CN101378880A - 喷砂用抗蚀材料 - Google Patents

Abstract

本发明的目的在于提供在利用高压空气喷射高硬度研磨剂的喷射时也难以磨耗的抗蚀材料，并提供对以往的喷砂用抗蚀材料中难以表面加工的材料或必需加工深度的材料进行喷砂处理的表面加工方法。因此，使用含有(a)热塑性弹性体的喷砂用抗蚀材料。另外，还可以使用含有(b)光聚合性不饱和单体和(c)光聚合引发剂制成感光性的喷砂抗蚀材料。喷砂材料可以是溶液状态，还可以是层叠在支撑体上制成层叠薄膜。

Description

喷砂用抗蚀材料

技术领域

本发明涉及使用含有热塑性弹性体的材料作为抗蚀掩模、通过喷砂工艺对基材实施表面加工的方法，特别是在脆性材料上施以高精细图案的方法。

背景技术

作为对脆性材料、例如玻璃、硅片、陶瓷、PZT(锆钛酸铅，lead zirconium titanate)水晶或蓝宝石进行表面加工的技术，已知喷砂法。而且，近年来，在由这种脆性材料形成的被加工基材上实施线宽100μm以下的高精细图案的要求有所增加。

专利文献1和2中，为了成品率高地制造高精细图案，作为喷砂用抗蚀材料公开了液状的感光性抗蚀材料、由支撑体和感光性树脂层和保护层3层构成的感光抗蚀干膜。

以下使用该感光抗蚀干膜说明在由脆性材料形成的被加工基材上表面加工高精细图案的方法。

可以经过以下的各工序，在被加工基材上表面加工高精细的图案:(I)层压工序，其边剥离感光抗蚀干膜的保护层，边使用热轧辊层压器将层叠于支撑体的感光性树脂层密合在被加工基材上；(II)曝光工序，其在支撑体上密合具有所需高精细图案的光掩模的状态下，或者在距离数十～数百μm的状态下，使用活性光线源实施曝光；(III)显影工序，其剥离支撑体后使用碱显影液溶解除去感光性树脂层的未曝光部分，并在被加工基材上形成高精细抗蚀图案；(IV)喷砂处理工序，其将喷砂材料从所形成的抗蚀图案上向被加工基材喷涂，将该基材切削至目标深度；(V)剥离工序，其使用碱剥离液将抗蚀图案从被加工基材除去。

对脆性材料表面加工时，作为喷砂用的研磨剂，使用0.2～0.5MPa左右的高压空气喷涂高硬度的微粉末、例如碳烧结刚玉、生碳烧结刚玉或氧化铝。因此，上述喷砂用抗蚀材料要求加工中难以磨耗的性能、即耐喷砂性。

专利文献3记载了形成感光性树脂的喷砂抗蚀剂图像的方法，公开了含有结晶性1，2-聚丁二烯的固体状感光性树脂片材，但认为并不适于利用高硬度研磨剂的高压空气的喷砂处理。

这样，由于以往的喷砂用抗蚀材料没有充分的耐喷砂性，因此有在加工时磨损、作为抗蚀剂不耐用的情况。另外，为了不磨耗由该抗蚀材料形成的掩模材料，也有降低喷涂空气压力、或选择磨耗能力低的研磨材料、或者减少研磨材料每单位时间的喷射量的情况。但是，此时会有加工非常花费时间、无法实施所需高精细图案的情况。

另一方面，作为这种加工脆性材料的竞争技术，还已知喷砂工艺以外的方法。例如有利用激光的加工方法、等离子体刻蚀、反应离子刻蚀、利用氟酸等药液的刻蚀过程等。

利用激光的加工方法中会有由激光照射导致的加工材料的溶解残留或变质。等离子体刻蚀和反应离子刻蚀的情况不仅必需高真空，而且有加工速度极慢的缺点。而且，装置也昂贵，加工也受限于小型的基材。利用药液的刻蚀过程具有完成宽度变得细于所需图案宽度、即侧面刻蚀的问题，并且不可避免地对形成高精细图案造成不良影响。另外，由于使用药液，会伴随温度管理或浓度管理等工序管理中的复杂操作。

喷砂法由于是干燥环境且不需要高真空的各向异性刻蚀过程，因此克服了上述竞争加工技术所具有的问题，可以说是最适合廉价地在脆性材料上实施高精细图案的方法。但是，由于前述喷砂用抗蚀材料的耐喷砂性不充分，因此不能向表面加工难的材料或必需加工深度的材料展开，不能发挥以往相对于竞争加工的优势。

即，期待在喷砂法中即便喷射可以克服其较大弱点的抗蚀材料、即利用高压空气喷射研磨剂时也可以确保与竞争加工技术相匹敌的表面加工和加工深度的耐喷砂性优异的抗蚀材料。

专利文献1:日本特开平08-305017号公报

专利文献2:日本特开平11-188631号公报

专利文献3:日本特开昭55-36812号公报

发明内容

发明预解决的课题

本发明的目的在于克服上述问题，提供在利用高压空气喷射高硬度研磨剂时也难以磨耗的抗蚀材料，并提供对以往的喷砂用抗蚀材料中难以表面加工的材料或必需加工深度的材料进行喷砂处理的表面加工方法。

用于解决课题的方法

上述目的可以通过本发明的以下方案实现。

(1)一种喷砂用抗蚀材料，其含有(a)热塑性弹性体。

(2)根据(1)所述的喷砂用抗蚀材料，其特征在于，进一步含有(b)光聚合性不饱和单体和(c)光聚合引发剂。

(3)根据(1)或(2)所述的喷砂用抗蚀材料，其特征在于，上述(a)热塑性弹性体包含嵌段共聚物，该嵌段共聚物由以单链烯基芳香族化合物为主体的至少2个聚合物嵌段和以共轭二烯化合物为主体的至少1个聚合物嵌段形成。

(4)根据(3)所述的喷砂用抗蚀材料，其特征在于，上述嵌段共聚物为支链状嵌段共聚物。

(5)一种溶液，其含有(1)或(2)所述的喷砂用抗蚀材料。

(6)一种薄膜，其在支撑体上层叠了由(1)或(2)所述的喷砂用抗蚀材料形成的层。

(7)一种表面加工方法，其特征在于，在被加工基材上通过(1)或(2)所述的喷砂用抗蚀材料形成抗蚀图案后，进行喷砂处理。

(8)一种表面加工方法，其特征在于，在被加工基材上印刷(5)所述的溶液而形成抗蚀图案，进行喷砂处理。

(9)一种表面加工方法，其在被加工基材上直接描绘(5)所述的溶液而形成抗蚀图案，进行喷砂处理。

(10)一种表面加工方法，其在被加工基材上涂布(5)所述的溶液，利用激光进行加工以形成抗蚀图案，进行喷砂处理。

(11)一种表面加工方法，其将由权利要求(1)所述的喷砂用抗蚀材料形成的层层叠在支撑体上形成的薄膜层叠到被加工基材上，以使由该喷砂用抗蚀材料形成的层接触到被加工基材上，剥离支撑体，利用激光进行加工以形成抗蚀图案，进行喷砂处理。

