CN101232755B - 蒸镀装置和方法、显示装置及制造方法、有机电致发光元件 - Google Patents

Abstract

本发明公开了蒸镀装置、蒸镀方法、有机电致发光元件、显示装置及其制造方法，其中，该蒸镀装置包括：材料保持部，用于填充有蒸镀材料并加热蒸镀材料；开口，用于朝向蒸镀构件扩散由材料保持部蒸发的蒸镀材料；以及高温体，设置在材料保持部和开口之间，高温体被加热到比在材料保持部中被加热的蒸镀材料的温度高的温度。通过来自高温体的辐射热加热表层可使填充在材料保持部中的蒸镀材料整体保持维持在较低的平均温度，从而可以抑制材料的劣化。

Description

蒸镀装置和方法、显示装置及制造方法、有机电致发光元件

相关申请的交叉参考

本发明包含于2007年1月22日向日本专利局提交的日本专利申请JP 2007-011141的主题，其全部内容结合于此作为参考。

技术领域

本发明涉及通过加热蒸镀材料、从而蒸发该蒸镀材料以及将扩散蒸发的蒸镀材料从开口扩散到蒸镀构件来执行蒸镀的蒸镀装置、蒸镀方法、有机电致发光元件以及显示装置，具体地，涉及当将有机材料用作蒸镀材料时适合的蒸镀装置、蒸镀方法、有机电致发光元件以及显示装置。

背景技术

在用于通过蒸镀形成有机EL(电致发光)层的批量生产装置中，蒸镀源需要填充大量的有机材料，使得在较长的时间段内连续执行生产。由于有机材料通常易受热的影响，所以从生产时间的开始到结束连续将大量有机材料加热到用于达到固定蒸镀率的温度会在生产的最后阶段使材料和有机EL元件的特性劣化。为了避免这种情况，已经提出直接向材料按压加热元件的技术作为局部加热材料的方法(参见专利文献1(日本专利公开第2003-113465号))。

另外，专利文献2(日本专利公开第2003-253430号)被引用作为使用通过辐射热进行加热而非直接向材料按压加热元件的技术。例如，在专利文献3(日本专利公开第2005-307302号)中公开了仅利用光来蒸发材料的另一种技术。

发明内容

然而，利用专利文献1中所公开的向材料直接加压加热元件的技术，由于有机材料自身的热传导、融化所致的对流等问题而难以获得稳定的蒸镀率。使用专利文献2中公开的使用通过辐射热进行加热的技术，材料整体均匀地处于高温，因此不能获得抑制材料劣化的效果。利用专利文档3中公开的仅通过光来蒸发材料的技术，难以获得上述局部加热的稳定率，并且需要高能量的激光等以将材料加热到用于仅通过光获得期望蒸镀率的温度，从而取而代之出现了破坏有机材料的问题。

本发明的目的在于解决这些问题。根据本发明的一个实施例，提供了一种蒸镀装置，包括：材料保持部，用于填充有蒸镀材料并加热该蒸镀材料；开口，用于朝向蒸镀构件扩散由材料保持部蒸发的蒸镀材料；以及高温体，设置在材料保持部和开口之间，高温体被加热到比在材料保持部中被加热的蒸镀材料的温度高于的温度。

根据本发明的实施例，在蒸镀时，只有材料保持部和填充在材料保持部中的材料的表面可通过来自高温体的辐射热被局部被加热，其中，高温体被加热到比材料保持部和材料的温度高的温度。因此，可以获得期望的蒸镀率，而不对蒸镀材料内部产生加热影响。

稳定材料被用作用于高温体的材料，其不会例如由于在真空中被加热而分解或发出气体，例如金属材料(例如钛(Ti)、钽(Ta)、钼(Mo)和不锈钢(SUS))、碳材料或陶瓷(例如Al₂O₃)。优选地，高温体经受表面处理等来增强辐射率。

另外，以板的形式提供高温体，并将其设置在高温体与来自材料保持部的材料蒸气的流出方向垂直的位置处。从而可以减少由于蒸镀材料的突沸所引起的形成在蒸镀构件上的蒸镀膜的厚度变化，而且还带来在蒸镀源内有助于蒸气扩散的效果。此外，在这种情况下，选择用于确保材料蒸气的充分流动通路的位置，使得可以抑制用于获取期望蒸镀率的材料加热温度的增高。

