CN101227062A

CN101227062A - 离子发生器

Info

Publication number: CN101227062A
Application number: CNA2007101800979A
Authority: CN
Inventors: 佐藤俊夫; 铃木智; 安岡孝
Original assignee: SMC Corp
Current assignee: SMC Corp
Priority date: 2006-10-31
Filing date: 2007-10-31
Publication date: 2008-07-23
Anticipated expiration: 2027-10-31
Also published as: US7497898B2; CN101227062B; TWI377876B; US20080098895A1; DE102007052294B4; TW200838367A; DE102007052294A1

Abstract

本发明提供了一种离子发生器，其具有抑制向电极针上附着灰尘的功能，即使电极针受到污染也能容易清除污染。壳体(2)中安装的电极套管(13)中，安装了正负电极针(4A)、(4B)、空气吹出口(5)和覆盖这些电极针(4A)、(4B)和空气吹出口(5)的保护罩(23)；该保护罩(23)中形成了空气喷射孔(25)和两个空气流出孔(26)，该空气喷射孔(25)同轴状地位于所述空气吹出口(5)的前方，向外部喷射来自该空气吹出口(5)的空气，该两个空气流出孔(26)位于与所述正负电极针(4A)、(4B)同轴状的位置上，经由空气流出用的间隙(27)，环绕该电极针(4A)、(4B)的前端部(4a)的外周围。电极套管可以从壳体取出，并且可以取下安装了电极针的背板，从而容易消除电极针的污染。

Description

离子发生器

技术领域

本发明涉及用于带静电的各种工件的除电的离子发生器，更具体地，涉及一种具有用于防止由于灰尘附着等引起电极针污染的功能的离子发生器。

背景技术

在半导体晶片和液晶玻璃等各种工件的处理过程中，对带静电的该工件的除电使用离子发生器。该离子发生器是这样构成的：例如专利文献1公开的，在壳体下表面的电极安装口内并列配设正电极针和负电极针，通过对这些电极针交替施加正脉冲状高电压和负脉冲状高电压，使得两电极针发生电晕放电而交替产生正、负离子。

另外，在所述正负电极针之间的位置上开空气吹出口，通过从这个空气吹出口中喷出空气，获取由电极针产生的离子，从而将离子化的空气吹向工件。

在这种离子发生器中，所述正负电极针由于附着空气中的尘埃而容易受污染，发生这种污染时，渐渐地难以发生电晕放电使得离子的产生量减少，最终可能不能再产生离子。

因此，必须频繁地进行对受污染的电极针清洁和更换等保养作业，在该保养作业期间，由于必须停止离子发生器和关联设备的运行，因此存在由于花费劳力和时间而容易使作业效率降低的问题。

专利文献1：JP特开2005-108829号公报。

发明内容

为了解决所述以往的问题，本发明的目的在于提供一种具有抑制向电极针上附着灰尘的功能，并且即使电极针受到污染也能容易除去该污染的离子发生器。

为实现所述目的，本发明的离子发生器具有：具有1个以上电极安装部的壳体；相互并列设置于所述电极安装部的离子发生用的正负电极针；所述电极安装部上在正负两电极针之间的位置上开口的空气吹出口；覆盖该两电极针和空气吹出口的保护罩；以及在该保护罩内侧跨所述两电极针和空气吹出口并扩展的空间部，所述保护罩具有：位于所述空气吹出口的前方，向工件喷射从该空气吹出口喷出的空气的空气喷射孔；和在与所述正负电极针对应的位置上分别形成的两个空气流出孔，该两个空气流出孔沿着所述电极针向保护罩的外部排出从所述空气吹出口喷出并在所述空间部扩散的空气。

本发明优选，所述正负电极针安装在电极套管上，并通过该电极套管安装在所述壳体的电极安装部上，另外，所述电极套管具有内包所述正负电极针的前端部的凹部，配设为该凹部内所述空气吹出口开口的同时，所述保护罩覆盖该空气吹出口和所述两电极针。

在本发明中，期望所述空气喷射孔位于与所述空气吹出口同轴的位置上，并且所述空气流出孔位于与所述电极针同轴的位置上；此外，所述电极针的尖的前端部从所述空气流出孔凸出到保护罩的前面；进而，期望所述空气喷射孔的孔径比所述空气流出孔的孔径小。

