CN101316661A - 喷墨装置和喷墨方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供能形成质量良好的膜的喷墨装置。喷墨装置(1)配备：设置成可对基片相对移动、以便对散布在基片上的多个缺陷像素进行喷墨的喷墨部(2)；以及根据对多个缺陷像素进行喷墨的顺序，算出表示上次喷墨时至这次喷墨的经历时间的喷射时间间隔的喷射时间间隔计算部(4)，喷墨部(2)按照喷射时间间隔计算部(4)算出的喷射时间间隔，控制对缺陷像素喷出的墨的喷出液滴量或喷出液滴数。

Description

喷墨装置和喷墨方法

技术领域

本发明涉及能迅速且准确地对例如缺陷像素等喷墨对象进行喷墨的喷墨装置和喷墨方法。

背景技术

近年，喷墨技术不仅转用到民用打印机，而且大幅度转用到液晶用滤色片板(Color Filter Panel，下文记为“CF板”)生产装置和其它生产装置，其用途不断多样化。

作为其一个例子，可举出利用喷墨技术在基片上形成图案的喷墨图案制作技术。喷墨图案制作技术是利用喷墨装置喷射微量液体(墨)在基片上直接印出微细图案的技术。此喷墨图案制作技术作为可用于免真空工序，以代替已有使用光刻制版的真空工序的图案产生方法的技术，受关注的程度不断提高。

正在大力进行使用喷墨图案制作技术的形成CF板用的装置的开发。此装置通过使包含红(R)、绿(G)和蓝(B)各色的墨，击中玻璃基片上形成的RGB用像素区内，填埋各像素，形成CF板。此装置用于制造近年大面积化日益进展的液晶用的CF板。于是，要求此装置严格管理其处理时间，可靠地在一定的短时间内完成处理。

又，喷墨图案制作技术不仅作为全面印制像素的技术，而且广泛用作修复因混色、混入或附着夹杂物而产生的缺陷像素用的技术。基于喷墨图案制作技术的缺陷像素的修复方法，在相邻像素间漏墨造成的缺陷像素的情况下，用YAG(镱铝石榴石)激光器等激光装置等，去除墨混色产生的缺陷像素的墨层，并对该去除后的部分再次利用喷墨图案制作技术喷出RGB中指定的色的墨，从而进行修复。

专利文献1：日本国特开2003-21714号公报(平成15年1月24日(2003-01-24)公开)

专利文献2：日本国特开2004-55520号公报(平成16年2月19日(2004-02-19)公开)

专利文献3：日本国特开2004-82624号公报(平成16年3月18日(2004-03-18)公开)

然而，上述已有技术的组成中，墨的溶媒蒸发，使墨浓度增大，从而由喷墨形成的膜的厚度增大，存在图像质量劣化的问题。下面，作详细说明。

修复缺陷像素的一系列动作中，喷头离开端盖位置进行空喷(净化)后，开始在基片上移动，则收装在喷头内部的喷嘴喷出孔附近的墨，其溶媒从喷嘴喷出孔渐渐蒸发，从而推进墨浓度的局部增大。其结果，首次对缺陷像素喷出的几滴墨为墨浓度增大的状态的墨。此墨浓度的增大随喷头离开端盖进行空喷(净化)后的时间经历，其增大程度变大。而且，此现象在进行对缺陷像素喷墨后至由所述缺陷像素使用的同一喷头的喷嘴，对下一缺陷像素喷出的移动时间经历中也同样产生，推进墨浓度的增大。

散布在基片上的红(R)、绿(G)和蓝(B)各色的缺陷像素，依据其修复顺序，进行空喷(净化)后至首次喷墨的时间，因各色用的喷嘴而大为不同。因此，由于墨的溶媒从喷嘴喷出孔渐渐蒸发而推进墨浓度增大的程度因各色用的喷嘴而大为不同。其结果，即使按对缺陷像素喷出的墨浓度不同喷出相同液滴数，也由于所述墨浓度不同，产生喷墨形成的膜的厚度不同的问题，从而产生因修复后的膜的厚度不同而图像质量劣化的问题。

