CN101230122A - 一种酸酐改性酚醛树脂和由其得到的光刻胶组合物 - Google Patents
一种酸酐改性酚醛树脂和由其得到的光刻胶组合物 Download PDFInfo
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Abstract
本发明涉及一种酸酐改性酚醛树脂、其制造方法，以及一种含有该酸酐改性酚醛树脂的光刻胶组合物。本发明还涉及用这些光刻胶组合物制造LCD电路的方法以及使用该方法制造的LCD电路元件。通过使用本发明的酸酐改性酚醛树脂，可使所得的光刻胶组合物具有更好的感光性、粘附性、耐热性、留膜率、与基板的粘附性及电路线宽均匀性。因此更加适用于工业生产。
Description
技术领域
本发明涉及一种酸酐改性酚醛树脂、其制造方法，以及一种含有该酸酐改性酚醛树脂的光刻胶组合物。本发明还涉及用这些光刻胶组合物制造LCD电路的方法以及使用该方法制造的LCD电路元件。
背景技术
在液晶显示电路或半导体集成电路的制造工艺中，通常使用光刻胶组合物制造精细电路图案。光刻胶组合物通常包括产生光刻胶层的聚合物树脂、感光化合物和溶剂。其中酚醛树脂常用作光刻胶组合物配方中的聚合物树脂，酚醛树脂通常是在酸催化剂，如草酸、马来酸或马来酸酐的存在下，由甲醛与一种或多种多取代酚进行反应而制成的。
直到目前，仍在进行各种尝试，以期通过改进酸酐改性酚醛树脂来改进光刻胶组合物的感光性、留膜率、耐热性和粘附性。
发明内容
本发明的目的在于提供一种有机酸酐改性的酚醛树脂，可用于制造具有高感光性和高粘附性的光刻胶组合物，所述酸酐改性酚醛树脂重均分子量为2,000-20,000，由酚醛树脂与有机酸酐反应制得。
本发明还提供一种制备有机酸酐改性的酚醛树脂的方法，包括：
(a)在酸催化剂存在下，将甲醛与一种或多种酚化合物进行缩聚反应，得到酚醛树脂；
(b)使所述酚醛树脂与有机酸酐反应，得到固体树脂，经后处理得到酸酐改性酚醛树脂。
此外，本发明还提供一种光刻胶组合物，其包含(a)一种本发明的酸酐改性酚醛树脂、(b)重氮类感光性化合物和(c)有机溶剂。
本发明还提供一种使用本发明的光刻胶组合物在基板上形成LCD电路的方法，包括以下步骤：
(a)将本发明的光刻胶组合物涂敷在基板上；
(b)将经过上述涂敷的基板进行前烘；
(c)使用适当的掩膜将经过上述前烘处理的基板曝光，然后将经过曝光的基板进行显影；
(d)将显影后的基板进行后烘；
(e)对经过上述处理的基板进行蚀刻；
(f)剥离掉基板上的光刻胶组合物涂层。
另外，本发明还提供一种使用上述方法制造的LCD电路元件。
最后，本发明还涉及酸酐改性酚醛树脂在光刻胶组合物制备中的应用。
通过使用本发明的酸酐改性酚醛树脂，可使所得的光刻胶组合物具有更好的感光性、粘附性、留膜率和耐热性，因此更加适用于工业生产。
具体实施方式
本发明的目的在于提供一种有机酸酐改性的酚醛树脂，可用于制造具有高感光性和高粘附性的光刻胶组合物，所述酸酐改性酚醛树脂重均分子量为2,000-20,000，优选为2,000-10,000，由酚醛树脂与有机酸酐反应制得，其中有机酸酐用量为酚醛树脂重量的1-30％，优选2-20％，更优选5-10％。
