成分。
相对于全部分子量控制剂,其它分子量控制剂的使用比例通常为200重量%以下,优选40重量%以下。此时,其它分子量控制剂的使用比例超过200重量%,则本发明所期待的效果可能受损。
相对于100重量份聚合性不饱和化合物,溶剂的用量通常为50-1,000重量份,优选100-500重量份。
聚合温度通常为0-150℃,优选50-120℃,聚合时间通常为10分钟-20小时,优选30分钟-6小时。
共聚物(BI)通过凝胶渗透色谱(GPC)测定的、经聚苯乙烯换算的重均分子量(Mw)优选为1,000-10,000,特别优选4,000-10,000,且Mw与通过凝胶渗透色谱(GPC)测定的、经聚苯乙烯换算的数均分子量(Mn)之比(Mw/Mn)优选1.0-2.0,进一步优选1.0-1.7。
通过使用具有上述Mw和Mw/Mn的共聚物(BI),可以得到显影性优异的放射线敏感性树脂组合物,由此可以形成具有清晰的图案边缘的着色层,同时,显影时,在未曝光部分的基板上和遮光层上难以发生残渣、起脏、膜残留等,并且有机溶剂的清洗性高,因此,在制造滤色器时不会产生干燥杂质,可以实现高成品率,且可进一步有效防止滤色器的“图像残留”。
本发明中,共聚物(BI)可以单独或2种以上混合使用。
本发明中,也可以将1种以上其它碱溶性树脂与共聚物(BI)结合使用。
上述其它碱溶性树脂只要对于(A)着色剂发挥粘合剂作用、并且在形成着色层时对于显影步骤中使用的显影液、优选碱性显影液具有溶解性即可,没有特别限定,例如可以是加成聚合类、聚加成类、缩聚类等的、例如具有酸性官能基团(例如羧基、羧酸酐基、酚式羟基等)和/或醇式羟基的树脂等。
本发明中,相对于100重量份(A)着色剂,树脂(B)的用量通常为10-1,000重量份,优选20-500重量份。此时,树脂(B)的用量低于10重量份,则例如碱显影性降低,在未曝光部分的基板上或遮光层上可能发生起脏或膜残留;而超过1,000重量份,则着色剂浓度相对降低,难以实现薄膜的目标色浓度。
相对于树脂(B),共聚物(BI)的使用比例通常为50-100重量%,优选80-100重量%。此时,共聚物(BI)的使用比例低于50重量%,则本发明所期待的效果可能受损。
-(C)多官能性单体-
本发明的多官能性单体是具有2个以上聚合性不饱和键的单体。
这种多官能性单体例如有:
乙二醇、丙二醇等亚烷基二醇的二(甲基)丙烯酸酯类;
二甘醇以上的聚乙二醇、一缩二丙二醇以上的聚丙二醇等聚亚烷基二醇的二(甲基)丙烯酸酯类;
甘油、三羟甲基丙烷、季戊四醇、二季戊四醇等3元以上的多元醇的聚(甲基)丙烯酸酯或它们的二羧酸改性物;
聚酯、环氧树脂、氨基甲酸酯树脂、醇酸树脂、有机硅树脂、螺烷树脂等的低聚(甲基)丙烯酸酯类;
两末端具有羟基的聚-1,3-丁二烯、两末端具有羟基的聚异戊二烯、两末端具有羟基的聚己内酯等两末端具有羟基的聚合物的二(甲基)丙烯酸酯类;或
磷酸三[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯等。
在这些多官能性单体中,优选3元以上的多元醇的聚(甲基)丙烯酸酯类或它们的二羧酸改性物,具体来说,优选三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、三(甲基)丙烯酸季戊四醇酯、四(甲基)丙烯酸季戊四醇酯、五(甲基)丙烯酸二季戊四醇酯、六(甲基)丙烯酸二季戊四醇酯等,特别是从着色层的强度和表面平滑性优异,且未曝光部分的基板上和遮光层上难以发生起脏、膜残留等的角度考虑,优选三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、三丙烯酸季戊四醇酯和六丙烯酸二季戊四醇酯。
上述多官能性单体可以单独使用或2种以上混合使用。
本发明中,相对于100重量份树脂(B),多官能性单体的用量通常为5-500重量份,优选为20-300重量份。此时,多官能性单体用量低于5重量份的话,着色层的强度或表面平滑性有降低倾向,而超过500重量份,则有例如碱显影性降低,容易在未曝光部分的基板上或遮光层上发生起脏、膜残留等的倾向。
本发明中,也可以将多官能性单体的一部分用具有1个聚合性不饱和键的单官能性单体置换。
作为上述单官能性单体,例如有上述在共聚物(BI)中所列举的不饱和化合物(b1)和不饱和化合物(b2),以及N-乙烯基琥珀酰亚胺、N-乙烯基吡咯烷酮、N-乙烯基邻苯二甲酰亚胺、N-乙烯基-2-哌啶酮、N-乙烯基-ε-己内酰胺、N-乙烯基吡咯、N-乙烯基吡咯烷、N-乙烯基咪唑、N-乙烯基咪唑烷、N-乙烯基吲哚、N-乙烯基二氢吲哚、N-乙烯基苯并咪唑、N-乙烯基咔唑、N-乙烯基哌啶、N-乙烯基哌嗪、N-乙烯基吗啉、N-乙烯基吩噁嗪等N-乙烯基含氮杂环化合物;N-(甲基)丙烯酰基吗啉或作为市售商品的M-5300、M-5400、M-5600(以上为东亚合成(株)制)等。
这些单官能性单体可以单独或者2种以上混合使用。
单官能性单体的使用比例相对于多官能性单体和单官能性单体的总量,通常为90重量%以下,优选50重量%以下。此时,单官能性单体的使用比例超过90重量%,则着色层的强度或表面平滑性有降低倾向。
-(D)光聚合引发剂-
本发明的光聚合引发剂是通过可见光、紫外线、远紫外线、电子射线、X射线等放射线的曝光,产生可引发上述(C)多官能性单体以及根据情况使用的单官能性单体的聚合的自由基的化合物。
上述光聚合引发剂例如有苯乙酮类化合物、联咪唑类化合物、三嗪类化合物、咔唑类化合物、苯偶姻类化合物、二苯甲酮类化合物、α-二酮类化合物、多环醌类化合物、呫吨酮类化合物、膦类化合物等。
本发明中,光聚合引发剂可以单独或2种以上混合使用,本发明的光聚合引发剂优选选自苯乙酮类化合物、联咪唑类化合物、三嗪类化合物和咔唑类化合物的至少一种。
本发明中优选的光聚合引发剂中,苯乙酮类化合物的具体例子有:2-羟基-2-甲基-1-苯基丙烷-1-酮、2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-吗啉基丙酮-1、2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)丁酮-1、1-羟基环己基苯基酮、2,2-二甲氧基-1,2-二苯基乙烷-1-酮、1,2-辛二酮、1-[4-(苯硫基)苯基]-2-(O-苯甲酰肟)等。
