CN101317099A - 接触单元以及检查系统 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种具有简易的构成，而且在与检查对象之间可进行正确定位的接触单元。在接触单元(2)所具备的支撑基板(15)的上面，对应于作为检查对象的电路形成区域(5a)所具备的测试垫(11)的配置形态，配置有接触探针(13)的同时，对应于虚设垫(7a)至(7d)，配置有检测探针组(14a)至(14d)。检测探针组(14)是由探针(19、20)所构成，而分别连接于构成位置关系检测部(22)的发光二极管(12)及电压源(21)。以接触单元(2)实施检查时，经由探针(19、20)与所对应的虚设垫(7)接触而互为导通时，发光二极管会发光，因此借助确认发光二极管(12)的发光状态，即可判定是否正确进行定位。

Description

接触单元以及检查系统

技术领域

本发明涉及一种对在表面上形成包括使用于电信号的输入或输出的配线构造的多个导电区域的检查对象，与上述配线构造进行电连接的接触单元(contact unit)，及使用接触单元的检查系统。

背景技术

以往，例如构成液晶显示器的液晶显示板的驱动电路等，以使用TAB(Tape Automated Bonding，卷带自动接合)、COF(Chip On Film，晶粒薄膜接合)等的TCP(Tape Cartier Package，卷带式封装体)的构成，为一般所周知。TCP是在表面形成有配线构造的可挠性薄膜基材上装载半导体芯片，将所装载的半导体芯片以树脂封固而形成。

具有如此构造的TCP，是在同一薄膜上形成对应于多个封装体的配线构造，在各个的封装体装载半导体芯片等后，分离成各个封装体而制成。所以，与在按各个封装体事先准备的基板上形成配线构造，搭载各个半导体芯片的以往的封装体相比较时，具有生产效率佳的优点。由于构成TCP的薄膜基材，与以往半导体基板相比较，材料厚度非常小，且富于柔软性，所以使用于液晶显示器等时，具有可使装置整体小型化的优点。

制造这样的TCP时，与其它半导集成体电路的情形同样，以检测不良品等的目的而施行电性特性相关的检查。具体而言，例如，形成于薄膜基材上的配线构造有无短路或断线等的检查，或于装载半导体芯片后，借助配线构造，进行对半导体芯片输出输入规定的检查信号的动作特性检查等。

在实施电气特性检查时，为了将检查信号正确地输出输入，必须进行检查装置所具备的输入输出端子与形成在薄膜基材上的配线构造之间的定位。为此，以往的检查装置中，通常设有用以视认输入输出端子与配线构造间的接触部分的机构。

用以视认接触部分的单纯的机构，已知有一种通过形成从接触部分至外部直线延伸的贯穿孔，从而经由贯穿孔由外部可视认接触部分的位置关系的检查装置。由于这样的直线贯穿孔因检查装置的构造的原因而难以形成，所以，也提出了下述这样的检查装置，该检查装置形成在途中折曲的贯穿孔，同时采用了一种机构，通过在贯穿孔的折曲部分配置镜子等光学构件，从而将接触部分的影像向外部导出(例如，参照专利文献1)。

专利文献1：日本特开2000-9753号公报。

然而，通过视认检查装置所具备的输入输出端子、与形成于薄膜基材上的配线构造间的位置关系以进行定位的以往检查装置，不但构造复杂化，而且恐有定位精密度低下的问题存在。以下，依次说明此等课题。

首先，采用视认位置关系的构成时，如上所述，需要形成规定的贯穿孔及依所需安装镜子等。因而，检查装置需要事先确保形成贯穿孔用的区域，而实现规定的物理强度等，而采用视认位置关系的检查系统，具有与检查对象直接接触的接触单元的构造复杂化或大型化的课题。而且，依检查对象或接触单元的构造，难以将贯穿孔及镜子等光学构件配置在适当场所，在此情形下，必须采用其它的构造。

而且，采用视认接触部分以进行定位的方式时，有定位精度降低之虞。即，在采用依据检查者的感官进行定位的结构时，在进行检查后难于客观判定是否已正确定位至没有障碍的程度。而且，检查者换人等情形时，由于熟练度的不同，定位精密度会不同，因此并不妥当。

发明内容

本发明就是监于上述课题而产生的，其目的在于提供一种具有简易的构成，且在与检查对象之间可进行正确定位的接触单元及使用接触单元的检查系统。

为解决上述课题以达成目的，根据技术方案1所述的接触单元，关于在表面上形成有包含用于电信号的输入或输出的配线构造的多个导电区域的检查对象，进行对上述配线构造的电连接，其特征在于，该接触单元包括：输入输出端子，其对应于上述配线构造的配置图案而配置，与对应的上述配线构造电连接，对上述配线构造进行规定的电信号的输入或输出的至少一方；检测端子群，其由对应于规定的上述导电区域而配置的多个端子所形成，被用于依据经由所对应的上述导电区域的上述多个端子间的导通有无，来检测该接触单元与上述检查对象之间的位置关系；以及支撑基板，其用以保持上述输入输出端子及上述检测端子群。