常用于制备本发明的有机酸酐改性的酚醛树脂的有机酸酐的有：马来酸酐、琥珀酸酐、衣康酸酐、邻苯二甲酸酐、四氢邻苯二甲酸酐、六氢邻苯二甲酸酐、甲基六氢邻苯二甲酸酐、甲桥-内-四氢邻苯二甲酸酐、甲基甲桥-内-四氢邻苯二甲酸酐、甲基四氢邻苯二甲酸酐等二元酸酐；偏苯三酸酐、均苯四甲酸酐、二苯甲酮四羧酸二酸酐等芳香族多元羧酸酐；其他的例如5-(2，5-二氧四氢化呋喃基)-3-甲基-3-环己烯-1，2-二羧酸酐这样的羧酸酐衍生物等。优选四氢邻苯二甲酸酐、六氢邻苯二甲酸酐、甲基六氢邻苯二甲酸酐、甲基四氢邻苯二甲酸酐。这些有机酸酐可以单独使用或以两种或两种以上物质的混合物使用。
本发明还提供制备酸酐改性酚醛树脂的方法，包括：
(a)在酸催化剂存在下，将甲醛与一种或多种酚化合物进行缩聚反应得到酚醛树脂；
(b)使上述酚醛树脂与有机酸酐反应，得到固体树脂，经后处理得到酸酐改性酚醛树脂。
在一种优选的实施方案中，上述制备酸酐改性酚醛树脂的方法由以下步骤组成：
(a)在酸催化剂存在下，将甲醛与一种或多种酚化合物进行缩聚反应得到酚醛树脂；
(b)使上述酚醛树脂与有机酸酐在有机溶剂中反应，分离溶剂，得到固体树脂；
(c)将得到的固体树脂溶解在水溶性有机极性溶剂中，然后加入纯水，去除上层清液，得到沉淀物；
(d)将得到的沉淀物加热熔融后倒入去离子水中，水洗后过滤得到所述酸酐改性酚醛树脂。
其中甲醛与酚的比例为酚类/甲醛的摩尔比为1∶0.5-1∶0.9之间，优选1∶0.6-1∶0.8之间。
上述的酸酐改性酚醛树脂的重均分子量为2,000-20,000，优选为2,000-10,000。
步骤(a)所述的反应在酸催化剂存在下进行，其中酸催化剂可选自草酸、马来酸、马来酸酐、对苯甲磺酸、硫酸等，优选为草酸。该反应优选使用甲醛和酚类试剂；所述酚化合物可选自邻甲酚、间甲酚、对甲酚、2，4-二甲酚、2，5-二甲酚、3，5-二甲酚、2，3，5-三甲酚、连苯三酚等。酸催化剂、甲醛和酚化合物的具体用量可由本领域技术人员根据现有技术而确定。
所述缩聚反应的条件可由本领域技术人员根据现有技术而确定。
步骤(b)中所述有机酸酐常用的有：马来酸酐、琥珀酸酐、衣康酸酐、邻苯二甲酸酐、四氢邻苯二甲酸酐、六氢邻苯二甲酸酐、甲基六氢邻苯二甲酸酐、甲桥-内-四氢邻苯二甲酸酐、甲基甲桥-内-四氢邻苯二甲酸酐、甲基四氢邻苯二甲酸酐等二元酸酐；偏苯三酸酐、均苯四甲酸酐、二苯甲酮四羧酸二酸酐等芳香族多元羧酸酐；其他的例如5-(2，5-二氧四氢化呋喃基)-3-甲基-3-环己烯-1，2-二羧酸酐这样的羧酸酐衍生物等。优选四氢邻苯二甲酸酐、六氢邻苯二甲酸酐、甲基六氢邻苯二甲酸酐、甲基四氢邻苯二甲酸酐。这些有机酸酐可以单独使用或以两种或两种以上物质的混合物使用。
所述有机酸酐的用量为酚醛树脂重量的1-30％，优选2-20％，更优选5-10％。