这些苯乙酮类化合物中,优选2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-吗啉基丙酮-1、2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)丁酮-1、1,2-辛二酮、1-[4-(苯硫基)苯基]-2-(O-苯甲酰肟)等。
上述苯乙酮类化合物可以单独或2种以上混合使用。
上述联咪唑类化合物的具体例子有:2,2’-双(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四(4-乙氧基羰基苯基)-1,2’-联咪唑、2,2’-双(2-溴苯基)-4,4’,5,5’-四(4-乙氧基羰基苯基)-1,2’-联咪唑、2,2’-双(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基-1,2’-联咪唑、2,2’-双(2,4-二氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基-1,2’-联咪唑、2,2’-双(2,4,6-三氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基-1,2’-联咪唑、2,2’-双(2-溴苯基)-4,4’,5,5’-四苯基-1,2’-联咪唑、2,2’-双(2,4-二溴苯基)-4,4’,5,5’-四苯基-1,2’-联咪唑、2,2’-双(2,4,6-三溴苯基)-4,4’,5,5’-四苯基-1,2’-联咪唑等。
这些联咪唑类化合物中,优选2,2’-双(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基-1,2’-联咪唑、2,2’-双(2,4-二氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基-1,2’-联咪唑、2,2’-双(2,4,6-三氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基-1,2’-联咪唑等,特别优选2,2’-双(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基-1,2’-联咪唑。
这些联咪唑类化合物对溶剂的溶解性优异,不会产生未溶解物、析出物等杂质,并且灵敏度高、以低能量的曝光即可充分进行固化反应,同时未曝光部分不会发生固化反应,因此曝光后的涂膜可明确地分为对显影液呈不溶性的固化部分和对显影液具有高溶解性的未固化部分,由此可以形成没有底切(undercut)、着色层图案按照规定排列配置的高清晰的滤色器。
上述联咪唑类化合物可以单独或2种以上混合使用。
本发明中,使用联咪唑类化合物作为光聚合引发剂时,与下述氢供体结合使用可以进一步改良灵敏度,优选。
这里所述的“氢供体”表示可以向通过曝光由联咪唑类化合物产生的自由基提供氢原子的化合物。
本发明的氢供体优选为以下定义的硫醇类化合物、胺类化合物等。
上述硫醇类化合物含有以苯环或杂环作为母核、具有1个以上、优选1-3个,进一步优选1-2个与该母核直接结合的巯基的化合物(以下称为“硫醇类氢供体”)。
上述胺类化合物含有以苯环或杂环作为母核、具有1个以上、优选1-3个、进一步优选1-2个与该母核直接结合的氨基的化合物(以下称为“胺类氢供体”)。
需说明的是,这些氢供体也可以同时具有巯基和氨基。
以下更具体地说明氢供体。
硫醇类氢供体可以具有各1个以上的苯环或杂环,还可以具有苯环和杂环两者。具有2个以上这些环时,可以形成或不形成稠合环。
硫醇类氢供体具有2个以上巯基时,只要残留至少1个游离巯基,其余的巯基的1个以上则可以被烷基、芳烷基或芳基取代,进而,只要残留有至少1个游离巯基,即可以具有2个硫原子通过亚烷基等2价有机基团而键合的结构单元、或者2个硫原子以二硫化物的形式键合的结构单元。
并且,硫醇类氢供体在巯基以外的位置还可以被羧基、烷氧基羰基、取代烷氧基羰基、苯氧基羰基、取代苯氧基羰基、腈基等取代。
这样的硫醇类氢供体的具体例子有:2-巯基苯并噻唑、2-巯基苯并噁唑、2-巯基苯并咪唑、2,5-二巯基-1,3,4-噻二唑、2-巯基-2,5-二甲基氨基吡啶等。
这些硫醇类氢供体中,优选2-巯基苯并噻唑、2-巯基苯并噁唑,特别优选2-巯基苯并噻唑。
胺类氢供体可以具有各1个以上的苯环或杂环,还可以具有苯环和杂环二者。具有2个以上这些环时,可以形成或不形成稠合环。
并且,胺类氢供体的1个以上的氨基可以被烷基或取代烷基取代,并且氨基以外的位置还可以被羧基、烷氧基羰基、取代烷氧基羰基、苯氧基羰基、取代苯氧基羰基、腈基等取代。
这样的胺类氢供体的具体例子有:4,4’-双(二甲基氨基)二苯甲酮、4,4’-双(二乙基氨基)二苯甲酮、4-二乙基氨基苯乙酮、4-二甲基氨基苯丙酮、4-二甲基氨基苯甲酸乙酯、4-二甲基氨基苯甲酸、4-二甲基氨基苄腈等。
在这些胺类氢供体中,优选4,4’-双(二甲基氨基)二苯甲酮、4,4’-双(二乙基氨基)二苯甲酮,特别优选4,4’-双(二乙基氨基)二苯甲酮。
需说明的是,即使在联咪唑类化合物以外的光聚合引发剂的情况下,胺类氢供体也具有作为敏化剂的作用。
在本发明中,氢供体可以单独或2种以上混合使用。将1种以上的硫醇类氢供体与1种以上的胺类氢供体组合使用,则形成的像素在显影时难以从基板上脱落,并且像素强度和灵敏度也高,因此优选。
硫醇类氢供体与胺类氢供体组合的具体例子有:2-巯基苯并噻唑/4,4’-双(二甲基氨基)二苯甲酮、2-巯基苯并噻唑/4,4’-双(二乙基氨基)二苯甲酮、2-巯基苯并噁唑/4,4’-双(二甲基氨基)二苯甲酮、2-巯基苯并噁唑/4,4’-双(二乙基氨基)二苯甲酮等,进一步优选的组合有2-巯基苯并噻唑/4,4’-双(二乙基氨基)二苯甲酮、2-巯基苯并噁唑/4,4’-双(二乙基氨基)二苯甲酮,特别优选的组合有2-巯基苯并噻唑/4,4’-双(二乙基氨基)二苯甲酮。
在硫醇类氢供体与胺类氢供体的组合中,硫醇类氢供体与胺类氢供体的重量比通常为1:1-1:4,优选为1:1-1:3。