根据技术方案1所述的发明，因对应于检查对象所具备的导电区域以设置检测端子群，所以，可根据检测端子群与导电区域之间的导通的有无，以检测出检查对象与接触单元之间是否产生位置偏差。而且，因构成检测端子群的端子由与输入输出端子同样的结构形成，所以，即使重新配置检测端子群时，仍不会导致接触单元的结构复杂化，能以简易的构成进行位置偏差的检测。

根据技术方案2所述的发明的接触单元，在上述发明中，上述检测端子群对应于多个上述导电区域配置有多个，多个上述检测端子群，配置在与上述检查对象中接触上述接触单元的区域的不同的端部附近相对应的位置。

根据技术方案3所述的接触单元，在上述发明中，上述检查对象中与上述接触单元电连接的部分具有长方形状，对应于多个上述导电区域配置有多个上述检测端子群，多个上述检测端子群分别配置在对应于上述长方形状的对角线上或顶点附近的区域。

根据技术方案4所述的接触单元，在上述发明中，还具备位置关系检测手段，其与形成上述检测端子群的多个端子电连接，依据经由对应于上述检测端子群的上述导电区域的上述多个端子间的导通有无，来检测该接触单元与上述检查对象之间的位置关系。

根据技术方案5所述的接触单元，在上述发明中，上述位置关系检测手段，具备：电压源，其用以供给规定的电压；及无源元件，其与上述电压源串联连接，当上述多个端子经由上述导电区域导通时，与上述电压源之间形成闭路，基于由上述电压源所供给的电位执行规定的作用。

根据技术方案6所述的接触单元，在上述发明中，上述无源元件为发光二极管。

根据技术方案7所述的接触单元，在上述发明中，上述检测端子群是在上述导电区域中、对应于与上述配线构造电绝缘的虚设垫(dummypad)而配置的。

根据技术方案8所述的接触单元，在上述发明中，上述检测端子群是对应于上述导电区域中的配线构造而配置的，上述位置关系检测手段，还具备开关机构，该开关机构在对于所对应的配线构造经由上述输入输出端子进行电信号的输入或输出时，可停止对上述无源元件的电压供给。

根据技术方案9所述的检查系统，关于在表面上形成有包含用于电信号的输入或输出的至少一方的配线构造的多个导电区域的检查对象，借助对上述配线构造的电连接来进行电信号的输入输出从而进行检查，其特征在于，该检查系统包括：接触单元，具有：输入输出端子，其对应于上述配线构造而配置，与对应的上述配线构造电连接，对上述配线构造进行规定的电信号的输入或输出的至少一方；检测端子群，其由对应于规定的上述导电区域而配置的多个端子所形成，被用于依据经由所对应的上述导电区域的上述多个端子间的导通有无，来检测该接触单元与上述检查对象之间的位置关系；及支撑基板，其用以保持上述输入输出端子及上述检测端子群；信号处理装置，其产生用以检查上述检查对象的电信号，以分析由上述检查对象所输出的电信号；及连接基板，其电连接上述信号处理装置与上述接触单元。

发明的效果

本发明的接触单元及检查系统，是对应于检查对象所具备的导电区域而设置检测端子群，所以可实现根据该检测端子群与导电区域之间的导通的有无，而检测出检查对象与接触单元之间是否产生位置偏差的效果。而且，因构成检测端子群的端子是由与输入输出端子同样的结构形成，所以，即使重新配置检测端子群时，仍不会使接触单元的构造复杂化，可发挥以简易的结构即可进行位置偏差的检测的效果。

附图说明

图1是表示第一实施方式的检查系统的整体结构的示意图。

图2是表示检查系统所具备的接触单元的构成的示意图。

图3是表示接触单元所具备的探针的构造的示意剖视图。

图4是表示由于平行移动而发生位置偏差时的检测探针组及位置关系检测部的功能的示意图。

图5是表示由于平行移动而发生位置偏差时的检测探针组及位置关系检测部的功能的示意图。

图6是表示由于旋转而发生位置偏差时的检测探针组及位置关系检测部的功能的示意图。

图7是表示检查对象与接触单元相对倾斜时的检测探针组及位置关系检测部的功能的示意图。

图8是表示第二实施方式的检查系统的整体结构的示意图。

图9是表示检查系统所具备的接触单元的构成的示意图。

图10是表示检测位置偏差时的检测探针组及位置关系检测部的功能的示意图。

图11是表示检查时的检测探针组及位置关系检测部的功能的示意图。

图12是第二实施方式的检查系统的变形例的示意图。

图13是第三实施方式的检查系统所具备的接触单元的构成的示意图。

其中

1、31检查对象            2、32、35、41接触单元

3信号处理装置            4连接基板

5a、36电路形成区域       5b链轮孔

6配线构造                7、7a～7h虚设垫

8半导体芯片              9内导线

10外导线

11、11a至11l、37a至37d   测试垫

12、12a～12d发光二极管   13接触探针

14、14a～14d检测探针组   15、42支撑基板

16、17螺栓构件

19、19a～19d、20、20a～20d    探针

21、21a至21d电压源

22、22a～22d、33、33a～33d    位置关系检测部

24、25针状构件                26弹簧构件

27开口部                      28导线

34、34a至34d开关              38a、38b贯穿配线

具体实施方式

以下，就本发明的接触单元及实施检查系统的最佳实施方式(以下称作实施方式)，参照附图详细说明。附图是示意图，所以，各部分的厚度与宽度等的关系、各部分的厚度等比率等，与实际有所不同，这点应予以留意，当然，即使附图的相互之间也包括相互尺寸关系或比率不同的部分。关于图中的符号，对于同一结构，例如“发光二极管12a”、“发光二极管12b”等，根据需要统称为“发光二极管12”。