根据本发明的另一个实施例，提供了一种蒸镀方法，用于在蒸镀材料被填充在材料保持部中的状态下加热蒸镀材料、蒸发蒸镀材料、以及将经过蒸发的蒸镀材料从开口扩散到蒸镀构件，该蒸镀方法包括：在材料保持部和开口之间设置高温体，以及当执行蒸镀时将高温体加热到比在材料保持部中被加热的蒸镀材料的温度高的温度。

根据本发明的实施例，在蒸镀时，只有材料保持部和填充在材料保持部中的材料的表面可通过来自高温体的辐射热被局部加热，其中，高温体被加热到比材料保持部和材料的温度高的温度。因此，可以获得期望的蒸镀率，而不对对蒸镀材料的内部产生加热影响。

根据本发明的另一实施例，提供了一种有机电致发光元件，其在基板上具有第一电极、包括发光层的有机层以及第二电极，其中，通过用于在有机材料被填充在材料保持部中的状态下加热有机材料、蒸发该有机材料、以及将所蒸发的有机材料从开口扩散到基板的蒸镀方法，通过蒸镀形成发光层，该蒸镀方法包括在材料保持部和开口之间设置高温体，以及将高温体加热到比在材料保持部中被加热的有机材料的温度高的温度。

根据本发明的另一实施例，提供了一种使用有机电致发光元件的显示装置，该有机电致发光元件具有在基板上的第一电极、包括发光层的有机层和第二电极，其中，通过用于在有机材料被填充在材料保持部中的状态下加热有机材料、蒸发该有机材料、以及将所蒸发的有机材料从开口扩散到基板的蒸镀方法，通过蒸镀形成发光层，该蒸镀方法包括在材料保持部和开口之间设置高温体，以及将高温体加热到比在材料保持部被加热的有机材料的温度高的温度。

因此，本发明具有以下效果。通过来自高温体的辐射热加热表层可使填充在材料保持部中的蒸镀材料整体维持在较低的平均温度，从而可以抑制材料的劣化。因此，可以在较长时间段内连续生产具有良好特性的元件。另外，可以在蒸镀构件的较宽区域上长时间稳定地控制形成在蒸镀构件上的蒸镀膜的厚度分布。

附图说明

图1是用于说明根据本发明实施例的蒸镀装置概要的示意图；

图2A和图2B是用于说明根据本发明实施例的蒸镀装置的装置结构实例的示意图，图2A是整体图，以及图2B是高温体和高温体周边的局部放大图；

图3A和图3B是用于说明应用根据本发明实施例的蒸镀装置的蒸镀系统的结构实例的示意图，图3A是整体图，以及图3B是沿管的侧面方向的截面图；

图4是用于说明如何通过蒸镀减少材料的示意图；

图5A和图5B是用于说明蒸镀率相对于高温体的温度而改变的示图，图5A对应于蒸镀率为几埃/秒的情况，以及图5B对应于蒸镀率为几十埃/秒的情况；

图6是示出蒸镀膜厚度的平面内分布的仿真结果的示图，图6中的实线对应于根据本发明实施例的蒸镀装置(具有高温体)的情况，以及图6中的虚线对应于现有蒸镀装置(不具有高温体)的情况；

图7是用于说明通过应用根据本发明实施例的蒸镀装置和蒸镀方法所形成的有机电致发光元件的实例的示意性截面图；

图8A和图8B是示出根据本发明实施例的显示装置的实例的示图，图8A是示意性框图，以及图8B是像素电路的结构示图；

图9是用于说明模块形状的示意性平面图；

图10是应用本发明实施例的电视机的透视图；

图11A和图11B是应用本发明实施例的数码相机的透视图，图11A是从前侧看的数码相机的透视图，以及图11B是从后侧看的数码相机的透视图；

图12是应用本发明实施例的笔记本个人计算机的透视图；

图13是应用本发明实施例的摄像机的透视图；以及

图14A、14B、14C、14D、14E、14F和14G是示出应用本发明实施例的诸如便携式电话的便携式终端装置的示图，图14A是处于打开状态的便携式电话的正视图，图14B是处于打开状态的便携式电话的侧视图，图14C是处于关闭状态的便携式电话的正视图，图14D是左视图，图14E是右视图，图14F是顶视图，以及图14G是底视图。

