CN101341393B - 用于测量正在移动的玻璃基板的厚度的在线厚度规及其方法 - Google Patents

Abstract

本文描述了一种在线厚度规(OLTG)和方法，能够测量正在移动的玻璃基板的厚度。在较佳的实施方式中，该OLTG包括Y-导向装置和稳定单元，分别用于抓住正在移动的玻璃基板并使其稳定。该OLTG还包括含激光光源和检测器的激光仪器。该激光光源朝着正在移动的玻璃基板的前表面发射光束。该检测器接收两束光，其一是由正在移动的玻璃基板的前表面反射的，另一束光是由正在移动的玻璃基板的后表面反射的。该OLTG还包括处理器，该处理器分析由检测器接收到的两束光以确定这两束光之间的距离，然后，该距离被用于确定正在移动的玻璃基板的厚度。

Description

用于测量正在移动的玻璃基板的厚度的在线厚度规及其方法

有关申请的交叉参照

本申请要求2005年1月11日提交的题为“On-Line Thickness Gauge andMethod for Measuring the Thickness of a Moving Glass Substrate”的美国申请11/034,172的优先权，该申请全文引用在此作为参考。

技术领域

本发明涉及能够测量正在移动的玻璃基板(玻璃板)的厚度的在线厚度规(OLTG)和方法。

背景技术

可用在像平板显示器这类设备中的玻璃基板(例如，LCD玻璃基板)的制造商不断地试图改善他们的玻璃制造工艺/系统，使得他们能够制造出厚度更均匀的玻璃基板。为了制造厚度更均匀的玻璃基板，若制造商能在制造玻璃基板的同时精确地确定玻璃基板的厚度，则将非常有益。如果这可以实现，则制造商能够使用该厚度信息实时地调节并更好地控制玻璃制造工艺/系统，使得他们可以制造出厚度更均匀的玻璃基板。本发明的主题是在制造玻璃基板的同时能够测量玻璃基板厚度的在线厚度规(OLTG)和方法。

发明内容

本发明包括能够测量正在移动的玻璃基板的厚度的OLTG和方法。在较佳的实施方式中，该OLTG包括Y-导向装置和稳定单元，它们分别用于抓住正在移动的玻璃基板并使之稳定。该OLTG还包括含激光光源和检测器的激光仪器。该激光光源朝正在移动的玻璃基板的前表面发射光束。该检测器接收两束光，其一是由正在移动的玻璃基板的前表面反射的，另一束是由正在移动的玻璃基板的后表面反射的。该OLTG还包括处理器，该处理器分析由该检测器接收到的两束光以确定这两束光之间的距离，然后利用该距离确定正在移动的玻璃基板的厚度。

附图说明

结合附图参照下面的详细描述，可以对本发明作更完整的理解：

图1是示出了可以包括本发明的OLTG的典型玻璃制造系统的方框图；

图2A-2C分别示出了本发明的OLTG的前视图、左视图和顶视图；

图3示出了本发明的OLTG所获得的厚度数据以及传统离线厚度测量规所获得的厚度数据；

图4-11更详细地示出了本发明的OLTG的不同组件；以及

图12是示出了根据本发明测量正在移动的玻璃基板的厚度的较佳方法的基本步骤的流程图。

具体实施方式

参照图1-12，揭示了根据本发明的OLTG 102和方法1200，该OLTG和该方法能够测量正在移动的玻璃基板155(玻璃板155)的厚度。在描述OLTG 102和方法1200之前，先对典型的玻璃制造系统100进行简短的讨论，该系统使用熔融工艺制造玻璃基板155并且还可以包括并使用OLTG 102和方法1200，再描述OLTG 102和方法1200。尽管本文所描述的玻璃制造系统100使用熔融工艺制造玻璃基板155，但是应该理解任何类型的玻璃制造系统都可以包括并使用OLTG 102和方法1200。因此，不应该以限制方式来解释本发明的OLTG102和方法1200。

参照图1，示出了使用熔融工艺制造玻璃基板155的典型玻璃制造系统100的示意图。玻璃制造系统100包括熔融容器110、精练容器115、混合容器120(例如，搅拌腔120)、输送容器125(例如，辊筒(bowl)125)、形成容器135(例如，隔离管(isopipe)135)、拉辊组件140、划线装置150、输送机系统152和OLTG 102。