(第一实施方式)

首先说明第一实施方式的检查系统。图1为第一实施方式的检查系统的整体结构的示意图。如图1所示，本第一实施方式的检查系统的结构包括：用以实现对检查对象1的电连接的接触单元2、用以生成对检查对象输入的电信号等的信号处理装置3、及用以电连接信号处理装置3与接触单元2的连接基板4所构成。

检查对象1是采用本第一实施方式的检查系统进行检查的对象。具体而言，检查对象1具有长尺的卷带状构造，具备在规定的薄膜基材上在长度方向配置多个电路形成区域5a，且在宽度方向的端部附近在长度方向以一定的间隔设置链轮孔5b，在检查时，经由链轮孔5b由处理机执行向长度方向的移动。并且，在电路形成区域5a上，形成有包括配线构造6的导电区域，具体而言，形成有多个配线构造6及虚设垫(dummy pad)7，并且装载有半导体芯片8的构成。

各个配线构造6分别由与半导体芯片8电连接的内导线9、与内导线9电连接，且在安装时用以与外部机器电连接的外导线10、与外导线10电连接，且在检查时用以输入输出电信号的测试垫11所构成。对应于半导体芯片8所具备的连接端子而设置多个该配线构造6，从而实现半导体芯片8与外部机器之间的电连接。

虚设垫7，作为本申请的保护范围的导电区域的一例发挥功能。具体而言，虚设垫7，是由对于多个配线构造6中的任一个均电绝缘的导电区域所形成，而对于半导体芯片8并未电连接，对于检查时所用的电信号的输入输出未发挥任何功能。本第一实施方式中，如后所述，通过有效利用虚设垫7，从而判定检查对象1与接触单元2之间的位置关系。

信号处理装置3，除了具有产生检查时所使用的电信号的功能之外，尚有将所产生的电信号输出给检查对象1，通过分析对于所输入的电信号的响应信号，以分析检查对象1的电气特性的功能。具体而言，由信号处理装置3所产生的电信号，依次经由连接基板4及接触单元2而输入检查对象1，由检查对象1所输出的响应信号，依次经由接触单元2及连接基板4输入于信号处理装置3。至于信号处理装置3与连接基板4之间的电连接，实际作业上是采用多条配线进行的，但其连接形式与本发明的重要部分无关，所以，图1中对于两者间的电连接，仅止于示意性的显示。

连接基板4用以电连接接触单元2与信号处理装置3。理论上，可以将接触端子2侧的连接端子与信号处理装置3侧的连接端子之间，采用规定的配线等直接连接，也可省略连接基板4。但是，实际上则因接触单元2侧的连接端子，成为对应于检查对象1所具备的检测探针的配置，所以连接端子间的间隔微小，与信号处理装置3的直接连接不容易。因而，本第一实施方式中，追加例如随着延伸形成彼此间的间隔越来越宽阔的多个配线构造的连接基板4，经由此连接基板4以将信号处理装置3与接触单元2电连接。

其次说明接触单元2。接触单元2是在使用本第一实施方式的检查系统进行检查时，用以对检查对象1进行电连接的。具体而言，接触单元2包含：用以显示位置关系的检查结果的发光二极管12a～12d；对应于检查对象1所具备的多个测试垫11所配置的多个接触探针13；对应于1个以上的虚设垫7所配置的检测探针组14a～14d；及用以保持接触探针13及检测探针组14a～14d的支撑基板15。其中，支撑基板15由多个基板所构成，该多个基板由螺栓构件16互相固定。而且，支撑基板15，具有以螺栓构件17固定于连接基板4的结构。

发光二极管12a～12d，具有本申请的保护范围中的无源元件的一例发挥功能。具体而言，发光二极管12a～12d，构成后述的位置关系检测部22a～22d的一部分，具有根据接触单元2与检查对象1之间的位置偏差而使发光状态变化的功能。

针对配置检测探针组14a～14d及接触探针13的位置、及包括检测探针组14a～14d的位置关系检测部22a～22d的构成说明如下。图2是显示由检查对象1侧看接触单元2的俯视结构及与检测探针组14a～14d的位置关系检测部22a～22d对应的结构的概念性示意图。另外，图2中，为容易理解检查时的与检查对象1的位置关系，将进行理想定位时的检查对象1的构成要素的位置以虚线显示。

如图2所示，接触探针13，依对应于检查对象1所具备的测试垫11的排列形式而配置，通过根据此形式配置接触探针13，从而可在检查时对检查对象1输入输出电信号。另一方面，检测探针组14a～14d，是对应于位于电路形成区域5a的4个角落的虚设垫7而配置的。具体而言，构成检测探针组14a～14d的各探针19a～19d、20a～20d，在接触单元2与检查对象1之间进行正确定位时，分别配置于与虚设垫7a至7d重叠的位置。

接触探针13，作为本申请的保护范围中的输入输出端子的一例发挥功能。具体而言，接触探针13是对应于检查对象1所具备的测试垫11的配置形式而配置的，通过与各测试垫11物理性接触，从而发挥对于检查对象1执行预定的电信号的输入或输出的至少一方的功能。