为了解决此问题，也考虑对在基片上移动的喷头设置的喷嘴喷出孔，以覆盖喷嘴喷出孔，并在喷墨前打开的结构设置防止墨的溶媒蒸发的罩盖构件，但由于下面阐述的理由，设置这种罩盖构件在结构上非常困难。即，实际上，在喷墨稳定方面，较理想的是喷嘴喷出孔与基片之间的间隙非常小，实际的装置中形成0.5毫米(mm)程度的间隙，但对这样小的间隙设置罩盖构件在结构上非常困难。而且，以非常高的速度(例如300毫米/秒)移动的喷头中，仅在喷墨部准时进行罩盖开关，预计在控制上也困难。又，一般用防水膜覆盖喷嘴面，要求尽量避免对防水膜的物理接触。这是因为防水膜产生裂纹时，墨击中位置等的喷射稳定性劣化。所以，在非常小的间隙中，设置尽量不接触喷嘴表面且能高速开关的罩盖构件，是非常难的。

配备采用上述喷墨图案制作技术的生产装置生产的CF板的液晶显示装置近年越来越大型化，通过形成厚度均匀且质量良好的膜修复以散布方式产生在基片上的缺陷像素，从而能实现高质量图像的喷出处理极为重要。

本发明是鉴于上述问题而完成的，其目的在于，提供一种能形成质量良好的膜的喷墨装置和喷墨方法。

发明内容

为了解决上述课题，本发明的喷墨装置，配备：设置成可对媒体相对移动、以便对散布在所述媒体上的多个喷墨对象进行喷墨的喷墨单元；以及根据对所述多个喷墨对象进行所述喷墨的顺序，算出表示上次喷墨至这次喷墨的经历时间的喷射时间间隔的喷射时间间隔计算单元，其中，所述喷墨单元按照所述喷射时间间隔计算单元算出的所述喷射时间间隔，控制对所述喷墨对象喷出的墨的喷出液滴量或喷出液滴数。

根据上述特征，按照表示上次喷墨时至这次喷墨的经历时间的喷射时间间隔，控制对喷墨对象喷出的墨的喷出液滴量或喷出液滴数。因此，即使喷墨单元内的墨的溶媒随时间的经历产生蒸发并使墨浓度增大，也能使墨的喷出液滴量减小，以抵消该墨浓度增大。所以，即使喷墨单元内的墨的溶媒随时间的经历产生蒸发并使墨浓度增大，喷出浓度大的墨后得到的膜的厚度也不增大。其结果，可提供能形成质量良好的膜的喷墨装置。

为了解决上述课题，本发明的喷墨方法，使用设置成可对媒体相对移动的喷墨单元，以便对散布在所述媒体上的多个对象进行喷墨，该喷墨方法中，根据对所述多个喷墨对象进行所述喷墨的顺序，算出表示上次喷射时至这次喷射的经历时间的喷射时间间隔，按照所述算出的喷射时间间隔，控制所述喷墨对象喷出的墨的喷出液滴量或喷出液滴数。

根据上述特征，按照表示上次喷墨时至这次喷墨的经历时间的喷射时间间隔，控制对喷墨对象喷出的墨的喷出液滴量或喷出液滴数。因此，即使喷墨单元内的墨的溶媒随时间的经历产生蒸发并使墨浓度增大，也能使墨的喷出液滴量减小，以抵消该墨浓度增大。所以，即使喷墨单元内的墨的溶媒随时间的经历产生蒸发并使墨浓度增大，喷出浓度大的墨后得到的膜的厚度也不增大。其结果，可提供能形成质量良好的膜的喷墨方法。

