CN101318655A - 一种去除多晶硅中杂质磷的方法及装置 - Google Patents
一种去除多晶硅中杂质磷的方法及装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN101318655A CN101318655A CNA2008100119496A CN200810011949A CN101318655A CN 101318655 A CN101318655 A CN 101318655A CN A2008100119496 A CNA2008100119496 A CN A2008100119496A CN 200810011949 A CN200810011949 A CN 200810011949A CN 101318655 A CN101318655 A CN 101318655A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- electron beam
- beam gun
- polysilicon
- vacuum
- rotating shaft
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 54
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 title claims abstract description 40
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 30
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 27
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims abstract description 87
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 65
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims abstract description 65
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims abstract description 65
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 42
- 238000002844 melting Methods 0.000 claims abstract description 11
- 230000008018 melting Effects 0.000 claims abstract description 11
- 239000002210 silicon-based material Substances 0.000 claims description 15
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 11
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 11
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims description 9
- 238000010926 purge Methods 0.000 claims description 6
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims description 3
- 239000000470 constituent Substances 0.000 claims description 2
- 238000007499 fusion processing Methods 0.000 claims description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 abstract description 11
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 abstract description 8
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000010309 melting process Methods 0.000 abstract 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 7
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 6
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 5
- SLLGVCUQYRMELA-UHFFFAOYSA-N chlorosilicon Chemical compound Cl[Si] SLLGVCUQYRMELA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005265 energy consumption Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000005272 metallurgy Methods 0.000 description 2
- 238000005204 segregation Methods 0.000 description 2
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 2
- 229910000906 Bronze Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000005046 Chlorosilane Substances 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910003902 SiCl 4 Inorganic materials 0.000 description 1