(12)一种表面加工方法，其在被加工基材上涂布含有(2)所述喷砂用抗蚀材料的溶液，进行曝光、显影，形成抗蚀图案，进行喷砂处理。

(13)一种表面加工方法，其将(2)所述的喷砂用抗蚀材料层叠在支撑体上而形成的薄膜层叠到被加工基材上，以使由该喷砂用抗蚀材料形成的层接触到被加工基材上，进行曝光，剥离支撑体，显影以形成抗蚀图案，进行喷砂处理。

(14)一种表面加工方法，其将(2)所述的喷砂用抗蚀材料层叠在支撑体上而形成的薄膜层叠到被加工基材上，以使由该喷砂用抗蚀材料形成的层接触到被加工基材上，剥离支撑体，进行曝光、显影以形成抗蚀图案，进行喷砂处理。

(15)一种含有热塑性弹性体的材料作为对喷砂处理的抗蚀材料的用途。

发明效果

本发明的喷砂用抗蚀材料，具有即便在利用高压空气喷射高硬度研磨剂时也难以磨耗的效果。另外，根据使用本发明喷砂用材料的表面加工方法，具有如下效果:可以提供对以往的喷砂用抗蚀材料中难以表面加工的材料或必需加工深度的材料进行喷砂处理进行表面加工的方法。特别是适用于脆性材料、例如玻璃、硅片、陶瓷、PZT、水晶或蓝宝石形成的被加工基材时，发挥更显著的效果。

具体实施方式

以下具体地说明本发明。

(a)热塑性弹性体

本发明必需成分的(a)热塑性弹性体(以下也称为TPE)是指“可在高温下被塑化、与塑料同样成型，在常温下显示橡胶弹性体(弹性体)的性质的高分子材料”(大柳康等著、工业调查会出版、《热塑性弹性体的新展开》)。作为具体例子可以举出Tufprene(注册商标、Aasahi Kasei Chemicals Corporation公司制造)、Tuftec(注册商标、Aasahi Kasei Chemicals Corporation公司制造)、KRATON(注册商标、S chell Chemical)、パラプレン(商品名、日本聚氨酯(株)公司制造)、PANDEX(商品名、大日本油墨化学(株)公司制造)、KRATON(SchellChemical)所代表的苯乙烯系TPE；住友TPE(住友化学工业(株)制造)和ミラストマ—(注册商标、三井化学(株)公司制造)所代表的烯烃系TPE；SUMIFLEX(注册商标、ADVANCEDPLASTICS COMPOUNDS COMPANY公司制造)、Shin-Etsu PVC(Shin-Etsu Polymer Co.，Ltd.公司制造)、EZ-800(Shin-EtsuPolymer Co.，Ltd.)所代表的氯乙烯系TPE；パラプレン(日本聚氨酯)、PANDEX(大日本油墨化学)所代表的尿烷系TPE；ARNITEL(注册商标、Omnexus)、ペルプレン(注册商标、东洋纺织(株)公司制造)所代表的酯系TPE；PEB AX(注册商标、Arkema)、グリラックス(注册商标、大日本油墨化学工业(株))所代表的酰胺系TPE等。这些热塑性弹性体可以单独使用，还可以混合2种以上使用。热塑性弹性体中优选苯乙烯系TPE。

喷砂用抗蚀材料中所占的(a)热塑性弹性体的含量从发挥耐喷砂性的观点出发，优选30质量％以上100质量％以下。

不具有感光性时，更优选为80质量％以上100质量％以下，更优选为90质量％以上100质量％以下。

当含有(a)热塑性弹性体、(b)光聚合性不饱和单体和(c)光聚合引发剂，制成感光性喷砂用抗蚀材料时，(a)热塑性弹性体的含量在喷砂用抗蚀材料中优选为30质量％以上80质量％以下的范围。从发挥优异的耐喷砂性的观点出发，优选为30质量％以上，从充分地发挥光固化性的观点出发，优选为80质量％以下。更优选为40质量％以上70质量％以下。

(a)热塑性弹性体优选为嵌段共聚物(以下有时也简称为嵌段共聚物)，该嵌段共聚物含有以单链烯基芳香族化合物为主体的至少2个聚合物嵌段和以共轭二烯化合物为主体的至少1个聚合物嵌段。这里“为主体”的用语是指各个嵌段可以由主要单体和微量单体构成。微量单体可以与主要单体结构上相近，也可以不同，且可以占据嵌段共聚物总重量的10质量％以下的量。

上述嵌段共聚物中，作为单链烯基芳香族化合物可以举出例如苯乙烯、对甲基苯乙烯、叔丁基苯乙烯、α-甲基苯乙烯、1，1-二苯基乙烯等单体，其中优选苯乙烯。这些单体可以单独使用，还可以2种以上组合使用。

单链烯基芳香族化合物的含量从发挥耐喷砂性的观点出发，优选为嵌段共聚物中的10质量％以上50质量％以下、特别优选为15质量％以上40质量％以下。

上述嵌段共聚物中，作为共轭二烯化合物可以举出例如1，3-丁二烯、异戊二烯、2，3-二甲基-1，3-丁二烯、3-丁基-1，3-辛二烯、苯基-1，3-丁二烯等单体。其中优选1，3-丁二烯。这些单体可以单独使用还可以2种以上组合使用。

从发挥耐喷砂性的观点出发，共轭二烯化合物的含量优选为嵌段共聚物中的50质量％以上90质量％以下、特别优选为60质量％以上85质量％以下。

从发挥耐喷砂性的观点出发，上述嵌段共聚物的数均分子量(利用GPC(凝胶渗透色谱法)的聚苯乙烯换算的数均分子量)优选为100000以上、更优选为200000以上，从较低地抑制制成溶液时的粘度的观点出发，优选为700000以下、更优选为500000以下。

另外，从嵌段共聚物的耐喷砂性和热稳定性的观点出发，上述嵌段共聚物中的共轭二烯部分的乙烯基键量优选0摩尔％以上30摩尔％以下、更优选为0摩尔％以上25摩尔％以下、进一步优选为0摩尔％以上20摩尔％以下。