检测探针组14是作为本申请的保护范围中的检测端子群的一例发挥功能的，在检查时，用以检测检查对象1与接触单元2之间的位置关系是否良好为目的。具体而言，检测探针组14a～14d，是分别各由作为本申请的保护范围的端子一例发挥功能的2个探针19a～19d、20a～20d所构成，在本第一实施方式中，则利用该2个探针与规定的导电区域(虚设垫7a至7d)接触时经由导电区域而使2个探针导通的结构，以检测位置关系的良好与否。

另外，接触单元2，对应于检测探针组14a～14d而具备位置关系检测部22a～22d。位置关系检测部22，如图2所示，分别具有发光二极管12与电压源21串联连接的构成。具体而言，例如位置关系检测部22a具有，经由规定的配线而将电压源21a的阳极与发光二极管12a的阴极连接的构成。

另外，位置关系检测部22，具有与构成检测探针组14的探针19及探针20电连接的构成。具体而言，例如在位置关系检测部22a中，电压源21a的阴极，经由规定的配线与探针20a电连接，发光二极管12a的阳极则具有经由规定的配线与探针19a电连接的构成。

其次说明接触探针13及探针19、20的具体构造。本第一实施方式中，接触探针13及探针19、20分别具有相同的构造，所以，以下以探针19为例说明具体的构造。

图3为探针19的构造的模式性剖视图。探针19，具有可往构成接触单元2的支撑基板15的上面(检查时与检查对象1相对置的面)的法线方向伸缩的构造。具体而言，探针19，如图3所示，具有：在两端配置有针状构件24、25，在针状构件24、25之间配置有弹簧构件26的构造。针状构件24、25及弹簧构件26，分别由金属等的导电性材料所形成，通过将针状构件24与弹簧构件26、弹簧构件26与针状构件25互相固接，从而具有物理上形成一体化且电连接的构造。

在支撑基板15形成具有相对于上述的上面与垂直方向平行的中心轴的开口部27，通过在开口部27收容探针19，从而探针19即由支撑基板15所支撑。另一方面，探针19，通过收容于开口部27，从而具有往与开口部27的中心轴平行的方向伸缩的功能，在检查时，一边对测试垫11施加来自弹簧构件26的弹压力，一边接触于测试垫11。

收容于开口部27的构件，除了探针19外，还列举导线28。导线28是收容于开口部27内，相对于探针19而位于与检查对象1相反侧的位置，在开口部27内配置成导线28的一端与针状构件25互相接触的状态。导线28，在与探针19、20接触时，分别作为与构成位置关系检测部22的发光二极管12、电压源21连接的配线发挥功能，在与接触探针13接触时，则作为用以将设于连接基板4的规定的配线构造与针状构件25电连接的配线发挥功能。

接着，说明本第一实施方式的检查系统中、检测探针组14及位置关系检测部22所实现的功能。图4及图5为用以说明检测探针组14及位置关系检测部22的功能的示意图，其中，图4显示检查对象1与接触单元2之间进行正确的定位的状态，图5显示检查对象1与接触单元2相对平行移动而导致位置偏差时的状态。图4及图5中，仅显示位置关系检测部22a及配置于位置关系检测部22a的周围的构成元件，但以下所说明的功能，关于位置关系检测部22b至22d亦同样成立，当无庸赘言。

如图4所示，进行正确定位时，探针19a、20a与虚设垫7a相接触，经由虚设垫7a将探针19a、20a间予以电连接。因而，在位置关系检测部22a中，发光二极管12a及电压源21a形成闭路，根据由电压源21a所供给的电位，发光二极管12a会依规定的亮度发光。

另一方面，如图5所示，接触单元2与检查对象1之间未能进行正确定位，位置偏差预定距离时，发光二极管12a则不发光。即，由于接触单元2与检查对象1之间发生位置偏差，则导致探针19a、20a与虚设垫7a之间的位置关系发生位置偏差，如图5所示，形成探针20a与虚设垫7a接触，但探针19a与虚设垫7a未接触的状态。

由图5可得知，此时探针19a、20a间并未电连接，位置关系检测部22a中，发光二极管12a与电压源21a之间也未形成闭路。因此，电压源21a对于发光二极管12a并未提供电位差，且发光二极管12a不会发光。

即，本第一实施方式的检查系统中，当接触单元2与检查对象1之间进行正确定位时，位置关系检测部22a～22d所具备的各发光二极管12a～12d会发光，如发生位置偏差时，则发光二极管12a～12d中至少有1个不发光。换言之，该特性是指发光二极管12a～12d全部发光时，为定位正确，发光二极管12a～12d有任一个不发光时，为发生位置偏差。即，检查系统的使用者，通过确认发光二极管12a～12d的发光状态，从而可判定定位是否正确。

另外，本第一实施方式中，设法调整定位的精确度。具体而言，如图4所示，在进行正确定位时，各探针19a、20a的各长度方向的中心轴(图4中为表示探针19a、20a的圆的中心)与虚设垫7a的周缘部的距离，预先设定为规定的长度。具体而言，如图4所示，当定位正确时，相对于长方形状的虚设垫7a，探针19a的中心轴配置在虚设垫7a的周缘部中最接近的两边之间的距离为d₁、d₂的位置，探针20a的中心轴则配置在与最靠近的两边之间的距离为d₃、d₄的位置。