步骤(b)中所述的有机溶剂可选自乙二醇单甲醚，乙二醇单乙醚，乙二醇单丁醚，二乙二醇单甲醚，二乙二醇单乙醚，二乙二醇单丁醚，丙二醇单甲醚，丙二醇单乙醚，丙二醇单丁醚，二丙二醇单甲醚，二丙二醇单乙醚，二丙二醇单丁醚等丙二醇醚类，醋酸乙酯，醋酸丁酯，乙二醇单乙醚醋酸酯，乙二醇单丁醚醋酸酯，二乙二醇单甲醚醋酸酯，二乙二醇单乙醚醋酸酯，二乙二醇单丁醚醋酸酯，丙二醇单甲醚醋酸酯，丙二醇单乙醚醋酸酯，丙二醇单丁醚醋酸酯，二丙二醇单甲醚醋酸酯，二丙二醇单乙醚醋酸酯，二丙二醇单丁醚醋酸酯等。酮类溶剂有：丁酮，环己酮，异佛尔酮等，芳香溶剂有：甲苯、二甲苯、四甲苯，石油系溶剂有：石脑油，氧化石脑油，溶剂石脑油中的一种或多种。
步骤(b)中所述的反应在50℃至120℃的温度下进行3至12小时。
步骤(c)中所述的水溶性有机极性溶剂可选自丙酮或C1-C3烷基醇，优选乙醇。该水溶性有机极性溶剂的用量为所述固体树脂重量的120-300％，优选140-240％。
步骤(c)中所述的纯水的用量为所述固体树脂重量的5-150％。
步骤(d)中所述的去离子水的用量为所述熔融沉淀物的重量的1-20倍。
本发明还提供一种由上述酸酐改性酚醛树脂制得的光刻胶组合物，包括：(a)一种本发明的酸酐改性酚醛树脂、(b)重氮类感光性化合物和(c)有机溶剂。
具体而言，每100重量份的上述光刻胶组合物中含有5-30重量份的所述(a)酸酐改性酚醛树脂。如果酸酐改性酚醛树脂含量小于5重量份，则光刻胶组合物粘度太低不易涂敷至所需的厚度；如果酸酐改性酚醛树脂含量大于30重量份，则粘度太高不易均匀涂敷。
本发明中的(b)重氮类感光性化合物可以选自2，3，4-三羟基二苯甲酮-1，2-重氮萘醌-5-磺酸酯、2，3，4，4′-四羟基二苯甲酮-1，2-重氮萘醌-5-磺酸酯、2，3，4-三羟基二苯甲酮-1，2-重氮萘醌-4-磺酸酯、2，3，4，4′-四羟基二苯甲酮-1，2-重氮萘醌-4-磺酸酯，或其中两种或两种以上物质的混合物；优选2，3，4-三羟基二苯甲酮-1，2-重氮萘醌-5-磺酸酯与2，3，4，4′-四羟基二苯甲酮-1，2-重氮萘醌-5-磺酸酯的混合物；更优选重量份比为40-60∶60-40的2，3，4-三羟基二苯甲酮-1，2-重氮萘醌-5-磺酸酯与2，3，4，4′-四羟基二苯甲酮-1，2-重氮萘醌-5-磺酸酯的混合物。
每100重量份的光刻胶组合物中含有2-10重量份的所述(b)重氮类感光性化合物。(b)重氮类感光性化合物占2-10重量份时可得到适当的感光速度。
本发明中常用的(c)有机溶剂可选自丙二醇甲醚醋酸酯、2-甲氧基醋酸乙酯、乳酸乙酯、丙二醇单甲醚及其中两种或两种以上物质的混合物。优选乳酸乙酯或丙二醇甲醚醋酸酯。所述有机溶剂的含量占光刻胶组合物的60-90重量％。
另外，可根据需要选择加入一些添加剂，如：着色剂、染色剂、抗条纹剂、增塑剂、增粘剂和表面活性剂。根据个别工序的特点加入添加剂可提高光刻胶组合物涂敷时的性能。
此外，本发明提供一种在基板上形成LCD电路的方法，包括以下步骤：
(a)将本发明的光刻胶组合物涂敷在基板上；
(b)将经过上述涂敷的基板进行前烘；
(c)使用适当的掩膜将经过上述前烘处理的基板曝光，然后将经过曝光的基板进行显影；
(d)将显影后的基板进行后烘；
(e)对经过上述处理的基板进行蚀刻；