本发明的喷墨装置，如上文那样，其喷墨单元按照所述喷射时间间隔计算单元算出的喷射时间间隔，控制对喷墨对象喷出的墨的喷出液滴量或喷出液滴数，因此即使喷墨单元内的墨的溶媒随时间的经历产生蒸发并使墨浓度增大，也能使墨的喷出液滴量或液滴数减少，以抵消该墨浓度增大。结果，取得能形成质量良好的膜的效果。

本发明的喷墨方法，如上文那样，按照所述喷射时间间隔计算单元算出的喷射时间间隔，控制对喷墨对象喷出的墨的喷出液滴量或喷出液滴数，因此即使喷墨单元内的墨的溶媒随时间的经历产生蒸发并使墨浓度增大，也能使墨的喷出液滴量或液滴数减少，以抵消该墨浓度增大。其结果，取得能形成质量良好的膜的效果。

由下文所示记载会充分理解本发明的其它目的、特征和优点。而且，在接着参照附图的说明中会明白本发明的利益。

附图说明

图1是示出本发明实施方式并示出喷墨装置的关键部的框图。

图2是以图解方式示出上述喷墨装置中设置的喷墨部的组成的图。

图3(a)是示出设置在上述喷墨部的喷头的外观的立体图。

图3(b)是上述喷头和形成受上述喷头喷墨的CF板的基片的剖视图。

图4是说明受上述喷墨装置喷墨的多个缺陷像素的修复顺序用的图。

图5是说明受上述喷墨装置喷墨的其它多个缺陷像素的修复顺序用的图。

图6是示出由上述喷墨装置进行喷墨的喷射时间间隔与由来自上述喷墨装置的喷墨形成的膜的厚度之间的关系的图形。

标号说明

1是喷墨装置，2是喷墨部(喷墨单元)，3是喷射顺序决定部(喷射顺序决定单元)，4是喷射时间间隔计算部(喷射时间间隔计算单元)，5是喷射模式产生部(喷射模式产生单元)，6是预摇动部(预摇动单元)，7是喷头，9R、9G、9B是缺陷像素(喷墨对象)，10是喷嘴，17是比较部。

具体实施方式

根据图1至图6说明一本发明实施方式。

图1是示出本发明实施方式并示出喷墨装置1的关键部的框图。喷墨装置1配备喷墨部2。将喷墨部2设置成可对CF板相对移动，以便对以散布方式产生在形成于基片的CF板上的多个缺陷像素进行喷墨。

图2是以图解方式示出喷墨部2的组成的图。喷墨部2具有红(R)、绿(G)和蓝(B)各色用的3个喷头7。各喷头7包含喷嘴10。

将图2的各喷头7的喷嘴配置成高度不同。这是考虑通过使喷墨部2反时针绕地旋转，将两端的喷嘴10沿喷墨部2的主扫描方向V配置在同一直线状。利用各喷头7往主扫描方向V和副扫描方向H倾斜，使各喷嘴10之间的印字宽度G小，能对缺陷像素分配较多喷嘴。通过将较多喷嘴分配给缺陷像素，能减少来自所分配各喷嘴10的喷出数。其结果，即使喷墨部2高速移动，也能在其进行移动的时间内对缺陷像素填充规定的液滴量。

图3(a)是示出喷头7的外观的立体图，图3(b)是喷头7和形成受喷头7喷墨的CF板的基片8的剖视图。喷头7主要由喷嘴板12和壳体11构成，以收装墨。由喷嘴板12覆盖壳体11的开口。在喷嘴板12空开规定的间隔，形成喷墨孔13的直径为约20微米(μm)的喷嘴10。壳体11的内部设置压电构件14，以形成墨流路15。压电构件14随施加的电压产生振动，从而通过喷嘴10往基片方喷出墨滴16。