在熔融容器110中，如箭头112所示引入成批玻璃材料并使其形成熔融玻璃126。精练容器115(例如精练炉管子115)具有高温处理区域，该区域接收来自熔融容器110的熔融玻璃126(此处未示出)并且从熔融玻璃126中除去气泡。精练容器115通过精炼炉到搅拌腔连接管122，连接到混合容器120(例如，搅拌腔120)。混合容器120通过搅拌腔到辊筒连接管127，连接到输送容器125。输送容器125通过下导管130将熔融玻璃126输送到入口132并且进入形成容器135(例如，隔离管135)。形成容器135包括用于接收熔融玻璃126的开口136，该熔融玻璃126流入料槽137，接着溢出，并且用完两个侧面138a和138b才在根部139处熔融在一起。在根部139处，两个侧面138a和138b连在一起，熔融玻璃126的两个溢出壁重新相连(例如，重新熔融)，之后才由拉辊组件140向下拉伸从而形成玻璃基板155。划线装置150随后将拉伸的玻璃基板155切割成分立的玻璃基板片155，输送机系统152将分立的玻璃基板片155向OLTG 102传送并且使这些玻璃基板穿过OLTG 102。至此，符合期望的玻璃基板155被封装并运输给客户。

参照图2A-2C，有三张图分别示出了本发明的OLTG 102的前视图、左视图和顶视图。如图所示，OLTG 102包括Y-导向装置204和稳定单元206，它们分别用于在输送机系统152正在移动玻璃板155时抓住玻璃板155并使其稳定(参照图2C)。OLTG 102还包括激光仪器208，该激光仪器208包含激光光源210和检测器212。激光光源210朝正在移动的玻璃基板155的前表面217发射光束214。检测器212接收由正在移动的玻璃基板155的前表面217反射的第一光束216a。另外，检测器212接收由正在移动的玻璃板155的后表面219反射的第二光束216b(参照图2B)。OLTG 102还包括处理器218(计算机218)，处理器218分析这两束光216a和216b以确定这两束光216a和216b之间的距离“d”。然后，处理器218使用测得的距离“d”确定正在移动的玻璃基板155的厚度“t”(参照图2B)。在较佳的实施方式中，处理器218通过使用下列方程来确定正在移动的玻璃基板155的厚度“t”：

t＝d/[2cosθ_incidencetan[sin^-1((n_air/n_glass)sinθ_incidence)]]

其中：

t＝正在移动玻璃基板155的厚度；

d＝检测器212所接收到的光束216a和216b之间的距离；

n_air＝空气的折射率；

n_glass＝玻璃基板155的折射率；以及

θ_incidence＝光束214与正在移动的玻璃基板155的前表面217相交的入射角。

应该理解，处理器218可以是与激光仪器208相分离的单元(如图所示)。或者，处理器218可以是激光仪器208的一部分(未示出)。或者，在另一个备选实施方式中，除了处理器218(它可以是或者不是激光仪器208的一部分)以外，本发明还可以使用外部计算机(未示出)。

在较佳的实施方式中，激光仪器208是激光三角剖分传感器208。激光传感器208需要玻璃基板155定位成与它相垂直，还需要使玻璃基板155位于离它大约28mm+/-2mm远，以便能够获得精确的测量。为了确保玻璃基板155相对于激光传感器208恰当地定位，使用Y导向装置204将玻璃板155引导至一系列接触轮子220，这些轮子是稳定单元206的一部分。稳定单元206除去玻璃基板155中的水平弓度，所以激光传感器208可以尽可能地靠近轮子220，这转而使玻璃基板155中的垂直弓度的效应达到最小。这是一种方式，激光传感器208可以相对于正在移动的玻璃基板155进行恰当地定位，所以它可以获得精确的测量。

在本实施方式中，稳定单元206包括编码器222，在激光传感器208正在生成厚度读数时该编码器222被用于测量玻璃基板155上的位置。编码器222附着于稳定单元206的皮带驱动轮220之一上。处理器218通过了解附着的轮子220的直径并了解来自编码器222的计数，便可以随后将该计数转换成以毫米(例如)为单位的距离读数。这样，处理器218可以确定在玻璃基板155的宽度方向上一已知的位置处玻璃基板155的厚度“t”。因此，处理器218可以产生玻璃基板155的分布图，该图包含多个数据对构成的阵列，每一对数据对包括厚度测量结果和玻璃基板155上测量该厚度的相应位置(参照图3)。