本发明中,将氢供体与联咪唑类化合物结合使用时,相对于合计100重量份的(C)多官能性单体和单官能性单体,氢供体的用量优选0.01-40重量份,进一步优选1-30重量份,特别优选1-20重量份。这种情况下,氢供体的用量低于0.01重量份,则灵敏度的改良效果有降低倾向;而超过40重量份,则形成的着色层在显影时容易从基板上脱落。
上述三嗪类化合物的具体例子有:2,4,6-三(三氯甲基)-s-三嗪、2-甲基-4,6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-[2-(5-甲基呋喃-2-基)乙烯基]-4,6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-[2-(呋喃-2-基)乙烯基]-4,6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-[2-(4-二乙基氨基-2-甲基苯基)乙烯基]-4,6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-[2-(3,4-二甲氧基苯基)乙烯基]-4,6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-(4-甲氧基苯基)-4,6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-(4-乙氧基苯乙烯基)-4,6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-(4-正丁氧基苯基)-4,6-双(三氯甲基)-s-三嗪等具有卤代甲基的三嗪类化合物。
这些三嗪类化合物中,特别优选2-[2-(3,4-二甲氧基苯基)乙烯基]-4,6-双(三氯甲基)-s-三嗪。
上述三嗪类化合物可以单独或2种以上混合使用。
咔唑类化合物例如有下式(2)所示的化合物(以下称为“咔唑类化合物(2)”)、下式(3)所示的化合物(以下称为“咔唑类化合物(3)”)等。
式(2)中,R1表示碳原子数1-20的烷基、碳原子数3-8的环烷基或苯基,R2和R3各自独立,表示氢原子、碳原子数1-20的烷基、碳原子数3-8的环烷基、可被取代的苯基或碳原子数7-20的一价脂环基(上述环烷基除外),R4表示碳原子数1-12的烷基、碳原子数3-8的环烷基、碳原子数1-12的烷氧基或碳原子数3-8的环烷基氧基,多个存在的R4相互相同或不同,R5表示碳原子数4-20的一价含氧杂环基、碳原子数4-20的一价含氮杂环基或碳原子数4-20的一价含硫杂环基,多个存在的R5相互相同或不同,a为0-5的整数,b为0-5的整数,(a+b)≦5;
式(3)中,R1表示碳原子数1-20的烷基、碳原子数3-8的环烷基或苯基,R2和R3各自独立,表示氢原子、碳原子数1-20的烷基、碳原子数3-8的环烷基、可被取代的苯基或碳原子数7-20的一价脂环基(上述环烷基除外),R4表示碳原子数1-12的烷基、碳原子数3-8的环烷基、碳原子数1-12的烷氧基或碳原子数3-8的环烷基氧基,多个存在的R4相互相同或不同,R5表示碳原子数4-20的一价含氧杂环基、碳原子数4-20的一价含氮杂环基或碳原子数4-20的一价含硫杂环基,多个存在的R5相互相同或不同,c为0-5的整数,d为1-5的整数,(c+d)≦5,e为0-6的整数。
式(2)和式(3)中,R1的碳原子数1-20的烷基例如有甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、仲丁基、叔丁基、正戊基、正己基、正庚基、正辛基、正壬基、正癸基、正十一烷基、正十二烷基等。
R1的碳原子数3-8的环烷基例如有环戊基、环己基等。
式(2)和式(3)中,R1例如优选甲基、乙基等。
式(2)和式(3)中,R2和R3的碳原子数1-20的烷基例如有甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、仲丁基、叔丁基、正戊基、正己基、正庚基、正辛基、正壬基、正癸基、正十一烷基、正十二烷基等。
式(2)和式(3)的碳原子数3-8的环烷基例如有环戊基、环己基等。
R2和R3的苯基的取代基例如有:甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、仲丁基、叔丁基、正戊基、正己基等碳原子数1-6的烷基;环戊基、环己基等碳原子数3-6的环烷基;甲氧基、乙氧基、正丙氧基、异丙氧基、正丁氧基、叔丁氧基等碳原子数1-6的烷氧基;环戊基氧基、环己基氧基等碳原子数3-6的环烷基氧基;苯基;氟原子、氯原子等卤素原子等。
R2和R3的碳原子数7-20的一价脂环基(上述环烷基除外)例如有:具有1-烷基环烷骨架的基团、具有双环烷骨架的基团、具有三环烷骨架的基团、具有螺烷骨架的基团、具有萜烯骨架的基团、具有金刚烷骨架的基团等。
式(2)和式(3)中,R2和R3优选为氢原子、甲基、乙基等。
式(2)和式(3)中,R4的碳原子数1-12的烷基例如有:甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、仲丁基、叔丁基、正戊基、正己基、正庚基、正辛基、正壬基、正癸基、正十一烷基、正十二烷基等。
R4的碳原子数3-8的环烷基例如有环戊基、环己基等。
R4的碳原子数1-12的烷氧基例如有:甲氧基、乙氧基、正丙氧基、异丙氧基、正丁氧基、叔丁氧基、正戊氧基、正己氧基、正庚氧基、正辛氧基、正壬氧基、正癸氧基、正十一烷氧基、正十二烷氧基等。
R4的碳原子数3-8的环烷基氧基例如有环戊基氧基、环己基氧基等。
式(2)和式(3)中,R4优选为甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、甲氧基、乙氧基等。
式(2)和式(3)中,R5的碳原子数4-20的碳原子数4-20的一价含氧杂环基、碳原子数4-20的一价含氮杂环基或碳原子数4-20的一价含硫杂环基例如有:四氢噻吩基、氮杂基、二氢氮杂基、二氧杂戊环基、三嗪基、氧硫杂环己基、噻唑基、噁二嗪基、二氧杂茚满基、二硫杂萘基(ジヒアナフタレニル基)、呋喃基、噻吩基、吡咯基、噁唑基、异噁唑基、噻唑基、异噻唑基、吡唑基、呋咱基、吡喃基、吡啶基、哒嗪基、嘧啶基、吡嗪基、吡咯啉基、吗啉基、哌嗪基、奎宁环基、吲哚基、异吲哚基、苯并呋喃基、苯并噻吩基、吲哚嗪基、色烯基、喹啉基、异喹啉基、嘌呤基、喹唑啉基、噌啉基、酞嗪基、蝶啶基、咔唑基、吖啶基、菲啶基、噻吨基、吩嗪基、吩噻嗪基、吩噻噁基、吩噁嗪基、噻蒽基、四氢呋喃基、四氢吡喃基等。