上述嵌段共聚物更优选为支链状嵌段共聚物(以下有时也简称为支链状嵌段共聚物)，该支链状嵌段共聚物由以单链烯基芳香族化合物为主体的至少2个聚合物嵌段和以共轭二烯化合物为主体的至少1个聚合物嵌段形成。

优选的支链状嵌段共聚物是例如下述通式所示的嵌段共聚物。

(1)(A-B)m-X

(2){(A-B)nA}m-X

(3){(B-A)nB}m-X

(式中，A表示以单链烯基芳香族化合物为主体的聚合物嵌段，B表示以共轭二烯化合物为主体的聚合物嵌段，n表示1以上的整数，m表示3以上5以下的整数，X表示3官能以上的偶联剂残基。)

例如(2){(A-B)nA}m-X(n＝2、m＝3)时，A-B-A-B-A为从X向3个方向支出的嵌段共聚物。

作为3官能以上的偶联剂，可以选自例如环氧化大豆油等环氧化合物、三甲氧基硅烷、三乙氧基硅烷、四甲氧基硅烷、四乙氧基硅烷等烷氧基硅烷化合物，四氯化硅、四氯化锡、聚卤代烃化合物、羧酸酯化合物等。从所得的热塑性弹性体的耐热性、所得的喷砂用抗蚀材料的吸湿性的观点出发，优选非卤化物，特别优选为烷氧基硅烷化合物。

另外，前述偶联剂化合物可以单独使用，还可以以2种以上的混合物使用。

从耐喷砂性的观点出发，上述支链状嵌段共聚物的含量优选在嵌段共聚物中尽量多地含有。具体地优选为50质量％以上100质量％以下、更优选为60质量％以上100质量％以下。

上述嵌段共聚物可以通过如下方法以聚合物溶液的形式获得，例如在惰性烃溶剂中，将有机锂化合物作为聚合引发剂使苯乙烯聚合，接着，聚合丁二烯，进而根据情况重复这些操作的方法，从而以聚合物溶液的形式获得。另外，支链状嵌段共聚物可以通过在惰性烃溶剂中，将有机锂化合物作为聚合引发剂使苯乙烯聚合，接着，聚合丁二烯，添加规定量的多官能偶联剂，从而以聚合物溶液的形式获得。

所得的前述溶液在聚合反应结束后，添加水、醇、酸等使活性物种失活。当需要干燥时，例如进行汽提等分离聚合溶剂后，利用热轧辊等进行干燥。

除了上述嵌段共聚物之外，在(a)热塑性弹性体中还可以含有以单链烯基芳香族化合物为主体的1个聚合物嵌段和以共轭二烯化合物为主体的1个聚合物嵌段所构成的嵌段共聚物。

可以根据需要在嵌段共聚物中添加抗氧化剂。抗氧化剂的添加可以为任意方法，该方法例如可以在前述嵌段共聚物的聚合结束后添加到溶液中，还可以在干燥后利用例如轧辊等进行添加混炼。

这种抗氧化剂例如可以举出4，6-双(正辛基硫代甲基)-O-甲酚(IRGANOX 1520L)、4，6-双(正十二烷基硫代甲基)-O-甲酚、2，4-双(苯基硫代甲基)-3-甲基-6-叔丁基苯酚、正十八烷基-3-(3’，5’-二叔丁基-4’-羟基苯基)丙酸酯、2，2’-亚甲基双(4-乙基-6-叔丁基苯酚)、四[亚甲基-3-(3’，5’-二叔丁基-4’-羟基苯基)丙酸酯]-甲烷、1，3，5-三甲基-2，4，6-三(3，5-二叔丁基-4-羟基苄基)苯、2，6-二叔丁基-4-甲基苯酚、2，6-二叔丁基-4-乙基苯酚、2-叔丁基-6-(3-叔丁基-2-羟基-5-甲基苄基)-4-甲基苯基丙烯酸酯、2，4-二叔戊基-6-[1-(3，5-二叔戊基-2-羟基苯基)乙基]苯基丙烯酸酯、2-[1-(2-羟基-3，5-二叔戊基苯基)-乙基]-4，6-二叔戊基苯基丙烯酸酯、3，9-双[2-[3-(3-叔丁基-4-羟基-5-甲基苯基)-丙酰氧基]-1，1-二甲基乙基]-2，4，8，10-四氧螺[5.5]十一烷等受阻酚系化合物，季戊四醇-四-(β-月桂基-硫代丙酸酯)、二月桂基-3，3’-硫代二丙酸酯、二肉豆蔻基-3，3’-硫代二丙酸酯、二硬脂基-3，3’-硫代二丙酸酯等硫系化合物，三(壬基苯基)磷酸酯、环新戊烷四基双(十八烷基磷酸酯)、三(2，4-二叔丁基苯基)磷酸酯等磷系化合物等。这些化合物可以单独使用还可以混合2种以上使用。添加抗氧化剂时的含量为嵌段共聚物中的0.1质量％以上10质量％以下。

(b)光聚合性不饱和单体

本发明的喷砂用抗蚀材料中还可以含有(b)光聚合性不饱和单体。

(b)光聚合性不饱和单体只要是分子内具有不饱和双键、在使用温度下为液状或固体状的化合物，则可以使用任何化合物。

含有(b)光聚合性不饱和单体时的含量在喷砂用抗蚀材料中优选为19质量％以上69质量％以下的范围。从充分发挥光固化性的观点出发，优选为19质量％以上，从发挥优异的耐喷砂性的观点出发，优选为69质量％以下。更优选为29质量％以上59质量％以下。