参照图3，示出了从OLTG 102中获得的厚度数据302以及从离线厚度测量系统中获得的厚度数据304。离线系统需要将样品从生产线中取出，并以破坏性的方式测量该厚度。因为离线规是破坏性测试，所以可以应用更具侵略性的方法来控制玻璃板的位置；另外，可以按较慢的速度来进行测量从而提高厚度数据和编码器位置的精确度。下面参照图4-11详细描述OLTG 102的较佳实施方式和备选实施方式。

1.OLTG 102(在线厚度规102)的描述

1.1 目的和功能

OLTG 102的主要目的是：在玻璃基板155被打包且运输给客户之前，测量玻璃基板155的厚度分布。OLTG 102的另一个目的是：当玻璃基板155在生产输送机152上前进时，测量玻璃基板155的厚度。OLTG 102一旦检测到玻璃基板155的存在时，将自动地启动并执行测量循环。这样，玻璃基板155便在没有任何人工处理的情况下获得测量。这很重要，因为随着玻璃基板155尺寸的增大，人工处理并运输玻璃基板155变得更困难。

从OLTG 102中获得的测量数据是在玻璃基板155的宽度方向上特定位置处的玻璃厚度“t”。因此，可以产生玻璃分布图即多个数据对构成的阵列，其中每对数据对由f(宽度位置，玻璃厚度)指定。本发明的优点在于，通过使用来自OLTG 102的真实厚度反馈，便可以自动地控制FDM 140的速度。这将使人们能够更佳地控制玻璃厚度，同时还减少其它工艺变化。

1.2 操作的理论

当玻璃基板155在激光传感器208之前穿行而过时，通过测量玻璃厚度“t”，OLTG 102便获得了玻璃分布图。激光传感器208能够通过使用来自激光束214的反射和折射来确定玻璃厚度“t”(参照图2B)。

1.2.1 设置/操作标准

玻璃基板155在输送机系统152上前进，输送机系统152夹紧玻璃的顶部，同时玻璃的其余部分从夹紧处向下悬着(参照图2A)。玻璃基板155因工艺和其它环境因素而并未完全垂直地悬着。

1.2.2 测量顺序

当玻璃基板155进入OLTG 102时，“玻璃抓具204”(例如，参照图4的Y-导向装置204)抓住玻璃基板155并使其稳定。一旦在“玻璃抓具204”中，则玻璃基板155穿过两个如图11所示的邻近传感器224a和224b(例如，激光器224a和224b)。传感器224a和224b的目的是能够确定正在移动的玻璃基板155的速度和宽度。传感器224a和224b可以被用于替代编码器222(参照图2C)。

随后，玻璃基板155穿过激光传感器208的前面，该激光传感器208生成厚度测量读数。来自激光传感器208的每个厚度测量结果都被戳上时间并被记录下来以便于处理器218(或某台其它的计算机)进行后期测量处理。

之后，传感器224a和224b确定玻璃基板155已穿过激光传感器208并且不需要进行厚度测量。然后，处理器208使用所记录的数据来计算玻璃基板155的玻璃厚度分布。

作为一种选择，随后可以由活塞(未示出)将参考玻璃基板155(未示出)自动推到恰当的位置，以验证激光传感器208并未漂移并且正在正确地测量。

1.3 装备

1.3.1 硬件组件

对于OLTG 102的原型，所包括的装备硬件有：

●激光三角剖分传感器208

●计数器/定时器卡

●输入/输出卡

●编码器卡

●运动驱动/控制器

●线性运动滑动

●工业计算机218

●RS-485接口卡

1.3.2 软件组件

原型计算机218使用Windows 2000作为操作系统和用户软件。为了开发，还装了Visual Basic 6.0。

2.0 设计

下文更详细地描述了OLTG 102的各个方面。

2.1 限制

为了处理玻璃基板155，在玻璃基板155底部有一个无特性区域，可被OLTG 102利用。该无特性区域通常20mm并且位于玻璃基板155的底部。

在生产过程中，玻璃基板155通常以某一速度在输送机152上前进，使得玻璃基板155往往左右摇摆。另外，玻璃基板155因加工处理而具有天然的弓度，这种弓度可使其无法向下垂直地悬着。所有这些问题都被OLTG 102解决了。