式(2)和式(3)中,R5优选为四氢呋喃基、四氢吡喃基等。
式(2)中,a优选为0、1或2,特别优选为1,b优选为0或1,特别优选为0。
式(3)中,c优选为0、1或2,特别优选为1,d优选为1,e优选为0、1或2,特别优选为1。
咔唑类化合物(2)的具体例子有:
1-[9-乙基-6-苯甲酰基-9.H.-咔唑-3-基]-1,2-壬烷-2-肟-O-苯甲酸酯、1-[9-乙基-6-苯甲酰基-9.H.-咔唑-3-基]-1,2-壬烷-2-肟-O-乙酸酯、1-[9-乙基-6-苯甲酰基-9.H.-咔唑-3-基]-1,2-戊烷-2-肟-O-乙酸酯、1-[9-乙基-6-苯甲酰基-9.H.-咔唑-3-基]-辛烷-1-酮肟-O-乙酸酯、
1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9.H.-咔唑-3-基]-乙烷-1-酮肟-O-苯甲酸酯、1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9.H.-咔唑-3-基]-乙烷-1-酮肟-O-乙酸酯、1-[9-乙基-6-(1,3,5-三甲基苯甲酰基)-9.H.-咔唑-3-基]-乙烷-1-酮肟-O-苯甲酸酯、1-[9-正丁基-6-(2-乙基苯甲酰基)-9.H.-咔唑-3-基]-乙烷-1-酮肟-O-苯甲酸酯、
1-[9-乙基-6-(2-甲基-4-四氢呋喃基苯甲酰基)-9.H.-咔唑-3-基]-1-(O-乙酰基)乙酮肟、1-[9-乙基-6-(2-甲基-4-四氢吡喃基苯甲酰基)-9.H.-咔唑-3-基]-1-(O-乙酰基)乙酮肟、1-[9-乙基-6-(2-甲基-5-四氢呋喃基苯甲酰基)-9.H.-咔唑-3-基]-1-(O-乙酰基)乙酮肟、1-[9-乙基-6-(2-甲基-5-四氢吡喃基苯甲酰基)-9.H.-咔唑-3-基]-1-(O-乙酰基)乙酮肟、1-[9-乙基-6-{2-甲基-4-(2,2-二甲基-1,3-二氧杂戊环基)苯甲酰基}-9.H.-咔唑-3-基]-1-(O-乙酰基)乙酮肟等。
咔唑类化合物(3)的具体例子有:
1-[9-乙基-6-(2-甲基-4-四氢呋喃基甲氧基苯甲酰基)-9.H.-咔唑-3-基]-1-(O-乙酰基)乙酮肟、1-[9-乙基-6-(2-甲基-4-四氢吡喃基甲氧基苯甲酰基)-9.H.-咔唑-3-基]-1-(O-乙酰基)乙酮肟、1-[9-乙基-6-(2-甲基-5-四氢呋喃基甲氧基苯甲酰基)-9.H.-咔唑-3-基]-1-(O-乙酰基)乙酮肟、1-[9-乙基-6-(2-甲基-5-四氢吡喃基甲氧基苯甲酰基)-9.H.-咔唑-3-基]-1-(O-乙酰基)乙酮肟、1-[9-乙基-6-{2-甲基-4-(2,2-二甲基-1,3-二氧杂戊环基)甲氧基苯甲酰基}-9.H.-咔唑-3-基]-1-(O-乙酰基)乙酮肟等。
这些咔唑类化合物(2)和咔唑类化合物(3)中,优选1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9.H.-咔唑-3-基]-乙烷-1-酮肟-O-乙酸酯、1-[9-乙基-6-(2-甲基-4-四氢呋喃基甲氧基苯甲酰基)-9.H.-咔唑-3-基]-1-(O-乙酰基)乙酮肟、1-[9-乙基-6-{2-甲基-4-(2,2-二甲基-1,3-二氧杂戊环基)甲氧基苯甲酰基}-9.H.-咔唑-3-基]-1-(O-乙酰基)乙酮肟等,特别优选1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9.H.-咔唑-3-基]-乙烷-1-酮肟-O-乙酸酯、1-[9-乙基-6-{2-甲基-4-(2,2-二甲基-1,3-二氧杂戊环基)甲氧基苯甲酰基}-9.H.-咔唑-3-基]-1-(O-乙酰基)乙酮肟。
本发明中,光聚合引发剂的用量相对于总计100重量份的[C]多官能性单体以及根据情况使用的单官能性单体,通常为0.01-200重量份,优选1-120重量份,特别优选1-100重量份。这种情况下,光聚合引发剂的使用量低于0.01重量份,则曝光导致的固化不足,可能难以获得着色层图案按照规定的排列配置的图案阵列;而超过200重量份,则形成的着色层在显影时容易从基板上脱落,未曝光部分的基板上或遮光层上容易发生起脏、膜残留等。
本发明中,还可以根据需要,与上述光聚合引发剂一起使用敏化剂、固化促进剂或高分子光交联和敏化剂的一种以上。
-其它添加剂-
本发明的用于形成着色层的放射线敏感性树脂组合物以上述(A)-(D)成分作为必须成分,还可以根据需要进一步含有其它添加剂。
上述其它添加剂例如有:玻璃、氧化铝等填充剂;聚乙烯醇、聚(氟烷基丙烯酸酯)类等高分子化合物;非离子类表面活性剂、阳离子类表面活性剂、阴离子类表面活性剂等表面活性剂;乙烯基三甲氧基硅烷、乙烯基三乙氧基硅烷、乙烯基三(2-甲氧基乙氧基)硅烷、N-(2-氨基乙基)-3-氨基丙基甲基二甲氧基硅烷、N-(2-氨基乙基)-3-氨基丙基三甲氧基硅烷、3-氨基丙基三乙氧基硅烷、3-环氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷、3-环氧丙氧基丙基甲基二甲氧基硅烷、2-(3,4-环氧环己基)乙基三甲氧基硅烷、3-氯丙基甲基二甲氧基硅烷、3-氯丙基三甲氧基硅烷、3-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、3-巯基丙基三甲氧基硅烷等粘合促进剂;2,2-硫代双(4-甲基-6-叔丁基苯酚)、2,6-二叔丁基苯酚等抗氧化剂;2-(3-叔丁基-5-甲基-2-羟基苯基)-5-氯苯并三唑、烷氧基二苯甲酮类等紫外线吸收剂;聚丙烯酸钠等抗凝剂等。
液状组合物的制备
本发明的用于形成着色层的放射线敏感性树脂组合物通常配合溶剂制成液状组合物。
上述溶剂只要是分散或溶解构成放射线敏感性树脂组合物(A)-(D)成分或其它添加剂成分、且不与这些成分反应,具有适度的挥发性即可,可以适当选择使用。
上述溶剂例如有:
丙二醇单甲基醚、丙二醇单乙基醚等丙二醇单烷基醚类;