(f)剥离掉基板上的光刻胶组合物涂层。
其中，所述涂敷方法可选自浸渍、喷涂、甩胶、辊涂或旋涂。本领域技术人员可根据需要调整涂敷时的条件，例如在旋涂法中，可改变旋转装置的速度、旋转的方式以及光刻胶组合物的固含量，以得到所要求的涂层厚度。所述基板的材料一般选自硅、铝、氧化铟锡(ITO)、氧化铟锌(IZO)、钼、二氧化硅、掺杂的二氧化硅、氮化硅、钽、铜、多晶硅、陶瓷、铜/铝混合物和聚合树脂。
所述前烘即将涂敷后的基板用70-130℃的温度在加热板上处理大约30秒至180秒，或在烘箱中处理大约15至80分钟。前烘的目的是在光刻胶组合物中的固体成分没有热分解的情况下蒸发溶剂。通过前烘，可尽量把溶剂的浓度降到最低，使保留在基板上的光刻胶组合物的涂层厚度小于2μm。
曝光过程的条件可由本领域技术人员根据现有技术确定。
所述显影即将经过曝光的基板浸入显影水溶液，直到被曝光部位的光刻胶组合物涂层全部或大部分溶解为止。合适的显影水溶液包括含有碱性氢氧化物例如氢氧化铵或氢氧化四甲基铵(TMAH)的水溶液。
显影后对基板进行后烘。后烘的温度要在低于光刻胶组合物涂层的软化点的温度、优选在90-140℃下进行。后烘的目的是提高光刻胶组合物涂层对基板的粘合力和耐化学药品性。
蚀刻过程用蚀刻溶液或气态等离子体进行。蚀刻的条件可由本领域技术人员根据需要确定。蚀刻的目的是去除基板上没有光刻胶组合物涂层的部分，而基板上有组合物涂层的部分被保护。
基板上的光刻胶胶层通过使用适当的剥离剂被除去。具体剥离剂可由本领域技术人员根据需要确定。之后，可在基板上形成需要的电路图案。
应当理解的是，本发明的光刻胶组合物不仅可用于LCD电路的光刻步骤中，并且对本领域普通技术人员来说，可以对说明书所记载的内容进行改进或变换，而所有这些改进或变换都应落入本发明所附权利要求的保护范围。
下面的具体实施例将详细说明本发明的酸酐改性酚醛树脂及其光刻胶组合物的制备方法和技术效果，以及用这种光刻胶组合物制造LCD电路的方法。但是本发明的范围绝非限于这些实施例。
酸酐改性酚醛树脂制备实施例
实施例1：
将45g间甲酚、55g对甲酚、65g甲醛和0.5g草酸加入三口烧瓶中，然后搅拌，形成均匀混合物，将反应的混合物在95℃下加热4小时。在室温下冷却熔融的酚醛树脂(X1)。然后在三口烧瓶中加入酚醛树脂(X1)100g、四氢邻苯二甲酸酐10g、二乙二醇单甲醚醋酸酯100g加热到95-100℃反应8h，分离溶剂，得到固体树脂(X2)。
将100g/160g以上获得的固体树脂(X2)/工业酒精一起混合，并搅拌以形成均匀混合物，然后将混合物加热到80℃搅拌溶解。溶解均匀后冷却至30℃以下，在搅拌混合物的同时，将200g去离子水缓慢滴入化合物，然后静置2小时，去除上层清液得到沉淀物，加热熔融后倒入5000毫升水中并强烈搅拌，过滤得到酸酐改性酚醛树脂(A)。经GPC(凝胶渗透色谱法)测重均分子量为4000。
实施例2