本发明的离子发生器的优选实施方式中，在相对于所述壳体装卸自由的包护套管内，装卸自由地安装具备正负电极针的背板，以构成电极套管，在该包护套管内形成所述凹部，所述背板内安装的电极针的前端部，通过所述包护套管内的电极针用保持孔，向所述凹部凸出。这种情况下，期望所述空气吹出口形成在喷嘴部件上，该喷嘴部件被插入平面形状为椭圆形的所述电极套管的中心。另外，期望背板具有一对夹持片，该一对夹持片用于通过夹住包护套管的短径侧，相对于该包护套管固定背板，该夹持片中的至少一个是通过与背板连续的连结部上设置的薄的弹性变形部的弹性，弹性夹持包护套管而构成的。期望相对于所述背板，不能旋转、能装卸地安装电极针。

本发明中，在电极套管的中心插入所述喷嘴部的情况下，期望相对于壳体的电极套管的安装是如下的构成。

即，用于安装设于所述壳体的所述电极套管的电极安装孔，是与电极套管的平面形状对应的，而且，形成为嵌入于该电极安装孔的电极套管在该安装孔内具有在所述喷嘴部件的周围可以倾斜的余量的平面形状；在所述电极套管和电极安装孔之间设置：将该电极套管嵌入电极安装孔后，从所述可以倾斜的余量脱出而呈正常安装姿态时，在电极套管卡止固定在电极安装孔内，在使电极套管对于电极安装孔在所述余量范围内倾斜的状态下，允许电极套管向电极安装孔内的脱嵌的卡止机构。

所述卡止机构构成为，在电极套管的长边方向的两端部，设置上部的卡止凸起和其下部的比该卡止凸起凸出高度但小的摩擦凸条；在所述电极安装孔的长边方向的两端部，设置在使电极套管以对于电极安装孔在所述余量范围内倾斜的状态嵌入时使所述卡止凸起通过的侧槽；并且，设置邻接于该侧槽，且将电极套管嵌入电极安装孔后使其回到沿着壳体的长边方向的正常的安装姿态时，与所述摩擦凸条弹性地接触的弹性接触片；该弹性接触片构成为，使处于倾斜姿态的电极套管旋转使其回到正常的安装状态时，被所述摩擦凸条挤压，从而与该摩擦凸条弹性接触；所述两弹性接触片位于回到正常的安装姿态后的电极套管的两端的卡止凸起的下方位置，并卡止于该卡止凸起，从而防止电极套管的脱出，由此能够装卸自由地固定电极套管。

为了壳体的高电压产生装置和电极套管的电气性连接，期望在安装电极套管的壳体的电极安装部上，设置连接于壳体内高电压发生装置的正负高电压发生电路的连接端子，这些连接端子被设置在与安装于所述电极安装部的电极套管的电极针对应的位置上。此外，所述包护套管可以为以下形式，将接合平面形状是近似椭圆形状的套管主体和相同形状的保护罩，通过它们的长边方向的滑动接合它们具有的凸缘部和卡止槽，来装卸自由地连结。

本发明的离子发生器中，在正负电极针上施加正负高电压时，通过电晕放电从该两电极针中产生正和负离子。这时，通过从空气吹出口喷出到空间部内的空气，从保护罩内开口的空气喷出孔中向工件喷射该空气，该空气得到从所述电极针产生的离子而形成离子化空气，由该离子进行工件的除电。

另一方面，从所述空气吹出口喷出的空气的一部分在所述空间内扩散，从环绕在电极针周围的空气流出孔向外排出。该空气流冲走处于所述电极针表面和周围空气中的尘埃等的灰尘，防止该灰尘在电极针表面作为污染而附着。因此，能够减轻由于灰尘附着导致的电极针污染，并减少清洁和替换该电极针等的保养作业的次数。