修复缺陷像素的一系列动作中，配备喷嘴7的喷墨部2离开端盖位置进行空喷(净化)后，在基片8上开始移动，则收装在喷嘴10内部的喷嘴喷出孔13附近的墨，其溶媒从喷出孔13渐渐蒸发，从而推进墨浓度局部增大。其结果，首次对缺陷像素喷出的几滴墨滴16，为墨浓度增大的状态的墨。此墨浓度的增大随喷头7离开端盖位置进行空喷(净化)后的时间经历，其增大程度变大。

又参考图1，喷墨装置1配备喷射顺序决定部3。喷射顺序决定部3，决定对基片8的CF板上发生的多个缺陷像素喷墨以进行修复的顺序。喷射顺序决定部3在实际对缺陷像素进行喷墨前，根据散布在基片的CF板上的缺陷像素的位置，以喷头7的扫描次数最少并且处理时间最短为目的，决定缺陷像素的修复顺序。

喷墨装置1中设置喷射时间间隔计算部4。喷射时间间隔计算部4根据喷射顺序决定部3决定的修复顺序，算出表示上次喷墨时至这次喷墨的经历时间的喷射时间间隔。喷射时间间隔计算部4对决定的修复顺序，根据喷头7的X方向Y方向的移动速度等，算出喷头7先前对一端进行喷墨后至对下一缺陷像素喷墨并进行修复的时间(喷射时间间隔)。

喷墨装置1中设置比较部17。比较部17将喷射时间间隔计算部4算出的喷射时间间隔与规定的基准时间进行比较。

喷墨装置1配备喷射模式产生部5。喷射模式产生部5按照比较部17的比较结果，选择喷墨模式，产生表示选择的喷墨模式的喷射定时信号，供给喷墨部2。喷射模式产生部5按照喷墨部2的喷头7喷墨后至对下一缺陷像素喷墨的时间，使产生对各喷嘴的喷射定时信号用的喷墨模式变化，并使对缺陷像素的喷射量增减，校正成对缺陷像素的适当喷射量，从而准确控制膜厚。

喷墨装置1中设置预摇动部6。预摇动部6通过每次喷头扫描，使喷嘴10定期摇动，搅拌收装在喷头7的内部的喷嘴喷出孔13附近的墨，防止墨粘度增大，从而减小墨粘度随时间经历的增大程度，使墨的喷射状态变化小。

预摇动部6还通过在对缺陷像素喷墨前执行预摇动，进行墨搅拌，防止墨粘度增大。

图4是说明受喷墨装置1喷墨的多个缺陷像素9R、9G、9B的修复顺序用的图。图5是说明另一多个缺陷像素9R、9G、9B的修复顺序用的图。图4、图5分别示出喷射顺序决定部3决定以散布方式发生在基片8上的多个缺陷像素9R、9G、9B的修复顺序的例子。

参考图4，设置在喷头喷出部2的喷嘴10的喷嘴喷出孔13从端盖覆盖的端盖位置离开喷头喷出部2，则喷头喷出部2在基片8的区域外进行空喷(净化)后，开始在基片8上进行相对移动。

如图4所示，首先，喷头喷出部2到达图4中位于基片8的左上的红的缺陷像素9R。然后，设置在喷头喷出部2的红色用的喷头7一面在缺陷像素9R上进行扫描移动、一面对缺陷像素9R喷出红墨。接着，喷头喷出部2在图4中往左下方移动，并移动到另一缺陷像素9R。然后，设置在喷头喷出部2的红色用的喷头7一面在另一缺陷像素9R上进行扫描移动、一面对另一缺陷像素9R喷出红墨。

其后，喷头喷出部2进一步往左下方移动，到达绿的缺陷像素9G，并且设置在喷头喷出部2的绿色用的喷头7一面在缺陷像素9G上进行扫描移动、一面对缺陷像素9G喷出绿墨。接着，喷头喷出部2在图4中往右下方移动，并到达相邻的蓝的缺陷像素9B和绿的缺陷像素9G，并且设置在喷头喷出部2的蓝色用的喷头7和绿色用的喷头7一面分别在缺陷像素9B、9G上进行扫描移动、一面对缺陷像素9B喷出蓝墨，对缺陷像素9G喷出绿墨。