将由46g邻甲酚、40g对甲酚、8g 2，4-二甲酚和6g 2，5-二甲酚组成的酚化合物加入配有冷凝器、温度计和滴液漏斗的四颈烧瓶中。加入1.0g草酸(酚重量的1％)，然后将烧瓶加热至95℃，1h内滴加65g甲醛，在95℃下反应8小时。然后采用蒸馏器代替循环冷凝器，在110℃下蒸发反应2小时。再通过在180℃下真空蒸发2小时，除去单体残余物，并在室温下冷却熔融的酚醛树脂(X3)。然后在三口烧瓶中加入酚醛树脂(X3)100g、四氢邻苯二甲酸酐30g、二乙二醇单甲醚醋酸酯100g，加热到95-100℃反应8h，得到固体树脂(X4)。
将100g/160g以上获得的固体树脂(X4)/工业酒精一起加入，并搅拌以形成均匀混合物，然后将其加热到80℃搅拌溶解。溶解均匀后冷却至30℃以下，在搅拌混合物的同时，将200g去离子水缓慢滴入化合物，然后静置2小时，去除上层清液得到沉淀物，加热熔融后倒入5000毫升水中并强烈搅拌，过滤得到酸酐改性酚醛树脂(B)。经GPC测重均分子量为3800。
实施例3
重复实施例2，将其中的酚类换成间甲酚、连苯三酚、邻甲酚，总用量为95g，摩尔比为1∶2∶5，三种化合物总和与甲醛的摩尔比为4∶3，另外，其中的有机酸酐为六氢邻苯二甲酸酐，用量为8g，得到酸酐改性酚醛树脂(C)。经GPC测重均分子量为3500。
实施例4
重复实施例2，将其中的酚类换成邻甲酚与2，5-二甲酚，总用量为90g，摩尔比为5∶3，酚类化合物总和与甲醛的摩尔比为4∶3，有机酸酐换为甲基六氢邻苯二甲酸酐，用量为6g。得到酸酐改性酚醛树脂(D)。经GPC测重均分子量为4500。
实施例5
重复实施例2，将其中的酚类换成100g重量比为4∶6的间甲酚与对甲酚，另外，甲基四氢邻苯二甲酸酐5g，二乙二醇单甲醚醋酸酯100g，加热到95-100℃反应8h，得到酸酐改性酚醛树脂(E)。经GPC测重均分子量为4000。
光刻胶组合物制备及应用实施例
实施例6：
按照下述配方制备光刻胶组合物试样I
2，3，4，4′-四羟基二苯甲酮-1，2-重氮萘醌-4-磺酸酯 2.0g
2，3，4，4′-四羟基二苯甲酮-1，2-重氮萘醌-5-磺酸酯 2.5g
酸酐改性酚醛树脂(A) 15.0g
乳酸乙酯 10.0g
丙二醇甲醚醋酸酯 60.0g
室温下搅拌均匀制成光刻胶组合物。
将上述配好的光刻胶组合物试样I滴加到厚度为0.7mm的ITO玻璃上，然后通过旋转匀胶台在一定速度下旋转它们。将旋涂好的玻璃基板放在100℃的热板上前烘90秒，在玻璃基板上得到厚度为1.50μm的光刻胶膜层。将基板使用掩膜在平行紫外光下曝光，然后浸入0.4％的氢氧化钠水溶液中显影60秒，获得光刻胶图案，再将基板在120℃热板上烘烤120秒，之后用蚀刻液在45℃下进行蚀刻，蚀刻后剥离剩余光刻胶，得到所需的图案(线宽)。
实施例7
按照下述配方制备光刻胶组合物试样II
2，3，4-三羟基二苯甲酮-1，2-重氮萘醌-5-磺酸酯 1.5g
2，3，4，4′-四羟基二苯甲酮-1，2-重氮萘醌-4-磺酸酯 2.5g
酸酐改性酚醛树脂(B) 15.0g
丙二醇甲醚醋酸酯 70.0g
室温下搅拌均匀制成光刻胶组合物。