优选的(b)光聚合性不饱和单体使用反应性高、与各种化合物的相容性高的丙烯酸化合物、甲基丙烯酸化合物。具体例子可以举出(甲基)丙烯酸烷基酯、(甲基)丙烯酸环烷酯、(甲基)丙烯酸卤代烷基酯、(甲基)丙烯酸烷氧基烷基酯、(甲基)丙烯酸羟基烷基酯、(甲基)丙烯酸氨基烷基酯、(甲基)丙烯酸四氢呋喃酯、(甲基)丙烯酸烯丙酯、(甲基)丙烯酸缩水甘油酯、(甲基)丙烯酸苄酯、(甲基)丙烯酸苯氧酯、(甲基)丙烯酸烷二醇酯、(甲基)丙烯酸聚亚氧烷基乙二醇酯、聚(甲基)丙烯酸烷基多元醇酯、(甲基)丙烯酸乙二醇酯、(甲基)丙烯酸四乙二醇酯、(甲基)丙烯酸己二醇酯、(甲基)丙烯酸壬二醇酯、(甲基)丙烯酸羟甲基丙烷、(甲基)丙烯酸甘油酯、(甲基)丙烯酸苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸苯氧基四乙二醇酯、乙醇盐双酚A(甲基)丙烯酸酯、二(甲基)丙烯酸烷基酯、二(甲基)丙烯酸环烷酯、二(甲基)丙烯酸卤代烷基酯、二(甲基)丙烯酸烷氧基烷基酯、二(甲基)丙烯酸羟基烷基酯、二(甲基)丙烯酸氨基烷基酯、二(甲基)丙烯酸四氢呋喃酯、二(甲基)丙烯酸烯丙酯、二(甲基)丙烯酸缩水甘油酯、二(甲基)丙烯酸苄酯、二(甲基)丙烯酸苯氧酯、二(甲基)丙烯酸烷二醇酯、二(甲基)丙烯酸二乙二醇酯、二(甲基)丙烯酸四乙二醇酯、二(甲基)丙烯酸己二醇酯、二(甲基)丙烯酸壬二醇酯、二(甲基)丙烯酸苯氧基乙酯、二(甲基)丙烯酸苯氧基四乙二醇酯、二(甲基)丙烯酸聚氧烷二醇酯、乙醇盐双酚A二(甲基)丙烯酸酯、二(甲基)丙烯酸三环癸二醇酯、三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、三(甲基)丙烯酸甘油酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、聚(甲基)丙烯酸烷基多元醇酯。这里，(甲基)丙烯酸酯是指丙烯酸酯或甲基丙烯酸酯。以下相同。

另外，多元异氰酸酯化合物例如六亚甲基二异氰酸酯、甲苯二异氰酸酯与羟基丙烯酸酯化合物例如(甲基)丙烯酸2-羟基丙酯的二(甲基)丙烯酸尿烷化合物也可以用作光聚合性不饱和单体。

马来酸化改性聚丁二烯、丙烯酸酯改性聚丁二烯、马来酰胺化合物也可以用作光聚合性不饱和单体。马来酰胺化合物的具体例子有月桂基马来酰胺、环己基马来酰胺。

(c)光聚合引发剂

在本发明的喷砂用抗蚀材料中，当含有(b)光聚合性不饱和单体时，还可以含有(c)光聚合引发剂。

(c)光聚合引发剂是吸收光能产生自由基的化合物，可以使用公知的各种物质。具体例子可以举出噻吨酮、2，4-二甲基噻吨酮、2，4-二乙基噻吨酮、2-异丙基噻吨酮、4-异丙基噻吨酮、2，4-二异丙基噻吨酮、2-氟噻吨酮、4-氟噻吨酮、2-氯噻吨酮、4-氯噻吨酮、1-氯-4-丙氧基噻吨酮、2，4-二氯噻吨酮、二乙氧基苯乙酮、2-羟基-2-甲基-1-苯基丙烷-1-酮、苯偶酰二甲基缩酮、苯偶酰二乙基缩酮、苯偶酰二丙基缩酮、苯偶酰二苯基缩酮、1-羟基环己基-苯基酮、2-甲基-2-吗啉代(4-硫代甲基苯基)丙烷-1-酮、2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮、二苯甲酮、4，4’-双(二甲基氨基)二苯甲酮[米希勒酮]、4，4-双(二乙基氨基)二苯甲酮、2，2-二甲氧基-2-苯基苯乙酮、α，α-二甲氧基-α-吗啉代-甲基硫代苯基苯乙酮、苯偶姻甲醚、苯偶姻乙醚、苯偶姻异丙醚、苯偶姻异丁醚、苯偶姻苯醚、2，4，6-三甲基苯甲酰基二苯基氧化膦、双(2，6-二甲氧基苯甲酰基)-2，4，4-三甲基戊基氧化膦、双(2，4，6-三甲基苯甲酰基)-苯基氧化膦、甲基苯甲酰基甲酸酯、1，7-双吖啶基庚烷、9-苯基吖啶、叔丁基蒽醌、2-乙基蒽醌、2-(间氯苯基)-4，5-二苯基咪唑二聚物等双咪唑化合物、苯基甘氨酸、N-苯基甘氨酸、1-苯基-1，2-丙二酮-2-O-苯偶姻肟、2，3-二氧-3-苯基丙酸乙酯-2-(O-苯偶姻羰基)-肟、对二甲基氨基苯甲酸、对二乙基氨基苯甲酸和对二异丙基氨基苯甲酸及它们与醇的酯化物、对羟基苯甲酸酯、3-巯基-1，2，4-三唑等三唑类或四唑类。这些物质可以单独使用，还可以组合2种以上使用。

含有(c)光聚合引发剂时的含量优选为喷砂用抗蚀材料中的0.01质量％以上10质量％以下。从获得充分敏感度的观点出发，优选0.01质量％以上，为了充分地固化感光性树脂层的下层部分，优选为10质量％以下、更优选为0.1质量％以上、8质量％以下。

另外，在本发明的感光性树脂组合物中除了前述必须成分之外，还可以组合使用直链上具有3个以上嵌段的苯乙烯丁二烯嵌段共聚物、苯乙烯异戊二烯嵌段共聚物。另外，可以根据需要添加各种辅助添加成分，例如增塑剂、热阻聚剂、紫外线吸收剂、防光晕剂、光稳定剂等。

增塑剂可以举出常温下具有流动性的液状物，环烷油、石蜡油等烃油，液状聚丁二烯、液状聚异戊二烯、液状聚丁二烯的改性物、液状丙烯腈-丁二烯共聚物、液状苯乙烯-丁二烯共聚物、数均分子量2000以下的聚苯乙烯、癸二酸酯、苯二甲酸酯等。液状聚异戊二烯橡胶市售有LIR-305(KURARAYCO.，LTD制、商品名)，液体石蜡市售有Hydrocarbon SmoilP350P(村松石油制、商品名)。还可以在这些组成上赋予光聚合性的反应基团。

作为热阻聚剂例如可以举出对甲氧基苯酚、氢醌、连苯三酚、萘胺、叔丁基邻苯二酚、氯化亚铜、2，6-二叔丁基-对甲酚、2，2’-亚甲基双(4-乙基-6-叔丁基苯酚)、2，2’-亚甲基双(4-甲基-6-叔丁基苯酚)。含有热阻聚剂时的添加量为喷砂用抗蚀材料中的0.1质量％以上10质量％以下。

