JP4008522B2 - 帯電物中和用空気の吹き出し口 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ハードディスクなどの電子機器の製造工程に使用される製造設備において、設備全体をクリーンルームにするのではなく、製造箇所を局所的に清浄にしてイオン化された空気を静電気に帯電した物品に吹き付けて中和するようにした空気の吹き出し口に関する。
【０００２】
【従来の技術】
この種の空気の吹き出し口としては、同一出願人に係わる特開平６ー２７５３６６号公報に記載されたものが知られている。
【０００３】
前記の空気吹き出し口は、図６に符号Ａを付したものであり、この空気吹き出し口Ａは、送気チャンバＢ内に、交流高圧電源に接続された複数の電極針Ｃを長手方向に連設し、接地するか又は直流電源に接続された対向電極Ｄを前記送気チャンバＢに設けたものであるが、対向電極Ｄには各電極針Ｃを囲むように穴Ｅが明いており、該穴Ｅにおいて、電極針Ｃと対向電極Ｄの間で放電される。
【０００４】
しかしながら、この空気吹き出し口Ａは、大型で重量があり、一旦設置してしまえば角度の変更も僅かしかできないので、所望の箇所に送気するには不便である。更に、吹き出し口Ａ内部に溜まっていた塵埃もそのまま吹き出し口から吹き出されてしまうので、ハードディスクなどの電子機器の製造に使用される製造設備においては、製品の歩留まり低下の原因となる不都合がある。
【０００５】
また、この種の空気の吹き出し口では、空気流の上流側のダクトに高性能フィルターなどの除塵装置が設けられていて、該除塵装置によって塵埃を取り除いて、空気吹き出し口に空気が送気されるが、０．１乃至０．５μｍ程度の微小な塵埃はフィルターを通過してしまい、それに加えて、吹き出し口を動かすと、吹き出し口の内部に付着していた前記の塵埃と同じ程度の微小な塵埃が、振動によって浮遊してしまい、それらの微小な塵埃が吹き出し口から吹き出されると、これも製品の歩留まり低下の原因になる。
【０００６】
更に、物品の表面から除塵すると共に該物品に帯電した静電気の除電をする装置としては、コンプレッサーのような圧縮空気源にイオン発生装置を取り付けて、帯電した物品に吹き付けるようにしたものが知られており、また、高圧の不活性ガスを封入したボンベにイオン発生装置を組み合わせて高圧ガスを吹き付けるようにしたものも知られている。
【０００７】
しかしながら、これらのものは、特別に圧縮空気源やボンベを用いるものなので、製品の製造コストを押し上げる原因となる不都合がある。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、特別に圧縮空気源やボンベを用いずに、吹き出し口の内部に溜まった塵埃や吹き出し口を動かすことによって浮遊する微小な塵埃を吹き出し口の先端から吹き出さないようにし、更に、簡単に吹き出し箇所を変更して、イオン化された空気を所望の箇所に存在する帯電物品に吹き付けて、帯電物品を電気的に中和するための空気の吹き出し口を提供することを課題にする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記の課題を解決するためのものであって、その手段は、請求項１に記載のとおり、帯電物品を中和するためのイオン発生装置を一端に取り付け、更に空気流路を絞る抵抗板を他端に取り付けた連結筒を、管壁に外部に連通した隙間を有する可撓性管の先端に連結してなり、前記抵抗板に複数の円穴が設けられ、前記可撓性管は、多数の部材を管状に組み合わせて部材間の連結部に隙間を保有させたことを特徴とする帯電物中和用空気の吹き出し口である。
【００１０】
このように、連結筒の一端にイオン発生装置を取り付け、更にその他端に抵抗板を取り付け、該連結筒と可撓性管を連結することで、ダクトから送気されてきたときには、空気が抵抗板に当たって可撓性管の内圧が上がり、該可撓性管の管壁の外部に連通する隙間から空気と共に前記可撓性管の内部に溜まった塵埃や、吹き出し口を動かすことによって可撓性管の内面から浮遊する微小な塵埃が外に放出され、抵抗板を通過した塵埃の少ない空気は、前記イオン発生装置によりイオン化されて空気吹き出し口の先端から放出される。可撓性管を曲げて、所望の箇所に存在する静電気に帯電した物品に前記イオン化された空気を吹き付けると、該静電気が帯電した物品は除電される。
【００１１】
【発明の実施の形態】