另外，如果使电极套管相对壳体装卸自由，并且具备电极针的背极也可以拆开，则可以从外部简便地进行电极针的更换和污染的清洁。

附图说明

图1是表示本发明中的离子发生器的第1实施例的正视图。

图2是图1的部分放大剖面图。

图3是图2关键部的放大图。

图4是图3的仰视图。

图5是表示除电时的空气流状态的剖面图。

图6是本发明中的离子发生器第2实施例的、与所述图2对应的位置的部分放大剖面图。

图7是图6中沿VII-VII线的部分放大剖面图。

图8是电极套管的正视图。

图9是图8中沿IX-IX线的剖面图。

图10是图8中沿X-X线的剖面图。

图11是所述电极套管的仰视图。

图12是所述电极套管的斜视图。

图13是所述电极套管分解状态下的斜视图。

附图标记说明

1、31：离子发生器

2、32：壳体

3、33：电极安装部

4A、4B、34A、34B：电极针

5、35：空气吹出口

7、37：高电压发生装置

13、43：电极套管

14、44：凹部

16、46：电极针用保持孔

17、47：电极安装孔

20、50：喷嘴部件

23：保护罩

23a、53a：主体部

24、54：空间部

25、55：空气喷出孔

26、56：空气流出孔

27：间隙

37a：连接端子

43A：包护套管

43C：保护罩

43D：背板

47a：余量

47b：侧槽

47c：弹性接触片

48c：卡止凸起

48d：摩擦凸条

49d、49e：夹持片

49f：弹性变形部

具体实施方式

图1～图4示出了本发明中的离子发生器的一个实施方式。该离子发生器1，在半导体晶片和液晶玻璃等的各种工件的处理工艺中，使用于带静电的该工件的除电，如图1所示，从该离子发生器1向工件W交替发射正和负离子时，通过在该工件W带正电的情况下该工件W吸附负离子，带负电的情况下吸附正离子，可以对该工件W除电。此外，图1示出了发射正离子的瞬间，这之后接着同样地发射负离子。

所述离子发生器1是细长棒状的条型，横向具有细长的中空壳体2。该壳体2的纵向的剖面形状呈在垂直方向上的长矩形或椭圆形或者它们的类似形状。

在该壳体2下面，该壳体2的长边方向上等间隔地设置多个电极安装部3，各电极安装部3从图2～图4中可知，分别成对地安装通过电晕放电发射正离子的正电极针4A和发射负离子的负电极针4B，并且设置用于向工件W吹付已发射的离子的空气吹出口5。

另外，在所述壳体2的内部，设置高压发生装置7和空气管道8，该高压发生装置7用于向所述电极针4A、4B施加脉冲状直流高电压，该空气管道8用于向所述空气吹出口5供应压缩空气。

将所述壳体2的长边方向的两端部分别用端板9堵塞，在一侧或两侧的端板9上设置接头10，通过在该接头10上连接来自压缩空气源11的配管11a，所述空气管道8连接于该压缩空气源11。

在所述壳体2的侧面，形成操作显示部12，该操作显示部12上安装有操作按钮和显示灯等。

虽然没有特别图示，但是所述高电压发生装置7，具有向正电极针4A施加正的脉冲状高电压的正高电压发生电路，和向负电极针4B施加负的脉冲状高电压的负高电压发生电路，通过从周期性动作的这些高电压发生电路向两电极针4A、4B交替施加正负高电压，从而使这些电极针4A、4B间发生电晕放电而产生正负离子。所述正负高电压发生电路也可以向正负电极针同时施加正和负高电压。

所述电极针4A、4B，具有呈圆柱状的安装用的基端部4b和用于电晕放电的圆锥状前端部4a，通过由合成树脂等的绝缘性非磁性材料形成的电极套管13，被安装在所述电极安装部3中。从图3和图4可知，该电极套管13具有近似椭圆形状的剖面形状，其前面(下面)具有近似椭圆形状的凹部14。在该凹部14的平的内底壁13a，在其中央部即电极套管13的中轴线L的位置上形成喷嘴安装孔15，并且在椭圆的长边方向(长轴方向)上与该中轴线等距离间距的位置上形成两个电极针用保持孔16，通过在这些保持孔16、16内嵌合所述电极针4A、4B的基端部4b，使得两个电极针4A、4B以尖的前端部4a向所述凹部14内凸出的状态被并列安装于该电极套管13。所述电极针4A、4B的前端部4a从凹部14的内底壁13a凸出的长度比该凹部14的深度小。从而，这些电极针4A、4B的前端部4a处于没有从凹部14向外部凸出，而是呈内包在该凹部14内的状态。