本发明的喷砂用抗蚀材料可以添加能够溶解喷砂用抗蚀材料的溶剂并制成溶液。作为溶剂只要是能够溶解喷砂用抗蚀材料则并无特别限定。这种溶剂例如可以举出氯仿、四氯乙烯等氯系有机溶剂，甲乙酮、甲苯、二甲苯、十氢化萘等烃系溶剂，丙醇、丁醇、戊醇等醇系有机溶剂，以及甲乙酮、丙酮、正甲基吡咯烷酮、二甲亚砜、二甲基甲酰胺、四氢呋喃等。这些溶剂可以单独使用，还可以混合2种以上使用。

溶剂的添加量优选按照含有喷砂用抗蚀材料的溶液的粘度在25℃达到100～20000mPa·s ec的方式将溶剂添加到感光性树脂组合物中。

另外，本发明的喷砂用抗蚀材料还可以在支撑体上层叠本发明喷砂用抗蚀材料所构成的层，制成薄膜。

这里所用的支撑体优选为透射由曝光光源放射的光的透明支撑体。这种支撑体可以举出聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚乙烯醇薄膜、聚氯乙烯薄膜、氯乙烯共聚物薄膜、聚偏氯乙烯薄膜、偏氯乙烯共聚薄膜、聚甲基丙烯酸甲酯共聚物薄膜、聚苯乙烯薄膜、聚丙烯腈薄膜、苯乙烯共聚物薄膜、聚酰胺薄膜和纤维素衍生物薄膜等。这些薄膜还可以根据需要使用经拉伸的薄膜。优选雾值为5以下。薄膜的厚度薄者在图像形成性和经济性方面有利，但由于需要维持强度等，因此优选使用10～30μm。

作为在支撑体上层叠本发明喷砂用抗蚀材料所构成的层的方法可以通过各种方法进行。例如，可以用上述适当溶剂溶解喷砂用抗蚀材料，使用棒涂机或辊涂机进行涂布、干燥，从而制作；或者可以不使用溶剂，利用捏合机或辊磨机混炼喷砂用抗蚀材料后，挤出成型，通过加压等成形在支撑体上而制作。

层叠时的由喷砂用抗蚀材料所构成的层的膜厚优选为0.1μm以上100μm以下。从发挥优异的耐喷砂性的方面出发，优选0.1μm以上，从发挥充分分辨率的方面出发优选100μm以下。更优选为1μm以上50μm以下。进一步优选为5μm以下40μm以下。

在支撑体上层叠有本发明喷砂用抗蚀材料的膜，还可以根据需要层叠保护膜。当依次层叠支撑体、喷砂用抗蚀材料所构成的层和保护层而制作薄膜时，该保护层的必要特性如下:由喷砂用抗蚀材料形成的层与保护层的密合力充分小于支撑体与喷砂用抗蚀材料形成的层的密合力。密合力小时，保护层可以容易地剥离。这种薄膜例如可以使用聚乙烯薄膜、聚丙烯薄膜、聚酯薄膜和日本特开昭59-202467号公报所公开的剥离性优异的薄膜。保护层的膜厚优选为10～100μm、更优选为10～50μm。

本发明的喷砂用抗蚀材料有具有粘合性的情况。此时，为了避免粘合性所导致的研磨剂的附着，还可以在支撑体与喷砂用抗蚀材料之间设置可溶于溶剂的、薄可挠性的保护层(例如参照日本特公平5-13305号公报)。

作为可溶于溶剂的、薄的可挠性的保护层，例如可以举出聚酰胺、部分皂化的聚醋酸乙烯酯、纤维素酯等。还可以将这些保护层用材料溶解于适当的溶剂中而直接涂布在喷砂用抗蚀材料层的表面；或者还可以在支撑体上预先涂布该可挠性保护层用材料。

接着，详细说明本发明的表面加工方法。

本发明的表面加工方法为通过喷砂用抗蚀材料在被加工基材上形成抗蚀图案后进行喷砂处理的方法。

作为通过喷砂用抗蚀材料在被加工基材上形成抗蚀图案的方法，可以举出通过热加压形成喷砂用抗蚀材料，并将其粘贴在被加工基材上的方法；印刷含有喷砂用抗蚀材料的溶液的方法等。作为印刷方法，例如可以举出丝网印刷、凸版印刷、平版印刷等。

利用丝网印刷形成抗蚀图案的方法是指:使设有图案孔的掩模板(丝网版)接触于被加工基材，将含有喷砂用抗蚀材料的溶液供至掩模板上，振动涂刷器，从而经由图案孔在被加工基材上印刷含有喷砂用抗蚀材料的溶液的方法。

利用凸版印刷形成抗蚀图案的方法是指:使含有本发明喷砂用抗蚀材料的溶液附着于具有表面凹凸的版(凸版)的凸部，将其转移至被加工基材上，从而在被加工基材上印刷含有喷砂用抗蚀材料的溶液的方法。

利用平版印刷形成抗蚀图案的方法是指:使含有本发明喷砂用抗蚀材料的溶液容纳于由亲油性图像部和亲水性非图像部构成的印刷版(平版)的亲油性图像部，然后，将其转移至被加工基材上，从而将含有喷砂用抗蚀材料的溶液印刷至被加工基材上的方法。

在上述各印刷方法中，当印刷于被加工基材上者为溶液时，优选在进行印刷后设置将该溶液所含的溶剂干燥的工序。

在被加工基材上形成抗蚀图案的以下方法为直接描绘含有喷砂用抗蚀材料的溶液的方法。直接描绘为印刷的一种，特别是从喷嘴喷出含有喷砂用抗蚀材料的溶液以制成抗蚀剂后，将必要部分涂布、形成于被加工基材上。这种方法可以举出喷墨方式、利用分散方式的喷涂、利用绘图仪等进行描绘等。

另外，将含有喷砂用抗蚀材料的溶液印刷或利用旋涂机等的涂布机涂布在被加工基材上后，或者使用层叠有喷砂用抗蚀材料所构成的层的薄膜、层叠该抗蚀材料所构成的层后，即便利用激光加工也可以形成抗蚀图案。这种激光例如使用准分子激光或UV-YAG激光。

利用激光进行加工是指利用激光烧飞作为抗蚀不需要的部分，从而残留作为抗蚀必要的部分。

然后，还可以利用激光加工喷砂用抗蚀材料，预先形成抗蚀图案后，粘贴在被加工基材上，形成抗蚀图案。

当通过使用含有(a)热塑性弹性体、(b)光聚合性不饱和单体和(c)光聚合引发剂的感光性树脂组合物，制成具有感光性的喷砂用抗蚀材料时，除了上述方法，即便通过下述方法，也可以在被加工基材上形成微细的抗蚀图案。