图4中，将探针19a、20a的外径放大显示，但实际上的探针19a、20a的外径通常为极小值。所以，在本第一实施方式的检查系统中，例如相对于检查对象1，接触单元2往y方向发生位置偏差d₂时，探针19a会从虚设垫7a脱落，于是，发光二极管12a不会发光，因而可检测为位置偏差发生。另一方面，即使由图4所示的状态发生位置偏差时，例如相对于检查对象1接触单元2往y方向位置偏差d₅(＜d₂)时，探针19a、20a仍然维持与虚设垫7a接触的状态，所以发光二极管12a会发光。

这种情形是指在判定位置偏差的有无时，可设定某种程度的容许范围。即，即使在由图4所示的状态稍微产生位置偏差的所有情况下，也无需检测为产生位置偏差，即使发生了位置偏差，在对检查无甚大影响的轻微程度的情况下，也不会检测为位置偏差，在实用上较佳。所以，本第一实施方式中，对于配置探针19a、20a的位置，设法在发生检查上不致于成为问题程度的位置偏差时，仍使发光二极管12a发光，亦即不会将此情形检测为位置偏差。d₁～d₄的具体数值，是依检查对象1的构造等而定的，但较佳为20μm至50μm，更佳为d₁＝d₂＝d₃＝d₄＝30μm，即在一般检查中，对于轻微的位置偏差则不予检测出，且对于检查上可能发生问题的位置偏差，则可确切予以检测出。当然，今后由于微细加工技术的进步等使得检查对象的构造更为微细化时，则以小于30μm的值为佳，而d₁～d₄的具体数值，则以例如10～20μm为佳。

本第一实施方式的检查系统，在接触单元2中具有多个位置关系检测部22。所以，在本第一实施方式中，能够检测在图4中的与x方向、y方向平行的方向相关的位置偏差，亦即，不但能够检测因接触单元2与检查对象1相对平行移动所发生的位置偏差，而且即使在检查对象1以支撑基板15的上面的法线方向为中心轴相对旋转时，也可检测出位置偏差。

图6为在接触单元2与检查对象1之间，检查对象1以支撑基板15的上面的法线方向为中心轴相对旋转时的示意图。如图6所示，以虚设垫7a及探针19a、20a的附近为中心相对旋转而发生位置偏差时，探针19a、20a与虚设垫7a之间的电连接仍维持，所以，仅以位置关系检测部22a，无法检测出接触单元2与检查对象1之间所发生的位置关系的异常。

然而，本第一实施方式中，接触单元2，除了位置关系检测部22a之外，还具备位置关系检测部22b至22d。当接触单元2与检查对象1之间发生相对旋转时，如图6所示，旋转中心以外的部分将发生位置偏差。所以，各个位置关系检测部22b至22d中的探针19b至19d、20b至20d与所对应的虚设垫7b至7d不接触，且各发光二极管12b至12d不发光，能够检测出位置偏差。因此，本第一实施方式的检查系统，因具备多个位置关系检测部22，所以，即使接触单元2与检查对象1之间发生旋转时，仍可确切检测出位置关系的异常。

而且，本第一实施方式的检查系统，除对面内方向，即图4中所示的x方向及y方向等相关的位置偏差进行检测之外，对于检查对象1与接触单元2之间所发生的倾斜也能够检测。如图3所示，在支撑基板15的上面，有对应于位置关系检测部22a～22d的检测探针组14a～14d，配置在对应于检查对象1所具备的电路形成区域5a的4个角隅的位置。因而，在检查对象1与接触单元2之间发生倾斜时，位置关系检测部22a～22d中的至少1个的探针19、20与所对应的虚设垫7不发生接触，于是发光二极管不会发光。

图7显示检查对象1与接触单元2之间发生倾斜时的示意图。如图7所示，以彼此发生倾斜的状态，使检查对象1接近于接触单元2时，例如检测探针组14b，与虚设垫7b接触，另一方面，检测探针组14c则不接触于虚设垫7c。因此，在图7的情况下，对应于检测探针组14b的位置关系检测部22b所具备的发光二极管12b会发光，但对应于检测探针组14c的发光二极管12c则不发光。因产生此发光模式，从而检查系统的使用者能够察觉异常。

其次，说明本第一实施方式的检查系统的优点。首先，在本第一实施方式的检查系统中，根据上述的构成可检测出在接触单元2与检查对象1之间的位置偏差的发生。根据检测位置偏差的观点，最简易的构成为通过具备单一的检测探针组14及位置关系检测部22即可实现，但通过设置多个检测探针组14及位置关系检测部22，即可获得更佳的效果。