図１（Ａ）において、１は、空気吹き出し口である。該空気吹き出し口１は、静電気に帯電した物品を電気的に中和するためのイオン発生装置３を一端、図１（Ａ）の場合には空気流の下流側の端部に取り付け、更に、空気流路を絞る抵抗板４を他端、図１（Ａ）の場合には空気流の上流側の端部に取り付けた連結筒５と、該連結筒５を先端２ｃに連結した可撓性管２からなる。該可撓性管２を曲げることで空気吹き出し口１は吹き出し方向が変えられる。
【００１２】
図１（Ａ）に示す実施の態様においては、可撓性管２は、１２５ｍｍの内径を有し、その後端部２ｄは、図示しないダクトに取り付けるための円筒形の取付部材２´と連結される。
【００１３】
可撓性管２は、図１（Ａ）に示すように、ポリ塩化ビニール（以下ＰＶＣという）製の短円筒部材を多数組み合わせて管状に構成した市販品である。該短円筒部材は、図１（Ｂ）に示すように、一端側に環状の中空部を形成してその端面に狭いリング状の開口を設けた雌部分２ｅと、他端に鉤状の先端部を設けた雄部分２ｆとから成る。該短円筒部材の雄部分２ｆを他の短円筒部材の雌部分２ｅに挿入すると、雄部分２ｆの鉤状の先端部が雌部分２ｅに掛止されて雄部分２ｆが雌部分２ｅから抜けずに、短円筒部材の雄部分２ｆと他の短円筒部材の雌部分２ｅの連結部２ａの隙間２ｂを保有したままで、該短円筒部材と他の短円筒部材は緩く連結されて、前記短円筒部材を組み合わせた管が可撓性を有するようになる。
【００１４】
可撓性管として、図１に示す可撓性管とは別に、図５（Ａ）、（Ｂ）に示されたように、ＰＶＣ製の帯板を螺旋状に組み合わせて管に構成し、帯板と帯板の連結部２ａに隙間２ｂを保有させたままで、帯板と帯板を噛み合わせ状態にしたものを用いてもよい。
【００１５】
イオン発生装置３は、この実施の態様では、スポット除電用の電極針によるイオナイザーを用いるが、軟Ｘ線照射除電装置のような、空気をイオン化させる他の装置を用いてもよい。
【００１６】
このイオン発生装置３のイオナイザーは、図２と図３に示すように、石英コーティングした電極針３ａと、薄い金属板を４つに折って、断面が四角形の枠状に構成した対向電極３ｂと、中央の連結部３ｃの空気流の上流側の端部に設けた十字状の取り付けバー３ｄとからなる。該取り付けバー３ｄは、絶縁材料で構成されている。
【００１７】
イオン発生装置３であるイオナイザーは、石英コーティングの電極針３ａと対向電極３ｂとの間でコロナ放電をさせて、この放電により発生する高濃度の正負のイオンにより、イオナイザーを通過する空気をイオン的にバランスさせる。
【００１８】
前記石英コーティングした電極針３ａは、通過する空気を充分にイオン化するために、９０度ずつの間隔で、前記連結部３ｃの周囲に４つ取り付けられる。石英コーティングした電極針３ａは、この実施の態様では、同一出願人に係わる特開平１ー２６６８６５号公報に開示された構造のものを用いた。
【００１９】
対向電極３ｂの各辺には、開放部３ｅが明けられおり、各石英コーティング電極針３ａの先端が、前記開放部３ｅに近接するか、又は、前記電極針３ａの先端が開放部３ｅを通過して開放部３ｅが該電極針３ａの先端を囲むように、電極針３ａは、前記連結部３ｃに取り付けられる。前記開放部３ｅにおいて、石英コーティング電極針３ａと対向電極３ｂは放電する。
【００２０】
連結部３ｃ内で、各石英コーティング電極針３ａは交流高圧ケーブル６と接続され、図１（Ａ）に示すように、該交流高圧ケーブル６は、可撓性管２内を通り、前記取付部材２´のブッシング２´ａから外に引き出されて、コネクタ７を介して図示しない交流の高圧電源に接続される。
【００２１】
一方、対向電極３ｂは、図１（Ａ）に示すように、直流低圧ケーブル８と接続され、該直流低圧ケーブル８は、可撓性管２内を通り、前記取付部材２´のブッシング２´ｂから外に引き出されて、コネクタ９を介して図示しない直流の低圧電源に接続される。
【００２２】
図１（Ａ）及び図２に示すように、対向電極３ｂの基部は、取り付けバー３ｄに突設された取付部材３ｇとビスにより結着される。
【００２３】
更に、取り付けバー３ｄの先端は、図２に示すように、前記連結筒５とビスにより結着される。
【００２４】
抵抗板４として、この実施の態様に用いられるものは、図４に示すような、厚さ約１mm程度のＰＶＣ製の円板に複数の円穴４ａを明けて、開口率を１２％としたパンチング板であるが、ＰＶＣ以外のプラスチック製の円板に他の形状の穴を明けたものや、状況に応じて開口率の高いものや低いものを用いてもよい。
【００２５】