作为形成抗蚀图案的方法有:使用旋涂机、模涂机、辊涂机等将感光性树脂组合物涂布在被加工基材上，进行曝光、显影，形成抗蚀图案的方法；以及制作感光性树脂层叠体，将其层压在被加工基材上，进行曝光、显影，形成抗蚀图案的方法。

详细地说明使用感光性树脂层叠体的方法。首先制作由感光性树脂和支撑该层的支撑体所构成的感光性树脂层叠体。此时，还可以根据需要在与感光性树脂层的支撑体相反侧的表面上具有保护层。

这里所用的支撑体优选透射从曝光光源放射的光的透明支撑体。这种支撑体可以举出聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚乙烯醇薄膜、聚氯乙烯薄膜、氯乙烯共聚物薄膜、聚偏氯乙烯薄膜、偏氯乙烯共聚薄膜、聚甲基丙烯酸甲酯共聚物薄膜、聚苯乙烯薄膜、聚丙烯腈薄膜、苯乙烯共聚物薄膜、聚酰胺薄膜和纤维素衍生物薄膜等。这些薄膜还可以使用根据需要经拉伸的薄膜。优选雾值为5以下。薄膜的厚度薄者在图像形成性和经济性方面有利，但由于需要维持强度等，因此优选使用10～30μm。

另外，感光性树脂层叠体所用的保护层的重要特性为与感光性树脂层的密合力充分小于支撑体，可以容易地剥离。例如，可以优选使用聚乙烯薄膜和聚丙烯薄膜等作为保护层。另外，可以使用日本特开昭59-202457号公报所公开的剥离性优异的薄膜。保护层的膜厚优选为10～100μm、更优选为10～50μm。

依次层叠支撑体、感光性树脂层和根据需要的保护层来制作本发明感光性树脂层叠体的方法，可以采用以往已知的方法。

例如，将感光性树脂层所用的感光性树脂组合物预先制成前述感光性树脂组合物调和液，首先使用棒涂机或辊涂机涂布在支撑体上将其干燥，在支撑体上层叠由该感光性树脂组合物所构成的感光性树脂层。接着，可根据需要，在该感光性树脂层上层叠保护层，从而制作感光性树脂层叠体。

还可以经过以下工序在被加工基材上加工微细图案:层压工序，其边剥离该层叠薄膜的保护层，边使用加热辊层压器将感光性树脂层密合于被加工基材上的；曝光工序，其使具有所需微细图案的光掩模密合于支撑体上，使用活性光线源实施曝光；显影工序，其剥离支撑体后使用显影液，溶解除去感光性树脂层的未曝光部分，在被加工基材上形成微细的抗蚀图案；喷砂处理工序，其从所形成的抗蚀图案上喷涂研磨剂，将被加工基材切削至目标深度；抗蚀除去工序将残留于被加工基材上的抗蚀图案部分从被加工基材上除去。

作为在前述曝光工序中使用的活性光线源，可以举出高压汞灯、超高压汞灯、紫外线荧光灯、碳弧灯、氙灯等。为了提高所得抗蚀图案的分辨率、密合性，还可以在曝光工序之后设置加有热处理的曝光后烘焙工序。曝光后烘焙工序的温度优选为50～100℃、时间优选为1～60分钟。

另外，为了获得更微细的抗蚀图案，更优选使用平行光光源。当要极力减少废物或杂质的影响时，还有在使光掩模浮于支撑体上数十～数百μm的状态下进行曝光(接近式曝光)的情况。

另外，在曝光工序中，还可以在剥离支撑体后进行曝光。

作为在前述显影工序中所使用的显影溶剂，可以举出醋酸庚酯、醋酸3-甲氧基丁酯等酯类，石油馏分、甲苯、十氢化萘等烃类，四氯乙烯等氯系有机溶剂中混合有丙醇、丁醇、戊醇等醇类的溶剂。显影工序的显影液的温度优选为25～40℃、时间优选为10～600秒钟。

为了提高所得抗蚀图案的密合性，还可以在显影工序后设置加有热处理的显影后烘焙工序。显影后烘焙工序的温度优选为50～200℃、时间优选为1～60分钟。

喷砂处理中使用具有吸气式或直压式的喷射装置的喷砂机(空气压力优选为0.15MPa以上、更优选为0.20MPa以上、进一步优选为0.30MPa以上)，从能够在更高压的空气下加工的方面出发，直压式有利。作为研磨剂例如可以优选使用S iC(商品名:カ—ボランダム)、氧化铝(商品名:アランダム)、氧化锆、锆英石、铁、玻璃、不锈钢、石榴石、陶瓷、硼碳化物。研磨剂粒径优选使用为0.1以上20μ以下。更优选为0.1以上10μ以下。

喷砂处理后，有除去喷砂用抗蚀材料的必要，此时可以通过溶剂溶解除去、或通过烧成而烧飞、或利用胶带剥离的方法等。

实施例

以下示出热塑性弹性体的分析方法、实施例和比较例的抗蚀图案的形成方法和喷砂加工结果。

1.热塑性弹性体的分析方法

(1)嵌段共聚物中的苯乙烯含量

使用紫外线分光光度计(日立UV200)，通过262nm的吸收强度计算出。

(2)嵌段共聚物的数均分子量、以及以单链烯基芳香族化合物为主体的聚合物嵌段和支链状嵌段共聚物的总嵌段共聚物中的含量

通过GPC(装置:Waters Corporation公司制；色谱柱:组合3根Polymer Laboratories Ltd.公司制的MINIMIX。溶剂使用四氢呋喃；测定条件为温度35℃、流速0.4ml/分钟、试样浓度0.1重量％、注入量40μl。)的色谱图，由图的面积比例求出以单链烯基芳香族化合物为主体的聚合物嵌段和支链状嵌段共聚物的总嵌段共聚物中的含量。另外，数均分子量为由以下的标准聚苯乙烯(Waters Corporation公司制。1.54×10⁶、4.1×10⁵、1.10×10⁵、3.5×10⁴、8.5×10³、1.8×10³)标准曲线的换算值。

2.实施例1、3、4的抗蚀图案的形成方法

(1)(a)热塑性弹性体的制造方法-1

将带有套管和搅拌机的10L不锈钢制反应器充分氮气置换后，加入6500g环己烷、1.2g四氢呋喃、220g苯乙烯，在套管中通入温水将内容物设定在约55℃。之后，添加正丁基锂环己烷溶液(纯组分1.25g)，开始苯乙烯的聚合。当苯乙烯几乎完全聚合起3分钟后，添加780g丁二烯(1，3-丁二烯)继续聚合，丁二烯几乎完全聚合，在最高温度达到约90℃起4分钟后，添加0.92g四甲氧基硅烷作为偶联剂，发生偶联反应。从加入苯乙烯后不久至偶联反应完成，利用搅拌机连续地搅拌体系内。