将上述配好的光刻胶组合物试样II滴加到厚度为0.7mm的ITO玻璃上，然后通过旋转匀胶台在一定速度下旋转它们。将旋涂好的玻璃基板放在100℃的热板上前烘90秒，在玻璃基板上得到厚度为1.50μm的光刻胶膜层。将基板使用掩膜在平行紫外光下曝光，然后浸入0.4％的氢氧化钠水溶液中显影60秒，获得光刻胶图案，再将基板在120℃热板上烘烤120秒，之后用蚀刻液在45℃下进行蚀刻，蚀刻后剥离剩余，得到所需的图案(线宽)。
实施例8
按照下述配方制备光刻胶组合物试样III：
2，3，4，4′-四羟基二苯甲酮-1，2-重氮萘醌-5-磺酸酯 3.0g
2，3，4-三羟基二苯甲酮-1，2-重氮萘醌-5-磺酸酯 2.0g
酸酐改性的酚醛树脂(A) 24.0g
丙二醇甲醚醋酸酯(PGMEA) 70.0g
按照如下方式生产光刻胶组合物：加3g感光剂(2，3，4，4′-四羟基二苯甲酮-1，2-重氮萘醌-5-磺酸酯和2，3，4-三羟基二苯甲酮-1，2-重氮萘醌-5-磺酸酯)，24g高感性酚醛树脂(A)，70g有机溶剂乙酸丙二醇甲基醚酯。然后在室温下搅拌均匀制成光刻胶组合物。
将上述配好的光刻胶组合物试样III滴加到厚度为0.7mm的ITO玻璃上，然后通过旋转匀胶台在一定速度下旋转它们。将旋涂好的玻璃基板放在100℃的热板上前烘90秒，在玻璃基板上得到厚度为1.50μm的光刻胶膜层。将基板使用掩膜在平行紫外光下曝光，然后浸入0.4％的氢氧化钠水溶液中显影60秒，获得光刻胶图案，再将基板在120℃热板上烘烤120秒，之后用蚀刻液在45℃下进行蚀刻，蚀刻后剥离剩余光刻胶，得到所需的图案(线宽)。
实施例9
采用与实施例8中相同的方法合成光刻胶组合物试样IV并在基板上制造图案，不同之处在于试样IV中用酸酐改性酚醛树脂(B)代替酸酐改性酚醛树脂(A)。
实施例10
采用与实施例8中相同的方法合成光刻胶组合物试样V并在基板上制造图案，不同之处在于试样V中用酸酐改性酚醛树脂(E)代替酸酐改性酚醛树脂(A)。
实施例11
采用与实施例6中相同的方法合成光刻胶组合物试样VIII并在基板上制造图案，不同之处在于光刻胶组合物的配方如下：
2，3，4，4′-四羟基二苯甲酮-1，2-重氮萘醌-4-磺酸酯 2.0g
2，3，4，4′-四羟基二苯甲酮-1，2-重氮萘醌-5-磺酸酯 2.5g
酸酐改性酚醛树脂(A) 30.0g
乳酸乙酯 10.0g
丙二醇甲醚醋酸酯 60.0g
实施例12
采用与实施例7中相同的方法合成光刻胶组合物试样IX并在基板上制造图案，不同之处在于光刻胶组合物的配方如下：
2，3，4-三羟基二苯甲酮-1，2-重氮萘醌-5-磺酸酯 1.5g
2，3，4，4′-四羟基二苯甲酮-1，2-重氮萘醌-4-磺酸酯 2.5g
酸酐改性酚醛树脂(B) 4.0g
丙二醇甲醚醋酸酯 70.0g
比较例1
采用与实施例8中相同的方法合成光刻胶组合物试样VI并在基板上制造图案，不同之处在于试样VI中用酚醛树脂(X1)代替酸酐改性酚醛树脂(A)。
比较例2
采用与实施例8中相同的方法合成光刻胶组合物试样VII并在基板上制造图案，不同之处在于试样VII中用酚醛树脂(X3)代替酸酐改性酚醛树脂(A)。
为了评价、比较各个实施例中的本发明光刻胶组合物与各个比较例中的光刻胶组合物，在感光性、留膜率、耐热性和粘附性方面的差别，现将各自的评价结果列于表1。评价方法如下：