关于激光传感器208，有许多规格需要得到满足以便获得精确的厚度测量。例如，较佳的激光三角剖分传感器208的测量窗口是28mm±2mm。玻璃基板155的倾斜不应该大于1°。

2.2 抓住玻璃

为了“抓住”玻璃基板155，本文描述了两种基本的方法：静态方法和动态方法。

图4示出了静态方法(还可以参照图2C)。在一个实施方式中，Y-导向装置204包括一对金属引导件，可引导玻璃基板155进入。金属引导件应该相对长而且厚，使得它们并不回弹到玻璃基板155中。

图5示出了动态方法。在一个实施方式中，导向装置502使用了传感器504a和504b以及两对气动圆筒506a和506b以将玻璃基板155推入。在操作过程中，玻璃基板155将触发第一传感器504a，这使第一对圆筒506a闭合并且局部地推入到玻璃基板155上。然后，玻璃基板155将触发第二传感器504b，这使第二对圆筒506b闭合并且使玻璃基板155固定得更牢，之后才将玻璃基板155发送到“玻璃稳定器206”(此处未示出，但请参照图2C和11)。

2.3 玻璃的稳定性

为了确保像上文2.1所描述的那样使玻璃基板155正确地定位于激光传感器208的前面，可以像图6和7(还可以参照图2C)所示那样使用“玻璃稳定器206”。通常，稳定器206越长且轮子220越多，则越好。

2.4 激光传感器的布置

因为玻璃基板155具有自然弯曲，所以玻璃基板155可能弯曲到激光三角剖分传感器208的可接受的视场之外，和/或引入超出规范限制的倾斜。为了帮助解决这个问题，激光传感器208应该尽可能靠近“玻璃稳定器206”的轮子220。这样，轮子220充当参照点，并且可以假定玻璃基板155不会移动到离该位置太远。

再次参照图3，可以看到，与传统离线厚度规所进行的厚度测量相比，来自OLTG 102的厚度测量302具有更多的噪声。导致这种情况的主要因素是：传统离线厚度规(它可以被设置成按较低的速度运行)被设置成对大约5-10个点执行内部求平均。而OLTG 102不被设置成执行任何求平均，因为所涉及的玻璃具有高速率。

根据制造工艺，通过以水平方式或垂直方式安装激光传感器208，便可以使噪声达到最小。在图6A(顶视图)和图6B(侧视图)中，显示激光传感器208是水平安装的，这能够使轮子220间隔得更紧密，进而使更多点处的玻璃基板155稳定。在较佳的实施方式中，水平安装的激光传感器208将定位于轮子220上方约23mm处。

其它选择是像图7A(顶视图)和图7B(侧视图)所示那样垂直安装激光传感器208。尽管垂直安装的激光传感器208可以在水平面上靠轮子220更近，但是轮子220与水平安装的激光传感器208相比则间隔得更远。

2.5 玻璃速度和长度的测量

2.5.1 编码器方法

图2C和8示出了本方法，其中沿玻璃基板155滚动的编码器轮子222被用于获取沿玻璃基板155宽度方向进行厚度测量的那些位置。可以看到，编码器轮子222可以附着于“玻璃稳定器206”的轮子220之一。

当使用编码器方法时，有两个主要因素可能影响到位置测量的可靠性：(1)玻璃基板155进入OLTG 102的速度；以及(2)从“玻璃稳定器206”中加到玻璃基板155上的压力。

玻璃基板155的速度影响总的编码器计数。图9示出了为了显示出编码器222的总计数是玻璃基板155的速度的函数而执行的实验的一些结果。据信，有三种可能的差错点会引起这种可变性：(1)当玻璃基板155进入稳定器206并弹起时；(2)沿玻璃基板155的滑动；以及(3)在玻璃基板155从稳定器206中出来之后轮子220的动量。尚不清楚每种状况对可变性起作用了多少，但是12000个编码器计数之间的差异是显著的(大约50mm，这取决于转换次数)。