然后，喷头喷出部2在图4中往右上方移动，到达相邻的缺陷像素9B、9R、9G，一面在缺陷像素9B、9R、9G上进行扫描移动、一面使设置在喷头喷出部2的蓝色用的喷头7对缺陷像素9B喷出蓝墨，红色用的喷头7对缺陷像素9R喷出红墨，绿色用的喷头7对缺陷像素9G喷出绿墨。接着，喷头喷出部2在图4中进一步往右上方移动，到达缺陷像素9G，并且绿色用的喷头7对缺陷像素9G喷出绿墨。

参考图5，与上述图4相同，喷头喷出部2离开端盖位置，则喷头喷出部2在基片8的区域外进行空喷(净化)后，开始在基片8上进行相对移动。

首先，喷头喷出部2在图5中到达在基片8的左上相邻的缺陷像素9B、9G。然后，喷头喷出部2一面在缺陷像素9B、9G上进行扫描移动、一面使设置在喷头喷出部2的蓝色用的喷头7对缺陷像素9B喷出蓝墨，绿色用的喷头7对缺陷像素9G喷出绿墨。接着，喷头喷出部2在图5中移动到左下方，到达相邻的另一缺陷像素9G、9B。然后，喷头喷出部2一面在另一缺陷像素9B、9G上进行扫描移动、一面使蓝色用的喷头7对缺陷像素9B喷出蓝墨，绿色用的喷头7对缺陷像素9G喷出绿墨。

其后，喷头喷出部2往图5中的右下方移动，到达缺陷像素9G，一面在此缺陷像素9G上扫描移动、一面时绿色用的喷头7对缺陷像素9G喷出绿墨。接着，喷头喷出部2往左下方移动，一面在缺陷像素9B上扫描移动、一面使喷头喷出部2的蓝色用的喷头7对缺陷像素9B喷出蓝墨。

然后，喷头喷出部2往右下方移动，到达缺陷像素9R，一面在此缺陷像素9R上扫描移动、一面使红色用的喷头7对缺陷像素9R喷出红墨。

接着，喷头喷出部2往右上方移动，到达相邻的缺陷像素9G、9R，一面在此缺陷像素9G、9R上扫描移动、一面使喷头喷出部2的绿色用的喷头7对缺陷像素9G喷出绿墨，红色用的喷头7对缺陷像素9R喷出红墨。

其后，喷头喷出部2往左上方移动，到达缺陷像素9B，一面在此缺陷像素9B上扫描移动、一面使喷头喷出部2的蓝色用的喷头7对缺陷像素9B喷出蓝色的墨。

图6是示出由喷墨部2进行喷墨的喷射时间间隔与由来自喷墨部2的喷墨形成的膜的厚度之间的关系的图形。横轴表示喷射时间间隔，纵轴表示膜厚。喷射时间间隔是上次喷墨时至这次喷墨的经历时间，包含喷头喷出部2的各色用的喷头7的喷嘴10进行空喷(净化)后至首次对各色缺陷像素喷墨的经历时间和对缺陷像素喷墨后至对下一同色缺陷像素喷墨的经历时间这两种时间。

如图6所示，喷射时间间隔越长，喷射形成的膜厚越增大。例如，呈现的趋势为：喷射时间间隔从30秒加长到120秒时，测量结果的值有些偏差的膜厚从1.30微米增大到1.36微米，增大约5％。

又参考图4，虚线包围的缺陷像素9R为喷墨部2开始移动后首次进行修复的对象。另一方面，图5所示虚线包围的缺陷像素9R为在修复多个缺陷像素9B、9G后开始进行修复的对象。图4的情况下的缺陷像素9R与图5的情况下的缺陷像素9R在喷墨部2空喷后开始进行移动至喷墨加以修复的喷射时间间隔存在大差异。