乙二醇单甲基醚乙酸酯、乙二醇单乙基醚乙酸酯、二甘醇单甲基醚乙酸酯、二甘醇单乙基醚乙酸酯、丙二醇单甲基醚乙酸酯、丙二醇单乙基醚乙酸酯、一缩二丙二醇单甲基醚乙酸酯、一缩二丙二醇单乙基醚乙酸酯等(聚)亚烷基二醇单烷基醚乙酸酯类;
二甘醇二甲基醚、二甘醇甲基乙基醚、二甘醇二乙基醚、一缩二丙二醇二甲基醚、一缩二丙二醇甲基乙基醚、一缩二丙二醇二乙基醚等(聚)亚烷基二醇二醚类;
四氢呋喃等其它醚类;
甲基乙基酮、环己酮、2-庚酮、3-庚酮等酮类;
双丙酮醇(即,4-羟基-4-甲基戊烷-2-酮)、4-羟基-4-甲基己烷-2-酮等酮醇类;
乳酸甲酯、乳酸乙酯等乳酸烷基酯类;
2-羟基-2-甲基丙酸乙酯、羟基乙酸乙酯、2-羟基-3-甲基丁酸甲酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、乙氧基乙酸乙酯、3-甲氧基丁基乙酸酯、3-甲基-3-甲氧基丁基乙酸酯、3-甲基-3-甲氧基丁基丙酸酯、乙酸乙酯、乙酸正丙酯、乙酸异丙酯、乙酸正丁酯、乙酸异丁酯、甲酸正戊酯、乙酸异戊酯、丙酸正丁酯、丁酸乙酯、丁酸正丙酯、丁酸异丙酯、丁酸正丁酯、丙酮酸甲酯、丙酮酸乙酯、丙酮酸正丙酯、乙酰乙酸甲酯、乙酰乙酸乙酯、2-氧代丁酸乙酯等其它酯类;
甲苯、二甲苯等芳族烃类;
N-甲基吡咯烷酮、N,N-二甲基甲酰胺、N,N-二甲基乙酰胺等酰胺类等。
这些溶剂中,从溶解性、颜料分散性、涂布性等角度考虑,优选丙二醇单甲基醚、乙二醇单甲基醚乙酸酯、二甘醇单甲基醚乙酸酯、二甘醇单乙基醚乙酸酯、丙二醇单甲基醚乙酸酯、丙二醇单乙基醚乙酸酯、一缩二丙二醇单甲基醚乙酸酯、二甘醇二甲醚、二甘醇甲基乙基醚、一缩二丙二醇二甲基醚、环己酮、2-庚酮、3-庚酮、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、3-甲氧基丁基乙酸酯、3-甲基-3-甲氧基丁基丙酸酯、乙酸正丁酯、乙酸异丁酯、甲酸正戊酯、乙酸异戊酯、丙酸正丁酯、丁酸乙酯、丁酸异丙酯、丁酸正丁酯、丙酮酸乙酯等。
上述溶剂可以单独或2种以上混合使用。
还可以与上述溶剂一起结合使用苄基乙基醚、二正己醚、丙酮基丙酮、异佛尔酮、己酸、辛酸、1-辛醇、1-壬醇、苄醇、乙酸苄基酯、苯甲酸乙酯、草酸二乙酯、马来酸二乙酯、γ-丁内酯、碳酸亚乙酯、碳酸亚丙酯、乙二醇单苯基醚乙酸酯等高沸点溶剂。
上述高沸点溶剂可以单独或2种以上混合使用。
溶剂的用量没有特别限定,从得到的液状组合物的涂布性、稳定性等角度考虑,希望溶剂的用量使除去该组合物的溶剂之外的各成分的总浓度优选为5~50重量%,特别优选为10~40重量%。
滤色器的形成方法
下面,对使用本发明的用于形成着色层的放射线敏感性树脂组合物,形成本发明的滤色器的方法进行说明。
形成滤色器的方法通常至少包括下述(1)-(4)的步骤。
(1)在基板上形成本发明的用于形成着色层的放射线敏感性树脂组合物的涂膜的步骤,
(2)对该涂膜的至少一部分进行曝光的步骤,
(3)对曝光后的该涂膜进行显影的步骤,
(4)对显影后的该涂膜进行热处理(以下称为“后烘”)的步骤。
以下对这些步骤依次进行说明。
-(1)步骤-
首先,根据需要在基板的表面上形成遮光层,以区划形成像素的部分,在该基板上涂布例如含有红色颜料的用于形成着色层的放射线敏感性树脂组合物的液状组合物,然后进行预烘,使溶剂蒸发,形成涂膜。
该步骤中使用的基板例如有玻璃、硅、聚碳酸酯、聚酯、芳族聚酰胺、聚酰胺酰亚胺、聚酰亚胺、聚醚砜,以及环状烯烃的开环聚合物或其氢化物等。
并且,还可以根据期望对这些基板实施利用硅烷偶联剂等进行的试剂处理、等离子体处理、离子电镀处理、溅射、气相反应法、真空蒸镀等适当的前处理。
将液状组合物涂布于基板上时,可采用旋涂、流延涂布、辊涂、狭缝喷嘴涂布等适当的涂布方法。本发明的放射线敏感性树脂组合物即使在干燥后对洗涤溶剂的溶解性也高,特别适合狭缝喷嘴涂布。
预烘的条件通常为70-110℃、2-4分钟左右。
涂布厚度按照除去溶剂后的膜厚通常为0.1-10μm,优选0.2-8.0μm,特别优选0.2-6.0μm。
-(2)步骤-
然后,对形成的涂膜的至少一部分进行曝光。对涂膜的一部分曝光时,通常经由具有适当图案的光掩膜进行曝光。
该步骤中使用的放射线可使用例如可见光、紫外线、远紫外线、电子射线、X射线等,优选波长在190~450nm范围的放射线。
放射线的曝光量通常为10-10,000J/m2左右。
-(3)步骤-
然后,优选使用碱性显影液对曝光后的涂膜进行显影,溶解除去涂膜的未曝光部分,形成图案。
上述碱性显影液例如优选碳酸钠、氢氧化钠、氢氧化钾、氢氧化四甲基铵、胆碱、1,8-二氮杂双环-[5.4.0]-7-十一碳烯、1,5-二氮杂双环-[4.3.0]-5-壬烯等的水溶液。
在上述碱性显影液中还可以适量添加例如甲醇、乙醇等水溶性有机溶剂或表面活性剂等。需说明的是,碱显影后通常进行水洗。
显影处理方法可以采用喷淋显影法、喷雾显影法、浸渍显影法、水坑式显影法(puddle developing)等。
显影条件优选在常温下进行5~300秒左右。
-(4)步骤-
然后,通过对显影后的涂膜进行后烘,可得到由放射线敏感性树脂组合物的固化物构成的像素图案按照规定的排列配置的基板。
后烘的条件优选180-230℃、20-40分钟左右。
这样形成的像素的膜厚通常为0.5-5.0μm,优选1.5-3.0μm。
再使用含有绿色或蓝色颜料的用于形成着色层的放射线敏感性树脂组合物的各液状组合物,重复进行上述(1)-(4)的步骤,在同一基板上形成绿色像素图案和蓝色像素图案,可在基板上形成红色、绿色和蓝色三原色的像素图案按照规定的排列配置的着色层。不过,本发明中形成各色像素图案的顺序并不限于上述顺序。
黑底使用含有黑色颜料的用于形成着色层的放射线敏感性树脂组合物的液状组合物,除此之外通过与形成上述像素图案同样的处理来形成。
-滤色器-
本发明的滤色器具备使用本发明的用于形成着色层的放射线敏感性树脂组合物形成的着色层。
本发明的滤色器例如对于透射型或反射型彩色液晶显示装置、彩色摄像管元件、彩色传感器等极为有用。
彩色液晶显示装置
本发明的彩色液晶显示装置具备本发明的滤色器。
本发明的彩色液晶显示装置可以采用适当结构,例如可以采用如下结构:将滤色器在与配置了薄膜晶体管(TFT)的驱动用基板不同的基板上形成,使驱动用基板和形成了滤色器的基板经液晶层相向;还可以采用如下结构:在配置有薄膜晶体管(TFT)的驱动用基板的表面上形成滤色器,使该基板与形成有ITO(搀杂锡的氧化铟)电极的基板经由液晶层相向。后一种结构具有可以进一步提高开口率,获得明亮、高清晰的液晶显示装置的优点。