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 239000010974 bronze Substances 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- KOPOQZFJUQMUML-UHFFFAOYSA-N chlorosilane Chemical compound Cl[SiH3] KOPOQZFJUQMUML-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N copper tin Chemical compound [Cu].[Sn] KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 230000002939 deleterious effect Effects 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 230000001627 detrimental effect Effects 0.000 description 1
- 238000003912 environmental pollution Methods 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 238000004062 sedimentation Methods 0.000 description 1
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007711 solidification Methods 0.000 description 1
- 230000008023 solidification Effects 0.000 description 1
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 1
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 1
- 238000002230 thermal chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Silicon Compounds (AREA)
Abstract
Description
Claims (2)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN200810011949A CN100586849C (zh) | 2008-06-19 | 2008-06-19 | 一种去除多晶硅中杂质磷的方法及装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN200810011949A CN100586849C (zh) | 2008-06-19 | 2008-06-19 | 一种去除多晶硅中杂质磷的方法及装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN101318655A true CN101318655A (zh) | 2008-12-10 |
CN100586849C CN100586849C (zh) | 2010-02-03 |
Family
ID=40178967
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN200810011949A Expired - Fee Related CN100586849C (zh) | 2008-06-19 | 2008-06-19 | 一种去除多晶硅中杂质磷的方法及装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN100586849C (zh) |
Cited By (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101787563A (zh) * | 2010-03-19 | 2010-07-28 | 大连隆田科技有限公司 | 感应和电子束熔炼去除多晶硅中杂质磷和硼的方法及装置 |
CN101905886A (zh) * | 2010-08-02 | 2010-12-08 | 大连理工大学 | 一种电子束梯度熔炼提纯多晶硅的方法 |
CN101941698A (zh) * | 2010-08-17 | 2011-01-12 | 大连隆田科技有限公司 | 电子束熔炼高效去除硅中杂质磷的方法及装置 |
CN101445957B (zh) * | 2008-12-16 | 2011-01-19 | 桂林实创真空数控设备有限公司 | 多晶硅提纯用真空电子束熔炼炉 |
WO2011060717A1 (zh) * | 2009-11-19 | 2011-05-26 | 大连理工大学 | 连续熔炼去除多晶硅中磷和硼的方法及装置 |
CN102126726A (zh) * | 2011-01-29 | 2011-07-20 | 大连隆田科技有限公司 | 一种电子束高效提纯多晶硅粉体的方法及设备 |
CN102145895A (zh) * | 2011-05-16 | 2011-08-10 | 大连隆田科技有限公司 | 一种浅熔池真空熔炼提纯多晶硅的方法及设备 |
CN102153089A (zh) * | 2011-05-19 | 2011-08-17 | 厦门大学 | 一种冶金法n型多晶硅片磷吸杂方法 |
CN102424389A (zh) * | 2011-09-13 | 2012-04-25 | 山西纳克太阳能科技有限公司 | 一种太阳能级多晶硅脱磷的提纯方法 |
CN102471924A (zh) * | 2009-07-20 | 2012-05-23 | 皮拉股份公司 | 通过感应方法生产多晶硅锭的装置 |
WO2012100485A1 (zh) * | 2011-01-29 | 2012-08-02 | 大连隆田科技有限公司 | 一种电子束浅熔池熔炼提纯多晶硅的方法及设备 |
CN102992327A (zh) * | 2012-12-17 | 2013-03-27 | 青岛隆盛晶硅科技有限公司 | 一种凝固坩埚旋转式电子束熔炼提纯多晶硅的方法及设备 |
CN103539126A (zh) * | 2013-10-30 | 2014-01-29 | 大连理工大学 | 一种多晶硅快速凝固方法 |
CN103818908A (zh) * | 2014-03-04 | 2014-05-28 | 黄道德 | 一种用于太阳能电池的多晶硅的制造方法 |
CN103818907A (zh) * | 2014-03-04 | 2014-05-28 | 黄道德 | 一种太阳能电池多晶硅的除磷方法 |
CN103896276A (zh) * | 2014-03-04 | 2014-07-02 | 黄道德 | 一种用于太阳能电池的多晶硅的除磷工艺 |
CN104131338A (zh) * | 2014-07-17 | 2014-11-05 | 大连理工大学 | 电子束顶部局部加热凝固多晶硅除杂装置及多晶硅加热凝固除杂方法 |