1.感光性和留膜率
原始膜层厚度＝损失厚度+留膜厚度
留膜率＝(留膜厚度/原始膜层厚度)
根据曝光能量的变化，测量在23℃，0.4-0.6％NaOH，1min，喷淋或浸渍下显影，光刻胶膜层完全溶解的能量，即得到感光性数据。在110℃下进行前烘，然后在曝光显影步骤之后测量留膜率，在表中给出在显影之前和之后膜厚度差异的结果。
2.耐热性
耐热性可由Tg(玻璃化转变温度)表示，Tg由DSC法测量。
3.粘附性
在显影步骤获得所需图案(线宽)后，利用蚀刻液去除暴露部分的ITO，测定没有暴露的ITO层的蚀刻长度测试粘附性。
表1：
| 测试项目 | 感光性Eth(mj/cm2) | 留膜率％ | 耐热性℃ | 粘附性μm |
| 试样III(实施例8) | 8 | 97 | 122 | 0.80 |
| 试样IV(实施例9) | 9 | 95 | 118 | 0.72 |
| 试样V(实施例10) | 8 | 96 | 116 | 0.65 |
| 试样VI(比较例1) | 10 | 90 | 100 | 1.25 |
| 试样VII(比较例2) | 11 | 92 | 95 | 1.01 |
如表1所示，使用本发明制造的实施例8至10的光刻胶组合物与利用比较例1和2制造的光刻胶组合物相比，感光性、留膜率、耐热性和粘附性更加优异。
Claims (17)
1.一种酸酐改性酚醛树脂，其特征在于，所述树脂是由酚醛树脂与有机酸酐反应制得，重均分子量为2,000-20,000，优选2,000-10,000。
2.根据权利要求1所述的酸酐改性酚醛树脂，其特征在于所述有机酸酐用量为酚醛树脂重量的1-30％，优选2-20％，更优选5-10％。
3.根据权利要求1所述的酸酐改性酚醛树脂，其特征在于所述有机酸酐为选自马来酸酐、琥珀酸酐、衣康酸酐、邻苯二甲酸酐、四氢邻苯二甲酸酐、六氢邻苯二甲酸酐、甲基六氢邻苯二甲酸酐、甲桥-内-四氢邻苯二甲酸酐、甲基甲桥-内-四氢邻苯二甲酸酐、甲基四氢邻苯二甲酸酐、偏苯三酸酐、均苯四甲酸酐、二苯甲酮四羧酸二酸酐和5-(2，5-二氧四氢化呋喃基)-3-甲基-3-环己烯-1，2-二羧酸酐中的一种或多种，优选四氢邻苯二甲酸酐、六氢邻苯二甲酸酐、甲基六氢邻苯二甲酸酐、甲基四氢邻苯二甲酸酐。
4.一种光刻胶组合物，包含：(a)一种权利要求1-3中任意一项所述的酸酐改性酚醛树脂、(b)重氮类感光性化合物和(c)有机溶剂。
5.根据权利要求4所述的光刻胶组合物，其中，以所述光刻胶组合物总重量计，各组分重量百分比如下：
(a)酸酐改性酚醛树脂的含量为5-30重量％；
(b)重氮类感光性化合物的含量为2-10重量％；
(c)有机溶剂的含量为60-90重量％。