实施例
下面列举实施例,进一步具体说明本发明的实施方案。但是,本发明不受下述实施例的限定。
上述各合成例得到的树脂的Mw和Mn通过下述规格的凝胶渗透色谱(GPC)测定。
装置:GPC-101(昭和电工(株)制备)。
柱:将GPC-KF-801、GPC-KF-802、GPC-KF-803和GPC-KF-804结合使用。
移动相:含有0.5重量%磷酸的四氢呋喃。
[用于比较的共聚物的制备]
合成例1
向装配有冷凝管和搅拌器的烧瓶中加入3重量份2,2’-偶氮二异丁腈、4重量份刚合成的双(吡唑-1-基-硫羰基)二硫化物和200重量份一缩二丙二醇二甲基醚,接着加入20重量份甲基丙烯酸、31.2重量份N-苯基马来酰亚胺、30重量份甲基丙烯酸苄酯和18.8重量份苯乙烯,进行氮置换,然后一边缓慢搅拌,一边将反应溶液升温至80℃,保持该温度进行3小时聚合。然后将反应溶液升温至100℃,追加2重量份2,2’-偶氮二异丁腈,再继续聚合1小时,得到共聚物溶液(固态成分浓度=33.1重量%)。该共聚物的Mw=5,200、Mw/Mn=1.4。将该共聚物作为“共聚物(β-1)”。
合成例2
向装配有冷凝管和搅拌器的烧瓶中加入3重量份2,2’-偶氮二异丁腈、4重量份合成后在室温下放置2个月的双(吡唑-1-基-硫羰基)二硫化物和200重量份一缩二丙二醇二甲基醚,接着加入20重量份甲基丙烯酸、31.2重量份N-苯基马来酰亚胺、30重量份甲基丙烯酸苄酯和18.8重量份苯乙烯,进行氮置换,然后一边缓慢搅拌,一边将反应溶液升温至80℃,保持该温度进行3小时聚合。然后将反应溶液升温至100℃,追加2重量份2,2’-偶氮二异丁腈,再继续聚合1小时,得到共聚物溶液(固态成分浓度=33.1重量%)。该共聚物的Mw=10500、Mw/Mn=1.9。将该共聚物作为“共聚物(β-2)”。
合成例2使用合成后在室温下放置2个月的双(吡唑-1-基-硫羰基)二硫化物,除此之外与合成例1同样地制备共聚物。所得共聚物(β-2)比合成例1所得共聚物(β-1)的分子量大,Mw/Mn也大。由此可知双(吡唑-1-基-硫羰基)二硫化物的保存稳定性不好。
合成例3
向装配有冷凝管和搅拌器的烧瓶中加入10重量份2,2’-偶氮二异丁腈和400重量份一缩二丙二醇二甲基醚,接着加入20重量份甲基丙烯酸、31.2重量份N-苯基马来酰亚胺、30重量份甲基丙烯酸苄酯、18.8重量份苯乙烯以及10重量份α-甲基苯乙烯二聚物(分子量控制剂),进行氮置换,然后一边缓慢搅拌,一边将反应溶液升温至80℃,保持该温度进行3小时聚合。然后将反应溶液升温至100℃,追加2重量份2,2’-偶氮二异丁腈,再继续聚合1小时,得到共聚物溶液(固态成分浓度=20.1重量%)。该共聚物的Mw=5,000、Mw/Mn=3.6。将该共聚物作为“共聚物(β-3)”。
合成例4
向装配有冷凝管和搅拌器的烧瓶中加入2.5重量份2,2’-偶氮二异丁腈和200重量份一缩二丙二醇二甲基醚,接着加入20重量份甲基丙烯酸、31.2重量份N-苯基马来酰亚胺、30重量份甲基丙烯酸苄酯、18.8重量份苯乙烯以及3重量份α-甲基苯乙烯二聚物(分子量控制剂),进行氮置换,然后一边缓慢搅拌,一边将反应溶液升温至80℃,保持该温度进行3小时聚合。然后将反应溶液升温至100℃,追加0.5重量份2,2’-偶氮二异丁腈,再继续聚合1小时,得到共聚物溶液(固态成分浓度=33.2重量%)。该共聚物的Mw=14,000、Mw/Mn=2.1。将该共聚物作为“共聚物(β-4)”。
[共聚物(BI)的制备]
合成例5
向装配有冷凝管和搅拌器的烧瓶中加入3重量份2,2’-偶氮二异丁腈、4重量份刚合成的双(正辛基巯基硫羰基)二硫化物和200重量份一缩二丙二醇二甲基醚,接着加入20重量份甲基丙烯酸、31.2重量份N-苯基马来酰亚胺、30重量份甲基丙烯酸苄酯和18.8重量份苯乙烯,进行氮置换,然后一边缓慢搅拌,一边将反应溶液升温至80℃,保持该温度进行3小时聚合。然后将反应溶液升温至100℃,追加2重量份2,2’-偶氮二异丁腈,再继续聚合1小时,得到共聚物溶液(固态成分浓度=33.0重量%)。该共聚物的Mw=5,000、Mw/Mn=1.5。将该共聚物作为“共聚物(B-1)”。
合成例6
向装配有冷凝管和搅拌器的烧瓶中加入3重量份2,2’-偶氮二异丁腈、4重量份刚合成的双(正十二烷基巯基硫羰基)二硫化物和200重量份一缩二丙二醇二甲基醚,接着加入20重量份甲基丙烯酸、31.2重量份N-苯基马来酰亚胺、30重量份甲基丙烯酸苄酯和18.8重量份苯乙烯,进行氮置换,然后一边缓慢搅拌,一边将反应溶液升温至80℃,保持该温度进行3小时聚合。然后将反应溶液升温至100℃,追加2重量份2,2’-偶氮二异丁腈,再继续聚合1小时,得到共聚物溶液(固态成分浓度=32.8重量%)。该共聚物的Mw=5,200、Mw/Mn=1.4。将该共聚物作为“共聚物(B-2)”。
合成例7
向装配有冷凝管和搅拌器的烧瓶中加入3重量份2,2’-偶氮二异丁腈、4重量份刚合成的双(苄基巯基硫羰基)二硫化物和200重量份一缩二丙二醇二甲基醚,接着加入20重量份甲基丙烯酸、31.2重量份N-苯基马来酰亚胺、30重量份甲基丙烯酸苄酯和18.8重量份苯乙烯,进行氮置换,然后一边缓慢搅拌,一边将反应溶液升温至80℃,保持该温度进行3小时聚合。然后将反应溶液升温至100℃,追加2重量份2,2’-偶氮二异丁腈,再继续聚合1小时,得到树脂溶液(固态成分浓度=33.1重量%)。该树脂的Mw=5,250、Mw/Mn=1.6。将该树脂作为“树脂(B-3)”。
合成例8
向装配有冷凝管和搅拌器的烧瓶中加入3重量份2,2’-偶氮二异丁腈、4重量份合成后在室温下放置3个月的双(正辛基巯基硫羰基)二硫化物和200重量份一缩二丙二醇二甲基醚,接着加入20重量份甲基丙烯酸、31.2重量份N-苯基马来酰亚胺、30重量份甲基丙烯酸苄酯和18.8重量份苯乙烯,进行氮置换,然后一边缓慢搅拌,一边将反应溶液升温至80℃,保持该温度进行3小时聚合。然后将反应溶液升温至100℃,追加2重量份2,2’-偶氮二异丁腈,再继续聚合1小时,得到共聚物溶液(固态成分浓度=32.7重量%)。该共聚物的Mw=5,400、Mw/Mn=1.5。将该共聚物作为“共聚物(B-4)”。