而且，所述电极套管13被嵌合、固定在所述壳体2的下面形成的椭圆形的安装孔17内，椭圆的长轴以朝向壳体2的长边方向的状态安装在该壳体2内。从而，所述正负2个电极针4A、4B也沿着壳体2的长边方向设置。

所述电极套管13相对于壳体2的固定，例如，可以采用使得在其一侧和另一侧形成的凸起和凹部相互接合的方法或超声波溶合等方法进行。

另外，在所述电极套管13的喷嘴安装孔15内，插入前端具有所述空气吹出口5的喷嘴部件20，通过该喷嘴部件20，在所述凹部14的内底壁13a的中轴线L的位置上形成所述空气吹出口5。该喷嘴部件20的基端部4b与在所述壳体2的内部延伸于该壳体2的长边方向的管道形成部21相连接，在该喷嘴部件20的内部形成了连接该管道形成部21内的主管道8a和所述空气吹出口5的歧管8b，由这些主管道8a和歧管8b形成所述空气管道8。

所述主管道8a和歧管8b的截面积相互大致同等大小，另外，形成所述空气吹出口5的开口截面积比这些管道8a、8b的截面积小，由此，从所述大直径的空气管道8输送来的空气，从缩小收拢的空气吹出口5，以高速强劲地被喷出。

所述空气吹出口5也可以直接形成在所述内底壁13a上。

在所述电极套管13的凹部14的内部，设置覆盖所述两电极针4A、4B和空气吹出口5的保护罩23。该保护罩23由合成树脂等的绝缘性的非磁性材料制得，其具有扩展到所述凹部14整体上的呈平板状的主体部23a，和从该主体部23a的外周与该主体部23a垂直地延伸的凸缘状外周壁23b，由于整体上形成浅皿形，且所述外周壁23b连接于凹部14的内底壁13a，从而在所述主体部23a和凹部14的内底壁13a之间形成了在该凹部14整体内扩展的空间部24。优选所述保护罩23通过螺纹固定和接合等手段装卸自由地安装在电极套管13上。

在所述保护罩23的主体部23a上，在该空气吹出口5的前方位置上形成用于向工件喷射从所述空气吹出口5喷出的空气的空气喷射孔25，并且，为向外部露出所述正负电极针4A、4B的前端部4a，在与述正负电极针4A、4B的对应位置上分别各一个的形成两个空气流出孔26、26，该空气流出孔26、26还用于沿着这些电极针4A、4B向保护罩23外部流出从所述空气吹出口5喷出并在所述空间部24扩散的空气。

所述空气喷射孔25以与该空气吹出口5同轴状地配置在所述空气吹出口5的正前位置上，其大小形成为与该空气吹出口5几乎同直径。但是，该空气喷射孔25的位置和大小不必与所述空气吹出口5完全同轴并同直径，例如，如果是从该空气吹出口5喷出的空气的喷射范围内的位置，即从该空气吹出口喷出的空气的喷流直接吹付的位置，在从该空气吹出口5的中心稍微偏离的位置上也是可以的，另外，比该空气吹出口5稍微大一点的直径或稍微小一点的直径也是没关系的。

另一方面，所述空气流出孔26位于与所述电极针4A、4B同轴状的位置上，各电极针4A、4B的尖锐的前端部4a在保护罩23的前面从该空气流出孔26微微凸出。但是，所述电极针4A、4B的前端，也可以位于与保护罩23的前面相同位置或者稍微后退一点的位置上。还有，所述空气流出孔26的孔径形成为大于所述空气喷射孔25的孔径。

具有所述结构的离子发生器1中，从高电压发生装置7向正负电极针4A、4B交替地施加正的脉冲状高电压和负的脉冲状高电压时，该两电极针4A、4B的前端部4a上产生电晕放电，从两电极针4A和4B中交替产生正和负的离子。这时，来自压缩空气源11的空气通过主管道8a和歧管8b供给到空气吹出口5，并从该空气吹出口5喷出到空间部24内。