抵抗板４は、図１（Ａ）に示すように、接着剤によって、前記連結筒５の空気流の上流側の端部に接着される。
【００２６】
更に、連結筒５は、ＰＶＣ製であり、図１（Ａ）に示すように、可撓性管２の先端にビスなどによって結着される。
【００２７】
尚、図１（Ａ）において、１０は、ケーブルホルダーであり、可撓性管２内で高圧ケーブル６と低圧ケーブル８が不用意に動かないように、それらを結着具１１を用いて結着するものである。
【００２８】
ダクトからの空気ａは、０．８ｍ³／ｍｉｎ程度の送風量で、図１（Ａ）の矢示のように、空気吹き出し口１内に送風され、可撓性管２を通って抵抗板４に当たり、流路が絞られる。
【００２９】
流入した空気ａによって、可撓性管２の内圧が上がり、図１（Ａ）の矢示ｂのように、前記可撓性管２の隙間２ｂから空気が外に放出される。 該放出された空気と共に前記可撓性管２内に溜まっていた塵埃や可撓性管を動かした場合に浮遊した微小な塵埃は、それぞれ可撓性管２の外に放出される。
【００３０】
図１の実施の態様では、可撓性管２の先頭部分２ｃと後端部分２ｄにおいては、それぞれ連結筒５と取付部材２´によって、可撓性管２の隙間２ｂが潰されるが、可撓性管２の前記先頭部分２ｃよりも空気流の上流側であって後端部分２ｄよりも下流側の部分で前記のような塵埃が外に放出される。
【００３１】
このとき空気吹き出し口１から出る空気ａ´の量は、前記送風量の９５％程度である。
【００３２】
更に、帯電した物品の表面電位を表面電位計などで測定し、その表面電位の静電気を中和するための正又は負のイオンの発生量を調節するために、図示しない調節装置によって、石英コーティングした電極針３ａに交流の高電圧を印加し、更に、対向電極３ｂにも直流の低電圧を印加する。
【００３３】
前記交流の高電圧が印加された石英コーティング電極針３ａと、直流の低電圧が印加された対向電極３ｄとの間で起きたコロナ放電によって、前記抵抗板４を通過した空気ａ´が正又は負に適正にイオン化される。
【００３４】
可撓性管２を任意に曲げて、所望の箇所に存在する静電気に帯電した物品に該イオン化された空気ａ´を空気吹き出し口１の先端から吹き付け、該帯電物品を電気的に中和して除電する。
【００３５】
【発明の効果】
請求項１に記載の本発明の帯電物中和用空気の吹き出し口は、ダクトから送気されたときに、空気が抵抗板に当たって可撓性管の内圧を上げて、該可撓性管の管壁の外部に連通する隙間から空気と共に可撓性管内に溜まった塵埃や可撓性管が動いたときに浮遊する微小な塵埃を外に放出させて、空気吹き出し口の先端から放出される空気にそれらの塵埃が混ざらないようにすることができ、また、抵抗板を通過した微小な塵埃の少ない空気が、イオン発生装置を通過するときにイオン化されて、そのイオン化された空気を所望の箇所に存在する静電気に帯電した物品に吹き付けることで、該帯電物品を電気的に中和して除電することができるので、前記のような塵埃による製品の歩留まりの低下をなくすことができる。
【００３６】
更に、本発明の帯電物中和用空気の吹き出し口は、可撓性管を用いているので、該可撓性管を曲げることで、簡単に吹き出し箇所を変更することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 （Ａ）は、本発明の空気吹き出し口を示す一部欠載正面図。（Ｂ）は、可撓性管の要部拡大図。
【図２】 中和装置であるイオナイザーが取り付けられた状態の本発明のダクト吹き出し口の底面図。
【図３】 中和装置であるイオナイザーの斜視図。
【図４】 抵抗板であるパンチング板の平面図。
【図５】 （Ａ）は、図１の空気吹き出し口とは別の実施の態様の本発明の空気吹き出し口を示す一部欠載正面図。（Ｂ）は、その空気吹き出し口に用いられた可撓性管の要部拡大図。
【図６】 従来の空気吹き出し口を示す略図。
【符号の説明】
１ 帯電物中和用空気の吹き出し口 ２ 可撓性管 ２ｂ隙間 ３ イオン発生装置 ４ 抵抗板 ５ 連結筒

Claims (1)

1. 帯電物品を中和するためのイオン発生装置を一端に取り付け、更に空気流路を絞る抵抗板を他端に取り付けた連結筒を、管壁に外部に連通した隙間を有する可撓性管の先端に連結してなり、前記抵抗板に複数の円穴が設けられ、前記可撓性管は、多数の部材を管状に組み合わせて部材間の連結部に隙間を保有させたことを特徴とする帯電物中和用空気の吹き出し口。

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