合成例9
向装配有冷凝管和搅拌器的烧瓶中加入3重量份2,2’-偶氮二异丁腈、4重量份合成后在室温下放置3个月的双(正十二烷基巯基硫羰基)二硫化物和200重量份一缩二丙二醇二甲基醚,接着加入20重量份甲基丙烯酸、31.2重量份N-苯基马来酰亚胺、30重量份甲基丙烯酸苄酯和18.8重量份苯乙烯,进行氮置换,然后一边缓慢搅拌,一边将反应溶液升温至80℃,保持该温度进行3小时聚合。然后将反应溶液升温至100℃,追加2重量份2,2’-偶氮二异丁腈,再继续聚合1小时,得到共聚物溶液(固态成分浓度=32.7重量%)。该共聚物的Mw=5,500、Mw/Mn=1.5。将该共聚物作为“共聚物(B-5)”。
合成例10
向装配有冷凝管和搅拌器的烧瓶中加入3重量份2,2’-偶氮二异丁腈、4重量份合成后在室温下放置3个月的双(苄基巯基硫羰基)二硫化物和200重量份一缩二丙二醇二甲基醚,接着加入20重量份甲基丙烯酸、31.2重量份N-苯基马来酰亚胺、30重量份甲基丙烯酸苄酯和18.8重量份苯乙烯,进行氮置换,然后一边缓慢搅拌,一边将反应溶液升温至80℃,保持该温度进行3小时聚合。然后将反应溶液升温至100℃,追加2重量份2,2’-偶氮二异丁腈,再继续聚合1小时,得到共聚物溶液(固态成分浓度=32.7重量%)。该共聚物的Mw=5,400、Mw/Mn=1.5。将该共聚物作为“共聚物(B-6)”。
[浸泡测试]
比较例1
将含有40重量份作为(A)着色剂的C.I.颜料红242/C.I.颜料红254/C.I.颜料黄139的混合物(重量比=45/40/15)、10重量份(换算成固态成分)作为分散剂的Disperbyk2001、以及100重量份作为溶剂的3-乙氧基丙酸乙酯的混合液通过Diamond Fine Mill(商品名、三菱材料(株)制造的珠磨机(珠直径1.0mm))混合和分散12小时,制备颜料分散液。
接着,将100重量份该颜料分散液、70重量份(换算成固态成分)作为碱溶性树脂的共聚物(β-1)、80重量份作为(C)多官能性单体的六丙烯酸二季戊四醇酯、50重量份作为(D)光聚合引发剂的2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)丁酮-1、以及1,000重量份作为溶剂的丙二醇单甲醚乙酸酯混合,制备液状组合物(r-1)。
接着,将该液状组合物(r-1)旋涂在表面形成有防止钠离子溶出的SiO2膜的、直径4英寸的钠玻璃基板上,然后在23℃的净室内放置12小时,干燥,形成涂膜。
接着,将该基板在100cc丙二醇单甲醚乙酸酯中浸泡2分钟,涂膜完全溶解。
比较例2
使用70重量份(换算成固态成分)共聚物(β-2)代替共聚物(β-1),除此之外与比较例1同样,制备液状组合物(r-2),在钠玻璃基板上形成涂膜。
接着,将该基板在100cc丙二醇单甲醚乙酸酯中浸泡2分钟,涂膜未完全溶解,观察到液体中有很多杂质。
比较例3
使用70重量份(换算成固态成分)共聚物(β-3)代替共聚物(β-1),除此之外与比较例1同样,制备液状组合物(r-3),在钠玻璃基板上形成涂膜。
接着,将该基板在100cc丙二醇单甲醚乙酸酯中浸泡2分钟,涂膜完全溶解。
比较例4
使用70重量份(换算成固态成分)共聚物(β-4)代替共聚物(β-1),除此之外与比较例1同样,制备液状组合物(r-4),在钠玻璃基板上形成涂膜。
接着,将该基板在100cc丙二醇单甲醚乙酸酯中浸泡2分钟,涂膜未完全溶解,观察到液体中有很多杂质。
实施例1
使用70重量份(换算成固态成分)共聚物(B-1)代替共聚物(β-1),除此之外与比较例1同样,制备液状组合物(R-1),在钠玻璃基板上形成涂膜。
接着,将该基板在100cc丙二醇单甲醚乙酸酯中浸泡2分钟,涂膜完全溶解。
实施例2
使用70重量份(换算成固态成分)共聚物(B-2)代替共聚物(β-1),除此之外与比较例1同样,制备液状组合物(R-2),在钠玻璃基板上形成涂膜。
接着,将该基板在100cc丙二醇单甲醚乙酸酯中浸泡2分钟,涂膜完全溶解。
实施例3
使用70重量份(换算成固态成分)共聚物(B-3)代替共聚物(β-1),除此之外与比较例1同样,制备液状组合物(R-3),在钠玻璃基板上形成涂膜。
接着,将该基板在100cc丙二醇单甲醚乙酸酯中浸泡2分钟,涂膜完全溶解。
实施例4
使用70重量份(换算成固态成分)共聚物(B-4)代替共聚物(β-1),除此之外与比较例1同样,制备液状组合物(R-4),在钠玻璃基板上形成涂膜。
接着,将该基板在100cc丙二醇单甲醚乙酸酯中浸泡2分钟,涂膜完全溶解。
实施例5
使用70重量份(换算成固态成分)共聚物(B-5)代替共聚物(β-1),除此之外与比较例1同样,制备液状组合物(R-5),在钠玻璃基板上形成涂膜。
接着,将该基板在100cc丙二醇单甲醚乙酸酯中浸泡2分钟,涂膜完全溶解。
实施例6
使用70重量份(换算成固态成分)共聚物(B-6)代替共聚物(β-1),除此之外与比较例1同样,制备液状组合物(R-6),在钠玻璃基板上形成涂膜。
接着,将该基板在100cc丙二醇单甲醚乙酸酯中浸泡2分钟,涂膜完全溶解。
[涂布性的评价]
比较例5
使用东京应化工业(株)制造的狭缝喷嘴方式的滤色器用涂布装置TR63210S-CL(商品名),将比较例1中制备的液状组合物(r-1)涂布在表面形成有防止钠离子溶出的SiO2膜的钠玻璃基板上,然后在常温下放置1小时,干燥,形成涂膜。
接着,将狭缝喷嘴用丙二醇单甲醚乙酸酯吹洗,再次通过TR63210S-CL,在新的钠玻璃基板上涂布液状组合物(r-1),涂膜上未产生杂质,可以涂布。
比较例6
使用比较例2中制备的液状组合物(r-2)代替液状组合物(r-1),除此之外与比较例5同样,对涂布性进行评价,再次形成的涂膜上产生杂质,无法形成良好的涂膜。
比较例7
使用比较例3中制备的液状组合物(r-3)代替液状组合物(r-1),除此之外与比较例5同样,对涂布性进行评价,涂膜上未产生杂质,可以涂布。
比较例8
使用比较例4中制备的液状组合物(r-4)代替液状组合物(r-1),除此之外与比较例5同样,对涂布性进行评价,再次形成的涂膜上产生杂质,无法形成良好的涂膜。
实施例7