抽出所得的嵌段共聚物溶液，添加10g水，搅拌后添加3.0g正十八烷基-3-(3’，5’-二叔丁基-4’-羟基苯基)丙酸酯、1.5g4，6-双(正辛基硫代甲基)-O-甲酚(IRGAN OX1520L)，将所得该溶液汽提，从而将溶剂除去并获得含水粗品。接着，通过热轧辊将所得含水粗品脱水干燥，获得热塑性弹性体(a-1)。

分析所得的热塑性弹性体(a-1)的结果如下:苯乙烯(单链烯基芳香族化合物)在总嵌段共聚物的含量为22质量％。另外，所得的热塑性弹性体的嵌段共聚物中含有支链状嵌段共聚物。支链状嵌段共聚物在总嵌段共聚物中的含量为82质量％。支链状嵌段共聚物的数均分子量为270000。

(2)(a)热塑性弹性体的制造方法-2

将带有套管和搅拌机的10L不锈钢制反应器充分氮气置换后，加入6500g环己烷、1.2g四氢呋喃、220g苯乙烯，在套管中通入温水将内容物设定在约55℃。之后，添加正丁基锂环己烷溶液(纯组分1.25g)，开始苯乙烯的聚合。当苯乙烯几乎完全聚合3分钟后，添加780g丁二烯(1，3-丁二烯)继续聚合，丁二烯几乎完全聚合。加入苯乙烯后不久，其间，用搅拌机连续地搅拌体系内。

抽出所得的嵌段共聚物溶液，添加10g水，搅拌后添加3.0g正十八烷基-3-(3’，5’-二叔丁基-4’-羟基苯基)丙酸酯、1.5g4，6-双(正辛基硫代甲基)-O-甲酚(IRGANOX1520L)，将所得该溶液汽提，从而将溶剂除去获得含水粗品。接着，通过热轧辊将所得含水粗品脱水干燥，获得热塑性弹性体(a-2)。

分析所得的热塑性弹性体(a-2)的结果如下:苯乙烯(本发明中说的单链烯基芳香族化合物)在总嵌段共聚物中的含量为22质量％。

所得的热塑性弹性体的嵌段共聚物中不含支链状嵌段共聚物。

(3)含有热塑性弹性体的溶液的制作方法

相对于100质量份所得的(a-1)(a-2)的热塑性弹性体添加300质量份甲苯后，进行搅拌，制作25质量％的溶液。另一方面，相对于100质量份作为聚酯系弹性体的ペルプレン(注册商标)S型(东洋纺株式会社制、以下称为s-1)同样添加300质量份甲苯后，搅拌，制作25质量％的溶液。

(4)抗蚀图案的形成方法

将含有所得的热塑性弹性体(a-1)(a-2)(s-1)的溶液丝网印刷在5英寸尺寸的硅片上，制作厚20微米、宽100微米、长10mm的夹缝形状的抗蚀图案。将使用含有热塑性弹性体(a-1)的溶液形成抗蚀图案的硅片作为实施例1、使用含有热塑性弹性体(a-2)的溶液形成抗蚀图案的硅片作为实施例3、使用含有热塑性弹性体(s-1)的溶液形成有抗蚀图案的硅片作为实施例4。

3.实施例2的抗蚀图案的形成方法。

将实施例1所得的含有热塑性弹性体(a-1)的溶液旋涂于5英寸尺寸的硅片上，全面形成厚20μm热塑性弹性体所构成的层。之后，在下述条件下用UV-YAG激光对热塑性弹性体所构成的层实施加工，制作宽100μm、长10mm的夹缝形状的抗蚀图案。此时，仅加工热塑性弹性体所构成的层，硅片未经激光加工。

<UV-YAG激光加工条件>

·UV-YAG激光加工装置(Takano Co.，Ltd.制)

·激光:UV-YAG4次高频率(266nm)

·激光输出:17.5mW

·激光斑点直径:25μm

·加工速度:10mm/秒

4.实施例5的抗蚀图案的形成方法

(1)感光性树脂层叠体的制作

相对于100质量份混合有下述7种材料的感光性树脂组合物，添加300质量份甲苯，制作溶液后，采用厚19μm的聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜作为支撑体，使用棒涂机均匀地涂布所得溶液，在90℃的干燥机中干燥2分钟，形成厚20μm的感光性树脂层。进而，在感光性树脂层上粘贴厚30μm的聚乙烯薄膜作为保护层，获得感光性树脂层叠体。

热塑性弹性体(a-1)                          :55质量份

液体橡胶LIR-305(KURARAY CO.，LTD制、商品名):25质量份

Hydrocarbon Smoil P350P(村松石油制、商品名):10质量份

1，9-壬二醇二丙烯酸酯                      :3.0重量部

1，9-壬二醇二甲基丙烯酸酯                  :5.0重量部

2，2-二甲氧基-2-苯基苯乙酮                 :1.5质量份

2，6-二叔丁基对甲酚                        :0.5质量份

(2)抗蚀图案的形成方法

一边剥离所得感光性树脂层叠体的聚乙烯薄膜，一边利用热辊层压机(ASAHI KASEI ENGINEERING CORPORATION制的“AL70”)在105℃下、带有支撑体的状态下，在5英寸尺寸的硅片上层压感光性树脂层。空气压力为0.35MPa，层压速度为1.0m/min。

接着，隔着支撑体通过光掩模用超高压汞灯(ORCMANUFACTURING CO.，LTD.制HMW-801)以300mJ/cm²对感光性树脂层进行曝光。

然后在剥离支撑体后，喷雾25℃的醋酸3-甲氧基丁酯1分钟，将感光性树脂层的未曝光部分溶解除去，之后在60℃下干燥2小时，制作厚20μm、宽100μm、长10mm的夹缝形状的抗蚀图案。

5.比较例1的抗蚀图案的形成方法

(1)尿烷预聚物A的制造方法

将200质量份聚(1，4-丁二醇己二酸酯)二醇(羟基值112.2)和作为催化剂的0.01质量份二丁基锡二月桂酯装入到反应容器中，充分混合。在其中添加51.4质量份异佛尔酮二异氰酸酯，充分搅拌，将外部温度从40℃升温至80℃，直接反应约5小时后，添加8质量份丙烯酸2-羟基乙酯(分子量116)，充分搅拌。反应约2小时后，停止反应，获得尿烷预聚物A。尿烷预聚物A的数据分子量为15000。