因此，即使从同一喷嘴对缺陷像素喷出喷射数相同的墨，喷出后的墨的浓度状态也不同，所以喷射时间间隔存在大差异时，如图6所示，结果墨烧固后的膜厚不同。膜厚存在差异在全部像素中成为其图像质量降低的主要原因，尤其成为最近要求高级图像质量的电视中致命的问题。

所以，本实施方式中，进行控制，使图4的情况下虚线包围的缺陷像素9R和图5的情况下虚线包围的缺陷像素9R上喷出的液滴数变化，从而两种情况下的膜厚一致。具体而言，根据图6所示喷射时间间隔与膜厚的关系，将图5的虚线包围的缺陷像素9R的情况控制成击入像素内的喷射数少于图4的虚线包围的缺陷像素9R的情况下的该喷射数，使前者以喷出液滴量减少的方式修复缺陷像素9R。

例如，预先设置记录第1喷出液滴量和少于第1液滴量的第2液滴量的表，并且在喷射时间间隔短于规定的基准时间时，利用表示与第1喷出液滴量对应的第1喷墨模式的喷出定时信号对缺陷像素喷墨，在喷射时间间隔长于规定的基准时间时，利用表示与第2喷出液滴量对应的第2喷墨模式的喷出定时信号对缺陷像素喷墨。结构上这样做，则能按照喷射时间间隔在第1喷出液滴量与第2喷出液滴量之间切换对缺陷像素喷出的墨的喷出液滴量，并且喷射时间间隔长于规定的基准时间时，能切换喷出液滴量，使喷出液滴量减少。

再者，示出以切换喷出液滴量的方式进行控制的例子，但本发明不限于此，也可构成控制喷出液滴数，以代替喷出液滴量

可将喷出模式产生部5构成按照比较部17对喷射时间间隔计算部4算出的喷射时间间隔与基准时间的比较结果，选择第1喷墨模式和第2喷墨模式中的一方，产生表示选择的喷墨模式的喷出定时信号，供给喷墨部2，从而实现上述组成。

具体而言，图4中，喷头喷出部2在基片8外进行空喷(净化)后至对虚线包围的首个缺陷像素9R喷墨的经历时间(即喷射时间间隔)不长于规定的基准时间，因此利用第1喷出液滴量，对图4中虚线包围的缺陷像素9R喷墨。而且，图5中，喷头喷出部2在基片8外进行空喷(净化)后至对虚线包围的首个缺陷像素9R喷墨的经历时间(即喷射时间间隔)长于规定的基准时间，因此利用第2喷出液滴量对图5中虚线包围的缺陷像素9R喷墨。

再者，图6是用10个喷嘴从各喷嘴将10滴墨击入像素内并测量膜厚的结果。尤其是头滴起的几滴，因溶媒蒸发而墨浓度增大的变化大。即，尤其在头滴起的几滴中，墨的浓度增大，使膜厚增大；几滴以后，墨的浓度又减小并复原，膜厚也减小并恢复常规值。尤其在头滴中，喷出粘度增大的墨；其后，粘度增大的墨被被渐渐喷射并从喷头排除，所以墨浓度变成常规浓度的状态。

这样，从喷头喷出的墨的浓度如上文所述那样起作用，所以可估计头滴起的几滴的墨浓度，算出喷出液滴量(数)，进行喷墨。

将较多的喷嘴分配给1个缺陷像素以修复缺陷像素的情况下，墨浓度增大的头滴起的几滴的影响比率变得较大，使膜厚进一步增大。因而，需要按照分配在像素内的喷嘴的数量调整根据喷射时间间隔进行控制的喷出数。