6.根据权利要求4所述的光刻胶组合物，其中(b)重氮类感光性化合物为选自2，3，4-三羟基二苯甲酮-1，2-重氮萘醌-5-磺酸酯、2，3，4，4′-四羟基二苯甲酮-1，2-重氮萘醌-5-磺酸酯、2，3，4-三羟基二苯甲酮-1，2-重氮萘醌-4-磺酸酯、2，3，4，4′-四羟基二苯甲酮-1，2-重氮萘醌-4-磺酸酯中的一种或多种；优选为2，3，4-三羟基二苯甲酮-1，2-重氮萘醌-5-磺酸酯与2，3，4，4′-四羟基二苯甲酮-1，2-重氮萘醌-5-磺酸酯的混合物；更优选为重量份比为40-60∶60-40的2，3，4-三羟基二苯甲酮-1，2-重氮萘醌-5-磺酸酯与2，3，4，4′-四羟基二苯甲酮-1，2-重氮萘醌-5-磺酸酯的混合物。
7.根据权利要求4所述的光刻胶组合物，其中(c)有机溶剂为选自丙二醇甲醚醋酸酯、2-甲氧基醋酸乙酯、乳酸乙酯、丙二醇单甲醚中的一种或多种，优选乳酸乙酯或丙二醇甲醚醋酸酯。
8.一种制备酸酐改性酚醛树脂的方法，包括：
(a)在酸催化剂存在下，将甲醛与一种或多种酚化合物进行缩聚反应得到酚醛树脂；
(b)使上述酚醛树脂与有机酸酐反应，得到固体树脂，经后处理得到酸酐改性酚醛树脂。
9.一种制备酸酐改性酚醛树脂的方法，由以下步骤组成：
(a)在酸催化剂存在下，将甲醛与一种或多种酚化合物进行缩聚反应得到酚醛树脂；
(b)使上述酚醛树脂与有机酸酐在有机溶剂中反应，分离溶剂，得到固体树脂；
(c)将得到的固体树脂溶解在水溶性有机极性溶剂中，然后加入纯水，去除上层清液，得到沉淀物；
(d)将得到的沉淀物加热熔融后倒入去离子水中，水洗后过滤得到所述酸酐改性酚醛树脂。
10.根据权利要求8或9所述的方法，其特征在于：在步骤(b)中，所述有机酸酐用量为酚醛树脂重量的1-30％。
11.根据权利要求9所述的方法，其特征在于：在步骤(c)中，所述水溶性有机极性溶剂用量为固体树脂重量的120-300％、优选为140-240％，纯水用量为固体树脂重量的5-150％。
12.根据权利要求9所述的方法，其特征在于：在步骤(d)中，去离子水用量为所述熔融沉淀物重量的1-20倍。
13.根据权利要求8或9所述的方法，其特征在于：所述有机酸酐为选自马来酸酐、琥珀酸酐、衣康酸酐、邻苯二甲酸酐、四氢邻苯二甲酸酐、六氢邻苯二甲酸酐、甲基六氢邻苯二甲酸酐、甲桥-内-四氢邻苯二甲酸酐、甲基甲桥-内-四氢邻苯二甲酸酐、甲基四氢邻苯二甲酸酐、偏苯三酸酐、均苯四甲酸酐、二苯甲酮四羧酸二酸酐和5-(2，5-二氧四氢化呋喃基)-3-甲基-3-环己烯-1，2-二羧酸酐中的一种或多种，优选四氢邻苯二甲酸酐、六氢邻苯二甲酸酐、甲基六氢邻苯二甲酸酐、甲基四氢邻苯二甲酸酐。
14.根据权利要求9所述的方法，其特征在于：所述水溶性有机极性溶剂是丙酮或C1-C3烷基醇，优选乙醇。
15.一种在基板上形成LCD电路的方法，包括以下步骤：
(a)将权利要求4所述的光刻胶组合物涂敷在基板上；
(b)将经过上述涂敷的基板进行前烘；
(c)使用适当的掩膜将经过上述前烘处理的基板曝光，然后将经过曝光的基板进行显影；
(d)将显影后的基板进行后烘；
(e)对经过上述处理的基板进行蚀刻；
(f)剥离掉基板上的光刻胶组合物涂层。
16.一种使用权利要求16所述的方法制造的LCD电路元件。
17.权利要求1-3中任一项所述的酸酐改性酚醛树脂在光刻胶组合物制备中的应用。
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