其它问题是，轮子220加到玻璃基板155上的压力可能会改变编码器222的计数。这可以从图10中看出，其中压力差可以使轮子220上的O形环变形，这转而改变了轮子220的整个直径，由此改变了最后所得到的编码器计数。

2.5.2 邻近传感器方法

如图11所示，用于确定沿玻璃板155宽度方向进行厚度测量的那些位置的另一种方法使用了两个相邻传感器224a和224b以及精确的定时器1102。传感器224a和224b分开放置，使得它们分别检测玻璃基板155的前边沿。定时器1102被用于确定何时玻璃基板155穿过传感器224a和224b的前面。

通过了解到玻璃基板155穿过已知距离d而花去的时间t，便确定了该玻璃的速度。为了获得玻璃基板155的长度，一个传感器224a或224b还被用于检测玻璃基板155的末边沿。然后，通过让速度乘以玻璃基板155穿过该传感器224a或224b所用的时间，便计算出长度。

为使该方法有效工作的一条标准是：玻璃基板155的速度需要相对恒定。有三种实践方面的考虑：(1)传感器224a和224b检测玻璃基板155的前边沿的可重复性；(2)输送机152的速度一致性；以及(3)系统硬件响应时间。

为了理解本方法所需的精确水平，下面提供了一个典型的不确定性计算。在不包括调节数(即光束宽度、系统等待时间等)的情况下，长度方程如下：

L＝t_21t V  和 $V=\frac{d_{12}}{t_2-t_1}=\frac{d_{12}}{\mathrm{\Δ}{t}_{21}}$

为了简便，当前的参数是：

d₁₂：第一和第二传感器224a和224b之间的距离(135mm)，

Δt₂₁：玻璃基板155的前边沿从第一相邻传感器224a前进到第二相邻传感器224b所用的时间(0.243秒)，

T_21t：玻璃基板在第二相邻传感器224b之前穿行从前边沿到后边沿所用的时间(2.7秒)。

通过使用上述这些数字，它产生了1500mm的玻璃长度：

$L=t_{21t}V=\left(2.7\right)\frac{135\mathrm{mm}}{0.243s}=1500\mathrm{mm}$

2.5.3 输送机速度一致性

为了提高精确度的水平，应该仔细检查输送机152对玻璃基板155的材料处理。如上所述，为了让OLTG 102有效地工作，一个先决条件是：每个玻璃基板155需要以相对恒定的速度穿过OLTG 102。即使速度可能会因玻璃基板155的不同而稍有变化。

3.0 测量环路

3.1 定时

下面描述了当OLTG 102处于测量模式中时一种典型的测量环路。

测量环路最初将处理器218中100％的CPU时间用于第一速度传感器224a的监控，以检测玻璃基板155的前边沿。通过将最高优先级分配给该程序的线程，便实现了上述这一点。这是需要的，因为如上所述微小的定时变得很重要。假如其高度比预期要短的玻璃基板155正在穿过，则处理器218还可以监控第二传感器224b。

一旦第一速度传感器224a检测到进来的玻璃基板155的前边沿，则通过处理器218中的硬件定时器/计数器卡将该时间记录下来。然后，处理器218中CPU的100％时间被用于监控第二速度传感器224b，以检测玻璃基板155的前边沿。同样，当第二传感器224b检测到玻璃基板155的前边沿时，将该时间记录下来。

随后，激光传感器208读数被记录下来，使得可以进行玻璃厚度测量。当激光传感器208打开时，激光传感器208通过RS-485以19.2kbps(例如)这样的速度向处理器218连续地发出厚度测量数据。在玻璃基板155的前边沿触发第二速度传感器224b之后，处理器218记录来自激光传感器208的所有数据。应该注意到，并非所有记录下来的数据都将是有效的。这是因为玻璃基板155从第二传感器224b处前进到激光传感器208的前面所用的时间中有延迟。

当厚度测量数据被处理器218获得时，另一个传感器(未示出)可以查看玻璃基板155是否已穿过OLTG 102。这是通过监控玻璃基板155的后边沿而实现的。一旦该传感器(未示出)检测到玻璃基板155的后边沿，则处理器218停止记录从激光传感器208处发送过来的数据，并进入数据的后处理阶段。该程序的线程被放入正常的优先级，以使操作系统有机会执行任何“内务处理”任务(即网络监控、文件更新等)。