(2)感光性抗蚀干膜的制作

混合下述P-1至U-1所示的10种材料，制作感光性树脂组合物的溶液F-1后，使用棒涂机将所得溶液均匀地涂布在厚度19微米的聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜上，在90℃的干燥机中干燥2分钟，形成厚20微米的感光性树脂层。进而，在该感光性树脂层上粘贴厚30μm的聚乙烯薄膜，获得感光性抗蚀干膜。

P-1:具有甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯/丙烯酸正丁酯(重量比25/65/10)的组成、重均分子量为80000的共聚物固体成分为35质量％的甲乙酮溶液:114.3质量份

M-1:三乙氧基三羟甲基丙烷三丙烯酸酯:7.5质量份

M-2:六亚甲基二异氰酸酯与三丙二醇单甲基丙烯酸酯的尿烷化物:7.5质量份

I-1:苯偶酰二甲基缩酮:1质量份

I-2:二苯甲酮:1质量份

I-3:2-(邻氯苯基)-4，5-二苯基咪唑二聚物:2质量份

I-4:4，4’-(二乙基氨基)二苯甲酮:0.2质量份

D-1:隐色结晶紫:0.75质量份

D-2:孔雀石绿:0.05质量份

U-1:尿烷预聚物A:40质量份

(3)抗蚀图案的形成方法

一边剥离所得感光性树脂层叠体的聚乙烯薄膜，一边利用加热辊层压机(ASAHI KASEI ENGINEERING CORPORATION制“AL-70”)、在105℃下层压在5英寸尺寸的硅片上。空气压力为0.35MPa、层压速度为1.0m/min。

接着，隔着支撑体通过光掩模用超高压汞灯(ORCMANUFACTURING CO.，LTD.制HMW-801)以200mJ/cm²对感光性树脂层进行曝光。

然后在剥离支撑体后，规定时间喷雾30℃的0.4质量％碳酸钠水溶液，将感光性树脂层的未曝光部分溶解除去，结果制作厚20μm、宽100μm、长10mm的夹缝形状的抗蚀图案。

6.比较例2的抗蚀图案的形成方法

(1)溶液的制作方法

相对于99质量份聚酯丙烯酸酯M-8100(东亚合成株式会社)添加1质量份过氧化苯甲酰和300质量份甲乙酮后，进行搅拌，制作25质量％的溶液。从而获得热固化性弹性体的溶液。

(2)抗蚀图案的形成方法

将所得溶液丝网印刷在5英寸尺寸硅片上，制作厚20微米、宽100微米、长10mm的夹缝形状的抗蚀图案。形成图案后，加热至200℃，完全地将聚酯丙烯酸酯热固化。

7.进行喷砂处理的表面加工结果

将表面加工结果示于表1。实施例1～5中，对硅片加工成晶片表面部分的开口为105微米、长10mm、至所加工的底面部分的深度为40～150μm的沟状。另一方面，比较例1的抗蚀图案在连续实施加工次数为2次的加工的阶段中，抗蚀图案磨耗，无法在晶片上形成沟状图案。即，本发明的喷砂用抗蚀材料显示出与以往的抗蚀材料相比，具有显著的耐喷砂性。

<喷砂处理条件>

·加工装置:ELP-1TR(Elfotec Ltd.制)

·研磨剂:GC(Green Carborundum)#2000(不二制作所公司制造)

·研磨剂喷射量:20rpm

·喷嘴种类:圆φ5

·喷嘴-基板间距离:70mm

·研磨剂送压空气压力:0.215MPa

·管内压:0.195MPa

·传送带速度:20mm/min.

·喷嘴速度:5m/min.

产业实用性

本发明涉及新型的喷砂用抗蚀材料，即便在利用高压空气喷射研磨剂时也难以磨耗，适于脆性材料例如玻璃、硅片、陶瓷、PZT、水晶或蓝宝石这样的被加工基材的加工。

Claims (15)

1.一种喷砂用抗蚀材料，其含有(a)热塑性弹性体。

2.根据权利要求1所述的喷砂用抗蚀材料，其特征在于，进一步含有(b)光聚合性不饱和单体和(c)光聚合引发剂。

3.根据权利要求1或2所述的喷砂用抗蚀材料，其特征在于，上述(a)热塑性弹性体包含嵌段共聚物，该嵌段共聚物由以单链烯基芳香族化合物为主体的至少2个聚合物嵌段和以共轭二烯化合物为主体的至少1个聚合物嵌段形成。

4.根据权利要求3所述的喷砂用抗蚀材料，其特征在于，上述嵌段共聚物为支链状嵌段共聚物。

5.一种溶液，其含有权利要求1或2所述的喷砂用抗蚀材料。

6.一种薄膜，其在支撑体上层叠了由权利要求1或2所述的喷砂用抗蚀材料形成的层。

7.一种表面加工方法，其特征在于，通过权利要求1或2所述的喷砂用抗蚀材料在被加工基材上形成抗蚀图案后，进行喷砂处理。

8.一种表面加工方法，其特征在于，在被加工基材上印刷权利要求5所述的溶液而形成抗蚀图案，进行喷砂处理。

9.一种表面加工方法，其在被加工基材上直接描绘权利要求5所述的溶液而形成抗蚀图案，进行喷砂处理。

10.一种表面加工方法，其在被加工基材上涂布权利要求5所述的溶液，利用激光进行加工以形成抗蚀图案，进行喷砂处理。

11.一种表面加工方法，其将由权利要求1所述的喷砂用抗蚀材料形成的层层叠在支撑体上而形成的薄膜层叠到被加工基材上，以使由该喷砂用抗蚀材料形成的层接触到被加工基材上，剥离支撑体，利用激光进行加工以形成抗蚀图案，进行喷砂处理。

12.一种表面加工方法，其在被加工基材上涂布含有权利要求2所述喷砂用抗蚀材料的溶液，进行曝光、显影，形成抗蚀图案，进行喷砂处理。

13.一种表面加工方法，其将权利要求2所述的喷砂用抗蚀材料层叠在支撑体上而形成的薄膜层叠到被加工基材上，以使由该喷砂用抗蚀材料形成的层接触到被加工基材上，进行曝光，剥离支撑体，显影以形成抗蚀图案，进行喷砂处理。

14.一种表面加工方法，其将权利要求2所述的喷砂用抗蚀材料层叠在支撑体上而形成的薄膜层叠到被加工基材上，以使由该喷砂用抗蚀材料形成的层接触到被加工基材上，剥离支撑体，进行曝光、显影以形成抗蚀图案，进行喷砂处理。

15.一种含有热塑性弹性体的材料作为对喷砂处理的抗蚀材料的用途。