从所述空气吹出口5强劲喷出的空气喷流，主要如图5中箭头a1所示，从该空气吹出口5的正前位置上的该保护罩23上开口的空气喷射孔25，几乎是原封不动地保持该强烈程度地向该保护罩23的外部喷出，形成主空气流A1向工件喷射。这时该主空气流A1，获取从所述电极针4A、4B产生的离子，形成离子化空气，通过向工件吹该离子化的空气来进行该工件W的除电。

另一方面，从所述空气吹出口5向空间部24内喷出的部分空气，如图5中箭头a2所示，飞溅到所述保护罩23上，扩散在空间部24内，并通过围绕电极针4A、4B周围的空气流出孔26沿着该电极针4A、4B的前端部4a向外部流出，作为辅助空气流A2向工件喷射。该辅助空气流A2与主空气流A1同样地也被离子化。

所述辅助空气流A2的流速比所述主空气流A1的流速慢，通过该辅助空气流A2沿着电极针4A、4B的前端部4a流动，从而冲走处于该电极针的表面和周围的空气中的尘埃等灰尘，防止该灰尘作为污染附着在电极针4A、4B表面上。其结果，减轻了附着灰尘引起的电极针的污染，减少了对该电极针的清洁和更换等的保养作业的频率。

虽然所述实施方式中，壳体2内具有多个电极安装部3，但是该电极安装部3的数量也可以是1个。

另外，通过将剖面形状呈椭圆的所述电极套管13，在该椭圆的长轴朝向壳体2的长边方向的状态下安装在该壳体2中，正负两个电极针4A、4B沿着该壳体2的长边方向设置，但也可以使所述电极套管13在朝向与所述方向错开90度的方向上，即，通过将椭圆的长轴安装在壳体2的横宽方向上，从而将所述2个电极针4A、4B并列设置在该壳体2的横宽方向上。

进而，所述实施方式中，保护罩23的主体部23a呈平板状，位于相对凹部14的内底壁13a平行的位置上，但是，所述主体部23a也不必要必须形成为平板状，其整体或中央的一部分向外侧(前侧)以圆锥状凹陷也是可以的。这种情况下，圆锥的顶点位置上形成所述空气喷射孔25。

图6～图13示出了本发明中的离子发生器的第2实施例。该第2实施例的离子发生器31与所述第1实施例相比，通过在相对壳体32装卸自由的包护套管43A中装卸自由地安装背板43D，而构成电极套管43，在该背板43D上安装电极针34A、34B。因此，即使所述电极针34A、34B受到污染，也可以容易地清除污染，从这点来说，与第1实施例不同。此外，该离子发生器31在结构上与第1实施例没有实质变化的部分，在下文中将省略其说明，与所述第1实施例不同的方面在下文中说明。

如上所述，通过相对壳体32装卸自由地安装包护套管43A，和在该包护套管43A中装卸自由地安装背板43D，而构成该离子发生器31的壳体32的多个电极安装部33中安装的电极套管43，其中背板43D中安装有电极针34A、34B，除了电极针34A、34B外均可由合成树脂等的绝缘性的非磁性材料形成。另外，如图9、图10和图13中可知，所述包护套管43A是通过装卸自由地连接其上半部的套管主体43B和其下半部的保护罩43C而构成的。

所述套管主体43B与第1实施例的电极套管13相同，平面形状为近似椭圆形，其中央部形成喷嘴安装孔45，并且在该喷嘴安装孔45的两侧等距离的位置上，分别形成电极针用保持孔46，进而，在其两端，立设了一对导引壁48a，其作为用于后述背板43D的安装的引导部，剖面呈近似椭圆形，在开设了所述中央部的喷嘴安装孔45部分的前面，凸设了卡止于后述的背板43D的夹持片49e的结合孔49g中的凸攀48b。另外，在该套管主体43B的下部的前后内缘，从图9、图10和图13可知，卡止凸设于保护罩43C的侧部上缘上的凸缘部53b的卡止槽49h，在该卡止槽49h中嵌入所述凸缘部53b，使得该保护罩43C相对平面形状为近似椭圆形状的套管主体43B在其长轴方向上滑动，可以进行安装。