当所有的数据均被处理且数据被写到驱动器上时，处理器218可以执行参考例程(任选的)。在该例程中，处理器218首先通过监控所有的相邻传感器224a和224b来仔细检查以确保没有玻璃基板155穿过OLTG 102。然后，活塞(未示出)将参考玻璃基板155置于合适的位置以便于激光传感器208来读取。激光传感器208获得一个读数并将该数据记录到校准文件中。然后，活塞将参考玻璃基板155拉出来，使得OLTG 102已准备好让下一个玻璃基板155穿过从而进行测量。在参考读取例程中，第一传感器224a被连续监控，以查看是否有玻璃基板144意外地进入OLTG 102。

在处理器218回到测量循环的开始之前，向该环路添加大约10秒，以使操作人员能够移动鼠标，停止该程序等，然后才使该程序进入到高线程优先级。该10秒数值假定随后的玻璃基板155会在约14秒之后才到达。

用于处理该程序应该何时进入高优先级并启动操作人员相互作用的定时的一种方式是：在第一速度传感器224a之前设置相邻传感器(未示出)。在该程序仍然处于正常优先级时，可以监控相邻传感器(未示出)以检测玻璃基板155。一旦传感器检测到玻璃基板155，该程序就进入高优先级并监控第一速度传感器224a。这样，该程序便在合适的时间进入高优先级。

3.2 无关的数据

激光传感器208有这样一种潜能，它可以报告错误的测量(即极厚、极薄、或零厚度)，尤其是没有内部求平均时。为了解决该问题，可以过滤该数据以消除无关的数据。例如，OLTG 102可以通过将当前的厚度读数与先前的厚度读数进行比较来过滤无关的数据。

3.3 噪声过滤

因为OLTG 102测量正在移动的玻璃基板155的厚度，所以厚度分布图与传统离线厚度规相比往往有更多的噪声(参照图3)。可用于使该厚度数据平滑的一种可能的技术是应用低通滤波器。

现在参照图12，示出了根据本发明用于测量正在移动的玻璃基板155的厚度“t”的较佳方法1200的基本步骤的流程图。从步骤1202开始，使用玻璃制造系统100制造玻璃基板155，然后输送机152将玻璃基板155移动到OLGT102。在步骤1204中，OLGT 102以及Y-导向装置204(或动态引导件502)和稳定单元206抓住正在移动的玻璃基板155并使其稳定。在步骤1206中，OLGT102以及激光传感器208和处理器218确定正在移动的玻璃基板155的厚度“t”。为了实现这一点，激光传感器208朝着正在移动的玻璃基板155发射光束214，然后接收由正在移动的玻璃基板155的前表面217和后表面219分别反射的两束光216a和216b。然后，处理器218分析接收到的光束216a和216b，并确定光束216a和216b之间的距离“d”，该距离“d”转而被用于确定正在移动的玻璃基板155的厚度“t”(参照图2B)。处理器218可以通过使用下列方程来确定正在移动的玻璃基板155的厚度：

t＝d/[2cosθ_incidencetan[sin^-1((n_air/n_glass)sinθ_incidence)]]

其中：

t＝正在移动的玻璃基板155的厚度；

d＝检测器212所接收到的光束216a和216b之间的距离；

n_air＝空气的折射率；

n_glass＝玻璃基板155的折射率；以及

θ_incidence＝光束214与正在移动的玻璃基板155的前表面217相交的入射角。

下面是使用本发明的OLTG 102和方法1200的一些附加特征和优点：

·OLTG 102提供了传统离线厚度规不具有的下列优点：

·实时地提供了形成工艺反馈，使得可以做出调节以控制玻璃厚度并减小其它工艺变化。

·没有样本损失。

·不需要其它的玻璃处理以获得测量数据。

·100％测量，没有采样。

·应该理解，玻璃制造系统100是示例性的，并且其它类型和配置的玻璃制造系统可以包含并使用本发明的OLTG 102和方法1200。

·OLTG 102可以安装在滑动底座上，使得它可以移入正在移动的玻璃基板155的路经中并从该路经中移出。另外，OLTG 102以及激光传感器208可以安装成它能自动地上下移动以考虑不同的玻璃高度。