即，如图6及图7所示，对于在检查对象与接触单元2之间因相对旋转或倾斜所发生的位置偏差，通过设置多个检测探针组14及位置关系检测部22，则可更加确切地检测出位置偏差。基于确切地检测位置偏差的观点，最好将多个检测探针组14间的距离配置为尽可能大的值。即，例如因发生旋转运动而产生位置偏差时，位置偏差的程度是离旋转中心愈远愈大。因而，在多个检测探针组中有一部分与旋转中心一致时(例如图6中的检测探针组14a)，基于提高位置偏差检测精度的观点，其它的检测探针组14，最好配置在尽量远离与旋转中心一致的检测探针组14的位置。基于这样的观点，本第一实施方式中，对于多个检测探针组14a～14d，配置在相互的距离最大的位置，具体而言，是配置在检查对象1(本第一实施方式中为构成检查对象1的电路形成区域5a)的端部附近。更具体而言，由于电路形成区域5a为长方形状，所以通过配置在对应其长方形状的各顶点附近，即通过配置在电路形成区域5a的4个角隅所对应的位置，从而使检测探针组14a～14d间的距离为最大。本第一实施方式中，因电路形成区域5a为长方形状，所以，检测探针组14a～14d是分别配置在电路形成区域5a的长方形状的端部附近的区域中、长方形状的对角线上。通过配置在该位置，从而使多个检测探针组可确保充分的间隔，因而可获得更精确的定位。

而且，本第一实施方式的检查系统是可利用简易的结构实施定位。具体而言，本第一实施方式的检查系统，是对于支撑基板15无需如以往形成视认用的贯穿孔等，仅设置由与对于检查对象电连接所需的接触探针13相同结构的探针19、20所形成的检测探针组14。由于接触探针13本来即对应于测试垫11而设置多数个，所以，即使追加保持与接触探针13相同构造的探针19、20，也不致于使支撑基板15的构造复杂化，而可实现简易的构成。

而且，与探针19、20连接的位置关系检测部22，是仅由电压源21及发光二极管12所构成的简易部件。而且，电压源21及发光二极管12与探针19、20的电连接关系，也如图3所示，可使用与接触探针13相同的构造(导线28)。由如上所述，本第一实施方式中追加设置检测探针组14及位置关系检测部22，并未使接触单元2的构造复杂化，本第一实施方式的检查系统，是可利用简易的构成进行定位。

并且，本第一实施方式的检查系统，因采用由位置关系检测部22检测位置偏差的构成，所以具有可正确定位的优点。即，位置关系检测部22，采用仅在探针19、20中经由虚设垫7而导通时，发光二极管12才发光的客观判定标准。因而，在判定位置偏差的有无时，不致于因检查系统的使用者的熟练度等导致判定结果有所差别，可客观且正确地检测出位置偏差的有无。

(第二实施方式)

其次说明第二实施方式的检查系统。本第二实施方式，采用在检查未具备相当于虚设垫的导电区域的检查对象时，可进行正确定位的构成。

图8为本第二实施方式的检查系统的整体结构的示意图。如图8所示，本第二实施方式的检查系统是除了具有与第一实施方式同样的信号处理装置3及连接基板4的构成之外，还具有对应于未具备虚设垫的检查对象31而追加设置检测探针组14的配置图案的接触单元32的结构。本第二实施方式中，对于具有与第一实施方式赋予同样的符号·名称的构件，除非另有说明，否则视为与第一实施方式中的构件具有同样的构造·功能。

图9为接触单元32的上面的检测探针组14的配置图案及包括检测探针组14在内的位置关系检测部的构成的示意图。如图9所示，在本第二实施方式中，配置于接触单元32上面的接触探针13，是依据与检查对象31中的测试垫11的配置图案对应的图案而配置的。

另一方面，本第二实施方式中，因检查对象31未形成有虚设垫，所以无法采用第一实施方式的将检测探针组14对应于虚设垫而配置的构成。因而，本第二实施方式中，是采用测试垫11作为本申请的保护范围的导电区域，以与从所存在的多个测试垫11中选择的预定者(在图9中，以测试垫11a至11d表示。以下的说明中也同样)对应的方式，配置检测探针组14a～14d。图9中的测试垫11e至11l，则与第一实施方式中的测试垫11同样，具有经由所对应的接触探针13进行电信号的输入输出的功能。

对应于检测探针组14a～14d的配置态样的变更，位置关系检出部33a～33d的结构，也与第一实施方式中的位置关系检测部22的结构不同。具体而言，位置关系检测部33的结构是除了第一实施方式本来的构成以外，还在探针19与发光二极管12的阳极之间追加开关34的结构，采用仅在判定定位是否正确时使开关34导通的构成。

其次，说明在本第二实施方式的检查系统中，位置关系检测部33a～33d所发挥的功能及优点。以下以位置关系检测部33a～33d中的位置关是检测部33a为例予以说明，但关于位置关系检测部33b至33d也与位置关系检测部33a相同，无庸赘言。

图10是关于位置检测部33a在判定检查对象31与接触单元32之间的定位是否正确时的动作的示意图。如图10所示，在定位判定时，开关34a可控制为导通状态。因此，当测试垫11a与探针19a、20a接触时，位置关系检测部33a形成闭路，根据电压源21a所供给的电位，发光二极管12a会发光。因此，检查系统的使用者，可与第一实施方式的情形同样，通过检测发光二极管12a的发光的有无，从而可判定检查对象31与接触单元32之间的定位是否正确。而且，本第二实施方式中，可通过设定规定的容许范围，及因具备多个位置关系检测部33从而可进行检测对象31与接触单元32相对旋转时的检测，及检查对象31与接触单元32互相倾斜时的检测。