构成包护套管43A的下半部的保护罩43C，其平面形状为与所述套管主体43B相同的近似椭圆形状，其侧部上缘中设有所述凸缘部53b，并且在其下面形成近似椭圆形状的凹部44。而且，在对于套管主体43B安装保护罩43C时，形成该凹部44的底壁的平板状主体部53a覆盖所述两电极针34A、34B和与空气管道38连通的空气吹出口35，在与套管主体43B的底壁43a之间，形成使从空气吹出口35喷出的空气扩散的空间部54。

所述保护罩43C的主体部53a中，将该保护罩43C安装在套管主体43B的规定位置时，用于将从所述空气吹出口35喷出的空气向工件喷射的空气喷射孔55形成为位于该空气吹出口35的前方，并且使正负电极针34A、34B的前端部34a向外部露出且用于令从所述空气吹出口35喷出的空气沿着该电极针34A、34B向保护罩43C的外部流出的2个空气流出孔56、56，是分别形成于与所述正负电极针34A、34B对应的位置。所述空气喷射孔55及空气流出孔56的其它设置方式，与所述第1实施例的情况实质上是相同的。

另外，对于所述背板43D，从图9和图13等可知，在所述套管主体43B的上部两端上立设的一对导引壁48a之间嵌入的板状基座49a的中央部，与所述套管主体43B的喷嘴安装孔45同轴地形成喷嘴插入孔49b，并且在该喷嘴插入孔49b的两侧，分别与所述套管主体43B的电极针用保持孔46同轴地形成电极针固定孔49c，进而，在所述板状基座49a的喷嘴插入孔49b的前后，通过从外侧夹持开设了套管主体43B的中央部的喷嘴安装孔45的部分，从而设置相对于该套管主体43B固定背板43D的一对夹持片49d、49e。

该夹持片49d、49e，其中的一个构成为作为接触于套管主体43B的夹持部分的夹持片49d，另一个构成为作为通过薄的弹性变形部49f连结于背板43D的板状基座49a、根据该弹性变形部49f的弹性而弹性地夹持套管主体43B的夹持片49e，在对于套管主体43B安装背板43D时，将设于该夹持片49e的结合孔49g卡止在套管主体43B的前述凸攀48b。因此，背板43D装卸自由地安装在套管主体43B中以用于除去电极针的污染。

所述固定于背板43D的一对电极针34A、34B，与所述第1实施例的情况相同结构，其具有安装用的基端部34b和圆锥状的前端部34a，进而，所述基端部34b具有翼缘部34c，并且其上端还具有用于与高电压发生装置37电气性连接的通电部34d。该电极针34A、34B将所述翼缘部34c压入背板43D的电极针固定孔49c中并固定，或者，所述安装用的基端部34b的剖面形状为非圆形，嵌着于相同形状的电极针固定孔49c，从而相对于背板43D不能旋转地固定，在用毛毡等构成的擦拭工具除去处于安装于背板43D中的状态下的电极针34A、34B的污染时，抑制了电极针34A、34B相对背板43D的旋转导致的除去污染时的作业效率低的问题。为了电极针34A、34B的更换，有必要另这些电极针相对背板43D可拔掉。

另外，在所述背板43D安装于套管主体43B的状态下，固定于该背板43D的各电极针34A、34B嵌合在套管主体43B中的电极针保持孔46、46内，形成为电极针的前端部34a以在所述凹部44内凸起的状态保持在套管主体43B中。另一方面，所述背板43D从套管主体43B中脱离时，电极针34A、34B的前端部34a向外面露出以用于通过擦拭除去污染物。

此外，对于所述电极套管43的装配，在对于套管主体43B安装保护罩43C之后，将背板43D固定在套管主体43B中。

所述电极套管43从该壳体32的下方装卸自由地嵌合、固定在所述壳体32的下面等间隔形成的多个椭圆形电极安装孔47内，为了该固定，形成于壳体32的所述电极安装孔47如图7所示为与电极套管43的平面形状对应的椭圆形，并且为嵌入该电极安装孔47中的电极套管43在该安装孔47内具有可以倾斜的余量47a的平面形状。而且，在所述电极套管43和电极安装孔47之间设置：在将该电极套管嵌入电极安装孔之后从所述可以倾斜的余量47a脱出、呈正常的安装状态时，电极套管43卡止固定在电极安装孔47内，另一方面，在使电极套管43对于电极安装孔47在所述余量47a的范围内倾斜的状态下，允许电极套管43向电极安装孔47内脱嵌的卡止机构。