CN104878448A (zh) * | 2015-05-15 | 2015-09-02 | 大连理工大学 | 一种电子束区域熔炼多晶硅设备及排除杂质的方法 |
CN109133067A (zh) * | 2018-10-16 | 2019-01-04 | 青岛蓝光晶科新材料有限公司 | 一种提高电子束熔炼多晶硅效率的方法及装置 |
-
2008
- 2008-06-19 CN CN200810011949A patent/CN100586849C/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (29)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101445957B (zh) * | 2008-12-16 | 2011-01-19 | 桂林实创真空数控设备有限公司 | 多晶硅提纯用真空电子束熔炼炉 |
CN102471924B (zh) * | 2009-07-20 | 2014-06-25 | 索林开发私人有限公司 | 通过感应方法生产多晶硅锭的装置 |
CN102471924A (zh) * | 2009-07-20 | 2012-05-23 | 皮拉股份公司 | 通过感应方法生产多晶硅锭的装置 |
WO2011060717A1 (zh) * | 2009-11-19 | 2011-05-26 | 大连理工大学 | 连续熔炼去除多晶硅中磷和硼的方法及装置 |
CN101708850B (zh) * | 2009-11-19 | 2011-09-14 | 大连理工大学 | 连续熔炼去除多晶硅中磷和硼的方法及装置 |
CN101787563A (zh) * | 2010-03-19 | 2010-07-28 | 大连隆田科技有限公司 | 感应和电子束熔炼去除多晶硅中杂质磷和硼的方法及装置 |
CN101905886A (zh) * | 2010-08-02 | 2010-12-08 | 大连理工大学 | 一种电子束梯度熔炼提纯多晶硅的方法 |
CN101941698A (zh) * | 2010-08-17 | 2011-01-12 | 大连隆田科技有限公司 | 电子束熔炼高效去除硅中杂质磷的方法及装置 |
CN101941698B (zh) * | 2010-08-17 | 2012-08-29 | 青岛隆盛晶硅科技有限公司 | 电子束熔炼高效去除硅中杂质磷的方法及装置 |
CN102126726A (zh) * | 2011-01-29 | 2011-07-20 | 大连隆田科技有限公司 | 一种电子束高效提纯多晶硅粉体的方法及设备 |
WO2012100485A1 (zh) * | 2011-01-29 | 2012-08-02 | 大连隆田科技有限公司 | 一种电子束浅熔池熔炼提纯多晶硅的方法及设备 |
CN102145895A (zh) * | 2011-05-16 | 2011-08-10 | 大连隆田科技有限公司 | 一种浅熔池真空熔炼提纯多晶硅的方法及设备 |
CN102145895B (zh) * | 2011-05-16 | 2012-10-03 | 大连隆田科技有限公司 | 一种浅熔池真空熔炼提纯多晶硅的方法及设备 |
CN102153089A (zh) * | 2011-05-19 | 2011-08-17 | 厦门大学 | 一种冶金法n型多晶硅片磷吸杂方法 |
CN102153089B (zh) * | 2011-05-19 | 2012-06-27 | 厦门大学 | 一种冶金法n型多晶硅片磷吸杂方法 |
CN102424389A (zh) * | 2011-09-13 | 2012-04-25 | 山西纳克太阳能科技有限公司 | 一种太阳能级多晶硅脱磷的提纯方法 |
CN102424389B (zh) * | 2011-09-13 | 2013-02-27 | 山西纳克太阳能科技有限公司 | 一种太阳能级多晶硅脱磷的提纯方法 |
CN102992327A (zh) * | 2012-12-17 | 2013-03-27 | 青岛隆盛晶硅科技有限公司 | 一种凝固坩埚旋转式电子束熔炼提纯多晶硅的方法及设备 |
CN102992327B (zh) * | 2012-12-17 | 2014-07-09 | 青岛隆盛晶硅科技有限公司 | 一种凝固坩埚旋转式电子束熔炼提纯多晶硅的方法及设备 |
CN103539126A (zh) * | 2013-10-30 | 2014-01-29 | 大连理工大学 | 一种多晶硅快速凝固方法 |
CN103539126B (zh) * | 2013-10-30 | 2016-04-13 | 大连理工大学 | 一种多晶硅快速凝固方法 |
CN103818907A (zh) * | 2014-03-04 | 2014-05-28 | 黄道德 | 一种太阳能电池多晶硅的除磷方法 |
CN103896276A (zh) * | 2014-03-04 | 2014-07-02 | 黄道德 | 一种用于太阳能电池的多晶硅的除磷工艺 |
CN103818908A (zh) * | 2014-03-04 | 2014-05-28 | 黄道德 | 一种用于太阳能电池的多晶硅的制造方法 |
CN104131338A (zh) * | 2014-07-17 | 2014-11-05 | 大连理工大学 | 电子束顶部局部加热凝固多晶硅除杂装置及多晶硅加热凝固除杂方法 |
CN104131338B (zh) * | 2014-07-17 | 2016-08-24 | 大连理工大学 | 电子束顶部局部加热凝固多晶硅除杂装置及多晶硅加热凝固除杂方法 |
CN104878448A (zh) * | 2015-05-15 | 2015-09-02 | 大连理工大学 | 一种电子束区域熔炼多晶硅设备及排除杂质的方法 |
CN109133067A (zh) * | 2018-10-16 | 2019-01-04 | 青岛蓝光晶科新材料有限公司 | 一种提高电子束熔炼多晶硅效率的方法及装置 |
CN109133067B (zh) * | 2018-10-16 | 2023-06-27 | 青岛蓝光晶科新材料有限公司 | 一种提高电子束熔炼多晶硅效率的方法及装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN100586849C (zh) | 2010-02-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN100586849C (zh) | 一种去除多晶硅中杂质磷的方法及装置 | |
CN101289188B (zh) | 去除多晶硅中杂质磷和金属杂质的方法及装置 | |
CN101708850B (zh) | 连续熔炼去除多晶硅中磷和硼的方法及装置 | |