其次，说明使用本第二实施方式的检查系统对检查对象31进行规定的检查时，位置关系检测部33a～33d所发挥的功能及优点。图11为检查时有关位置关系检测部33a的示意图。如图11所示，由检查系统进行检查时，由信号处理装置所产生的电信号等，经由接触探针13被执行相对测试垫11a的输入输出。因而，在检查时，位置关系检测部33a构成闭路时，经由接触探针13所输入输出的电信号恐影响到位置关系检测部33a。例如所输入的电信号为高电位时，测试垫11a的电位也上升，该电位有可能损及构成位置关系检测部33a的电压源21a或发光二极管12a的功能等。

因而，在本第二实施方式中，在位置关系检测部33a中追加设置开关34a，在检查时，使开关34a变化为切断(off)状态，以防止所输入输出的电信号影响构成位置关系检测部33a的发光二极管12a。另外，在检查时，通过将开关34a变化为切断状态，从而构成位置关系检测部33a的电压源21a等也有可能影响到检查结果。即，在检查之际，将开关34a维持在导通(on)状态时，在位置关系检测部33a中所产生的杂音等恐怕会输入到测试垫11a。这样，在检查之际，位置关系检测部33a形成闭路时，由于在杂音信号混入检查用电信号的状态下会被输入到测试垫11a，使检查结果受到影响，所以，本第二实施方式中，在检查之际，通过将开关34a切换成切断状态，以防止这样的弊害的发生。

(变形例)

接着，说明第二实施方式的检查系统的变形例。本变形例的检查系统，在形成在检查对象1所具备的电路形成区域上的配线构造的一部分，具有非经由半导体芯片8而直接电连接多个测试垫间的配线构造时，利用此配线构造，则可进行正确定位。

图12是表示本变形例的检查系统所具备的在接触单元35的上面(即，与检查对象1接触的面)构成检测探针组的探针19、20的配置形式的示意图。图12中，与图2相同，为了使在检查时的接触单元35与检查对象1之间的位置关系容易理解，将进行理想定位时的检查对象1(电路形成区域36)的构造，以虚线表示。

如图12所示，在电路形成区域36上，具有经由内导线9及外导线10而与半导体芯片8电连接的测试垫11，另一方面，位于电路形成区域36的4个角隅的测试垫37a至37d，则未与半导体芯片8电连接，而彼此之间以贯穿配线38a、38b直接连接。

并且，对应于该电路形成区域36的构造，本变形例中，构成检测探针组14a的探针19a对应于测试垫37d而配置，而探针20a则对应于测试垫37a而配置。再者，构成检测探针组14b的探针19b是对应于测试垫37c而配置，而探针20b则对应于测试垫37b而配置。

在采用这样的结构时，也与第二实施方式同样，在检查时，可执行正确定位。以下是以检测探针组14a(探针19a、20a)为例进行说明。具体而言，检查之际，探针19a接触于测试垫37d，探针20a接触于测试垫37a时，即进行正确定位时，经由测试垫37a、37d及由贯穿配线38a所构成的导电区域而使探针19a、20a间导通。因而，与第二实施方式同样，只要位置关系检测部33a所具备的开关34a维持导通的状态，则位置关系检测部33a形成闭路，发光二极管12a会发光，可检测进行了正确的定位。

如此，关于构成同一检测探针组14的探针19、20，也可采用与不同的测试垫或虚设垫接触的结构。即，即使是不同的测试垫等，只要是不同的测试垫等维持在同一电位的结构的情况，则可视为整体上形成本申请的保护范围的导电区域，根据与第一实施方式、2同样的机械结构，可进行正确的定位。

(第三实施方式)

其次说明第三实施方式的检查系统。本第三实施方式的检查系统，具有可一次对于多个电路形成区域进行检查的构成，并且实现可正确定位的检查系统。

图13为在本第三实施方式的检查系统中，配置于支撑基板上的接触探针13及检测探针组14的配置图案的示意图。另外，图13中，与图2及图9同样，为容易理解位置关系，将理想定位时的检查对象1的构成元件的位置以虚线显示。图中虽然予以省略，但本第三实施方式的检查系统中，仍具备有信号处理装置3及连接基板4，而且，赋予与第一实施方式、2中的构成元件同样的名称以及符号，以下未特别提示时，视为与第一实施方式、2中的构成元件具有相同的构造·功能。

如图13所示，本第三实施方式是采用通过一次的检查可对多个电路形成区域5a进行检查的构成。对应于这样的结构，接触单元41所具备的支撑基板42，采用将上面的面积放大以使可与多个电路形成区域5a接触的结构，同时如图13所示，对应于多个电路形成区域5a所具备的测试垫11配置接触探针13。

而且，本第三实施方式中，关于检测探针组14a～14d也配置在对应于多个电路形成区域5a的位置。具体而言，关于检测探针组14a、14b，与第一实施方式同样地，配置在对应于虚设垫7a、7b的位置，另一方面，关于检测探针组14c、14d，配置在对应于邻接的另一电路形成区域5a所具备的虚设垫7g、7h的位置，而非对应于虚设垫7c、7的位置。