该卡止机构可以构成为，在电极套管43的套管主体43B上的所述导引壁48a中，从图8、图12和图13可知，设置上部的卡止凸起48c和其下部的比该卡止凸起凸出高度小的摩擦凸条48d；另一方面，在所述电极安装孔47的长边方向的两端部，设置在使电极套管43以对于电极安装孔47在所述余量47a的范围内倾斜的状态嵌入时，使所述卡止凸起48c通过的侧槽47b；并且设置了与该侧槽47b邻接，且将所述电极套管43嵌入于电极安装孔47后使其回到沿着壳体32的长边方向的正常的安装姿态时，弹性地接触于在套管主体43B的两端的导引壁48a的外面的摩擦凸条48d的弹性接触片47c。

当使处于倾斜姿态的电极套管43绕其中心旋转使其回到正常的安装姿态时，通过套管主体43B两端的导引壁48a的外面的摩擦凸条48d来挤压该弹性接触片47c的结果是，该弹性接触片47c弹性地接触该摩擦凸条48d并保持该状态；为此，电极安装孔47两端的弹性接触片47c形成为其前端向着所述侧槽47b一侧并朝向相互相反的方向。另外，所述电极安装孔47两端的弹性接触片47c位于在回到正常的安装姿态后的套管主体43B的两端的卡止凸起48c下方，并具有卡止于该卡止凸起48c，防止电极套管43的脱出的功能。

进而，为了使所述电极套管43安装于电极安装孔47，并且使电极针34A、34B能够分别连接于在高电压发生装置37中的正和负高电压发生电路，在与电极安装孔47内底的各电极针34A、34B对应的位置上，在装卸电极套管43时使其姿态可倾斜的范围内，设置收容电气地连接于这些高电压发生电路的连接端子37a的端子槽47d；构成为在电极安装孔47中嵌入电极套管43时，通过将这些电极针34A、34B的通电部34d嵌入各自的端子槽47d，从而不拘泥于该电极套管43的倾斜姿态地，能够对两电极针34A、34B施加正负高电压。

因此，将所述电极套管43安装在电极安装孔47中时，将电极套管43以相对于壳体32的长边方向倾斜的状态嵌合在该安装孔47中之后，使该电极套管43绕中心轴旋转而成为朝向所述长边方向的正常的安装姿态，从而套管主体43B两端的卡止凸起48c位于安装孔47两端的弹性接触片47c上，卡止于该卡止凸起48c，防止电极套管43脱落。在对于该电极安装孔47安装电极套管43时，在背板43D上的喷嘴插入孔49b和套管主体43B中的安装孔45中，插入在前端具有所述空气吹出口35的喷嘴部件50，通过该喷嘴部件50从所述空气吹出口35向空间部54喷出空气。

另一方面，从电极安装孔47中卸下所述电极套管43时，如果通过令所述电极套管43在电极安装孔47内旋转，相对于壳体32的长边方向倾斜，那么套管主体43B的两端的卡止凸起48c就从安装孔47两端的弹性接触片47c脱离，因此可以卸下电极套管43。

Claims

1.一种离子发生器，其特征在于，具有：

具有1个以上电极安装部的壳体；相互并列设置于所述电极安装部的离子发生用的正负电极针；所述电极安装部上在正负两电极针之间的位置上开口的空气吹出口；覆盖该两电极针和空气吹出口的保护罩；以及在该保护罩内侧跨所述两电极针和空气吹出口并扩展的空间部，

所述保护罩具有：位于所述空气吹出口的前方，向工件喷射从该空气吹出口喷出的空气的空气喷射孔；和在与所述正负电极针对应的位置上分别形成的两个空气流出孔，该两个空气流出孔沿着所述电极针向保护罩的外部排出从所述空气吹出口喷出并在所述空间部扩散的空气。