CN102120579B (zh) | 一种电子束高效、连续熔炼提纯多晶硅的方法及设备 | |
CN102992327B (zh) | 一种凝固坩埚旋转式电子束熔炼提纯多晶硅的方法及设备 | |
CN101219789B (zh) | 高能束流多晶硅提纯装置 | |
CN101787563B (zh) | 感应和电子束熔炼去除多晶硅中杂质磷和硼的方法及装置 | |
CN102145894B (zh) | 一种电子束及渣滤熔炼提纯多晶硅的方法及设备 | |
CN102126726A (zh) | 一种电子束高效提纯多晶硅粉体的方法及设备 | |
CN103420380B (zh) | 电子束熔炼与定向凝固技术耦合制备多晶硅的方法及装置 | |
CN102040220A (zh) | 一种太阳能级多晶硅的制造方法 | |
CN102153088B (zh) | 一种金属硅的造渣酸洗除硼方法 | |
CN102120578A (zh) | 一种电子束除磷、除金属的耦合提纯多晶硅的方法及设备 | |
CN103420379B (zh) | 电子束连续化熔炼制备太阳能级多晶硅的方法及其装置 | |
CN202968137U (zh) | 一种凝固坩埚旋转式电子束熔炼提纯多晶硅的设备 | |
CN102275929A (zh) | 一种提高冶金硅纯度的方法及实现该方法的装置 | |
CN203440097U (zh) | 电子束熔炼与定向凝固技术耦合制备多晶硅的装置 | |
CN101913608B (zh) | 一种去除工业硅中硼的方法 | |
CN102424388B (zh) | 一种太阳能级多晶硅脱金属杂质的方法 | |
CN101708849B (zh) | 局部蒸发去除多晶硅中硼的方法及装置 | |
CN103738965B (zh) | 电子束熔炼液态硅除氧的方法及其装置 | |
CN101905886B (zh) | 一种电子束梯度熔炼提纯多晶硅的方法 | |
CN203559160U (zh) | 电子束除氧与初步铸锭耦合制备多晶硅的装置 | |
Wu et al. | Enhancing removal of hydrogen from granular polysilicon by innovating vacuum separation model and method for SoG-Si | |
CN201962076U (zh) | 一种电子束浅熔池熔炼提纯多晶硅的设备 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
ASS | Succession or assignment of patent right |
Owner name: QINGDAO LONGSHENG CRYSTAL SILICON TECHNOLOGY CO., Free format text: FORMER OWNER: DALIAN UNIVERSITY OF TECHNOLOGY Effective date: 20120711 |
|
C41 | Transfer of patent application or patent right or utility model | ||
COR | Change of bibliographic data |
Free format text: CORRECT: ADDRESS; FROM: 116024 DALIAN, LIAONING PROVINCE TO: 266000 QINGDAO, SHANDONG PROVINCE |
|
TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20120711 Address after: Pudong solar energy industry base in Jimo city of Shandong Province, Qingdao City, 266000 Patentee after: Qingdao Longsheng Crystalline Silicon Science & Technology Co., Ltd. Address before: 116024 Liaoning, Dalian, Ganjingzi Ling Road, No. 2 Patentee before: Dalian University of Technology |
|
TR01 | Transfer of patent right | ||
TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20171107 Address after: 1 road 266000 in Shandong province Qingdao city Laoshan District No. 1 Keyuan latitude B block 7 layer B4-2 Patentee after: Qingdao Changsheng Dongfang Industry Group Co., Ltd. Address before: Pudong solar energy industry base in Jimo city of Shandong Province, Qingdao City, 266000 Patentee before: Qingdao Longsheng Crystalline Silicon Science & Technology Co., Ltd. |
|
TR01 | Transfer of patent right | ||
TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20171127 Address after: Pudong Town Jimo city Shandong province 266234 city of Qingdao Ren Jia Tun Cun Ren Jia Tun Lu Patentee after: QINGDAO NEW ENERGY SOLUTIONS INC. (NESI) Address before: 1 road 266000 in Shandong province Qingdao city Laoshan District No. 1 Keyuan latitude B block 7 layer B4-2 Patentee before: Qingdao Changsheng Dongfang Industry Group Co., Ltd. |
|
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20100203 Termination date: 20190619 |