具体实施方式

接下来，将参考附图描述本发明的优选实施例。图1是用于说明根据本发明实施例的蒸镀装置概要的意图。具体来说，根据本发明实施例的蒸镀装置包括：材料保持部11，主要使用有机材料作为蒸镀材料10，该材料保持部11填充有作为蒸镀材料10的有机材料并加热有机材料；开口12，用于朝向例如作为蒸镀构件20的基板扩散由材料保持部11所蒸发的蒸镀材料10；以及高温体13，设置在材料保持部11和开口12之间，该高温体13被加热到比在材料保持部11中被加热的蒸镀材料10的温度T2高的温度T1。

通过图中未示出的加热器来加热材料保持部11，从而能够将容纳在材料保持部11内的蒸镀材料10整体加热到预定温度T2。通常，将温度T2设置得高于蒸镀材料10的蒸镀温度，以产生蒸镀材料10朝向蒸镀构件20扩散的状态。然而，在本实施例中，温度T2被设置得低于蒸镀材料10的蒸镀温度。从而，可以抑制容纳在材料保持部11中的有机材料等的蒸镀材料10的特性劣化。顺便提及，当除有机材料以外的由于加热而特性劣化显著的材料被用作蒸镀材料10时，可以获得与有机材料类似的抑制特性劣化的类似效果。

作为根据本实施例的蒸镀装置的特征的高温体13设置在材料保持部11中的蒸镀材料10和开口12之间，并被加热到比蒸镀材料10的温度T2高的温度T1。处在T1这个温度，来自高温体13的辐射热将材料保持部11内蒸镀材料10的表面侧的部分局部加热到高于蒸镀温度的温度。即，来自高温体13的辐射热局部加热蒸镀材料10的该部分，使得只有这部分达到蒸镀所必需的温度。

高温体可设置在任意位置，只要该位置能够在填充在材料保持部11中的蒸气材料10的内部和表面之间有意地提供温度差。优选地，为了更高的辐射效率，将高温体13设置在蒸镀材料10的附近。然而，高温体13不应该多余地妨碍蒸镀材料10的蒸气流动。

从金属材料、碳材料以及陶瓷中所选择的材料被用作高温体13的材料。对于这些材料，金属材料包括例如钛(Ti)、钽(Ta)、钼(Mo)以及不锈钢(SUS)。陶瓷例如包括Al₂O₃。即，例如作为在真空中被加热的结果而不分解或发出气体的稳定材料被用作高温体13。另外，优选地，高温体13经受表面处理等以提高辐射率。

图2A和2B是用于说明根据本发明实施例的蒸镀装置的装置结构实例的示意图，图2A是整体图，以及图2B是高温体和高温体周边的局部放大图。在图2A所示的装置结构中，多个开口12沿蒸镀构件20的宽度方向配置在管14的上侧，并且高温体13基本附着至管14内部的中心。顺便提及，在管14的蒸镀元件20侧的外表面上设置用于防止蒸镀源的热量传递到蒸镀构件20的热遮蔽板16。

在管14的下侧设置通路管15。管14和材料保持部11通过通路管15彼此连接。管14和材料保持部11各自设置有独立控制的加热器(未示出)。图2A中的虚线是热屏障。因此，在作为分界的热屏障的上侧和下侧之间提供温度差的控制成为可能。

通过使用加热器加热管14，管14内的高温体13也被加热到预定的温度T1(参见图1)。同时，材料保持部11也被加热，使得材料保持部11内的蒸镀材料10被加热到预定温度T2(参见图1)。

以板的形式提供高温体13，并将其设置在使高温体13与来自材料保持部11的蒸镀材料10的蒸气流出方向垂直的位置处。即，高温体13以遮蔽的形式设置在通路管15的孔和开口12之间，从而防止蒸镀材料10的蒸气从通路管15直接到达开口12。例如，这种设置可以减少由于蒸发有机材料时的突沸所引起的形成在蒸镀构件20上的蒸镀膜的厚度变化，此外还提供了有助于蒸镀源内的蒸气扩散的效果。

如图2B所示，在以遮蔽通路管15出口的形式设置高温体13的过程中，需要确保蒸镀材料10的蒸气足够的流动通道。假设Sa是通路管15的出口部分的横截面积，并且假设Sb是高温体13的下侧(通路管15侧)和管14的内壁之间的横截面积，选择该管的直径和高温体13的位置，使得Sa＜Sb。