2.如权利要求1中记载的离子发生器，其特征在于，所述正负电极针安装在电极套管上，并通过该电极套管安装在所述壳体的电极安装部上，另外，所述电极套管具有内包所述正负电极针的前端部的凹部，配设为该凹部内所述空气吹出口开口的同时，所述保护罩覆盖该空气吹出口和所述两电极针。

3.如权利要求2记载的离子发生器，其特征在于，所述空气喷射孔位于与所述空气吹出口同轴的位置上，并且所述空气流出孔位于与所述电极针同轴的位置上。

4.如权利要求3记载的离子发生器，其特征在于，所述电极针的尖的前端部从所述空气流出孔凸出到保护罩的前面。

5.如权利要求3或4记载的离子发生器，其特征在于，所述空气喷射孔的孔径比所述空气流出孔的孔径小。

6.如权利要求2记载的离子发生器，其特征在于，在相对于所述壳体装卸自由的包护套管内，装卸自由地安装具备正负电极针的背板，以构成电极套管，在该包护套管内形成所述凹部，所述背板内安装的电极针的前端部，通过所述包护套管内的电极针用保持孔，向所述凹部凸出。

7.如权要求6记载的离子发生器，其特征在于，所述空气吹出口形成在喷嘴部件上，该喷嘴部件被插入平面形状为椭圆形的所述电极套管的中心。

8.如权利要求7记载的离子发生器，其特征在于，背板具有一对夹持片，该一对夹持片用于通过夹住包护套管的短径侧，相对于该包护套管固定背板，该夹持片中的至少一个是通过与背板连结的连结部上设置的薄的弹性变形部的弹性，弹性夹持包护套管而构成的。

9.如权利要求6至8中任一项记载的离子发生器，其特征在于，相对于所述背板，不能旋转、能装卸地安装电极针。

10.如权利要求7记载的离子发生器，其特征在于，用于安装设于所述壳体的所述电极套管的电极安装孔，是与电极套管的平面形状对应的，而且，形成为嵌入于该电极安装孔的电极套管在该安装孔内具有在所述喷嘴部件的周围可以倾斜的余量的平面形状；

在所述电极套管和电极安装孔之间设置：将该电极套管嵌入电极安装孔后，从所述可以倾斜的余量脱出而呈正常安装姿态时，在电极套管卡止固定在电极安装孔内，在使电极套管对于电极安装孔在所述余量范围内倾斜的状态下，允许电极套管向电极安装孔内的脱嵌的卡止机构。

11.如权利要求10记载的离子发生器，其特征在于，所述卡止机构构成为，在电极套管的长边方向的两端部，设置上部的卡止凸起和其下部的比该卡止凸起凸出高度小的摩擦凸条；在所述电极安装孔的长边方向的两端部，设置在使电极套管以对于电极安装孔在所述余量范围内倾斜的状态嵌入时使所述卡止凸起通过的侧槽；并且，设置邻接于该侧槽，且将电极套管嵌入电极安装孔后使其回到沿着壳体的长边方向的正常的安装姿态时，与所述摩擦凸条弹性地接触的弹性接触片；该弹性接触片构成为，使处于倾斜姿态的电极套管旋转使其回到正常的安装状态时，被所述摩擦凸条挤压，从而与该摩擦凸条弹性接触；所述两弹性接触片位于回到正常的安装姿态后的电极套管的两端的卡止凸起的下方位置，并卡止于该卡止凸起，从而防止电极套管的脱出，由此能够装卸自由地固定电极套管。

12.如权利要求6或7中记载的离子发生器，其特征在于，在安装电极套管的壳体的电极安装部上，设置连接于壳体内高电压发生装置的正负高电压发生电路的连接端子，这些连接端子被设置在与安装于所述电极安装部的电极套管的电极针时应的位置上。

13.如权利要求6或7中记载的离子发生器，其特征在于，所述包护套管构成为，将接合平面形状是近似椭圆形状的套管主体和相同形状的保护罩，通过它们的长边方向的滑动接合它们所具有的凸缘部和卡止槽，来装卸自由地连结。