为了对同一规模的缺陷像素填满规定液滴量，例如将喷头往主扫描方向和副扫描方向大倾斜，使各喷嘴之间的印字宽度小，能对缺陷像素分配较多喷嘴。此情况下，每一喷嘴的喷出量少。因而，来自各喷嘴的头滴的比率增多，喷射时间间隔长时，墨浓度增大的头滴的影响较大。

另一方面，规模大的缺陷像素中，当然规定液滴量比规模小于它的缺陷像素增加。此情况下，由于像素大，能将较多喷嘴分配给像素，但因规模大而需要的规定液滴量较多，所以喷出墨粘度复原的墨的比率增加。因而，不产生上述情况的程度的头滴的影响。

再者，本实施方式中，作为喷射时间间隔的例子，示出喷墨部2进行空喷后并开始移动至喷墨进行修复的时间，但本发明不限于此。喷射时间间隔也可以是上次对CF板上的缺陷像素喷墨时至这次喷墨的经历时间。

又，上述实施方式中，说明了CF板上产生的缺陷像素的例子，但本发明不限于此。对具有排成矩阵状或条带状的多个被喷射部的场致发光(EL)的显示装置的制造也能应用本发明。而且，对等离子体显示装置背面基片的制造能用本发明，对配备电子发射元件的图像显示装置的制造和布线的制造也能用本发明。

本发明不受上述实施方式限定，在权利要求书所示范围内可作各种变换。即，本发明的技术范围也包含组合在权利要求书所示范围内适当变换的技术手段而得到的实施方式。

本发明的喷墨装置中，最好还配备将所述喷射时间间隔计算单元算出的所述喷射时间间隔与规定的基准时间进行比较的比较单元，并且所述喷墨单元按照所述比较单元的比较结果，控制所述喷出液滴量或喷出液滴数。

根据此组成，即使由于喷射时间间隔长于规定的基准时间，喷墨单元内的墨的溶媒蒸发并且墨浓度增大，也能使墨的喷出液滴量减少，以抵消该增大。

本发明的喷墨装置中，最好还配备决定对所述多个喷墨对象进行所述喷墨的顺序的喷射顺序决定单元，并且所述喷射时间间隔计算单元根据所述喷射顺序决定单元决定的顺序，算出所述喷射时间间隔。

根据此组成，能利用简单的组成方便地算出喷射时间间隔。

本发明的喷墨装置中，最好还配备按照所述喷射时间间隔计算单元算出的喷射时间间隔选择喷墨模式，并产生表示所述选择的喷墨模式的喷出定时信号，且供给所述喷墨单元的喷射模式产生单元。

根据此组成，能将按照喷射时间间隔切换喷出液滴量用的喷出定时信号供给喷墨单元。

本发明的喷墨装置中，最好所述喷墨单元具有对所述多个喷墨对象进行喷墨的喷嘴，还配备定期使所述喷嘴摇动的预摇动单元。

根据此组成，能搅拌喷嘴的喷墨口附近的墨以防止墨粘度增大，并使粘度随时间经历的增大减小，从而减少上述喷墨状态变化。

本发明的喷墨装置中，最好所述预摇动单元在主扫描方向的相对移动回复时，使所述喷嘴摇动。

根据此组成，不必考虑喷出定时的时间，能方便地定期执行定期的预摇动，从而能搅拌喷嘴的喷墨口附近的墨以防止墨粘度增大，并使粘度随时间经历的增大减小，减少上述喷墨状态变化。

本发明的喷墨装置，最好所述媒体是液晶显示装置用CF板，并且所述喷墨对象是所述CF板上产生的缺陷像素。根据此组成，可获得能修复CF板上产生的缺陷像素并形成质量良好的CF板的喷墨装置。

再者，“实施发明用的最佳方式(具体实施方式)”这节中完成的具体实施方式或实施例毕竟是说明本发明技术内容的例子，不应仅限于这种具体例狭义地解释，在本发明的精神和接着记载的权利要求书的范围内能作各种变换并进行实施。