使用实施例1中制备的液状组合物(R-1)代替液状组合物(r-1),除此之外与比较例5同样,对涂布性进行评价,涂膜上未产生杂质,可以涂布。
实施例8
使用实施例2中制备的液状组合物(R-2)代替液状组合物(r-1),除此之外与比较例5同样,对涂布性进行评价,涂膜上未产生杂质,可以涂布。
实施例9
使用实施例3中制备的液状组合物(R-3)代替液状组合物(r-1),除此之外与比较例5同样,对涂布性进行评价,涂膜上未产生杂质,可以涂布。
实施例10
使用实施例4中制备的液状组合物(R-4)代替液状组合物(r-1),除此之外与比较例5同样,对涂布性进行评价,涂膜上未产生杂质,可以涂布。
实施例11
使用实施例5中制备的液状组合物(R-5)代替液状组合物(r-1),除此之外与比较例5同样,对涂布性进行评价,涂膜上未产生杂质,可以涂布。
实施例12
使用实施例6中制备的液状组合物(R-6)代替液状组合物(r-1),除此之外与比较例5同样,对涂布性进行评价,涂膜上未产生杂质,可以涂布。
[图像残留的评价]
比较例9
将比较例1中制备的液状组合物(r-1)旋涂在表面形成有防止钠离子溶出的SiO2膜、且将ITO(铟-氧化锡合金)电极蒸镀成规定形状的钠玻璃基板上,在90℃的洁净烘箱内预烘10分钟,形成膜厚为2.0μm的涂膜。
然后使用高压汞灯,不经光掩膜,以5,000J/m2的曝光量对涂膜照射含有365nm、405nm和436nm各波长的放射线。然后将该基板在23℃的0.04重量%氢氧化钾水溶液的显影液中浸泡1分钟,显影后用超纯水洗涤并风干,再次在250℃下进行30分钟后烘,使涂膜固化,在基板上形成红色的像素。该像素的膜厚为1.60μm。
接着,将形成了该像素的基板和只蒸镀了规定形状的ITO电极的基板用混合了0.8mm玻璃珠的密封剂贴合,然后注入Merck制的液晶MLC6608(商品名),制备液晶盒。
接着,将液晶盒放入60℃的恒温层中,通过Toyo Technical制的液晶电压保持率测定系统VHR-1A型(商品名)测定液晶盒的电压保持率。此时的施加电压为5.5V的方形波,测定频率为60Hz。这里,电压保持率是指(施加开始16.7毫秒后液晶盒的电位差/施加开始0毫秒时的电压)的值。结果,电压保持率为91%。
液晶盒的电压保持率低于90%,则液晶盒无法将施加电压保持规定水平16.7毫秒的时间,表示无法充分使液晶取向。因此,具备使用液状组合物(r-1)形成的滤色器的液晶显示装置发生“图像残留”的可能性低。
比较例10
使用比较例2中制备的液状组合物(r-2)代替液状组合物(r-1),除此之外与比较例9同样地制备液晶盒,测定电压保持率,为50%。因此,具备使用液状组合物(r-2)形成的滤色器的液晶显示装置发生“图像残留”的可能性高。
比较例11
使用比较例3中制备的液状组合物(r-3)代替液状组合物(r-1),除此之外与比较例9同样地制备液晶盒,测定电压保持率,为45%。因此,具备使用液状组合物(r-3)形成的滤色器的液晶显示装置发生“图像残留”的可能性高。
比较例12
使用比较例4中制备的液状组合物(r-4)代替液状组合物(r-1),除此之外与比较例9同样地制备液晶盒,测定电压保持率,为92%。因此,具备使用液状组合物(r-4)形成的滤色器的液晶显示装置发生“图像残留”的可能性低。
实施例13
使用实施例1中制备的液状组合物(R-1)代替液状组合物(r-1),除此之外与比较例9同样地制备液晶盒,测定电压保持率,为92%。因此,具备使用液状组合物(R-1)形成的滤色器的液晶显示装置发生“图像残留”的可能性低。
实施例14
使用实施例2中制备的液状组合物(R-2)代替液状组合物(r-1),除此之外与比较例9同样地制备液晶盒,测定电压保持率,为91%。因此,具备使用液状组合物(R-2)形成的滤色器的液晶显示装置发生“图像残留”的可能性低。
实施例15
使用实施例3中制备的液状组合物(R-3)代替液状组合物(r-1),除此之外与比较例9同样地制备液晶盒,测定电压保持率,为93%。因此,具备使用液状组合物(R-3)形成的滤色器的液晶显示装置发生“图像残留”的可能性低。
实施例16
使用实施例4中制备的液状组合物(R-4)代替液状组合物(r-1),除此之外与比较例9同样地制备液晶盒,测定电压保持率,为94%。因此,具备使用液状组合物(R-4)形成的滤色器的液晶显示装置发生“图像残留”的可能性低。
实施例17
使用实施例5中制备的液状组合物(R-5)代替液状组合物(r-1),除此之外与比较例9同样地制备液晶盒,测定电压保持率,为95%。因此,具备使用液状组合物(R-5)形成的滤色器的液晶显示装置发生“图像残留”的可能性低。
实施例18
使用实施例6中制备的液状组合物(R-6)代替液状组合物(r-1),除此之外与比较例9同样地制备液晶盒,测定电压保持率,为93%。因此,具备使用液状组合物(R-6)形成的滤色器的液晶显示装置发生“图像残留”的可能性低。
将以上评价结果与共聚物的种类汇总示于表1。
表1中,各评价项目的○和×的含义如下:
浸泡测试
○:涂膜完全溶解,×:液体中有杂质产生
涂布性
○:再次涂布时没有杂质产生,×:再次涂布时有杂质产生
图像残留
○:电压保持率≥90%,发生“图像残留”的可能性低,
×:电压保持率<90%,发生“图像残留”的可能性高。
这里,对使用红色颜料的放射线敏感性树脂组合物进行了评价,在使用蓝色、绿色、黄色或黑色颜料的放射线敏感性组合物的情况下也得到了同样的结果。
Claims (5)
2.权利要求1的用于形成着色层的放射线敏感性树脂组合物,其特征在于:形成(B)碱溶性树脂的权利要求1所述的共聚物是经活性自由基聚合步骤制备的共聚物。
3.权利要求1的用于形成着色层的放射线敏感性树脂组合物,其特征在于:形成(B)碱溶性树脂的权利要求1所述的共聚物通过凝胶渗透色谱GPC测定的、经聚苯乙烯换算的重均分子量Mw为1,000-10,000,且Mw与通过凝胶渗透色谱GPC测定的、经聚苯乙烯换算的数均分子量Mn之比Mw/Mn为1.0-2.0。
4.滤色器,该滤色器具备使用权利要求1-3中任一项的用于形成着色层的放射线敏感性树脂组合物形成的着色层。
5.彩色液晶显示装置,该彩色液晶显示装置具备权利要求4的滤色器。
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