具体地，通过相对于通路管15内的蒸气流的传导率充分地降低高温体13周围的蒸气流的传导率，即使在具有通过高温体13形成的遮蔽时，也可以抑制为了获得期望比率而增加材料加热温度。

为了使用这种蒸镀装置来执行蒸镀，作为蒸镀材料10的有机材料等容纳在材料保持部11中，并将材料保持部11附着至通路管15。材料保持部11经由密封垫附着至通路管15，并且材料保持部11和通路管15通过夹持机构彼此可拆卸地固定。

接下来，通过加热器加热材料保持部11，以及通过加热器加热管14。这时，通过加热器的温度控制，材料保持部11侧被控制得处于比蒸镀材料10的蒸镀温度低的温度T2。同时，控制管14侧，使得设置在管14内的高温体13处于高于温度T2的温度T1。

当高温体13达到温度T1时，来自高温体13的辐射热从通路管15传送至材料保持部11中的蒸镀材料10的表面，从而执行局部加热。在蒸镀材料10的表面超过蒸镀温度时的阶段产生蒸镀材料10的蒸气。

蒸镀材料10的蒸气从通路管15流入管14，绕过高温体13以避开高温体13，并从设置在管14上侧的开口12朝向蒸镀构件20扩散。蒸镀材料10的扩散蒸气沉积在蒸镀构件20上然后被冷却。从而，蒸镀材料10的蒸气形成为蒸镀膜。

顺便提及，根据本实施例的蒸镀装置可以通过固定用于利用材料保持部11加热蒸镀材料10的加热温度以及控制用于加热高温体13的加热温度来控制蒸镀率。即，蒸镀率随着高温体13温度的升高而增加，并且蒸镀率随着高温体13温度的降低而降低。

在通过高温体13温度的这种控制调节蒸镀率的情况下，通过控制材料保持部11侧的温度而使蒸镀材料10的温度恒定，即使在较长的时间段内执行连续的蒸镀操作时，也可以防止通过热量施加在材料保持部11内蒸镀材料10上的负担，并抑制特性的劣化。

图3A和3B是用于说明应用根据本实施例的蒸镀装置的蒸镀系统的结构实例的示意图，图3A是整体图，以及图3B是沿管14的侧面方向的截面图。在该蒸镀系统中，三个蒸镀源附着至管14。相对于蒸镀源移动设置在管14上侧的基板(蒸镀构件)，从而在基板的下表面形成蒸镀膜。

因此，管14在与经过管14上侧的基板(蒸镀构件)的传送方向垂直的方向上延伸，并且各个蒸镀源被配置在管14的中部和两个端部。从而，可沿基板的宽度方向均匀地形成蒸镀膜。

每个蒸镀源均包括：材料保持部11，如前所述用于容纳和加热蒸镀材料；通路管15，用于将材料保持部11连接到管14；以及高温体13，设置在通路管15的出口和开口12之间。对应于各个蒸镀源配置这些设置。

当在一个管14内配置对应于多个蒸镀源的多个高温体13时，在高温体13之间设置预定的间隔。从而确保管14内的蒸镀材料蒸气的流动通路。

如图3B所示，高温体13以横跨管14内径的状态设置，并且可固定在管14内的位置。例如，在由高温体13横跨的位置处在管14中设置狭缝，高温体13从该狭缝插入并安装到狭缝中以横跨管14的内部，然后焊接高温体13和管14相互交交的狭缝部分，从而固定高温体13。

包括这种高温体13和材料保持部11的各个装置的蒸镀源可经受相同的温度控制，或者可分别经受不同的温度控制。通过设置条件，即使在相同的温度控制下也可以实现均匀的蒸镀。在这种情况下，通过对于管14侧的一个温度控制系统和对于材料保持部11侧的一个温度控制系统可以简化系统结构。

另一方面，通过对每个蒸镀源内的每个高温体13和每个材料保持部11分别设置温度控制系统，根据不同位置处蒸镀率的检测结果，可通过温度管理精确地控制每个蒸镀源的蒸镀率。