工业上的实用性

本发明能用于修复CF板中产生的缺陷像素。又，本发明对具有排成矩阵状或条带状的多个被喷射部的场致发光(EL)的显示装置的制造，也能应用。而且，对等离子体显示装置背面基片的制造，也能用本发明，对配备电子发射元件的图像显示装置的制造和布线的制造，也能用本发明。

Claims (14)

1、一种喷墨装置，配备：

设置成可对媒体相对移动、以便对散布在所述媒体上的多个喷墨对象进行喷墨的喷墨单元；以及

根据对所述多个喷墨对象进行所述喷墨的顺序，算出表示上次喷墨至这次喷墨的经历时间的喷射时间间隔的喷射时间间隔计算单元，其特征在于，

所述喷墨单元按照所述喷射时间间隔计算单元算出的所述喷射时间间隔，控制对所述喷墨对象喷出的墨的喷出液滴量或喷出液滴数。

2、如权利要求1中所述的喷墨装置，其特征在于，

还配备将所述喷射时间间隔计算单元算出的所述喷射时间间隔与规定的基准时间进行比较的比较单元，并且

所述喷墨单元按照所述比较单元的比较结果，控制所述喷出液滴量或喷出液滴数。

3、如权利要求1中所述的喷墨装置，其特征在于，

还配备决定对所述多个喷墨对象进行所述喷墨的顺序的喷射顺序决定单元，并且

所述喷射时间间隔计算单元根据所述喷射顺序决定单元决定的顺序，算出所述喷射时间间隔。

4、如权利要求1中所述的喷墨装置，其特征在于，

还配备按照所述喷射时间间隔计算单元算出的喷射时间间隔，选择喷墨模式，并产生表示所述选择的喷墨模式的喷出定时信号，且供给所述喷墨单元的喷射模式产生单元。

5、如权利要求1所述的喷墨装置，其特征在于，

所述喷墨单元具有对所述多个喷墨对象进行喷墨的喷嘴，

还配备定期使所述喷嘴摇动的预摇动单元。

6、如权利要求5中所述的喷墨装置，其特征在于，

所述预摇动单元在主扫描方向的相对移动回复时，使所述喷嘴摇动。

7、如权利要求1中所述的喷墨装置，其特征在于，

所述媒体是液晶显示装置用CF板，

所述喷墨对象是所述CF板上产生的缺陷像素。

8、一种喷墨方法，使用设置成可对媒体相对移动的喷墨单元、以便对散布在所述媒体上的多个对象进行喷墨，其特征在于，

根据对所述多个喷墨对象进行所述喷墨的顺序，算出表示上次喷射时至这次喷射的经历时间的喷射时间间隔，

按照所述算出的喷射时间间隔，控制所述喷墨对象喷出的墨的喷出液滴量或喷出液滴数。

9、如权利要求8中所述的喷墨方法，其特征在于，

将所述算出的喷射时间间隔与规定的基准时间进行比较，

按照该比较结果，控制所述喷出液滴量或所述喷出液滴数。

10、如权利要求8中所述的喷墨方法，其特征在于，

决定对所述多个喷墨对象进行所述喷墨的顺序，并根据所述决定的顺序，算出所述喷射时间间隔。

11、如权利要求8中所述的喷墨方法，其特征在于，

按照所述算出的喷射时间间隔，选择喷墨模式，产生表示所述选择的喷墨模式的喷射定时信号，供给所述喷墨单元。

12、如权利要求8中所述的喷墨方法，其特征在于，

所述喷墨单元具有对所述多个喷墨对象进行喷墨的喷嘴，并且

使所述喷嘴定期摇动。

13、如权利要求12中所述的喷墨方法，其特征在于，

所述喷墨单元在主扫描方向的相对移动回复时，使所述喷嘴摇动。

14、如权利要求8中所述的喷墨方法，其特征在于，

所述媒体是液晶显示装置用CF板，

所述喷墨对象是所述CF板上产生的缺陷像素。

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