本第三实施方式中，由于虚设垫7的个数较检测探针组14a～14d的个数更多，所以检测探针组14a～14d可有多个配置图案(pattern)。此时，采用任意的配置图案即可，但本第三实施方式中，采用检测探针组14a～14d互相隔离最远的配置图案。其理由在于，如图6及图7的例子所示，采用多个检测探针组14时，彼此的距离愈大，定位的检测精密度愈高。

如本第三实施方式，虚设垫7的个数较检测探针组14的个数更多时，根据面积选择使检测探针组14对应的虚设垫7亦可。例如，作为检查对象1所用的TCP，在作为液晶面板的驱动IC(液晶面板中所配置的像素电极的选择以及控制供给电位的IC)使用时，通常由外部输入影像信号等所使用的输入端子具有比与液晶面板连接的输出端子更大的面积。具体而言，将虚设垫7a、7b、7e、7f作为输入端子，将虚设垫7c、7d、7g、7h作为输出端子时，最好以检测探针组14a～14d对应于面积大的虚设垫7a、7b、7e、7f的方式配置。

以上采用第一～第三实施方式说明本发明，但本发明并非受限于上述实施方式，只要是本领域的技术人员，当可想到各种实施方式、变形例。例如在实施方式中，使用接触探针作为本申请的保护范围中的输入输出端子，使用检测探针组作为检测端子群，但未必受限于该结构，只要能实现电导通，则可使用任意的结构作为输入输出端子及检测端子群。再者，作为无源元件的一例，采用发光二极管，但采用其它的结构亦为有效。例如通过使用声音产生机构作为无源元件，从而将位置偏离的有无作为声音信息告知使用者的结构亦为有效。并且，关于检查对象，也未必受限于所谓的TCP，对于一般以集成电路作为检查对象所使用的检查系统，皆可适用本发明。

工业上的可利用性

如上所述，本发明的接触单元及检查系统是关于在表面上形成有包括用于电信号的输入或输出的配线构造的多个导电区域的检查对象，在对该配线构造进行电连接时有效，尤其，对于在表面形成有配线构造的可挠性的薄膜基材上装载半导体芯片的TCP等进行动作特性检查时更为适当。

Claims (9)

1.一种接触单元，关于在表面上形成有包含用于电信号的输入或输出的配线构造的多个导电区域的检查对象，进行对上述配线构造的电连接，其特征在于，该接触单元包括：

输入输出端子，其对应于上述配线构造的配置图案而配置，与对应的上述配线构造电连接，对上述配线构造进行规定的电信号的输入或输出的至少一方；

检测端子群，其由对应于规定的上述导电区域而配置的多个端子所形成，被用于依据经由所对应的上述导电区域的上述多个端子间的导通有无，来检测该接触单元与上述检查对象之间的位置关系；及

支撑基板，其用以保持上述输入输出端子及上述检测端子群。

2.如权利要求1所述的接触单元，其特征在于，

上述检测端子群对应于多个上述导电区域配置有多个，多个上述检测端子群，配置在与上述检查对象中接触上述接触单元的区域的不同的端部附近相对应的位置。

3.如权利要求1所述的接触单元，其特征在于，

上述检查对象中与上述接触单元电连接的部分具有长方形状，

对应于多个上述导电区域配置有多个上述检测端子群，多个上述检测端子群分别配置在对应于上述长方形状的对角线上或顶点附近的区域。

4.如权利要求1所述的接触单元，其特征在于，

还具备位置关系检测手段，其与形成上述检测端子群的多个端子电连接，依据经由对应于上述检测端子群的上述导电区域的上述多个端子间的导通有无，来检测该接触单元与上述检查对象之间的位置关系。

5.如权利要求4所述的接触单元，其特征在于，

上述位置关系检测手段，具备：

电压源，其用以供给规定的电压；及

无源元件，其与上述电压源串联连接，当上述多个端子经由上述导电区域导通时，与上述电压源之间形成闭路，基于由上述电压源所供给的电位执行规定的作用。

6.如权利要求5所述的接触单元，其特征在于，

上述无源元件为发光二极管。

7.如权利要求1所述的接触单元，其特征在于，

上述检测端子群是在上述导电区域中、对应于与上述配线构造电绝缘的虚设垫而配置的。

8.如权利要求1所述的接触单元，其特征在于，

上述检测端子群是对应于上述导电区域中的配线构造而配置的，

上述位置关系检测手段，还具备开关机构，该开关机构在对于所对应的配线构造经由上述输入输出端子进行电信号的输入或输出时，可停止对上述无源元件的电压供给。

9.一种检查系统，关于在表面上形成有包含用于电信号的输入或输出的至少一方的配线构造的多个导电区域的检查对象，借助对上述配线构造的电连接来进行电信号的输入输出从而进行检查，其特征在于，该检查系统包括：

接触单元，具有：输入输出端子，其对应于上述配线构造而配置，与对应的上述配线构造电连接，对上述配线构造进行规定的电信号的输入或输出的至少一方；检测端子群，其由对应于规定的上述导电区域而配置的多个端子所形成，被用于依据经由所对应的上述导电区域的上述多个端子间的导通有无，来检测该接触单元与上述检查对象之间的位置关系；及支撑基板，其用以保持上述输入输出端子及上述检测端子群；

信号处理装置，其产生用以检查上述检查对象的电信号，以分析由上述检查对象所输出的电信号；及

连接基板，其电连接上述信号处理装置与上述接触单元。

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