此外，由于可以使材料保持部11中蒸镀材料的温度恒定，所以对于每个蒸镀源中的每个材料保持部11的温度控制系统可被集成到一个温度控制系统中，以及可为每个蒸镀源中的每个高温体13设置单独的温度控制系统。从而，可以在材料保持部11侧实现简单的系统结构，并且通过每个高温体13温度的单独控制来精确地控制每个蒸镀源的蒸镀率。

在通过这种蒸镀系统在基板上执行蒸镀的过程中，利用容纳在每个蒸镀源的每个材料保持部11中的蒸镀材料以及利用通过上述材料保持部11和高温体13的温度控制而使每一个都加热到预定温度的材料保持部11和高温体13，基板从管14的开口12上经过。从而，例如甚至在宽基板上也可以形成均匀的蒸镀膜。

图4是用于说明如何通过蒸镀减少蒸镀材料的示意图。具体地，在如本实施例中具有设置在管14内的高温体13的蒸镀装置中，来自高温体13的辐射热局部加热材料保持部11内的蒸镀材料10。因此，即使从外部加热材料保持部11时，蒸镀材料10表面的中心部分首先蒸发。

在图4的实例中，在已经将蒸镀材料10放置在材料保持部11中时蒸镀材料10的表面位置由图4中的虚线表示并且实质上是平坦位置。蒸镀材料10减少使得蒸镀材料10表面的中心部分变凹。因此，如图所示，由于通过高温体13产生的辐射热的效果而有效地发生蒸镀。

图5A和图5B是用于说明相对于高温体温度的蒸镀率的变化的示图，图5A对应于蒸镀率为几埃/秒的情况，而图5B对应于蒸镀率为几十埃/秒的情况。每个图中的三条线对应于蒸镀构件不同的蒸镀位置(中心部分、右侧和左侧)。

顺便提及，在图5A和图5B的每个图中，材料保持部的温度是固定的，只有高温体的温度是变化的。

这两个图示出了在材料保持部的温度固定的情况下，蒸镀率随着高温体的温度变高而增加。因此，通过在管内设置作为根据本实施例的蒸镀装置特征部分的高温体并加热该高温体所产生的辐射热，可以获得与高温体的温度成正比的蒸镀率。

图6是示出蒸镀膜厚度的平面内(in-plane)分布的仿真结果的示图。图6中的实线对应于根据本实施例的蒸镀装置(具有高温体)的情况。图6中的虚线对应于现有蒸镀装置(不具有高温体)的情况。图6中的横坐标轴表示蒸镀构件的平面内位置。图6中的纵坐标轴表示膜厚(目标膜厚为100％)。

如图所示，在由图6中的虚线所表示的现有蒸镀装置(没有高温体)的情况下，平面内膜厚的分布变化很大，而在根据本实施例的蒸镀装置(具有高温体)的情况下，相对于目标膜厚具有很小的变化，因此可以获得均匀性良好的膜厚。

接下来，将描述通过使用上述蒸镀装置和蒸镀方法形成的有机电致发光元件、使用电致发光元件的显示装置以及应用实例。

(有机电致发光元件)。

图7是用于说明通过应用根据本发明实施例的蒸镀装置和蒸镀方法形成的有机电致发光元件的实例的示意性截面图。在有机电致发光元件中，通过在玻璃基板1001上依次层压栅电极1003、栅极绝缘膜1005和半导体层1007来形成薄膜晶体管Tr。薄膜晶体管Tr被层间绝缘膜1009覆盖。通过形成在层间绝缘层1009中的连接孔设置连接到薄膜晶体管Tr的配线1011以形成像素电路。因此，形成所谓的TFT基板1020。

通过平面化绝缘膜1021覆盖TFT基板1020的顶面。在平面化绝缘膜1021中形成到达配线1011的连接孔。例如在平面化绝缘膜1021上形成经由连接孔连接到配线1011的像素电极(第一电极)1023作为正极。形成以这种形状覆盖像素电极1023外围的绝缘膜图案1025。

以覆盖像素电极1023露出面的状态形成有机EL材料层1027作为层压膜。以通过绝缘图案1025和有机EL材料层1027保持与像素电极1023绝缘的状态来形成对电极(第二电极)1029。例如，该对电极1029被形成为由透明导电材料制成的阴极，并且以对所有像素共同的固体膜的形式而形成。