·应该注意到，有一个题为“On-line Measurement System for MeasuringSubstrate Thickness and the Method Thereof”的美国专利6,590,211。在该专利中，使用图像检测器在其焦平面处测量玻璃厚度，这与本发明中所使用的技术不同。

·玻璃板402可以根据熔融工艺来制造，该工艺是一种用于生产液晶显示器(LCD)中所使用的玻璃板的技术。美国专利3,338,696和3,682,609描述了熔融工艺，其内容引用在此作为参考。

尽管根据附图和上文的详细描述已示出了本发明的若干实施方式，但是应该理解本发明并不限于所揭示的实施方式，而是能够在不背离权利要求书所阐明和定义的本发明的精神的情况下做出大量的重新安排、修改和替代。

Claims (5)

1.一种在线厚度规OLTG，用于测量正在移动的预切割玻璃基板的厚度，所述系统包括：

输送机，抓住所述预切割玻璃基板的顶部并移动所述预切割玻璃基板；

玻璃抓具设备，通过其移动预切割玻璃基板在所述玻璃抓具设备抓住所述移动预切割玻璃基板的前表面和后表面两者处行进，其中仍然抓住所述预切割玻璃基板的顶部的所述输送机移动所述预切割玻璃基板通过所述玻璃抓具设备；其中所述玻璃抓具设备包括：Y-导向装置，包括一对引导件，其抓住并引导所述移动预切割玻璃基板进入以被稳定设备接收；

通过所述稳定设备之前抓住的移动预切割玻璃基板在所述稳定设备稳定所述之前抓住的移动预切割玻璃基板底部的前表面和后表面两者处行进，其中仍然抓住所述预切割玻璃基板的顶部的所述输送机移动所述预切割玻璃基板通过所述玻璃抓具设备；其中所述稳定设备包括多个皮带驱动辊筒，其驱动所述之前抓住的移动预切割玻璃基板的前表面和后表面两者；

激光光源，在稳定的移动预切割玻璃基板的前表面发射单个光束；

检测器，接收由稳定的移动预切割玻璃基板的前表面所反射的第一光束并接收由稳定的移动预切割玻璃基板的后表面所反射的第二光束；以及

处理器，分析由所述检测器接收到的所述第一光束和所述第二光束，以确定所述第一光束和所述第二光束之间的距离，其中所述距离被用于确定稳定的移动玻璃基板的厚度。

2.如权利要求1所述的OLTG，其特征在于，所述处理器使用从编码器接收到的信号，来确定在正在移动的玻璃基板上进行过厚度测量的那些位置。

3.如权利要求1所述的OLTG，还包括用于向所述处理器发送信号的一对相邻传感器，所述处理器使用所述信号来确定在稳定的移动预切割玻璃基板上进行过厚度测量的那些位置。

4.如权利要求1所述的OLTG，还包括用于向所述处理器发送信号的一对相邻传感器，所述处理器使用所述信号来确定所述移动预切割玻璃基板的速度和宽度。

5.一种用于测量玻璃基板的厚度的方法，所述方法包括如下步骤：

抓住所述预切割玻璃基板的顶部并移动所述预切割玻璃基板；

移动预切割玻璃基板在抓住所述移动预切割玻璃基板的前表面和后表面两者处行进，移动所述预切割玻璃基板通过；其中所述抓住并移动的步骤是由下列来执行的：

Y-导向装置，包括一对引导件，其抓住并引导所述移动预切割玻璃基板进入以被接收；

之前抓住的移动预切割玻璃基板在稳定所述之前抓住的移动预切割玻璃基板底部的前表面和后表面两者处行进，其中移动所述预切割玻璃基板通过；其中所述稳定步骤是由下列来执行的：

多个皮带驱动辊筒，其驱动所述之前抓住的移动预切割玻璃基板的前表面和后表面两者；

在稳定的移动预切割玻璃基板的前表面发射单个光束；

接收由稳定的移动预切割玻璃基板的前表面所反射的第一光束并接收由稳定的移动预切割玻璃基板的后表面所反射的第二光束；以及

分析接收到的所述第一光束和所述第二光束，以确定所述第一光束和所述第二光束之间的距离，其中所述距离被用于确定稳定的移动玻璃基板的厚度。

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