此后，经由具有光透明度的粘合层1031在对电极1029上层压透明基板1033，从而完成有机电致发光元件1040。

在本实施例中，将前述蒸镀装置和蒸镀方法应用于上述有机EL材料层1027的形成。从而，即使在较长的时间段内执行连续蒸镀时，也可以形成均匀的膜而不会导致材料的特性劣化，因此改进了有机电致发光元件的发光特性。

(显示装置)

图8A和图8B是示出根据本发明实施例的显示装置实例的示图，图8A是示意性框图，以及图8B是像素电路的结构示图。以下将描述将本发明应用于使用有机电致发光元件1040作为发光元件的有源矩阵型显示装置的实施例。

如图8A所示，显示区域2002a和显示区域2002a外围的外围区域2002b被设置在显示装置2001的基板2002上。显示区域2002a被形成为像素阵列单元，其中，多条扫描线2009和多条信号线2011被垂直和水平地配置，并且与多条扫描线2009和多条信号线2011的每一个相交部分相对应地设置一个像素a。在这些像素a的每一个中设置有机电致发光元件。

外围区域2002b包括用于扫描和驱动扫描线2009的扫描线驱动电路2013和用于向信号线2011提供与亮度信息相对应的视频信号(即，输入信号)的信号线驱动电路2015。

如图8B所示，设置在每个像素a中的像素电路例如包括有机电致发光元件1040、驱动晶体管Tr1、写晶体管(采样晶体管)Tr2以及存储电容器Cs。

通过扫描线驱动电路2013的驱动，存储电容器Cs保持经由写晶体管Tr2从信号线2011写入的视频信号。从驱动晶体管Tr1向有机发光致电元件1040提供与保持的信号量相对应的电流。有机发光致电元件1040以对应于电流值的亮度发光。

注意，上述像素电路的结构只是实例。根据要求，可在像素电路内设置电容性元件，并且还可以设置多个晶体管以形成像素电路。另外，根据像素电路的变化而可能需要的驱动电路被添加到外围区域2002b中。

根据本实施例的显示装置2001还包括具有图9所示密封结构的模块形式的显示装置。例如，显示模块对应于显示装置2001，通过围绕作为像素阵列单元的显示区域A的方式设置密封部2021以及以密封部2021用作粘合剂将像素阵列单元层压到诸如透明玻璃等的相对部(密封基板2006(对应于图7中的密封基板1033))，来形成显示模块。

透明密封基板2006可包括滤色器、保护膜、遮光膜等。顺便提及，可以为形成显示区域A的显示模块的基板2002设置用于向显示区域2002a(像素阵列单元)外部地输入信号等的柔性印制板2023。

(应用实例)

根据上述本发明实施例的显示装置可应用于所有领域中的电子装置的显示单元，显示单元显示输入至电子装置的视频信号或者电子装置内生成的的视频信号作为图像或视频，电子装置包括图10至图图14中所示的各种电子装置，例如数码相机、笔记本个人计算机、诸如便携式电话等的便携式终端装置以及摄像机。以下将描述应用本发明实施例的电子装置的实例。

图10是应用本发明实施例的电视机的透视图。根据本应用实例的电视机包括由前面板102、滤光玻璃103等形成的视频显示屏幕单元101。使用根据本发明实施例的显示装置作为视频显示屏幕单元101来制造电视机。

图11A和图11B是应用本发明实施例的数码相机的透视图，图11A是从前侧看的数码相机的透视图，以及图11B是从后侧看的数码相机的透视图。根据本应用实例的数码相机包括用于闪光的发光单元111、显示单元112、菜单开关113、快门按钮114等。使用根据本发明实施例的显示装置作为显示单元112来制造数码相机。

图12是应用本发明实施例的笔记本个人计算机的透视图。根据本应用实例的笔记本个人计算机包括主单元121中的用于输入字符等的键盘122、用于显示图像的显示单元123等。使用根据本发明实施例的显示装置作为显示单元123来制造笔记本个人计算机。

图13是应用本发明实施例的摄像机的透视图。根据本应用实例的摄像机包括主单元131、用于拍摄物体照片的镜头132(镜头位于朝前的侧面上)、拍摄照片时的开始/停止按钮133、显示单元134等。使用根据本发明实施例的显示装置作为显示单元134来制造摄像机。

图14A至图14G是示出应用本发明实施例的便携式终端装置的示图，例如便携式电话，图14A是处于打开状态的便携式电话的正视图，图14B是处于打开状态的便携式电话的侧视图，图14C是处于闭合状态的便携式电话的正视图，图14D是左视图，图14E是右视图，图14F是顶视图，以及图14G是底视图。根据本应用实例的便携式电话包括上侧外壳141、下侧外壳142、连接部(该情况下的铰接部)143、显示器144、子显示器145、镜前灯146、相机147等。使用根据本发明实施例的显示装置作为显示器144和子显示器145来制造便携式电话。

注意，根据本发明实施例的显示装置可应用于除上述应用实例之外的产品，以及通过根据本发明实施例的蒸镀方法形成的蒸镀膜可应用于除有机EL材料层之外的其他材料层。

本领域的技术人员应该理解，根据设计要求和其它因素，可以有多种修改、组合、再组合和改进，均应包含在本发明的权利要求或等同物的范围之内。

Claims (8)

1.一种蒸镀装置，包括：

材料保持部，用于填充蒸镀材料并加热所述蒸镀材料；

开口，用于朝向蒸镀构件扩散由所述材料保持部蒸发的所述蒸镀材料；以及

高温体，设置在所述材料保持部和所述开口之间，所述高温体被加热到比在所述材料保持部中被加热的所述蒸镀材料的温度高的温度，

其中，通过来自所述高温体的辐射热局部地加热填充在所述材料保持部中的所述蒸镀材料的表面部分。

2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，

其中，以板形状形成所述高温体，以及所述板形状的板

表面设置在与来自所述材料保持部的所述蒸镀材料的蒸气的流出方向垂直的方向上。

3.根据权利要求1所述的蒸镀装置，

其中，从金属材料、碳材料和陶瓷中选择的一种被用作

所述高温体。

4.根据权利要求1所述的蒸镀装置，

其中，所述蒸镀材料是有机材料。

5.一种蒸镀方法，用于在蒸镀材料被填充在材料保持部中的状态下加热所述蒸镀材料、蒸发所述蒸镀材料以及将所蒸发的所述蒸镀材料从开口扩散到蒸镀构件，所述蒸镀方法包括以下步骤：

在所述材料保持部和所述开口之间设置高温体；以及

当执行蒸镀时，将所述高温体加热到比在所述材料保持部中被加热的所述蒸镀材料的温度高的温度，

其中，通过来自所述高温体的辐射热局部地加热填充在所述材料保持部中的所述蒸镀材料的表面部分。

6.一种有机电致发光元件，在基板上具有第一电极、包括发光层的有机层以及第二电极，

其中，通过用于在有机材料被填充在材料保持部中的状态下加热所述有机材料、蒸发所述有机材料以及将所蒸发的所述有机材料从开口扩散到所述基板的蒸镀方法，通过蒸镀形成所述发光层，所述蒸镀方法包括在所述材料保持部和所述开口之间设置高温体，将所述高温体加热到比在所述材料保持部中被加热的所述有机材料的温度高的温度，

其中，通过来自所述高温体的辐射热局部地加热填充在所述材料保持部中的所述蒸镀材料的表面部分。

7.一种使用有机电致发光元件的显示装置，所述有机电致发光元件在基板上具有第一电极、包括发光层的有机层以及第二电极，

其中，通过用于在有机材料被填充在材料保持部中的状态下加热所述有机材料、蒸发所述有机材料以及将所蒸发的所述有机材料从开口扩散到所述基板的蒸镀方法，通过蒸镀形成所述发光层，所述蒸镀方法包括在所述材料保持部和所述开口之间设置高温体，以及将所述高温体加热到比在所述材料保持部中被加热的所述有机材料的温度高的温度，

其中，通过来自所述高温体的辐射热局部地加热填充在所述材料保持部中的所述蒸镀材料的表面部分。

8.一种用于制造显示装置的方法，所述方法包括在蒸镀材料被填充在材料保持部中的状态下加热所述蒸镀材料、蒸发所述蒸镀材料以及将所蒸发的所述蒸镀材料从开口扩散到蒸镀构件的蒸镀步骤，

其中，高温体被设置在所述材料保持部和所述开口之间，以及当执行蒸镀时，将所述高温体加热到比在所述材料保持部中被加热的所述蒸镀材料的温度高的温度，

其中，通过来自所述高温体的辐射热局部地加热填充在所述材料保持部中的所述蒸镀材料的表面部分。

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